KR102394979B1 - 풉케이스안착시스템 - Google Patents

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KR102394979B1 KR1020220010351A KR20220010351A KR102394979B1 KR 102394979 B1 KR102394979 B1 KR 102394979B1 KR 1020220010351 A KR1020220010351 A KR 1020220010351A KR 20220010351 A KR20220010351 A KR 20220010351A KR 102394979 B1 KR102394979 B1 KR 102394979B1
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Abstract

본 발명은 복수의 웨이퍼가 내장된 풉케이스가 안착 될 수 있도록 하는 풉케이스안착시스템에 대한 것이다.

Description

풉케이스안착시스템{FOUP Case Mounting System}
본 발명은 풉케이스안착시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수의 웨이퍼가 내장된 풉케이스가 안착 될 수 있도록 하는 풉케이스안착시스템에 대한 것이다.
반도체의 제조 공정에 있어서, 수율이나 품질의 향상을 위해 청정한 클린룸 내에서의 웨이퍼의 처리가 이루어지고 있다. 그러나, 소자의 고집적화나 회로의 미세화, 웨이퍼의 대형화가 진행됨에 따라, 클린룸 전체를 청정한 상태로 유지하는 것은 기술적 비용적으로 곤란하게 되었다.
이러한 문제를 해결하기 위해서, 최근에는 웨이퍼 주위의 공간에 대해서만 청정도의 관리를 하게 되었다. 구체적으로, 풉(FOUP, Front-Opening Unified Pod)이라 불리는 밀폐식의 저장 포드의 내부에 웨이퍼가 저장된다. 웨이퍼의 가공을 행하는 공정장비와 풉 사이에서의 웨이퍼의 전달을 위해서는, 이에프이엠(EFEM, Equipment Front End Module)이라 불리는 장치가 이용되고 있다. 이러한 이에프이엠은 로드 포트 모듈에 안착된 풉에 대해 질소 충전을 진행하여 웨이퍼의 청정도를 관리하고 있다.
그러나, 이러한 질소 충전 작업이 로드 포트 모듈에서 진행 중인 경우에, 비히클은 해당 로드 포트 모듈에 풉을 내려놓을 수 없다. 그에 따라, 비히클이 질소 충전 작업의 완료시까지 대기하는 경우라면, 비히클 운용의 효율성이 떨어지게 된다.
로드 포트 모듈 역시 질소 충전 작업 완료시까지 다른 작업이 불가하다. 그에 의해, 이에프이엠 및 공정장비의 생산성이 감소된다.
나아가, 웨이퍼 반송 로봇 역시 반송실 내에서 효율적으로 작업하지 못한다. 예를 들어, 웨이퍼 반송 로봇이 시간당 20개의 풉(하나의 풉은 25장의 웨이퍼 수용)을 처리하는 경우라면, 3분당 1개의 새로운 풉이 로드 포트 모듈에 안착되어야 최대의 생산성을 발휘할 수 있다. 그러나, 새로운 풉이 로드 포트 모듈에 안착되어야 하는 점에 기존 풉이 해당 로드 포트 모듈에서 질소 충전 작업 중에 있다면, 이러한 생산성은 달성될 수 없게 된다.
대한민국등록특허 제10-1266131호 대한민국등록특허 제10-0772845호
본 발명은 복수의 웨이퍼가 내장된 풉케이스가 안착 고정될 수 있도록 하는 구성을 제공하는 것을 목적으로 한다.
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복수의 웨이퍼가 내장된 풉케이스가 안착 될 수 있도록 하는 풉케이스안착시스템에 있어서, 상기 풉케이스안착시스템은, 풉케이스안착시스템의 일측으로 형성되는 고정패널과, 풉케이스의 일측면이 밀착되도록 고정패널 면에 형성되는 케이스밀착면과, 풉안착플레이트에 형성되는 바홈에 삽입될 수 있도록 고정패널 하부로 형성되는 돌기고정바와, 에어실린더가 안착될 수 있도록 고정패널 하부 일측으로 형성되는 실린더안착바와, 에어실린더의 실린더축에 연결되고, 일측이 풉안착플레이트 하면에 고정 형성되는 실린더바와, 풉케이스가 안착되어 슬라이드 이동될 수 있도록 플레이트가이드레일에 안착형성되는 풉안착플레이트와, 돌기고정바가 슬라이드 삽입될 수 있도록 풉안착플레이트 중앙 일측으로 형성되는 바홈과, 풉케이스 하면에 형성되는 홈에 걸리도록 풉안착플레이트 상면에 복수개 형성되는 안착돌기와, 플레이트가이드레일을 따라 슬라이드될 수 있도록 일측이 풉안착플레이트에 고정되고, 타측이 플레이트가이드레일에 안착되는 레일부재와, 레일부재가 안착될 수 있도록 고정패널 하부 양측으로 형성되는 플레이트가이드레일과, 풉안착플레이트를 슬라이드 이동시키기 위해 실린더안착바에 안착 형성되어 실린더 축이 실린더바에 연결 형성되는 에어실린더와, 풉안착플레이트에 안착되는 풉케이스 하면 일측으로 형성되는 홈에 밀착되도록 돌기고정바 일측단에서 상부방향으로 형성되는 케이스걸림돌기와, 플레이트가이드레일에 안착되어 슬라이드 이동되는 풉안착플레이트가 일측방향으로 전진 이동시 풉안착플레이트의 일측면이 밀착되어 풉안착플레이트가 더이상 전진 이동되지 못하도록 돌기고정바 일측단에서 하부방향으로 형성되는 플레이트걸림돌기와, 풉케이스의 안착을 감지하기 위해 풉안착플레이트 상면에 복수개 형성되는 케이스안착센서로 이루어지되, 상기 풉케이스안착시스템은, 진동 및 충격에 의한 흔들림을 방지하도록 풉케이스의 하부를 고정시키기 위한 것으로, 풉케이스가 안착 가능한 풉안착플레이트의 상부에 형성되는 케이스고정부를 더 포함하며, 상기 케이스고정부는, 상기 풉안착플레이트와 일정 간격을 두고 대응되도록 형성되어 풉케이스가 안착 고정되는 고정안착판과, 상기 고정안착판을 상기 풉안착플레이트 상에 일정간격을 두고 형성시키기 위해 상기 고정안착판과 상기 풉안착플레이트 사이에 복수개 형성되는 연결지지대로 이루어지며, 상기 케이스고정부는, 일측방향에서 단일밀착대가 풉케이스 측으로 이동하여 고정시키기 위한 단일고정수단; 또는 일측방향의 제1회전밀착대와 타측방향의 제2회전밀착대가 풉케이스 측으로 이동하여 풉케이스의 형태에 따라 회전되어 밀착 고정하기 위한 복수회전고정수단; 중 어느 하나의 수단을 선택하여 설치되되, 상기 단일고정수단은, 단일밀착대에 의해 이동되는 풉케이스가 걸려 고정되도록 상기 고정안착판 상부 일측으로 형성되는 고정단과, 상기 고정안착판에 안착되는 풉케이스를 일측에서 밀어 고정단 측으로 밀착시키기 위해 상기 고정안착판 상부 타측에서 단일부재홈을 따라 이동가능하도록 형성되는 단일밀착대와, 상기 단일밀착대를 이동시키기 위해 일측이 상기 단일밀착대에 연결되고, 타측이 단일스크류에 결합되어 슬라이드되도록 형성되는 단일이동부재와, 단일스크류를 고정하기 위해 상기 고정안착판 하면 양측으로 형성되는 스크류고정대와, 양측으로 형성되는 상기 스크류고정대 상에 형성되어 상기 단일이동부재가 슬라이드될 수 있도록 형성되는 단일스크류와, 상기 단일스크류를 회전시키기 위해 일측으로 형성되는 상기 스크류고정대 일측으로 형성되는 단일모터와, 상기 단일이동부재가 이동될 수 있도록 상기 고정안착판 상에 형성되는 단일부재홈과, 풉케이스 밀착시 밀착됨을 감지하여 감지된 정보를 상기 단일모터 측으로 제공하도록 상기 단일밀착대 일측으로 형성되는 밀착센서로 이루어지며, 상기 복수회전고정수단은, 제1회전축이 이동될 수 있도록 상기 고정안착판 상 일측으로 복수개 형성되는 제1축홈과, 제1스크류를 고정하기 위해 상기 고정안착판 하부 일측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 제1스크류대와, 복수개 형성되는 제1스크류대 상에 결합 형성되는 제1스크류와, 상기 제1스크류에 결합되어 이동되도록 형성되는 제1이동부재와, 제1회전밀착대가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제1회전밀착대가 회전될 수 있도록 상기 제1이동부재 상부로 형성되는 제1회전축과, 풉케이스 일측에 밀착되도록 상기 제1회전축 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 제1회전밀착대와, 제2회전축이 이동될 수 있도록 상기 고정안착판 상 타측으로 복수개 형성되는 제2축홈과, 제2스크류를 고정하기 위해 상기 고정안착판 하부 타측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 제2스크류대와, 복수개 형성되는 상기 제2스크류대 상에 결합 형성되는 제2스크류와, 상기 제2스크류에 결합되어 이동되도록 형성되는 제2이동부재와, 제2회전밀착대가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제2회전밀착대가 회전될 수 있도록 상기 제2이동부재 상부로 형성되는 제2회전축와, 풉케이스 일측에 밀착되도록 상기 제2회전축 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 제2회전밀착대로 이루어지며, 상기 풉케이스안착시스템은, 풉케이스를 교체하기 위해 사용된 풉케이스 또는 사용전 풉케이스 중 어느 하나의 풉케이스가 보관되도록 풉케이스안착시스템 일측 지면에 형성되는 케이스보관거치부를 더 포함하며, 상기 케이스보관거치부는, 풉케이스가 안착되어 보관함 측으로 이동될 수 있도록 수직이송수단과 수평이송승하강수단이 형성되는 거치플레이트와, 상기 거치플레이트를 지지하도록 상기 거치플레이트 하면에 복수개 형성되는 거치프레임과, 풉케이스가 보관될 수 있도록 상기 거치플레이트 일측으로 복수의 보관공간이 형성되는 보관함과, 풉케이스가 각각 보관될 수 있도록 보관함 상에 복수개 형성되는 보관공간과, 풉케이스를 수평이송승하강수단 측으로 이송시키기 위해 상기 거치플레이트 일측으로 형성되는 수직이송수단과, 상기 수직이송수단을 따라 이송되는 풉케이스를 수평방향으로 이송후 해당 상기 보관공간 측으로 상승시키도록 상기 거치플레이트 중앙 측으로 형성되는 수평이송승하강수단과, 해당 보관공간 측으로 상승된 풉케이스를 상기 보관공간 측으로 이동시키기 위해 각 보관공간 상마다 각각 형성되는 보관이동수단을 포함하며, 상기 수직이송수단은, 수직이송바가 일측방향 또는 타측방향 중 어느 한방향으로 이동될 수 있도록 상기 거치플레이트 상에 형성되는 수직이송홈과, 수직이송스크류를 상기 거치플레이트 상에 고정시키기 위해 상기 거치플레이트 하면에서 수직방향으로 일측과 타측으로 형성되는 수직스크류부재와, 상기 거치플레이트 하면에 형성되는 복수개의 상기 수직스크류부재 상에 결합 형성되는 수직이송스크류와, 회전되는 상기 수직이송스크류에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 수직이송부재와, 상기 거치플레이트 상에 안착되는 풉케이스에 밀착되어 수평이송승하강수단 측으로 밀어 이동시키기 위해 상기 수직이송부재 상부로 형성되는 수직이송바와, 수직이송스크류를 회전시키기 위해 일측으로 형성되는 상기 수직스크류부재에 결합 형성되어 모터축이 상기 수직이송스크류에 연결 형성되는 수직스크류모터로 이루어지며, 상기 수평이송승하강수단은, 상승실린더가 수평방향으로 이동될 수 있도록 상기 거치플레이트 상에 수평방향으로 형성되는 수평이송홈과, 수평이송스크류를 거치플레이트 상에 고정시키기 위해 상기 상기 거치플레이트 하면에서 수평방향으로 일측과 타측으로 형성되는 수평스크류부재와, 상기 거치플레이트 하면에 형성되는 복수개의 상기 수평스크류부재 상에 결합 형성되는 수평이송스크류와, 회전되는 상기 수평이송스크류에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 수평이송부재와, 상승실린더가 안착되도록 상기 수평이송부재 상부로 형성되는 실린더안착부재와, 상기 실린더안착부재를 승하강 시키기 위해 상기 실린더안착부재 상부로 안착 형성되는 상승실린더와, 상기 수직이송바에 의해 이송된 풉케이스가 안착되도록 상기 상승실린더 상부로 형성되는 상승판으로 이루어지며, 상기 보관이동수단은, 풉케이스의 일측면을 지지하도록 "ㄴ"형태로 형성되는 밀착지지부재와, 상기 밀착지지부재 내부로 위치된 풉케이스의 타측면으로 밀착되도록 상기 밀착지지부재 일측에서 슬라이드 가능하도록 형성되는 케이스밀착바와, 밀착가이드를 지지하도록 상기 밀착지지부재 상부 일측과 타측으로 각각 형성되는 가이드지지부재와, 밀착구동부재가 슬라이드 가능하도록 형성되며, 상기 가이드지지부재 상에 고정되도록 형성되는 밀착가이드와, 일측이 밀착가이드에 결합되어 슬라이드 되도록 형성되며, 중앙은 상기 케이스밀착바에 연결되어 상기 밀착가이드를 따라 이동시 상기 케이스밀착바가 상기 밀착지지부재 측으로 이동되도록 하기 위해 형성되는 밀착구동부재와, 일측이 상기 밀착지지부재 후면에 형성되어, 상기 밀착구동부재를 이동시키기 위해 상기 밀착구동부재의 타측에 연결되는 밀착구동실린더와, 상기 밀착지지부재를 상승판에 안착된 풉케이스 측으로 이동시키기 위해 보관공간 내면에 형성되며, 상기 밀착지지부재 후면에 실린더 축이 연결 형성되는 전후진실린더로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이, 다양한 형태의 풉케이스가 안착될 수 있도록 하여 다양한 풉케이스의 호환이 가능하도록 하여 안착포트를 교체없이 사용함으로 작업의 효율성을 극대화하는 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명 풉케이스안착시스템에 대한 사시도이다.
도 2는 도 1에 대한 상세도이다.
도 3은 풉케이스안착시스템에 대한 또다른 실시예인 케이스고정부의 단일고정수단을 나타낸 도면이다.
도 4는 풉케이스안착시스템에 대한 또다른 실시예인 케이스고정부의 복수회전고정수단을 나타낸 도면이다.
도 5는 풉케이스안착시스템에 대한 또다른 실시예인 케이스보관거치부를 나타낸 도면이다.
도 6과 도 7과 도 8은 도 5에 대한 상세도이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
이하, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명 풉케이스안착시스템(500)에 대한 사시도이며, 도 2는 도 1에 대한 상세도이다.
상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 풉케이스안착시스템(500)는 고정패널(510), 케이스밀착면(511), 돌기고정바(512), 실린더안착바(513), 실린더바(514), 풉안착플레이트(520), 바홈(521), 안착돌기(522), 레일부재(523), 플레이트가이드레일(524), 에어실린더(525), 케이스걸림돌기(526), 플레이트걸림돌기(527), 케이스안착센서(528)를 포함한다.
상기 고정패널(510)은 풉케이스안착시스템(500) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 케이스밀착면(511)은 풉케이스의 일측면이 밀착되도록 형성되는 것으로, 상기 케이스밀착면(511)은 고정패널(510) 면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 돌기고정바(512)는 풉안착플레이트(520)에 형성되는 바홈(521)에 삽입될 수 있도록 형성되는 것으로, 고정패널(510) 하부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 실린더안착바(513)는 에어실린더(525)가 안착될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 실린더안착바(513)는 고정패널(510) 하부 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 실린더바(514)는 에어실린더(525)의 실린더축에 연결되고, 일측이 풉안착플레이트(520) 하면에 고정 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 풉안착플레이트(520)는 풉케이스가 안착되어 슬라이드 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 풉안착플레이트(520)는 플레이트가이드레일(524)에 안착형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 바홈(521)은 돌기고정바(512)가 슬라이드 삽입될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 바홈(521)은 풉안착플레이트(520) 중앙 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 안착돌기(522)는 풉케이스가 안착되어 걸리도록 형성되는 것으로, 상기 안착돌기(522)는 풉안착플레이트(520) 상면에 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 레일부재(523)는 플레이트가이드레일(524)을 따라 슬라이드될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 레일부재(523)는 일측이 풉안착플레이트(520)에 고정되고, 타측이 플레이트가이드레일(524)에 안착되는 것을 특징으로 한다.
상기 플레이트가이드레일(524)은 레일부재(523)가 안착될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 플레이트가이드레일(524)은 고정패널(510) 하부 양측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 에어실린더(525)는 풉안착플레이트(520)을 슬라이드 이동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 에어실린더(525)는 실린더안착바(513)에 안착 형성되어 실린더 축이 실린더바(514)에 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 케이스걸림돌기(526)는 풉케이스 하면 일측에 형성되는 홈에 밀착되도록 돌기고정바(512) 일측단에서 상부방향으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 플레이트걸림돌기(527)는 플레이트가이드레일(524)에 안착되어 슬라이드 이동되는 풉안착플레이트(520)가 일측방향으로 전진 이동시 풉안착플레이트(520)의 일측면이 밀착되어 풉안착플레이트(520)가 더이상 전진되지 않도록 돌기고정바(512) 일측단에서 하부방향으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
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상기 케이스안착센서(528)는 풉케이스의 안착을 감지하기 위해 형성되는 것으로, 상기 케이스안착센서(528)는 풉안착플레이트(520) 상면에 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.
도 3은 풉케이스안착시스템에 대한 또다른 실시예인 케이스고정부의 단일고정수단에 대한 도면이며, 도 4는 풉케이스안착시스템에 대한 또다른 실시예인 케이스고정부의 복수회전고정수단에 대한 도면이다.
상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 케이스고정부(600)는 풉케이스안착시스템(500)에 더 포함하는 것으로, 상기 케이스고정부(600)는 진동 및 충격에 의한 흔들림을 방지하도록 풉케이스의 하부를 고정시키기 위한 것으로, 풉케이스가 안착 가능한 풉안착플레이트의 상부에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 케이스고정부(600)는 고정안착판(610), 연결지지대(611), 단일고정수단(620)과 복수회전고정수단(650)을 포함한다.
상기 고정안착판(610)은 풉케이스가 안착되도록 풉안착플레이트(520) 상부로 형성되는 연결지지대에 의해 안착 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 연결지지대(611)는 고정안착판(610)을 풉안착플레이트(520) 상에 일정간격을 두고 형성시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 연결지지대(611)는 고정안착판(610)과 풉안착플레이트(520) 사이에 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 단일고정수단(620)은 풉케이스를 일측방향에서 타측방향으로 밀어 고정시키기 위한 것을 특징으로 한다.
상기 단일고정수단(620)은 고정단(621), 단일밀착대(622), 단일이동부재(623), 스크류고정대(624), 단일스크류(625), 단일모터(626), 단일부재홈(627), 밀착센서(628)를 포함한다.
상기 고정단(621)은 단일밀착대(622)에 의해 이동되는 풉케이스가 걸려 고정되도록 형성되는 것으로, 상기 고정단(621)은 고정안착판(610) 상부 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 단일밀착대(622)는 고정안착판(610)에 안착되는 풉케이스를 일측에서 밀어 고정단(621) 측으로 밀착시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 단일밀착대(622)는 고정안착판(610) 상부 타측에서 단일부재홈(627)을 따라 이동가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 단일이동부재(623)는 단일밀착대(622)를 이동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 단일이동부재(623)는 일측이 단일밀착대(622)에 연결되고, 타측이 단일스크류(625)에 결합되어 슬라이드되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 스크류고정대(624)는 단일스크류(625)를 고정하기 위해 형성되는 것으로, 상기 스크류고정대(624)는 고정안착판(610) 하면 양측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 단일스크류(625)는 양측으로 형성되는 스크류고정대(624) 상에 형성되어 단일이동부재(623)가 슬라이드될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 단일모터(626)는 단일스크류(625)를 회전시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 단일모터(626)는 일측으로 형성되는 스크류고정대(624) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 단일부재홈(627)은 단일이동부재(623)가 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 단일부재홈(627)은 고정안착판(610) 상에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 밀착센서(628)는 풉케이스 밀착시 밀착됨을 감지하여 감지된 정보를 단일모터(626) 측으로 제공하도록 형성되는 것으로, 상기 밀착센서(628)는 단일밀착대(622) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 복수회전고정수단(650)은 양측 방향에서 풉케이스 측으로 이동하여 풉케이스의 형태에 따라 회전되어 밀착 고정하기 위한 것을 특징으로 한다.
상기 복수회전고정수단(650)은 제1축홈(651), 제1스크류대(652), 제1스크류(653), 제1이동부재(654), 제1회전축(655), 제1회전밀착대(656), 제2축홈(657), 제2스크류대(658), 제2스크류(659), 제2이동부재(660), 제2회전축(661), 제2회전밀착대(662)를 포함한다.
상기 제1축홈(651)은 제1회전축(655)이 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 제1축홈(651)은 고정안착판(610) 상 일측으로 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1스크류대(652)는 제1스크류(653)를 고정하기 위해 형성되는 것으로, 상기 제1스크류대(652)는 고정안착판(610) 하부 일측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1스크류(653)는 복수개 형성되는 제1스크류대(652) 상에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1이동부재(654)는 제1스크류(653)에 결합되어 이동되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1회전축(655)은 제1회전밀착대(656)가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제1회전밀착대(656)가 회전될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 제1회전축(655)은 제1이동부재(654) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1회전밀착대(656)는 풉케이스 일측에 밀착되도록 형성되는 것으로, 상기 제1회전밀착대(656)는 제1회전축(655) 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2축홈(657)은 제2회전축(661)이 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 제2축홈(657)은 고정안착판(610) 상 타측으로 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2스크류대(658)는 제2스크류(659)를 고정하기 위해 형성되는 것으로, 상기 제2스크류대(658)는 고정안착판(610) 하부 타측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2스크류(659)는 복수개 형성되는 제2스크류대(658) 상에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2이동부재(660)는 제2스크류(659)에 결합되어 이동되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2회전축(661)은 제2회전밀착대(662)가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제2회전밀착대(662)가 회전될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 제2회전축(661)은 제2이동부재(660) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2회전밀착대(662)는 풉케이스 일측에 밀착되도록 형성되는 것으로, 상기 제2회전밀착대(662)는 제2회전축(661) 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
도 5는 풉케이스안착시스템(500)에 대한 또다른 실시예인 케이스보관거치부(700)를 나타낸 도면이며, 도 6과 도 7과 도 8은 도 5에 대한 상세도이다.
상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 케이스보관거치부(700)는 풉케이스안착시스템(500)에 더 포함하는 것으로, 상기 케이스보관거치부(700)는 풉케이스를 교체하기 위해 사용된 풉케이스 또는 사용전 풉케이스 중 어느 하나의 풉케이스가 보관되도록 풉케이스안착시스템(500) 일측 지면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 케이스보관거치부(700)는 거치플레이트(710), 거치프레임(711), 보관함(712), 보관공간(713), 수직이송수단(730), 수평이송승하강수단(750), 보관이동수단(770)을 포함한다.
상기 거치플레이트(710)는 풉케이스가 안착되어 보관함(712) 측으로 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 거치플레이트(710)는 수직이송수단(730)과 수평이송승하강수단(750)이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 거치프레임(711)은 거치플레이트(710)를 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 거치프레임(711)은 거치플레이트(710) 하면에 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 보관함(712)은 풉케이스가 보관될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 보관함(712)은 거치플레이트(710) 일측으로 복수의 보관공간(713)이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 보관공간(713)은 풉케이스가 각각 보관될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 보관공간(713)은 보관함(712) 상에 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수직이송수단(730)은 풉케이스를 수평이송승하강수단(750) 측으로 이송시키기 위해 거치플레이트(710) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수직이송수단(730)은 수직이송홈(731), 수직스크류부재(732), 수직이송스크류(733), 수직이송부재(734), 수직이송바(735), 수직스크류모터(736)를 포함한다.
상기 수직이송홈(731)은 수직이송바(735)가 수직방향으로 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 수직이송홈(731)은 거치플레이트(710) 상에 수직방향으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수직스크류부재(732)는 수직이송스크류(733)를 거치플레이트(710) 상에 고정시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 수직스크류부재(732)는 상기 거치플레이트(710) 하면에서 수직방향으로 일측과 타측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수직이송스크류(733)는 거치플레이트(710) 하면에 형성되는 복수개의 수직스크류부재(732) 상에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수직이송부재(734)는 회전되는 수직이송스크류(733)에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수직이송바(735)는 거치플레이트(710) 상에 안착되는 풉케이스에 밀착되어 수평이송승하강수단(750) 측으로 밀어 이동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 수직이송바(735)는 수직이송부재(734) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수직스크류모터(736)는 수직이송스크류(733)를 회전시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 수직스크류모터(736)는 일측으로 형성되는 수직스크류부재(732)에 결합 형성되어 모터축이 수직이송스크류(733)에 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수평이송승하강수단(750)은 수직이송수단(730)을 따라 이송되는 풉케이스를 수평방향으로 이송후 해당 보관공간(713) 측으로 상승시키도록 거치플레이트(710) 중앙 측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수평이송승하강수단(750)은 수평이송홈(751), 수평스크류부재(752), 수평이송스크류(753), 수평이송부재(754), 실린더안착부재(755), 상승실린더(756), 상승판(757)을 포함한다.
상기 수평이송홈(751)은 상승실린더(756)가 수평방향으로 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 수평이송홈(751)은 거치플레이트(710) 상에 수평방향으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수평스크류부재(752)는 수평이송스크류(753)를 거치플레이트(710) 상에 고정시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 수평스크류부재(752)는 상기 거치플레이트(710) 하면에서 수평방향으로 일측과 타측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수평이송스크류(753)는 거치플레이트(710) 하면에 형성되는 복수개의 수평스크류부재(752) 상에 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수평이송부재(754)는 회전되는 수평이송스크류(753)에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 실린더안착부재(755)는 상승실린더(756)가 안착되도록 수평이송부재(754) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 상승실린더(756)는 실린더안착부재(755)를 승하강 시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 상승실린더(756)는 실린더안착부재(755) 상부로 안착 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 상승판(757)은 수직이송바(735)에 의해 이송된 풉케이스가 안착되도록 형성되는 것으로, 상기 상승판(757)은 상승실린더(756) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 보관이동수단(770)은 해당 보관공간(713) 측으로 상승된 풉케이스를 보관공간(713) 측으로 이동시키기 위해 각 보관공간(713) 상 마다 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 보관이동수단(770)은 밀착지지부재(771), 케이스밀착바(772), 가이드지지부재(773), 밀착가이드(774), 밀착구동부재(775), 밀착구동실린더(776), 전후진실린더(777)을 포함한다.
상기 밀착지지부재(771)는 풉케이스의 일측면을 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 밀착지지부재(771)는 "ㄴ"형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 케이스밀착바(772)는 밀착지지부재(771) 내부로 위치된 풉케이스의 타측면으로 밀착되도록 형성되는 것으로, 상기 케이스밀착바(772)는 밀착지지부재(771) 일측에서 슬라이드 가능하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 가이드지지부재(773)는 밀착가이드(774)를 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 가이드지지부재(773)는 밀착지지부재(771) 상부 일측과 타측으로 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 밀착가이드(774)는 밀착구동부재(775)가 슬라이드 가능하도록 형성되며, 가이드지지부재(773) 상에 고정되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 밀착구동부재(775)는 일측이 밀착가이드(774)에 결합되어 슬라이드 되도록 형성되며, 중앙은 케이스밀착바(772)에 연결되어 밀착가이드(774)를 따라 이동시 케이스밀착바(772)가 밀착지지부재(771) 측으로 이동되도록 하기 위해 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 밀착구동실린더(776)는 일측이 밀착지지부재(771) 후면에 형성되어, 밀착구동부재(775)를 이동시키기 위해 밀착구동부재(775)의 타측에 연결되는 것을 특징으로 한다.
상기 전후진실린더(777)는 밀착지지부재(771)를 상승판(757)에 안착된 풉케이스 측으로 이동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 전후진실린더(777)는 보관공간(713) 내면에 형성되며, 밀착지지부재(771) 후면에 실린더 축이 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.
상술된 실시예들은 예시를 위한 것이며, 상술된 실시예들이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술된 실시예들이 갖는 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 명세서를 통해 보호받고자 하는 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
500 : 풉케이스안착시스템
510 : 고정패널 511 : 케이스밀착면
512 : 돌기고정바 513 : 실린더안착바
514 : 실린더바 520 : 풉안착플레이트
521 : 바홈 522 : 안착돌기
523 : 레일부재 524 : 플레이트가이드레일
525 : 에어실린더 526 : 케이스걸림돌기
527 : 플레이트걸림돌기 528 : 케이스안착센서
600 : 케이스고정부
610 : 고정안착판 611 : 연결지지대
620 : 단일고정수단 621 : 고정단
622 : 단일밀착대 623 : 단일이동부재
624 : 스크류고정대 625 : 단일스크류
626 : 단일모터 627 : 단일부재홈
628 : 밀착센서
650 : 복수회전고정수단 651 : 제1축홈
652 : 제1스크류대 653 : 제1스크류
654 : 제1이동부재 655 : 제1회전축
656 : 제1회전밀착대 657 : 제2축홈
658 : 제2스크류대 659 : 제2스크류
660 : 제2이동부재 661 : 제2회전축
662 : 제2회전밀착대
700 : 케이스보관거치부
710 : 거치플레이트 711 : 거치프레임
712 : 보관함 713 : 보관공간
730 : 수직이송수단 731 : 수직이송홈
732 : 수직스크류부재 733 : 수직이송스크류
734 : 수직이송부재 735 : 수직이송바
736 : 수직스크류모터
750 : 수평이송승하강수단 751 : 수평이송홈
752 : 수평스크류부재 753 : 수평이송스크류
754 : 수평이송부재 755 : 실린더안착부재
756 : 상승실린더 757 : 상승판
770 : 보관이동수단 771 : 밀착지지부재
772 : 케이스밀착바 773 : 가이드지지부재
774 : 밀착가이드 775 : 밀착구동부재
776 : 밀착구동실린더 777 : 전후진실린더

Claims (2)

  1. 복수의 웨이퍼가 내장된 풉케이스가 안착 될 수 있도록 하는 풉케이스안착시스템에 있어서,
    상기 풉케이스안착시스템은,
    풉케이스안착시스템의 일측으로 형성되는 고정패널과,
    풉케이스의 일측면이 밀착되도록 고정패널 면에 형성되는 케이스밀착면과,
    풉안착플레이트에 형성되는 바홈에 삽입될 수 있도록 고정패널 하부로 형성되는 돌기고정바와,
    에어실린더가 안착될 수 있도록 고정패널 하부 일측으로 형성되는 실린더안착바와,
    에어실린더의 실린더축에 연결되고, 일측이 풉안착플레이트 하면에 고정 형성되는 실린더바와,
    풉케이스가 안착되어 슬라이드 이동될 수 있도록 플레이트가이드레일에 안착형성되는 풉안착플레이트와,
    돌기고정바가 슬라이드 삽입될 수 있도록 풉안착플레이트 중앙 일측으로 형성되는 바홈과,
    풉케이스 하면에 형성되는 홈에 걸리도록 풉안착플레이트 상면에 복수개 형성되는 안착돌기와,
    플레이트가이드레일을 따라 슬라이드될 수 있도록 일측이 풉안착플레이트에 고정되고, 타측이 플레이트가이드레일에 안착되는 레일부재와,
    레일부재가 안착될 수 있도록 고정패널 하부 양측으로 형성되는 플레이트가이드레일과,
    풉안착플레이트를 슬라이드 이동시키기 위해 실린더안착바에 안착 형성되어 실린더 축이 실린더바에 연결 형성되는 에어실린더와,
    풉안착플레이트에 안착되는 풉케이스 하면 일측으로 형성되는 홈에 밀착되도록 돌기고정바 일측단에서 상부방향으로 형성되는 케이스걸림돌기와,
    플레이트가이드레일에 안착되어 슬라이드 이동되는 풉안착플레이트가 일측방향으로 전진 이동시 풉안착플레이트의 일측면이 밀착되어 풉안착플레이트가 더이상 전진 이동되지 못하도록 돌기고정바 일측단에서 하부방향으로 형성되는 플레이트걸림돌기와,
    풉케이스의 안착을 감지하기 위해 풉안착플레이트 상면에 복수개 형성되는 케이스안착센서로 이루어지되,
    상기 풉케이스안착시스템은,
    진동 및 충격에 의한 흔들림을 방지하도록 풉케이스의 하부를 고정시키기 위한 것으로, 풉케이스가 안착 가능한 풉안착플레이트의 상부에 형성되는 케이스고정부를 더 포함하며,
    상기 케이스고정부는,
    상기 풉안착플레이트와 일정 간격을 두고 대응되도록 형성되어 풉케이스가 안착 고정되는 고정안착판과,
    상기 고정안착판을 상기 풉안착플레이트 상에 일정간격을 두고 형성시키기 위해 상기 고정안착판과 상기 풉안착플레이트 사이에 복수개 형성되는 연결지지대로 이루어지며,
    상기 케이스고정부는,
    일측방향에서 단일밀착대가 풉케이스 측으로 이동하여 고정시키기 위한 단일고정수단; 또는
    일측방향의 제1회전밀착대와 타측방향의 제2회전밀착대가 풉케이스 측으로 이동하여 풉케이스의 형태에 따라 회전되어 밀착 고정하기 위한 복수회전고정수단; 중 어느 하나의 수단을 선택하여 설치되되,
    상기 단일고정수단은,
    단일밀착대에 의해 이동되는 풉케이스가 걸려 고정되도록 상기 고정안착판 상부 일측으로 형성되는 고정단과,
    상기 고정안착판에 안착되는 풉케이스를 일측에서 밀어 고정단 측으로 밀착시키기 위해 상기 고정안착판 상부 타측에서 단일부재홈을 따라 이동가능하도록 형성되는 단일밀착대와,
    상기 단일밀착대를 이동시키기 위해 일측이 상기 단일밀착대에 연결되고, 타측이 단일스크류에 결합되어 슬라이드되도록 형성되는 단일이동부재와,
    단일스크류를 고정하기 위해 상기 고정안착판 하면 양측으로 형성되는 스크류고정대와,
    양측으로 형성되는 상기 스크류고정대 상에 형성되어 상기 단일이동부재가 슬라이드될 수 있도록 형성되는 단일스크류와,
    상기 단일스크류를 회전시키기 위해 일측으로 형성되는 상기 스크류고정대 일측으로 형성되는 단일모터와,
    상기 단일이동부재가 이동될 수 있도록 상기 고정안착판 상에 형성되는 단일부재홈과,
    풉케이스 밀착시 밀착됨을 감지하여 감지된 정보를 상기 단일모터 측으로 제공하도록 상기 단일밀착대 일측으로 형성되는 밀착센서로 이루어지며,
    상기 복수회전고정수단은,
    제1회전축이 이동될 수 있도록 상기 고정안착판 상 일측으로 복수개 형성되는 제1축홈과,
    제1스크류를 고정하기 위해 상기 고정안착판 하부 일측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 제1스크류대와,
    복수개 형성되는 제1스크류대 상에 결합 형성되는 제1스크류와,
    상기 제1스크류에 결합되어 이동되도록 형성되는 제1이동부재와,
    제1회전밀착대가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제1회전밀착대가 회전될 수 있도록 상기 제1이동부재 상부로 형성되는 제1회전축과,
    풉케이스 일측에 밀착되도록 상기 제1회전축 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 제1회전밀착대와,
    제2회전축이 이동될 수 있도록 상기 고정안착판 상 타측으로 복수개 형성되는 제2축홈과,
    제2스크류를 고정하기 위해 상기 고정안착판 하부 타측방향으로 일측과 타측으로 복수개 형성되는 제2스크류대와,
    복수개 형성되는 상기 제2스크류대 상에 결합 형성되는 제2스크류와,
    상기 제2스크류에 결합되어 이동되도록 형성되는 제2이동부재와,
    제2회전밀착대가 풉케이스 일측면에 밀착시 풉케이스의 형태에 맞게 제2회전밀착대가 회전될 수 있도록 상기 제2이동부재 상부로 형성되는 제2회전축와,
    풉케이스 일측에 밀착되도록 상기 제2회전축 상부로 결합형성되며, 풉케이스의 형태에 따라 회전가능하도록 형성되는 제2회전밀착대로 이루어지며,

    상기 풉케이스안착시스템은,
    풉케이스를 교체하기 위해 사용된 풉케이스 또는 사용전 풉케이스 중 어느 하나의 풉케이스가 보관되도록 풉케이스안착시스템 일측 지면에 형성되는 케이스보관거치부를 더 포함하며,
    상기 케이스보관거치부는,
    풉케이스가 안착되어 보관함 측으로 이동될 수 있도록 수직이송수단과 수평이송승하강수단이 형성되는 거치플레이트와,
    상기 거치플레이트를 지지하도록 상기 거치플레이트 하면에 복수개 형성되는 거치프레임과,
    풉케이스가 보관될 수 있도록 상기 거치플레이트 일측으로 복수의 보관공간이 형성되는 보관함과,
    풉케이스가 각각 보관될 수 있도록 보관함 상에 복수개 형성되는 보관공간과,
    풉케이스를 수평이송승하강수단 측으로 이송시키기 위해 상기 거치플레이트 일측으로 형성되는 수직이송수단과,
    상기 수직이송수단을 따라 이송되는 풉케이스를 수평방향으로 이송후 해당 상기 보관공간 측으로 상승시키도록 상기 거치플레이트 중앙 측으로 형성되는 수평이송승하강수단과,
    해당 보관공간 측으로 상승된 풉케이스를 상기 보관공간 측으로 이동시키기 위해 각 보관공간 상마다 각각 형성되는 보관이동수단을 포함하며,
    상기 수직이송수단은,
    수직이송바가 일측방향 또는 타측방향 중 어느 한방향으로 이동될 수 있도록 상기 거치플레이트 상에 형성되는 수직이송홈과,
    수직이송스크류를 상기 거치플레이트 상에 고정시키기 위해 상기 거치플레이트 하면에서 수직방향으로 일측과 타측으로 형성되는 수직스크류부재와,
    상기 거치플레이트 하면에 형성되는 복수개의 상기 수직스크류부재 상에 결합 형성되는 수직이송스크류와,
    회전되는 상기 수직이송스크류에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 수직이송부재와,
    상기 거치플레이트 상에 안착되는 풉케이스에 밀착되어 수평이송승하강수단 측으로 밀어 이동시키기 위해 상기 수직이송부재 상부로 형성되는 수직이송바와,
    수직이송스크류를 회전시키기 위해 일측으로 형성되는 상기 수직스크류부재에 결합 형성되어 모터축이 상기 수직이송스크류에 연결 형성되는 수직스크류모터로 이루어지며,
    상기 수평이송승하강수단은,
    상승실린더가 수평방향으로 이동될 수 있도록 상기 거치플레이트 상에 수평방향으로 형성되는 수평이송홈과,
    수평이송스크류를 거치플레이트 상에 고정시키기 위해 상기 상기 거치플레이트 하면에서 수평방향으로 일측과 타측으로 형성되는 수평스크류부재와,
    상기 거치플레이트 하면에 형성되는 복수개의 상기 수평스크류부재 상에 결합 형성되는 수평이송스크류와,
    회전되는 상기 수평이송스크류에 결합되어 이동가능하도록 형성되는 수평이송부재와,
    상승실린더가 안착되도록 상기 수평이송부재 상부로 형성되는 실린더안착부재와,
    상기 실린더안착부재를 승하강 시키기 위해 상기 실린더안착부재 상부로 안착 형성되는 상승실린더와,
    상기 수직이송바에 의해 이송된 풉케이스가 안착되도록 상기 상승실린더 상부로 형성되는 상승판으로 이루어지며,
    상기 보관이동수단은,
    풉케이스의 일측면을 지지하도록 "ㄴ"형태로 형성되는 밀착지지부재와,
    상기 밀착지지부재 내부로 위치된 풉케이스의 타측면으로 밀착되도록 상기 밀착지지부재 일측에서 슬라이드 가능하도록 형성되는 케이스밀착바와,
    밀착가이드를 지지하도록 상기 밀착지지부재 상부 일측과 타측으로 각각 형성되는 가이드지지부재와,
    밀착구동부재가 슬라이드 가능하도록 형성되며, 상기 가이드지지부재 상에 고정되도록 형성되는 밀착가이드와,
    일측이 밀착가이드에 결합되어 슬라이드 되도록 형성되며, 중앙은 상기 케이스밀착바에 연결되어 상기 밀착가이드를 따라 이동시 상기 케이스밀착바가 상기 밀착지지부재 측으로 이동되도록 하기 위해 형성되는 밀착구동부재와,
    일측이 상기 밀착지지부재 후면에 형성되어, 상기 밀착구동부재를 이동시키기 위해 상기 밀착구동부재의 타측에 연결되는 밀착구동실린더와,
    상기 밀착지지부재를 상승판에 안착된 풉케이스 측으로 이동시키기 위해 보관공간 내면에 형성되며, 상기 밀착지지부재 후면에 실린더 축이 연결 형성되는 전후진실린더로 이루어지는 것을 특징으로 하는 풉케이스안착시스템.
  2. 삭제
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