KR20050116256A - 반도체 제조설비의 카세트 인덱서 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 제조설비의 카세트 인덱서에 관해 개시한다. 개시된 본 발명은, 상면에 가이드 홈이 형성되고 웨이퍼가 적재되는 카세트의 지지부가 상기 가이드 홈에 안착되는 카세트 플레이트와 상기 카세트의 안착여부를 감지하는 센서와 상기 카세트 플레이트를 상하 이송시키는 엘리베이터를 포함하여 구성된다. 본 발명에 따르면, 카세트가 인덱서 상의 일정한 위치에 정확히 장착되도록 하고, 동시에 그 장착여부의 식별이 가능하며, 카세트의 지지부가 홈에 안착되어 접촉 지지됨으로 인해 카세트 플레이트의 승하강시 카세트의 요동을 방지하여 웨이퍼 로딩 또는 언로딩 중 발생할 수 있는 각종 에러를 방지하는 효과가 있다.

Description

반도체 제조설비의 카세트 인덱서{CASSETTE INDEXER OF SEMICONDUCTOR PRODUCING EQUIPMENT}
본 발명은 반도체 제조설비의 카세트 인덱서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조공정 중 웨이퍼의 위치설정을 위해 웨이퍼를 적재한 카세트를 장착하는 반도체 제조설비의 카세트 인덱서에 관한 것이다.
반도체 소자 제조 공정에서는, 웨이퍼를 대상으로 하여 사진공정, 식각공정, 확산공정, 증착공정 및 금속공정 등 다양하게 이루어지는 단위공정을 수행한다. 상기 단위공정의 수행에서는 일반적으로 상기 웨이퍼를 다수매 적재시킨 웨이퍼 카세트(캐리어라고도 함)를 이용하며, 이러한 단위공정의 적용을 받는 상태에서의 웨이퍼를 통상 런(Run)이라고 한다.
상기 단위공정의 중간에는 웨이퍼를 카세트로부터 한 장씩 이송하여 공정 챔버로 보내거나 공정상태를 테스팅하게 하는 웨이퍼 이송단계가 요구되는데, 이에 필수적으로 요구되는 것이 위치설정 장치인 카세트 인덱서이다.
이하, 종래의 카세트 인덱서에 대해 도 1 및 도 2를 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 도 1은 종래의 카세트 인덱서의 용도를 개략적으로 설명하기 위한 관련 장비의 사시도이며, 도 2은 종래의 카세트 인덱서 상에 카세트가 장착되는 것을 나타낸 사시도이다.
먼저 도 1을 참조하면, 종래의 카세트 인덱서(60)는 웨이퍼(10)가 적재된 카세트(20)가 장착되는 카세트 플레이트(30), 이를 승하강시키는 엘리베이터(50)를 포함하며, 상기 카세트 플레이트(30) 상면에는 카세트(20)를 정 위치에 고정하기 위한 가이드 바(31)가 설치된다. 이때, 웨이퍼(10)가 적재된 카세트(20)는 로봇 아암(미도시)등에 의해 인덱서(60)의 카세트 플레이트상(30)에 장착되고 엘리베이터(50)는 이를 승하강시킴으로 인해 웨이퍼(10)의 위치를 설정하여 이를 한장씩 이송시키는 셔틀(70)의 위치와 일치시킨다. 상기 셔틀(70)은 언로딩된 웨이퍼를 테스팅등의 단계를 진행하기 위하여 공압을 이용하여 웨이퍼를 고정시키는 로드 리프터(90)위에 안착시키고, 디텍터(80)가 웨이퍼(10)에 접촉하여 웨이퍼의 위치 및 공정상태를 점검한다.
그러나, 이와 같은 종래의 카세트 인덱서(60)는 도 2에 도시된 바와 같이, 카세트 플레이트(30)상의 가이드 바(31)에 의해서만 카세트(20)의 위치가 고정되는바 정확도가 떨어지고 이에 따라 셔틀(70)이 웨이퍼를 정확히 언로딩시키지 못해 셔틀 에러가 발생할 수 있고, 심한 경우에는 셔틀(70)과 웨이퍼(10)가 부딪혀 웨이퍼가 파손되는 경우도 발생한다. 또한 언로딩된 웨이퍼(10)가 원하는 위치에 정확히 이송되지 못해 테스팅 공정등에 있어 에러가 발생하는 경우도 있다. 이는 공정진행을 방해하여 반도체 수율을 떨어뜨리는 원인으로 작용한다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 카세트가 인덱서 상에 정확히 장착되도록 하고 그 장착여부를 식별함으로 웨이퍼 로딩 또는 언로딩 중 발생할 수 있는 각종 에러를 방지할 수 있는 반도체 제조설비의 카세트 인덱서를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 카세트 인덱서는, 상면에 가이드 홈이 형성되고 웨이퍼가 적재되는 카세트의 지지부가 상기 가이드 홈에 안착되는 카세트 플레이트와 상기 카세트의 안착여부를 감지하는 센서와 상기 카세트 플레이트를 상하 이송시키는 엘리베이터를 포함하는 반도체 제조설비의 카세트 인덱서를 제공한다.
상기 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 카세트 인덱서에 있어서, 상기 가이드 홈은 상기 카세트 플레이트의 중심으로부터 양쪽으로 각각 이격되어 대칭적으로 형성되는 것이 바람직하며, 상기 가이드 홈은 상이한 크기의 카세트의 지지부에 각각 대응하는 위치에 복수개의 쌍으로 카세트 플레이트에 일체로 형성되는 것이 바람직하다. 이때, 웨이퍼의 일반적인 제조규격을 고려할 때, 상기 가이드 홈은 3인치, 4인치, 6인치, 8인치 및 12인치 웨이퍼를 적재하는 카세트가 장착되는 홈들로 구성하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 센서는 상기 가이드 홈의 내부에 설치되는 것이 바람직하고, 하중에 따라 감지부가 눌러지는 온오프 타입인 것이 바람직하다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예인 반도체 제조설비의 카세트 인덱서를 상세히 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 카세트 인덱서 상에 카세트가 장착되는 것을 나타낸 사시도이고, 도 4는 그 단면도이며, 도 5는 그 평면도이다.
도 3을 참조하면, 웨이퍼(100)가 적재된 카세트(200)가 장착되는 카세트 플레이트(300) 상면에 카세트 지지부(210)와 형상이 일치하고, 카세트 플레이트(300)의 중심으로부터 상호 대칭적인 한 쌍의 홈(310)이 형성되고, 그 내부에는 카세트 지지부(210)의 장착여부를 감지할 수 있는 센서(400)가 설치된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 카세트(200)는 별도의 이송용 로봇 아암(미도시)에 의해 카세트 플레이트(300) 상에 안착되고 상기 카세트의 지지부(210)는 홈(310) 내부에 삽입 설치된다. 이때 홈(310) 내부에 설치된 센서(400)는 카세트(200)의 하중에 의해 장착여부를 감지한다.
상기 센서(400)는 도 5에 도시된 바와 같이, 카세트(200)의 균형 장착을 감지하기 위해 홈의 양측 끝단에 각각 설치되며, 그 방식은 상부에 감지부(410)가 설치되어 하중에 따라 카세트(200)의 장착여부를 감지하는 온오프타입으로 구성된다.
한편, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 카세트 인덱서를 나타낸 단면도이다.
도 6을 참조하면, 카세트 플레이트(700) 상면에는 크기가 상이한 웨이퍼를 적재한 카세트 지지부의 상이한 이격거리에 각각 대응되도록 복수개의 쌍으로 홈이 형성되어 있다. 상기 홈은 웨이퍼의 일반적인 제조규격을 고려하여 3인치(710), 4인치(720), 6인치(730), 8인치(740) 및 12인치(750) 웨이퍼를 적재하는 카세트가 장착 가능하도록 형성된다.
한편, 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것인바, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 한해서 정해져야 할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 카세트 인덱서에 의하면, 카세트가 인덱서 상의 일정한 위치에 정확히 장착되도록 하고, 동시에 그 장착여부의 식별이 가능하며, 카세트의 지지부가 홈에 안착되어 접촉 지지됨으로 인해 카세트 플레이트의 승하강시 카세트의 요동을 방지하여 웨이퍼 로딩 또는 언로딩 중 발생할 수 있는 각종 에러를 방지하는 효과가 있다.
또한, 별도의 교체작업 내지 준비작업 없이 다양한 규격의 웨이퍼 카세트를 수용할 수 있어 작업시간 단축 및 작업능률을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 카세트 인덱서의 용도를 개략적으로 설명하기 위한 관련 장비의 사시도.
도 2은 종래의 카세트 인덱서 상에 카세트가 장착되는 것을 나타낸 사시도.
도 3는 본 발명의 일실시예에 따른 카세트 인덱서 상에 카세트가 장착되는 것을 나타낸 사시도.
도 4은 본 발명의 일실시예에 따른 카세트 인덱서 상에 카세트가 장착되는 것을 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 카세트 인덱서를 나타낸 평면도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 카세트 인덱서를 나타낸 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 웨이퍼200 : 카세트
210 : 카세트 지지부300, 700 : 카세트 플레이트
310, 710, 720, 730, 740, 750 : 가이드 홈
400 : 센서410 : 감지부
500 : 엘리베이터600 : 카세트 인덱서

Claims (6)

  1. 상면에 가이드 홈이 형성되고, 웨이퍼가 적재되는 카세트의 지지부가 상기 가이드 홈에 안착되는 카세트 플레이트;
    상기 카세트 지지부의 안착여부를 감지하는 센서;
    상기 카세트 플레이트를 상하 이송시키는 엘리베이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 카세트 인덱서.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드 홈은 상기 카세트 플레이트의 중심으로부터 양쪽으로 각각 이격되어 대칭적으로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 카세트 인덱서.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 가이드 홈은 상이한 크기의 카세트의 지지부에 각각 대응하는 위치에 복수개의 쌍으로 카세트 플레이트 상면에 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 카세트 인덱서.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 가이드 홈은,
    3인치 웨이퍼를 적재하는 카세트가 장착되는 제 1홈들과;
    4인치 웨이퍼를 적재하는 카세트가 장착되는 제 2홈들과;
    6인치 웨이퍼를 적재하는 카세트가 장착되는 제 3홈들과;
    8인치 웨이퍼를 적재하는 카세트가 장착되는 제 4홈들과;
    12인치 웨이퍼를 적재하는 카세트가 장착되는 제 5홈들로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 카세트 인덱서.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 상기 가이드 홈의 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 카세트 인덱서.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 센서는 하중에 따라 감지부가 눌러지는 온오프 타입인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 카세트 인덱서.
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