KR20200066165A - 반송 시스템 - Google Patents

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unmanned
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사토시 오카와라
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송할 수 있고, 구축도 용이한 반송 시스템을 제공한다.
(해결 수단) 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송하는 반송 시스템으로서, 반송 통로와, 반송 통로를 주행하는 무인 피가공물 반송차와, 스톡 유닛과, 제어 유닛을 포함한다. 반송 통로는, 복수의 가공 장치에 걸쳐 가공 장치의 바로 위의 공간에 설치된다. 스톡 유닛은, 복수의 피가공물을 수용 가능한 피가공물 스토커가 재치되는 재치대와, 재치대 상의 피가공물 스토커로부터 반출된 피가공물이 가거치되는 2 조의 가거치대와, 재치대에 대면하는 제 1 위치와 제 1 위치의 이웃하는 제 2 위치 사이에서 2 조의 가거치대를 바꾸도록 이동시키는 가거치대 이동부와, 제 2 위치에 대면하는 수수 영역과 무인 피가공물 반송차 사이에서 피가공물을 반송하는 피가공물 반송부와, 제 1 위치에 위치하는 가거치대와 재치대 사이, 또는 제 2 위치에 위치하는 가거치대와 수수 영역 사이에서 피가공물을 이동시키는 피가공물 이동 유닛과, 제어 신호를 수신하는 수신기를 포함한다.

Description

반송 시스템{TRANSFER SYSTEM}
본 발명은, 가공 장치에 대해 피가공물을 반송하는 반송 시스템에 관한 것이다.
전자 기기 등에 삽입되는 디바이스 칩의 제조 공정에서는, 반도체 웨이퍼나 수지 패키지 기판으로 대표되는 판상의 피가공물이 여러 가지 가공 장치에 의해 가공된다. 이 가공 장치에 대해 피가공물을 반송할 때에는, 통상, 복수의 피가공물을 수용할 수 있는 반송용의 카세트가 사용된다.
그런데, 카세트에 복수의 피가공물을 수용하여 한 번에 가공 장치로 반송하는 상기 서술한 방법에서는, 어떠한 원인으로 가공 장치가 정지하면, 카세트에 수용되어 있는 미가공의 피가공물을 일률적으로 대기시키게 된다. 요컨대, 미가공의 피가공물을 다른 가공 장치에서 가공하는 것도 할 수 없게 되므로, 가공의 능률이 대폭 저하한다.
이 문제를 해소하려면, 예를 들어, 가공 장치의 가동 상황에 맞춰 피가공물을 1 장씩 가공 장치로 반송하면 된다. 그래서, 복수의 가공 장치를 반송용의 경로로 연결하여, 각 가공 장치에 대해 임의의 타이밍으로 피가공물을 반송할 수 있는 반송 시스템이 제안되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 평6-177244호
그러나, 각 가공 장치의 측면에는, 배관이 접속되는 배관 접속부나 메인터넌스용의 문 등이 설치되어 있어, 상기 서술한 반송 시스템을 구축할 때에는, 이들과 간섭하지 않도록 반송용의 경로를 설계할 필요가 있다. 그 때문에, 반송 시스템의 구축은 결코 용이하지 않고, 또, 반송용의 경로도 길어지는 경향이 있었다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 점은, 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송할 수 있고, 구축도 용이한 반송 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 복수의 가공 장치의 각각에 대하여 피가공물을 반송하는 반송 시스템으로서, 복수의 그 가공 장치에 걸쳐 그 가공 장치의 바로 위의 공간에 설치되는 반송 통로와, 그 피가공물을 지지하는 피가공물 지지부와, 그 피가공물 지지부에 설치된 주행 기구와, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하고, 그 반송 통로를 주행하는 무인 피가공물 반송차와, 복수의 그 피가공물을 수용 가능한 피가공물 스토커가 재치되는 재치대와, 그 재치대 상의 그 피가공물 스토커로부터 반출된 그 피가공물이 가거치되는 2 조의 가거치대와, 그 재치대에 대면하는 제 1 위치와 그 제 1 위치의 이웃하는 제 2 위치 사이에서 그 2 조의 가거치대를 바꾸도록 이동시키는 가거치대 이동부와, 그 제 2 위치에 대면하는 수수 영역과 그 무인 피가공물 반송차 사이에서 그 피가공물을 반송하는 피가공물 반송부와, 그 제 1 위치에 위치하는 그 가거치대와 그 재치대 사이, 또는 그 제 2 위치에 위치하는 그 가거치대와 그 수수 영역 사이에서 그 피가공물을 이동시키는 피가공물 이동 유닛과, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하는 스톡 유닛과, 그 가공 장치, 그 무인 피가공물 반송차, 및 그 스톡 유닛에 제어 신호를 송신하는 송신기와, 그 가공 장치로부터 송신되는 통지 신호를 수신하는 수신기와, 그 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하는 제어 신호 생성부를 구비하는 제어 유닛을 포함하고, 그 제어 유닛의 그 제어 신호 생성부는, 그 제어 유닛의 그 수신기가 수신한 통지 신호에 근거하여 그 제어 유닛의 그 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하고, 그 제어 유닛의 그 송신기는, 그 제어 유닛의 그 제어 신호 생성부에서 생성된 제어 신호를, 그 가공 장치, 그 무인 피가공물 반송차, 및 그 스톡 유닛에 송신하고, 그 스톡 유닛의 그 피가공물 반송부는, 그 스톡 유닛의 그 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 그 피가공물 스토커로부터 반출된 그 피가공물을 그 무인 피가공물 반송차의 그 피가공물 지지부에 반송하고, 그 무인 피가공물 반송차의 주행 기구는, 그 무인 피가공물 반송차의 그 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 그 무인 피가공물 반송차를 그 반송 통로 상에서 주행시키고, 그 피가공물 지지부로 지지하는 그 피가공물을 그 가공 장치로 반송하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템이 제공된다.
이 반송 시스템에 있어서, 그 반송 통로는, 그 가공 장치의 상면에 설치되는 것이 바람직하다.
또, 이 반송 시스템에 있어서, 그 반송 통로는, 복수의 통로 모듈을 연결하여 구성되는 것이 바람직하다.
또, 이 반송 시스템에 있어서, 그 반송 통로는, 그 가공 장치에 대해 흡착하는 흡착부를 갖는 다리부를 구비하고, 그 흡착부에 의해 그 가공 장치에 고정되어도 된다.
또, 이 반송 시스템에 있어서, 그 가공 장치는, 배관이 접속되는 배관 접속부 또는 메인터넌스용의 문을 측면에 구비하는 경우가 있다.
또, 이 반송 시스템은, 그 가공 장치로 그 피가공물을 가공할 때에 사용되는 절삭 블레이드를 지지하는 블레이드 지지부와, 그 블레이드 지지부에 설치된 주행 기구와, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하고, 그 반송 통로를 주행하는 무인 블레이드 반송차를 또한 포함하고, 그 스톡 유닛은, 그 가공 장치에 공급되는 그 절삭 블레이드를 수용하는 블레이드 스토커와 그 무인 블레이드 반송차 사이에서 그 절삭 블레이드를 반송하는 블레이드 반송부를 또한 구비하고, 그 제어 유닛의 그 송신기는, 그 무인 블레이드 반송차에 제어 신호를 송신하는 기능을 또한 갖고, 그 제어 유닛의 그 송신기는, 그 제어 유닛의 그 제어 신호 생성부에서 생성된 제어 신호를, 그 가공 장치, 그 무인 피가공물 반송차, 그 무인 블레이드 반송차, 및 그 스톡 유닛에 송신하고, 그 스톡 유닛의 그 블레이드 반송부는, 그 스톡 유닛의 그 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 그 블레이드 스토커에 수용되어 있는 그 절삭 블레이드를 그 무인 블레이드 반송차의 그 블레이드 지지부로 반송하고, 그 무인 블레이드 반송차의 그 주행 기구는, 그 무인 블레이드 반송차의 그 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 그 무인 블레이드 반송차를 그 반송 통로 상에서 주행시키고, 그 블레이드 지지부에서 지지하는 그 절삭 블레이드를 그 가공 장치로 반송해도 된다.
본 발명의 일 양태에 관련된 반송 시스템은, 복수의 가공 장치에 걸쳐 설치되는 반송 통로와, 피가공물 지지부, 주행 기구, 및 수신기를 구비하는 무인 피가공물 반송차와, 피가공물 반송부, 및 수신기를 구비하는 스톡 유닛을 포함하고 있다.
그 때문에, 피가공물 스토커에 수용되어 있는 피가공물을 피가공물 반송부에서 무인 피가공물 반송차의 피가공물 지지부로 반송하고, 이 무인 피가공물 반송차를 반송 통로 상에서 주행시킴으로써, 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송할 수 있다.
또, 본 발명의 일 양태에 관련된 반송 시스템에서는, 반송 통로가, 가공 장치의 바로 위의 공간에 설치된다. 그 때문에, 이 반송 통로를 설계할 때에 각 가공 장치의 측면의 구조를 고려할 필요가 없다. 즉, 반송 시스템의 구축이 용이해진다.
도 1 은 제 1 실시형태에 관련된 반송 시스템의 구성예를 나타내는 평면도이다.
도 2 는 제 1 실시형태에 관련된 반송 시스템의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블록도이다.
도 3 은 제 1 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 4 의 (A) 는, 무인 피가공물 반송차의 구성예를 나타내는 사시도이며, (B) 는, 카세트가 적재된 상태의 무인 피가공물 반송차를 나타내는 사시도이다.
도 5 는 제 1 실시형태에 관련된 절삭 장치나 반송 통로 등의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 6 은 절삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 7 은 절삭 장치에 반송 통로가 설치되는 양태를 나타내는 사시도이다.
도 8 의 (A), (B), 및 (C) 는, 통로 모듈의 구성예를 나타내는 평면도이다.
도 9 는 통로 모듈로부터 반송 통로가 형성되는 양태를 나타내는 사시도이다.
도 10 의 (A), 및 (B) 는, 통로 모듈이 연결되는 양태를 나타내는 단면도이다.
도 11 은 통로 모듈의 구성예를 나타내는 저면도이다.
도 12 는 카세트 등의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 13 의 (A), (B), 및 (C) 는, 피가공물을 지지하는 프레임이 카세트로부터 반출되는 양태를 나타내는 단면도이다.
도 14 는 제 1 실시형태에 관련된 반송 시스템의 동작 등의 예를 설명하기 위한 기능 블록도이다.
도 15 는 제 2 실시형태에 관련된 반송 시스템의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블록도이다.
도 16 은 제 2 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 구성예를 나타내는 측면도이다.
도 17 은 무인 블레이드 반송차의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 18 은 제 2 실시형태에 관련된 절삭 장치 등의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 19 는 블레이드 체인저의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 20 은 제 2 실시형태에 관련된 반송 시스템의 동작 등의 예를 설명하기 위한 기능 블록도이다.
도 21 은 제 3 실시형태에 관련된 반송 시스템에 있어서, 무인 피가공물 반송차로부터 카세트가 반출되는 양태를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 22 는 제 3 실시형태에 관련된 반송 시스템에 있어서, 카세트가 절삭 장치로 반입되는 양태를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 23 은 제 4 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 24 는 제 4 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 내부의 구조를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 25 는 제 4 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 제 1 가거치대와 제 2 가거치대를 제 2 방향으로 이동시켜, 제 1 가거치대의 위치와 제 2 가거치대의 위치를 바꾸는 양태를 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 26 의 (A) 및 (B) 는, 제 4 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 동작의 예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 27 의 (A) 및 (B) 는, 제 4 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 동작의 예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 또한, 이하의 각 실시형태에서는, 복수의 절삭 장치에 대해 피가공물 등을 반송하는 반송 시스템에 대해 설명하지만, 본 발명의 반송 시스템은, 임의의 복수의 가공 장치에 대해 피가공물 등을 반송할 수 있도록 구성되어 있으면 된다. 즉, 피가공물 등의 반송처는, 절삭 장치 이외의 가공 장치여도 된다.
예를 들어, 본 발명의 반송 시스템은, 복수의 레이저 가공 장치에 대해 피가공물을 반송할 수 있도록 구성되는 경우가 있다. 또, 본 발명의 반송 시스템은, 예를 들어, 일련의 가공에 사용되는 복수 종류의 가공 장치에 대해 순서대로 피가공물을 반송할 수 있도록 구성되는 경우도 있다.
(실시형태 1)
도 1 은, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 의 구성예를 나타내는 평면도이며, 도 2 는, 반송 시스템 (2) 의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블록도이다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 은, 절삭 장치 (가공 장치) (4) 에 의해 가공되는 판상의 피가공물 (11) 을 반송하기 위한 반송 통로 (6) 를 포함하고 있다.
피가공물 (11) 은, 예를 들어, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 원반상의 웨이퍼이다. 이 피가공물 (11) 의 표면측은, 서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인 (스트리트) 에 의해 복수의 소영역으로 구획되어 있고, 각 소영역에는, IC (Integrated Circuit), MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 등의 디바이스가 형성되어 있다.
피가공물 (11) 의 이면측에는, 피가공물 (11) 보다 직경이 큰 테이프 (다이싱 테이프) (13) 가 첩부 (貼付) 되어 있다. 테이프 (13) 의 외주 부분은, 피가공물 (11) 을 둘러싸는 환상의 프레임 (15) 에 고정되어 있다. 피가공물 (11) 은, 이 테이프 (13) 를 개재하여 프레임 (15) 에 지지된 상태에서 절삭 장치 (4) 로 반송된다.
또한, 본 실시형태에서는, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 원반상의 웨이퍼를 피가공물 (11) 로 하고 있지만, 피가공물 (11) 의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예를 들어, 다른 반도체, 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료로 이루어지는 기판 등을 피가공물 (11) 로서 사용할 수도 있다. 동일하게, 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없다. 피가공물 (11) 에는, 디바이스가 형성되어 있지 않아도 된다.
또, 이 피가공물 (11) 을 가공하는 절삭 장치 (4) 는, 피가공물 (11) 의 반송처로서 반송 시스템 (2) 에 접속되어 있지만, 반드시 반송 시스템 (2) 의 구성 요소는 아니다. 따라서, 절삭 장치 (4) 는, 상기 서술한 바와 같이, 반송 시스템 (2) 의 사용의 양태에 맞춰 변경, 생략되어도 된다.
그리고, 도 1 에서는, 설명의 편의상, 1 대의 절삭 장치 (4a) 만을 나타내고, 도 2 에서는, 2 대의 절삭 장치 (4a, 4b) 를 나타내고 있지만, 본 실시형태에서는, 피가공물 (11) 의 반송처로서, 2 대 이상의 절삭 장치 (4) 가 필요로 된다. 즉, 반송 시스템 (2) 에 접속되는 가공 장치의 대수는, 2 대 이상이다.
반송 통로 (6) 는, 각 절삭 장치 (4) 에 대해 피가공물 (11) 을 반송할 수 있도록, 복수의 절삭 장치 (4) 에 걸쳐 설치된다. 즉, 복수의 절삭 장치 (4) 는, 반송 통로 (6) 를 개재하여 서로 연결되어 있다. 또, 반송 통로 (6) 는, 절삭 장치 (4) 의 바로 위의 공간에 설치되어 있다. 그 때문에, 각 절삭 장치 (4) 의 측면에 접속되는 배관 (21) 등에 대해 반송 통로 (6) 가 간섭하지 않는다.
반송 통로 (6) 의 하방에는, 절삭 장치 (4) 외에, 복수의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 스톡 유닛 (8) 이 설치되어 있다. 스톡 유닛 (8) 에 수용되어 있는 피가공물 (11) 은, 임의의 타이밍으로 무인 피가공물 반송차 (10) 로 반입된다. 무인 피가공물 반송차 (10) 는, 반송 통로 (6) 상을 주행하여 피가공물 (11) 을 각 절삭 장치 (4) 로 반송한다. 또한, 도 1 에서는, 3 대의 무인 피가공물 반송차 (10a, 10b, 10c) 를 나타내고, 도 2 에서는, 2 대의 무인 피가공물 반송차 (10a, 10b) 를 나타내고 있지만, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 대수에 제한은 없다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 에는, 이들 동작을 제어하는 제어 유닛 (12) 이 무선으로 접속되어 있다. 단, 제어 유닛 (12) 은, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 의 동작을 제어할 수 있도록 구성되어 있으면 되고, 이들에 대해 유선으로 접속되는 경우도 있다.
도 3 은, 스톡 유닛 (8) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 스톡 유닛 (8) 은, 각종 구성 요소를 수용하는 케이싱 (14) 을 포함한다. 또한, 이 도 3 에서는, 설명의 편의상, 케이싱 (14) 의 윤곽만이 나타내어져 있다.
케이싱 (14) 내에는, 예를 들어, 볼나사식의 제 1 승강 기구 (도시 생략) 에 의해 승강하는 제 1 카세트 지지대 (16) 가 설치되어 있다. 제 1 카세트 지지대 (16) 의 상면에는, 복수의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 카세트 (피가공물 스토커) (18) 가 적재된다. 또한, 이 카세트 (18) 는, 상기 서술한 바와 같이, 테이프 (13) 를 개재하여 프레임 (15) 에 지지된 상태의 피가공물 (11) 을 수용한다.
제 1 카세트 지지대 (16) 의 측방에는, 프레임 (15) 을 파지하여 이동할 수 있는 푸시풀 아암 (20) 이 배치되어 있다. 예를 들어, 카세트 (18) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 의 높이를 제 1 승강 기구로 푸시풀 아암 (20) 의 높이에 맞추고, 이 푸시풀 아암 (20) 에 의해 카세트 (18) 내의 프레임 (15) 을 파지하면, 프레임 (15) 을 카세트 (18) 의 외부로 인출할 수 있다.
푸시풀 아암 (20) 을 사이에 두는 위치에는, 서로 평행인 상태를 유지하면서 접근, 이격되는 1 쌍의 가이드 레일 (22) 이 설치되어 있다. 각 가이드 레일 (22) 은, 프레임 (15) 을 하방으로부터 지지하는 지지면과, 지지면에 대략 수직인 측면을 구비하고, 푸시풀 아암 (20) 에 의해 카세트 (18) 로부터 인출된 프레임 (15) 을 끼워 넣어 소정의 위치에 맞춘다.
푸시풀 아암 (20) 및 1 쌍의 가이드 레일 (22) 의 더욱 측방에는, 예를 들어, 볼나사식의 제 2 승강 기구 (24) 에 의해 승강하는 제 2 카세트 지지대 (26) 가 설치되어 있다. 이 제 2 카세트 지지대 (26) 의 상면에는, 1 장의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 카세트 (반송용 카세트) (28) 가 적재된다. 또한, 카세트 (28) 는, 2 장 이상의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있도록 구성되어도 된다.
1 쌍의 가이드 레일 (22) 에 의해 소정의 위치에 맞춰진 프레임 (15) 은, 푸시풀 아암 (20) 에 의해 재차 파지되고, 제 2 승강 기구 (24) 에 의해 높이가 조정된 제 2 카세트 지지대 (26) 상의 카세트 (28) 에 측방으로부터 삽입된다. 피가공물 (11) 이 카세트 (28) 에 수용되면, 제 2 승강 기구 (24) 는, 제 2 카세트 지지대 (26) 를 상승시킨다.
제 2 카세트 지지대 (26) 의 바로 위의 영역에는, 케이싱 (14) 의 천장 (14a) 을 상하로 관통하는 개구 (14b) 가 형성되어 있다. 이 개구 (14b) 는, 적어도, 제 2 카세트 지지대 (26) 에 적재되는 카세트 (28) 를 통과할 수 있는 형상, 크기로 형성되어 있다. 그 때문에, 제 2 승강 기구 (24) 로 제 2 카세트 지지대 (26) 를 상승시킴으로써, 피가공물 (11) 을 수용한 카세트 (28) 를, 개구 (14b) 를 통해서 케이싱 (14) 의 외부에 노출시킬 수 있다.
케이싱 (14) 의 외부에는, 개구 (14b) 에 있어서 노출되는 카세트 (28) 를, 이 개구 (14b) 의 옆에 정지한 무인 피가공물 반송차 (10) 로 반송하는 카세트 반송 아암 (피가공물 반송부) (30) 이 설치되어 있다. 제 1 승강 기구, 푸시풀 아암 (20), 1 쌍의 가이드 레일 (22), 제 2 승강 기구 (24), 카세트 반송 아암 (30) 등의 구성 요소에는, 스톡 유닛 (8) 의 동작을 제어하기 위한 제어 장치 (32) 가 접속되어 있다.
제어 장치 (32) 는, 대표적으로는, CPU (Central Processing Unit) 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (32) 의 기능이 실현된다.
제어 장치 (32) 에는, 또한, 반송 시스템 (2) 의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (34) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (36) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (32) 는, 수신기 (34) 로 수신한 신호에 근거하여 스톡 유닛 (8) 의 동작을 제어한다. 또, 제어 장치 (32) 는, 송신기 (36) 를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.
도 4(A) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 구성예를 나타내는 사시도이며, 도 4(B) 는, 카세트 (28) 가 적재된 상태의 무인 피가공물 반송차 (10) 를 나타내는 사시도이다. 도 4(A) 에 나타내는 바와 같이, 무인 피가공물 반송차 (10) 는, 트레이상의 새시 (피가공물 지지부) (38) 를 포함한다. 새시 (38) 의 상면측에는, 카세트 (28) 의 형상, 크기에 대응하는 오목부 (38a) 가 형성되어 있고, 카세트 반송 아암 (30) 에 의해 반송된 카세트 (28) 는, 이 새시 (38) 의 오목부 (38a) 에 적재된다.
새시 (38) 의 하면측에는, 복수 (본 실시형태에서는, 4 개) 의 차륜 (주행 기구) (40) 이 장착되어 있다. 각 차륜 (40) 은, 모터 등의 회전 구동원에 연결되어 있고 회전한다. 이 차륜 (40) 을 회전 구동원에 의해 회전시킴으로써, 무인 피가공물 반송차 (10) 는, 반송 통로 (6) 상을 주행한다. 또한, 차륜 (40) 으로는, 경사진 준상 (樽狀) (통상) 의 복수의 회전체가 반송 통로 (6) 와 접촉하는 외주면에 장착된, 이른바 메카넘 휠 등을 사용하면 된다.
새시 (38) 의 측면에는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 동작을 제어하는 제어 장치 (42) 가 설치되어 있다. 제어 장치 (42) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (42) 의 기능이 실현된다.
이 제어 장치 (42) 에는, 반송 시스템 (2) 의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (44) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (46) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (42) 는, 수신기 (44) 로 수신한 신호에 근거하여 무인 피가공물 반송차 (10) 의 동작 (주행) 을 제어한다. 또, 제어 장치 (42) 는, 송신기 (46) 를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.
도 5 는, 절삭 장치 (4) 나 반송 통로 (6) 등의 외관을 나타내는 사시도이며, 도 6 은, 절삭 장치 (4) 의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 5 및 도 6 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (4) 는, 각 구성 요소를 지지하는 기대 (48) 를 구비하고 있다. 기대 (48) 의 모서리부에는, 개구 (48a) 가 형성되어 있고, 이 개구 (48a) 에 상당하는 영역에는, 승강 기구 (도시 생략) 에 의해 승강하는 카세트 지지대 (50) 가 설치되어 있다. 카세트 지지대 (50) 의 상면에는, 상기 서술한 카세트 (28) 가 적재된다. 또한, 도 5 및 도 6 에서는, 설명의 편의상, 카세트 (28) 의 윤곽만을 나타내고 있다.
도 6 에 나타내는 바와 같이, 개구 (48a) 의 측방에는, X 축 방향 (전후 방향, 가공 이송 방향) 으로 긴 개구 (48b) 가 형성되어 있다. 개구 (48b) 내에는, 볼나사식의 X 축 이동 기구 (가공 이송 유닛) (52) 와, X 축 이동 기구 (52) 의 상부를 덮는 방진방적 커버 (54) 가 배치되어 있다. X 축 이동 기구 (52) 는, X 축 이동 테이블 (52a) 을 구비하고 있고, 이 X 축 이동 테이블 (52a) 을 X 축 방향으로 이동시킨다.
X 축 이동 테이블 (52a) 상에는, 피가공물 (11) 을 흡인, 유지하는 척 테이블 (유지 테이블) (56) 이 설치되어 있다. 척 테이블 (56) 은, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 에 연결되어 있고, Z 축 방향 (연직 방향, 절입 이송 방향) 에 대략 평행한 회전축의 둘레로 회전한다. 또, 척 테이블 (56) 은, 상기 서술한 X 축 이동 기구 (52) 에 의해 X 축 방향으로 이동한다 (가공 이송).
척 테이블 (56) 의 상면은, 피가공물 (11) 을 유지하기 위한 유지면 (56a) 으로 되어 있다. 유지면 (56a) 은, 척 테이블 (56) 의 내부에 형성된 흡인로 (도시 생략) 등을 개재하여 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다. 또, 척 테이블 (56) 의 주위에는, 피가공물 (11) 을 지지하는 프레임 (15) 을 사방으로부터 고정하기 위한 4 개의 클램프 (58) 가 설치되어 있다.
개구 (48b) 의 상방에는, Y 축 방향 (좌우 방향, 인덱싱 이송 방향) 에 평행한 상태를 유지하면서 접근, 이격되는 1 쌍의 가이드 레일 (60) 이 설치되어 있다. 1 쌍의 가이드 레일 (60) 은, 각각, 프레임 (15) 을 하방으로부터 지지하는 지지면과, 지지면에 대략 수직인 측면을 구비하고, 카세트 (28) 로부터 인출된 프레임 (15) 을 X 축 방향에 있어서 끼워 넣어 소정의 위치에 맞춘다.
기대 (48) 의 상방에는, 문형의 제 1 지지 구조 (62) 가 개구 (48b) 를 걸치도록 배치되어 있다. 제 1 지지 구조 (62) 의 전방면 (가이드 레일 (60) 측의 면) 에는, Y 축 방향을 따른 제 1 레일 (64) 이 고정되어 있고, 이 제 1 레일 (64) 에는, 제 1 이동 기구 (66) 등을 개재하여 제 1 반송 유닛 (68) 이 연결되어 있다.
제 1 반송 유닛 (68) 은, 예를 들어, 프레임 (15) 의 상면에 접촉하여 이 프레임 (15) 을 흡착, 유지하고, 제 1 이동 기구 (66) 에 의해 승강함과 함께, 제 1 레일 (64) 을 따라 Y 축 방향으로 이동한다. 제 1 반송 유닛 (68) 의 개구 (48a) 측에는, 프레임 (15) 을 파지하기 위한 파지 기구 (68a) 가 설치되어 있다.
예를 들어, 파지 기구 (68a) 로 프레임 (15) 을 파지하여 제 1 반송 유닛 (68) 을 Y 축 방향으로 이동시키면, 카세트 (28) 내의 프레임 (15) 을 1 쌍의 가이드 레일 (60) 에 인출하거나, 또는, 1 쌍의 가이드 레일 (60) 상의 프레임 (15) 을 카세트 (28) 에 삽입할 수 있다. 또한, 1 쌍의 가이드 레일 (60) 로 프레임 (15) 의 위치를 맞춘 후에는, 제 1 반송 유닛 (68) 에 의해 이 프레임 (15) (피가공물 (11)) 을 척 테이블 (56) 로 반입한다.
또, 제 1 지지 구조 (62) 의 전방면에는, Y 축 방향을 따른 제 2 레일 (70) 이 제 1 레일 (64) 의 상방에 고정되어 있다. 이 제 2 레일 (70) 에는, 제 2 이동 기구 (72) 등을 개재하여 제 2 반송 유닛 (74) 이 연결되어 있다. 제 2 반송 유닛 (74) 은, 예를 들어, 프레임 (15) 의 상면에 접촉하여 이 프레임 (15) 을 흡착, 유지하고, 제 2 이동 기구 (72) 에 의해 승강함과 함께, 제 2 레일 (70) 을 따라 Y 축 방향으로 이동한다.
제 1 지지 구조 (62) 의 후방에는, 문형의 제 2 지지 구조 (76) 가 배치되어 있다. 제 2 지지 구조 (76) 의 전방면 (제 1 지지 구조 (62) 측의 면) 에는, 각각 Y 축 Z 축 이동 기구 (인덱싱 이송 유닛, 절입 이송 유닛) (78) 를 개재하여 2 조의 절삭 유닛 (80) 이 설치되어 있다. 절삭 유닛 (80) 은, Y 축 Z 축 이동 기구 (78) 에 의해 Y 축 방향으로 이동 (인덱싱 이송) 함과 함께, Z 축 방향으로 이동한다 (절입 이송).
각 절삭 유닛 (80) 은, Y 축 방향에 대략 평행한 회전축이 되는 스핀들 (도시 생략) 을 구비하고 있다. 스핀들의 일단측에는, 원환상의 절삭 블레이드 (82) 가 장착되어 있다. 각 스핀들의 타단측에는, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다. 또, 절삭 블레이드 (82) 의 옆에는, 피가공물 (11) 이나 절삭 블레이드 (82) 에 순수 등의 절삭액을 공급하기 위한 노즐이 배치되어 있다.
이 노즐로부터 절삭액을 공급하면서, 회전시킨 절삭 블레이드 (82) 를 척 테이블 (56) 에 유지된 피가공물 (11) 에 절입시킴으로써, 피가공물 (11) 을 절삭할 수 있다. 절삭 유닛 (80) 에 인접하는 위치에는, 척 테이블 (56) 에 유지된 피가공물 (11) 등을 촬상하기 위한 촬상 유닛 (카메라) (84) 이 설치되어 있다. 이 촬상 유닛 (84) 도, Y 축 Z 축 이동 기구 (78) 에 의해 Y 축 방향으로 이동함과 함께, Z 축 방향으로 이동한다.
개구 (48b) 에 대해 개구 (48a) 와 반대측의 위치에는, 세정 유닛 (86) 이 배치되어 있다. 세정 유닛 (86) 은, 통상의 세정 공간 내에서 피가공물 (11) 을 흡인, 유지하는 스피너 테이블 (88) 을 구비하고 있다. 스피너 테이블 (88) 의 하부에는, 스피너 테이블 (88) 을 소정의 속도로 회전시키는 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다.
스피너 테이블 (88) 의 상방에는, 스피너 테이블 (88) 에 의해 유지된 피가공물 (11) 을 향하여 세정용의 유체 (대표적으로는, 물과 에어를 혼합한 혼합 유체) 를 분사하는 분사 노즐 (90) 이 배치되어 있다. 피가공물 (11) 을 유지한 스피너 테이블 (88) 을 회전시켜, 분사 노즐 (90) 로부터 세정용의 유체를 분사함으로써, 피가공물 (11) 을 세정할 수 있다.
절삭 유닛 (80) 으로 피가공물 (11) 을 절삭한 후에는, 예를 들어, 제 2 반송 유닛 (74) 에 의해 프레임 (15) 을 세정 유닛 (86) 으로 반입한다. 세정 유닛 (86) 으로 피가공물 (11) 을 세정한 후에는, 예를 들어, 제 1 반송 유닛 (68) 으로 프레임 (15) 을 1 쌍의 가이드 레일 (60) 에 적재하고, 그 후, 이 프레임 (15) 을 파지 기구 (68a) 로 파지하여 카세트 (28) 에 수용한다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 기대 (48) 의 상면측은, 커버 (92) 에 의해 덮여 있고, 상기 서술한 각 구성 요소는, 커버 (92) 의 내측에 수용된다. 개구 (48a) 의 바로 위의 영역에는, 커버 (92) 의 천장 (92a) 을 상하로 관통하는 개구 (92b) 가 형성되어 있다. 그 때문에, 승강 기구에 의해 카세트 지지대 (50) 를 상승시키면, 이 개구 (92b) 를 통해서 카세트 지지대 (50) 의 상면을 커버 (92) 의 외부에 노출시킬 수 있다. 개구 (92b) 의 형상이나 크기는, 예를 들어, 기대 (48) 에 형성되어 있는 개구 (48a) 의 형상이나 크기와 동일하다.
커버 (92) 의 천장 (92a) 에는, 예를 들어, 개구 (92b) 와 동등의 높이에 위치 결정된 카세트 지지대 (50) 와, 개구 (92b) 의 옆에 정지한 무인 피가공물 반송차 (10) 사이에서 카세트 (28) 를 반송하는 카세트 반송 아암 (94) 이 설치되어 있다. 이 카세트 반송 아암 (94) 은, 카세트 지지대 (50) 를 승강시키는 승강 기구 등과 함께, 제어 장치 (96) 에 접속되어 있다 (도 5).
제어 장치 (96) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (96) 의 기능이 실현된다.
제어 장치 (96) 에는, 반송 시스템 (2) 의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (98) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (100) 가 또한 접속되어 있다. 제어 장치 (96) 는, 예를 들어, 수신기 (98) 로 수신한 신호 등에 근거하여, 상기 서술한 절삭 장치 (4) 의 각 구성 요소를 제어한다.
기대 (48) 의 측벽에는, 각종 배관 (21) 을 접속하는 배관 접속부 (48c) (도 5) 가 설치되어 있다. 또, 커버 (92) 의 측벽에는, 메인터넌스 등의 시에 개폐되는 문 (92c) (도 5) 이 설치되어 있다. 또한, 커버 (92) 의 측벽에는, 조작 패널 (도시 생략) 이나 디스플레이 (도시 생략) 등이 설치되어 있어도 된다.
도 7 은, 절삭 장치 (4) 에 반송 시스템 (2) 의 반송 통로 (6) 가 설치되는 양태를 나타내는 사시도이다. 도 7 등에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 의 반송 통로 (6) 는, 절삭 장치 (4) 가 구비하는 커버 (92) 의 천장 (92a) 의 상면측에 장착된다. 즉, 반송 통로 (6) 는, 절삭 장치 (4) 의 바로 위의 공간에 설치된다.
이로써, 절삭 장치 (4) 의 측면에 설치되어 있는 배관 접속부 (48c) 나 문 (92c) 등의 구조에 대해, 반송 통로 (6) 가 간섭하지 않게 된다. 요컨대, 반송 통로 (6) 를 설계할 때에, 절삭 장치 (4) 의 측면의 구조를 고려할 필요가 없다. 그 때문에, 반송 시스템 (2) 의 구축이 용이해진다.
도 8(A) 는, 반송 통로 (6) 에 사용되는 통로 모듈 (6a) 의 구성예를 나타내는 평면도이며, 도 8(B) 는, 통로 모듈 (6b) 의 구성예를 나타내는 평면도이며, 도 8(C) 는, 통로 모듈 (6c) 의 구성예를 나타내는 평면도이다. 반송 통로 (6) 는, 예를 들어, 도 8(A), 도 8(B), 및 도 8(C) 에 나타내는 복수의 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 을 조합하여 구성된다.
각 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 은, 각각, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 주행에 적절한 평탄성이 높은 상면을 가지는 통로부 (102) 와, 통로부 (102) 의 폭 방향의 단 (端) 에 설치되고 이 통로부 (102) 를 따른 가이드부 (104) 를 포함한다. 가이드부 (104) 의 상단의 통로부 (102) 로부터의 높이는, 예를 들어, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 차륜 (40) 의 높이보다 높게 되어 있다. 이로써, 통로부 (102) 를 주행하는 무인 피가공물 반송차 (10) 가 통로부 (102) 로부터 탈락하는 것을 방지할 수 있다.
도 8(A) 의 통로 모듈 (6a) 은, 무인 피가공물 반송차 (10) 를 대기시키기 위한 대기부 (106) 를 또한 가지고 있고, 예를 들어, 무인 피가공물 반송차 (10) 와의 사이에서 피가공물 (11) (카세트 (28)) 의 수수를 실시하는 절삭 장치 (4) 등의 바로 위에 설치된다. 한편으로, 도 8(B) 의 통로 모듈 (6b) 은, 직선상으로 형성되어 있고, 도 8(C) 의 통로 모듈 (6c) 은, 모퉁이에 적절한 직각상으로 형성되어 있다.
통로 모듈 (6b, 6c) 은, 예를 들어, 인접하는 2 개의 통로 모듈 (6a) 의 사이를 연결하기 위해서 사용된다. 단, 반송 통로 (6) 를 구성하는 통로 모듈의 종류, 수량, 배치 (접속의 관계) 등에 제한은 없다. 예를 들어, 2 개의 통로 모듈 (6a) 사이를, 또 다른 통로 모듈 (6a) 로 연결해도 된다. 또, 예를 들어, 직각상의 통로 모듈 (6c) 대신에, 원호상 (곡선상) 의 통로 모듈을 사용할 수도 있다.
도 9 는, 통로 모듈 (6a) 및 통로 모듈 (6b) 로부터 반송 통로 (6) 가 형성되는 양태를 나타내는 사시도이다. 도 10(A), 및 도 10(B) 는, 통로 모듈 (6a) 및 통로 모듈 (6b) 이 연결되는 양태를 나타내는 단면도이다. 또, 도 11 은, 통로 모듈 (6b) 의 구성예를 나타내는 저면도이다.
도 9 에 나타내는 바와 같이, 통로부 (102) 의 하면의 길이 방향의 단부 (반송 통로 (6) 를 따른 방향의 단부) 에는, 단면이 L 자상인 1 쌍의 앵글 (브래킷) (108) 이 설치되어 있다. 각 앵글 (108) 은, 대략 수평인 지지면 (108a) 과, 지지면 (108a) 에 대해 대략 수직인 측면 (108b) 을 구비하고, 각 앵글 (108) 의 길이 방향이 반송 통로 (6) 를 따르도록 통로부 (102) 의 하면에 고정된다.
통로 모듈 (6a) 과 통로 모듈 (6b) 을 연결할 때에는, 먼저, 도 10(A) 에 나타내는 바와 같이, 통로 모듈 (6a) 을 구성하는 통로부 (102) 의 길이 방향의 단부와, 통로 모듈 (6b) 을 구성하는 통로부 (102) 의 길이 방향의 단부를 충분히 근접시킨다. 그리고, 도 10(B) 에 나타내는 바와 같이, 통로 모듈 (6a) 을 구성하는 통로부 (102) 에 설치되어 있는 앵글 (108) 과, 통로 모듈 (6b) 을 구성하는 통로부 (102) 에 설치되어 있는 앵글 (108) 에 연결구 (110) 를 삽입한다.
연결구 (110) 는, 예를 들어, 통로 모듈 (6a) 의 앵글 (108) 의 길이와 통로 모듈 (6b) 의 앵글 (108) 의 길이를 합한 길이보다 긴 로드부 (110a) 와, 로드부 (110a) 의 양단에 설치되고 중앙에 개구를 갖는 링부 (110b) 를 포함하고 있다. 앵글 (108) 에는, 이 연결구 (110) 의 로드부 (110a) 가 삽입된다.
앵글 (108) 에 로드부 (110a) 를 삽입한 후에는, 링부 (110b) 의 개구를 통해서 통로부 (102) 의 하면측의 볼트 구멍 (도시 생략) 에 볼트 (112) 를 체결한다. 이로써, 연결구 (110) 를 개재하여 통로 모듈 (6a) 과 통로 모듈 (6b) 을 연결할 수 있다. 또한, 통로 모듈 (6c) 도, 동일한 순서로 다른 통로 모듈 (통로 모듈 (6a) 이나 통로 모듈 (6b) 등) 에 연결된다.
절삭 장치 (4) 에 대한 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 의 장착은, 예를 들어, 도 9, 도 11 등에 나타내는 다리 부재 (114) 를 개재하여 실시된다. 다리 부재 (114) 는, 판상의 기부 (114a) 와, 기부 (114a) 의 일방측의 면의 중앙 부근으로부터 돌출되는 기둥상의 기둥부 (114b) 와, 기둥부 (114b) 의 선단에 장착된 흡반상의 흡착부 (114c) (도 11) 를 포함하고 있다.
기부 (114a) 의 기둥부 (114b) 와 겹치지 않는 영역에는, 이 기부 (114a) 를 두께 방향으로 관통하는 4 개의 개구 (114d) 가 형성되어 있다. 또, 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 을 구성하는 통로부 (102) 의 하면에는, 각 개구 (114d) 에 대응하는 볼트 구멍 (102a) (도 11) 이 형성되어 있다.
그 때문에, 기부 (114a) 의 타방측의 면을 통로부 (102) 의 하면에 접촉시키고, 개구 (114d) 를 통해서 볼트 구멍 (102a) 에 볼트 (116) 를 체결하면, 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 에 다리 부재 (114) 를 고정할 수 있다. 또한, 개구 (114d) 및 볼트 구멍 (102a) 의 수량이나 배치 등에 제한은 없다.
도 11 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 통로 모듈 (6b) 에는, 통로부 (102) 의 하면의 복수의 영역의 각각에 기부 (114a) 의 4 개의 개구 (114d) 에 대응하는 4 개의 볼트 구멍 (102a) 이 형성되어 있고, 임의의 영역에 다리 부재 (114) 를 장착할 수 있다. 다른 통로 모듈 (6a, 6c) 에 대해서도 동일하다.
즉, 다리 부재 (114) 는, 통로부 (102) 의 하면의 복수의 영역에서 선택된 어느 영역에 장착된다. 또한, 각 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 에는, 복수의 다리 부재 (114) 를 장착하는 것이 바람직하다. 이로써, 절삭 장치 (4) 에 대한 반송 통로 (6) 의 위치를 안정화시키기 쉬워진다.
절삭 장치 (4) 에 대해 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 을 장착할 때에는, 예를 들어, 절삭 장치 (4) 의 커버 (92) 에 대해 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 의 위치를 맞추고, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 다리 부재 (114) 의 흡착부 (114c) 를 커버 (92) 의 천장 (92a) 의 상면에 압박한다. 이로써, 커버 (92) 의 천장 (92a) 의 상면에 흡착부 (114c) 를 흡착시켜, 임의의 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 을 커버 (92) 에 장착할 수 있다. 요컨대, 임의의 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 이, 다리 부재 (114) 를 개재하여 절삭 장치 (4) 의 커버 (92) 에 장착된다.
또한, 반드시 모든 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 을 절삭 장치 (4) 에 대해 장착하지 않아도 된다. 예를 들어, 2 대의 절삭 장치 (4) 사이에 위치하는 통로 모듈은, 연결구 (110) 를 개재하여 인접하는 통로 모듈에만 지지되는 경우가 있다. 또, 절삭 장치 (4) 나 스톡 유닛 (8) 등에 대해 장착되는 통로 모듈의 통로부 (102) 에는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 2 차원 코드로 대표되는 식별 코드나 무선 태그 등의 정보 제공부 (102b) 가 설치되어 있다. 이 정보 제공부 (102b) 는, 예를 들어, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 위치의 확인 등에 사용된다.
다음으로, 피가공물 (11) 의 반송에 사용되는 카세트 (28) 등의 구조에 대해 설명한다. 도 12 는, 카세트 (28) 등의 구조를 나타내는 사시도이다. 카세트 (28) 는, 피가공물 (11) 을 지지하는 프레임 (15) 을 수용할 수 있는 크기의 상자체 (118) 를 포함한다. 이 상자체 (118) 는, 피가공물 (11) 이나 프레임 (15) 을 지지하기 위한 저판 (120) 을 가지고 있다.
저판 (120) 은, 평면으로 볼 때 사각형상으로 형성되어 있고, 그 3 변에 상당하는 위치에는, 각각, 측판 (122), 측판 (124), 및 측판 (126) 의 하단측이 고정되어 있다. 측판 (122), 측판 (124), 및 측판 (126) 의 상단측에는, 저판 (120) 과 동일한 형상의 천판 (天板) (128) 이 고정되어 있다. 즉, 상자체 (118) 는, 4 개의 측면의 하나에 개구 (118a) 를 갖는 중공의 직방체상으로 구성되어 있다.
또한, 천판 (128) 은, 파장이 360 nm ∼ 830 nm 정도인 가시광선을 투과시키는 수지나 유리 등의 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 이로써, 예를 들어, 상자체 (118) 에 수용된 피가공물 (11) 의 종류 등을, 카세트 (28) 의 외부로부터 판별할 수 있도록 된다. 또한, 피가공물 (11) 의 종류 등을 판별할 때에는, 피가공물 (11) 에 묘화되어 있는 바코드 등의 식별 코드 (17) 를 판독하면 된다.
또, 저판 (120) 의 개구 (118a) 측의 영역에는, 상자체 (118) 에 수용된 프레임 (15) 의 외부로의 이동을 규제하기 위한 2 개의 이동 규제 부재 (130a, 130b) 가 설치되어 있다. 2 개의 이동 규제 부재 (130a, 130b) 는, 모두 직방체상으로 형성되어 있고, 각 이동 규제 부재 (130a, 130b) 의 길이 방향이 개구 (118a) 의 하측의 가장자리를 따르도록 배치된다.
2 개의 이동 규제 부재 (130a, 130b) 의 높이는, 개구 (118a) 의 높이보다 낮게 되어 있고, 각 이동 규제 부재 (130a, 130b) 와 천판 (128) 사이에는, 피가공물 (11) 이나 프레임 (15) 을 반입출하기 위한 간극이 형성되어 있다. 또한, 2 개의 이동 규제 부재 (130a, 130b) 는, 서로 접하고 있지 않다. 즉, 이동 규제 부재 (130a) 와 이동 규제 부재 (130b) 사이에는, 소정의 간극 (130c) 이 형성되어 있다.
저판 (120) 의 일부에는, 이 저판 (120) 을 두께 방향으로 관통하는 평면으로 볼 때 사각형상의 복수의 개구 (120a) 가 형성되어 있다. 각 개구 (120a) 는, 예를 들어, 상자체 (118) 에 수용되는 프레임 (15) 의 바로 아래의 영역에 형성된다. 즉, 각 개구 (120a) 는, 상자체 (118) 에 수용되는 프레임 (15) 에 대해 평면으로 볼 때 겹치는 위치에 형성된다.
도 12 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어, 절삭 장치 (4) 가 구비하는 카세트 지지대 (50) 의 상면에는, 개구 (120a) 의 형상에 대응하는 직방체상의 복수의 돌기 (50a) 가 형성되어 있다. 각 돌기 (50a) 는, 카세트 지지대 (50) 의 상면에 적재되는 카세트 (28) 의 개구 (120a) 에 대응하는 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 예를 들어, 무인 피가공물 반송차 (10) 상의 카세트 (28) 를 카세트 반송 아암 (94) 에 의해 반송하여 카세트 지지대 (50) 의 상면에 적재하면, 이 카세트 (28) 의 개구 (120a) 에 돌기 (50a) 가 삽입된다.
그 결과, 카세트 (28) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 은, 돌기 (50a) 에 의해 이동 규제 부재 (130a, 130b) 보다 높은 위치까지 상대적으로 밀어 올려지고, 이동 규제 부재 (130a, 130b) 와 천판 (128) 의 간극으로부터 반출할 수 있는 상태가 된다. 또한, 개구 (120a) 나 돌기 (50a) 의 형상 등에 특별한 제한은 없다. 또, 도 12 에서는, 절삭 장치 (4) 가 구비하는 카세트 지지대 (50) 만을 예시하고 있지만, 예를 들어, 스톡 유닛 (8) 이 구비하는 제 2 카세트 지지대 (26) 등의 구조도 동일하다.
도 13(A), 도 13(B), 및 도 13(C) 는, 피가공물 (11) 을 지지하는 프레임 (15) 이 카세트 (28) 로부터 반출되는 양태를 나타내는 단면도이다. 예를 들어, 절삭 장치 (4) 에 있어서 프레임 (15) 을 카세트 (28) 로부터 반출할 때에는, 도 13(A) 에 나타내는 바와 같이, 개구 (120a) 에 대해 돌기 (50a) 가 삽입되도록 카세트 (28) 를 카세트 지지대 (50) 의 상면에 적재한다. 그 결과, 카세트에 수용되어 있는 프레임 (15) 은, 돌기 (50a) 에 의해 이동 규제 부재 (130a, 130b) 보다 높은 위치까지 상대적으로 밀어 올려진다.
다음으로, 카세트 지지대 (50) 의 돌기 (50a) 의 상면과 제 1 반송 유닛 (68) 의 파지 기구 (68a) 가 대체로 동일한 높이가 되도록 카세트 지지대 (50) 와 파지 기구 (68a) 의 상대적인 높이를 조정한다. 그리고, 도 13(B) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 반송 유닛 (68) 의 파지 기구 (68a) 를 개구 (118a) 로부터 카세트 (28) 내에 삽입한다. 구체적으로는, 제 1 반송 유닛 (68) 을 수평으로 이동시키고, 이동 규제 부재 (130a) 와 이동 규제 부재 (130b) 의 간극 (130c) 에 파지 기구 (68a) 를 삽입한다.
그 후, 프레임 (15) 을 파지 기구 (68a) 로 파지하고, 도 13(C) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 반송 유닛 (68) 을 수평으로 이동시키고, 이 파지 기구 (68a) 를 카세트 (28) 로부터 인발한다. 이로써, 프레임 (15) 은 카세트 (28) 로부터 반출된다. 반출된 프레임 (15) 는, 예를 들어, 1 쌍의 가이드 레일 (60) 에 의해 위치가 조정된 후에, 척 테이블 (56) 에 반입된다.
다음으로, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 의 동작 등의 예를 설명한다. 도 14 는, 반송 시스템 (2) 의 동작 등의 예를 설명하기 위한 기능 블록도이다. 예를 들어, 절삭 장치 (4) 의 제어 장치 (96) 는, 새로운 피가공물 (11) 이 필요한 상황이 되면, 그 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.
도 14 에 나타내는 바와 같이, 제어 유닛 (12) 은, 각종 제어를 실시하기 위한 제어 신호를 생성하는 제어부 (제어 신호 생성부) (132) 를 구비하고 있다. 이 제어부 (132) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어부 (132) 의 기능이 실현된다.
이 제어부 (132) 에는, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 등으로부터 송신되는 통지 신호를 수신하는 수신기 (134) 와, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 등에 대해 제어 신호를 송신하는 송신기 (136) 가 접속되어 있다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 절삭 장치 (4) 의 송신기 (100) 로부터 송신된 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 절삭 장치 (4) 로부터의 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 를 확인하면, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 대해, 스톡 유닛 (8) 으로부터 피가공물 (11) 을 수취할 수 있는 위치에서 대기하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 로 보낸다.
무인 피가공물 반송차 (10) 의 수신기 (44) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (42) 로 보낸다. 제어 장치 (42) 는, 이 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 에 근거하여 차륜 (주행 기구) (40) 등의 동작을 제어하여, 무인 피가공물 반송차 (10) 를 반송 통로 (6) 를 따라 주행시킨다.
또한, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 제어 장치 (42) 에는, 반송 통로 (6) 에 설치되어 있는 정보 제공부 (102b) 의 정보를 판독하기 위한 판독기 (138) 가 접속되어 있다. 그 때문에, 판독기 (138) 에 의해 정보 제공부 (102b) 의 정보를 판독함으로써, 제어 장치 (42) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 위치를 확인할 수 있다.
제어 장치 (42) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 가 스톡 유닛 (8) 의 옆까지 이동한 것을 확인하면, 차륜 (40) 등을 정지시킨다. 또, 제어 장치 (42) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 가 피가공물 (11) 을 수취할 수 있는 위치에서 대기 중인 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (42) 에서 생성된 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 는, 송신기 (46) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 송신기 (46) 로부터 송신된 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터의 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 확인하면, 스톡 유닛 (8) 에 대해, 피가공물 (11) 을 무인 피가공물 반송차 (10) 로 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 스톡 유닛 (8) 으로 보낸다.
스톡 유닛 (8) 의 수신기 (34) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (32) 로 보낸다. 제어 장치 (32) 는, 이 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 에 근거하여 카세트 반송 아암 (30) 등의 동작을 제어하여, 피가공물 (11) 이 수용되어 있는 카세트 (28) 를 무인 피가공물 반송차 (10) 의 새시 (38) 에 적재한다.
무인 피가공물 반송차 (10) 에 대한 카세트 (28) 의 반송이 완료하면, 제어 장치 (32) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 대한 카세트 (28) 의 반송이 완료한 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (32) 에서 생성된 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 는, 송신기 (36) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 스톡 유닛 (8) 의 송신기 (36) 로부터 송신된 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 스톡 유닛 (8) 으로부터의 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 확인하면, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 대해, 피가공물 (11) 을 절삭 장치 (4) 에 수수할 수 있는 위치까지 이동시키고 대기하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 로 보낸다.
무인 피가공물 반송차 (10) 의 수신기 (44) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (42) 로 보낸다. 제어 장치 (42) 는, 이 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 에 근거하여 차륜 (40) 등의 동작을 제어하여, 무인 피가공물 반송차 (10) 를 반송 통로 (6) 를 따라 주행시킨다.
제어 장치 (42) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 가 절삭 장치 (4) 의 옆까지 이동한 것을 확인하면, 차륜 (40) 등을 정지시킨다. 또, 제어 장치 (42) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 가 절삭 장치 (4) 에 대해 피가공물 (11) 을 수수할 수 있는 위치에서 대기 중인 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (42) 에서 생성된 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 는, 송신기 (46) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 송신기 (46) 로부터 송신된 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터의 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 확인하면, 절삭 장치 (4) 에 대해, 피가공물 (11) 을 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 절삭 장치 (4) 로 보낸다.
절삭 장치 (4) 의 수신기 (98) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (96) 로 보낸다. 제어 장치 (96) 는, 이 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 에 근거하여 카세트 반송 아암 (94) 등의 동작을 제어하여, 피가공물 (11) 이 수용되어 있는 카세트 (28) 를 무인 피가공물 반송차 (10) 의 새시 (38) 로부터 반출하여 카세트 지지대 (50) 에 적재한다.
절삭 장치 (4) 에 대한 카세트 (28) 의 반송이 완료되면, 예를 들어, 제어 장치 (96) 는, 절삭 장치 (4) 에 대한 카세트 (28) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.
이와 같은 순서에 의해, 스톡 유닛 (8) 에 수용되어 있는 피가공물 (11) 을 임의의 절삭 장치 (4) 에 대해 1 장씩 반송할 수 있다. 또한, 여기서는, 절삭 장치 (4) 에 대해 피가공물 (11) 을 반송할 때의 순서에 대해 주로 설명했지만, 절삭 장치 (4) 로부터 피가공물 (11) 이나 카세트 (28) 를 회수할 때의 순서 등도 동일하다.
또, 상기 서술한 순서는, 피가공물 (11) 을 적절히 반송할 수 있는 범위 내에서 변경할 수 있다. 예를 들어, 상기 서술한 순서에 포함되어 있는 복수의 스텝을 동시에 실시해도 되고, 피가공물 (11) 의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 스텝의 순서를 바꿔도 된다. 동일하게, 피가공물 (11) 의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 임의의 스텝을 추가, 변경, 생략해도 된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 은, 복수의 절삭 장치 (가공 장치) (4) 에 걸쳐 설치되는 반송 통로 (6) 와, 새시 (피가공물 지지부) (38), 차륜 (주행 기구) (40), 및 수신기 (44) 를 구비하는 무인 피가공물 반송차 (10) 와, 카세트 반송 아암 (피가공물 반송부) (30), 및 수신기 (34) 를 구비하는 스톡 유닛 (8) 을 포함하고 있다.
그 때문에, 카세트 (피가공물 스토커) (18) 에 수용되어 있는 피가공물 (11) 을 카세트 반송 아암 (30) 에 의해 무인 피가공물 반송차 (10) 의 새시 (38) 로 반송하고, 이 무인 피가공물 반송차 (10) 를 반송 통로 (6) 상에서 주행시킴으로써, 복수의 절삭 장치 (4) 의 각각에 대해 피가공물 (11) 을 반송할 수 있다. 또, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 에서는, 반송 통로 (6) 가, 절삭 장치 (4) 의 바로 위의 공간에 설치된다. 그 때문에, 이 반송 통로 (6) 를 설계할 때에 각 절삭 장치 (4) 의 측면의 구조를 고려할 필요가 없다. 즉, 반송 시스템 (2) 의 구축이 용이해진다.
(실시형태 2)
본 실시형태에서는, 피가공물 (11) 과 함께 절삭 블레이드 (82) 등을 반송의 대상으로 하는 반송 시스템에 대해 설명한다. 또한, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템의 기본적인 구성은, 실시형태 1 에 관련된 반송 시스템 (2) 의 기본적인 구성과 동일하다. 따라서, 실시형태 1 의 반송 시스템 (2) 과 공통되는 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고 상세한 설명을 생략한다.
도 15 는, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (202) 의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블록도이다. 도 15 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (202) 의 제어 유닛 (12) 에는, 무인 피가공물 반송차 (10), 절삭 장치 (204), 무인 블레이드 반송차 (206), 스톡 유닛 (208) 이 무선으로 접속되어 있다.
무인 블레이드 반송차 (206) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 와 동일하게 반송 통로 (6) (도 16 등 참조) 를 주행하고, 각 절삭 장치 (204) 에 대해 절삭 블레이드 (82) 를 반송한다. 스톡 유닛 (208) 은, 복수의 피가공물 (11) 에 더하여, 각 절삭 장치 (204) 에 공급되는 절삭 블레이드 (82) 를 수용할 수 있도록 구성되어 있다.
또한, 도 15 에서는, 설명의 편의상, 2 대의 무인 피가공물 반송차 (10a, 10b), 2 대의 절삭 장치 (204a, 204b), 및 2 대의 무인 블레이드 반송차 (206a, 206b) 를 나타내고 있지만, 각각의 대수에 제한은 없다. 또, 제어 유닛 (12) 은, 무인 피가공물 반송차 (10), 절삭 장치 (204), 무인 블레이드 반송차 (206), 스톡 유닛 (208) 등에 대해 유선으로 접속되어도 된다.
도 16 은, 제 2 실시형태에 관련된 스톡 유닛 (208) 의 구성예를 나타내는 측면도이다. 도 16 에 나타내는 바와 같이, 스톡 유닛 (208) 의 기본적인 구성은, 실시형태 1 에 관련된 스톡 유닛 (8) 의 기본적인 구성과 동일하다. 단, 본 실시형태에 관련된 스톡 유닛 (208) 에는, 복수의 절삭 블레이드 (82) 를 수용하기 위한 블레이드 스토커 (210) 가 배치되어 있다.
블레이드 스토커 (210) 는, 예를 들어, 상면측이 복수의 영역으로 구획된 트레이상으로 구성되어 있다. 각 영역에는, 절삭 블레이드 (82) 가 수용된다. 또, 이 블레이드 스토커 (210) 의 옆에는, 블레이드 스토커 (210) 와 무인 블레이드 반송차 (206) 사이에서 절삭 블레이드 (82) 를 반송하는 블레이드 반송 아암 (블레이드 반송부) (212) 이 설치되어 있다.
도 17 은, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 17 에 나타내는 바와 같이, 무인 블레이드 반송차 (206) 는, 트레이상의 새시 (블레이드 지지부) (214) 를 포함한다. 새시 (214) 의 상면측에는, 절삭 블레이드 (82) 의 크기에 대응하는 복수의 오목부 (214a) 가 형성되어 있고, 각 오목부 (214a) 에는, 절삭 블레이드 (82) 를 수용할 수 있는 블레이드 케이스 (216) 가 배치되어 있다.
블레이드 반송 아암 (212) 에 의해 반송된 절삭 블레이드 (82) 는, 이 새시 (214) 의 오목부 (214a) 에 배치된 블레이드 케이스 (216) 에 적재된다. 또한, 새시 (214) 의 각 블레이드 케이스 (216) (오목부 (214a)) 에 대응하는 위치에는, 무선 태그나 식별 코드 등의 정보 제공부 (214b) 가 설치되어 있다. 따라서, 각 블레이드 케이스 (216) 에 수용되는 절삭 블레이드 (82) 를 용이하게 특정할 수 있다.
새시 (214) 의 하면측에는, 복수 (본 실시형태에서는, 4 개) 의 차륜 (주행 기구) (218) 이 장착되어 있다. 각 차륜 (218) 은, 모터 등의 회전 구동원에 연결되어 있고 회전한다. 이 차륜 (218) 을 회전 구동원에 의해 회전시킴으로써, 무인 블레이드 반송차 (206) 는, 반송 통로 (6) 상을 주행한다. 또한, 차륜 (218) 으로는, 경사진 준상 (통상) 의 복수의 회전체가 반송 통로 (6) 와 접촉하는 외주면에 장착된, 이른바 메카넘 휠 등을 사용하면 된다.
새시 (214) 의 측면에는, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 동작을 제어하는 제어 장치 (220) 가 설치되어 있다. 제어 장치 (220) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (220) 의 기능이 실현된다.
이 제어 장치 (220) 에는, 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (222) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (224) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (220) 는, 수신기 (222) 에서 수신한 신호에 근거하여 무인 블레이드 반송차 (206) 의 동작 (주행) 을 제어한다. 또, 제어 장치 (220) 는, 송신기 (224) 를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.
도 18 은, 절삭 장치 (204) 등의 외관을 나타내는 사시도이다. 도 18 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (204) 의 기본적인 구성은, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치 (4) 의 기본적인 구성과 동일하다. 단, 이 절삭 장치 (204) 에는, 커버 (92) 의 천장 (92a) 을 상하로 관통하는 2 개의 개구 (92d) 가 또한 형성되어 있다. 각 개구 (92d) 는, 절삭 블레이드 (82) 를 통과할 수 있는 크기로 형성되어 있다.
또, 각 개구 (92d) 에는, 절삭 블레이드 (82) 를 승강시키기 위한 블레이드 승강 기구 (226) 가 배치되어 있다. 블레이드 승강 기구 (226) 는, 절삭 블레이드 (82) 를 유지하는 블레이드 유지부 (228) 를 구비하고, 이 블레이드 유지부 (228) 를 승강시킨다. 그 때문에, 블레이드 유지부 (228) 에 절삭 블레이드 (82) 를 유지시킨 후에 이 블레이드 유지부 (228) 를 승강시키면, 절삭 블레이드 (82) 를 커버 (92) 의 외부로부터 내부로 반송하거나, 또는 커버 (92) 의 내부로부터 외부로 반송할 수 있다.
커버 (92) 의 천장 (92a) 에는, 블레이드 승강 기구 (226) 가 구비하는 블레이드 유지부 (228) 와, 블레이드 승강 기구 (226) 의 옆에 정지하는 무인 블레이드 반송차 (206) 사이에서 절삭 블레이드 (82) 를 반송하는 블레이드 반송 아암 (230) 이 설치되어 있다. 이 블레이드 반송 아암 (230) 은, 절삭 블레이드 (82) 를 유지하는 블레이드 파지부 (230a) 를 구비하고, 이 블레이드 파지부 (230a) 를 회전, 승강시킴으로써, 무인 블레이드 반송차 (206) 와 블레이드 유지부 (228) 사이에서 절삭 블레이드 (82) 를 반송한다.
절삭 장치 (204) 의 커버 (92) 의 내부에는, 절삭 유닛 (80) 의 절삭 블레이드 (82) 를 자동 제어로 교환하는 블레이드 체인저 (232) 가 또한 설치되어 있다. 블레이드 체인저 (232) 는, 블레이드 승강 기구 (226) 나 블레이드 반송 아암 (230) 과 함께, 제어 장치 (96) 에 접속되어 있다.
도 19 는, 블레이드 체인저 (232) 의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다. 이 블레이드 체인저 (232) 는, 예를 들어, 기대 (48) 나 커버 (92) 등에 대해 위치가 고정되는 고정 플레이트 (234) 를 구비하고 있다. 고정 플레이트 (234) 의 하면측에는, X 축 방향으로 긴 1 쌍의 가이드 레일 (236) 이 설치되어 있다. 가이드 레일 (236) 에는, 이동 플레이트 (238) 가 X 축 방향을 따라 슬라이드할 수 있는 양태로 지지된다.
이동 플레이트 (238) 의 Y 축 방향의 단부에는, 가이드 레일 (236) 의 형상에 대응하는 브래킷 (240) 이 설치되어 있고, 이 브래킷 (240) 을 개재하여 이동 플레이트 (238) 가 가이드 레일 (236) 에 지지된다. 이동 플레이트 (238) 의 상면에는, 너트부 (242) 가 고정되어 있다. 너트부 (242) 의 나사 구멍 (242a) 에는, X 축 방향에 대략 평행한 볼나사 (244) 가 회전할 수 있는 양태로 삽입된다.
볼나사 (244) 의 일단에는, 펄스 모터 (246) 가 연결되어 있다. 이 펄스 모터 (246) 로 볼나사 (244) 를 회전시키면, 이동 플레이트 (238) 는, 가이드 레일 (236) 을 따라 X 축 방향으로 이동한다. 이동 플레이트 (238) 의 하면측에는, 체인저 지지 구조 (248) 가 고정되어 있다.
체인저 지지 구조 (248) 에는, 절삭 유닛 (80) 에 대해 절삭 블레이드 (82) 를 고정하는 고정 너트 (도시 생략) 를 착탈하기 위한 1 쌍의 너트 착탈 기구 (250) 가 지지되어 있다. 각 너트 착탈 기구 (250) 는, Y 축 방향을 따라 이동할 수 있음과 함께, Y 축 방향에 평행한 회전축의 둘레로 회전할 수 있도록 구성된다. 이 너트 착탈 기구 (250) 에 의해 고정 너트를 파지하여 회전시킴으로써, 절삭 유닛 (80) 에 고정 너트를 장착하거나, 또는 절삭 유닛 (80) 으로부터 고정 너트를 분리할 수 있다.
또, 체인저 지지 구조 (248) 에는, 절삭 블레이드 (82) 를 교환하기 위한 1 쌍의 블레이드 교환 기구 (252) 가 지지되어 있다. 각 블레이드 교환 기구 (252) 는, 각각 절삭 블레이드 (82) 를 유지 가능한 제 1 블레이드 유지부 (252a) 및 제 2 블레이드 유지부 (252b) 를 포함한다. 이 블레이드 교환 기구 (252) 는, Y 축 방향을 따라 이동할 수 있음과 함께, X 축 방향에 있어서 제 1 블레이드 유지부 (252a) 와 제 2 블레이드 유지부 (252b) 의 위치를 바꿀 수 있도록 구성된다.
블레이드 체인저 (232) 로 절삭 블레이드 (82) 를 교환할 때에는, 예를 들어, 블레이드 승강 기구 (226) 의 블레이드 유지부 (228) 에 의해 유지된 교환용의 절삭 블레이드 (82) 를 제 1 블레이드 유지부 (252a) 로 수취한다. 그리고, 너트 착탈 기구 (250) 로 절삭 유닛 (80) 으로부터 고정 너트를 분리한다. 또, 절삭 유닛 (80) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (82) 를 제 2 블레이드 유지부 (252b) 로 절삭 유닛 (80) 으로부터 분리한다.
그 후, 제 1 블레이드 유지부 (252a) 와 제 2 블레이드 유지부 (252b) 의 위치를 바꾸고, 제 1 블레이드 유지부 (252a) 로 교환용의 절삭 블레이드 (82) 를 절삭 유닛 (80) 에 장착한다. 그리고, 마지막으로, 너트 착탈 기구 (250) 로 절삭 유닛 (80) 에 고정 너트를 장착한다. 또한, 절삭 유닛 (80) 에 장착되어 있던 절삭 블레이드 (82) 는, 예를 들어, 제 2 블레이드 유지부 (252b) 로부터 블레이드 승강 기구 (226) 의 블레이드 유지부 (228) 에 수수된다.
다음으로, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (202) 의 동작 등의 예를 설명한다. 도 20 은, 반송 시스템 (202) 의 동작 등의 예를 설명하기 위한 기능 블록도이다. 또한, 피가공물 (11) 의 반송에 관련된 동작은 실시형태 1 과 동일하므로, 본 실시형태에서는, 주로 절삭 블레이드 (82) 의 반송에 관련된 동작의 예를 설명한다.
예를 들어, 절삭 장치 (204) 의 제어 장치 (96) 는, 절삭 블레이드 (82) 의 교환이 필요한 상황이 되면, 그 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (블레이드 요구 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (블레이드 요구 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 절삭 장치 (204) 의 송신기 (100) 로부터 송신된 통지 신호 (블레이드 요구 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 절삭 장치 (204) 로부터의 통지 신호 (블레이드 요구 신호) 를 확인하면, 무인 블레이드 반송차 (206) 에 대해, 스톡 유닛 (208) 으로부터 절삭 블레이드 (82) 를 수취할 수 있는 위치에서 대기하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 무인 블레이드 반송차 (206) 로 보낸다.
무인 블레이드 반송차 (206) 의 수신기 (222) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (220) 로 보낸다. 제어 장치 (220) 는, 이 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 에 근거하여 차륜 (주행 기구) (218) 등의 동작을 제어하여, 무인 블레이드 반송차 (206) 를 반송 통로 (6) 를 따라 주행시킨다.
또한, 도 20 에 나타내는 바와 같이, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 제어 장치 (220) 에는, 반송 통로 (6) 에 설치되어 있는 정보 제공부 (102b) 의 정보를 판독하기 위한 판독기 (254) 가 접속되어 있다. 그 때문에, 판독기 (254) 에 의해 정보 제공부 (102b) 의 정보를 판독함으로써, 제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 위치를 확인할 수 있다.
제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 스톡 유닛 (208) 의 옆까지 이동한 것을 확인하면, 차륜 (218) 등을 정지시킨다. 또, 제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 절삭 블레이드 (82) 를 수취할 수 있는 위치에서 대기 중인 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (220) 에서 생성된 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 는, 송신기 (224) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 송신기 (224) 로부터 송신된 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 로부터의 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 확인하면, 스톡 유닛 (208) 에 대해, 절삭 블레이드 (82) 를 무인 블레이드 반송차 (206) 로 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 스톡 유닛 (208) 으로 보낸다.
스톡 유닛 (208) 의 수신기 (34) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (32) 로 보낸다. 제어 장치 (32) 는, 이 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 에 근거하여 블레이드 반송 아암 (212) 등의 동작을 제어하여, 절삭 블레이드 (82) 를 블레이드 스토커 (210) 로부터 반출하고, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 새시 (214) 에 적재한다. 구체적으로는, 예를 들어, 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 통해서 제어 유닛 (12) 으로부터 지시된 블레이드 케이스 (216) 에 절삭 블레이드 (82) 를 적재한다.
무인 블레이드 반송차 (206) 에 대한 절삭 블레이드 (82) 의 반송이 완료하면, 제어 장치 (32) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 에 대한 절삭 블레이드 (82) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (32) 에서 생성된 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 는, 송신기 (36) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 스톡 유닛 (208) 의 송신기 (36) 로부터 송신된 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 스톡 유닛 (208) 으로부터의 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 확인하면, 무인 블레이드 반송차 (206) 에 대해, 절삭 블레이드 (82) 를 절삭 장치 (204) 에 수수할 수 있는 위치까지 이동하여 대기하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 무인 블레이드 반송차 (206) 로 보낸다.
무인 블레이드 반송차 (206) 의 수신기 (222) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (220) 로 보낸다. 제어 장치 (220) 는, 이 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 에 근거하여 차륜 (218) 등의 동작을 제어하여, 무인 블레이드 반송차 (206) 를 반송 통로 (6) 를 따라 주행시킨다.
제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 절삭 장치 (204) 의 옆까지 이동한 것을 확인하면, 차륜 (218) 등을 정지시킨다. 또, 제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 절삭 장치 (204) 에 대해 절삭 블레이드 (82) 를 수수할 수 있는 위치에서 대기 중인 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (220) 에서 생성된 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 는, 송신기 (224) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 송신기 (224) 로부터 송신된 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 로부터의 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 확인하면, 절삭 장치 (204) 에 대해, 절삭 블레이드 (82) 를 무인 블레이드 반송차 (206) 로부터 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 절삭 장치 (204) 로 보낸다.
절삭 장치 (204) 의 수신기 (98) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (96) 로 보낸다. 제어 장치 (96) 는, 이 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 에 근거하여 블레이드 반송 아암 (230) 등의 동작을 제어하여, 절삭 블레이드 (82) 를 무인 블레이드 반송차 (206) 의 새시 (214) 로부터 반출해 블레이드 유지부 (228) 에 수수한다. 구체적으로는, 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 통해서 제어 유닛으로부터 지시되는 블레이드 케이스 (216) 내의 절삭 블레이드 (82) 가 반출되고, 블레이드 유지부 (228) 로 수수된다.
절삭 장치 (204) 에 대한 절삭 블레이드 (82) 의 수수가 완료되면, 예를 들어, 제어 장치 (96) 는, 절삭 장치 (204) 에 대한 절삭 블레이드 (82) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다. 이와 같은 순서에 의해, 스톡 유닛 (208) 에 수용되어 있는 절삭 블레이드 (82) 를 필요에 따라 절삭 장치 (204) 에 반송할 수 있다.
그 후, 절삭 장치 (204) 는, 예를 들어, 상기 서술한 블레이드 유지부 (228) 로부터 블레이드 체인저 (232) 로 절삭 블레이드 (82) 를 수수한다. 그리고, 이 블레이드 체인저 (232) 에 의해, 블레이드 유지부 (228) 로부터 수취한 절삭 블레이드 (82) 와, 절삭 유닛 (80) 에 이미 장착되어 있는 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 가 교환된다.
절삭 유닛 (80) 으로부터 분리된 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 는, 블레이드 유지부 (228) 로 수수된다. 블레이드 반송 아암 (230) 은, 블레이드 유지부 (228) 에 유지되어 있는 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 를, 대기 중인 무인 블레이드 반송차 (206) 의 새시 (214) 에 적재한다. 이때, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 는, 예를 들어, 제어 장치 (96) 에 의해 지정된 블레이드 케이스 (216) 에 적재된다.
무인 블레이드 반송차 (206) 에 대한 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 의 반송이 완료되면, 제어 장치 (96) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 에 대한 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다. 또한, 이 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 에는, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 가 적재된 블레이드 케이스 (216) 의 정보 (블레이드 케이스 (216) 에 대응하는 정보 제공부 (214b) 의 정보) 가 포함된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 절삭 장치 (204) 의 송신기 (100) 로부터 송신된 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 절삭 장치 (204) 로부터의 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 를 확인하면, 무인 블레이드 반송차 (206) 에 대해, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 를 스톡 유닛 (208) 에 수수할 수 있는 위치까지 이동하여 대기하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 3 대기 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 무인 블레이드 반송차 (206) 로 보낸다.
무인 블레이드 반송차 (206) 의 수신기 (222) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 3 대기 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (220) 로 보낸다. 제어 장치 (220) 는, 이 제어 신호 (제 3 대기 지시 신호) 에 근거하여 차륜 (218) 등의 동작을 제어해, 무인 블레이드 반송차 (206) 를 반송 통로 (6) 를 따라 주행시킨다.
제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 스톡 유닛 (208) 의 옆까지 이동한 것을 확인하면, 차륜 (218) 등을 정지시킨다. 또, 제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 절삭 블레이드 (82) 를 수취할 수 있는 위치에서 대기 중인 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 3 대기 중 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (220) 에서 생성된 통지 신호 (제 3 대기 중 신호) 는, 송신기 (224) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.
제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 송신기 (224) 로부터 송신된 통지 신호 (제 3 대기 중 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 로부터의 통지 신호 (제 3 대기 중 신호) 를 확인하면, 스톡 유닛 (208) 에 대해, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 를 무인 블레이드 반송차 (206) 로부터 반출하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 3 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 스톡 유닛 (208) 으로 보낸다.
스톡 유닛 (208) 의 수신기 (34) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 3 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (32) 로 보낸다. 제어 장치 (32) 는, 이 제어 신호 (제 3 반송 지시 신호) 에 근거하여 블레이드 반송 아암 (212) 등의 동작을 제어하여, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 를 무인 블레이드 반송차 (206) 의 새시 (214) 로부터 반출하고, 블레이드 스토커 (210) 에 수용한다. 구체적으로는, 제어 신호 (제 3 반송 지시 신호) 를 통해서 제어 유닛 (12) 으로부터 지시되는 블레이드 케이스 (216) 내의 절삭 블레이드 (82) 가 반출되고, 블레이드 스토커 (210) 로 수수된다.
이와 같은 순서에 의해, 스톡 유닛 (208) 에 수용되어 있는 절삭 블레이드 (82) 를 필요에 따라 절삭 장치 (204) 에 반송하고, 또, 절삭 장치 (204) 의 절삭 유닛 (80) 으로부터 분리된 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 를 회수할 수 있다. 또한, 여기서는, 절삭 블레이드 (82) 를 교환하는 작업동안에 무인 블레이드 반송차 (206) 를 그 자리에 대기시키고 있지만, 예를 들어, 이 절삭 블레이드 (82) 를 교환하는 작업동안에, 다른 절삭 장치 (204) 에 대해 절삭 블레이드 (82) 를 반송해도 된다.
또, 상기 서술한 순서는, 절삭 블레이드 (82) 를 적절히 반송할 수 있는 범위 내에서 변경할 수 있다. 예를 들어, 상기 서술한 순서에 포함되어 있는 복수의 스텝을 동시에 실시해도 되고, 절삭 블레이드 (82) 의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 스텝의 순서를 바꿔도 된다. 동일하게, 절삭 블레이드 (82) 의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 임의의 스텝을 추가, 변경, 생략해도 된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (202) 은, 복수의 절삭 장치 (가공 장치) (204) 에 걸쳐 설치되는 반송 통로 (6) 와, 새시 (블레이드 지지부) (214), 차륜 (주행 기구) (218), 및 수신기 (222) 를 구비하는 무인 블레이드 반송차 (206) 와, 블레이드 반송 아암 (블레이드 반송부) (212), 및 수신기 (34) 를 구비하는 스톡 유닛 (208) 을 포함하고 있다.
그 때문에, 블레이드 스토커 (210) 에 수용되어 있는 절삭 블레이드 (82) 를 블레이드 반송 아암 (212) 에 의해 무인 블레이드 반송차 (206) 의 새시 (214) 로 반송하고, 이 무인 블레이드 반송차 (206) 를 반송 통로 (6) 상에서 주행시킴으로써, 복수의 절삭 장치 (204) 의 각각에 대해 절삭 블레이드 (82) 를 반송할 수 있다. 또, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (202) 에서는, 반송 통로 (6) 가, 절삭 장치 (204) 의 바로 위의 공간에 설치된다. 그 때문에, 이 반송 통로 (6) 를 설계할 때에 각 절삭 장치 (204) 의 측면의 구조를 고려할 필요가 없다. 즉, 반송 시스템 (202) 의 구축이 용이해진다.
(실시형태 3)
본 실시형태에서는, 절삭 장치에 대해 카세트 (28) (피가공물 (11)) 를 반송하기 위한 반송 기구가 반송 통로에 장착되어 있는 예를 설명한다. 또한, 절삭 장치나 반송 통로의 기본적인 구성은, 실시형태 1, 2 와 동일하다. 따라서, 공통되는 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고 상세한 설명을 생략한다.
도 21 은, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템에 있어서, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 카세트 (28) 가 반출되는 양태를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 22 는, 카세트 (28) 가 절삭 장치 (가공 장치) (304) 로 반입되는 양태를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 또한, 도 21 및 도 22 에서는, 커버 (92) 의 내측의 구성 요소가 모두 생략되어 있다.
도 21 및 도 22 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서 사용되는 절삭 장치 (304) 에는, 카세트 반송 아암 (94) 이 설치되어 있지 않다. 또, 이 절삭 장치 (304) 에서는, 카세트 지지대 (50) 의 상면을 커버 (92) 의 외부에 노출시킬 필요가 없다. 한편으로, 절삭 장치 (304) 상의 반송 통로 (6) 에는, 지지 구조 (306) 가 고정되어 있다.
지지 구조 (306) 에는, 수평 방향으로 이동하는 이동 기구 (308) 가 설치되어 있다. 이동 기구 (308) 의 하단부에는, 카세트 (28) 를 유지하는 카세트 유지 핸드 (310) 가 설치되어 있다. 카세트 유지 핸드 (310) 는, 이동 기구 (308) 에 대해, 예를 들어, 크레인과 같이 승강할 수 있는 양태로 접속되어 있다. 또, 카세트 유지 핸드 (310) 의 하면측에는, 카세트 (28) 의 유무나 위치 등을 확인할 때에 사용되는 카메라 (도시 생략) 가 배치되어 있다.
이 반송 시스템에 있어서 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 절삭 장치 (304) 로 카세트 (28) 를 반송할 때에는, 먼저, 절삭 장치 (304) 의 옆에서 대기하고 있는 무인 피가공물 반송차 (10) 의 상방에 이동 기구 (308) 를 위치 결정한다. 다음으로, 도 21 에 나타내는 바와 같이, 카세트 유지 핸드 (310) 를 하강시키고, 이 카세트 유지 핸드 (310) 로 무인 피가공물 반송차 (10) 상의 카세트 (28) 를 유지한다.
그 후, 카세트 유지 핸드 (310) 를 상승시킨다. 또, 이동 기구 (308) 를 커버 (92) 의 개구 (92b) 의 상방 (즉, 카세트 지지대 (50) 의 상방) 으로 이동시킨다. 그리고, 도 22 에 나타내는 바와 같이, 카세트 유지 핸드 (310) 를 하강시키고, 이 카세트 유지 핸드 (310) 로 유지하고 있는 카세트 (28) 를 카세트 지지대 (50) 의 상면에 적재한다. 이상과 같은 순서로, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 절삭 장치 (304) 로 카세트 (28) 를 반송할 수 있다.
본 실시형태의 반송 시스템에서는, 절삭 장치에 대해 카세트 (28) (피가공물 (11)) 를 반송하기 위한 반송 기구가 반송 통로 (6) 에 장착되어 있으므로, 절삭 장치 (304) 에 카세트 반송 아암을 설치할 필요가 없다. 따라서, 절삭 장치에 카세트 반송 아암을 설치하는 경우 등에 비해 반송 시스템의 범용성이 높아진다.
(실시형태 4)
본 실시형태에서는, 스톡 유닛 (8) 및 스톡 유닛 (208) 과는 상이한 구조의 스톡 유닛에 대해 설명한다. 또한, 본 실시형태의 스톡 유닛이 삽입되는 반송 시스템 등의 기본적인 구성은, 실시형태 1-3 에 관련된 반송 시스템 등과 동일하다. 따라서, 공통되는 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고 상세한 설명을 생략한다.
도 23 은, 본 실시형태에 관련된 스톡 유닛 (408) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이며, 도 24 는, 스톡 유닛 (408) 의 내부의 구조를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 23 에 나타내는 바와 같이, 스톡 유닛 (408) 은, 각종 구성 요소를 수용하는 케이싱 (414) 을 포함한다. 또한, 도 23 에서는, 설명의 편의상, 케이싱 (414) 의 윤곽만이 나타내어져 있다.
케이싱 (414) 내에는, 예를 들어, 볼나사식의 승강 기구 (도시 생략) 에 의해 승강하는 제 1 카세트 지지대 (재치대) (416) 가 설치되어 있다. 제 1 카세트 지지대 (416) 의 상면에는, 복수의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 카세트 (피가공물 스토커) (18) 가 적재된다. 또한, 이 카세트 (18) 는, 상기 서술한 바와 같이, 테이프 (13) 를 개재하여 프레임 (15) 에 지지된 상태의 피가공물 (11) 을 수용한다.
도 24 에 나타내는 바와 같이, 제 1 카세트 지지대 (416) (카세트 (18)) 에 대면하는 제 1 위치에는, 프레임 (15) 을 파지하여 이동시키는 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 이 배치되어 있다. 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 은, 프레임 (15) 을 상하로 파지하는 파지부 (422) 와, 파지부 (422) 를 대략 수평인 방향으로 이동시키는 구동부 (424) 를 포함한다.
구동부 (424) 의 상면에는, 제 1 카세트 지지대 (416) 를 향하여 대략 수평으로 신장하는 슬릿상의 개구 (424a) 가 형성되어 있고, 구동부 (424) 는, 이 개구 (424a) 를 따른 제 1 방향으로 파지부 (422) 를 이동시킨다. 요컨대, 파지부 (422) 는, 제 1 카세트 지지대 (416) 에 대해 접근하거나, 또는 제 1 카세트 지지대 (416) 로부터 이격하도록 이동한다.
그 때문에, 예를 들어, 카세트 (18) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 의 높이를 승강 기구에 의해 파지부 (422) 의 높이에 맞추고, 파지부 (422) 를 제 1 카세트 지지대 (416) 에 접근시키면, 파지부 (422) 에 의해 카세트 (18) 내의 프레임 (15) 을 파지할 수 있다. 또, 파지부 (422) 에 의해 카세트 (18) 내의 프레임 (15) 을 파지한 후에, 파지부 (422) 를 제 1 카세트 지지대 (416) 로부터 이격시키면, 프레임 (15) 을 카세트 (18) 의 외부로 인출할 수 있다.
제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 의 주위에는, 카세트 (18) 로부터 반출된 프레임 (15) 이 가거치되는 제 1 가거치대 (426) 가 배치되어 있다. 제 1 가거치대 (426) 는, 각각 제 1 방향으로 긴 1 쌍의 가이드부 (426a) 와, 제 1 방향에 수직 또한 수평인 제 2 방향으로 긴 기부 (426b) 를 포함한다. 1 쌍의 가이드부 (426a) 는, 서로의 길이 방향이 평행이 되도록 기부 (426b) 를 개재하여 연결되어 있다. 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 과 카세트 (18) 로부터 인출된 프레임 (15) 은, 1 쌍의 가이드부 (426a) 에 적재된다.
제 1 가거치대 (426) 는, 이 제 1 가거치대 (426) 를 제 2 방향으로 이동시키는 제 1 가거치대 이동부 (428) 에 의해 지지되고 있다. 제 1 가거치대 이동부 (428) 는, 제 2 방향으로 긴 가이드 레일 (430) 을 구비하고 있다. 가이드 레일 (430) 에는, 이동 부재 (432) 가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.
이동 부재 (432) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, 가이드 레일 (430) 에 대략 평행한 볼나사 (도시 생략) 가 나사 결합되어 있다. 볼나사의 일단에는, 펄스 모터 (434) 가 연결되어 있다. 펄스 모터 (434) 로 볼나사를 회전시키면, 이동 부재 (432) 는, 가이드 레일 (430) 을 따라 제 2 방향으로 이동한다.
이동 부재 (432) 의 상부에는, 제 1 가거치대 (426) 의 기부 (426b) 가 고정되어 있다. 그 때문에, 제 1 가거치대 (426) 는, 이동 부재 (432) 와 함께 제 2 방향으로 이동한다. 또한, 제 1 가거치대 이동부 (428) 는, 제 1 위치와, 이 제 1 위치의 이웃하는 제 2 위치 사이에서 제 1 가거치대 (426) 를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다.
제 2 위치에는, 프레임 (15) 을 파지하여 이동시키는 제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 이 배치되어 있다. 요컨대, 제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 은, 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 의 이웃에 배치되어 있다. 제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 의 구조는, 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 의 구조와 동일하다.
구체적으로는, 제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 은, 프레임 (15) 을 상하로 파지하는 파지부 (438) 와, 파지부 (438) 를 대략 수평인 방향으로 이동시키는 구동부 (440) 를 포함한다. 구동부 (440) 의 상면에는, 제 1 방향으로 긴 슬릿상의 개구 (440a) 가 형성되어 있고, 구동부 (440) 는, 이 개구 (440a) 를 따라 파지부 (438) 를 이동시킨다.
제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 의 주위에는, 제 1 가거치대 (426) 와 동일한 구조를 가지는 제 2 가거치대 (442) 가 배치되어 있다. 요컨대, 제 2 가거치대 (442) 는, 각각 제 1 방향으로 긴 1 쌍의 가이드부 (442a) 와, 제 1 방향에 수직 또한 수평인 제 2 방향으로 긴 기부 (442b) 를 포함한다. 1 쌍의 가이드부 (442a) 는, 서로의 길이 방향이 평행이 되도록 기부 (442b) 를 개재하여 연결되어 있다.
제 2 가거치대 (442) 는, 이 제 2 가거치대 (442) 를 제 2 방향 및 연직 방향으로 이동시키는 제 2 가거치대 이동부 (444) 에 의해 지지되고 있다. 제 2 가거치대 이동부 (444) 는, 제 2 방향으로 긴 가이드 레일 (446) 을 구비하고 있다. 가이드 레일 (446) 에는, 이동 부재 (448) 가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.
이동 부재 (448) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, 가이드 레일 (446) 에 대략 평행한 볼나사 (도시 생략) 가 나사 결합되어 있다. 볼나사의 일단에는, 펄스 모터 (450) 가 연결되어 있다. 펄스 모터 (450) 로 볼나사를 회전시키면, 이동 부재 (448) 는, 가이드 레일 (446) 을 따라 제 2 방향으로 이동한다.
이동 부재 (448) 의 상부에는, 에어 실린더 등으로 구성되는 승강 기구 (452) 를 개재하여 제 2 가거치대 (442) 의 기부 (442b) 가 고정되어 있다. 그 때문에, 제 2 가거치대 (442) 는, 이동 부재 (448) 및 승강 기구 (452) 와 함께 제 2 방향으로 이동하고, 승강 기구 (452) 에 의해 승강한다. 또한, 제 2 가거치대 이동부 (444) 는, 제 2 위치와, 이 제 2 위치의 이웃하는 제 1 위치 사이에서 제 2 가거치대 (442) 를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다.
도 25 는, 제 1 가거치대 (426) 와 제 2 가거치대 (442) 를 제 2 방향으로 이동시켜, 제 1 가거치대 (426) 의 위치와 제 2 가거치대 (442) 의 위치를 바꾸는 양태를 모식적으로 나타내는 측면도이다. 제 1 가거치대 (426) 의 위치와 제 2 가거치대 (442) 의 위치를 바꿀 때에는, 먼저, 제 2 가거치대 (442) 를 승강 기구 (452) 에 의해 상승시킨다. 구체적으로는, 제 2 가거치대 (442) 의 하단의 높이가 제 1 가거치대 (426) 의 상단의 높이보다 높아지는 상승 위치에 제 2 가거치대 (442) 를 위치 결정한다.
그 후, 제 2 가거치대 (442) 를 상승 위치에 위치 결정한 상태에서, 제 2 가거치대 (442) 를 제 2 가거치대 이동부 (444) 에 의해 제 1 위치측으로 이동시킨다. 또, 동일한 타이밍으로, 제 1 가거치대 (426) 를 제 1 가거치대 이동부 (428) 에 의해 제 2 위치측으로 이동시킨다. 또한, 도 25 에서는, 제 1 가거치대 (426) 를 제 1 위치로부터 제 2 위치까지 이동시키고, 제 2 가거치대 (442) 를 제 2 위치로부터 제 1 위치까지 이동시키는 양태를 나타내고 있다.
제 1 가거치대 (426) 및 제 2 가거치대 (442) 의 이동이 완료된 후에는, 제 2 가거치대 (442) 를 승강 기구 (452) 에 의해 하강시키고, 제 2 가거치대 (442) 의 하단의 높이가 제 1 가거치대 (426) 의 하단의 높이와 대략 동일해지는 기준 위치에 제 2 가거치대 (442) 를 위치 결정한다. 이와 같이, 스톡 유닛 (408) 에서는, 제 1 가거치대 이동부 (428) 와 제 2 가거치대 이동부 (444) 에 의해, 제 1 위치와 제 2 위치 사이에서 제 1 가거치대 (426) 와 제 2 가거치대 (442) 를 바꾸도록 이동시킬 수 있다.
제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 이 배치되어 있는 제 2 위치와 대면하는 위치에는, 1 장의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 카세트 (반송용 카세트) (28) 가 적재되는 제 2 카세트 지지대 (수수 영역) (454) 가 설치되어 있다. 이 제 2 카세트 지지대 (454) 의 구조는, 상기 실시형태에 관련된 카세트 지지대 (50) 등과 동일하면 된다. 단, 본 실시형태의 제 2 카세트 지지대 (454) 에는, 승강 기구가 접속되어 있지 않고, 이 제 2 카세트 지지대 (454) 는 승강하지 않는다.
도 23 에 나타내는 바와 같이, 제 2 카세트 지지대 (454) 의 바로 위의 영역에는, 케이싱 (414) 의 천장 (414a) 을 상하로 관통하는 개구 (414b) 가 형성되어 있다. 이 개구 (414b) 는, 제 2 카세트 지지대 (454) 에 적재되는 카세트 (28) 를 통과할 수 있는 형상, 크기로 형성되어 있다. 또, 케이싱 (414) 의 외부에는, 피가공물 (11) 이 수용되는 카세트 (28) 를, 제 2 위치에 대면하는 제 2 카세트 지지대 (454) 와, 개구 (14b) 의 옆에 정지한 무인 피가공물 반송차 (10) 사이에서 반송하는 카세트 반송 아암 (피가공물 반송부) (456) 이 설치되어 있다.
또한, 이 카세트 반송 아암 (456) 의 구조는, 상기 서술한 이동 기구 (308) 및 카세트 유지 핸드 (310) 의 구조와 유사하다. 즉, 카세트 반송 아암 (456) 은, 수평 방향으로 이동하는 이동 기구 (458) 와, 이 이동 기구 (458) 에 대해 크레인과 같이 승강하는 카세트 유지 핸드 (460) 를 포함한다. 카세트 유지 핸드 (460) 의 하면측에는, 카세트 (28) 의 유무나 위치 등을 확인할 때에 사용되는 카메라 (도시 생략) 가 배치되어 있다.
또, 카세트 유지 핸드 (460) 의 하면측에는, 카세트 유지 클로 (460a) 가 설치되어 있다. 한편, 본 실시형태에서 사용되는 카세트 (28) 의 천판 (128) 에는, 지주 (128a) 를 개재하여 피지지 플레이트 (128b) 가 고정되어 있다. 따라서, 천판 (128) 과 피지지 플레이트 (128b) 사이에 카세트 유지 클로 (460a) 를 삽입하고, 피지지 플레이트 (128b) 를 카세트 유지 클로 (460a) 로 지지하면, 이 카세트 반송 아암 (456) 에 의해 카세트 (28) 를 반송할 수 있다.
제 1 카세트 지지대 (416) 를 승강하는 승강 기구, 제 1 피가공물 이동 유닛 (420), 제 1 가거치대 이동부 (428), 제 2 피가공물 이동 유닛 (436), 제 2 가거치대 이동부 (444), 승강 기구 (452), 카세트 반송 아암 (456) 등의 구성 요소에는, 스톡 유닛 (408) 의 동작을 제어하기 위한 제어 장치 (462) 가 접속되어 있다.
제어 장치 (462) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (462) 의 기능이 실현된다.
제어 장치 (462) 에는, 또한, 반송 시스템의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (464) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (466) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (462) 는, 수신기 (464) 로 수신한 신호에 근거하여 스톡 유닛 (408) 의 동작을 제어한다. 또, 제어 장치 (462) 는, 송신기 (466) 를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.
다음으로, 본 실시형태에 관련된 스톡 유닛 (408) 의 동작을 설명한다. 도 26(A), 도 26(B), 도 27(A), 및 도 27(B) 는, 스톡 유닛 (408) 의 동작의 예를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 또한, 본 실시형태에서는, 제 1 가거치대 (426) 가 제 1 위치에 위치 결정되고, 제 2 가거치대 (442) 가 제 2 위치에 위치 결정되어 있는 경우의 동작에 대해 설명하지만, 제 1 가거치대 (426) 가 제 2 위치에 위치 결정되고, 제 2 가거치대 (442) 가 제 1 위치에 위치 결정되어 있는 경우의 동작도 동일하다.
예를 들어, 카세트 반송 아암 (456) 은, 가공 후의 피가공물 (11) 이 수용된 카세트 (28) 를 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 수취한 후에, 이 카세트 (28) 를 제 2 카세트 지지대 (454) 에 적재한다. 또한, 제 1 카세트 지지대 (416) 에는, 가공 전의 피가공물 (11) (프레임 (15)) 이 수용되어 있는 카세트 (18) 를 미리 적재해 둔다.
그 후, 도 26(A) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 카세트 지지대 (416) 상의 카세트 (18) 에 대해 파지부 (422) 를 접근시키고, 카세트 (18) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 을 파지부 (422) 로 파지한다. 동일한 타이밍으로, 제 2 카세트 지지대 (454) 상의 카세트 (28) 에 대해 파지부 (438) 를 접근시키고, 카세트 (28) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 을 파지부 (438) 로 파지한다.
카세트 (18) 내의 프레임 (15) 을 파지부 (422) 로 파지한 후에는, 도 26(B) 에 나타내는 바와 같이, 파지부 (422) 를 제 1 카세트 지지대 (416) 로부터 이격시킨다. 동일하게, 카세트 (28) 내의 프레임 (15) 을 파지부 (438) 로 파지한 후에는, 도 26(B) 에 나타내는 바와 같이, 파지부 (438) 를 제 2 카세트 지지대 (454) 로부터 이격시킨다. 이로써, 가공 전의 피가공물 (11) 이 카세트 (18) 로부터 제 1 가거치대 (426) 로 인출되고, 가공 후의 피가공물 (11) 이 카세트 (28) 로부터 제 2 가거치대 (442) 로 인출된다.
다음으로, 도 27(A) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 위치와 제 2 위치 사이에서 제 1 가거치대 (426) 와 제 2 가거치대 (442) 를 바꾸도록 이동시킨다. 즉, 제 2 가거치대 (442) 를 승강 기구 (452) 에 의해 상승시키고, 상승 위치에 위치 결정한다. 그리고, 제 2 가거치대 (442) 를 제 2 방향을 따라 제 1 위치측으로 이동시킨다.
또, 동일한 타이밍으로, 제 1 가거치대 (426) 를 제 2 방향을 따라 제 2 위치측으로 이동시킨다. 제 1 가거치대 (426) 및 제 2 가거치대 (442) 의 이동이 완료한 후에는, 제 2 가거치대 (442) 를 승강 기구 (452) 에 의해 하강시키고, 기준 위치에 위치 결정한다. 그 결과, 제 1 가거치대 (426) 가 제 2 카세트 지지대 (454) 와 대면하는 제 2 위치에 위치 결정되고, 제 2 가거치대 (442) 가 제 1 카세트 지지대 (416) 와 대면하는 제 1 위치에 위치 결정된다.
그 후, 도 27(B) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 가거치대 (426) 상의 프레임 (15) 을 파지부 (438) 로 파지하고, 제 2 카세트 지지대 (454) 상의 카세트 (28) 에 대해 파지부 (438) 를 접근시킨다. 이로써, 가공 전의 피가공물 (11) 을 지지하는 제 1 가거치대 (426) 상의 프레임 (15) 이 제 2 카세트 지지대 (454) 상의 카세트 (28) 에 수용된다.
동일한 타이밍으로, 제 2 가거치대 (442) 상의 프레임 (15) 을 파지부 (422) 로 파지하고, 제 2 카세트 지지대 (454) 상의 카세트 (18) 에 대해 파지부 (438) 를 접근시킨다. 이로써, 가공 후의 피가공물 (11) 을 지지하는 제 2 가거치대 (442) 상의 프레임 (15) 이 제 1 카세트 지지대 (416) 상의 카세트 (18) 에 수용된다.
제 1 가거치대 (426) 상의 프레임 (15) 이 제 2 카세트 지지대 (454) 상의 카세트 (28) 에 수용된 후에는, 카세트 반송 아암 (456) 은, 이 카세트 (28) 를 무인 피가공물 반송차 (10) 에 수수한다. 이상에 의해, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 스톡 유닛 (408) 으로 가공 후의 피가공물 (11) 을 반송하고, 스톡 유닛 (408) 으로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 로 가공 전의 피가공물 (11) 을 반송할 수 있다.
또한, 제 1 가거치대 (426) 와 제 2 가거치대 (442) 는 동일한 기능을 구비하고 있고, 카세트 (18) 로부터 반출되는 프레임 (15) 은, 제 1 가거치대 (426) 와 제 2 가거치대 (442) 중 어느 것에 대해서도 가거치될 수 있다. 예를 들어, 제 2 가거치대 (442) 가 제 1 위치에 위치 결정되어 있는 경우에는, 카세트 (18) 로부터 반출되는 프레임 (15) 은, 제 2 가거치대 (442) 에 가거치되게 된다.
또, 상기 서술한 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 은, 제 1 위치에 위치 결정된 제 1 가거치대 (426) 또는 제 2 가거치대 (442) 와, 제 1 카세트 지지대 (416) (카세트 (18)) 사이에서 피가공물 (11) 을 이동시킨다. 동일하게, 제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 은, 제 2 위치에 위치 결정된 제 2 가거치대 (442) 또는 제 1 가거치대 (426) 와, 제 2 카세트 지지대 (454) (카세트 (28)) 사이에서 피가공물 (11) 을 이동시킨다.
또한, 본 발명은, 상기 실시형태의 기재로 제한되지 않고 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예를 들어, 상기 실시형태의 절삭 장치 (204) 에는, 절삭 블레이드 (82) 를 승강시키기 위한 블레이드 승강 기구 (226) 를 설치하고 있지만, 반송 통로 (6) 에 대해 블레이드 승강 기구를 장착하여도 된다. 이 경우에는, 절삭 장치에 블레이드 승강 기구를 설치하는 경우 등에 비해 반송 시스템의 범용성이 높아진다.
또, 반송 통로 (6) 는, 2 대의 무인 피가공물 반송차 (10) 등이 엇갈리기 위한 스페이스 (대기 영역) 를 가지고 있어도 된다. 또한, 반송 통로 (6) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 등의 일방향으로의 주행만을 허용하는, 이른바 일방 통행으로 설정되어도 된다. 이 경우에는, 절삭 장치 (가공 장치) 상에, 왕로용의 반송 통로 (6) 와, 복로용의 반송 통로 (6) 를 설치해도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 식별 코드나 무선 태그 등의 정보 제공부 (102b) 를 통로부 (102) 에 설치하고 있지만, 정보 제공부를 가이드부 (104) 에 대해 장착할 수도 있다. 이 경우에는, 예를 들어, 가이드부 (104) 의 내측의 벽면이나 상단부 등에 정보 제공부를 장착하면 된다.
또, 스톡 유닛 (408) 에 대해, 스톡 유닛 (208) 의 블레이드 스토커 (210) 나 블레이드 반송 아암 (블레이드 반송부) (212) 등을 삽입할 수도 있다.
그 외, 상기 실시형태나 변형예 등에 관련된 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.
2 : 반송 시스템
4, 4a, 4b, 204, 204a, 204b, 304 : 절삭 장치 (가공 장치)
6 : 반송 통로
6a, 6b, 6c : 통로 모듈
8, 208, 408 : 스톡 유닛
10, 10a, 10b, 10c : 무인 피가공물 반송차
12 : 제어 유닛
14 : 케이싱
14a : 천장
14b : 개구
16 : 제 1 카세트 지지대
18 : 카세트 (피가공물 스토커)
20 : 푸시풀 아암
22 : 가이드 레일
24 : 제 2 승강 기구
26 : 제 2 카세트 지지대
28 : 카세트 (반송용 카세트)
30 : 카세트 반송 아암 (피가공물 반송부)
32 : 제어 장치
34 : 수신기
36 : 송신기
38 : 새시 (피가공물 지지부)
38a : 오목부
40 : 차륜 (주행 기구)
42 : 제어 장치
44 : 수신기
46 : 송신기
48 : 기대
48a, 48b : 개구
48c : 배관 접속부
50 : 카세트 지지대
80 : 절삭 유닛
82 : 절삭 블레이드
92 : 커버
92a : 천장
92b : 개구
92c : 문
96 : 제어 장치
98 : 수신기
100 : 송신기
102 : 통로부
104 : 가이드부
106 : 대기부
108 : 앵글 (브래킷)
110 : 연결구
112 : 볼트
114 : 다리 부재
114a : 기부
114b : 기둥부
114c : 흡착부
114d : 개구
132 : 제어부 (제어 신호 생성부)
134 : 수신기
136 : 송신기
206 : 무인 블레이드 반송차
210 : 블레이드 스토커
212 : 블레이드 반송 아암 (블레이드 반송부)
214 : 새시 (블레이드 지지부)
214a : 오목부
216 : 블레이드 케이스
218 : 차륜 (주행 기구)
220 : 제어 장치
222 : 수신기
224 : 송신기
414 : 케이싱
416 : 제 1 카세트 지지대 (재치대)
420 : 제 1 피가공물 이동 유닛
422 : 파지부
424 : 구동부
424a : 개구
426 : 제 1 가거치대
426a : 가이드부
426b : 기부
428 : 제 1 가거치대 이동부
430 : 가이드 레일
432 : 이동 부재
434 : 펄스 모터
436 : 제 2 피가공물 이동 유닛
438 : 파지부
440 : 구동부
440a : 개구
442 : 제 2 가거치대
442a : 가이드부
442b : 기부
444 : 제 2 가거치대 이동부
446 : 가이드 레일
448 : 이동 부재
450 : 펄스 모터
452 : 승강 기구
454 : 제 2 카세트 지지대 (수수 영역)
456 : 카세트 반송 아암 (피가공물 반송부)
458 : 이동 기구
460 : 카세트 유지 핸드
460a : 카세트 유지 클로
462 : 제어 장치
464 : 수신기
466 : 송신기
11 : 피가공물
13 : 테이프 (다이싱 테이프)
15 : 프레임
21 : 배관

Claims (6)

  1. 복수의 가공 장치의 각각에 대하여 피가공물을 반송하는 반송 시스템으로서,
    복수의 상기 가공 장치에 걸쳐 상기 가공 장치의 바로 위의 공간에 설치되는 반송 통로와,
    상기 피가공물을 지지하는 피가공물 지지부와, 상기 피가공물 지지부에 설치된 주행 기구와, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하고, 상기 반송 통로를 주행하는 무인 피가공물 반송차와,
    복수의 상기 피가공물을 수용 가능한 피가공물 스토커가 재치되는 재치대와, 상기 재치대 상의 상기 피가공물 스토커로부터 반출된 상기 피가공물이 가거치되는 2 조의 가거치대와, 상기 재치대에 대면하는 제 1 위치와 상기 제 1 위치의 이웃하는 제 2 위치 사이에서 상기 2 조의 가거치대를 바꾸도록 이동시키는 가거치대 이동부와, 상기 제 2 위치에 대면하는 수수 영역과 상기 무인 피가공물 반송차 사이에서 상기 피가공물을 반송하는 피가공물 반송부와, 상기 제 1 위치에 위치하는 상기 가거치대와 상기 재치대 사이, 또는 상기 제 2 위치에 위치하는 상기 가거치대와 상기 수수 영역 사이에서 상기 피가공물을 이동시키는 피가공물 이동 유닛과, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하는 스톡 유닛과,
    상기 가공 장치, 상기 무인 피가공물 반송차, 및 상기 스톡 유닛에 제어 신호를 송신하는 송신기와, 상기 가공 장치로부터 송신되는 통지 신호를 수신하는 수신기와, 상기 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하는 제어 신호 생성부를 구비하는 제어 유닛을 포함하고,
    상기 제어 유닛의 상기 제어 신호 생성부는, 상기 제어 유닛의 상기 수신기가 수신한 통지 신호에 근거하여 상기 제어 유닛의 상기 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하고,
    상기 제어 유닛의 상기 송신기는, 상기 제어 유닛의 상기 제어 신호 생성부에서 생성된 제어 신호를, 상기 가공 장치, 상기 무인 피가공물 반송차, 및 상기 스톡 유닛에 송신하고,
    상기 스톡 유닛의 상기 피가공물 반송부는, 상기 스톡 유닛의 상기 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 상기 피가공물 스토커로부터 반출된 상기 피가공물을 상기 무인 피가공물 반송차의 상기 피가공물 지지부에 반송하고,
    상기 무인 피가공물 반송차의 상기 주행 기구는, 상기 무인 피가공물 반송차의 상기 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 상기 무인 피가공물 반송차를 상기 반송 통로 상에서 주행시키고, 상기 피가공물 지지부로 지지하는 상기 피가공물을 상기 가공 장치로 반송하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송 통로는, 상기 가공 장치의 상면에 설치되는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 반송 통로는, 복수의 통로 모듈을 연결하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 통로는, 상기 가공 장치에 대해 흡착하는 흡착부를 갖는 다리부를 구비하고, 상기 흡착부에 의해 상기 가공 장치에 고정되는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가공 장치는, 배관이 접속되는 배관 접속부 또는 메인터넌스용의 문을 측면에 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가공 장치로 상기 피가공물을 가공할 때에 사용되는 절삭 블레이드를 지지하는 블레이드 지지부와, 상기 블레이드 지지부에 설치된 주행 기구와, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하고, 상기 반송 통로를 주행하는 무인 블레이드 반송차를 또한 포함하고,
    상기 스톡 유닛은, 상기 가공 장치에 공급되는 상기 절삭 블레이드를 수용하는 블레이드 스토커와 상기 무인 블레이드 반송차 사이에서 상기 절삭 블레이드를 반송하는 블레이드 반송부를 또한 구비하고,
    상기 제어 유닛의 상기 송신기는, 상기 무인 블레이드 반송차에 제어 신호를 송신하는 기능을 또한 갖고,
    상기 제어 유닛의 상기 송신기는, 상기 제어 유닛의 상기 제어 신호 생성부에서 생성된 제어 신호를, 상기 가공 장치, 상기 무인 피가공물 반송차, 상기 무인 블레이드 반송차, 및 상기 스톡 유닛에 송신하고,
    상기 스톡 유닛의 상기 블레이드 반송부는, 상기 스톡 유닛의 상기 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 상기 블레이드 스토커에 수용되어 있는 상기 절삭 블레이드를 상기 무인 블레이드 반송차의 상기 블레이드 지지부로 반송하고,
    상기 무인 블레이드 반송차의 상기 주행 기구는, 상기 무인 블레이드 반송차의 상기 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 상기 무인 블레이드 반송차를 상기 반송 통로 상에서 주행시키고, 상기 블레이드 지지부로 지지하는 상기 절삭 블레이드를 상기 가공 장치로 반송하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
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