KR20200066165A - Transfer system - Google Patents

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사토시 오카와라
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

Provided is a transport system which can transport a workpiece for each of a plurality of processing devices and which can easily be built. The transport system for transporting the workpiece for each of the plurality of processing devices includes a transport passage, an unmanned workpiece transport vehicle traveling through the transport passage, a stock unit, and a control unit. The transport passage is installed in a space directly above a processing device along the plurality of processing devices. The stock unit includes: a mounting table on which a workpiece stocker capable of accommodating a plurality of workpieces is placed; a pair of temporary holders on which workpieces carried out from the workpiece stocker on the mounting table are temporarily held; a temporary holder moving unit moving the temporary holders between a first position facing the mounting table and a second position adjacent to the first position to change the positions of the temporary holders; a workpiece transport unit transporting the workpieces between a receiving zone facing the second position and the unmanned workpiece transport vehicle; a workpiece moving unit moving the workpieces between a temporary holder positioned at the first position and the mounting table or between a temporary holder positioned at the second position and the receiving zone; and a receiver receiving a control signal.

Description

반송 시스템{TRANSFER SYSTEM}Transfer system {TRANSFER SYSTEM}

본 발명은, 가공 장치에 대해 피가공물을 반송하는 반송 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a conveying system for conveying a workpiece to a processing device.

전자 기기 등에 삽입되는 디바이스 칩의 제조 공정에서는, 반도체 웨이퍼나 수지 패키지 기판으로 대표되는 판상의 피가공물이 여러 가지 가공 장치에 의해 가공된다. 이 가공 장치에 대해 피가공물을 반송할 때에는, 통상, 복수의 피가공물을 수용할 수 있는 반송용의 카세트가 사용된다.In the manufacturing process of a device chip inserted into an electronic device or the like, a plate-shaped workpiece represented by a semiconductor wafer or a resin package substrate is processed by various processing devices. When conveying a to-be-processed object to this processing apparatus, a conveyance cassette which can accommodate a plurality of to-be-processed objects is usually used.

그런데, 카세트에 복수의 피가공물을 수용하여 한 번에 가공 장치로 반송하는 상기 서술한 방법에서는, 어떠한 원인으로 가공 장치가 정지하면, 카세트에 수용되어 있는 미가공의 피가공물을 일률적으로 대기시키게 된다. 요컨대, 미가공의 피가공물을 다른 가공 장치에서 가공하는 것도 할 수 없게 되므로, 가공의 능률이 대폭 저하한다.However, in the above-described method of receiving a plurality of workpieces in a cassette and conveying them to the processing apparatus at once, if the processing apparatus is stopped for any reason, the unprocessed workpieces accommodated in the cassette are uniformly queued. In other words, since it is also impossible to process an unprocessed object in another processing device, the efficiency of processing is greatly reduced.

이 문제를 해소하려면, 예를 들어, 가공 장치의 가동 상황에 맞춰 피가공물을 1 장씩 가공 장치로 반송하면 된다. 그래서, 복수의 가공 장치를 반송용의 경로로 연결하여, 각 가공 장치에 대해 임의의 타이밍으로 피가공물을 반송할 수 있는 반송 시스템이 제안되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).In order to solve this problem, for example, the workpieces may be conveyed to the processing apparatus one by one in accordance with the operating situation of the processing apparatus. Thus, a transport system has been proposed in which a plurality of processing devices are connected by a path for conveying, and a workpiece can be transported at an arbitrary timing to each processing device (for example, see Patent Document 1).

일본 공개특허공보 평6-177244호Japanese Patent Application Publication No. Hei6-177244

그러나, 각 가공 장치의 측면에는, 배관이 접속되는 배관 접속부나 메인터넌스용의 문 등이 설치되어 있어, 상기 서술한 반송 시스템을 구축할 때에는, 이들과 간섭하지 않도록 반송용의 경로를 설계할 필요가 있다. 그 때문에, 반송 시스템의 구축은 결코 용이하지 않고, 또, 반송용의 경로도 길어지는 경향이 있었다.However, on the side surface of each processing device, a pipe connection portion to which pipes are connected, maintenance doors, and the like are provided, and when constructing the above-mentioned conveying system, it is necessary to design a conveying path so as not to interfere with them. have. For this reason, construction of the conveying system has never been easy, and the route for conveying tends to be longer.

본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 점은, 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송할 수 있고, 구축도 용이한 반송 시스템을 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of these problems, and its object is to provide a conveying system capable of conveying a workpiece to each of a plurality of processing devices, and easy to construct.

본 발명의 일 양태에 의하면, 복수의 가공 장치의 각각에 대하여 피가공물을 반송하는 반송 시스템으로서, 복수의 그 가공 장치에 걸쳐 그 가공 장치의 바로 위의 공간에 설치되는 반송 통로와, 그 피가공물을 지지하는 피가공물 지지부와, 그 피가공물 지지부에 설치된 주행 기구와, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하고, 그 반송 통로를 주행하는 무인 피가공물 반송차와, 복수의 그 피가공물을 수용 가능한 피가공물 스토커가 재치되는 재치대와, 그 재치대 상의 그 피가공물 스토커로부터 반출된 그 피가공물이 가거치되는 2 조의 가거치대와, 그 재치대에 대면하는 제 1 위치와 그 제 1 위치의 이웃하는 제 2 위치 사이에서 그 2 조의 가거치대를 바꾸도록 이동시키는 가거치대 이동부와, 그 제 2 위치에 대면하는 수수 영역과 그 무인 피가공물 반송차 사이에서 그 피가공물을 반송하는 피가공물 반송부와, 그 제 1 위치에 위치하는 그 가거치대와 그 재치대 사이, 또는 그 제 2 위치에 위치하는 그 가거치대와 그 수수 영역 사이에서 그 피가공물을 이동시키는 피가공물 이동 유닛과, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하는 스톡 유닛과, 그 가공 장치, 그 무인 피가공물 반송차, 및 그 스톡 유닛에 제어 신호를 송신하는 송신기와, 그 가공 장치로부터 송신되는 통지 신호를 수신하는 수신기와, 그 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하는 제어 신호 생성부를 구비하는 제어 유닛을 포함하고, 그 제어 유닛의 그 제어 신호 생성부는, 그 제어 유닛의 그 수신기가 수신한 통지 신호에 근거하여 그 제어 유닛의 그 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하고, 그 제어 유닛의 그 송신기는, 그 제어 유닛의 그 제어 신호 생성부에서 생성된 제어 신호를, 그 가공 장치, 그 무인 피가공물 반송차, 및 그 스톡 유닛에 송신하고, 그 스톡 유닛의 그 피가공물 반송부는, 그 스톡 유닛의 그 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 그 피가공물 스토커로부터 반출된 그 피가공물을 그 무인 피가공물 반송차의 그 피가공물 지지부에 반송하고, 그 무인 피가공물 반송차의 주행 기구는, 그 무인 피가공물 반송차의 그 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 그 무인 피가공물 반송차를 그 반송 통로 상에서 주행시키고, 그 피가공물 지지부로 지지하는 그 피가공물을 그 가공 장치로 반송하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템이 제공된다.According to one aspect of the present invention, as a transport system for transporting a work piece to each of a plurality of processing devices, a transport passage provided in a space directly above the processing device over a plurality of processing devices, and the work piece An unmanned workpiece transport vehicle that includes a workpiece support unit for supporting the apparatus, a traveling mechanism provided in the workpiece support unit, a receiver for receiving a control signal, and a plurality of the workpieces that can accommodate the plurality of workpieces. A placement table on which the work piece stocker is placed, two sets of mount stands on which the work piece carried out from the work piece stocker placed on the stand is placed, and a first position facing the mount stand and a neighbor of the first position And a work piece moving part for moving the two sets of work pieces between the second positions, and a work piece transport part for transporting the work piece between the delivery area facing the second position and the unmanned work piece transport vehicle. , A work piece moving unit for moving the work piece between the stand and the stand positioned at the first position, or between the stand and the millet area located at the second position, and receiving a control signal A stock unit including a receiver, a processing device, a unmanned workpiece transport vehicle, and a transmitter that transmits a control signal to the stock unit, a receiver that receives a notification signal transmitted from the processing device, and a transmitter A control unit having a control signal generator for generating a transmitted control signal, and the control signal generator of the control unit, based on the notification signal received by the receiver of the control unit, from the transmitter of the control unit The control signal to be transmitted is generated, and the transmitter of the control unit transmits the control signal generated by the control signal generation unit of the control unit to the processing device, the unmanned work piece transport vehicle, and the stock unit. , The workpiece conveyance unit of the stock unit is configured to transfer the workpiece taken out of the workpiece stocker based on a control signal received by the receiver of the stock unit, and the workpiece of the unmanned workpiece transport vehicle The traveling mechanism of the unmanned workpiece transport vehicle is transported to the tributary support unit, and the unmanned workpiece transport vehicle is driven on the conveyance passage based on a control signal received from the receiver of the unmanned workpiece transport vehicle. A conveying system is provided, characterized in that the workpiece to be supported by the workpiece support is conveyed to the machining apparatus.

이 반송 시스템에 있어서, 그 반송 통로는, 그 가공 장치의 상면에 설치되는 것이 바람직하다.In this conveying system, it is preferable that the conveying passage is provided on the upper surface of the processing device.

또, 이 반송 시스템에 있어서, 그 반송 통로는, 복수의 통로 모듈을 연결하여 구성되는 것이 바람직하다.Moreover, in this conveyance system, it is preferable that the conveyance passage is constituted by connecting a plurality of passage modules.

또, 이 반송 시스템에 있어서, 그 반송 통로는, 그 가공 장치에 대해 흡착하는 흡착부를 갖는 다리부를 구비하고, 그 흡착부에 의해 그 가공 장치에 고정되어도 된다.In addition, in this conveying system, the conveying passage may include a leg portion having an adsorbing portion that adsorbs to the processing device, and may be fixed to the processing device by the adsorbing part.

또, 이 반송 시스템에 있어서, 그 가공 장치는, 배관이 접속되는 배관 접속부 또는 메인터넌스용의 문을 측면에 구비하는 경우가 있다.Moreover, in this conveyance system, the processing apparatus may be provided with the piping connection part to which piping is connected, or a door for maintenance to a side surface.

또, 이 반송 시스템은, 그 가공 장치로 그 피가공물을 가공할 때에 사용되는 절삭 블레이드를 지지하는 블레이드 지지부와, 그 블레이드 지지부에 설치된 주행 기구와, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하고, 그 반송 통로를 주행하는 무인 블레이드 반송차를 또한 포함하고, 그 스톡 유닛은, 그 가공 장치에 공급되는 그 절삭 블레이드를 수용하는 블레이드 스토커와 그 무인 블레이드 반송차 사이에서 그 절삭 블레이드를 반송하는 블레이드 반송부를 또한 구비하고, 그 제어 유닛의 그 송신기는, 그 무인 블레이드 반송차에 제어 신호를 송신하는 기능을 또한 갖고, 그 제어 유닛의 그 송신기는, 그 제어 유닛의 그 제어 신호 생성부에서 생성된 제어 신호를, 그 가공 장치, 그 무인 피가공물 반송차, 그 무인 블레이드 반송차, 및 그 스톡 유닛에 송신하고, 그 스톡 유닛의 그 블레이드 반송부는, 그 스톡 유닛의 그 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 그 블레이드 스토커에 수용되어 있는 그 절삭 블레이드를 그 무인 블레이드 반송차의 그 블레이드 지지부로 반송하고, 그 무인 블레이드 반송차의 그 주행 기구는, 그 무인 블레이드 반송차의 그 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 그 무인 블레이드 반송차를 그 반송 통로 상에서 주행시키고, 그 블레이드 지지부에서 지지하는 그 절삭 블레이드를 그 가공 장치로 반송해도 된다. Moreover, this conveying system is equipped with the blade support part which supports the cutting blade used when processing the to-be-processed object with the processing apparatus, the traveling mechanism provided in the blade support part, and the receiver which receives a control signal. It also includes an unmanned blade conveyance vehicle running through the passageway, the stock unit further comprising a blade conveyer for conveying the cutting blade between the blade stocker accommodating the cutting blade supplied to the processing device and the unmanned blade conveyance vehicle The transmitter of the control unit also has a function of transmitting a control signal to the unmanned blade carrier, and the transmitter of the control unit receives the control signal generated by the control signal generator of the control unit. , The processing device, the unmanned workpiece transport vehicle, the unmanned blade transport vehicle, and the stock unit, and the blade transport unit of the stock unit is based on a control signal received by the receiver of the stock unit. The cutting blade accommodated in the blade stocker is conveyed to the blade support portion of the unmanned blade carrier, and the traveling mechanism of the unmanned blade carrier is based on a control signal received by the receiver of the unmanned blade carrier. The unmanned blade transport vehicle may travel on the transport path, and the cutting blade supported by the blade support may be transported to the processing device.

본 발명의 일 양태에 관련된 반송 시스템은, 복수의 가공 장치에 걸쳐 설치되는 반송 통로와, 피가공물 지지부, 주행 기구, 및 수신기를 구비하는 무인 피가공물 반송차와, 피가공물 반송부, 및 수신기를 구비하는 스톡 유닛을 포함하고 있다.A conveyance system according to an aspect of the present invention includes an unmanned workpiece conveyance vehicle, a workpiece conveyance unit, and a receiver provided with a conveyance passage installed over a plurality of processing devices, a workpiece support, a traveling mechanism, and a receiver. It includes stock unit to be equipped.

그 때문에, 피가공물 스토커에 수용되어 있는 피가공물을 피가공물 반송부에서 무인 피가공물 반송차의 피가공물 지지부로 반송하고, 이 무인 피가공물 반송차를 반송 통로 상에서 주행시킴으로써, 복수의 가공 장치의 각각에 대해 피가공물을 반송할 수 있다.For this reason, each of the plurality of processing devices is transported by transporting the work piece accommodated in the work piece stocker from the work piece transport part to the work piece support part of the unmanned work piece transport vehicle, and running the unmanned work piece transport vehicle on the transport passage. For the workpiece, it can be conveyed.

또, 본 발명의 일 양태에 관련된 반송 시스템에서는, 반송 통로가, 가공 장치의 바로 위의 공간에 설치된다. 그 때문에, 이 반송 통로를 설계할 때에 각 가공 장치의 측면의 구조를 고려할 필요가 없다. 즉, 반송 시스템의 구축이 용이해진다. Moreover, in the conveyance system which concerns on one aspect of this invention, a conveyance passage|path is provided in the space just above a processing apparatus. Therefore, it is not necessary to consider the structure of the side surface of each processing apparatus when designing this conveying passage. That is, construction of the conveying system becomes easy.

도 1 은 제 1 실시형태에 관련된 반송 시스템의 구성예를 나타내는 평면도이다.
도 2 는 제 1 실시형태에 관련된 반송 시스템의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블록도이다.
도 3 은 제 1 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 4 의 (A) 는, 무인 피가공물 반송차의 구성예를 나타내는 사시도이며, (B) 는, 카세트가 적재된 상태의 무인 피가공물 반송차를 나타내는 사시도이다.
도 5 는 제 1 실시형태에 관련된 절삭 장치나 반송 통로 등의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 6 은 절삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 7 은 절삭 장치에 반송 통로가 설치되는 양태를 나타내는 사시도이다.
도 8 의 (A), (B), 및 (C) 는, 통로 모듈의 구성예를 나타내는 평면도이다.
도 9 는 통로 모듈로부터 반송 통로가 형성되는 양태를 나타내는 사시도이다.
도 10 의 (A), 및 (B) 는, 통로 모듈이 연결되는 양태를 나타내는 단면도이다.
도 11 은 통로 모듈의 구성예를 나타내는 저면도이다.
도 12 는 카세트 등의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 13 의 (A), (B), 및 (C) 는, 피가공물을 지지하는 프레임이 카세트로부터 반출되는 양태를 나타내는 단면도이다.
도 14 는 제 1 실시형태에 관련된 반송 시스템의 동작 등의 예를 설명하기 위한 기능 블록도이다.
도 15 는 제 2 실시형태에 관련된 반송 시스템의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블록도이다.
도 16 은 제 2 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 구성예를 나타내는 측면도이다.
도 17 은 무인 블레이드 반송차의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 18 은 제 2 실시형태에 관련된 절삭 장치 등의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 19 는 블레이드 체인저의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 20 은 제 2 실시형태에 관련된 반송 시스템의 동작 등의 예를 설명하기 위한 기능 블록도이다.
도 21 은 제 3 실시형태에 관련된 반송 시스템에 있어서, 무인 피가공물 반송차로부터 카세트가 반출되는 양태를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 22 는 제 3 실시형태에 관련된 반송 시스템에 있어서, 카세트가 절삭 장치로 반입되는 양태를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 23 은 제 4 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 24 는 제 4 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 내부의 구조를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 25 는 제 4 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 제 1 가거치대와 제 2 가거치대를 제 2 방향으로 이동시켜, 제 1 가거치대의 위치와 제 2 가거치대의 위치를 바꾸는 양태를 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 26 의 (A) 및 (B) 는, 제 4 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 동작의 예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 27 의 (A) 및 (B) 는, 제 4 실시형태에 관련된 스톡 유닛의 동작의 예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.1 is a plan view showing a configuration example of a transport system according to a first embodiment.
2 is a functional block diagram showing an example of a connection relationship of a transport system according to the first embodiment.
3 is a side view schematically showing a configuration example of a stock unit according to the first embodiment.
4A is a perspective view showing a configuration example of an unmanned workpiece transport vehicle, and (B) is a perspective view showing an unmanned workpiece transport vehicle in a cassette loaded state.
Fig. 5 is a perspective view showing the appearance of a cutting device or conveyance passage according to the first embodiment.
6 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device.
7 is a perspective view showing an aspect in which the conveying passage is installed in the cutting device.
8(A), (B), and (C) are plan views showing a configuration example of a passage module.
9 is a perspective view showing an aspect in which a conveying passage is formed from the passage module.
10A and 10B are cross-sectional views showing an embodiment in which the passage modules are connected.
11 is a bottom view showing a configuration example of a passage module.
12 is a perspective view showing the structure of a cassette or the like.
13 (A), (B), and (C) are cross-sectional views showing an embodiment in which a frame supporting a workpiece is taken out from a cassette.
14 is a functional block diagram for explaining an example of the operation of the transport system according to the first embodiment.
15 is a functional block diagram showing an example of a connection relationship of a transport system according to the second embodiment.
16 is a side view showing a configuration example of a stock unit according to the second embodiment.
17 is a perspective view showing a configuration example of an unmanned blade transport vehicle.
18 is a perspective view showing the appearance of a cutting device and the like according to the second embodiment.
19 is an exploded perspective view showing a configuration example of a blade changer.
20 is a functional block diagram for explaining an example of the operation of the transport system according to the second embodiment.
21 is a perspective view schematically showing an embodiment in which a cassette is taken out from an unmanned workpiece transport vehicle in the transport system according to the third embodiment.
22 is a perspective view schematically showing an aspect in which the cassette is carried into the cutting device in the transport system according to the third embodiment.
23 is a side view schematically showing a configuration example of a stock unit according to the fourth embodiment.
24 is a plan view schematically showing the internal structure of a stock unit according to the fourth embodiment.
25 schematically shows an aspect in which the position of the first stand and the second stand is changed by moving the first stand and the second stand of the stock unit according to the fourth embodiment in the second direction Side view.
26A and 26B are plan views schematically showing examples of operations of the stock unit according to the fourth embodiment.
27A and 27B are plan views schematically showing examples of operations of the stock unit according to the fourth embodiment.

첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 또한, 이하의 각 실시형태에서는, 복수의 절삭 장치에 대해 피가공물 등을 반송하는 반송 시스템에 대해 설명하지만, 본 발명의 반송 시스템은, 임의의 복수의 가공 장치에 대해 피가공물 등을 반송할 수 있도록 구성되어 있으면 된다. 즉, 피가공물 등의 반송처는, 절삭 장치 이외의 가공 장치여도 된다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Embodiment of this invention is described with reference to attached drawing. In addition, in each of the following embodiments, a conveying system for conveying a work piece or the like to a plurality of cutting devices is described, but the conveying system of the present invention can convey a work piece or the like to any of a plurality of cutting devices. It should be configured so that. That is, the conveyance destination such as a workpiece may be a processing device other than a cutting device.

예를 들어, 본 발명의 반송 시스템은, 복수의 레이저 가공 장치에 대해 피가공물을 반송할 수 있도록 구성되는 경우가 있다. 또, 본 발명의 반송 시스템은, 예를 들어, 일련의 가공에 사용되는 복수 종류의 가공 장치에 대해 순서대로 피가공물을 반송할 수 있도록 구성되는 경우도 있다.For example, the conveyance system of this invention may be comprised so that a to-be-processed object may be conveyed with respect to a some laser processing apparatus. Moreover, the conveyance system of this invention may be comprised so that the to-be-processed object may be conveyed in order to the several types of processing apparatus used for a series of processing, for example.

(실시형태 1) (Embodiment 1)

도 1 은, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 의 구성예를 나타내는 평면도이며, 도 2 는, 반송 시스템 (2) 의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블록도이다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 은, 절삭 장치 (가공 장치) (4) 에 의해 가공되는 판상의 피가공물 (11) 을 반송하기 위한 반송 통로 (6) 를 포함하고 있다.1 is a plan view showing a configuration example of a transport system 2 according to the present embodiment, and FIG. 2 is a functional block diagram showing an example of a connection relationship between the transport systems 2. As shown in FIG. 1, the conveyance system 2 which concerns on this embodiment contains the conveyance passage|path 6 for conveying the plate-shaped to-be-processed object 11 processed by the cutting device (processing device) 4 Doing.

피가공물 (11) 은, 예를 들어, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 원반상의 웨이퍼이다. 이 피가공물 (11) 의 표면측은, 서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인 (스트리트) 에 의해 복수의 소영역으로 구획되어 있고, 각 소영역에는, IC (Integrated Circuit), MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 등의 디바이스가 형성되어 있다.The workpiece 11 is, for example, a disk-shaped wafer made of a semiconductor material such as silicon. The surface side of the workpiece 11 is divided into a plurality of small regions by a plurality of division scheduled lines (streets) intersecting each other, and each small region includes an integrated circuit (IC) and a microelectromechanical systems (MEMS). Devices such as are formed.

피가공물 (11) 의 이면측에는, 피가공물 (11) 보다 직경이 큰 테이프 (다이싱 테이프) (13) 가 첩부 (貼付) 되어 있다. 테이프 (13) 의 외주 부분은, 피가공물 (11) 을 둘러싸는 환상의 프레임 (15) 에 고정되어 있다. 피가공물 (11) 은, 이 테이프 (13) 를 개재하여 프레임 (15) 에 지지된 상태에서 절삭 장치 (4) 로 반송된다.On the back side of the workpiece 11, a tape (dicing tape) 13 having a larger diameter than the workpiece 11 is affixed. The outer circumferential portion of the tape 13 is fixed to an annular frame 15 surrounding the work piece 11. The to-be-processed object 11 is conveyed to the cutting device 4 in the state supported by the frame 15 via this tape 13.

또한, 본 실시형태에서는, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 원반상의 웨이퍼를 피가공물 (11) 로 하고 있지만, 피가공물 (11) 의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예를 들어, 다른 반도체, 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료로 이루어지는 기판 등을 피가공물 (11) 로서 사용할 수도 있다. 동일하게, 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없다. 피가공물 (11) 에는, 디바이스가 형성되어 있지 않아도 된다. Further, in the present embodiment, a disk-shaped wafer made of a semiconductor material such as silicon is used as the workpiece 11, but there is no limitation on the material, shape, structure, size, and the like of the workpiece 11. For example, a substrate made of a material such as other semiconductors, ceramics, resins, metals, or the like may be used as the workpiece 11. Similarly, there are no restrictions on the type, quantity, shape, structure, size, arrangement, etc. of the device. A device may not be formed in the workpiece 11.

또, 이 피가공물 (11) 을 가공하는 절삭 장치 (4) 는, 피가공물 (11) 의 반송처로서 반송 시스템 (2) 에 접속되어 있지만, 반드시 반송 시스템 (2) 의 구성 요소는 아니다. 따라서, 절삭 장치 (4) 는, 상기 서술한 바와 같이, 반송 시스템 (2) 의 사용의 양태에 맞춰 변경, 생략되어도 된다.Further, the cutting device 4 for processing the work 11 is connected to the transport system 2 as a transport destination of the work 11, but is not necessarily a component of the transport system 2. Therefore, the cutting apparatus 4 may be changed and omitted according to the aspect of use of the conveyance system 2, as mentioned above.

그리고, 도 1 에서는, 설명의 편의상, 1 대의 절삭 장치 (4a) 만을 나타내고, 도 2 에서는, 2 대의 절삭 장치 (4a, 4b) 를 나타내고 있지만, 본 실시형태에서는, 피가공물 (11) 의 반송처로서, 2 대 이상의 절삭 장치 (4) 가 필요로 된다. 즉, 반송 시스템 (2) 에 접속되는 가공 장치의 대수는, 2 대 이상이다.In addition, in FIG. 1, for convenience of description, only one cutting device 4a is shown, and in FIG. 2, two cutting devices 4a, 4b are shown, but in this embodiment, the work destination of the workpiece 11 is conveyed. As it is, two or more cutting devices 4 are required. That is, the number of the processing devices connected to the conveying system 2 is two or more.

반송 통로 (6) 는, 각 절삭 장치 (4) 에 대해 피가공물 (11) 을 반송할 수 있도록, 복수의 절삭 장치 (4) 에 걸쳐 설치된다. 즉, 복수의 절삭 장치 (4) 는, 반송 통로 (6) 를 개재하여 서로 연결되어 있다. 또, 반송 통로 (6) 는, 절삭 장치 (4) 의 바로 위의 공간에 설치되어 있다. 그 때문에, 각 절삭 장치 (4) 의 측면에 접속되는 배관 (21) 등에 대해 반송 통로 (6) 가 간섭하지 않는다.The conveying passage 6 is provided over a plurality of cutting devices 4 so that the workpiece 11 can be conveyed to each cutting device 4. In other words, the plurality of cutting devices 4 are connected to each other via the transport passage 6. Moreover, the conveyance passage 6 is provided in the space directly above the cutting device 4. Therefore, the conveyance passage 6 does not interfere with piping 21 or the like connected to the side surfaces of each cutting device 4.

반송 통로 (6) 의 하방에는, 절삭 장치 (4) 외에, 복수의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 스톡 유닛 (8) 이 설치되어 있다. 스톡 유닛 (8) 에 수용되어 있는 피가공물 (11) 은, 임의의 타이밍으로 무인 피가공물 반송차 (10) 로 반입된다. 무인 피가공물 반송차 (10) 는, 반송 통로 (6) 상을 주행하여 피가공물 (11) 을 각 절삭 장치 (4) 로 반송한다. 또한, 도 1 에서는, 3 대의 무인 피가공물 반송차 (10a, 10b, 10c) 를 나타내고, 도 2 에서는, 2 대의 무인 피가공물 반송차 (10a, 10b) 를 나타내고 있지만, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 대수에 제한은 없다.In addition to the cutting device 4, below the conveyance passage 6, a stock unit 8 capable of accommodating a plurality of workpieces 11 is provided. The workpiece 11 accommodated in the stock unit 8 is carried into the unmanned workpiece transport vehicle 10 at an arbitrary timing. The unmanned workpiece transport vehicle 10 travels on the conveyance passage 6 to convey the workpiece 11 to each cutting device 4. 1 shows three unmanned workpiece transport vehicles 10a, 10b, and 10c, and in FIG. 2, two unmanned workpiece transport vehicles 10a, 10b are shown, but unmanned workpiece transport vehicle 10 ) There is no limit to the number of units.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 에는, 이들 동작을 제어하는 제어 유닛 (12) 이 무선으로 접속되어 있다. 단, 제어 유닛 (12) 은, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 의 동작을 제어할 수 있도록 구성되어 있으면 되고, 이들에 대해 유선으로 접속되는 경우도 있다.As shown in FIG. 2, the control unit 12 which controls these operations is wirelessly connected to the cutting device 4, the stock unit 8, and the unmanned workpiece transport vehicle 10. However, the control unit 12 may be configured so as to be able to control the operation of the cutting device 4, the stock unit 8, and the unmanned workpiece transport vehicle 10, and may be connected by wire to them. have.

도 3 은, 스톡 유닛 (8) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 스톡 유닛 (8) 은, 각종 구성 요소를 수용하는 케이싱 (14) 을 포함한다. 또한, 이 도 3 에서는, 설명의 편의상, 케이싱 (14) 의 윤곽만이 나타내어져 있다.3 is a side view schematically showing a configuration example of the stock unit 8. As shown in FIG. 3, the stock unit 8 includes the casing 14 which accommodates various components. In addition, only the outline of the casing 14 is shown in this FIG. 3 for convenience of description.

케이싱 (14) 내에는, 예를 들어, 볼나사식의 제 1 승강 기구 (도시 생략) 에 의해 승강하는 제 1 카세트 지지대 (16) 가 설치되어 있다. 제 1 카세트 지지대 (16) 의 상면에는, 복수의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 카세트 (피가공물 스토커) (18) 가 적재된다. 또한, 이 카세트 (18) 는, 상기 서술한 바와 같이, 테이프 (13) 를 개재하여 프레임 (15) 에 지지된 상태의 피가공물 (11) 을 수용한다.In the casing 14, for example, a first cassette support 16 for lifting by a ball screw-type first lifting mechanism (not shown) is provided. On the upper surface of the first cassette support 16, a cassette (workpiece stocker) 18 capable of accommodating a plurality of workpieces 11 is loaded. In addition, as described above, the cassette 18 accommodates the workpiece 11 in a state supported by the frame 15 via the tape 13.

제 1 카세트 지지대 (16) 의 측방에는, 프레임 (15) 을 파지하여 이동할 수 있는 푸시풀 아암 (20) 이 배치되어 있다. 예를 들어, 카세트 (18) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 의 높이를 제 1 승강 기구로 푸시풀 아암 (20) 의 높이에 맞추고, 이 푸시풀 아암 (20) 에 의해 카세트 (18) 내의 프레임 (15) 을 파지하면, 프레임 (15) 을 카세트 (18) 의 외부로 인출할 수 있다.On the side of the first cassette support 16, a push-pull arm 20 that can grip and move the frame 15 is disposed. For example, the height of the frame 15 accommodated in the cassette 18 is set to the height of the push-pull arm 20 with a first lifting mechanism, and the frame in the cassette 18 is pushed by the push-pull arm 20. When holding (15), the frame (15) can be pulled out of the cassette (18).

푸시풀 아암 (20) 을 사이에 두는 위치에는, 서로 평행인 상태를 유지하면서 접근, 이격되는 1 쌍의 가이드 레일 (22) 이 설치되어 있다. 각 가이드 레일 (22) 은, 프레임 (15) 을 하방으로부터 지지하는 지지면과, 지지면에 대략 수직인 측면을 구비하고, 푸시풀 아암 (20) 에 의해 카세트 (18) 로부터 인출된 프레임 (15) 을 끼워 넣어 소정의 위치에 맞춘다.At a position where the push-pull arms 20 are interposed, a pair of guide rails 22 approaching and spaced apart while being parallel to each other is provided. Each guide rail 22 includes a support surface for supporting the frame 15 from below, and a side surface approximately perpendicular to the support surface, and the frame 15 drawn out from the cassette 18 by the push-pull arm 20 ) To fit the desired position.

푸시풀 아암 (20) 및 1 쌍의 가이드 레일 (22) 의 더욱 측방에는, 예를 들어, 볼나사식의 제 2 승강 기구 (24) 에 의해 승강하는 제 2 카세트 지지대 (26) 가 설치되어 있다. 이 제 2 카세트 지지대 (26) 의 상면에는, 1 장의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 카세트 (반송용 카세트) (28) 가 적재된다. 또한, 카세트 (28) 는, 2 장 이상의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있도록 구성되어도 된다.On the side of the push-pull arm 20 and the pair of guide rails 22, for example, a second cassette support 26 for lifting by the ball screw-type second lifting mechanism 24 is provided. . On the upper surface of the second cassette support 26, a cassette (cassette for transport) 28 capable of accommodating one piece of work 11 is loaded. Further, the cassette 28 may be configured to accommodate two or more workpieces 11.

1 쌍의 가이드 레일 (22) 에 의해 소정의 위치에 맞춰진 프레임 (15) 은, 푸시풀 아암 (20) 에 의해 재차 파지되고, 제 2 승강 기구 (24) 에 의해 높이가 조정된 제 2 카세트 지지대 (26) 상의 카세트 (28) 에 측방으로부터 삽입된다. 피가공물 (11) 이 카세트 (28) 에 수용되면, 제 2 승강 기구 (24) 는, 제 2 카세트 지지대 (26) 를 상승시킨다.The frame 15 fitted to a predetermined position by the pair of guide rails 22 is held again by the push-pull arm 20, and the second cassette support whose height is adjusted by the second lifting mechanism 24 26 is inserted from the side into the cassette 28 on the side. When the workpiece 11 is accommodated in the cassette 28, the second lifting mechanism 24 raises the second cassette support 26.

제 2 카세트 지지대 (26) 의 바로 위의 영역에는, 케이싱 (14) 의 천장 (14a) 을 상하로 관통하는 개구 (14b) 가 형성되어 있다. 이 개구 (14b) 는, 적어도, 제 2 카세트 지지대 (26) 에 적재되는 카세트 (28) 를 통과할 수 있는 형상, 크기로 형성되어 있다. 그 때문에, 제 2 승강 기구 (24) 로 제 2 카세트 지지대 (26) 를 상승시킴으로써, 피가공물 (11) 을 수용한 카세트 (28) 를, 개구 (14b) 를 통해서 케이싱 (14) 의 외부에 노출시킬 수 있다.In the area directly above the second cassette support 26, an opening 14b penetrating the ceiling 14a of the casing 14 up and down is formed. The opening 14b is formed at least in a shape and size capable of passing through the cassette 28 loaded on the second cassette support 26. Therefore, by raising the 2nd cassette support 26 with the 2nd lifting mechanism 24, the cassette 28 which accommodated the to-be-processed object 11 is exposed to the outside of the casing 14 through the opening 14b. I can do it.

케이싱 (14) 의 외부에는, 개구 (14b) 에 있어서 노출되는 카세트 (28) 를, 이 개구 (14b) 의 옆에 정지한 무인 피가공물 반송차 (10) 로 반송하는 카세트 반송 아암 (피가공물 반송부) (30) 이 설치되어 있다. 제 1 승강 기구, 푸시풀 아암 (20), 1 쌍의 가이드 레일 (22), 제 2 승강 기구 (24), 카세트 반송 아암 (30) 등의 구성 요소에는, 스톡 유닛 (8) 의 동작을 제어하기 위한 제어 장치 (32) 가 접속되어 있다.On the outside of the casing 14, a cassette conveying arm (workpiece conveyance) for conveying the cassette 28 exposed in the opening 14b to the unmanned workpiece conveyance vehicle 10 stopped next to the opening 14b Part) 30 is provided. Components such as the first lifting mechanism, the push-pull arm 20, the pair of guide rails 22, the second lifting mechanism 24, and the cassette transport arm 30 control the operation of the stock unit 8 The control device 32 for doing so is connected.

제어 장치 (32) 는, 대표적으로는, CPU (Central Processing Unit) 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (32) 의 기능이 실현된다.The control device 32 is typically constituted by a processing device such as a CPU (Central Processing Unit) or a computer including a storage device such as a flash memory, and the processing device or the like according to software stored in the storage device. By operating, the function of the control device 32 is realized.

제어 장치 (32) 에는, 또한, 반송 시스템 (2) 의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (34) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (36) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (32) 는, 수신기 (34) 로 수신한 신호에 근거하여 스톡 유닛 (8) 의 동작을 제어한다. 또, 제어 장치 (32) 는, 송신기 (36) 를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.The control device 32 also includes a receiver 34 that receives a control signal (control signal) transmitted from the control unit 12 of the transport system 2 and a signal for notification to the control unit 12. A transmitter 36 that transmits (notification signal) is connected. The control device 32 controls the operation of the stock unit 8 based on the signal received by the receiver 34. Further, the control device 32 transmits the necessary signal to the control unit 12 through the transmitter 36.

도 4(A) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 구성예를 나타내는 사시도이며, 도 4(B) 는, 카세트 (28) 가 적재된 상태의 무인 피가공물 반송차 (10) 를 나타내는 사시도이다. 도 4(A) 에 나타내는 바와 같이, 무인 피가공물 반송차 (10) 는, 트레이상의 새시 (피가공물 지지부) (38) 를 포함한다. 새시 (38) 의 상면측에는, 카세트 (28) 의 형상, 크기에 대응하는 오목부 (38a) 가 형성되어 있고, 카세트 반송 아암 (30) 에 의해 반송된 카세트 (28) 는, 이 새시 (38) 의 오목부 (38a) 에 적재된다.Fig. 4(A) is a perspective view showing a configuration example of an unmanned workpiece transport vehicle 10, and Fig. 4(B) is a perspective view showing an unmanned workpiece transport vehicle 10 in a state where the cassette 28 is loaded. to be. As shown in FIG. 4(A), the unmanned workpiece transport vehicle 10 includes a tray-like chassis (workpiece support portion) 38. A recess 38a corresponding to the shape and size of the cassette 28 is formed on the upper surface side of the chassis 38, and the cassette 28 conveyed by the cassette transport arm 30 is the chassis 38 It is loaded in the concave portion 38a.

새시 (38) 의 하면측에는, 복수 (본 실시형태에서는, 4 개) 의 차륜 (주행 기구) (40) 이 장착되어 있다. 각 차륜 (40) 은, 모터 등의 회전 구동원에 연결되어 있고 회전한다. 이 차륜 (40) 을 회전 구동원에 의해 회전시킴으로써, 무인 피가공물 반송차 (10) 는, 반송 통로 (6) 상을 주행한다. 또한, 차륜 (40) 으로는, 경사진 준상 (樽狀) (통상) 의 복수의 회전체가 반송 통로 (6) 와 접촉하는 외주면에 장착된, 이른바 메카넘 휠 등을 사용하면 된다.A plurality (four in the present embodiment) of wheels (driving mechanism) 40 is mounted on the lower surface side of the chassis 38. Each wheel 40 is connected to a rotation drive source such as a motor and rotates. By rotating this wheel 40 with a rotation drive source, the unmanned workpiece transport vehicle 10 travels on the transport passage 6. Further, as the wheel 40, a so-called mecanum wheel or the like, which is mounted on an outer circumferential surface in which a plurality of inclined quasi-phase (normal) rotating bodies contact the conveyance passage 6, may be used.

새시 (38) 의 측면에는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 동작을 제어하는 제어 장치 (42) 가 설치되어 있다. 제어 장치 (42) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (42) 의 기능이 실현된다.On the side surface of the chassis 38, a control device 42 for controlling the operation of the unmanned workpiece transport vehicle 10 is provided. The control device 42 is typically constituted by a processing device such as a CPU or a computer including a storage device such as a flash memory, and the control device is operated by operating the processing device or the like in accordance with software stored in the storage device. The function of (42) is realized.

이 제어 장치 (42) 에는, 반송 시스템 (2) 의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (44) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (46) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (42) 는, 수신기 (44) 로 수신한 신호에 근거하여 무인 피가공물 반송차 (10) 의 동작 (주행) 을 제어한다. 또, 제어 장치 (42) 는, 송신기 (46) 를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.The control device 42 includes a receiver 44 that receives a control signal (control signal) transmitted from the control unit 12 of the transfer system 2, and a signal for notification to the control unit 12 ( The transmitter 46 for transmitting the notification signal) is connected. The control device 42 controls the operation (driving) of the unmanned workpiece transport vehicle 10 based on the signal received by the receiver 44. In addition, the control device 42 transmits a necessary signal to the control unit 12 through the transmitter 46.

도 5 는, 절삭 장치 (4) 나 반송 통로 (6) 등의 외관을 나타내는 사시도이며, 도 6 은, 절삭 장치 (4) 의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 5 및 도 6 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (4) 는, 각 구성 요소를 지지하는 기대 (48) 를 구비하고 있다. 기대 (48) 의 모서리부에는, 개구 (48a) 가 형성되어 있고, 이 개구 (48a) 에 상당하는 영역에는, 승강 기구 (도시 생략) 에 의해 승강하는 카세트 지지대 (50) 가 설치되어 있다. 카세트 지지대 (50) 의 상면에는, 상기 서술한 카세트 (28) 가 적재된다. 또한, 도 5 및 도 6 에서는, 설명의 편의상, 카세트 (28) 의 윤곽만을 나타내고 있다.5 is a perspective view showing the external appearance of the cutting device 4 and the conveying passage 6, etc., and FIG. 6 is a perspective view showing a configuration example of the cutting device 4. 5 and 6, the cutting device 4 is provided with a base 48 that supports each component. An opening 48a is formed at an edge portion of the base 48, and a cassette support 50 for lifting by a lifting mechanism (not shown) is provided in an area corresponding to the opening 48a. The cassette 28 described above is mounted on the upper surface of the cassette support 50. 5 and 6, for convenience of explanation, only the outline of the cassette 28 is shown.

도 6 에 나타내는 바와 같이, 개구 (48a) 의 측방에는, X 축 방향 (전후 방향, 가공 이송 방향) 으로 긴 개구 (48b) 가 형성되어 있다. 개구 (48b) 내에는, 볼나사식의 X 축 이동 기구 (가공 이송 유닛) (52) 와, X 축 이동 기구 (52) 의 상부를 덮는 방진방적 커버 (54) 가 배치되어 있다. X 축 이동 기구 (52) 는, X 축 이동 테이블 (52a) 을 구비하고 있고, 이 X 축 이동 테이블 (52a) 을 X 축 방향으로 이동시킨다.As shown in FIG. 6, an opening 48b that is long in the X-axis direction (front-rear direction, machining feed direction) is formed on the side of the opening 48a. In the opening 48b, a ball screw-type X-axis moving mechanism (processing transfer unit) 52 and a dust-proof and drip-proof cover 54 covering the upper portion of the X-axis moving mechanism 52 are disposed. The X-axis movement mechanism 52 is provided with an X-axis movement table 52a, and moves the X-axis movement table 52a in the X-axis direction.

X 축 이동 테이블 (52a) 상에는, 피가공물 (11) 을 흡인, 유지하는 척 테이블 (유지 테이블) (56) 이 설치되어 있다. 척 테이블 (56) 은, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 에 연결되어 있고, Z 축 방향 (연직 방향, 절입 이송 방향) 에 대략 평행한 회전축의 둘레로 회전한다. 또, 척 테이블 (56) 은, 상기 서술한 X 축 이동 기구 (52) 에 의해 X 축 방향으로 이동한다 (가공 이송).On the X-axis moving table 52a, a chuck table (holding table) 56 for sucking and holding the workpiece 11 is provided. The chuck table 56 is connected to a rotation drive source (not shown) such as a motor, and rotates around a rotation axis that is substantially parallel to the Z-axis direction (vertical direction, cutting feed direction). Moreover, the chuck table 56 is moved in the X-axis direction by the X-axis moving mechanism 52 described above (processing feed).

척 테이블 (56) 의 상면은, 피가공물 (11) 을 유지하기 위한 유지면 (56a) 으로 되어 있다. 유지면 (56a) 은, 척 테이블 (56) 의 내부에 형성된 흡인로 (도시 생략) 등을 개재하여 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다. 또, 척 테이블 (56) 의 주위에는, 피가공물 (11) 을 지지하는 프레임 (15) 을 사방으로부터 고정하기 위한 4 개의 클램프 (58) 가 설치되어 있다.The upper surface of the chuck table 56 is a holding surface 56a for holding the workpiece 11. The holding surface 56a is connected to a suction source (not shown) through a suction path (not shown) or the like formed inside the chuck table 56. Moreover, around the chuck table 56, four clamps 58 for fixing the frame 15 supporting the workpiece 11 from all directions are provided.

개구 (48b) 의 상방에는, Y 축 방향 (좌우 방향, 인덱싱 이송 방향) 에 평행한 상태를 유지하면서 접근, 이격되는 1 쌍의 가이드 레일 (60) 이 설치되어 있다. 1 쌍의 가이드 레일 (60) 은, 각각, 프레임 (15) 을 하방으로부터 지지하는 지지면과, 지지면에 대략 수직인 측면을 구비하고, 카세트 (28) 로부터 인출된 프레임 (15) 을 X 축 방향에 있어서 끼워 넣어 소정의 위치에 맞춘다.A pair of guide rails 60 approaching and spaced apart while maintaining a state parallel to the Y-axis direction (left-right direction, indexing feed direction) is provided above the opening 48b. The pair of guide rails 60 each have a support surface for supporting the frame 15 from below, and a side surface approximately perpendicular to the support surface, and the frame 15 drawn out from the cassette 28 is X-axis Insert it in the direction and set it to a predetermined position.

기대 (48) 의 상방에는, 문형의 제 1 지지 구조 (62) 가 개구 (48b) 를 걸치도록 배치되어 있다. 제 1 지지 구조 (62) 의 전방면 (가이드 레일 (60) 측의 면) 에는, Y 축 방향을 따른 제 1 레일 (64) 이 고정되어 있고, 이 제 1 레일 (64) 에는, 제 1 이동 기구 (66) 등을 개재하여 제 1 반송 유닛 (68) 이 연결되어 있다.Above the base 48, the first support structure 62 having a door shape is arranged to span the opening 48b. The first rail 64 along the Y-axis direction is fixed to the front surface of the first support structure 62 (the surface of the guide rail 60 side), and the first rail 64 moves first. The first conveying unit 68 is connected via a mechanism 66 or the like.

제 1 반송 유닛 (68) 은, 예를 들어, 프레임 (15) 의 상면에 접촉하여 이 프레임 (15) 을 흡착, 유지하고, 제 1 이동 기구 (66) 에 의해 승강함과 함께, 제 1 레일 (64) 을 따라 Y 축 방향으로 이동한다. 제 1 반송 유닛 (68) 의 개구 (48a) 측에는, 프레임 (15) 을 파지하기 위한 파지 기구 (68a) 가 설치되어 있다.The 1st conveying unit 68 contacts the upper surface of the frame 15, for example, adsorbs and holds this frame 15, and elevates with the 1st moving mechanism 66, and 1st rail It moves along the (64) in the Y-axis direction. A gripping mechanism 68a for gripping the frame 15 is provided on the opening 48a side of the first transfer unit 68.

예를 들어, 파지 기구 (68a) 로 프레임 (15) 을 파지하여 제 1 반송 유닛 (68) 을 Y 축 방향으로 이동시키면, 카세트 (28) 내의 프레임 (15) 을 1 쌍의 가이드 레일 (60) 에 인출하거나, 또는, 1 쌍의 가이드 레일 (60) 상의 프레임 (15) 을 카세트 (28) 에 삽입할 수 있다. 또한, 1 쌍의 가이드 레일 (60) 로 프레임 (15) 의 위치를 맞춘 후에는, 제 1 반송 유닛 (68) 에 의해 이 프레임 (15) (피가공물 (11)) 을 척 테이블 (56) 로 반입한다.For example, when the frame 15 is gripped by the gripping mechanism 68a and the first conveying unit 68 is moved in the Y-axis direction, the frame 15 in the cassette 28 moves a pair of guide rails 60 , Or the frame 15 on the pair of guide rails 60 can be inserted into the cassette 28. In addition, after aligning the position of the frame 15 with a pair of guide rails 60, the first conveying unit 68 transfers the frame 15 (workpiece 11) to the chuck table 56. Bring in.

또, 제 1 지지 구조 (62) 의 전방면에는, Y 축 방향을 따른 제 2 레일 (70) 이 제 1 레일 (64) 의 상방에 고정되어 있다. 이 제 2 레일 (70) 에는, 제 2 이동 기구 (72) 등을 개재하여 제 2 반송 유닛 (74) 이 연결되어 있다. 제 2 반송 유닛 (74) 은, 예를 들어, 프레임 (15) 의 상면에 접촉하여 이 프레임 (15) 을 흡착, 유지하고, 제 2 이동 기구 (72) 에 의해 승강함과 함께, 제 2 레일 (70) 을 따라 Y 축 방향으로 이동한다.Moreover, the second rail 70 along the Y axis direction is fixed to the front surface of the first support structure 62 above the first rail 64. The second conveying unit 74 is connected to the second rail 70 via a second moving mechanism 72 or the like. The 2nd conveyance unit 74 contacts, for example, the upper surface of the frame 15, adsorbs and holds this frame 15, and lifts and lowers by the 2nd moving mechanism 72, 2nd rail It moves along the (70) in the Y-axis direction.

제 1 지지 구조 (62) 의 후방에는, 문형의 제 2 지지 구조 (76) 가 배치되어 있다. 제 2 지지 구조 (76) 의 전방면 (제 1 지지 구조 (62) 측의 면) 에는, 각각 Y 축 Z 축 이동 기구 (인덱싱 이송 유닛, 절입 이송 유닛) (78) 를 개재하여 2 조의 절삭 유닛 (80) 이 설치되어 있다. 절삭 유닛 (80) 은, Y 축 Z 축 이동 기구 (78) 에 의해 Y 축 방향으로 이동 (인덱싱 이송) 함과 함께, Z 축 방향으로 이동한다 (절입 이송). At the rear of the first support structure 62, a second gate-like support structure 76 is arranged. Two sets of cutting units are provided on the front surface of the second support structure 76 (the surface of the first support structure 62 side) via a Y-axis Z-axis moving mechanism (indexing transfer unit, cut-in transfer unit) 78, respectively. 80 is installed. The cutting unit 80 moves in the Y-axis direction (indexing feed) by the Y-axis Z-axis moving mechanism 78 and moves in the Z-axis direction (cutting feed).

각 절삭 유닛 (80) 은, Y 축 방향에 대략 평행한 회전축이 되는 스핀들 (도시 생략) 을 구비하고 있다. 스핀들의 일단측에는, 원환상의 절삭 블레이드 (82) 가 장착되어 있다. 각 스핀들의 타단측에는, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다. 또, 절삭 블레이드 (82) 의 옆에는, 피가공물 (11) 이나 절삭 블레이드 (82) 에 순수 등의 절삭액을 공급하기 위한 노즐이 배치되어 있다.Each cutting unit 80 is equipped with a spindle (not shown) that becomes a rotation axis substantially parallel to the Y-axis direction. An annular cutting blade 82 is attached to one end side of the spindle. A rotation drive source (not shown) such as a motor is connected to the other end side of each spindle. In addition, a nozzle for supplying a cutting fluid such as pure water to the workpiece 11 or the cutting blade 82 is disposed next to the cutting blade 82.

이 노즐로부터 절삭액을 공급하면서, 회전시킨 절삭 블레이드 (82) 를 척 테이블 (56) 에 유지된 피가공물 (11) 에 절입시킴으로써, 피가공물 (11) 을 절삭할 수 있다. 절삭 유닛 (80) 에 인접하는 위치에는, 척 테이블 (56) 에 유지된 피가공물 (11) 등을 촬상하기 위한 촬상 유닛 (카메라) (84) 이 설치되어 있다. 이 촬상 유닛 (84) 도, Y 축 Z 축 이동 기구 (78) 에 의해 Y 축 방향으로 이동함과 함께, Z 축 방향으로 이동한다.The workpiece 11 can be cut by cutting the rotated cutting blade 82 into the workpiece 11 held by the chuck table 56 while supplying the cutting fluid from the nozzle. An imaging unit (camera) 84 for imaging an object 11 or the like held on the chuck table 56 is provided at a position adjacent to the cutting unit 80. The imaging unit 84 also moves in the Y-axis direction by the Y-axis Z-axis moving mechanism 78 and moves in the Z-axis direction.

개구 (48b) 에 대해 개구 (48a) 와 반대측의 위치에는, 세정 유닛 (86) 이 배치되어 있다. 세정 유닛 (86) 은, 통상의 세정 공간 내에서 피가공물 (11) 을 흡인, 유지하는 스피너 테이블 (88) 을 구비하고 있다. 스피너 테이블 (88) 의 하부에는, 스피너 테이블 (88) 을 소정의 속도로 회전시키는 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다.A cleaning unit 86 is disposed at a position opposite to the opening 48a with respect to the opening 48b. The cleaning unit 86 is equipped with a spinner table 88 that sucks and holds the workpiece 11 in a normal cleaning space. A rotation drive source (not shown) for rotating the spinner table 88 at a predetermined speed is connected to the lower portion of the spinner table 88.

스피너 테이블 (88) 의 상방에는, 스피너 테이블 (88) 에 의해 유지된 피가공물 (11) 을 향하여 세정용의 유체 (대표적으로는, 물과 에어를 혼합한 혼합 유체) 를 분사하는 분사 노즐 (90) 이 배치되어 있다. 피가공물 (11) 을 유지한 스피너 테이블 (88) 을 회전시켜, 분사 노즐 (90) 로부터 세정용의 유체를 분사함으로써, 피가공물 (11) 을 세정할 수 있다.Above the spinner table 88, an injection nozzle 90 for spraying a cleaning fluid (typically, a mixture of water and air) to the workpiece 11 held by the spinner table 88 ) Is placed. The workpiece 11 can be cleaned by rotating the spinner table 88 holding the workpiece 11 and spraying the cleaning fluid from the injection nozzle 90.

절삭 유닛 (80) 으로 피가공물 (11) 을 절삭한 후에는, 예를 들어, 제 2 반송 유닛 (74) 에 의해 프레임 (15) 을 세정 유닛 (86) 으로 반입한다. 세정 유닛 (86) 으로 피가공물 (11) 을 세정한 후에는, 예를 들어, 제 1 반송 유닛 (68) 으로 프레임 (15) 을 1 쌍의 가이드 레일 (60) 에 적재하고, 그 후, 이 프레임 (15) 을 파지 기구 (68a) 로 파지하여 카세트 (28) 에 수용한다.After cutting the workpiece 11 with the cutting unit 80, the frame 15 is carried into the cleaning unit 86 by, for example, the second conveying unit 74. After cleaning the work piece 11 with the cleaning unit 86, for example, the frame 15 is loaded onto the pair of guide rails 60 by the first conveying unit 68, and thereafter, The frame 15 is gripped by the gripping mechanism 68a and accommodated in the cassette 28.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 기대 (48) 의 상면측은, 커버 (92) 에 의해 덮여 있고, 상기 서술한 각 구성 요소는, 커버 (92) 의 내측에 수용된다. 개구 (48a) 의 바로 위의 영역에는, 커버 (92) 의 천장 (92a) 을 상하로 관통하는 개구 (92b) 가 형성되어 있다. 그 때문에, 승강 기구에 의해 카세트 지지대 (50) 를 상승시키면, 이 개구 (92b) 를 통해서 카세트 지지대 (50) 의 상면을 커버 (92) 의 외부에 노출시킬 수 있다. 개구 (92b) 의 형상이나 크기는, 예를 들어, 기대 (48) 에 형성되어 있는 개구 (48a) 의 형상이나 크기와 동일하다.5, the upper surface side of the base 48 is covered with the cover 92, and each of the above-described components is accommodated inside the cover 92. As shown in FIG. In the area immediately above the opening 48a, an opening 92b penetrating the ceiling 92a of the cover 92 up and down is formed. Therefore, when the cassette support 50 is raised by the lifting mechanism, the upper surface of the cassette support 50 can be exposed to the outside of the cover 92 through this opening 92b. The shape and size of the opening 92b are, for example, the same as the shape and size of the opening 48a formed in the base 48.

커버 (92) 의 천장 (92a) 에는, 예를 들어, 개구 (92b) 와 동등의 높이에 위치 결정된 카세트 지지대 (50) 와, 개구 (92b) 의 옆에 정지한 무인 피가공물 반송차 (10) 사이에서 카세트 (28) 를 반송하는 카세트 반송 아암 (94) 이 설치되어 있다. 이 카세트 반송 아암 (94) 은, 카세트 지지대 (50) 를 승강시키는 승강 기구 등과 함께, 제어 장치 (96) 에 접속되어 있다 (도 5).On the ceiling 92a of the cover 92, for example, a cassette support 50 positioned at a height equivalent to the opening 92b, and an unmanned workpiece transport vehicle 10 stopped next to the opening 92b A cassette transport arm 94 for transporting the cassette 28 is provided therebetween. The cassette transport arm 94 is connected to the control device 96 together with a lifting mechanism for lifting and lowering the cassette support 50 (Fig. 5).

제어 장치 (96) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (96) 의 기능이 실현된다.The control device 96 is typically constituted by a processing device such as a CPU or a computer including a storage device such as a flash memory, and the control device is operated by operating the processing device or the like in accordance with software stored in the storage device. The function of 96 is realized.

제어 장치 (96) 에는, 반송 시스템 (2) 의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (98) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (100) 가 또한 접속되어 있다. 제어 장치 (96) 는, 예를 들어, 수신기 (98) 로 수신한 신호 등에 근거하여, 상기 서술한 절삭 장치 (4) 의 각 구성 요소를 제어한다.The control device 96 includes a receiver 98 that receives a control signal (control signal) transmitted from the control unit 12 of the transfer system 2 and a signal for notification (notification) to the control unit 12. The transmitter 100 that transmits the signal) is also connected. The control device 96 controls each component of the cutting device 4 described above based on, for example, a signal received by the receiver 98 or the like.

기대 (48) 의 측벽에는, 각종 배관 (21) 을 접속하는 배관 접속부 (48c) (도 5) 가 설치되어 있다. 또, 커버 (92) 의 측벽에는, 메인터넌스 등의 시에 개폐되는 문 (92c) (도 5) 이 설치되어 있다. 또한, 커버 (92) 의 측벽에는, 조작 패널 (도시 생략) 이나 디스플레이 (도시 생략) 등이 설치되어 있어도 된다.On the side wall of the base 48, a pipe connecting portion 48c (FIG. 5) for connecting various pipes 21 is provided. Moreover, the door 92c (FIG. 5) which opens and closes at the time of maintenance etc. is provided in the side wall of the cover 92. In addition, an operation panel (not shown), a display (not shown), or the like may be provided on the sidewall of the cover 92.

도 7 은, 절삭 장치 (4) 에 반송 시스템 (2) 의 반송 통로 (6) 가 설치되는 양태를 나타내는 사시도이다. 도 7 등에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 의 반송 통로 (6) 는, 절삭 장치 (4) 가 구비하는 커버 (92) 의 천장 (92a) 의 상면측에 장착된다. 즉, 반송 통로 (6) 는, 절삭 장치 (4) 의 바로 위의 공간에 설치된다.7 is a perspective view showing an aspect in which the conveying passage 6 of the conveying system 2 is installed in the cutting device 4. As shown in FIG. 7 and the like, the conveying passage 6 of the conveying system 2 according to the present embodiment is attached to the upper surface side of the ceiling 92a of the cover 92 provided by the cutting device 4. That is, the conveyance passage 6 is provided in the space directly above the cutting device 4.

이로써, 절삭 장치 (4) 의 측면에 설치되어 있는 배관 접속부 (48c) 나 문 (92c) 등의 구조에 대해, 반송 통로 (6) 가 간섭하지 않게 된다. 요컨대, 반송 통로 (6) 를 설계할 때에, 절삭 장치 (4) 의 측면의 구조를 고려할 필요가 없다. 그 때문에, 반송 시스템 (2) 의 구축이 용이해진다.Thereby, the conveyance passage|path 6 does not interfere with structures, such as the piping connection part 48c and the door 92c provided in the side surface of the cutting device 4. That is, when designing the conveying passage 6, it is not necessary to consider the structure of the side surface of the cutting device 4. Therefore, construction of the conveying system 2 becomes easy.

도 8(A) 는, 반송 통로 (6) 에 사용되는 통로 모듈 (6a) 의 구성예를 나타내는 평면도이며, 도 8(B) 는, 통로 모듈 (6b) 의 구성예를 나타내는 평면도이며, 도 8(C) 는, 통로 모듈 (6c) 의 구성예를 나타내는 평면도이다. 반송 통로 (6) 는, 예를 들어, 도 8(A), 도 8(B), 및 도 8(C) 에 나타내는 복수의 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 을 조합하여 구성된다. Fig. 8(A) is a plan view showing a configuration example of the passage module 6a used for the conveyance passage 6, and Fig. 8(B) is a plan view showing a configuration example of the passage module 6b, and Fig. 8 (C) is a plan view showing a configuration example of the passage module 6c. The conveyance passage 6 is configured by combining a plurality of passage modules 6a, 6b, and 6c shown in Figs. 8(A), 8(B), and 8(C), for example.

각 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 은, 각각, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 주행에 적절한 평탄성이 높은 상면을 가지는 통로부 (102) 와, 통로부 (102) 의 폭 방향의 단 (端) 에 설치되고 이 통로부 (102) 를 따른 가이드부 (104) 를 포함한다. 가이드부 (104) 의 상단의 통로부 (102) 로부터의 높이는, 예를 들어, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 차륜 (40) 의 높이보다 높게 되어 있다. 이로써, 통로부 (102) 를 주행하는 무인 피가공물 반송차 (10) 가 통로부 (102) 로부터 탈락하는 것을 방지할 수 있다.Each passage module (6a, 6b, 6c) is, respectively, the passage portion 102 having a flat surface with a high flatness suitable for the traveling of the unmanned workpiece transport vehicle 10, and the step in the width direction of the passage portion (102) Iii) and includes a guide portion 104 along this passage portion 102. The height from the passage portion 102 at the upper end of the guide portion 104 is, for example, higher than the height of the wheel 40 of the unmanned workpiece transport vehicle 10. Thereby, it is possible to prevent the unmanned workpiece transport vehicle 10 running through the passage portion 102 from falling off from the passage portion 102.

도 8(A) 의 통로 모듈 (6a) 은, 무인 피가공물 반송차 (10) 를 대기시키기 위한 대기부 (106) 를 또한 가지고 있고, 예를 들어, 무인 피가공물 반송차 (10) 와의 사이에서 피가공물 (11) (카세트 (28)) 의 수수를 실시하는 절삭 장치 (4) 등의 바로 위에 설치된다. 한편으로, 도 8(B) 의 통로 모듈 (6b) 은, 직선상으로 형성되어 있고, 도 8(C) 의 통로 모듈 (6c) 은, 모퉁이에 적절한 직각상으로 형성되어 있다.The passage module 6a of Fig. 8A also has a waiting portion 106 for waiting for the unmanned workpiece transport vehicle 10, for example, between the unmanned workpiece transportation vehicle 10 It is provided just above the cutting device 4, etc. which performs the transfer of the workpiece 11 (cassette 28). On the other hand, the passage module 6b of Fig. 8(B) is formed in a straight line, and the passage module 6c of Fig. 8(C) is formed at a right angle appropriate to the corner.

통로 모듈 (6b, 6c) 은, 예를 들어, 인접하는 2 개의 통로 모듈 (6a) 의 사이를 연결하기 위해서 사용된다. 단, 반송 통로 (6) 를 구성하는 통로 모듈의 종류, 수량, 배치 (접속의 관계) 등에 제한은 없다. 예를 들어, 2 개의 통로 모듈 (6a) 사이를, 또 다른 통로 모듈 (6a) 로 연결해도 된다. 또, 예를 들어, 직각상의 통로 모듈 (6c) 대신에, 원호상 (곡선상) 의 통로 모듈을 사용할 수도 있다.The passage modules 6b, 6c are used, for example, to connect between two adjacent passage modules 6a. However, there are no restrictions on the type, quantity, and arrangement (connection relationship) of the passage modules constituting the conveyance passage 6. For example, you may connect between two passage modules 6a with another passage module 6a. Further, for example, instead of the right-angled passage module 6c, an arc-shaped (curved) passage module may be used.

도 9 는, 통로 모듈 (6a) 및 통로 모듈 (6b) 로부터 반송 통로 (6) 가 형성되는 양태를 나타내는 사시도이다. 도 10(A), 및 도 10(B) 는, 통로 모듈 (6a) 및 통로 모듈 (6b) 이 연결되는 양태를 나타내는 단면도이다. 또, 도 11 은, 통로 모듈 (6b) 의 구성예를 나타내는 저면도이다.9 is a perspective view showing an aspect in which the transport passage 6 is formed from the passage module 6a and the passage module 6b. 10(A) and 10(B) are cross-sectional views showing an embodiment in which the passage module 6a and the passage module 6b are connected. 11 is a bottom view showing a configuration example of the passage module 6b.

도 9 에 나타내는 바와 같이, 통로부 (102) 의 하면의 길이 방향의 단부 (반송 통로 (6) 를 따른 방향의 단부) 에는, 단면이 L 자상인 1 쌍의 앵글 (브래킷) (108) 이 설치되어 있다. 각 앵글 (108) 은, 대략 수평인 지지면 (108a) 과, 지지면 (108a) 에 대해 대략 수직인 측면 (108b) 을 구비하고, 각 앵글 (108) 의 길이 방향이 반송 통로 (6) 를 따르도록 통로부 (102) 의 하면에 고정된다.As shown in Fig. 9, a pair of angles (brackets) 108 having an L-shaped cross section is provided at the end portion in the longitudinal direction of the lower surface of the passage portion 102 (the end portion in the direction along the conveying passage 6). It is. Each angle 108 has an approximately horizontal support surface 108a and a side surface 108b approximately perpendicular to the support surface 108a, and the longitudinal direction of each angle 108 carries the conveying passage 6 It is fixed to the lower surface of the passage portion 102 to follow.

통로 모듈 (6a) 과 통로 모듈 (6b) 을 연결할 때에는, 먼저, 도 10(A) 에 나타내는 바와 같이, 통로 모듈 (6a) 을 구성하는 통로부 (102) 의 길이 방향의 단부와, 통로 모듈 (6b) 을 구성하는 통로부 (102) 의 길이 방향의 단부를 충분히 근접시킨다. 그리고, 도 10(B) 에 나타내는 바와 같이, 통로 모듈 (6a) 을 구성하는 통로부 (102) 에 설치되어 있는 앵글 (108) 과, 통로 모듈 (6b) 을 구성하는 통로부 (102) 에 설치되어 있는 앵글 (108) 에 연결구 (110) 를 삽입한다.When connecting the passage module 6a and the passage module 6b, first, as shown in Fig. 10(A), the end portion in the longitudinal direction of the passage portion 102 constituting the passage module 6a and the passage module ( The lengthwise end of the passage part 102 constituting 6b) is sufficiently brought into close proximity. Then, as shown in Fig. 10(B), the angle 108 provided in the passage portion 102 constituting the passage module 6a and the passage portion 102 constituting the passage module 6b are provided. The connector 110 is inserted into the angle 108 which is made.

연결구 (110) 는, 예를 들어, 통로 모듈 (6a) 의 앵글 (108) 의 길이와 통로 모듈 (6b) 의 앵글 (108) 의 길이를 합한 길이보다 긴 로드부 (110a) 와, 로드부 (110a) 의 양단에 설치되고 중앙에 개구를 갖는 링부 (110b) 를 포함하고 있다. 앵글 (108) 에는, 이 연결구 (110) 의 로드부 (110a) 가 삽입된다.The connector 110 includes, for example, a rod portion 110a that is longer than the length of the angle 108 of the passage module 6a plus the length of the angle 108 of the passage module 6b, and the rod portion 110a. It is provided at both ends of 110a) and includes a ring portion 110b having an opening in the center. The rod portion 110a of the connector 110 is inserted into the angle 108.

앵글 (108) 에 로드부 (110a) 를 삽입한 후에는, 링부 (110b) 의 개구를 통해서 통로부 (102) 의 하면측의 볼트 구멍 (도시 생략) 에 볼트 (112) 를 체결한다. 이로써, 연결구 (110) 를 개재하여 통로 모듈 (6a) 과 통로 모듈 (6b) 을 연결할 수 있다. 또한, 통로 모듈 (6c) 도, 동일한 순서로 다른 통로 모듈 (통로 모듈 (6a) 이나 통로 모듈 (6b) 등) 에 연결된다.After the rod portion 110a is inserted into the angle 108, the bolt 112 is fastened to the bolt hole (not shown) on the lower surface side of the passage portion 102 through the opening of the ring portion 110b. Thereby, the passage module 6a and the passage module 6b can be connected via the connection port 110. In addition, the passage module 6c is also connected to other passage modules (path passage module 6a, passage module 6b, etc.) in the same order.

절삭 장치 (4) 에 대한 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 의 장착은, 예를 들어, 도 9, 도 11 등에 나타내는 다리 부재 (114) 를 개재하여 실시된다. 다리 부재 (114) 는, 판상의 기부 (114a) 와, 기부 (114a) 의 일방측의 면의 중앙 부근으로부터 돌출되는 기둥상의 기둥부 (114b) 와, 기둥부 (114b) 의 선단에 장착된 흡반상의 흡착부 (114c) (도 11) 를 포함하고 있다.Mounting of the passage modules 6a, 6b, 6c to the cutting device 4 is performed, for example, via the leg member 114 shown in FIGS. 9, 11, and the like. The leg member 114 includes a plate-shaped base 114a, a columnar columnar portion 114b protruding from the vicinity of the center of one side of the base 114a, and a sucker attached to the tip of the columnar portion 114b. It contains the adsorption part 114c of the phase (FIG. 11).

기부 (114a) 의 기둥부 (114b) 와 겹치지 않는 영역에는, 이 기부 (114a) 를 두께 방향으로 관통하는 4 개의 개구 (114d) 가 형성되어 있다. 또, 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 을 구성하는 통로부 (102) 의 하면에는, 각 개구 (114d) 에 대응하는 볼트 구멍 (102a) (도 11) 이 형성되어 있다.In the region which does not overlap with the pillar portion 114b of the base 114a, four openings 114d are formed through the base 114a in the thickness direction. In addition, bolt holes 102a (FIG. 11) corresponding to the openings 114d are formed on the lower surface of the passage portion 102 constituting the passage modules 6a, 6b, and 6c.

그 때문에, 기부 (114a) 의 타방측의 면을 통로부 (102) 의 하면에 접촉시키고, 개구 (114d) 를 통해서 볼트 구멍 (102a) 에 볼트 (116) 를 체결하면, 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 에 다리 부재 (114) 를 고정할 수 있다. 또한, 개구 (114d) 및 볼트 구멍 (102a) 의 수량이나 배치 등에 제한은 없다.Therefore, if the other side of the base 114a is brought into contact with the lower surface of the passage portion 102 and the bolt 116 is fastened to the bolt hole 102a through the opening 114d, the passage modules 6a, 6b , 6c), the leg member 114 can be fixed. In addition, there is no limitation on the quantity or arrangement of the opening 114d and the bolt hole 102a.

도 11 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 통로 모듈 (6b) 에는, 통로부 (102) 의 하면의 복수의 영역의 각각에 기부 (114a) 의 4 개의 개구 (114d) 에 대응하는 4 개의 볼트 구멍 (102a) 이 형성되어 있고, 임의의 영역에 다리 부재 (114) 를 장착할 수 있다. 다른 통로 모듈 (6a, 6c) 에 대해서도 동일하다.As shown in FIG. 11, in the passage module 6b of the present embodiment, four bolt holes corresponding to the four openings 114d of the base 114a in each of the plurality of areas on the lower surface of the passage portion 102 102a is formed, and the leg member 114 can be attached to an arbitrary area. The same applies to other passage modules 6a and 6c.

즉, 다리 부재 (114) 는, 통로부 (102) 의 하면의 복수의 영역에서 선택된 어느 영역에 장착된다. 또한, 각 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 에는, 복수의 다리 부재 (114) 를 장착하는 것이 바람직하다. 이로써, 절삭 장치 (4) 에 대한 반송 통로 (6) 의 위치를 안정화시키기 쉬워진다.That is, the leg member 114 is attached to any region selected from a plurality of regions on the lower surface of the passage portion 102. In addition, it is preferable to attach a plurality of leg members 114 to each passage module 6a, 6b, 6c. Thereby, it becomes easy to stabilize the position of the conveyance passage 6 with respect to the cutting device 4.

절삭 장치 (4) 에 대해 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 을 장착할 때에는, 예를 들어, 절삭 장치 (4) 의 커버 (92) 에 대해 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 의 위치를 맞추고, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 다리 부재 (114) 의 흡착부 (114c) 를 커버 (92) 의 천장 (92a) 의 상면에 압박한다. 이로써, 커버 (92) 의 천장 (92a) 의 상면에 흡착부 (114c) 를 흡착시켜, 임의의 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 을 커버 (92) 에 장착할 수 있다. 요컨대, 임의의 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 이, 다리 부재 (114) 를 개재하여 절삭 장치 (4) 의 커버 (92) 에 장착된다.When mounting the passage modules 6a, 6b, 6c to the cutting device 4, for example, position the passage modules 6a, 6b, 6c with respect to the cover 92 of the cutting device 4, , As shown in FIG. 7, the suction part 114c of the leg member 114 is pressed against the upper surface of the ceiling 92a of the cover 92. Thereby, the suction part 114c is adsorb|sucked on the upper surface of the ceiling 92a of the cover 92, and arbitrary passage modules 6a, 6b, 6c can be attached to the cover 92. That is, arbitrary passage modules 6a, 6b, 6c are attached to the cover 92 of the cutting device 4 via the leg member 114.

또한, 반드시 모든 통로 모듈 (6a, 6b, 6c) 을 절삭 장치 (4) 에 대해 장착하지 않아도 된다. 예를 들어, 2 대의 절삭 장치 (4) 사이에 위치하는 통로 모듈은, 연결구 (110) 를 개재하여 인접하는 통로 모듈에만 지지되는 경우가 있다. 또, 절삭 장치 (4) 나 스톡 유닛 (8) 등에 대해 장착되는 통로 모듈의 통로부 (102) 에는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 2 차원 코드로 대표되는 식별 코드나 무선 태그 등의 정보 제공부 (102b) 가 설치되어 있다. 이 정보 제공부 (102b) 는, 예를 들어, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 위치의 확인 등에 사용된다.Moreover, it is not necessary to mount all the passage modules 6a, 6b, 6c to the cutting device 4 necessarily. For example, the passage module positioned between two cutting devices 4 may be supported only by adjacent passage modules via the connector 110. In addition, as shown in Fig. 1, in the passage section 102 of the passage module attached to the cutting device 4, the stock unit 8, or the like, an information providing section such as an identification code represented by a two-dimensional code or a wireless tag is provided. 102b is installed. This information providing unit 102b is used, for example, for confirming the position of the unmanned workpiece transport vehicle 10 and the like.

다음으로, 피가공물 (11) 의 반송에 사용되는 카세트 (28) 등의 구조에 대해 설명한다. 도 12 는, 카세트 (28) 등의 구조를 나타내는 사시도이다. 카세트 (28) 는, 피가공물 (11) 을 지지하는 프레임 (15) 을 수용할 수 있는 크기의 상자체 (118) 를 포함한다. 이 상자체 (118) 는, 피가공물 (11) 이나 프레임 (15) 을 지지하기 위한 저판 (120) 을 가지고 있다.Next, the structure of the cassette 28 etc. used for conveyance of the to-be-processed object 11 is demonstrated. 12 is a perspective view showing the structure of the cassette 28 and the like. The cassette 28 includes a box body 118 sized to accommodate a frame 15 that supports the work piece 11. The box body 118 has a bottom plate 120 for supporting the workpiece 11 or the frame 15.

저판 (120) 은, 평면으로 볼 때 사각형상으로 형성되어 있고, 그 3 변에 상당하는 위치에는, 각각, 측판 (122), 측판 (124), 및 측판 (126) 의 하단측이 고정되어 있다. 측판 (122), 측판 (124), 및 측판 (126) 의 상단측에는, 저판 (120) 과 동일한 형상의 천판 (天板) (128) 이 고정되어 있다. 즉, 상자체 (118) 는, 4 개의 측면의 하나에 개구 (118a) 를 갖는 중공의 직방체상으로 구성되어 있다.The bottom plate 120 is formed in a square shape when viewed in a plan view, and the lower side of the side plate 122, the side plate 124, and the side plate 126 are fixed at positions corresponding to the three sides, respectively. . On the upper side of the side plate 122, the side plate 124, and the side plate 126, a top plate 128 having the same shape as the bottom plate 120 is fixed. That is, the box body 118 is formed in the shape of a hollow rectangular parallelepiped having an opening 118a on one of the four side surfaces.

또한, 천판 (128) 은, 파장이 360 nm ∼ 830 nm 정도인 가시광선을 투과시키는 수지나 유리 등의 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 이로써, 예를 들어, 상자체 (118) 에 수용된 피가공물 (11) 의 종류 등을, 카세트 (28) 의 외부로부터 판별할 수 있도록 된다. 또한, 피가공물 (11) 의 종류 등을 판별할 때에는, 피가공물 (11) 에 묘화되어 있는 바코드 등의 식별 코드 (17) 를 판독하면 된다.Further, the top plate 128 is preferably formed of a material such as resin or glass that transmits visible light having a wavelength of about 360 nm to 830 nm. Thereby, for example, the type of the object 11 accommodated in the box body 118 can be discriminated from the outside of the cassette 28. Further, when determining the type of the workpiece 11 or the like, it is sufficient to read the identification code 17 such as a barcode drawn on the workpiece 11.

또, 저판 (120) 의 개구 (118a) 측의 영역에는, 상자체 (118) 에 수용된 프레임 (15) 의 외부로의 이동을 규제하기 위한 2 개의 이동 규제 부재 (130a, 130b) 가 설치되어 있다. 2 개의 이동 규제 부재 (130a, 130b) 는, 모두 직방체상으로 형성되어 있고, 각 이동 규제 부재 (130a, 130b) 의 길이 방향이 개구 (118a) 의 하측의 가장자리를 따르도록 배치된다.Further, in the area on the side of the opening 118a of the bottom plate 120, two movement restricting members 130a, 130b for restricting movement of the frame 15 accommodated in the box body 118 to the outside are provided. . The two movement restricting members 130a, 130b are all formed in a rectangular parallelepiped shape, and are arranged so that the longitudinal direction of each movement restricting member 130a, 130b follows the lower edge of the opening 118a.

2 개의 이동 규제 부재 (130a, 130b) 의 높이는, 개구 (118a) 의 높이보다 낮게 되어 있고, 각 이동 규제 부재 (130a, 130b) 와 천판 (128) 사이에는, 피가공물 (11) 이나 프레임 (15) 을 반입출하기 위한 간극이 형성되어 있다. 또한, 2 개의 이동 규제 부재 (130a, 130b) 는, 서로 접하고 있지 않다. 즉, 이동 규제 부재 (130a) 와 이동 규제 부재 (130b) 사이에는, 소정의 간극 (130c) 이 형성되어 있다.The height of the two movement restricting members 130a and 130b is lower than the height of the opening 118a, and between the movement restricting members 130a and 130b and the top plate 128, the workpiece 11 or the frame 15 ) A gap is formed for carrying in and out. In addition, the two movement restricting members 130a and 130b are not in contact with each other. That is, a predetermined gap 130c is formed between the movement restricting member 130a and the movement restricting member 130b.

저판 (120) 의 일부에는, 이 저판 (120) 을 두께 방향으로 관통하는 평면으로 볼 때 사각형상의 복수의 개구 (120a) 가 형성되어 있다. 각 개구 (120a) 는, 예를 들어, 상자체 (118) 에 수용되는 프레임 (15) 의 바로 아래의 영역에 형성된다. 즉, 각 개구 (120a) 는, 상자체 (118) 에 수용되는 프레임 (15) 에 대해 평면으로 볼 때 겹치는 위치에 형성된다.A plurality of rectangular openings 120a are formed in a part of the bottom plate 120 when viewed in a plane passing through the bottom plate 120 in the thickness direction. Each opening 120a is formed, for example, in an area just below the frame 15 accommodated in the box body 118. That is, each opening 120a is formed in a position overlapping when viewed in a plane with respect to the frame 15 accommodated in the box body 118.

도 12 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어, 절삭 장치 (4) 가 구비하는 카세트 지지대 (50) 의 상면에는, 개구 (120a) 의 형상에 대응하는 직방체상의 복수의 돌기 (50a) 가 형성되어 있다. 각 돌기 (50a) 는, 카세트 지지대 (50) 의 상면에 적재되는 카세트 (28) 의 개구 (120a) 에 대응하는 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 예를 들어, 무인 피가공물 반송차 (10) 상의 카세트 (28) 를 카세트 반송 아암 (94) 에 의해 반송하여 카세트 지지대 (50) 의 상면에 적재하면, 이 카세트 (28) 의 개구 (120a) 에 돌기 (50a) 가 삽입된다.As shown in FIG. 12, for example, a plurality of projections 50a on the cuboid corresponding to the shape of the opening 120a are formed on the upper surface of the cassette support 50 provided in the cutting device 4. Each projection 50a is disposed at a position corresponding to the opening 120a of the cassette 28 loaded on the upper surface of the cassette support 50. Therefore, for example, if the cassette 28 on the unmanned workpiece transport vehicle 10 is transported by the cassette transport arm 94 and loaded on the upper surface of the cassette support 50, the opening of the cassette 28 ( The protrusion 50a is inserted into 120a).

그 결과, 카세트 (28) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 은, 돌기 (50a) 에 의해 이동 규제 부재 (130a, 130b) 보다 높은 위치까지 상대적으로 밀어 올려지고, 이동 규제 부재 (130a, 130b) 와 천판 (128) 의 간극으로부터 반출할 수 있는 상태가 된다. 또한, 개구 (120a) 나 돌기 (50a) 의 형상 등에 특별한 제한은 없다. 또, 도 12 에서는, 절삭 장치 (4) 가 구비하는 카세트 지지대 (50) 만을 예시하고 있지만, 예를 들어, 스톡 유닛 (8) 이 구비하는 제 2 카세트 지지대 (26) 등의 구조도 동일하다. As a result, the frame 15 accommodated in the cassette 28 is relatively pushed up to a position higher than the movement restricting members 130a, 130b by the projections 50a, and the movement restricting members 130a, 130b It becomes a state which can be taken out from the gap of the top plate 128. In addition, there is no particular limitation on the shape of the opening 120a or the projection 50a. In addition, although only the cassette support 50 provided in the cutting device 4 is illustrated in FIG. 12, the structure of the 2nd cassette support 26 provided in the stock unit 8, for example, is also the same.

도 13(A), 도 13(B), 및 도 13(C) 는, 피가공물 (11) 을 지지하는 프레임 (15) 이 카세트 (28) 로부터 반출되는 양태를 나타내는 단면도이다. 예를 들어, 절삭 장치 (4) 에 있어서 프레임 (15) 을 카세트 (28) 로부터 반출할 때에는, 도 13(A) 에 나타내는 바와 같이, 개구 (120a) 에 대해 돌기 (50a) 가 삽입되도록 카세트 (28) 를 카세트 지지대 (50) 의 상면에 적재한다. 그 결과, 카세트에 수용되어 있는 프레임 (15) 은, 돌기 (50a) 에 의해 이동 규제 부재 (130a, 130b) 보다 높은 위치까지 상대적으로 밀어 올려진다.13(A), 13(B), and 13(C) are cross-sectional views showing an embodiment in which the frame 15 supporting the workpiece 11 is carried out from the cassette 28. For example, in the cutting device 4, when the frame 15 is taken out from the cassette 28, as shown in Fig. 13A, the cassette 50a is inserted into the opening 120a so that the protrusion 50a is inserted. 28) is mounted on the upper surface of the cassette support (50). As a result, the frame 15 accommodated in the cassette is relatively pushed up to a position higher than the movement restricting members 130a and 130b by the projections 50a.

다음으로, 카세트 지지대 (50) 의 돌기 (50a) 의 상면과 제 1 반송 유닛 (68) 의 파지 기구 (68a) 가 대체로 동일한 높이가 되도록 카세트 지지대 (50) 와 파지 기구 (68a) 의 상대적인 높이를 조정한다. 그리고, 도 13(B) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 반송 유닛 (68) 의 파지 기구 (68a) 를 개구 (118a) 로부터 카세트 (28) 내에 삽입한다. 구체적으로는, 제 1 반송 유닛 (68) 을 수평으로 이동시키고, 이동 규제 부재 (130a) 와 이동 규제 부재 (130b) 의 간극 (130c) 에 파지 기구 (68a) 를 삽입한다.Next, the relative heights of the cassette support 50 and the gripping mechanism 68a are adjusted so that the upper surface of the projection 50a of the cassette support 50 and the gripping mechanism 68a of the first conveying unit 68 are substantially the same height. Adjust. Then, as shown in Fig. 13B, the gripping mechanism 68a of the first transport unit 68 is inserted into the cassette 28 from the opening 118a. Specifically, the first transport unit 68 is moved horizontally, and the gripping mechanism 68a is inserted into the gap 130c between the movement restricting member 130a and the movement restricting member 130b.

그 후, 프레임 (15) 을 파지 기구 (68a) 로 파지하고, 도 13(C) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 반송 유닛 (68) 을 수평으로 이동시키고, 이 파지 기구 (68a) 를 카세트 (28) 로부터 인발한다. 이로써, 프레임 (15) 은 카세트 (28) 로부터 반출된다. 반출된 프레임 (15) 는, 예를 들어, 1 쌍의 가이드 레일 (60) 에 의해 위치가 조정된 후에, 척 테이블 (56) 에 반입된다.Thereafter, the frame 15 is held by the gripping mechanism 68a, and the first conveying unit 68 is moved horizontally as shown in Fig. 13C, and the gripping mechanism 68a is moved to the cassette 28. ). Thereby, the frame 15 is taken out from the cassette 28. The unloaded frame 15 is brought into the chuck table 56 after, for example, the position is adjusted by a pair of guide rails 60.

다음으로, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 의 동작 등의 예를 설명한다. 도 14 는, 반송 시스템 (2) 의 동작 등의 예를 설명하기 위한 기능 블록도이다. 예를 들어, 절삭 장치 (4) 의 제어 장치 (96) 는, 새로운 피가공물 (11) 이 필요한 상황이 되면, 그 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.Next, an example of the operation and the like of the conveyance system 2 according to the present embodiment will be described. 14 is a functional block diagram for explaining an example of the operation of the conveying system 2 and the like. For example, the control device 96 of the cutting device 4 generates a notification signal (workpiece request signal) for notifying the effect when a new work piece 11 is required. The notification signal (workpiece request signal) generated by the control device 96 is transmitted from the transmitter 100 to the control unit 12.

도 14 에 나타내는 바와 같이, 제어 유닛 (12) 은, 각종 제어를 실시하기 위한 제어 신호를 생성하는 제어부 (제어 신호 생성부) (132) 를 구비하고 있다. 이 제어부 (132) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어부 (132) 의 기능이 실현된다.14, the control unit 12 is equipped with the control part (control signal generation part) 132 which produces the control signal for performing various control. The control unit 132 is typically constituted by a processing device such as a CPU or a computer including a storage device such as a flash memory, and is operated by operating the processing device or the like in accordance with software stored in the storage device. The function of 132) is realized.

이 제어부 (132) 에는, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 등으로부터 송신되는 통지 신호를 수신하는 수신기 (134) 와, 절삭 장치 (4), 스톡 유닛 (8), 무인 피가공물 반송차 (10) 등에 대해 제어 신호를 송신하는 송신기 (136) 가 접속되어 있다.The control unit 132 includes a receiver 134 that receives a notification signal transmitted from the cutting device 4, the stock unit 8, the unmanned workpiece transport vehicle 10, and the like, and the cutting device 4 and the stock unit. (8), a transmitter 136 that transmits a control signal to the unmanned workpiece transport vehicle 10 or the like is connected.

제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 절삭 장치 (4) 의 송신기 (100) 로부터 송신된 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 절삭 장치 (4) 로부터의 통지 신호 (피가공물 요구 신호) 를 확인하면, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 대해, 스톡 유닛 (8) 으로부터 피가공물 (11) 을 수취할 수 있는 위치에서 대기하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 로 보낸다.When the receiver 134 of the control unit 12 receives the notification signal (workpiece request signal) transmitted from the transmitter 100 of the cutting device 4, it sends it to the control unit 132. When the control unit 132 confirms the notification signal (workpiece request signal) from the cutting device 4, it receives the work piece 11 from the stock unit 8 for the unmanned work piece transport vehicle 10. Instruct them to wait where they can. Specifically, the control unit 132 generates a control signal (first standby instruction signal) corresponding to this instruction, and sends it from the transmitter 136 to the unmanned workpiece transport vehicle 10.

무인 피가공물 반송차 (10) 의 수신기 (44) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (42) 로 보낸다. 제어 장치 (42) 는, 이 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 에 근거하여 차륜 (주행 기구) (40) 등의 동작을 제어하여, 무인 피가공물 반송차 (10) 를 반송 통로 (6) 를 따라 주행시킨다.When the receiver 44 of the unmanned workpiece transport vehicle 10 receives a control signal (first standby instruction signal) from the control unit 12, it sends it to the control device 42. The control device 42 controls the operation of the wheel (driving mechanism) 40 or the like based on this control signal (first waiting instruction signal), and moves the unmanned workpiece transport vehicle 10 through the transport passage 6. Drive along.

또한, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 제어 장치 (42) 에는, 반송 통로 (6) 에 설치되어 있는 정보 제공부 (102b) 의 정보를 판독하기 위한 판독기 (138) 가 접속되어 있다. 그 때문에, 판독기 (138) 에 의해 정보 제공부 (102b) 의 정보를 판독함으로써, 제어 장치 (42) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 위치를 확인할 수 있다.14, a reader 138 for reading information from the information providing unit 102b provided in the conveyance passage 6 in the control device 42 of the unmanned workpiece transport vehicle 10. As shown in FIG. Is connected. Therefore, by reading the information of the information provision part 102b with the reader 138, the control apparatus 42 can confirm the position of the unmanned object conveyance vehicle 10.

제어 장치 (42) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 가 스톡 유닛 (8) 의 옆까지 이동한 것을 확인하면, 차륜 (40) 등을 정지시킨다. 또, 제어 장치 (42) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 가 피가공물 (11) 을 수취할 수 있는 위치에서 대기 중인 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (42) 에서 생성된 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 는, 송신기 (46) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.When confirming that the unmanned workpiece transport vehicle 10 has moved to the side of the stock unit 8, the control device 42 stops the wheels 40 and the like. In addition, the control device 42 generates a notification signal (first waiting signal) for notifying that it is waiting at a position where the unmanned workpiece transport vehicle 10 can receive the workpiece 11. The notification signal (first waiting signal) generated by the control device 42 is transmitted from the transmitter 46 to the control unit 12.

제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 송신기 (46) 로부터 송신된 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터의 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 확인하면, 스톡 유닛 (8) 에 대해, 피가공물 (11) 을 무인 피가공물 반송차 (10) 로 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 스톡 유닛 (8) 으로 보낸다.When the receiver 134 of the control unit 12 receives the notification signal (the first waiting signal) transmitted from the transmitter 46 of the unmanned workpiece transport vehicle 10, it sends it to the control unit 132. When the control unit 132 confirms the notification signal (the first waiting signal) from the unmanned workpiece transport vehicle 10, the unmanned workpiece transport vehicle 10 is transferred to the stock unit 8 for the stock unit 8. ). Specifically, the control unit 132 generates a control signal (first carrier instruction signal) corresponding to this instruction, and sends it to the stock unit 8 from the transmitter 136.

스톡 유닛 (8) 의 수신기 (34) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (32) 로 보낸다. 제어 장치 (32) 는, 이 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 에 근거하여 카세트 반송 아암 (30) 등의 동작을 제어하여, 피가공물 (11) 이 수용되어 있는 카세트 (28) 를 무인 피가공물 반송차 (10) 의 새시 (38) 에 적재한다.When the receiver 34 of the stock unit 8 receives the control signal (first conveyance instruction signal) from the control unit 12, it sends it to the control device 32. The control device 32 controls the operation of the cassette transport arm 30 or the like based on this control signal (first conveyance instruction signal), so that the cassette 28 in which the work piece 11 is accommodated is unmanned work piece. It is loaded on the chassis 38 of the transport vehicle 10.

무인 피가공물 반송차 (10) 에 대한 카세트 (28) 의 반송이 완료하면, 제어 장치 (32) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 대한 카세트 (28) 의 반송이 완료한 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (32) 에서 생성된 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 는, 송신기 (36) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.When the conveyance of the cassette 28 to the unmanned workpiece transport vehicle 10 is completed, the control device 32 notifies the effect that the conveyance of the cassette 28 to the unmanned workpiece transport vehicle 10 is completed. For generating a notification signal (first conveyance completion signal). The notification signal (first conveyance completion signal) generated by the control device 32 is transmitted from the transmitter 36 to the control unit 12.

제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 스톡 유닛 (8) 의 송신기 (36) 로부터 송신된 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 스톡 유닛 (8) 으로부터의 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 확인하면, 무인 피가공물 반송차 (10) 에 대해, 피가공물 (11) 을 절삭 장치 (4) 에 수수할 수 있는 위치까지 이동시키고 대기하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 로 보낸다.When the receiver 134 of the control unit 12 receives the notification signal (first transfer completion signal) transmitted from the transmitter 36 of the stock unit 8, it sends it to the control unit 132. When the control unit 132 confirms the notification signal (the first conveyance completion signal) from the stock unit 8, the workpiece 11 is delivered to the cutting device 4 for the unmanned workpiece transport vehicle 10. You are instructed to move and wait where you can. Specifically, the control unit 132 generates a control signal (second standby indication signal) corresponding to this instruction, and sends it from the transmitter 136 to the unmanned workpiece transport vehicle 10.

무인 피가공물 반송차 (10) 의 수신기 (44) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (42) 로 보낸다. 제어 장치 (42) 는, 이 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 에 근거하여 차륜 (40) 등의 동작을 제어하여, 무인 피가공물 반송차 (10) 를 반송 통로 (6) 를 따라 주행시킨다.When the receiver 44 of the unmanned workpiece transport vehicle 10 receives a control signal (second standby instruction signal) from the control unit 12, it sends it to the control device 42. The control device 42 controls the operation of the wheels 40 or the like based on this control signal (second standby instruction signal), and causes the unmanned workpiece transport vehicle 10 to travel along the transport passage 6.

제어 장치 (42) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 가 절삭 장치 (4) 의 옆까지 이동한 것을 확인하면, 차륜 (40) 등을 정지시킨다. 또, 제어 장치 (42) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 가 절삭 장치 (4) 에 대해 피가공물 (11) 을 수수할 수 있는 위치에서 대기 중인 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (42) 에서 생성된 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 는, 송신기 (46) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.The control device 42 stops the wheels 40 and the like when it is confirmed that the unmanned workpiece transport vehicle 10 has moved to the side of the cutting device 4. In addition, the control device 42 is a notification signal (second wait) for notifying that the unmanned workpiece transport vehicle 10 is waiting at a position where the cutting device 4 can receive the workpiece 11 Medium signal). The notification signal (second waiting signal) generated by the control device 42 is transmitted from the transmitter 46 to the control unit 12.

제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 의 송신기 (46) 로부터 송신된 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터의 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 확인하면, 절삭 장치 (4) 에 대해, 피가공물 (11) 을 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 절삭 장치 (4) 로 보낸다.When the receiver 134 of the control unit 12 receives the notification signal (second waiting signal) transmitted from the transmitter 46 of the unmanned work piece transport vehicle 10, it sends it to the control unit 132. When the control unit 132 confirms the notification signal (the second waiting signal) from the unmanned workpiece transport vehicle 10, the cutting device 4 transfers the workpiece 11 to the unmanned workpiece transport vehicle 10 ). Specifically, the control unit 132 generates a control signal (second conveyance instruction signal) corresponding to this instruction, and sends it to the cutting device 4 from the transmitter 136.

절삭 장치 (4) 의 수신기 (98) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (96) 로 보낸다. 제어 장치 (96) 는, 이 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 에 근거하여 카세트 반송 아암 (94) 등의 동작을 제어하여, 피가공물 (11) 이 수용되어 있는 카세트 (28) 를 무인 피가공물 반송차 (10) 의 새시 (38) 로부터 반출하여 카세트 지지대 (50) 에 적재한다.When the receiver 98 of the cutting device 4 receives the control signal (second conveyance indication signal) from the control unit 12, it sends it to the control device 96. The control device 96 controls the operation of the cassette transport arm 94 or the like based on this control signal (second conveyance instruction signal), so that the cassette 28 in which the workpiece 11 is accommodated is an unmanned workpiece. It is taken out from the sash 38 of the transport vehicle 10 and loaded on the cassette support 50.

절삭 장치 (4) 에 대한 카세트 (28) 의 반송이 완료되면, 예를 들어, 제어 장치 (96) 는, 절삭 장치 (4) 에 대한 카세트 (28) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.When conveyance of the cassette 28 to the cutting device 4 is completed, for example, the control device 96 is a notification signal for notifying that the conveyance of the cassette 28 to the cutting device 4 is completed. (2nd transfer completion signal) is generated. The notification signal (second conveyance completion signal) generated by the control device 96 is transmitted from the transmitter 100 to the control unit 12.

이와 같은 순서에 의해, 스톡 유닛 (8) 에 수용되어 있는 피가공물 (11) 을 임의의 절삭 장치 (4) 에 대해 1 장씩 반송할 수 있다. 또한, 여기서는, 절삭 장치 (4) 에 대해 피가공물 (11) 을 반송할 때의 순서에 대해 주로 설명했지만, 절삭 장치 (4) 로부터 피가공물 (11) 이나 카세트 (28) 를 회수할 때의 순서 등도 동일하다.By such a procedure, the workpiece 11 accommodated in the stock unit 8 can be conveyed one by one to the arbitrary cutting device 4. In addition, although the procedure at the time of conveying the to-be-processed object 11 with respect to the cutting device 4 was mainly demonstrated here, the procedure at the time of recovering the to-be-processed object 11 or the cassette 28 from the cutting device 4 And so on.

또, 상기 서술한 순서는, 피가공물 (11) 을 적절히 반송할 수 있는 범위 내에서 변경할 수 있다. 예를 들어, 상기 서술한 순서에 포함되어 있는 복수의 스텝을 동시에 실시해도 되고, 피가공물 (11) 의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 스텝의 순서를 바꿔도 된다. 동일하게, 피가공물 (11) 의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 임의의 스텝을 추가, 변경, 생략해도 된다.In addition, the above-described procedure can be changed within a range in which the workpiece 11 can be properly transported. For example, a plurality of steps included in the above-described procedure may be performed at the same time, or the order of the steps may be changed within a range in which no trouble is caused in the conveyance of the workpiece 11. Similarly, arbitrary steps may be added, changed, or omitted within a range in which trouble does not occur in the conveyance of the workpiece 11.

이상과 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 은, 복수의 절삭 장치 (가공 장치) (4) 에 걸쳐 설치되는 반송 통로 (6) 와, 새시 (피가공물 지지부) (38), 차륜 (주행 기구) (40), 및 수신기 (44) 를 구비하는 무인 피가공물 반송차 (10) 와, 카세트 반송 아암 (피가공물 반송부) (30), 및 수신기 (34) 를 구비하는 스톡 유닛 (8) 을 포함하고 있다.As described above, the transport system 2 according to the present embodiment includes a transport passage 6 provided over a plurality of cutting devices (processing devices) 4, a chassis (workpiece support portion) 38, and a wheel ( Stock unit (8) having an unmanned workpiece transport vehicle (10) having a traveling mechanism (40), and a receiver (44), a cassette carrying arm (workpiece conveying unit) (30), and a receiver (34) ).

그 때문에, 카세트 (피가공물 스토커) (18) 에 수용되어 있는 피가공물 (11) 을 카세트 반송 아암 (30) 에 의해 무인 피가공물 반송차 (10) 의 새시 (38) 로 반송하고, 이 무인 피가공물 반송차 (10) 를 반송 통로 (6) 상에서 주행시킴으로써, 복수의 절삭 장치 (4) 의 각각에 대해 피가공물 (11) 을 반송할 수 있다. 또, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (2) 에서는, 반송 통로 (6) 가, 절삭 장치 (4) 의 바로 위의 공간에 설치된다. 그 때문에, 이 반송 통로 (6) 를 설계할 때에 각 절삭 장치 (4) 의 측면의 구조를 고려할 필요가 없다. 즉, 반송 시스템 (2) 의 구축이 용이해진다.Therefore, the work piece 11 accommodated in the cassette (work piece stocker) 18 is transported to the chassis 38 of the unmanned work piece transport vehicle 10 by the cassette transport arm 30, and this unmanned work piece is By moving the workpiece transport vehicle 10 on the transport passage 6, the workpiece 11 can be transported to each of the plurality of cutting devices 4. Moreover, in the conveyance system 2 which concerns on this embodiment, the conveyance passage 6 is provided in the space immediately above the cutting device 4. Therefore, it is not necessary to consider the structure of the side surface of each cutting device 4 when designing this conveyance passage 6. That is, construction of the conveying system 2 becomes easy.

(실시형태 2) (Embodiment 2)

본 실시형태에서는, 피가공물 (11) 과 함께 절삭 블레이드 (82) 등을 반송의 대상으로 하는 반송 시스템에 대해 설명한다. 또한, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템의 기본적인 구성은, 실시형태 1 에 관련된 반송 시스템 (2) 의 기본적인 구성과 동일하다. 따라서, 실시형태 1 의 반송 시스템 (2) 과 공통되는 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고 상세한 설명을 생략한다.In the present embodiment, a conveying system in which the cutting blade 82 and the like are to be conveyed together with the workpiece 11 will be described. In addition, the basic structure of the conveyance system which concerns on this embodiment is the same as that of the conveyance system 2 which concerns on 1st embodiment. Therefore, the same code|symbol is attached|subjected to the component common to the conveyance system 2 of Embodiment 1, and detailed description is abbreviate|omitted.

도 15 는, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (202) 의 접속 관계의 예를 나타내는 기능 블록도이다. 도 15 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (202) 의 제어 유닛 (12) 에는, 무인 피가공물 반송차 (10), 절삭 장치 (204), 무인 블레이드 반송차 (206), 스톡 유닛 (208) 이 무선으로 접속되어 있다.15 is a functional block diagram showing an example of a connection relationship of the transport system 202 according to the present embodiment. As shown in FIG. 15, in the control unit 12 of the transport system 202 according to the present embodiment, the unmanned workpiece transport vehicle 10, the cutting device 204, the unmanned blade transport vehicle 206, and the stock unit 208 is wirelessly connected.

무인 블레이드 반송차 (206) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 와 동일하게 반송 통로 (6) (도 16 등 참조) 를 주행하고, 각 절삭 장치 (204) 에 대해 절삭 블레이드 (82) 를 반송한다. 스톡 유닛 (208) 은, 복수의 피가공물 (11) 에 더하여, 각 절삭 장치 (204) 에 공급되는 절삭 블레이드 (82) 를 수용할 수 있도록 구성되어 있다.The unmanned blade conveyance vehicle 206 travels the conveyance passage 6 (see FIG. 16 and the like) in the same manner as the unmanned workpiece conveyance vehicle 10, and conveys the cutting blade 82 to each cutting device 204 do. The stock unit 208 is configured to accommodate the cutting blades 82 supplied to each cutting device 204 in addition to the plurality of workpieces 11.

또한, 도 15 에서는, 설명의 편의상, 2 대의 무인 피가공물 반송차 (10a, 10b), 2 대의 절삭 장치 (204a, 204b), 및 2 대의 무인 블레이드 반송차 (206a, 206b) 를 나타내고 있지만, 각각의 대수에 제한은 없다. 또, 제어 유닛 (12) 은, 무인 피가공물 반송차 (10), 절삭 장치 (204), 무인 블레이드 반송차 (206), 스톡 유닛 (208) 등에 대해 유선으로 접속되어도 된다.15, two unmanned workpiece transport vehicles 10a, 10b, two cutting devices 204a, 204b, and two unmanned blade transport vehicles 206a, 206b are shown for convenience of explanation. There is no limit to the number of units. Moreover, the control unit 12 may be connected by wire to the unmanned workpiece transport vehicle 10, the cutting device 204, the unmanned blade transport vehicle 206, the stock unit 208, and the like.

도 16 은, 제 2 실시형태에 관련된 스톡 유닛 (208) 의 구성예를 나타내는 측면도이다. 도 16 에 나타내는 바와 같이, 스톡 유닛 (208) 의 기본적인 구성은, 실시형태 1 에 관련된 스톡 유닛 (8) 의 기본적인 구성과 동일하다. 단, 본 실시형태에 관련된 스톡 유닛 (208) 에는, 복수의 절삭 블레이드 (82) 를 수용하기 위한 블레이드 스토커 (210) 가 배치되어 있다.16 is a side view showing a configuration example of a stock unit 208 according to the second embodiment. As shown in Fig. 16, the basic configuration of the stock unit 208 is the same as the basic configuration of the stock unit 8 according to the first embodiment. However, the blade stocker 210 for accommodating the plurality of cutting blades 82 is disposed in the stock unit 208 according to the present embodiment.

블레이드 스토커 (210) 는, 예를 들어, 상면측이 복수의 영역으로 구획된 트레이상으로 구성되어 있다. 각 영역에는, 절삭 블레이드 (82) 가 수용된다. 또, 이 블레이드 스토커 (210) 의 옆에는, 블레이드 스토커 (210) 와 무인 블레이드 반송차 (206) 사이에서 절삭 블레이드 (82) 를 반송하는 블레이드 반송 아암 (블레이드 반송부) (212) 이 설치되어 있다.The blade stocker 210 is configured, for example, in a tray shape in which the upper surface side is divided into a plurality of regions. In each area, a cutting blade 82 is accommodated. Further, a blade conveying arm (blade conveying unit) 212 for conveying the cutting blade 82 between the blade stocker 210 and the unmanned blade conveying vehicle 206 is provided next to the blade stocker 210. .

도 17 은, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 17 에 나타내는 바와 같이, 무인 블레이드 반송차 (206) 는, 트레이상의 새시 (블레이드 지지부) (214) 를 포함한다. 새시 (214) 의 상면측에는, 절삭 블레이드 (82) 의 크기에 대응하는 복수의 오목부 (214a) 가 형성되어 있고, 각 오목부 (214a) 에는, 절삭 블레이드 (82) 를 수용할 수 있는 블레이드 케이스 (216) 가 배치되어 있다.17 is a perspective view showing a configuration example of an unmanned blade transport vehicle 206. As shown in FIG. 17, the unmanned blade transport vehicle 206 includes a tray-like chassis (blade support) 214. A plurality of concave portions 214a corresponding to the size of the cutting blade 82 are formed on the upper surface side of the chassis 214, and in each concave portion 214a, a blade case capable of accommodating the cutting blade 82 is provided. 216 is arranged.

블레이드 반송 아암 (212) 에 의해 반송된 절삭 블레이드 (82) 는, 이 새시 (214) 의 오목부 (214a) 에 배치된 블레이드 케이스 (216) 에 적재된다. 또한, 새시 (214) 의 각 블레이드 케이스 (216) (오목부 (214a)) 에 대응하는 위치에는, 무선 태그나 식별 코드 등의 정보 제공부 (214b) 가 설치되어 있다. 따라서, 각 블레이드 케이스 (216) 에 수용되는 절삭 블레이드 (82) 를 용이하게 특정할 수 있다.The cutting blade 82 conveyed by the blade conveying arm 212 is mounted on the blade case 216 disposed in the recess 214a of the chassis 214. In addition, at the position corresponding to each blade case 216 (recessed portion 214a) of the chassis 214, an information providing portion 214b such as a radio tag or identification code is provided. Therefore, the cutting blade 82 accommodated in each blade case 216 can be specified easily.

새시 (214) 의 하면측에는, 복수 (본 실시형태에서는, 4 개) 의 차륜 (주행 기구) (218) 이 장착되어 있다. 각 차륜 (218) 은, 모터 등의 회전 구동원에 연결되어 있고 회전한다. 이 차륜 (218) 을 회전 구동원에 의해 회전시킴으로써, 무인 블레이드 반송차 (206) 는, 반송 통로 (6) 상을 주행한다. 또한, 차륜 (218) 으로는, 경사진 준상 (통상) 의 복수의 회전체가 반송 통로 (6) 와 접촉하는 외주면에 장착된, 이른바 메카넘 휠 등을 사용하면 된다.A plurality of (four in this embodiment) wheels (driving mechanism) 218 is attached to the lower surface side of the chassis 214. Each wheel 218 is connected to a rotation drive source such as a motor and rotates. By rotating this wheel 218 with a rotation drive source, the unmanned blade transport vehicle 206 travels on the transport passage 6. Further, as the wheel 218, a so-called mecanum wheel or the like, mounted on an outer circumferential surface in which a plurality of inclined quasi-phase (normal) rotating bodies contact the conveyance passage 6, may be used.

새시 (214) 의 측면에는, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 동작을 제어하는 제어 장치 (220) 가 설치되어 있다. 제어 장치 (220) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (220) 의 기능이 실현된다.On the side surface of the chassis 214, a control device 220 for controlling the operation of the unmanned blade transport vehicle 206 is provided. The control device 220 is typically constituted by a processing device such as a CPU or a computer including a storage device such as a flash memory, and the control device is operated by operating the processing device or the like in accordance with software stored in the storage device. The function of 220 is realized.

이 제어 장치 (220) 에는, 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (222) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (224) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (220) 는, 수신기 (222) 에서 수신한 신호에 근거하여 무인 블레이드 반송차 (206) 의 동작 (주행) 을 제어한다. 또, 제어 장치 (220) 는, 송신기 (224) 를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.To this control device 220, a receiver 222 that receives a control signal (control signal) transmitted from the control unit 12 and a notification signal (notification signal) to the control unit 12 are transmitted. The transmitter 224 is connected. The control device 220 controls the operation (driving) of the unmanned blade carrier 206 based on the signal received by the receiver 222. Further, the control device 220 transmits the necessary signal to the control unit 12 through the transmitter 224.

도 18 은, 절삭 장치 (204) 등의 외관을 나타내는 사시도이다. 도 18 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (204) 의 기본적인 구성은, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치 (4) 의 기본적인 구성과 동일하다. 단, 이 절삭 장치 (204) 에는, 커버 (92) 의 천장 (92a) 을 상하로 관통하는 2 개의 개구 (92d) 가 또한 형성되어 있다. 각 개구 (92d) 는, 절삭 블레이드 (82) 를 통과할 수 있는 크기로 형성되어 있다.18 is a perspective view showing the appearance of the cutting device 204 and the like. As shown in Fig. 18, the basic configuration of the cutting device 204 is the same as the basic configuration of the cutting device 4 according to the first embodiment. However, two openings 92d penetrating the ceiling 92a of the cover 92 up and down are also formed in the cutting device 204. Each opening 92d is formed to a size that can pass through the cutting blade 82.

또, 각 개구 (92d) 에는, 절삭 블레이드 (82) 를 승강시키기 위한 블레이드 승강 기구 (226) 가 배치되어 있다. 블레이드 승강 기구 (226) 는, 절삭 블레이드 (82) 를 유지하는 블레이드 유지부 (228) 를 구비하고, 이 블레이드 유지부 (228) 를 승강시킨다. 그 때문에, 블레이드 유지부 (228) 에 절삭 블레이드 (82) 를 유지시킨 후에 이 블레이드 유지부 (228) 를 승강시키면, 절삭 블레이드 (82) 를 커버 (92) 의 외부로부터 내부로 반송하거나, 또는 커버 (92) 의 내부로부터 외부로 반송할 수 있다.Moreover, the blade raising/lowering mechanism 226 for raising/lowering the cutting blade 82 is arrange|positioned at each opening 92d. The blade lifting mechanism 226 includes a blade holding portion 228 that holds the cutting blade 82, and raises and lowers the blade holding portion 228. Therefore, if the blade holding part 228 is lifted after the cutting blade 82 is held in the blade holding part 228, the cutting blade 82 is conveyed from the outside of the cover 92 to the inside, or the cover is It can convey from the inside of 92 to the outside.

커버 (92) 의 천장 (92a) 에는, 블레이드 승강 기구 (226) 가 구비하는 블레이드 유지부 (228) 와, 블레이드 승강 기구 (226) 의 옆에 정지하는 무인 블레이드 반송차 (206) 사이에서 절삭 블레이드 (82) 를 반송하는 블레이드 반송 아암 (230) 이 설치되어 있다. 이 블레이드 반송 아암 (230) 은, 절삭 블레이드 (82) 를 유지하는 블레이드 파지부 (230a) 를 구비하고, 이 블레이드 파지부 (230a) 를 회전, 승강시킴으로써, 무인 블레이드 반송차 (206) 와 블레이드 유지부 (228) 사이에서 절삭 블레이드 (82) 를 반송한다.On the ceiling 92a of the cover 92, a cutting blade is provided between the blade holding portion 228 provided by the blade lifting mechanism 226 and the unmanned blade transport vehicle 206 stopped next to the blade lifting mechanism 226. A blade conveying arm 230 for conveying 82 is provided. This blade conveying arm 230 includes a blade gripping portion 230a that holds the cutting blade 82, and by rotating and elevating the blade gripping portion 230a, the unmanned blade carrier 206 and blade holding The cutting blade 82 is conveyed between the parts 228.

절삭 장치 (204) 의 커버 (92) 의 내부에는, 절삭 유닛 (80) 의 절삭 블레이드 (82) 를 자동 제어로 교환하는 블레이드 체인저 (232) 가 또한 설치되어 있다. 블레이드 체인저 (232) 는, 블레이드 승강 기구 (226) 나 블레이드 반송 아암 (230) 과 함께, 제어 장치 (96) 에 접속되어 있다.Inside the cover 92 of the cutting device 204, a blade changer 232 that exchanges the cutting blade 82 of the cutting unit 80 with automatic control is also provided. The blade changer 232 is connected to the control device 96 together with the blade lifting mechanism 226 and the blade conveying arm 230.

도 19 는, 블레이드 체인저 (232) 의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다. 이 블레이드 체인저 (232) 는, 예를 들어, 기대 (48) 나 커버 (92) 등에 대해 위치가 고정되는 고정 플레이트 (234) 를 구비하고 있다. 고정 플레이트 (234) 의 하면측에는, X 축 방향으로 긴 1 쌍의 가이드 레일 (236) 이 설치되어 있다. 가이드 레일 (236) 에는, 이동 플레이트 (238) 가 X 축 방향을 따라 슬라이드할 수 있는 양태로 지지된다.19 is an exploded perspective view showing a configuration example of the blade changer 232. The blade changer 232 is provided with a fixing plate 234 whose position is fixed to the base 48, the cover 92, or the like, for example. On the lower surface side of the fixing plate 234, a pair of guide rails 236 long in the X-axis direction are provided. On the guide rail 236, the moving plate 238 is supported in a manner capable of sliding along the X-axis direction.

이동 플레이트 (238) 의 Y 축 방향의 단부에는, 가이드 레일 (236) 의 형상에 대응하는 브래킷 (240) 이 설치되어 있고, 이 브래킷 (240) 을 개재하여 이동 플레이트 (238) 가 가이드 레일 (236) 에 지지된다. 이동 플레이트 (238) 의 상면에는, 너트부 (242) 가 고정되어 있다. 너트부 (242) 의 나사 구멍 (242a) 에는, X 축 방향에 대략 평행한 볼나사 (244) 가 회전할 수 있는 양태로 삽입된다.A bracket 240 corresponding to the shape of the guide rail 236 is provided at the end of the moving plate 238 in the Y-axis direction, and the moving plate 238 is guide rail 236 via the bracket 240. ). The nut part 242 is fixed to the upper surface of the moving plate 238. The ball screw 244 substantially parallel to the X-axis direction is inserted into the screw hole 242a of the nut portion 242 in a manner that can rotate.

볼나사 (244) 의 일단에는, 펄스 모터 (246) 가 연결되어 있다. 이 펄스 모터 (246) 로 볼나사 (244) 를 회전시키면, 이동 플레이트 (238) 는, 가이드 레일 (236) 을 따라 X 축 방향으로 이동한다. 이동 플레이트 (238) 의 하면측에는, 체인저 지지 구조 (248) 가 고정되어 있다.The pulse motor 246 is connected to one end of the ball screw 244. When the ball screw 244 is rotated by this pulse motor 246, the moving plate 238 moves along the guide rail 236 in the X-axis direction. The changer support structure 248 is fixed to the lower surface side of the moving plate 238.

체인저 지지 구조 (248) 에는, 절삭 유닛 (80) 에 대해 절삭 블레이드 (82) 를 고정하는 고정 너트 (도시 생략) 를 착탈하기 위한 1 쌍의 너트 착탈 기구 (250) 가 지지되어 있다. 각 너트 착탈 기구 (250) 는, Y 축 방향을 따라 이동할 수 있음과 함께, Y 축 방향에 평행한 회전축의 둘레로 회전할 수 있도록 구성된다. 이 너트 착탈 기구 (250) 에 의해 고정 너트를 파지하여 회전시킴으로써, 절삭 유닛 (80) 에 고정 너트를 장착하거나, 또는 절삭 유닛 (80) 으로부터 고정 너트를 분리할 수 있다.The changer support structure 248 is supported with a pair of nut attaching and detaching mechanisms 250 for attaching and detaching a fixing nut (not shown) that fixes the cutting blade 82 with respect to the cutting unit 80. Each nut attaching/detaching mechanism 250 is configured to be able to move along the Y-axis direction and to rotate around a rotation axis parallel to the Y-axis direction. By holding and rotating the fixing nut by this nut attaching/detaching mechanism 250, the fixing nut can be attached to the cutting unit 80, or the fixing nut can be removed from the cutting unit 80.

또, 체인저 지지 구조 (248) 에는, 절삭 블레이드 (82) 를 교환하기 위한 1 쌍의 블레이드 교환 기구 (252) 가 지지되어 있다. 각 블레이드 교환 기구 (252) 는, 각각 절삭 블레이드 (82) 를 유지 가능한 제 1 블레이드 유지부 (252a) 및 제 2 블레이드 유지부 (252b) 를 포함한다. 이 블레이드 교환 기구 (252) 는, Y 축 방향을 따라 이동할 수 있음과 함께, X 축 방향에 있어서 제 1 블레이드 유지부 (252a) 와 제 2 블레이드 유지부 (252b) 의 위치를 바꿀 수 있도록 구성된다.In addition, a pair of blade exchange mechanisms 252 for exchanging cutting blades 82 are supported by the changer support structure 248. Each blade exchange mechanism 252 includes a first blade holding portion 252a and a second blade holding portion 252b capable of holding the cutting blade 82, respectively. The blade exchange mechanism 252 is configured to be movable along the Y-axis direction and to change the positions of the first blade holding portion 252a and the second blade holding portion 252b in the X-axis direction. .

블레이드 체인저 (232) 로 절삭 블레이드 (82) 를 교환할 때에는, 예를 들어, 블레이드 승강 기구 (226) 의 블레이드 유지부 (228) 에 의해 유지된 교환용의 절삭 블레이드 (82) 를 제 1 블레이드 유지부 (252a) 로 수취한다. 그리고, 너트 착탈 기구 (250) 로 절삭 유닛 (80) 으로부터 고정 너트를 분리한다. 또, 절삭 유닛 (80) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (82) 를 제 2 블레이드 유지부 (252b) 로 절삭 유닛 (80) 으로부터 분리한다.When replacing the cutting blade 82 with the blade changer 232, for example, the first blade holding the cutting blade 82 for exchange held by the blade holding portion 228 of the blade lifting mechanism 226 It is received as part 252a. Then, the fixing nut is separated from the cutting unit 80 by the nut attaching/detaching mechanism 250. Moreover, the cutting blade 82 attached to the cutting unit 80 is separated from the cutting unit 80 by the second blade holding portion 252b.

그 후, 제 1 블레이드 유지부 (252a) 와 제 2 블레이드 유지부 (252b) 의 위치를 바꾸고, 제 1 블레이드 유지부 (252a) 로 교환용의 절삭 블레이드 (82) 를 절삭 유닛 (80) 에 장착한다. 그리고, 마지막으로, 너트 착탈 기구 (250) 로 절삭 유닛 (80) 에 고정 너트를 장착한다. 또한, 절삭 유닛 (80) 에 장착되어 있던 절삭 블레이드 (82) 는, 예를 들어, 제 2 블레이드 유지부 (252b) 로부터 블레이드 승강 기구 (226) 의 블레이드 유지부 (228) 에 수수된다.Then, the position of the 1st blade holding part 252a and the 2nd blade holding part 252b is changed, and the cutting blade 82 for exchange with the 1st blade holding part 252a is attached to the cutting unit 80. do. And finally, the fixing nut is attached to the cutting unit 80 with the nut attaching/detaching mechanism 250. In addition, the cutting blade 82 attached to the cutting unit 80 is transferred from the second blade holding portion 252b to the blade holding portion 228 of the blade lifting mechanism 226, for example.

다음으로, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (202) 의 동작 등의 예를 설명한다. 도 20 은, 반송 시스템 (202) 의 동작 등의 예를 설명하기 위한 기능 블록도이다. 또한, 피가공물 (11) 의 반송에 관련된 동작은 실시형태 1 과 동일하므로, 본 실시형태에서는, 주로 절삭 블레이드 (82) 의 반송에 관련된 동작의 예를 설명한다.Next, an example of the operation of the transport system 202 according to the present embodiment will be described. 20 is a functional block diagram for explaining an example of the operation of the transport system 202 and the like. In addition, since the operation related to the conveyance of the workpiece 11 is the same as in the first embodiment, an example of the operation mainly related to the conveyance of the cutting blade 82 will be mainly described in this embodiment.

예를 들어, 절삭 장치 (204) 의 제어 장치 (96) 는, 절삭 블레이드 (82) 의 교환이 필요한 상황이 되면, 그 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (블레이드 요구 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (블레이드 요구 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.For example, the control device 96 of the cutting device 204 generates a notification signal (blade request signal) for notifying the effect when the cutting blade 82 needs to be replaced. The notification signal (blade request signal) generated by the control device 96 is transmitted from the transmitter 100 to the control unit 12.

제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 절삭 장치 (204) 의 송신기 (100) 로부터 송신된 통지 신호 (블레이드 요구 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 절삭 장치 (204) 로부터의 통지 신호 (블레이드 요구 신호) 를 확인하면, 무인 블레이드 반송차 (206) 에 대해, 스톡 유닛 (208) 으로부터 절삭 블레이드 (82) 를 수취할 수 있는 위치에서 대기하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 무인 블레이드 반송차 (206) 로 보낸다.When the receiver 134 of the control unit 12 receives the notification signal (blade request signal) transmitted from the transmitter 100 of the cutting device 204, it sends it to the control unit 132. The control unit 132 can receive the cutting blade 82 from the stock unit 208 for the unmanned blade transport vehicle 206 by confirming the notification signal (blade request signal) from the cutting device 204 Instruct them to wait at the location. Specifically, the control unit 132 generates a control signal (first standby instruction signal) corresponding to this instruction, and sends it to the unmanned blade carrier 206 from the transmitter 136.

무인 블레이드 반송차 (206) 의 수신기 (222) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (220) 로 보낸다. 제어 장치 (220) 는, 이 제어 신호 (제 1 대기 지시 신호) 에 근거하여 차륜 (주행 기구) (218) 등의 동작을 제어하여, 무인 블레이드 반송차 (206) 를 반송 통로 (6) 를 따라 주행시킨다.When the receiver 222 of the unmanned blade carrier 206 receives the control signal (first standby instruction signal) from the control unit 12, it sends it to the control device 220. The control device 220 controls the operation of the wheel (driving mechanism) 218 or the like based on this control signal (first standby instruction signal), and the unmanned blade transport vehicle 206 along the transport passage 6 Drive.

또한, 도 20 에 나타내는 바와 같이, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 제어 장치 (220) 에는, 반송 통로 (6) 에 설치되어 있는 정보 제공부 (102b) 의 정보를 판독하기 위한 판독기 (254) 가 접속되어 있다. 그 때문에, 판독기 (254) 에 의해 정보 제공부 (102b) 의 정보를 판독함으로써, 제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 위치를 확인할 수 있다.20, a reader 254 for reading information from the information providing unit 102b provided in the conveyance passage 6 is provided in the control device 220 of the unmanned blade transport vehicle 206. Connected. Therefore, by reading the information of the information provision part 102b with the reader 254, the control apparatus 220 can confirm the position of the unmanned blade transport vehicle 206.

제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 스톡 유닛 (208) 의 옆까지 이동한 것을 확인하면, 차륜 (218) 등을 정지시킨다. 또, 제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 절삭 블레이드 (82) 를 수취할 수 있는 위치에서 대기 중인 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (220) 에서 생성된 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 는, 송신기 (224) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다. When confirming that the unmanned blade transport vehicle 206 has moved to the side of the stock unit 208, the control device 220 stops the wheels 218 and the like. Further, the control device 220 generates a notification signal (first waiting signal) for notifying that the unmanned blade carrier 206 is waiting at a position where the cutting blade 82 can be received. The notification signal (first waiting signal) generated by the control device 220 is transmitted from the transmitter 224 to the control unit 12.

제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 송신기 (224) 로부터 송신된 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 로부터의 통지 신호 (제 1 대기 중 신호) 를 확인하면, 스톡 유닛 (208) 에 대해, 절삭 블레이드 (82) 를 무인 블레이드 반송차 (206) 로 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 스톡 유닛 (208) 으로 보낸다.When the receiver 134 of the control unit 12 receives the notification signal (the first waiting signal) transmitted from the transmitter 224 of the unmanned blade carrier 206, it sends it to the control unit 132. When the control unit 132 confirms the notification signal (the first waiting signal) from the unmanned blade transport vehicle 206, the cutting blade 82 is transferred to the unmanned blade transport vehicle 206 with respect to the stock unit 208. Instructed to return. Specifically, the control unit 132 generates a control signal (first carrier instruction signal) corresponding to this instruction, and sends it to the stock unit 208 from the transmitter 136.

스톡 유닛 (208) 의 수신기 (34) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (32) 로 보낸다. 제어 장치 (32) 는, 이 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 에 근거하여 블레이드 반송 아암 (212) 등의 동작을 제어하여, 절삭 블레이드 (82) 를 블레이드 스토커 (210) 로부터 반출하고, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 새시 (214) 에 적재한다. 구체적으로는, 예를 들어, 제어 신호 (제 1 반송 지시 신호) 를 통해서 제어 유닛 (12) 으로부터 지시된 블레이드 케이스 (216) 에 절삭 블레이드 (82) 를 적재한다.When the receiver 34 of the stock unit 208 receives the control signal (first conveyance instruction signal) from the control unit 12, it sends it to the control device 32. The control device 32 controls the operation of the blade conveying arm 212 or the like based on this control signal (first conveyance instruction signal), and takes out the cutting blade 82 from the blade stocker 210 and unmanned blade The chassis 214 of the transport vehicle 206 is loaded. Specifically, for example, the cutting blade 82 is mounted on the blade case 216 indicated from the control unit 12 through a control signal (first conveyance instruction signal).

무인 블레이드 반송차 (206) 에 대한 절삭 블레이드 (82) 의 반송이 완료하면, 제어 장치 (32) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 에 대한 절삭 블레이드 (82) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (32) 에서 생성된 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 는, 송신기 (36) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.When the conveyance of the cutting blade 82 to the unmanned blade conveyance vehicle 206 is complete, the control device 32 is configured to notify that the conveyance of the cutting blade 82 to the unmanned blade conveyance vehicle 206 is completed. A notification signal (first conveyance completion signal) is generated. The notification signal (first conveyance completion signal) generated by the control device 32 is transmitted from the transmitter 36 to the control unit 12.

제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 스톡 유닛 (208) 의 송신기 (36) 로부터 송신된 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 스톡 유닛 (208) 으로부터의 통지 신호 (제 1 반송 완료 신호) 를 확인하면, 무인 블레이드 반송차 (206) 에 대해, 절삭 블레이드 (82) 를 절삭 장치 (204) 에 수수할 수 있는 위치까지 이동하여 대기하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 무인 블레이드 반송차 (206) 로 보낸다.When the receiver 134 of the control unit 12 receives the notification signal (first transfer completion signal) transmitted from the transmitter 36 of the stock unit 208, it sends it to the control unit 132. When the control unit 132 confirms the notification signal (first transfer completion signal) from the stock unit 208, the cutting blade 82 can be delivered to the cutting device 204 for the unmanned blade transfer vehicle 206. Instruct them to move to a position where they can and wait. Specifically, the control unit 132 generates a control signal (second standby indication signal) corresponding to this instruction, and sends it to the unmanned blade carrier 206 from the transmitter 136.

무인 블레이드 반송차 (206) 의 수신기 (222) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (220) 로 보낸다. 제어 장치 (220) 는, 이 제어 신호 (제 2 대기 지시 신호) 에 근거하여 차륜 (218) 등의 동작을 제어하여, 무인 블레이드 반송차 (206) 를 반송 통로 (6) 를 따라 주행시킨다.When the receiver 222 of the unmanned blade carrier 206 receives the control signal (second standby indication signal) from the control unit 12, it sends it to the control device 220. The control device 220 controls the operation of the wheels 218 and the like based on this control signal (second standby instruction signal), and causes the unmanned blade transport vehicle 206 to travel along the transport passage 6.

제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 절삭 장치 (204) 의 옆까지 이동한 것을 확인하면, 차륜 (218) 등을 정지시킨다. 또, 제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 절삭 장치 (204) 에 대해 절삭 블레이드 (82) 를 수수할 수 있는 위치에서 대기 중인 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (220) 에서 생성된 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 는, 송신기 (224) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.When confirming that the unmanned blade transport vehicle 206 has moved to the side of the cutting device 204, the control device 220 stops the wheels 218 and the like. In addition, the control device 220 is a notification signal (in the second waiting) for notifying that the unmanned blade transport vehicle 206 is waiting at a position where the cutting device 82 can receive the cutting blade 82 Signal). The notification signal (second waiting signal) generated by the control device 220 is transmitted from the transmitter 224 to the control unit 12.

제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 송신기 (224) 로부터 송신된 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 로부터의 통지 신호 (제 2 대기 중 신호) 를 확인하면, 절삭 장치 (204) 에 대해, 절삭 블레이드 (82) 를 무인 블레이드 반송차 (206) 로부터 반송하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 절삭 장치 (204) 로 보낸다. When the receiver 134 of the control unit 12 receives the notification signal (second waiting signal) transmitted from the transmitter 224 of the unmanned blade carrier 206, it sends it to the control unit 132. When the control unit 132 checks the notification signal (second waiting signal) from the unmanned blade transport vehicle 206, the cutting blade 82 is transferred from the unmanned blade transport vehicle 206 to the cutting device 204. Instructed to return. Specifically, the control unit 132 generates a control signal (second conveyance instruction signal) corresponding to this instruction, and sends it from the transmitter 136 to the cutting device 204.

절삭 장치 (204) 의 수신기 (98) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (96) 로 보낸다. 제어 장치 (96) 는, 이 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 에 근거하여 블레이드 반송 아암 (230) 등의 동작을 제어하여, 절삭 블레이드 (82) 를 무인 블레이드 반송차 (206) 의 새시 (214) 로부터 반출해 블레이드 유지부 (228) 에 수수한다. 구체적으로는, 제어 신호 (제 2 반송 지시 신호) 를 통해서 제어 유닛으로부터 지시되는 블레이드 케이스 (216) 내의 절삭 블레이드 (82) 가 반출되고, 블레이드 유지부 (228) 로 수수된다.When the receiver 98 of the cutting device 204 receives the control signal (second conveyance instruction signal) from the control unit 12, it sends it to the control device 96. The control device 96 controls operation of the blade conveying arm 230 or the like based on this control signal (second conveyance instruction signal), so that the cutting blade 82 is a chassis 214 of the unmanned blade conveyance vehicle 206 ), and is delivered to the blade holding portion 228. Specifically, the cutting blade 82 in the blade case 216 indicated from the control unit through a control signal (second conveyance instruction signal) is carried out, and is delivered to the blade holding portion 228.

절삭 장치 (204) 에 대한 절삭 블레이드 (82) 의 수수가 완료되면, 예를 들어, 제어 장치 (96) 는, 절삭 장치 (204) 에 대한 절삭 블레이드 (82) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (제 2 반송 완료 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다. 이와 같은 순서에 의해, 스톡 유닛 (208) 에 수용되어 있는 절삭 블레이드 (82) 를 필요에 따라 절삭 장치 (204) 에 반송할 수 있다.When the delivery of the cutting blade 82 to the cutting device 204 is completed, for example, the control device 96 is configured to notify that the conveyance of the cutting blade 82 to the cutting device 204 is completed. A notification signal (second conveyance completion signal) is generated. The notification signal (second conveyance completion signal) generated by the control device 96 is transmitted from the transmitter 100 to the control unit 12. By this procedure, the cutting blade 82 accommodated in the stock unit 208 can be conveyed to the cutting device 204 as needed.

그 후, 절삭 장치 (204) 는, 예를 들어, 상기 서술한 블레이드 유지부 (228) 로부터 블레이드 체인저 (232) 로 절삭 블레이드 (82) 를 수수한다. 그리고, 이 블레이드 체인저 (232) 에 의해, 블레이드 유지부 (228) 로부터 수취한 절삭 블레이드 (82) 와, 절삭 유닛 (80) 에 이미 장착되어 있는 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 가 교환된다.Thereafter, the cutting device 204 receives the cutting blade 82 from the blade holder 228 described above to the blade changer 232, for example. Then, the blade changer 232 exchanges the cutting blade 82 received from the blade holding portion 228 and the used cutting blade 82 already mounted on the cutting unit 80.

절삭 유닛 (80) 으로부터 분리된 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 는, 블레이드 유지부 (228) 로 수수된다. 블레이드 반송 아암 (230) 은, 블레이드 유지부 (228) 에 유지되어 있는 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 를, 대기 중인 무인 블레이드 반송차 (206) 의 새시 (214) 에 적재한다. 이때, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 는, 예를 들어, 제어 장치 (96) 에 의해 지정된 블레이드 케이스 (216) 에 적재된다.The used cutting blade 82 separated from the cutting unit 80 is delivered to the blade holding portion 228. The blade conveyance arm 230 loads the used cutting blade 82 held in the blade holding portion 228 into the chassis 214 of the unmanned blade conveyance vehicle 206 in standby. At this time, the used cutting blade 82 is loaded in the blade case 216 designated by the control device 96, for example.

무인 블레이드 반송차 (206) 에 대한 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 의 반송이 완료되면, 제어 장치 (96) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 에 대한 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 의 반송이 완료된 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (96) 에서 생성된 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 는, 송신기 (100) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다. 또한, 이 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 에는, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 가 적재된 블레이드 케이스 (216) 의 정보 (블레이드 케이스 (216) 에 대응하는 정보 제공부 (214b) 의 정보) 가 포함된다.When the conveyance of the cutting blade 82 that has been used for the unmanned blade transport vehicle 206 is completed, the control device 96 transfers the used cutting blade 82 for the unmanned blade transport vehicle 206. A notification signal (third conveyance completion signal) for notifying the completion is generated. The notification signal (third conveyance completion signal) generated by the control device 96 is transmitted from the transmitter 100 to the control unit 12. In addition, in this notification signal (third conveyance completion signal), information of the blade case 216 loaded with the used cutting blade 82 (information of the information providing unit 214b corresponding to the blade case 216) Is included.

제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 절삭 장치 (204) 의 송신기 (100) 로부터 송신된 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 절삭 장치 (204) 로부터의 통지 신호 (제 3 반송 완료 신호) 를 확인하면, 무인 블레이드 반송차 (206) 에 대해, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 를 스톡 유닛 (208) 에 수수할 수 있는 위치까지 이동하여 대기하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 3 대기 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 무인 블레이드 반송차 (206) 로 보낸다.When the receiver 134 of the control unit 12 receives the notification signal (third conveyance completion signal) transmitted from the transmitter 100 of the cutting device 204, it sends it to the control unit 132. When the control unit 132 confirms the notification signal (third conveyance completion signal) from the cutting device 204, the used cutting blade 82 for the unmanned blade transport vehicle 206 is stock unit 208 Instruct them to move to a position where they can receive and wait. Specifically, the control unit 132 generates a control signal (third standby instruction signal) corresponding to this instruction, and sends it to the unmanned blade carrier 206 from the transmitter 136.

무인 블레이드 반송차 (206) 의 수신기 (222) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 3 대기 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (220) 로 보낸다. 제어 장치 (220) 는, 이 제어 신호 (제 3 대기 지시 신호) 에 근거하여 차륜 (218) 등의 동작을 제어해, 무인 블레이드 반송차 (206) 를 반송 통로 (6) 를 따라 주행시킨다.When the receiver 222 of the unmanned blade carrier 206 receives the control signal (third standby indication signal) from the control unit 12, it sends it to the control device 220. The control device 220 controls the operation of the wheels 218 and the like based on this control signal (third standby instruction signal), and causes the unmanned blade transport vehicle 206 to travel along the transport passage 6.

제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 스톡 유닛 (208) 의 옆까지 이동한 것을 확인하면, 차륜 (218) 등을 정지시킨다. 또, 제어 장치 (220) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 가 절삭 블레이드 (82) 를 수취할 수 있는 위치에서 대기 중인 취지를 통지하기 위한 통지 신호 (제 3 대기 중 신호) 를 생성한다. 제어 장치 (220) 에서 생성된 통지 신호 (제 3 대기 중 신호) 는, 송신기 (224) 로부터 제어 유닛 (12) 으로 송신된다.When confirming that the unmanned blade transport vehicle 206 has moved to the side of the stock unit 208, the control device 220 stops the wheels 218 and the like. Further, the control device 220 generates a notification signal (third waiting signal) for notifying that the unmanned blade carrier 206 is waiting at a position where the cutting blade 82 can be received. The notification signal (third waiting signal) generated by the control device 220 is transmitted from the transmitter 224 to the control unit 12.

제어 유닛 (12) 의 수신기 (134) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 의 송신기 (224) 로부터 송신된 통지 신호 (제 3 대기 중 신호) 를 수신하면, 이것을 제어부 (132) 로 보낸다. 제어부 (132) 는, 무인 블레이드 반송차 (206) 로부터의 통지 신호 (제 3 대기 중 신호) 를 확인하면, 스톡 유닛 (208) 에 대해, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 를 무인 블레이드 반송차 (206) 로부터 반출하도록 지시를 내린다. 구체적으로는, 제어부 (132) 는, 이 지시에 상당하는 제어 신호 (제 3 반송 지시 신호) 를 생성하고, 송신기 (136) 로부터 스톡 유닛 (208) 으로 보낸다.When the receiver 134 of the control unit 12 receives the notification signal (third waiting signal) transmitted from the transmitter 224 of the unmanned blade carrier 206, it sends it to the control unit 132. When the control unit 132 confirms the notification signal (third waiting signal) from the unmanned blade transport vehicle 206, the unused blade transport vehicle is configured to transfer the used cutting blade 82 to the stock unit 208. 206). Specifically, the control unit 132 generates a control signal (third carrier instruction signal) corresponding to this instruction, and sends it to the stock unit 208 from the transmitter 136.

스톡 유닛 (208) 의 수신기 (34) 는, 제어 유닛 (12) 으로부터의 제어 신호 (제 3 반송 지시 신호) 를 수신하면, 이것을 제어 장치 (32) 로 보낸다. 제어 장치 (32) 는, 이 제어 신호 (제 3 반송 지시 신호) 에 근거하여 블레이드 반송 아암 (212) 등의 동작을 제어하여, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 를 무인 블레이드 반송차 (206) 의 새시 (214) 로부터 반출하고, 블레이드 스토커 (210) 에 수용한다. 구체적으로는, 제어 신호 (제 3 반송 지시 신호) 를 통해서 제어 유닛 (12) 으로부터 지시되는 블레이드 케이스 (216) 내의 절삭 블레이드 (82) 가 반출되고, 블레이드 스토커 (210) 로 수수된다.When the receiver 34 of the stock unit 208 receives the control signal (third conveyance instruction signal) from the control unit 12, it sends it to the control device 32. The control device 32 controls the operation of the blade conveying arm 212 or the like based on this control signal (third conveyance instruction signal), and the used cutting blade 82 is used for the unmanned blade conveyance vehicle 206. It is taken out from the chassis 214 and accommodated in the blade stocker 210. Specifically, the cutting blade 82 in the blade case 216 indicated from the control unit 12 through a control signal (third conveyance instruction signal) is carried out, and is delivered to the blade stocker 210.

이와 같은 순서에 의해, 스톡 유닛 (208) 에 수용되어 있는 절삭 블레이드 (82) 를 필요에 따라 절삭 장치 (204) 에 반송하고, 또, 절삭 장치 (204) 의 절삭 유닛 (80) 으로부터 분리된 사용이 완료된 절삭 블레이드 (82) 를 회수할 수 있다. 또한, 여기서는, 절삭 블레이드 (82) 를 교환하는 작업동안에 무인 블레이드 반송차 (206) 를 그 자리에 대기시키고 있지만, 예를 들어, 이 절삭 블레이드 (82) 를 교환하는 작업동안에, 다른 절삭 장치 (204) 에 대해 절삭 블레이드 (82) 를 반송해도 된다.In this order, the cutting blade 82 accommodated in the stock unit 208 is conveyed to the cutting device 204 as necessary, and the use separated from the cutting unit 80 of the cutting device 204 is used. The completed cutting blade 82 can be recovered. Also, here, while the unmanned blade carrier 206 is held in place during the operation of exchanging the cutting blade 82, for example, during the operation of exchanging the cutting blade 82, another cutting device 204 ), the cutting blade 82 may be conveyed.

또, 상기 서술한 순서는, 절삭 블레이드 (82) 를 적절히 반송할 수 있는 범위 내에서 변경할 수 있다. 예를 들어, 상기 서술한 순서에 포함되어 있는 복수의 스텝을 동시에 실시해도 되고, 절삭 블레이드 (82) 의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 스텝의 순서를 바꿔도 된다. 동일하게, 절삭 블레이드 (82) 의 반송에 지장이 생기지 않는 범위 내에서 임의의 스텝을 추가, 변경, 생략해도 된다.Moreover, the above-described procedure can be changed within a range in which the cutting blade 82 can be properly transported. For example, a plurality of steps included in the above-described procedure may be performed at the same time, or the order of the steps may be changed within a range that does not interfere with the conveyance of the cutting blade 82. Similarly, an arbitrary step may be added, changed, or omitted within a range in which trouble does not occur in conveyance of the cutting blade 82.

이상과 같이, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (202) 은, 복수의 절삭 장치 (가공 장치) (204) 에 걸쳐 설치되는 반송 통로 (6) 와, 새시 (블레이드 지지부) (214), 차륜 (주행 기구) (218), 및 수신기 (222) 를 구비하는 무인 블레이드 반송차 (206) 와, 블레이드 반송 아암 (블레이드 반송부) (212), 및 수신기 (34) 를 구비하는 스톡 유닛 (208) 을 포함하고 있다. As described above, the transport system 202 according to the present embodiment includes a transport passage 6 provided over a plurality of cutting devices (processing devices) 204, a chassis (blade support) 214, and a wheel (driving) Mechanism) 218, and an unmanned blade carrier 206 equipped with a receiver 222, a blade transport arm (blade carrier) 212, and a stock unit 208 including a receiver 34 Doing.

그 때문에, 블레이드 스토커 (210) 에 수용되어 있는 절삭 블레이드 (82) 를 블레이드 반송 아암 (212) 에 의해 무인 블레이드 반송차 (206) 의 새시 (214) 로 반송하고, 이 무인 블레이드 반송차 (206) 를 반송 통로 (6) 상에서 주행시킴으로써, 복수의 절삭 장치 (204) 의 각각에 대해 절삭 블레이드 (82) 를 반송할 수 있다. 또, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템 (202) 에서는, 반송 통로 (6) 가, 절삭 장치 (204) 의 바로 위의 공간에 설치된다. 그 때문에, 이 반송 통로 (6) 를 설계할 때에 각 절삭 장치 (204) 의 측면의 구조를 고려할 필요가 없다. 즉, 반송 시스템 (202) 의 구축이 용이해진다.Therefore, the cutting blade 82 accommodated in the blade stocker 210 is conveyed by the blade conveying arm 212 to the chassis 214 of the unmanned blade conveying vehicle 206, and this unmanned blade conveying vehicle 206 By running on the conveyance passage 6, the cutting blades 82 can be conveyed to each of the plurality of cutting devices 204. Moreover, in the conveyance system 202 which concerns on this embodiment, the conveyance passage 6 is provided in the space just above the cutting device 204. Therefore, it is not necessary to consider the structure of the side surface of each cutting device 204 when designing this conveyance passage 6. That is, construction of the conveying system 202 becomes easy.

(실시형태 3) (Embodiment 3)

본 실시형태에서는, 절삭 장치에 대해 카세트 (28) (피가공물 (11)) 를 반송하기 위한 반송 기구가 반송 통로에 장착되어 있는 예를 설명한다. 또한, 절삭 장치나 반송 통로의 기본적인 구성은, 실시형태 1, 2 와 동일하다. 따라서, 공통되는 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고 상세한 설명을 생략한다.In this embodiment, an example in which a transport mechanism for transporting the cassette 28 (workpiece 11) to the cutting device is attached to the transport passage will be described. In addition, the basic structure of a cutting device and a conveyance path is the same as that of Embodiments 1 and 2. Therefore, the same reference numerals are assigned to the common components and the detailed description is omitted.

도 21 은, 본 실시형태에 관련된 반송 시스템에 있어서, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 카세트 (28) 가 반출되는 양태를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 22 는, 카세트 (28) 가 절삭 장치 (가공 장치) (304) 로 반입되는 양태를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 또한, 도 21 및 도 22 에서는, 커버 (92) 의 내측의 구성 요소가 모두 생략되어 있다.21 is a perspective view schematically showing an embodiment in which the cassette 28 is unloaded from the unmanned workpiece transport vehicle 10 in the transport system according to the present embodiment, and FIG. 22 is a cassette 28 cutting device (Processing device) A perspective view schematically showing an aspect carried into the 304. In addition, in FIG. 21 and FIG. 22, all the components inside the cover 92 are omitted.

도 21 및 도 22 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서 사용되는 절삭 장치 (304) 에는, 카세트 반송 아암 (94) 이 설치되어 있지 않다. 또, 이 절삭 장치 (304) 에서는, 카세트 지지대 (50) 의 상면을 커버 (92) 의 외부에 노출시킬 필요가 없다. 한편으로, 절삭 장치 (304) 상의 반송 통로 (6) 에는, 지지 구조 (306) 가 고정되어 있다.21 and 22, the cassette conveying arm 94 is not provided in the cutting device 304 used by this embodiment. In addition, in this cutting device 304, there is no need to expose the upper surface of the cassette support 50 to the outside of the cover 92. On the other hand, the support structure 306 is fixed to the conveyance passage 6 on the cutting device 304.

지지 구조 (306) 에는, 수평 방향으로 이동하는 이동 기구 (308) 가 설치되어 있다. 이동 기구 (308) 의 하단부에는, 카세트 (28) 를 유지하는 카세트 유지 핸드 (310) 가 설치되어 있다. 카세트 유지 핸드 (310) 는, 이동 기구 (308) 에 대해, 예를 들어, 크레인과 같이 승강할 수 있는 양태로 접속되어 있다. 또, 카세트 유지 핸드 (310) 의 하면측에는, 카세트 (28) 의 유무나 위치 등을 확인할 때에 사용되는 카메라 (도시 생략) 가 배치되어 있다.The support structure 306 is provided with a movement mechanism 308 that moves in the horizontal direction. At the lower end of the moving mechanism 308, a cassette holding hand 310 for holding the cassette 28 is provided. The cassette holding hand 310 is connected to the moving mechanism 308 in a manner that can be lifted, such as a crane. In addition, a camera (not shown) used for checking the presence or absence of the cassette 28 and the like is disposed on the lower surface side of the cassette holding hand 310.

이 반송 시스템에 있어서 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 절삭 장치 (304) 로 카세트 (28) 를 반송할 때에는, 먼저, 절삭 장치 (304) 의 옆에서 대기하고 있는 무인 피가공물 반송차 (10) 의 상방에 이동 기구 (308) 를 위치 결정한다. 다음으로, 도 21 에 나타내는 바와 같이, 카세트 유지 핸드 (310) 를 하강시키고, 이 카세트 유지 핸드 (310) 로 무인 피가공물 반송차 (10) 상의 카세트 (28) 를 유지한다.When conveying the cassette 28 from the unmanned workpiece transport vehicle 10 to the cutting device 304 in this conveying system, first, the unmanned workpiece transport vehicle 10 waiting next to the cutting device 304 The moving mechanism 308 is positioned above. Next, as shown in FIG. 21, the cassette holding hand 310 is lowered, and the cassette 28 on the unmanned workpiece transport vehicle 10 is held by the cassette holding hand 310.

그 후, 카세트 유지 핸드 (310) 를 상승시킨다. 또, 이동 기구 (308) 를 커버 (92) 의 개구 (92b) 의 상방 (즉, 카세트 지지대 (50) 의 상방) 으로 이동시킨다. 그리고, 도 22 에 나타내는 바와 같이, 카세트 유지 핸드 (310) 를 하강시키고, 이 카세트 유지 핸드 (310) 로 유지하고 있는 카세트 (28) 를 카세트 지지대 (50) 의 상면에 적재한다. 이상과 같은 순서로, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 절삭 장치 (304) 로 카세트 (28) 를 반송할 수 있다.Thereafter, the cassette holding hand 310 is raised. Moreover, the moving mechanism 308 is moved above the opening 92b of the cover 92 (that is, above the cassette support 50). Then, as shown in Fig. 22, the cassette holding hand 310 is lowered, and the cassette 28 held by the cassette holding hand 310 is placed on the upper surface of the cassette support 50. In the above procedure, the cassette 28 can be conveyed from the unmanned workpiece conveyance vehicle 10 to the cutting device 304.

본 실시형태의 반송 시스템에서는, 절삭 장치에 대해 카세트 (28) (피가공물 (11)) 를 반송하기 위한 반송 기구가 반송 통로 (6) 에 장착되어 있으므로, 절삭 장치 (304) 에 카세트 반송 아암을 설치할 필요가 없다. 따라서, 절삭 장치에 카세트 반송 아암을 설치하는 경우 등에 비해 반송 시스템의 범용성이 높아진다.In the conveying system of this embodiment, since the conveying mechanism for conveying the cassette 28 (workpiece 11) with respect to the cutting device is attached to the conveying passage 6, the cassette conveying arm is attached to the cutting device 304. There is no need to install. Therefore, the versatility of the conveying system is increased as compared to the case where the cassette conveying arm is provided in the cutting device.

(실시형태 4) (Embodiment 4)

본 실시형태에서는, 스톡 유닛 (8) 및 스톡 유닛 (208) 과는 상이한 구조의 스톡 유닛에 대해 설명한다. 또한, 본 실시형태의 스톡 유닛이 삽입되는 반송 시스템 등의 기본적인 구성은, 실시형태 1-3 에 관련된 반송 시스템 등과 동일하다. 따라서, 공통되는 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고 상세한 설명을 생략한다.In this embodiment, the stock unit of the structure different from the stock unit 8 and the stock unit 208 is demonstrated. In addition, the basic configuration, such as the conveyance system in which the stock unit of this embodiment is inserted, is the same as the conveyance system etc. which concerns on embodiment 1-3. Therefore, the same reference numerals are assigned to the common components and the detailed description is omitted.

도 23 은, 본 실시형태에 관련된 스톡 유닛 (408) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이며, 도 24 는, 스톡 유닛 (408) 의 내부의 구조를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 23 에 나타내는 바와 같이, 스톡 유닛 (408) 은, 각종 구성 요소를 수용하는 케이싱 (414) 을 포함한다. 또한, 도 23 에서는, 설명의 편의상, 케이싱 (414) 의 윤곽만이 나타내어져 있다.23 is a side view schematically showing a configuration example of the stock unit 408 according to the present embodiment, and FIG. 24 is a plan view schematically showing the internal structure of the stock unit 408. As shown in FIG. 23, the stock unit 408 includes a casing 414 that accommodates various components. 23, only the outline of the casing 414 is shown for convenience of description.

케이싱 (414) 내에는, 예를 들어, 볼나사식의 승강 기구 (도시 생략) 에 의해 승강하는 제 1 카세트 지지대 (재치대) (416) 가 설치되어 있다. 제 1 카세트 지지대 (416) 의 상면에는, 복수의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 카세트 (피가공물 스토커) (18) 가 적재된다. 또한, 이 카세트 (18) 는, 상기 서술한 바와 같이, 테이프 (13) 를 개재하여 프레임 (15) 에 지지된 상태의 피가공물 (11) 을 수용한다.In the casing 414, for example, a first cassette support (mounting table) 416 that is raised and lowered by a ball screw type lifting mechanism (not shown) is provided. On the upper surface of the first cassette support 416, a cassette (workpiece stocker) 18 capable of accommodating a plurality of workpieces 11 is loaded. In addition, as described above, the cassette 18 accommodates the workpiece 11 in a state supported by the frame 15 via the tape 13.

도 24 에 나타내는 바와 같이, 제 1 카세트 지지대 (416) (카세트 (18)) 에 대면하는 제 1 위치에는, 프레임 (15) 을 파지하여 이동시키는 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 이 배치되어 있다. 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 은, 프레임 (15) 을 상하로 파지하는 파지부 (422) 와, 파지부 (422) 를 대략 수평인 방향으로 이동시키는 구동부 (424) 를 포함한다.As shown in FIG. 24, the 1st to-be-processed moving unit 420 which grasps and moves the frame 15 is arrange|positioned at the 1st position facing the 1st cassette support 416 (cassette 18). . The first workpiece moving unit 420 includes a gripping portion 422 gripping the frame 15 up and down, and a driving portion 424 moving the gripping portion 422 in a substantially horizontal direction.

구동부 (424) 의 상면에는, 제 1 카세트 지지대 (416) 를 향하여 대략 수평으로 신장하는 슬릿상의 개구 (424a) 가 형성되어 있고, 구동부 (424) 는, 이 개구 (424a) 를 따른 제 1 방향으로 파지부 (422) 를 이동시킨다. 요컨대, 파지부 (422) 는, 제 1 카세트 지지대 (416) 에 대해 접근하거나, 또는 제 1 카세트 지지대 (416) 로부터 이격하도록 이동한다.A slit-shaped opening 424a extending substantially horizontally toward the first cassette support 416 is formed on the upper surface of the driving unit 424, and the driving unit 424 is in the first direction along the opening 424a. The gripping portion 422 is moved. In short, the gripping portion 422 moves to approach the first cassette support 416 or to be spaced apart from the first cassette support 416.

그 때문에, 예를 들어, 카세트 (18) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 의 높이를 승강 기구에 의해 파지부 (422) 의 높이에 맞추고, 파지부 (422) 를 제 1 카세트 지지대 (416) 에 접근시키면, 파지부 (422) 에 의해 카세트 (18) 내의 프레임 (15) 을 파지할 수 있다. 또, 파지부 (422) 에 의해 카세트 (18) 내의 프레임 (15) 을 파지한 후에, 파지부 (422) 를 제 1 카세트 지지대 (416) 로부터 이격시키면, 프레임 (15) 을 카세트 (18) 의 외부로 인출할 수 있다.Therefore, for example, the height of the frame 15 accommodated in the cassette 18 is set to the height of the gripping portion 422 by an elevating mechanism, and the gripping portion 422 is attached to the first cassette support 416. When approaching, the frame 15 in the cassette 18 can be gripped by the gripping portion 422. Further, after the frame 15 in the cassette 18 is gripped by the gripping portion 422, if the gripping portion 422 is separated from the first cassette support 416, the frame 15 is removed from the cassette 18. Can be withdrawn outside.

제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 의 주위에는, 카세트 (18) 로부터 반출된 프레임 (15) 이 가거치되는 제 1 가거치대 (426) 가 배치되어 있다. 제 1 가거치대 (426) 는, 각각 제 1 방향으로 긴 1 쌍의 가이드부 (426a) 와, 제 1 방향에 수직 또한 수평인 제 2 방향으로 긴 기부 (426b) 를 포함한다. 1 쌍의 가이드부 (426a) 는, 서로의 길이 방향이 평행이 되도록 기부 (426b) 를 개재하여 연결되어 있다. 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 과 카세트 (18) 로부터 인출된 프레임 (15) 은, 1 쌍의 가이드부 (426a) 에 적재된다.Around the first work piece moving unit 420, a first stand 426 on which the frame 15 taken out from the cassette 18 is placed is disposed. The first stand 426 includes a pair of guide portions 426a each elongated in the first direction, and a base 426b elongated in the second direction perpendicular to and horizontal to the first direction. The pair of guide portions 426a are connected via a base 426b so that the longitudinal directions of each other are parallel. The frame 15 pulled out from the first workpiece moving unit 420 and the cassette 18 is mounted on a pair of guide portions 426a.

제 1 가거치대 (426) 는, 이 제 1 가거치대 (426) 를 제 2 방향으로 이동시키는 제 1 가거치대 이동부 (428) 에 의해 지지되고 있다. 제 1 가거치대 이동부 (428) 는, 제 2 방향으로 긴 가이드 레일 (430) 을 구비하고 있다. 가이드 레일 (430) 에는, 이동 부재 (432) 가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.The first stand 426 is supported by a first stand holder 428 that moves the first stand 426 in a second direction. The 1st mount stand moving part 428 is provided with the guide rail 430 long in a 2nd direction. A moving member 432 is slidably attached to the guide rail 430.

이동 부재 (432) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, 가이드 레일 (430) 에 대략 평행한 볼나사 (도시 생략) 가 나사 결합되어 있다. 볼나사의 일단에는, 펄스 모터 (434) 가 연결되어 있다. 펄스 모터 (434) 로 볼나사를 회전시키면, 이동 부재 (432) 는, 가이드 레일 (430) 을 따라 제 2 방향으로 이동한다.A nut part (not shown) is formed in the moving member 432, and a ball screw (not shown) substantially parallel to the guide rail 430 is screwed to the nut part. A pulse motor 434 is connected to one end of the ball screw. When the ball screw is rotated by the pulse motor 434, the moving member 432 moves in the second direction along the guide rail 430.

이동 부재 (432) 의 상부에는, 제 1 가거치대 (426) 의 기부 (426b) 가 고정되어 있다. 그 때문에, 제 1 가거치대 (426) 는, 이동 부재 (432) 와 함께 제 2 방향으로 이동한다. 또한, 제 1 가거치대 이동부 (428) 는, 제 1 위치와, 이 제 1 위치의 이웃하는 제 2 위치 사이에서 제 1 가거치대 (426) 를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다.The base 426b of the first mount 426 is fixed to the upper portion of the movable member 432. Therefore, the 1st stand 426 moves with a moving member 432 in a 2nd direction. In addition, the first stand holder 428 is configured to move the first stand 426 between the first position and the second neighboring position of the first position.

제 2 위치에는, 프레임 (15) 을 파지하여 이동시키는 제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 이 배치되어 있다. 요컨대, 제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 은, 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 의 이웃에 배치되어 있다. 제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 의 구조는, 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 의 구조와 동일하다.In the second position, a second workpiece moving unit 436 that grips and moves the frame 15 is disposed. In short, the second workpiece moving unit 436 is disposed in the neighborhood of the first workpiece moving unit 420. The structure of the second workpiece moving unit 436 is the same as the structure of the first workpiece moving unit 420.

구체적으로는, 제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 은, 프레임 (15) 을 상하로 파지하는 파지부 (438) 와, 파지부 (438) 를 대략 수평인 방향으로 이동시키는 구동부 (440) 를 포함한다. 구동부 (440) 의 상면에는, 제 1 방향으로 긴 슬릿상의 개구 (440a) 가 형성되어 있고, 구동부 (440) 는, 이 개구 (440a) 를 따라 파지부 (438) 를 이동시킨다.Specifically, the second workpiece moving unit 436 includes a gripping portion 438 gripping the frame 15 up and down, and a driving portion 440 moving the gripping portion 438 in a substantially horizontal direction. do. A slit-shaped opening 440a elongated in the first direction is formed on the upper surface of the driving unit 440, and the driving unit 440 moves the gripping portion 438 along the opening 440a.

제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 의 주위에는, 제 1 가거치대 (426) 와 동일한 구조를 가지는 제 2 가거치대 (442) 가 배치되어 있다. 요컨대, 제 2 가거치대 (442) 는, 각각 제 1 방향으로 긴 1 쌍의 가이드부 (442a) 와, 제 1 방향에 수직 또한 수평인 제 2 방향으로 긴 기부 (442b) 를 포함한다. 1 쌍의 가이드부 (442a) 는, 서로의 길이 방향이 평행이 되도록 기부 (442b) 를 개재하여 연결되어 있다.Around the second work piece moving unit 436, a second stand 442 having the same structure as the first stand 426 is disposed. In other words, the second stand 442 includes a pair of guide portions 442a long in the first direction and a long base 442b in the second direction perpendicular to and horizontal to the first direction. The pair of guide parts 442a are connected via the base 442b so that the longitudinal directions of each other are parallel.

제 2 가거치대 (442) 는, 이 제 2 가거치대 (442) 를 제 2 방향 및 연직 방향으로 이동시키는 제 2 가거치대 이동부 (444) 에 의해 지지되고 있다. 제 2 가거치대 이동부 (444) 는, 제 2 방향으로 긴 가이드 레일 (446) 을 구비하고 있다. 가이드 레일 (446) 에는, 이동 부재 (448) 가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.The second stand 442 is supported by a second stand holder 444 that moves the second stand 442 in the second and vertical directions. The second mount rest 444 is provided with a guide rail 446 that is elongated in the second direction. A moving member 448 is slidably attached to the guide rail 446.

이동 부재 (448) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, 가이드 레일 (446) 에 대략 평행한 볼나사 (도시 생략) 가 나사 결합되어 있다. 볼나사의 일단에는, 펄스 모터 (450) 가 연결되어 있다. 펄스 모터 (450) 로 볼나사를 회전시키면, 이동 부재 (448) 는, 가이드 레일 (446) 을 따라 제 2 방향으로 이동한다.A nut portion (not shown) is formed in the moving member 448, and a ball screw (not shown) substantially parallel to the guide rail 446 is screwed to the nut portion. The pulse motor 450 is connected to one end of the ball screw. When the ball screw is rotated by the pulse motor 450, the moving member 448 moves in the second direction along the guide rail 446.

이동 부재 (448) 의 상부에는, 에어 실린더 등으로 구성되는 승강 기구 (452) 를 개재하여 제 2 가거치대 (442) 의 기부 (442b) 가 고정되어 있다. 그 때문에, 제 2 가거치대 (442) 는, 이동 부재 (448) 및 승강 기구 (452) 와 함께 제 2 방향으로 이동하고, 승강 기구 (452) 에 의해 승강한다. 또한, 제 2 가거치대 이동부 (444) 는, 제 2 위치와, 이 제 2 위치의 이웃하는 제 1 위치 사이에서 제 2 가거치대 (442) 를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다.The base 442b of the second armrest 442 is fixed to the upper portion of the moving member 448 via a lift mechanism 452 composed of an air cylinder or the like. Therefore, the 2nd stand 442 moves with the moving member 448 and the lifting mechanism 452 in a 2nd direction, and is raised and lowered by the lifting mechanism 452. In addition, the second armrest moving part 444 is configured to be able to move the second armrest 442 between the second position and the neighboring first position of the second position.

도 25 는, 제 1 가거치대 (426) 와 제 2 가거치대 (442) 를 제 2 방향으로 이동시켜, 제 1 가거치대 (426) 의 위치와 제 2 가거치대 (442) 의 위치를 바꾸는 양태를 모식적으로 나타내는 측면도이다. 제 1 가거치대 (426) 의 위치와 제 2 가거치대 (442) 의 위치를 바꿀 때에는, 먼저, 제 2 가거치대 (442) 를 승강 기구 (452) 에 의해 상승시킨다. 구체적으로는, 제 2 가거치대 (442) 의 하단의 높이가 제 1 가거치대 (426) 의 상단의 높이보다 높아지는 상승 위치에 제 2 가거치대 (442) 를 위치 결정한다.25 illustrates an aspect in which the position of the first stand 426 and the position of the second stand 442 are changed by moving the first stand 426 and the second stand 442 in the second direction. It is a schematic side view. When changing the position of the 1st stand 426 and the position of the 2nd stand 442, first, the 2nd stand 442 is raised by the raising/lowering mechanism 452. Specifically, the second stand 442 is positioned at an elevated position where the height of the lower end of the second stand 442 is higher than the height of the upper end of the first stand 426.

그 후, 제 2 가거치대 (442) 를 상승 위치에 위치 결정한 상태에서, 제 2 가거치대 (442) 를 제 2 가거치대 이동부 (444) 에 의해 제 1 위치측으로 이동시킨다. 또, 동일한 타이밍으로, 제 1 가거치대 (426) 를 제 1 가거치대 이동부 (428) 에 의해 제 2 위치측으로 이동시킨다. 또한, 도 25 에서는, 제 1 가거치대 (426) 를 제 1 위치로부터 제 2 위치까지 이동시키고, 제 2 가거치대 (442) 를 제 2 위치로부터 제 1 위치까지 이동시키는 양태를 나타내고 있다. Thereafter, in the state where the second stand 442 is positioned at the raised position, the second stand 442 is moved to the first position by the second stand holder 444. Moreover, at the same timing, the 1st stand holder 426 is moved to the 2nd position side by the 1st stand holder moving part 428. Moreover, in FIG. 25, the mode which moves the 1st stand 426 from a 1st position to a 2nd position, and moves the 2nd stand 442 from a 2nd position to a 1st position is shown.

제 1 가거치대 (426) 및 제 2 가거치대 (442) 의 이동이 완료된 후에는, 제 2 가거치대 (442) 를 승강 기구 (452) 에 의해 하강시키고, 제 2 가거치대 (442) 의 하단의 높이가 제 1 가거치대 (426) 의 하단의 높이와 대략 동일해지는 기준 위치에 제 2 가거치대 (442) 를 위치 결정한다. 이와 같이, 스톡 유닛 (408) 에서는, 제 1 가거치대 이동부 (428) 와 제 2 가거치대 이동부 (444) 에 의해, 제 1 위치와 제 2 위치 사이에서 제 1 가거치대 (426) 와 제 2 가거치대 (442) 를 바꾸도록 이동시킬 수 있다.After the movement of the first stand 426 and the second stand 442 is completed, the second stand 442 is lowered by the lifting mechanism 452, and the bottom of the second stand 442 is lowered. The second stand 442 is positioned at a reference position where the height is approximately equal to the height at the bottom of the first stand 426. In this way, in the stock unit 408, the first stand 426 and the first stand 426 are positioned between the first position and the second position by the first stand rest 428 and the second stand rest 444. 2 The mount 442 can be moved to change.

제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 이 배치되어 있는 제 2 위치와 대면하는 위치에는, 1 장의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 카세트 (반송용 카세트) (28) 가 적재되는 제 2 카세트 지지대 (수수 영역) (454) 가 설치되어 있다. 이 제 2 카세트 지지대 (454) 의 구조는, 상기 실시형태에 관련된 카세트 지지대 (50) 등과 동일하면 된다. 단, 본 실시형태의 제 2 카세트 지지대 (454) 에는, 승강 기구가 접속되어 있지 않고, 이 제 2 카세트 지지대 (454) 는 승강하지 않는다.In the position facing the second position where the second work piece moving unit 436 is disposed, a second cassette support on which a cassette (cassette for transport) 28 capable of accommodating one work piece 11 is loaded is placed. (Sorghum Area) 454 is provided. The structure of the second cassette support 454 may be the same as the cassette support 50 according to the above embodiment. However, the lifting mechanism is not connected to the 2nd cassette support 454 of this embodiment, and this 2nd cassette support 454 does not lift.

도 23 에 나타내는 바와 같이, 제 2 카세트 지지대 (454) 의 바로 위의 영역에는, 케이싱 (414) 의 천장 (414a) 을 상하로 관통하는 개구 (414b) 가 형성되어 있다. 이 개구 (414b) 는, 제 2 카세트 지지대 (454) 에 적재되는 카세트 (28) 를 통과할 수 있는 형상, 크기로 형성되어 있다. 또, 케이싱 (414) 의 외부에는, 피가공물 (11) 이 수용되는 카세트 (28) 를, 제 2 위치에 대면하는 제 2 카세트 지지대 (454) 와, 개구 (14b) 의 옆에 정지한 무인 피가공물 반송차 (10) 사이에서 반송하는 카세트 반송 아암 (피가공물 반송부) (456) 이 설치되어 있다.23, an opening 414b penetrating the ceiling 414a of the casing 414 up and down is formed in an area immediately above the second cassette support 454. The opening 414b is formed in a shape and size capable of passing through the cassette 28 mounted on the second cassette support 454. Further, outside the casing 414, the unmanned blood stopped next to the second cassette support 454 and the opening 14b facing the cassette 28 in which the workpiece 11 is accommodated, in the second position. A cassette transport arm (workpiece transport unit) 456 for transporting between the work transport vehicles 10 is provided.

또한, 이 카세트 반송 아암 (456) 의 구조는, 상기 서술한 이동 기구 (308) 및 카세트 유지 핸드 (310) 의 구조와 유사하다. 즉, 카세트 반송 아암 (456) 은, 수평 방향으로 이동하는 이동 기구 (458) 와, 이 이동 기구 (458) 에 대해 크레인과 같이 승강하는 카세트 유지 핸드 (460) 를 포함한다. 카세트 유지 핸드 (460) 의 하면측에는, 카세트 (28) 의 유무나 위치 등을 확인할 때에 사용되는 카메라 (도시 생략) 가 배치되어 있다.In addition, the structure of this cassette carrying arm 456 is similar to that of the above-described moving mechanism 308 and cassette holding hand 310. That is, the cassette transport arm 456 includes a movement mechanism 458 that moves in the horizontal direction, and a cassette holding hand 460 that moves up and down like a crane with respect to the movement mechanism 458. On the lower surface side of the cassette holding hand 460, a camera (not shown) used to confirm the presence or location of the cassette 28 is disposed.

또, 카세트 유지 핸드 (460) 의 하면측에는, 카세트 유지 클로 (460a) 가 설치되어 있다. 한편, 본 실시형태에서 사용되는 카세트 (28) 의 천판 (128) 에는, 지주 (128a) 를 개재하여 피지지 플레이트 (128b) 가 고정되어 있다. 따라서, 천판 (128) 과 피지지 플레이트 (128b) 사이에 카세트 유지 클로 (460a) 를 삽입하고, 피지지 플레이트 (128b) 를 카세트 유지 클로 (460a) 로 지지하면, 이 카세트 반송 아암 (456) 에 의해 카세트 (28) 를 반송할 수 있다.In addition, a cassette holding claw 460a is provided on the lower surface side of the cassette holding hand 460. On the other hand, the supported plate 128b is fixed to the top plate 128 of the cassette 28 used in the present embodiment via a post 128a. Therefore, when the cassette holding claw 460a is inserted between the top plate 128 and the supporting plate 128b, and the supporting plate 128b is supported by the cassette holding claw 460a, the cassette carrying arm 456 By this, the cassette 28 can be conveyed.

제 1 카세트 지지대 (416) 를 승강하는 승강 기구, 제 1 피가공물 이동 유닛 (420), 제 1 가거치대 이동부 (428), 제 2 피가공물 이동 유닛 (436), 제 2 가거치대 이동부 (444), 승강 기구 (452), 카세트 반송 아암 (456) 등의 구성 요소에는, 스톡 유닛 (408) 의 동작을 제어하기 위한 제어 장치 (462) 가 접속되어 있다.An elevating mechanism for lifting the first cassette support 416, a first work piece moving unit 420, a first work piece moving unit 428, a second work piece moving unit 436, and a second work stand moving part ( 444), a control mechanism 462 for controlling the operation of the stock unit 408 is connected to components such as the lifting mechanism 452 and the cassette transport arm 456.

제어 장치 (462) 는, 대표적으로는, CPU 등의 처리 장치나, 플래시 메모리 등의 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치 등을 동작시킴으로써, 제어 장치 (462) 의 기능이 실현된다.The control device 462 is typically constituted by a processing device such as a CPU or a computer including a storage device such as a flash memory, and the control device is operated by operating the processing device or the like in accordance with software stored in the storage device. The function of 462 is realized.

제어 장치 (462) 에는, 또한, 반송 시스템의 제어 유닛 (12) 으로부터 송신되는 제어용의 신호 (제어 신호) 를 수신하는 수신기 (464) 와, 제어 유닛 (12) 에 대해 통지용의 신호 (통지 신호) 를 송신하는 송신기 (466) 가 접속되어 있다. 제어 장치 (462) 는, 수신기 (464) 로 수신한 신호에 근거하여 스톡 유닛 (408) 의 동작을 제어한다. 또, 제어 장치 (462) 는, 송신기 (466) 를 통해서 필요한 신호를 제어 유닛 (12) 에 송신한다.The control device 462 also includes a receiver 464 that receives a control signal (control signal) transmitted from the control unit 12 of the transport system, and a signal for notification (notification signal) to the control unit 12. ) A transmitter 466 for transmitting is connected. The control device 462 controls the operation of the stock unit 408 based on the signal received by the receiver 464. Further, the control device 462 transmits the necessary signal to the control unit 12 through the transmitter 466.

다음으로, 본 실시형태에 관련된 스톡 유닛 (408) 의 동작을 설명한다. 도 26(A), 도 26(B), 도 27(A), 및 도 27(B) 는, 스톡 유닛 (408) 의 동작의 예를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 또한, 본 실시형태에서는, 제 1 가거치대 (426) 가 제 1 위치에 위치 결정되고, 제 2 가거치대 (442) 가 제 2 위치에 위치 결정되어 있는 경우의 동작에 대해 설명하지만, 제 1 가거치대 (426) 가 제 2 위치에 위치 결정되고, 제 2 가거치대 (442) 가 제 1 위치에 위치 결정되어 있는 경우의 동작도 동일하다.Next, the operation of the stock unit 408 according to the present embodiment will be described. 26(A), 26(B), 27(A), and 27(B) are plan views schematically showing examples of operations of the stock unit 408. In addition, in this embodiment, although the operation in the case where the first stand 426 is positioned at the first position and the second stand 442 is positioned at the second position is described, the first stand The operation in the case where the cradle 426 is positioned at the second position and the second cradle 442 is positioned at the first position is the same.

예를 들어, 카세트 반송 아암 (456) 은, 가공 후의 피가공물 (11) 이 수용된 카세트 (28) 를 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 수취한 후에, 이 카세트 (28) 를 제 2 카세트 지지대 (454) 에 적재한다. 또한, 제 1 카세트 지지대 (416) 에는, 가공 전의 피가공물 (11) (프레임 (15)) 이 수용되어 있는 카세트 (18) 를 미리 적재해 둔다.For example, the cassette transport arm 456 receives the cassette 28 containing the processed object 11 after processing from the unmanned workpiece transport vehicle 10, and then receives the cassette 28 as a second cassette support ( 454). Further, the first cassette support 416 is preloaded with a cassette 18 in which the object 11 (frame 15) before processing is accommodated.

그 후, 도 26(A) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 카세트 지지대 (416) 상의 카세트 (18) 에 대해 파지부 (422) 를 접근시키고, 카세트 (18) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 을 파지부 (422) 로 파지한다. 동일한 타이밍으로, 제 2 카세트 지지대 (454) 상의 카세트 (28) 에 대해 파지부 (438) 를 접근시키고, 카세트 (28) 에 수용되어 있는 프레임 (15) 을 파지부 (438) 로 파지한다.Then, as shown in Fig. 26(A), the gripping portion 422 is approached to the cassette 18 on the first cassette support 416, and the frame 15 accommodated in the cassette 18 is dug. It is held by the branch 422. At the same timing, the gripping portion 438 is approached to the cassette 28 on the second cassette support 454, and the frame 15 accommodated in the cassette 28 is gripped by the gripping portion 438.

카세트 (18) 내의 프레임 (15) 을 파지부 (422) 로 파지한 후에는, 도 26(B) 에 나타내는 바와 같이, 파지부 (422) 를 제 1 카세트 지지대 (416) 로부터 이격시킨다. 동일하게, 카세트 (28) 내의 프레임 (15) 을 파지부 (438) 로 파지한 후에는, 도 26(B) 에 나타내는 바와 같이, 파지부 (438) 를 제 2 카세트 지지대 (454) 로부터 이격시킨다. 이로써, 가공 전의 피가공물 (11) 이 카세트 (18) 로부터 제 1 가거치대 (426) 로 인출되고, 가공 후의 피가공물 (11) 이 카세트 (28) 로부터 제 2 가거치대 (442) 로 인출된다.After the frame 15 in the cassette 18 is gripped by the gripping portion 422, the gripping portion 422 is separated from the first cassette support 416, as shown in Fig. 26B. Similarly, after the frame 15 in the cassette 28 is gripped by the gripping portion 438, the gripping portion 438 is spaced from the second cassette support 454, as shown in Fig. 26B. . Thereby, the workpiece 11 before processing is withdrawn from the cassette 18 to the first tent 426, and the workpiece 11 after processing is withdrawn from the cassette 28 to the second tent holder 442.

다음으로, 도 27(A) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 위치와 제 2 위치 사이에서 제 1 가거치대 (426) 와 제 2 가거치대 (442) 를 바꾸도록 이동시킨다. 즉, 제 2 가거치대 (442) 를 승강 기구 (452) 에 의해 상승시키고, 상승 위치에 위치 결정한다. 그리고, 제 2 가거치대 (442) 를 제 2 방향을 따라 제 1 위치측으로 이동시킨다.Next, as shown in FIG. 27(A), the first stand 426 and the second stand 442 are moved between the first position and the second position. That is, the 2nd stand 442 is raised by the raising/lowering mechanism 452, and it is positioned at the raising position. Then, the second stand 442 is moved to the first position side along the second direction.

또, 동일한 타이밍으로, 제 1 가거치대 (426) 를 제 2 방향을 따라 제 2 위치측으로 이동시킨다. 제 1 가거치대 (426) 및 제 2 가거치대 (442) 의 이동이 완료한 후에는, 제 2 가거치대 (442) 를 승강 기구 (452) 에 의해 하강시키고, 기준 위치에 위치 결정한다. 그 결과, 제 1 가거치대 (426) 가 제 2 카세트 지지대 (454) 와 대면하는 제 2 위치에 위치 결정되고, 제 2 가거치대 (442) 가 제 1 카세트 지지대 (416) 와 대면하는 제 1 위치에 위치 결정된다.Moreover, at the same timing, the 1st stand 426 is moved to a 2nd position side along a 2nd direction. After the movement of the first stand 426 and the second stand 442 is completed, the second stand 442 is lowered by the lifting mechanism 452 and positioned at the reference position. As a result, the first stand 426 is positioned at a second position facing the second cassette support 454, and the second stand 442 is located at the first position facing the first cassette support 416. Is positioned on.

그 후, 도 27(B) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 가거치대 (426) 상의 프레임 (15) 을 파지부 (438) 로 파지하고, 제 2 카세트 지지대 (454) 상의 카세트 (28) 에 대해 파지부 (438) 를 접근시킨다. 이로써, 가공 전의 피가공물 (11) 을 지지하는 제 1 가거치대 (426) 상의 프레임 (15) 이 제 2 카세트 지지대 (454) 상의 카세트 (28) 에 수용된다.Thereafter, as shown in Fig. 27(B), the frame 15 on the first stand 426 is held by the gripping portion 438, and the frame 15 on the second cassette support 454 is held. The branch 438 is approached. Thereby, the frame 15 on the 1st stand 426 which supports the workpiece 11 before processing is accommodated in the cassette 28 on the 2nd cassette support 454.

동일한 타이밍으로, 제 2 가거치대 (442) 상의 프레임 (15) 을 파지부 (422) 로 파지하고, 제 2 카세트 지지대 (454) 상의 카세트 (18) 에 대해 파지부 (438) 를 접근시킨다. 이로써, 가공 후의 피가공물 (11) 을 지지하는 제 2 가거치대 (442) 상의 프레임 (15) 이 제 1 카세트 지지대 (416) 상의 카세트 (18) 에 수용된다.At the same timing, the frame 15 on the second cradle 442 is gripped by the gripping portion 422, and the gripping portion 438 is approached to the cassette 18 on the second cassette support 454. Thereby, the frame 15 on the second cradle 442 supporting the workpiece 11 after processing is accommodated in the cassette 18 on the first cassette support 416.

제 1 가거치대 (426) 상의 프레임 (15) 이 제 2 카세트 지지대 (454) 상의 카세트 (28) 에 수용된 후에는, 카세트 반송 아암 (456) 은, 이 카세트 (28) 를 무인 피가공물 반송차 (10) 에 수수한다. 이상에 의해, 무인 피가공물 반송차 (10) 로부터 스톡 유닛 (408) 으로 가공 후의 피가공물 (11) 을 반송하고, 스톡 유닛 (408) 으로부터 무인 피가공물 반송차 (10) 로 가공 전의 피가공물 (11) 을 반송할 수 있다. After the frame 15 on the first stand 426 is accommodated in the cassette 28 on the second cassette support 454, the cassette transport arm 456 transports the cassette 28 to an unmanned work piece ( 10) You should By the above, the workpiece 11 after processing is transferred from the unmanned workpiece transport vehicle 10 to the stock unit 408, and the workpiece before processing from the stock unit 408 to the unmanned workpiece transport vehicle 10 ( 11) can be conveyed.

또한, 제 1 가거치대 (426) 와 제 2 가거치대 (442) 는 동일한 기능을 구비하고 있고, 카세트 (18) 로부터 반출되는 프레임 (15) 은, 제 1 가거치대 (426) 와 제 2 가거치대 (442) 중 어느 것에 대해서도 가거치될 수 있다. 예를 들어, 제 2 가거치대 (442) 가 제 1 위치에 위치 결정되어 있는 경우에는, 카세트 (18) 로부터 반출되는 프레임 (15) 은, 제 2 가거치대 (442) 에 가거치되게 된다.In addition, the 1st stand 426 and the 2nd stand 442 have the same function, and the frame 15 carried out from the cassette 18 is the 1st stand 426 and the 2nd stand It may be subject to any of 442. For example, when the second stand 442 is positioned at the first position, the frame 15 taken out from the cassette 18 is placed on the second stand 442.

또, 상기 서술한 제 1 피가공물 이동 유닛 (420) 은, 제 1 위치에 위치 결정된 제 1 가거치대 (426) 또는 제 2 가거치대 (442) 와, 제 1 카세트 지지대 (416) (카세트 (18)) 사이에서 피가공물 (11) 을 이동시킨다. 동일하게, 제 2 피가공물 이동 유닛 (436) 은, 제 2 위치에 위치 결정된 제 2 가거치대 (442) 또는 제 1 가거치대 (426) 와, 제 2 카세트 지지대 (454) (카세트 (28)) 사이에서 피가공물 (11) 을 이동시킨다.In addition, the above-mentioned first work piece moving unit 420 includes a first stand 426 or a second stand 442 positioned at a first position, and a first cassette stand 416 (cassette 18 )) to move the workpiece (11). Similarly, the second work piece moving unit 436 includes a second stand 442 or a first stand 426 positioned at a second position, and a second cassette stand 454 (cassette 28) The workpiece 11 is moved between them.

또한, 본 발명은, 상기 실시형태의 기재로 제한되지 않고 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예를 들어, 상기 실시형태의 절삭 장치 (204) 에는, 절삭 블레이드 (82) 를 승강시키기 위한 블레이드 승강 기구 (226) 를 설치하고 있지만, 반송 통로 (6) 에 대해 블레이드 승강 기구를 장착하여도 된다. 이 경우에는, 절삭 장치에 블레이드 승강 기구를 설치하는 경우 등에 비해 반송 시스템의 범용성이 높아진다.In addition, the present invention is not limited to the description of the above embodiment and can be implemented by various changes. For example, although the blade raising/lowering mechanism 226 for raising/lowering the cutting blade 82 is provided in the cutting apparatus 204 of the said embodiment, you may mount the blade raising/lowering mechanism with respect to the conveyance path 6. . In this case, the versatility of the conveying system is increased as compared to the case where a blade lifting mechanism is provided in the cutting device.

또, 반송 통로 (6) 는, 2 대의 무인 피가공물 반송차 (10) 등이 엇갈리기 위한 스페이스 (대기 영역) 를 가지고 있어도 된다. 또한, 반송 통로 (6) 는, 무인 피가공물 반송차 (10) 등의 일방향으로의 주행만을 허용하는, 이른바 일방 통행으로 설정되어도 된다. 이 경우에는, 절삭 장치 (가공 장치) 상에, 왕로용의 반송 통로 (6) 와, 복로용의 반송 통로 (6) 를 설치해도 된다.In addition, the conveyance passage 6 may have a space (a waiting area) for two unmanned workpiece transport vehicles 10 and the like to alternate. In addition, the conveyance passage 6 may be set to a so-called one-way passage, which allows only traveling in one direction, such as the unmanned workpiece transport vehicle 10. In this case, the conveyance passage 6 for a return route and the conveyance passage 6 for a return route may be provided on a cutting device (processing device).

또, 상기 실시형태에서는, 식별 코드나 무선 태그 등의 정보 제공부 (102b) 를 통로부 (102) 에 설치하고 있지만, 정보 제공부를 가이드부 (104) 에 대해 장착할 수도 있다. 이 경우에는, 예를 들어, 가이드부 (104) 의 내측의 벽면이나 상단부 등에 정보 제공부를 장착하면 된다.Further, in the above-described embodiment, although the information providing unit 102b such as an identification code or a wireless tag is provided in the passage unit 102, the information providing unit may be attached to the guide unit 104. In this case, for example, an information providing unit may be mounted on a wall surface or an upper end portion of the guide portion 104.

또, 스톡 유닛 (408) 에 대해, 스톡 유닛 (208) 의 블레이드 스토커 (210) 나 블레이드 반송 아암 (블레이드 반송부) (212) 등을 삽입할 수도 있다. Moreover, the blade stocker 210 of the stock unit 208, the blade conveyance arm (blade conveyance part) 212, etc. can also be inserted with respect to the stock unit 408.

그 외, 상기 실시형태나 변형예 등에 관련된 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.In addition, structures, methods, and the like related to the above-described embodiments, modifications, and the like can be appropriately changed and carried out without departing from the scope of the object of the present invention.

2 : 반송 시스템
4, 4a, 4b, 204, 204a, 204b, 304 : 절삭 장치 (가공 장치)
6 : 반송 통로
6a, 6b, 6c : 통로 모듈
8, 208, 408 : 스톡 유닛
10, 10a, 10b, 10c : 무인 피가공물 반송차
12 : 제어 유닛
14 : 케이싱
14a : 천장
14b : 개구
16 : 제 1 카세트 지지대
18 : 카세트 (피가공물 스토커)
20 : 푸시풀 아암
22 : 가이드 레일
24 : 제 2 승강 기구
26 : 제 2 카세트 지지대
28 : 카세트 (반송용 카세트)
30 : 카세트 반송 아암 (피가공물 반송부)
32 : 제어 장치
34 : 수신기
36 : 송신기
38 : 새시 (피가공물 지지부)
38a : 오목부
40 : 차륜 (주행 기구)
42 : 제어 장치
44 : 수신기
46 : 송신기
48 : 기대
48a, 48b : 개구
48c : 배관 접속부
50 : 카세트 지지대
80 : 절삭 유닛
82 : 절삭 블레이드
92 : 커버
92a : 천장
92b : 개구
92c : 문
96 : 제어 장치
98 : 수신기
100 : 송신기
102 : 통로부
104 : 가이드부
106 : 대기부
108 : 앵글 (브래킷)
110 : 연결구
112 : 볼트
114 : 다리 부재
114a : 기부
114b : 기둥부
114c : 흡착부
114d : 개구
132 : 제어부 (제어 신호 생성부)
134 : 수신기
136 : 송신기
206 : 무인 블레이드 반송차
210 : 블레이드 스토커
212 : 블레이드 반송 아암 (블레이드 반송부)
214 : 새시 (블레이드 지지부)
214a : 오목부
216 : 블레이드 케이스
218 : 차륜 (주행 기구)
220 : 제어 장치
222 : 수신기
224 : 송신기
414 : 케이싱
416 : 제 1 카세트 지지대 (재치대)
420 : 제 1 피가공물 이동 유닛
422 : 파지부
424 : 구동부
424a : 개구
426 : 제 1 가거치대
426a : 가이드부
426b : 기부
428 : 제 1 가거치대 이동부
430 : 가이드 레일
432 : 이동 부재
434 : 펄스 모터
436 : 제 2 피가공물 이동 유닛
438 : 파지부
440 : 구동부
440a : 개구
442 : 제 2 가거치대
442a : 가이드부
442b : 기부
444 : 제 2 가거치대 이동부
446 : 가이드 레일
448 : 이동 부재
450 : 펄스 모터
452 : 승강 기구
454 : 제 2 카세트 지지대 (수수 영역)
456 : 카세트 반송 아암 (피가공물 반송부)
458 : 이동 기구
460 : 카세트 유지 핸드
460a : 카세트 유지 클로
462 : 제어 장치
464 : 수신기
466 : 송신기
11 : 피가공물
13 : 테이프 (다이싱 테이프)
15 : 프레임
21 : 배관2: conveying system
4, 4a, 4b, 204, 204a, 204b, 304: cutting device (processing device)
6: conveying passage
6a, 6b, 6c: passage module
8, 208, 408: Stock unit
10, 10a, 10b, 10c: unmanned workpiece transport vehicle
12: control unit
14: casing
14a: ceiling
14b: opening
16: first cassette support
18: cassette (workpiece stocker)
20: push-pull arm
22: guide rail
24: second lifting mechanism
26: second cassette support
28: cassette (cassette for transport)
30: cassette transfer arm (workpiece transfer section)
32: control device
34: receiver
36: transmitter
38: chassis (workpiece support)
38a: recess
40: wheel (driving mechanism)
42: control device
44: receiver
46: transmitter
48: expectation
48a, 48b: opening
48c: piping connection
50: cassette support
80: cutting unit
82: cutting blade
92: cover
92a: ceiling
92b: opening
92c: Moon
96: control unit
98: receiver
100: transmitter
102: passage
104: guide unit
106: waiting part
108: angle (bracket)
110: connector
112: bolt
114: leg member
114a: Donation
114b: pillar
114c: adsorption unit
114d: opening
132: control unit (control signal generation unit)
134: receiver
136: transmitter
206: unmanned blade carrier
210: blade stalker
212: blade conveying arm (blade conveying part)
214: Chassis (blade support)
214a: recess
216: blade case
218: wheel (driving mechanism)
220: control device
222: receiver
224: transmitter
414: casing
416: first cassette support (mounting table)
420: first workpiece moving unit
422: gripping part
424: drive unit
424a: opening
426: 1st stand
426a: Guide section
426b: donation
428: 1st stand moving part
430: guide rail
432: moving member
434: pulse motor
436: second workpiece moving unit
438: gripping part
440: drive unit
440a: opening
442: Second stand
442a: Guide section
442b: donation
444: second movable stand
446: guide rail
448: moving member
450: pulse motor
452: lifting mechanism
454: second cassette support (sorghum area)
456: Cassette transfer arm (workpiece transfer section)
458: moving mechanism
460: cassette retaining hand
460a: cassette retaining claw
462: control device
464: receiver
466: transmitter
11: Workpiece
13: tape (dicing tape)
15: frame
21: piping

Claims (6)

복수의 가공 장치의 각각에 대하여 피가공물을 반송하는 반송 시스템으로서,
복수의 상기 가공 장치에 걸쳐 상기 가공 장치의 바로 위의 공간에 설치되는 반송 통로와,
상기 피가공물을 지지하는 피가공물 지지부와, 상기 피가공물 지지부에 설치된 주행 기구와, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하고, 상기 반송 통로를 주행하는 무인 피가공물 반송차와,
복수의 상기 피가공물을 수용 가능한 피가공물 스토커가 재치되는 재치대와, 상기 재치대 상의 상기 피가공물 스토커로부터 반출된 상기 피가공물이 가거치되는 2 조의 가거치대와, 상기 재치대에 대면하는 제 1 위치와 상기 제 1 위치의 이웃하는 제 2 위치 사이에서 상기 2 조의 가거치대를 바꾸도록 이동시키는 가거치대 이동부와, 상기 제 2 위치에 대면하는 수수 영역과 상기 무인 피가공물 반송차 사이에서 상기 피가공물을 반송하는 피가공물 반송부와, 상기 제 1 위치에 위치하는 상기 가거치대와 상기 재치대 사이, 또는 상기 제 2 위치에 위치하는 상기 가거치대와 상기 수수 영역 사이에서 상기 피가공물을 이동시키는 피가공물 이동 유닛과, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하는 스톡 유닛과,
상기 가공 장치, 상기 무인 피가공물 반송차, 및 상기 스톡 유닛에 제어 신호를 송신하는 송신기와, 상기 가공 장치로부터 송신되는 통지 신호를 수신하는 수신기와, 상기 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하는 제어 신호 생성부를 구비하는 제어 유닛을 포함하고,
상기 제어 유닛의 상기 제어 신호 생성부는, 상기 제어 유닛의 상기 수신기가 수신한 통지 신호에 근거하여 상기 제어 유닛의 상기 송신기로부터 송신되는 제어 신호를 생성하고,
상기 제어 유닛의 상기 송신기는, 상기 제어 유닛의 상기 제어 신호 생성부에서 생성된 제어 신호를, 상기 가공 장치, 상기 무인 피가공물 반송차, 및 상기 스톡 유닛에 송신하고,
상기 스톡 유닛의 상기 피가공물 반송부는, 상기 스톡 유닛의 상기 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 상기 피가공물 스토커로부터 반출된 상기 피가공물을 상기 무인 피가공물 반송차의 상기 피가공물 지지부에 반송하고,
상기 무인 피가공물 반송차의 상기 주행 기구는, 상기 무인 피가공물 반송차의 상기 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 상기 무인 피가공물 반송차를 상기 반송 통로 상에서 주행시키고, 상기 피가공물 지지부로 지지하는 상기 피가공물을 상기 가공 장치로 반송하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.A conveying system for conveying a workpiece to each of a plurality of processing devices,
A conveying passage installed in a space directly above the processing device over a plurality of the processing devices,
An unmanned work piece transport vehicle having a work piece support part supporting the work piece, a traveling mechanism provided on the work piece support part, and a receiver for receiving a control signal, and traveling through the transport passage;
A placement table on which a workpiece stocker capable of accommodating a plurality of the workpieces is placed, two sets of stages on which the workpieces taken out from the workpiece stocker on the placement table are placed, and a first facing the placement table Between the position and the neighboring second position of the first position, the rest is moved to change the pair of rest positions, and the blood is transferred between the receiving area facing the second position and the unmanned work piece transport vehicle. A workpiece conveying part for conveying a workpiece, and blood for moving the workpiece between the stand and the mounting table positioned at the first position, or between the stand and the sorghum area located at the second position. A work piece moving unit, a stock unit having a receiver for receiving a control signal,
A control signal for transmitting a control signal to the processing device, the unmanned workpiece transport vehicle, and the stock unit, a receiver for receiving a notification signal transmitted from the processing device, and a control signal for generating a control signal transmitted from the transmitter It includes a control unit having a generating unit,
The control signal generation unit of the control unit generates a control signal transmitted from the transmitter of the control unit based on the notification signal received by the receiver of the control unit,
The transmitter of the control unit transmits the control signal generated by the control signal generation unit of the control unit to the processing device, the unmanned work piece transport vehicle, and the stock unit,
The workpiece transport unit of the stock unit transports the workpiece taken out of the workpiece stocker based on a control signal received by the receiver of the stock unit to the workpiece support of the unmanned workpiece transport vehicle,
The traveling mechanism of the unmanned workpiece transport vehicle moves the unmanned workpiece transport vehicle on the transport passage based on a control signal received from the receiver of the unmanned workpiece transport vehicle, and supports the workpiece support portion A conveying system, characterized in that the workpiece is conveyed to the processing apparatus. 제 1 항에 있어서,
상기 반송 통로는, 상기 가공 장치의 상면에 설치되는 것을 특징으로 하는 반송 시스템. According to claim 1,
The conveying passage is provided on the upper surface of the processing apparatus. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 반송 통로는, 복수의 통로 모듈을 연결하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반송 시스템. The method of claim 1 or 2,
The conveying passage is configured by connecting a plurality of passage modules. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 반송 통로는, 상기 가공 장치에 대해 흡착하는 흡착부를 갖는 다리부를 구비하고, 상기 흡착부에 의해 상기 가공 장치에 고정되는 것을 특징으로 하는 반송 시스템. The method according to any one of claims 1 to 3,
The conveying passage is provided with a leg portion having an adsorption portion that adsorbs to the processing apparatus, and is fixed to the processing apparatus by the adsorption portion. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가공 장치는, 배관이 접속되는 배관 접속부 또는 메인터넌스용의 문을 측면에 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.The method according to any one of claims 1 to 4,
The said processing apparatus is equipped with the piping connection part to which piping is connected, or a door for maintenance to a side surface, The conveying system characterized by the above-mentioned. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가공 장치로 상기 피가공물을 가공할 때에 사용되는 절삭 블레이드를 지지하는 블레이드 지지부와, 상기 블레이드 지지부에 설치된 주행 기구와, 제어 신호를 수신하는 수신기를 구비하고, 상기 반송 통로를 주행하는 무인 블레이드 반송차를 또한 포함하고,
상기 스톡 유닛은, 상기 가공 장치에 공급되는 상기 절삭 블레이드를 수용하는 블레이드 스토커와 상기 무인 블레이드 반송차 사이에서 상기 절삭 블레이드를 반송하는 블레이드 반송부를 또한 구비하고,
상기 제어 유닛의 상기 송신기는, 상기 무인 블레이드 반송차에 제어 신호를 송신하는 기능을 또한 갖고,
상기 제어 유닛의 상기 송신기는, 상기 제어 유닛의 상기 제어 신호 생성부에서 생성된 제어 신호를, 상기 가공 장치, 상기 무인 피가공물 반송차, 상기 무인 블레이드 반송차, 및 상기 스톡 유닛에 송신하고,
상기 스톡 유닛의 상기 블레이드 반송부는, 상기 스톡 유닛의 상기 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 상기 블레이드 스토커에 수용되어 있는 상기 절삭 블레이드를 상기 무인 블레이드 반송차의 상기 블레이드 지지부로 반송하고,
상기 무인 블레이드 반송차의 상기 주행 기구는, 상기 무인 블레이드 반송차의 상기 수신기에서 수신한 제어 신호에 근거하여 상기 무인 블레이드 반송차를 상기 반송 통로 상에서 주행시키고, 상기 블레이드 지지부로 지지하는 상기 절삭 블레이드를 상기 가공 장치로 반송하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.The method according to any one of claims 1 to 5,
An unmanned blade conveyance that includes a blade support for supporting a cutting blade used when processing the workpiece with the processing device, a traveling mechanism installed in the blade support, and a receiver for receiving a control signal, and runs the conveyance passage Also includes tea,
The stock unit further includes a blade conveyer for conveying the cutting blade between a blade stocker accommodating the cutting blade supplied to the processing device and the unmanned blade conveying vehicle,
The transmitter of the control unit also has a function of transmitting a control signal to the unmanned blade carrier,
The transmitter of the control unit transmits a control signal generated by the control signal generation unit of the control unit to the processing apparatus, the unmanned work piece transport vehicle, the unmanned blade transport vehicle, and the stock unit,
The blade conveying part of the stock unit conveys the cutting blade accommodated in the blade stocker to the blade support part of the unmanned blade transport vehicle based on a control signal received from the receiver of the stock unit,
The traveling mechanism of the unmanned blade transportation vehicle moves the unmanned blade transportation vehicle on the transportation passage based on a control signal received from the receiver of the unmanned blade transportation vehicle, and supports the cutting blade supported by the blade support unit. A conveying system characterized by conveying to the processing device.
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