KR20040076120A - 웨이퍼 이송장치 및 그를 사용한 웨이퍼 이송방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 수직형 확산로를 구비하여 공정을 진행하는 확산설비에 설치되어 다수의 웨이퍼를 배치방식으로 이송시키기 위한 웨이퍼 이송장치를 제공한다. 이 웨이퍼 이송장치는 다수의 웨이퍼를 수용하여 확산로에서 확산공정이 진행되도록 하기 위한 보우트 및 이 보우트에 수용된 웨이퍼를 언로딩시키기 위한 트랜스퍼를 포함하되 트랜스퍼는 센서를 구비하여 보우트로부터 웨이퍼를 언로딩시키기 전에 보우트상에서 웨이퍼의 정렬을 감지하여 파손된 웨이퍼를 검출하도록 한다. 한편 본 발명은 수직형 확산로를 구비하여 공정을 진행하는 확산설비에 설치되어 다수의 웨이퍼를 배치방식으로 이송시키기 위한 웨이퍼 이송장치에 웨이퍼의 정렬를 감지하기 위한 센서를 갖는 트랜스퍼를 사용한 웨이퍼 이송방법을 제공한다. 이 웨이퍼 이송방법은 확산공정이 완료되어 이송된 보우트에 대해 센서를 동작시키면서 트랜스퍼를 웨이퍼가 순차적으로 놓이는 보우트의 길이방향으로 이송시키는 단계 및 센서에 의해 웨이퍼의 정렬이 잘못되어 파손된 웨이퍼가 검출되었을 때 이송작업을 중단시키고 외부로 경고를 발생하는 단계를 포함한다.

Description

웨이퍼 이송장치 및 그를 사용한 웨이퍼 이송방법{APPARATUS FOR CARRYING WAFER AND WAFER CARRYING METHOD USING IT}

본 발명은 웨이퍼 이송장치 및 그를 사용한 웨이퍼 이송방법에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 확산공정에서와 같이 다수의 웨이퍼를 배치방식으로 이송시키기 위한 웨이퍼 이송장치 및 그를 사용한 웨이퍼 이송방법에 관한 것이다.

반도체 제조공정중에서 확산(단위)공정에서는 박막, 에치, 포토공정 진행방법인 매엽식과는 달리 배치(batch)방식으로 공정으로 진행한다. 이와 같은 확산공정의 진행방법은 공정진행 후 발생되는 에지파손(edge broken)으로 인한 추가 로트(lot)의 피해를 발생시킬 수 있다. 즉, 매엽식은 챔버에서 카세트로 웨이퍼를 이송할 때 낱장으로 이송하나, 확산공정은 웨이퍼를 보트(boat)에서 카세트로 이송할 때 매엽식과 달리 5매씩 이송하는 배치방식을 사용하고 있는 것이다. 이와 같은 방식은 KOKUSAI, TEL 등과 같이 수직형 확산로를 사용하는 확산설비에 적용되고 있다.

도 1은 확산공정에 사용되는 웨이퍼 이송장치에서 파손된 웨이퍼가 발생된 경우를 보여주는 도면이고, 도 2a 내지 도 2d는 도 1과 같이 파손된 웨이퍼가 있을 경우 웨이퍼의 언로딩시 발생되는 추가적인 웨이퍼의 파손을 순차적으로 보여주는 도면들이다.

도 1 내지 도 2d를 참조하면, 종래 확산공정에서의 웨이퍼 이송은 보우트(10)에 수용되어 확산공정이 완료되었을 때, 트랜스퍼(600)를 이용해서 보우트(10)의 웨이퍼(100)를 단순히 이송하는 구성만으로 되어 있다. 이때 확산공정시 보우트(10)내에서 파손된 웨이퍼(110)가 발생된 경우에도 트랜스퍼(600)는 일정시간 웨이퍼를 냉각시킨 후에 이송공정을 진행하게 된다. 즉 트랜스퍼(600)의 포우크(602)는 웨이퍼의 유무만을 감지함으로 도 2a와 같이 파손된 웨이퍼(110)가 있어도 이를 판단하지 못하고, 도 2b와 같이 보우트(10)로 삽입되어 도 2c와 같이 파손된 웨이퍼(110)를 언로딩시키는 과정에서 도 2d와 같이 파손된 웨이퍼(110)가 다른 웨이퍼(100)를 손상시키거나 파손된 웨이퍼(110) 조각이 보우트에 남는 결과를 가져오게 된다.

따라서 종래 배치방식의 이송은 1매의 웨이퍼가 파손되었을 때 트랜스퍼(transfer)가 웨이퍼를 이송할 때 파손된 웨이퍼의 전, 후 슬롯(slot)의 웨이퍼를 추가로 파손시키거나 스크래치를 발생시키는 문제점이 발생되고 있다.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 반도체 제조공정에서 다수의 웨이퍼를 이송하는 보우트에서 파손된 웨이퍼에 의해 추가적으로 발생되는 손실을 방지할 수 있는 새로운 형태의 웨이퍼 이송장치 및 그를 사용한 웨이퍼 이송방법을 제공하는데 있다. 특히 본 발명은 반도체 제조공정중 확산공정에서 배치방식으로 웨이퍼를 이송하는 보우트에서 파손된 웨이퍼로 인해 발생되는 추가적인 웨이퍼의 손실을 방지할 수 있는 새로운 형태의 웨이퍼 이송장치 및 그를 사용한 웨이퍼 이송방법을 제공하는데 있다.

도 1은 확산공정에 사용되는 웨이퍼 이송장치에서 파손된 웨이퍼가 발생된 경우를 보여주는 도면;

도 2a 내지 도 2d는 도 1과 같이 파손된 웨이퍼가 있을 경우 웨이퍼의 언로딩시 발생되는 추가적인 웨이퍼의 파손을 순차적으로 보여주는 도면들;

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 이송장치를 설명하기 위한 도면;

도 4는 도 3의 웨이퍼 이송장치를 사용한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 이송방법을 설명하기 위한 플로우 챠트이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 보우트 20 : 트랜스퍼

30 : 센서 100 : 웨이퍼

110 : 파손된 웨이퍼

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명은 수직형 확산로를 구비하여 공정을 진행하는 확산설비에 설치되어 다수의 웨이퍼를 배치방식으로 이송시키기 위한 웨이퍼 이송장치를 제공한다. 이 웨이퍼 이송장치는 다수의 웨이퍼를 수용하여 상기 확산로에서 확산공정이 진행되도록 하기 위한 보우트 및; 상기 보우트에 수용된 웨이퍼를 언로딩시키기 위한 트랜스퍼를 포함하되; 상기 트랜스퍼는 센서를 구비하여 상기 보우트로부터 웨이퍼를 언로딩시키기 전에 상기 보우트상에서 웨이퍼의 정렬을 감지하여 파손된 웨이퍼를 검출하도록 한다.

이와 같은 본 발명에서 상기 센서는 포토센서일 수 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 본 발명은 수직형 확산로를 구비하여 공정을 진행하는 확산설비에 설치되어 다수의 웨이퍼를 배치방식으로 이송시키기 위한 웨이퍼 이송장치에 웨이퍼의 정렬를 감지하기 위한 센서를 갖는 트랜스퍼를 사용한 웨이퍼 이송방법을 제공한다. 이 웨이퍼 이송방법은 확산공정이 완료되어 이송된 보우트에 대해 상기 센서를 동작시키면서 상기 트랜스퍼를 웨이퍼가 순차적으로 놓이는 상기 보우트의 길이방향으로 이송시키는 단계 및; 상기 센서에 의해 웨이퍼의 정렬이 잘못되어 파손된 웨이퍼가 검출되었을 때 이송작업을 중단시키고 외부로 경고를 발생하는 단계를 포함한다.

이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치 및 방법을 첨부된 도면 3 및 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 이때 도 3 및 도 4에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 이송장치를 설명하기 위한 도면이다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 이송장치는 보우트(10)와 트랜스퍼(20)를 구비하고, 트랜스퍼(20)에는 센서(30)가 설치된다. 보우트(10)는 다수개의 웨이퍼(100)를 수용하여 확산로(도시 않음)에서 공정이 진행되도록 한다. 이 보우트(10)는 KOKUSAI, TEL사 등의 수직형 확산로가 적용되는 확산설비에 사용되고 배치방식이 적용된 형태이다. 본 발명의 특징은 트랜스퍼(20)에 포토센서와 같이 보우트(10)에 수용된 웨이퍼(100)의 정렬을 감지할 수 있는 센서(30)를 직접 설치한다는 것이다. 물론 이 센서(30)의 개수 및 설치 위치는 이 분야의 종사자들이 다양한 형태로 적용할 수 있을 것이다.

이와 같이 본 발명은 센서(30)가 설치된 트랜스퍼(20)는 확산공정이 완료된 웨이퍼를 보우트(10)로부터 카세트(도시 않음)로 이송하기 위해 적용된다. 그 방법은 상기 확산 공정등과 같은 반도체 장치의 제조 공정을 진행한 후, 트랜스퍼(20)가 웨이퍼(100)를 이송하기 전에 보우트(10)의 상부로부터 하부로 움직이면서, 상기 센서(30)를 사용하여 상기 보우트(10) 내에 파손된 웨이퍼(110)가 존재하는지 검색한다. 이때, 파손된 웨이퍼(110)가 검색된다면, 반도체 제조설비에 인터록(interlock)을 발생시켜 파손된 웨이퍼(110)의 조각들을 제거함으로써 원가절감 및 생산량을 최대화할 수 있다.

도 4는 도 3의 웨이퍼 이송장치를 사용한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 이송방법을 설명하기 위한 플로우 챠트이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송방법은 전술한 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치를 사용한다. 이 웨이퍼 이송방법은 확산공정이 완료(S500)되어 이송된 보우트(S510)에 대해 전술한 센서(30)를 동작시키면서 트랜스퍼(20)를 웨이퍼가 순차적으로 놓이는 보우트(10)의 길이방향으로이송시킨다(S520). 이 과정에서 파손된 웨이퍼가 검출(S530)되지 않았을 때 트랜스퍼(20)에 의한 웨이퍼의 이송이 이루어지고(S540), 센서(30)에 의해 웨이퍼의 정렬이 잘못되어 파손된 웨이퍼(110)가 검출(S530)되었을 때 이송작업을 중단시키고 외부로 경고를 발생(S500)한다. 여기서 파손된 웨이퍼(110)가 검출되었을 때 외부로 경고하는 방법은 디스플레, 경고음 또는 빛 등의 다양한 방법이 적용될 수 있을 것이다.

상술한 바와 같은, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 이송을 위한 보우트 장치 및 방법을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.

본 발명에 의하면, 확산공정과 같이 다수의 웨이퍼를 이송하는 배치방법의 웨이퍼 이송을 위한 보우트에 있어서 웨이퍼의 이송전에 웨이퍼 정렬의 이상유무를 검출함으로써 공정시 발생되는 웨이퍼 에지파손으로 인한 로트의 피해를 최소화하고 로트의 피해로 인한 생산설비의 오염도를 최소화할 수 있다.

Claims (3)

1. 수직형 확산로를 구비하여 공정을 진행하는 확산설비에 설치되어 다수의 웨이퍼를 배치방식으로 이송시키기 위한 웨이퍼 이송장치에 있어서,

   다수의 웨이퍼를 수용하여 상기 확산로에서 확산공정이 진행되도록 하기 위한 보우트 및;

   상기 보우트에 수용된 웨이퍼를 언로딩시키기 위한 트랜스퍼를 포함하되;

   상기 트랜스퍼는 센서를 구비하여 상기 보우트로부터 웨이퍼를 언로딩시키기 전에 상기 보우트상에서 웨이퍼의 정렬을 감지하여 파손된 웨이퍼를 검출하도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 센서는 포토센서인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
3. 수직형 확산로를 구비하여 공정을 진행하는 확산설비에 설치되어 다수의 웨이퍼를 배치방식으로 이송시키기 위한 웨이퍼 이송장치에 웨이퍼의 정렬를 감지하기 위한 센서를 갖는 트랜스퍼를 사용한 웨이퍼 이송방법에 있어서,

   확산공정이 완료되어 이송된 보우트에 대해 상기 센서를 동작시키면서 상기 트랜스퍼를 웨이퍼가 순차적으로 놓이는 상기 보우트의 길이방향으로 이송시키는 단계 및;

   상기 센서에 의해 웨이퍼의 정렬이 잘못되어 파손된 웨이퍼가 검출되었을 때 이송작업을 중단시키고 외부로 경고를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송방법.