KR20040021427A

KR20040021427A - 웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어

Info

Publication number: KR20040021427A
Application number: KR1020020053260A
Authority: KR
Inventors: 조대림
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2002-09-04
Filing date: 2002-09-04
Publication date: 2004-03-10

Abstract

본 발명은 웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어에 관한 것으로, 본 발명은 양측이 개구된 상자 형태로서 양면에 균일한 간격으로 다수개의 슬롯을 형성하며, 저면에 지지부를 갖는 카세트;와 상기 카세트의 로딩시 이를 가이드하는 가이드 홈이 형성된 스테이지를 갖는 캐리어;와 상기 가이드 홈의 양단에 설치홈을 형성하여 장착되는 다수개의 센서;를 구비하여 카세트가 가이드 홈에 바람직하게 로딩되었는지 확인할 수 있으므로 카세트의 로딩상태가 바람직하지 않을 때 장비를 정지함으로서 웨이퍼의 브로큰 등을 미연에 방지하고 장비의 오염을 방지하는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어{In carrier having loading condition confirmation means of wafer cassette}

본 발명은 웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 웨이퍼 카세트가 로딩되는 스테이지에 센서를 부착하여 카세트의 로딩상태를 확인할 수 있는 웨이퍼 카세트 로딩상태 확인장치에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼는 반도체 제조상 일련의 공정을 거치게 되는데 이때 웨이퍼는 파티클 등의 이물질에 노출되지 않도록 카세트에 적재한 후, 이 카세트를 별도의 캐리어 내부에 적재하여 각 공정으로 이송되며, 이 후 해당되는 공정 설비상에 장착되어 로봇 암에 의해 공정챔버 내로 로딩 및 언로딩된다.

이때, 웨이퍼 캐리어는 카세트가 로딩되는 스테이지는 캐리어의 내부 저면에 위치하여 카세트의 지지부가 로딩되는 H자형 가이드 홈이 형성되고, 카세트는 양측이 개구된 상자형태를 갖되, 내면에 웨이퍼를 적재하기 위해 균일한 간격으로 다수개의 슬롯을 마련하여 개구된 일측을 통해 웨이퍼를 입출하며, 저면에 상기 H자형 가이드 홈에 삽입 고정되는 지지부를 형성하여 캐리어의 스테이지에 로딩된다.

또한, 카세트가 로딩되는 가이드 홈에는 카세트 로딩 유무를 확인하는 센싱수단을 구비한다.

도 1은 종래의 웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어의 분해사시도로서 캐리어의 스테이지(3)에 형성된 H자형 가이드 홈(4)의 중앙부에 별도의 설치홈(5)을 형성하여 센싱수단(6)을 설치한다.

따라서, 스테이지(3)에 카세트(2)가 로딩되면 센싱수단(6)은 카세트(2)의 저면을 감지하여 로딩을 확인한다.

그러나, 이러한 종래의 캐리어는 센싱수단(6)을 통해 카세트(2)의 로딩 유무는 확인할 수 있으나 카세트(2)의 지지부가 가이드 홈(4)에 결합된 상태를 감지할 수 없는 문제점이 있다.

이러한 문제점으로 인해 카세트(2)가 가이드 홈(4)을 벗어나 로딩되었거나, 카세트(2)의 휨이나 뒤틀림 등으로 기울어진 상태에서 캐리어가 이송되면 웨이퍼가 브로큰 및 스크래치가 발생되어 손실될 뿐만 아니라 장치내로 파티클 유발 요인 및 공정지연의 요인이 되는 또 다른 문제점이 야기된다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 웨이퍼 카세트가 로딩되는 캐리어 내부 바닥면에 설치되는 가이드 홈의 사방 모서리부에 각각의 센싱수단을 장착하여 카세트의 로딩상태를 확인할 수 있도록 함으로서, 카세트의 불량한 로딩으로 인한 웨이퍼의 브로큰을 미연에 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어를 제공하는 것이다.

도 1은 종래의 웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어의 분해사시도,

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어의 분해사시도,

도 3은 본 발명에 따른 캐리어에 있어, 카세트와 캐리어의 결합상태를 보인 정단면도이다.

* 도면의 주요부호에 대한 설명 *

10 : 캐리어 20 : 카세트

21 : 지지부 30 : 스테이지

31 : 가이드 홈 32 : 설치홈

40 : 센싱수단 41 : 터미널

42 : 감지부 W : 웨이퍼

상기 목적은, 본 발명에 따라 양측이 개구된 상자 형태로서 양면에 균일한 간격으로 다수개의 슬롯을 형성하며, 저면에 지지부를 갖는 웨이퍼 카세트;와 상기 웨이퍼 카세트의 로딩시 이를 가이드하는 가이드 홈이 형성된 스테이지를 갖는 캐리어;와 상기 가이드 홈의 사방 모서리부에 설치홈을 형성하여 장착되는 다수개의 센서;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이때, 상기 센서는 하중에 따라 감지되는 온 오프 타입이다.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어의 분해사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 캐리어에 있어, 카세트와 캐리어의 결합상태를 보인 정단면도로서 이들 도면에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)를 적재하는 카세트(20)는 박스형태의 캐리어(10)에 수납되고, 상기 캐리어(10)는 저면에 위치하는 스테이지(30)에 H형의 가이드 홈(31)을 형성한다.

이때, 상기 가이드 홈(31)의 사방 모서리부에는 상기 센싱수단(40)을 장착하기 위한 별도의 설치홈(32)을 형성한다.

여기서, 상기 H형 가이드 홈(31)의 사방 모서리부에 다수개의 센싱수단(40)을 설치한다.

본 발명에 적용되는 센싱수단(40)은 플랜저 타입의 마이크로 센서로서 일측에는 전류가 인가되는 터미널(41)을 형성하고, 그 상면에는 감지부(42)를 형성한다.

이러한 구성에 따른 본 발명은, 캐리어(10)에 카세트(20)가 로딩되는 경우, H형 가이드 홈(31)의 사방 모서리부에 형성된 설치홈(32)에 설치되는 센싱수단(40)은 카세트(20)가 가이드 홈(31)에 로딩될 때 카세트(20) 지지부(21)의 저면이 센싱수단(40)의 감지부(42)를 누르게 되어 이 감지부(42)가 눌러지는 정도에 따라 카세트(20)의 로딩상태를 감지할 수 있다.

이때, 감지부(42)는 카세트(20)의 하중에 따라 감지부(42)가 눌러지는 온오프 타입으로서 카세트(20)가 적정하게 로딩되어 그 하중이 가해지는 감지부(42)는 센싱수단(40) 내부로 삽입되고, 카세트(20)의 언로딩시 감지부(42)는 센싱수단(40)의 외부로 돌출된다.

따라서, 캐리어에 카세트(20)의 로딩시 카세트(20)의 지지부(21)가 가이드 홈(31)을 벗어나면 지지부(21)는 가이드 홈(31)과의 단차만큼 감지부(42)가 눌러지지 않으므로 정상로딩상태로 확인되지 않게된다.

한편, 카세트(20)의 지지부(21)가 가이드 홈(31)에 적정하게 로딩되면 감지부(42)는 정상로딩상태로 확인될 수 있는만큼 눌러지게 되므로 정상로딩상태로 확인된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 캐리어 스테이지는 가이드 홈의 사방 모서리부에 다수개의 센싱수단을 구비하여 웨이퍼 카세트의 로딩시 카세트의 로딩상태를 확인하여 카세트의 로딩상태가 적정하지 않을 때 캐리어의 이송을 정지함으로서 웨이퍼의 브로큰 등을 미연에 방지하고 장비의 오염을 방지하는 효과가 있다.

Claims

양측이 개구된 상자 형태로서 양면에 균일한 간격으로 다수개의 슬롯을 형성하며, 저면에 지지부를 갖는 웨이퍼 카세트;와

상기 웨이퍼 카세트의 로딩시 이를 가이드하는 가이드 홈이 형성된 스테이지를 갖는 캐리어;와

상기 가이드 홈의 사방모서리부에 홈을 형성하여 장착되는 다수개의 센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어.
제 1항에 있어서,

상기 센서는 하중에 따라 감지부 눌러지는 온오프 타입인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어.