JP7224726B2 - 搬送システム及び管理方法 - Google Patents

Description

本発明は、加工装置に対して被加工物を搬送する搬送システム、及びこの搬送システムを用いる管理方法に関する。

電子機器等に組み込まれるデバイスチップの製造工程では、半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板に代表される板状の被加工物が様々な加工装置によって加工される。この加工装置に対して被加工物を搬送する際には、通常、複数の被加工物を収容できる搬送用のカセットが用いられる。

ところで、カセットに複数の被加工物を収容して一度に加工装置へと搬送する上述の方法では、何らかの原因で加工装置が停止すると、カセットに収容されている未加工の被加工物を一律に待機させることになる。つまり、未加工の被加工物を他の加工装置で加工することもできなくなるので、加工の能率が大幅に低下する。

この問題を解消するには、例えば、加工装置の稼働状況に合わせて被加工物を１枚ずつ加工装置へと搬送すれば良い。そこで、複数の加工装置を搬送用の経路で繋ぎ、各加工装置に対して任意のタイミングで被加工物を搬送できる搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開平６－１７７２４４号公報

しかしながら、各加工装置の側面には、配管が接続される配管接続部やメンテナンス用の扉等が設けられており、上述した搬送システムを構築する際には、これらと干渉しないように搬送用の経路を設計する必要がある。そのため、搬送システムの構築は必ずしも容易でなく、また、搬送用の経路も長くなりがちであった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送でき、構築も容易な搬送システムを提供すること、及びこの搬送システムを用いる管理方法を提供することである。

本発明の一態様によれば、複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送する搬送システムであって、複数の該加工装置に渡って該加工装置の真上の空間に設置される搬送通路と、工程の進捗状況に応じて選択的に使用され各々が１枚の該被加工物を支持できる複数の棚を備えたカセットを保持するカセット保持部、該カセット保持部に設けられた走行機構、及び制御信号を受信する受信機を備え、該搬送通路を走行する無人搬送車と、該被加工物が収容された被加工物ストッカーから該カセットに対して該被加工物を受け渡す際に該カセットを保持するカセット保持台、及び制御信号を受信する受信機を備えるストックユニットと、該ストックユニットの上方で待機している該無人搬送車の該カセット保持部と該ストックユニットの該カセット保持台との間、又は、該加工装置の上方で待機している該無人搬送車の該カセット保持部と該加工装置の内部との間で該カセットを搬送する複数のカセット搬送ユニットと、該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに制御信号を送信する送信機、該加工装置から送信される通知信号を受信する受信機、及び該送信機から送信される制御信号を生成する制御信号生成部を備える制御ユニットと、を含み、該制御ユニットの該制御信号生成部は、該制御ユニットの該受信機が受信した通知信号に基づき該制御ユニットの該送信機から送信される制御信号を生成し、該制御ユニットの該送信機は、該制御ユニットの該制御信号生成部で生成された制御信号を、該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに送信し、該無人搬送車は、該受信機で受信した制御信号に基づき該搬送通路上で走行し、該カセット保持部で保持する該カセットを該加工装置へと搬送する搬送システムが提供される。

この搬送システムにおいて、該搬送通路は、該加工装置の上面に設置されることが好ましい。

また、この搬送システムにおいて、該搬送通路は、該加工装置に対して吸着する吸着部を有する脚部を備え、該吸着部によって該加工装置に固定されても良い。

本発明の別の一態様によれば、該搬送システムと、複数の該加工装置と、を用いて工程の進捗状況を管理する管理方法であって、該加工装置は、加工後の該被加工物を該カセットへと搬入する際に、未加工の該被加工物が支持されていた該棚とは別の該棚に加工後の被加工物を搬入し、複数の該棚の使用の状態に基づき工程の進捗状況を管理する管理方法が提供される。

本発明の一態様に係る搬送システムは、複数の加工装置に渡って設置される搬送通路と、工程の進捗状況に応じて選択的に使用され各々が１枚の被加工物を支持できる複数の棚を備えたカセットを保持するカセット保持部、走行機構、及び受信機を備える無人搬送車と、被加工物が収容された被加工物ストッカーからカセットに対して被加工物を受け渡す際にカセットを保持するカセット保持台、及び受信機を備えるストックユニットと、無人搬送車のカセット保持部とストックユニットのカセット保持台との間、又は、無人搬送車のカセット保持部と加工装置の内部との間でカセットを搬送する複数のカセット搬送ユニットと、を含んでいる。

そのため、例えば、ストックユニットで被加工物ストッカーから被加工物を受け取ったカセットを、カセット搬送ユニットによって無人搬送車のカセット保持部へと搬送し、この無人搬送車を搬送通路上で走行させることにより、複数の加工装置のそれぞれに対してカセットを搬送できる。なお、この無人搬送車のカセット保持部に保持されているカセットは、例えば、無人搬送車を走行させた後に、カセット搬送ユニットによって加工装置の内部へと搬送される。

また、本発明の一態様に係る搬送システムでは、搬送通路が、加工装置の真上の空間に設置される。そのため、この搬送通路を設計する際に各加工装置の側面の構造を考慮する必要がない。すなわち、搬送システムの構築が容易になる。

更に、本発明の一態様に係る搬送システム及び別の一態様に係る管理方法では、それぞれが１枚の被加工物を支持できるように構成され工程の進捗状況に応じて選択的に使用される複数の棚を備えたカセットを使用するので、例えば、加工後の被加工物をカセットへと搬入する際に、未加工の被加工物が支持されていた棚とは別の棚に加工後の被加工物を搬入することで、複数の棚の使用の状態に基づき工程の進捗状況を管理できる。つまり、搬送システム等に蓄積される情報に頼らなくとも工程の進捗状況を把握できるので、搬送システム等に何らかの障害が発生したとしても、その後の工程に支障が出難くなる。

第１実施形態に係る搬送システムの構成例を示す平面図である。 第１実施形態に係る搬送システムの接続関係の例を示す機能ブロック図である。 第１実施形態に係るストックユニットの構成例を模式的に示す側面図である。 図４（Ａ）は、無人被加工物搬送車の構成例を示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、カセットが載せられた状態の無人被加工物搬送車を示す斜視図である。 第１実施形態に係る切削装置や搬送通路等の外観を示す斜視図である。 切削装置の構成例を示す斜視図である。 切削装置に搬送通路が設置される様子を示す斜視図である。 図８（Ａ）、図８（Ｂ）、及び図８（Ｃ）は、通路モジュールの構成例を示す平面図である。 通路モジュールから搬送通路が形成される様子を示す斜視図である。 図１０（Ａ）、及び図１０（Ｂ）は、通路モジュールが連結される様子を示す断面図である。 通路モジュールの構成例を示す底面図である。 カセットの構造を示す斜視図である。 切削装置と無人被加工物搬送車との間でカセットが搬送される様子を示す斜視図である。 図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）、及び図１４（Ｃ）は、カセットの使用方法の一例を示す側面図である。 第１実施形態に係る搬送システムの制御方法の例を説明するための機能ブロック図である。 第２実施形態に係る搬送システムの接続関係の例を示す機能ブロック図である。 第２実施形態に係るストックユニットの構成例を示す側面図である。 無人ブレード搬送車の構成例を示す斜視図である。 第２実施形態に係る切削装置等の外観を示す斜視図である。 ブレードチェンジャーの構成例を示す分解斜視図である。 第２実施形態に係る搬送システムの制御方法の例を説明するための機能ブロック図である。 第３実施形態に係るストックユニットの構成例を模式的に示す側面図である。 第３実施形態に係るストックユニットの内部の構造を模式的に示す平面図である。 第３実施形態に係るストックユニットの第１仮置き台と第２仮置き台とを第２方向に移動させて、第１仮置き台の位置と第２仮置き台の位置とを入れ替える様子を模式的に示す側面図である。 図２５（Ａ）及び図２５（Ｂ）は、第３実施形態に係るストックユニットの動作の例を示す模式的に示す平面図である。 図２６（Ａ）及び図２６（Ｂ）は、第３実施形態に係るストックユニットの動作の例を示す模式的に示す平面図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の各実施形態では、複数の切削装置に対して被加工物等を搬送する搬送システムについて説明するが、本発明の搬送システムは、複数の加工装置に対して被加工物等を搬送できるように構成されていれば良い。すなわち、被加工物等の搬送先は、切削装置以外の加工装置でも良い。

例えば、本発明の搬送システムは、複数のレーザー加工装置に対して被加工物を搬送できるように構成されることがある。また、本発明の搬送システムは、例えば、一連の加工に使用される複数の種類の加工装置に対して順に被加工物を搬送できるように構成されることもある。なお、本明細書では、被加工物を加工するための一連の工程で用いられ得る全ての装置を加工装置と表現する。つまり、本明細書の加工装置には、必ずしも被加工物の加工を目的としないテープ貼付装置、紫外線照射装置、洗浄装置等が含まれる。

（実施形態１）
図１は、本実施形態に係る搬送システム２の構成例を示す平面図であり、図２は、搬送システム２の接続関係の例を示す機能ブロック図である。図１に示すように、本実施形態に係る搬送システム２は、切削装置（加工装置）４によって加工される板状の被加工物１１（図６参照）を搬送するための搬送通路６を含んでいる。

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。この被加工物１１の表面側は、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等のデバイスが形成されている。

被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも径の大きいテープ（ダイシングテープ）１３が貼付されている。テープ１３の外周部分は、被加工物１１を囲む環状のフレーム１５に固定されている。被加工物１１は、このテープ１３を介してフレーム１５に支持された状態で切削装置４へと搬送される。

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等を被加工物１１として用いることもできる。

同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていなくても良い。更に、本実施形態では、テープ１３を介してフレーム１５に支持された状態の被加工物１１を搬送の対象としているが、テープ１３が貼付されていない被加工物１１や、フレーム１５に支持されていない被加工物１１等が搬送の対象となることもある。

また、この被加工物１１を加工する切削装置４は、被加工物１１の搬送先として搬送システム２に接続されているが、必ずしも搬送システム２の構成要素ではない。よって、切削装置４は、上述のように、搬送システム２の使用の態様に合わせて変更、省略されても良い。

そして、図１では、説明の便宜上、１台の切削装置４ａのみを示し、図２では、２台の切削装置４ａ，４ｂを示しているが、本実施形態では、被加工物１１の搬送先として、２台以上の切削装置４が必要になる。すなわち、搬送システム２に接続される加工装置の台数は、２台以上である。

搬送通路６は、各切削装置４に対して被加工物１１を搬送できるように、複数の切削装置４に渡って設置される。すなわち、複数の切削装置４は、搬送通路６を介して互いに連結されている。また、搬送通路６は、切削装置４の真上の空間に設けられている。そのため、各切削装置４の側面に接続される配管２１等に対して搬送通路６が干渉することはない。

搬送通路６の下方には、切削装置４の他に、複数の被加工物１１を収容できるストックユニット８が設けられている。ストックユニット８に収容されている被加工物１１は、任意のタイミングで無人被加工物搬送車（無人搬送車）１０へと搬入される。無人被加工物搬送車１０は、搬送通路６上を走行して被加工物１１を各切削装置４へと搬送する。なお、図１では、３台の無人被加工物搬送車１０ａ，１０ｂ，１０ｃを示し、図２では、２台の無人被加工物搬送車１０ａ，１０ｂを示しているが、無人被加工物搬送車１０の台数に制限はない。

図１に示すように、切削装置４及びストックユニット８の上方には、それぞれ、搬送ユニット（カセット搬送ユニット）１２が配置されている。切削装置４の上方に配置される搬送ユニット（第１カセット搬送ユニット）１２ａによって、切削装置４の上方で待機している無人被加工物搬送車１０と切削装置４との間で被加工物１１が搬送される。また、ストックユニット８の上方に配置される搬送ユニット（第２カセット搬送ユニット）１２ｂによって、ストックユニット８の上方で待機している無人被加工物搬送車１０とストックユニット８との間で被加工物１１が搬送される。

図２に示すように、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０には、これらの動作を制御する制御ユニット１４が無線で接続されている。ただし、制御ユニット１４は、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０の動作を制御できるように構成されていれば良く、これらに対して有線で接続されることもある。

上述した搬送ユニット１２は、切削装置４又はストックユニット８に対して、無線又は有線で接続されており、それぞれ、切削装置４又はストックユニット８によって制御される。ただし、各搬送ユニット１２は、制御ユニット１４に対して、無線又は有線で接続されても良い。この場合、各搬送ユニット１２は、制御ユニット１４によって直に制御される。

図３は、ストックユニット８の構成例を模式的に示す側面図である。図３に示すように、ストックユニット８は、各種の構成要素を収容する筐体１６を含む。なお、この図３では、説明の便宜上、筐体１６の輪郭のみが示されている。

筐体１６内には、例えば、ボールねじ式の第１昇降機構（不図示）によって昇降する第１カセット保持台１８が設けられている。第１カセット保持台１８の上面には、複数の被加工物１１を収容できるカセット（被加工物ストッカー）２０が載せられる。なお、このカセット２０は、上述のように、テープ１３を介してフレーム１５に支持された状態の被加工物１１を収容する。

第１カセット保持台１８の側方には、フレーム１５を把持して移動できるプッシュプルアーム２２が配置されている。例えば、カセット２０に収容されているフレーム１５の高さを第１昇降機構でプッシュプルアーム２２の高さに合わせ、このプッシュプルアーム２２によってカセット２０内のフレーム１５を把持すれば、フレーム１５をカセット２０の外部へと引き出せる。

プッシュプルアーム２２を挟む位置には、互いに平行な状態を維持しながら接近、離隔される一対のガイドレール２４が設けられている。各ガイドレール２４は、フレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備え、プッシュプルアーム２２によってカセット２０から引き出されたフレーム１５を挟み込んで所定の位置に合わせる。

プッシュプルアーム２２及び一対のガイドレール２４の更に側方には、例えば、ボールねじ式の第２昇降機構（不図示）によって昇降する第２カセット保持台２６が設けられている。この第２カセット保持台２６の上面には、各々が１枚の被加工物１１（フレーム１５）を支持できる複数の棚を備えたカセット（搬送用カセット）２８が載せられる。

一対のガイドレール２４によって所定の位置に合わせられたフレーム１５は、プッシュプルアーム２２によって再び把持され、第２昇降機構によって高さが調整された第２カセット保持台２６上のカセット２８の任意の棚に側方から挿入される。

第２カセット保持台２６の直上の領域には、筐体１６の天井１６ａを上下に貫通する開口１６ｂが設けられている。この開口１６ｂは、少なくとも、第２カセット保持台２６に載せられるカセット２８を通過できる形状、大きさに形成されている。カセット２８は、この開口１６ｂを通じて筐体１６の外部から内部へと搬送され、又は、この開口１６ｂを通じて筐体１６の内部から外部へと搬送される。

ストックユニット８の筐体１６の上方には、上述した搬送ユニット１２ｂが設けられている。搬送ユニット１２ｂは、ストックユニット８の上方且つ開口１６ｂの傍で待機している無人被加工物搬送車１０と、ストックユニット８の第２カセット保持台２６と、の間でカセット２８を搬送する。搬送ユニット１２ｂ、第１昇降機構、プッシュプルアーム２２、一対のガイドレール２４、第２昇降機構等の構成要素には、ストックユニット８及び搬送ユニット１２ｂの動作を制御するための制御装置３２が接続されている。

制御装置３２は、代表的には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置３２の機能が実現されている。

制御装置３２には、更に、搬送システム２の制御ユニット１４から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機３４と、制御ユニット１４に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機３６とが接続されている。制御装置３２は、受信機３４で受信した信号に基づきストックユニット８及び搬送ユニット１２ｂの動作を制御する。また、制御装置３２は、送信機３６を通じて必要な信号を制御ユニット１４に送信する。

図４（Ａ）は、無人被加工物搬送車１０の構成例を示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、カセット２８が載せられた状態の無人被加工物搬送車１０を示す斜視図である。図４（Ａ）に示すように、無人被加工物搬送車１０は、トレー状のシャシ（カセット保持部）３８を含む。シャシ３８の上面側には、カセット２８の形状、大きさに対応する凹部３８ａが設けられており、例えば、搬送ユニット１２ｂによってストックユニット８の第２カセット保持台２６から搬送されたカセット２８は、このシャシ３８の凹部３８ａに載せられる。

シャシ３８の下面側には、複数（本実施形態では、４個）の車輪（走行機構）４０が設けられている。各車輪４０は、モータ等の回転駆動源に連結されており回転する。この車輪４０を回転駆動源によって回転させることで、無人被加工物搬送車１０は、搬送通路６上を走行する。なお、車輪４０としては、傾斜した樽状（筒状）の複数の回転体が搬送通路６と接触する外周面に取り付けられた、いわゆるメカナムホイール等を用いると良い。

シャシ３８の内部には、無人被加工物搬送車１０の動作を制御する制御装置４２が設けられている。制御装置４２は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置４２の機能が実現されている。

この制御装置４２には、搬送システム２の制御ユニット１４から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機４４と、制御ユニット１４に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機４６とが接続されている。制御装置４２は、受信機４４で受信した信号に基づき無人被加工物搬送車１０の動作（走行）を制御する。また、制御装置４２は、送信機４６を通じて必要な信号を制御ユニット１４に送信する。

なお、無人被加工物搬送車１０の回転駆動源、制御装置４２、受信機４４、送信機４６等の構成要素には、二次電池が接続されており、この二次電池から供給される電力によって、無人被加工物搬送車１０の各構成要素が動作する。二次電池への給電（充電）は、非接触（ワイヤレス、無接点）方式で行われることが望ましいが、接触方式で行われても良い。

図５は、切削装置４や搬送通路６等の外観を示す斜視図であり、図６は、切削装置４の構成例を示す斜視図である。図５及び図６に示すように、切削装置４は、各構成要素を支持する基台４８を備えている。基台４８の角部には、開口４８ａが形成されており、この開口４８ａには、昇降機構（不図示）によって昇降するカセット保持台５０が設けられている。カセット保持台５０の上面には、上述したカセット２８が載せられる。

図６に示すように、開口４８ａの側方には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い開口４８ｂが形成されている。開口４８ｂ内には、ボールねじ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）５２と、Ｘ軸移動機構５２の上部を覆う防塵防滴カバー５４とが配置されている。Ｘ軸移動機構５２は、Ｘ軸移動テーブル５２ａを備えており、このＸ軸移動テーブル５２ａをＸ軸方向に移動させる。

Ｘ軸移動テーブル５２ａ上には、被加工物１１を吸引、保持するチャックテーブル（保持テーブル）５６が設けられている。チャックテーブル５６は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向、切り込み送り方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル５６は、上述したＸ軸移動機構５２によってＸ軸方向に移動する（加工送り）。

チャックテーブル５６の上面は、被加工物１１を保持するための保持面５６ａになっている。保持面５６ａは、チャックテーブル５６の内部に形成された吸引路（不図示）等を介して吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル５６の周囲には、被加工物１１を支持するフレーム１５を四方から固定するための４個のクランプ５８が設けられている。

開口４８ｂの上方には、Ｙ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）に平行な状態を維持しながら接近、離隔される一対のガイドレール（仮置き領域）６０が設けられている。一対のガイドレール６０は、それぞれ、フレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備え、カセット２８から引き出されたフレーム１５をＸ軸方向において挟み込んで所定の位置に合わせる。

基台４８の上方には、門型の第１支持構造６２が開口４８ｂを跨ぐように配置されている。第１支持構造６２の前面（ガイドレール６０側の面）には、Ｙ軸方向に沿う第１レール６４が固定されており、この第１レール６４には、第１移動機構６６等を介して第１保持ユニット６８が連結されている。

第１保持ユニット６８は、例えば、フレーム１５の上面に接触してこのフレーム１５を吸着、保持し、第１移動機構６６によって昇降するとともに、第１レール６４に沿ってＹ軸方向に移動する。第１保持ユニット６８の開口４８ａ側には、フレーム１５を把持するための把持機構６８ａが設けられている。

例えば、把持機構６８ａでフレーム１５を把持して第１保持ユニット６８をＹ軸方向に移動させれば、カセット２８内のフレーム１５を一対のガイドレール６０に引き出し、又は、一対のガイドレール６０上のフレーム１５をカセット２８に挿入できる。なお、一対のガイドレール６０でフレーム１５の位置を合わせた後には、第１保持ユニット６８でこのフレーム１５（被加工物１１）を吸着、保持してチャックテーブル５６へと搬入する。

また、第１支持構造６２の前面には、Ｙ軸方向に沿う第２レール７０が第１レール６４の上方に固定されている。この第２レール７０には、第２移動機構７２等を介して第２保持ユニット７４が連結されている。第２保持ユニット７４は、例えば、フレーム１５の上面に接触してこのフレーム１５を吸着、保持し、第２移動機構７２によって昇降するとともに、第２レール７０に沿ってＹ軸方向に移動する。

第１支持構造６２の後方には、門型の第２支持構造７６が配置されている。第２支持構造７６の前面（第１支持構造６２側の面）には、それぞれＹ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）７８を介して２組の切削ユニット（加工ユニット）８０が設けられている。各切削ユニット８０は、対応するＹ軸Ｚ軸移動機構７８によってＹ軸方向に移動する（割り出し送り）とともに、Ｚ軸方向に移動する（切り込み送り）。

各切削ユニット８０は、Ｙ軸方向に概ね平行な回転軸となるスピンドル（不図示）を備えている。各スピンドルの一端側には、円環状の切削ブレード８２が装着されている。各スピンドルの他端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。また、切削ブレード８２の傍には、被加工物１１や切削ブレード８２に純水等の切削液を供給するためのノズルが配置されている。

このノズルから切削液を供給しながら、回転させた切削ブレード８２をチャックテーブル５６に保持された被加工物１１に切り込ませることで、被加工物１１を切削できる。切削ユニット８０に隣接する位置には、チャックテーブル５６に保持された被加工物１１等を撮像するための撮像ユニット（カメラ）８４が設けられている。この撮像ユニット８４も、Ｙ軸Ｚ軸移動機構７８によってＹ軸方向に移動するとともに、Ｚ軸方向に移動する。

開口４８ｂに対して開口４８ａと反対側の位置には、洗浄ユニット８６が配置されている。洗浄ユニット８６は、筒状の洗浄空間内で被加工物１１を吸引、保持するスピンナテーブル８８を備えている。スピンナテーブル８８の下部には、スピンナテーブル８８を所定の速さで回転させる回転駆動源（不図示）が連結されている。

スピンナテーブル８８の上方には、スピンナテーブル８８により保持された被加工物１１に向けて洗浄用の流体（代表的には、水とエアーとを混合した混合流体）を噴射する噴射ノズル９０が配置されている。被加工物１１を保持したスピンナテーブル８８を回転させて、噴射ノズル９０から洗浄用の流体を噴射することで、被加工物１１を洗浄できる。

切削ユニット８０で被加工物１１を切削した後には、例えば、第２保持ユニット７４でフレーム１５を吸着、保持して洗浄ユニット８６へと搬入する。洗浄ユニット８６で被加工物１１を洗浄した後には、例えば、第１保持ユニット６８でフレーム１５を吸着、保持して一対のガイドレール６０に載せ、その後、このフレーム１５を把持機構６８ａで把持してカセット２８に収容する。

図５に示すように、基台４８の上面側は、カバー９２によって覆われており、上述した各構成要素は、カバー９２の内側に収容される。開口４８ａの直上の領域には、カバー９２の天井９２ａを上下に貫通する開口９２ｂが設けられている。カセット２８は、この開口９２ｂを通じてカバー９２の外部から内部へと搬送され、又は、この開口９２ｂを通じてカバー９２の内部から外部へと搬送される。開口９２ｂの形状や大きさに特段の制限はないが、この開口９２ｂは、少なくともカセット２８を通過できるように構成される必要がある。

切削装置４のカバー９２の上方には、上述した搬送ユニット１２ａが設けられている。搬送ユニット１２ａは、切削装置４の上方且つ開口９２ｂの傍で待機している無人被加工物搬送車１０と、切削装置４の内部に設けられたカセット保持台５０と、の間でカセット２８を搬送する。この搬送ユニット１２ａは、カセット保持台５０を昇降させる昇降機構等とともに、制御装置９６に接続されている（図５）。搬送ユニット１２ａの構造及び動作について、後に詳述する。

制御装置９６は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置９６の機能が実現されている。

制御装置９６には、搬送システム２の制御ユニット１４から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機９８と、制御ユニット１４に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機１００と、が更に接続されている。制御装置９６は、例えば、受信機９８で受信した信号等に基づき、上述した切削装置４の各構成要素及び搬送ユニット１２ａを制御する。

基台４８の側壁には、各種の配管２１を接続する配管接続部４８ｃ（図５）が設けられている。また、カバー９２の側壁には、メンテナンス等の際に開閉される扉９２ｃ（図５）が設けられている。更に、カバー９２の側壁には、操作パネル（不図示）やディスプレイ（不図示）等が設けられていても良い。

図７は、切削装置４に搬送システム２の搬送通路６が設置される様子を示す斜視図である。図７等に示すように、本実施形態に係る搬送システム２の搬送通路６は、切削装置４が備えるカバー９２の天井９２ａの上面側に装着される。すなわち、搬送通路６は、切削装置４の真上の空間に設置される。

これにより、切削装置４の側面に設けられている配管接続部４８ｃや扉９２ｃ等の構造に対して、搬送通路６が干渉することはなくなる。つまり、搬送通路６を設計する際に、切削装置４の側面の構造を考慮する必要がない。そのため、搬送システム２の構築が容易になる。

図８（Ａ）は、搬送通路６に使用される通路モジュール６ａの構成例を示す平面図であり、図８（Ｂ）は、通路モジュール６ｂの構成例を示す平面図であり、図８（Ｃ）は、通路モジュール６ｃの構成例を示す平面図である。搬送通路６は、例えば、図８（Ａ）、図８（Ｂ）、及び図８（Ｃ）に示す複数の通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃを組み合わせて構成される。

各通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃは、それぞれ、無人被加工物搬送車１０の走行に適した平坦性の高い上面を持つ通路部１０２と、通路部１０２の幅方向の端に設けられこの通路部１０２に沿うガイド部１０４と、を含む。ガイド部１０４の上端の通路部１０２からの高さは、例えば、無人被加工物搬送車１０の車輪４０の高さよりも高くなっている。これにより、通路部１０２を走行する無人被加工物搬送車１０が通路部１０２から脱落するのを防止できる。

図８（Ａ）の通路モジュール６ａは、無人被加工物搬送車１０を待機させるための待機部１０６を更に有しており、例えば、無人被加工物搬送車１０との間で被加工物１１（カセット２８）の受け渡しを行う切削装置４等の直上に設置される。なお、この待機部１０６等には、無人被加工物搬送車１０の二次電池に給電する給電設備（充電器）を設けると良い。一方で、図８（Ｂ）の通路モジュール６ｂは、直線状に形成されており、図８（Ｃ）の通路モジュール６ｃは、曲がり角に適した直角状に形成されている。

通路モジュール６ｂ，６ｃは、例えば、隣接する２つの通路モジュール６ａの間を繋ぐために用いられる。ただし、搬送通路６を構成する通路モジュールの種類、数量、配置（接続の関係）等に制限はない。例えば、２つの通路モジュール６ａの間を、更に別の通路モジュール６ａで繋いでも良い。また、例えば、直角状の通路モジュール６ｃの代わりに、円弧状（曲線状）の通路モジュールを用いることもできる。

図９は、通路モジュール６ａ及び通路モジュール６ｂから搬送通路６が形成される様子を示す斜視図である。図１０（Ａ）、及び図１０（Ｂ）は、通路モジュール６ａ及び通路モジュール６ｂが連結される様子を示す断面図である。また、図１１は、通路モジュール６ｂの構成例を示す底面図である。

図９に示すように、通路部１０２の下面の長さ方向の端部（搬送通路６に沿う方向の端部）には、断面がＬ字状の一対のアングル（ブラケット）１０８が設けられている。各アングル１０８は、概ね水平な支持面１０８ａと、支持面１０８ａに対して概ね垂直な側面１０８ｂとを備え、各アングル１０８の長手方向が搬送通路６に沿うように通路部１０２の下面に固定される。

通路モジュール６ａと通路モジュール６ｂとを連結する際には、まず、図１０（Ａ）に示すように、通路モジュール６ａを構成する通路部１０２の長手方向の端部と、通路モジュール６ｂを構成する通路部１０２の長手方向の端部とを十分に近付ける。そして、図１０（Ｂ）に示すように、通路モジュール６ａを構成する通路部１０２に設けられているアングル１０８と、通路モジュール６ｂを構成する通路部１０２に設けられているアングル１０８と、に連結具１１０を挿入する。

連結具１１０は、例えば、通路モジュール６ａのアングル１０８の長さと通路モジュール６ｂのアングル１０８の長さとを合わせた長さよりも長いロッド部１１０ａと、ロッド部１１０ａの両端に設けられ中央に開口を有するリング部１１０ｂと、を含んでいる。アングル１０８には、この連結具１１０のロッド部１１０ａが挿入される。

アングル１０８にロッド部１１０ａを挿入した後には、リング部１１０ｂの開口を通じて通路部１０２の下面側のボルト孔（不図示）にボルト１１２を締め込む。これにより、連結具１１０を介して通路モジュール６ａと通路モジュール６ｂとを連結できる。なお、通路モジュール６ｃも、同様の手順で他の通路モジュール（通路モジュール６ａや通路モジュール６ｂ等）に連結される。

切削装置４に対する通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃの装着は、例えば、図９、図１１等に示す脚部材１１４を介して行われる。脚部材１１４は、板状の基部１１４ａと、基部１１４ａの一方側の面の中央付近から突出する柱状の柱部１１４ｂと、柱部１１４ｂの先端に装着された吸盤状の吸着部１１４ｃ（図１１）と、を含んでいる。

基部１１４ａの柱部１１４ｂと重ならない領域には、この基部１１４ａを厚み方向に貫通する４個の開口１１４ｄが形成されている。また、通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃを構成する通路部１０２の下面には、各開口１１４ｄに対応するボルト孔１０２ａ（図１１）が形成されている。

そのため、基部１１４ａの他方側の面を通路部１０２の下面に接触させ、開口１１４ｄを通じてボルト孔１０２ａにボルト１１６を締め込めば、通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃに脚部材１１４を固定できる。なお、開口１１４ｄ及びボルト孔１０２ａの数量や配置等に制限はない。

図１１に示すように、本実施形態の通路モジュール６ｂには、通路部１０２の下面の複数の領域のそれぞれに基部１１４ａの４個の開口１１４ｄに対応する４個のボルト孔１０２ａが形成されており、任意の領域に脚部材１１４を装着できる。他の通路モジュール６ａ，６ｃについても同様である。

すなわち、脚部材１１４は、通路部１０２の下面の複数の領域から選択されたいずれかの領域に装着される。なお、各通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃには、複数の脚部材１１４を装着することが望ましい。これにより、切削装置４に対する搬送通路６の位置が安定し易くなる。

切削装置４に対して通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃを装着する際には、例えば、切削装置４のカバー９２に対して通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃの位置を合わせ、図７に示すように、脚部材１１４の吸着部１１４ｃをカバー９２の天井９２ａの上面に押し当てる。これにより、カバー９２の天井９２ａの上面に吸着部１１４ｃを吸着させて、任意の通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃをカバー９２に装着できる。つまり、任意の通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃが、脚部材１１４を介して切削装置４のカバー９２に装着される。

なお、必ずしも全ての通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃを切削装置４に対して装着しなくて良い。例えば、２台の切削装置４の間に位置する通路モジュールは、連結具１１０を介して隣接する通路モジュールのみに支持されることがある。また、切削装置４やストックユニット８等に対して装着される通路モジュールの通路部１０２には、図１に示すように、２次元コードに代表される識別コードや無線タグ等の情報提供部１０２ｂが設けられている。この情報提供部１０２ｂによって提供される情報は、例えば、無人被加工物搬送車１０の位置の確認等に使用される。

次に、被加工物１１の搬送に使用されるカセット２８等の構造について説明する。図１２は、カセット２８等の構造を示す斜視図である。カセット２８は、被加工物１１を支持するフレーム１５を収容できる大きさの箱体１１８を含む。この箱体１１８は、概ね平坦な底板１２０を有している。底板１２０は、平面視で矩形状に形成されており、対向する２辺に相当する位置には、それぞれ、側板１２２の下端側及び側板１２４の下端側が接続されている。

側板１２２の上端側及び側板１２４の上端側には、底板１２０と同様の形状の天板１２６が固定されている。これにより、箱体１１８は、４つの側面の２つに開口１１８ａを有する中空の直方体状に構成されている。なお、天板１２６は、波長が３６０ｎｍ～８３０ｎｍ程度の可視光線を透過させる樹脂やガラス等の材料で形成されることが望ましい。

これにより、例えば、箱体１１８に収容された被加工物１１の種類等を、カセット２８の外部から判別できるようになる。なお、被加工物１１の種類等を判別する際には、被加工物１１に描画されているバーコード等の識別コード（不図示）を読み取るようにすると良い。また、天板１２６と同様の材料で底板１２０等を形成しても良い。

側板１２２の内側面には、水平方向（一方の開口１１８ａから他方の開口１１８ａへと向かう方向）に長い長方形状の４枚の棚板１２８が、鉛直方向（底板１２０から天板１２６へと向かう方向）に沿って概ね等しい間隔で固定されている。また、側板１２４の内側面には、水平方向に長い長方形状の４枚の棚板１３０が、鉛直方向に沿って概ね等しい間隔で固定されている。

底板１２０又は天板１２６からの距離が概ね等しい一組の棚板１２８及び棚板１３０によって、１個のフレーム１５（１枚の被加工物１１）を支持する棚が形成される。すなわち、カセット２８は、各々が１個のフレーム１５（１枚の被加工物１１）を支持できる４つの棚を備えている。ただし、カセット２８は、少なくとも複数の棚を備えていれば良く、カセット２８が備える棚の数に特段の制限はない。

また、棚板１２８の上面の一方の開口１１８ａ側の領域、及び棚板１３０の上面の一方の開口１１８ａ側の領域には、棚板１２８と棚板１３０とによって支持されるフレーム１５の移動を規制するための移動規制部材（不図示）が配置されている。この移動規制部材によって、一方の開口１１８ａ側からのフレーム１５の脱落が防止される。

天板１２６の上方には、複数の支柱１３２を介して被保持プレート１３４が固定されている。カセット２８を搬送する際には、この被保持プレート１３４を下方から保持して箱体１１８を持ち上げる。なお、支柱１３２の形状、数量、配置等に特段の制限はない。一方で、被保持プレート１３４は、天板１２６と同様に、波長が３６０ｎｍ～８３０ｎｍ程度の可視光線を透過させる樹脂やガラス等の材料で形成されることが望ましい。

図１３は、切削装置４と無人被加工物搬送車１０との間でカセット２８が搬送される様子を示す斜視図である。なお、ここでは、切削装置４の上方に設けられる搬送ユニット１２ａの構造及び動作を主に説明するが、ストックユニット８の上方に設けられる搬送ユニット１２ｂの構造及び動作も同様である。

図１３に示すように、切削装置４の上方に配置される搬送ユニット１２ａは、下端部が切削装置４（カバー９２の天井９２ａ）又は搬送通路６に固定される支持構造１４０を含んでいる。支持構造１４０の上端部には、例えば、レール状のガイド部１４２がＸ軸方向に沿って配置されている。ただし、ガイド部１４２の配置等は、搬送通路６の配置等に応じて任意に変更される。

ガイド部１４２には、このガイド部１４２に沿って移動する第１移動部１４４が連結されている。第１移動部１４４には、第１移動部１４４の移動方向（本実施形態では、Ｘ軸方向）に対して垂直な方向（本実施形態では、Ｙ軸方向）に移動する第２移動部１４６が連結されている。また、第２移動部１４６の下面側には、カセット２８を保持するカセット保持ハンド１４８が設けられている。

カセット保持ハンド１４８は、第２移動部１４６に対して、例えば、クレーンのように昇降できる態様で接続されている。カセット保持ハンド１４８の下面側には、カセット２８の有無や位置等を確認する際に用いられるカメラ（不図示）が配置されている。また、カセット保持ハンド１４８の下面側には、カセット２８の被保持プレート１３４を保持するためのカセット保持爪１５０（図３）が設けられている。

例えば、無人被加工物搬送車１０から切削装置４にカセット２８を搬送する際には、まず、切削装置４の傍で待機している無人被加工物搬送車１０の上方にカセット保持ハンド１４８を位置付ける。そして、カセット保持ハンド１４８を下降させるとともに、無人被加工物搬送車１０上のカセット２８の天板１２６と被保持プレート１３４との間にカセット保持爪１５０を挿入する。

この状態でカセット保持ハンド１４８を上昇させれば、被保持プレート１３４をカセット保持ハンド１４８で保持して、無人被加工物搬送車１０からカセット２８を持ち上げることができる。カセット２８を持ち上げた後には、カセット保持ハンド１４８をカバー９２の開口９２ｂの上方（すなわち、カセット保持台５０の上方）に移動させる。

そして、図１３に示すように、カセット保持ハンド１４８を下降させて、このカセット保持ハンド１４８で保持しているカセット２８を、カセット保持台５０の上面に載せる。以上のような手順で、無人被加工物搬送車１０のシャシ３８から切削装置４のカセット保持台５０にカセット２８を搬送できる。

一方で、例えば、切削装置４から無人被加工物搬送車１０にカセット２８を搬送する際には、まず、カセット保持ハンド１４８をカバー９２の開口９２ｂの上方に移動させる。そして、カセット保持ハンド１４８を下降させるとともに、カセット保持台５０上のカセット２８の天板１２６と被保持プレート１３４との間にカセット保持爪１５０を挿入する。

この状態でカセット保持ハンド１４８を上昇させれば、被保持プレート１３４をカセット保持ハンド１４８で保持して、カセット保持台５０からカセット２８を持ち上げることができる。カセット２８を持ち上げた後には、切削装置４の傍で待機している無人被加工物搬送車１０の上方にカセット保持ハンド１４８を位置付ける。

そして、カセット保持ハンド１４８を下降させて、このカセット保持ハンド１４８で保持しているカセット２８を、無人被加工物搬送車１０のシャシ３８に載せる。以上のような手順で、切削装置４のカセット保持台５０から無人被加工物搬送車１０のシャシ３８にカセット２８を搬送できる。

図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）、及び図１４（Ｃ）は、カセット２８の使用方法の一例を示す側面図である。例えば、未加工の被加工物１１を搬送する際には、カセット２８が備える棚Ａ、棚Ｂ、棚Ｃ、及び棚Ｄのうちで、最も上に位置する棚Ａに被加工物１１が収容される。つまり、ストックユニット８でカセット２８に被加工物１１を搬入する際には、棚Ａにフレーム１５（被加工物１１）が挿入される。そして、切削装置４では、カセット２８の棚Ａからフレーム１５（被加工物１１）が搬出される。

また、例えば、加工後の被加工物１１を搬送する際には、カセット２８が備える棚Ａ、棚Ｂ、棚Ｃ、及び棚Ｄのうちで、上から２番目に位置する棚Ｂに被加工物１１が収容される。つまり、切削装置４で加工された後の被加工物１１をカセット２８へと搬入する際には、棚Ｂにフレーム１５（被加工物１１）が挿入される。

なお、搬送システム２による被加工物１１の搬送先としては、切削装置４以外にも様々な装置が想定されている。例えば、被加工物１１の搬送先として、テープ１３に紫外線を照射するための紫外線照射装置（不図示）が含まれる場合には、テープ１３に紫外線を照射した後、被加工物１１を搬送する際に、カセット２８が備える棚Ａ、棚Ｂ、棚Ｃ、及び棚Ｄのうちで、上から３番目に位置する棚Ｃにフレーム１５（被加工物１１）が挿入される。

このように、工程の進捗状況に応じてカセット２８が備える複数の棚を選択的に使用することで、複数の棚の使用の状態に基づき工程の進捗状況を管理できるようになる。つまり、このような複数の棚の選択的な使用によって、工程の進捗を管理するための管理方法を実現できる。

この管理方法では、複数の棚の使用の状態に基づき工程の進捗状況を管理するので、搬送システム２等に蓄積される情報に頼らなくとも工程の進捗状況を把握でき、搬送システム２等に何らかの障害が発生したとしても、その後の工程に支障が出難くなる。なお、上述した工程の管理方法（カセット２８の使用方法）は、あくまでも一例であり、搬送先となる加工装置の種類、数量、搬送の順序、その他の条件に応じて変更され得る。

次に、本実施形態に係る搬送システム２の制御方法の例を説明する。図１５は、搬送システム２の制御方法の例を説明するための機能ブロック図である。例えば、切削装置４の制御装置９６は、新たな被加工物１１（未加工の被加工物１１）が必要な状況になると、その旨を通知するための通知信号（被加工物要求信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（被加工物要求信号）は、送信機１００から制御ユニット１４へと送信される。

図１５に示すように、制御ユニット１４は、各種の制御を行うための制御信号を生成する制御部（制御信号生成部）１５２を備えている。この制御部１５２は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御部１５２の機能が実現されている。

この制御部１５２には、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０等から送信される通知信号を受信する受信機１５４と、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０等に対して制御信号を送信する送信機１５６とが接続されている。

制御ユニット１４の受信機１５４は、切削装置４の送信機１００から送信された通知信号（被加工物要求信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、切削装置４からの通知信号（被加工物要求信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、ストックユニット８の傍（カセット２８の受け渡しができる位置）で待機するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第１待機指示信号）を生成し、送信機１５６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。

無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１４からの制御信号（第１待機指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第１待機指示信号）に基づき車輪（走行機構）４０等の動作を制御し、無人被加工物搬送車１０を搬送通路６に沿って走行させる。

なお、図１５に示すように、無人被加工物搬送車１０の制御装置４２には、搬送通路６に設けられている情報提供部１０２ｂの情報を読み取るための読み取り機１５８が接続されている。そのため、読み取り機１５８によって情報提供部１０２ｂの情報を読み取ることで、制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）の位置を確認できる。

制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）がストックユニット８の傍に移動したことを確認すると、車輪４０等を停止させる。また、制御装置４２は、無人被加工物搬送車１０がストックユニット８の傍で待機中である旨を通知するための通知信号（第１待機中信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第１待機中信号）は、送信機４６から制御ユニット１４へと送信される。

制御ユニット１４の受信機１５４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第１待機中信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第１待機中信号）を確認すると、ストックユニット８に対して、新たな被加工物１１が収容されたカセット２８を無人被加工物搬送車１０へと搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第１搬送指示信号）を生成し、送信機１５６からストックユニット８へと送信する。

ストックユニット８の受信機３４は、制御ユニット１４からの制御信号（第１搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置３２へと送る。制御装置３２は、この制御信号（第１搬送指示信号）に基づき搬送ユニット１２ｂ等の動作を制御して、新たな被加工物１１が収容されたカセット２８を無人被加工物搬送車１０のシャシ３８に載せる。

新たな被加工物１１を収容するカセット２８が無人被加工物搬送車１０に搬送されると、制御装置３２は、無人被加工物搬送車１０へのカセット２８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第１搬送完了信号）を生成する。制御装置３２で生成された通知信号（第１搬送完了信号）は、送信機３６から制御ユニット１４へと送信される。

制御ユニット１４の受信機１５４は、ストックユニット８の送信機３６から送信された通知信号（第１搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、ストックユニット８からの通知信号（第１搬送完了信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、切削装置４の傍（カセット２８の受け渡しができる位置）に移動して待機するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第２待機指示信号）を生成し、送信機１５６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。

無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１４からの制御信号（第２待機指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第２待機指示信号）に基づき車輪４０等の動作を制御して、無人被加工物搬送車１０を搬送通路６に沿って走行させる。

制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）が切削装置４の傍に移動したことを確認すると、車輪４０等を停止させる。また、制御装置４２は、無人被加工物搬送車１０が切削装置４の傍で待機中である旨を通知するための通知信号（第２待機中信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第２待機中信号）は、送信機４６から制御ユニット１４へと送信される。

制御ユニット１４の受信機１５４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第２待機中信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第２待機中信号）を確認すると、切削装置４に対して、新たな被加工物１１が収容されたカセット２８を無人被加工物搬送車１０から受け取るように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第２搬送指示信号）を生成し、送信機１５６から切削装置４へと送信する。

切削装置４の受信機９８は、制御ユニット１４からの制御信号（第２搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置９６へと送る。制御装置９６は、この制御信号（第２搬送指示信号）に基づき搬送ユニット１２ａ等の動作を制御して、新たな被加工物１１が収容されたカセット２８を無人被加工物搬送車１０のシャシ３８から搬出し、切削装置４の内部のカセット保持台５０に載せる。

新たな被加工物１１を収容するカセット２８が切削装置４の内部に搬送されると、例えば、制御装置９６は、切削装置４へのカセット２８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第２搬送完了信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（第２搬送完了信号）は、送信機１００から制御ユニット１４へと送信される。

このような手順により、ストックユニット８に収容されている被加工物１１を任意の切削装置４に対して搬送できる。なお、ここでは、ストックユニット８から切削装置４に対してカセット２８（被加工物１１）を搬送する際の手順について主に説明したが、切削装置４からストックユニット８に対してカセット２８（被加工物１１）を搬送する際の手順等も同様である。

具体的には、例えば、切削装置４の制御装置９６は、被加工物１１の加工が完了すると、その旨を通知するための通知信号（加工完了信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（加工完了信号）は、送信機１００から制御ユニット１４へと送信される。制御ユニット１４の受信機１５４は、切削装置４の送信機１００から送信された通知信号（加工完了信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。

制御部１５２は、切削装置４からの通知信号（加工完了信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、切削装置４の傍（カセット２８の受け渡しができる位置）で待機するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第３待機指示信号）を生成し、送信機１５６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。

無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１４からの制御信号（第３待機指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第３待機指示信号）に基づき車輪（走行機構）４０等の動作を制御し、無人被加工物搬送車１０を搬送通路６に沿って走行させる。

制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）が切削装置４の傍に移動したことを確認すると、車輪４０等を停止させる。また、制御装置４２は、無人被加工物搬送車１０が切削装置４の傍で待機中である旨を通知するための通知信号（第３待機中信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第３待機中信号）は、送信機４６から制御ユニット１４へと送信される。

制御ユニット１４の受信機１５４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第３待機中信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第３待機中信号）を確認すると、切削装置４に対して、加工後の被加工物１１が収容されたカセット２８を無人被加工物搬送車１０へと搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第３搬送指示信号）を生成し、送信機１５６から切削装置４へと送信する。

切削装置４の受信機９８は、制御ユニット１４からの制御信号（第３搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置９６へと送る。制御装置９６は、この制御信号（第３搬送指示信号）に基づき搬送ユニット１２ａ等の動作を制御して、加工後の被加工物１１が収容されたカセット２８を無人被加工物搬送車１０のシャシ３８に載せる。

加工後の被加工物１１を収容するカセット２８が無人被加工物搬送車１０に搬送されると、制御装置９６は、無人被加工物搬送車１０へのカセット２８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第３搬送完了信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（第３搬送完了信号）は、送信機１００から制御ユニット１４へと送信される。

制御ユニット１４の受信機１５４は、切削装置４の送信機１００から送信された通知信号（第３搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、切削装置４からの通知信号（第３搬送完了信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、ストックユニット８の傍（カセット２８の受け渡しができる位置）に移動して待機するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第４待機指示信号）を生成し、送信機１５６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。

無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１４からの制御信号（第４待機指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第４待機指示信号）に基づき車輪４０等の動作を制御して、無人被加工物搬送車１０を搬送通路６に沿って走行させる。

制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）がストックユニット８の傍に移動したことを確認すると、車輪４０等を停止させる。また、制御装置４２は、無人被加工物搬送車１０がストックユニット８の傍で待機中である旨を通知するための通知信号（第４待機中信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第４待機中信号）は、送信機４６から制御ユニット１４へと送信される。

制御ユニット１４の受信機１５４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第４待機中信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第４待機中信号）を確認すると、ストックユニット８に対して、加工後の被加工物１１が収容されたカセット２８を無人被加工物搬送車１０から受け取るように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第４搬送指示信号）を生成し、送信機１５６からストックユニット８へと送信する。

ストックユニット８の受信機３４は、制御ユニット１４からの制御信号（第４搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置３２へと送る。制御装置３２は、この制御信号（第４搬送指示信号）に基づき搬送ユニット１２ｂ等の動作を制御して、加工後の被加工物１１が収容されたカセット２８を無人被加工物搬送車１０のシャシ３８から搬出し、ストックユニット８の内部の第２カセット保持台２６に載せる。

加工後の被加工物１１を収容するカセット２８がストックユニット８の内部に搬送されると、例えば、制御装置３２は、ストックユニット８へのカセット２８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第４搬送完了信号）を生成する。制御装置３２で生成された通知信号（第４搬送完了信号）は、送信機３６から制御ユニット１４へと送信される。このような手順により、切削装置４で加工された後の被加工物１１をストックユニット８に対して搬送できる。

また、上述した手順は、カセット２８（被加工物１１）を適切に搬送できる範囲内で任意に変更できる。例えば、上述した手順に含まれている複数のステップを同時に行っても良いし、被加工物１１の搬送に支障が出ない範囲内でステップの順序を入れ替えても良い。同様に、被加工物１１の搬送に支障が出ない範囲内で任意のステップを追加、変更、省略して良い。

以上のように、本実施形態に係る搬送システム２は、複数の切削装置（加工装置）４に渡って設置される搬送通路６と、工程の進捗状況に応じて選択的に使用され各々が１枚の被加工物１１を支持できる複数の棚を備えたカセット２８を保持するシャシ（カセット保持部）３８、車輪（走行機構）４０、及び受信機４４を備える無人被加工物搬送車（無人搬送車）１０と、カセット（被加工物ストッカー）２０からカセット（搬送用カセット）２８に対して被加工物１１を受け渡す際にカセット２８を保持する第２カセット保持台２６、及び受信機３４を備えるストックユニット８と、無人被加工物搬送車１０のシャシ３８と切削装置（加工装置）４の内部のカセット保持台５０との間でカセット２８を搬送する搬送ユニット（カセット搬送ユニット）１２ａと、無人被加工物搬送車１０のシャシ３８とストックユニット８の第２カセット保持台２６との間でカセット２８を搬送する搬送ユニット（カセット搬送ユニット）１２ｂと、を含んでいる。

そのため、例えば、ストックユニット８でカセット２０から被加工物１１を受け取ったカセット２８を、搬送ユニット１２ｂによって無人被加工物搬送車１０のシャシ３８へと搬送し、この無人被加工物搬送車１０を搬送通路６上で走行させることにより、複数の切削装置４のそれぞれに対してカセット２８を搬送できる。なお、この無人被加工物搬送車１０のシャシ３８に保持されているカセット２８は、例えば、無人被加工物搬送車１０を走行させた後に、搬送ユニット１２ａによって切削装置４の内部へと搬送される。

また、本実施形態に係る搬送システム２では、搬送通路６が、切削装置４の真上の空間に設置される。そのため、この搬送通路６を設計する際に各切削装置４の側面の構造を考慮する必要がない。すなわち、搬送システムの構築が容易になる。

更に、本実施形態に係る搬送システム２及び管理方法では、それぞれが１枚の被加工物１１を支持できるように構成され工程の進捗状況に応じて選択的に使用される複数の棚を備えたカセット２８を使用するので、例えば、加工後の被加工物１１をカセット２８へと搬入する際に、未加工の被加工物１１が支持されていた棚とは別の棚に加工後の被加工物１１を搬入することで、複数の棚の使用の状態に基づき工程の進捗状況を管理できる。つまり、搬送システム２等に蓄積される情報に頼らなくとも工程の進捗状況を把握できるので、搬送システム２等に何らかの障害が発生したとしても、その後の工程に支障が出難くなる。

（実施形態２）
本実施形態では、被加工物１１とともに切削ブレード８２等を搬送の対象とする搬送システムについて説明する。なお、本実施形態に係る搬送システムの基本的な構成は、実施形態１に係る搬送システム２の基本的な構成と同じである。よって、実施形態１の搬送システム２と共通する構成要素には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。

図１６は、本実施形態に係る搬送システム２０２の接続関係の例を示す機能ブロック図である。図１６に示すように、本実施形態に係る搬送システム２０２の制御ユニット１４には、無人被加工物搬送車（無人搬送車）１０、切削装置２０４、無人ブレード搬送車２０６、ストックユニット２０８が無線で接続されている。

無人ブレード搬送車２０６は、無人被加工物搬送車１０と同様に搬送通路６（図１６等参照）を走行し、各切削装置２０４に対して切削ブレード８２を搬送する。ストックユニット２０８は、複数の被加工物１１に加えて、各切削装置２０４に供給される切削ブレード８２を収容できるように構成されている。

なお、図１６では、説明の便宜上、２台の無人被加工物搬送車１０ａ，１０ｂ、２台の切削装置２０４ａ，２０４ｂ、及び２台の無人ブレード搬送車２０６ａ，２０６ｂを示しているが、それぞれの台数に制限はない。また、制御ユニット１４は、無人被加工物搬送車１０、切削装置２０４、無人ブレード搬送車２０６、ストックユニット２０８等に対して有線で接続されても良い。

図１７は、第２実施形態に係るストックユニット２０８の構成例を示す側面図である。図１７に示すように、ストックユニット２０８の基本的な構成は、実施形態１に係るストックユニット８の基本的な構成と同じである。ただし、本実施形態に係るストックユニット２０８には、複数の切削ブレード８２を収容するためのブレードストッカー２１０が配置されている。

ブレードストッカー２１０は、例えば、上面側が複数の領域に区画されたトレー状に構成されている。各領域には、切削ブレード８２が収容される。また、このブレードストッカー２１０の傍には、ブレードストッカー２１０と無人ブレード搬送車２０６との間で切削ブレード８２を搬送するブレード搬送アーム（ブレード搬送部）２１２が設けられている。

図１８は、無人ブレード搬送車２０６の構成例を示す斜視図である。図１８に示すように、無人ブレード搬送車２０６は、トレー状のシャシ（ブレード保持部）２１４を含む。シャシ２１４の上面側には、切削ブレード８２の大きさに対応する複数の凹部２１４ａが形成されており、各凹部２１４ａには、切削ブレード８２を収容できるブレードケース２１６が配置されている。

ブレード搬送アーム２１２で搬送された切削ブレード８２は、このシャシ２１４の凹部２１４ａに配置されたブレードケース２１６に載せられる。なお、シャシ２１４の各ブレードケース２１６（凹部２１４ａ）に対応する位置には、無線タグや識別コード等の情報提供部２１４ｂが設けられている。よって、情報提供部２１４ｂにより提供される情報に基づいて、各ブレードケース２１６に収容される切削ブレード８２を容易に特定できる。

シャシ２１４の下面側には、複数（本実施形態では、４個）の車輪（走行機構）２１８が設けられている。各車輪２１８は、モータ等の回転駆動源に連結されており回転する。この車輪２１８を回転駆動源によって回転させることで、無人ブレード搬送車２０６は、搬送通路６上を走行する。なお、車輪２１８としては、傾斜した樽状（筒状）の複数の回転体が搬送通路６と接触する外周面に取り付けられた、いわゆるメカナムホイール等を用いると良い。

シャシ２１４の内部には、無人ブレード搬送車２０６の動作を制御する制御装置２２０が設けられている。制御装置２２０は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置２２０の機能が実現されている。

この制御装置２２０には、制御ユニット１４から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機２２２と、制御ユニット１４に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機２２４とが接続されている。制御装置２２０は、受信機２２２で受信した信号に基づき無人ブレード搬送車２０６の動作（走行）を制御する。また、制御装置２２０は、送信機２２４を通じて必要な信号を制御ユニット１４に送信する。

図１９は、切削装置２０４等の外観を示す斜視図である。図１９に示すように、切削装置２０４の基本的な構成は、実施形態１に係る切削装置４の基本的な構成と同じである。ただし、この切削装置２０４には、カバー９２の天井９２ａを上下に貫通する２つの開口９２ｄが更に設けられている。各開口９２ｄは、切削ブレード８２を通過できる大きさに形成されている。

また、各開口９２ｄには、切削ブレード８２を昇降させるためのブレード昇降機構２２６が配置されている。ブレード昇降機構２２６は、切削ブレード８２を保持するブレード保持部２２８を備え、このブレード保持部２２８を昇降させる。そのため、ブレード保持部２２８に切削ブレード８２を保持させた上でこのブレード保持部２２８を昇降させれば、切削ブレード８２をカバー９２の外部から内部へと搬送し、又はカバー９２の内部から外部へと搬送できる。

カバー９２の天井９２ａには、ブレード昇降機構２２６が備えるブレード保持部２２８と、ブレード昇降機構２２６の傍で待機する無人ブレード搬送車２０６と、の間で切削ブレード８２を搬送するブレード搬送アーム２３０が設けられている。ブレード搬送アーム２３０は、切削ブレード８２を保持するブレード把持部２３０ａを備え、このブレード把持部２３０ａを回転、昇降させることにより、無人ブレード搬送車２０６とブレード保持部２２８との間で切削ブレード８２を搬送する。

切削装置２０４のカバー９２の内部には、切削ユニット８０の切削ブレード８２を自動制御で交換するブレードチェンジャー２３２が更に設けられている。ブレードチェンジャー２３２は、ブレード昇降機構２２６やブレード搬送アーム２３０とともに、制御装置９６に接続されている。

図２０は、ブレードチェンジャー２３２の構成例を示す分解斜視図である。このブレードチェンジャー２３２は、例えば、基台４８やカバー９２等に対して位置が固定される固定プレート２３４を備えている。固定プレート２３４の下面側には、Ｘ軸方向に長い一対のガイドレール２３６が設けられている。ガイドレール２３６には、移動プレート２３８がＸ軸方向に沿ってスライドできる態様で支持される。

移動プレート２３８のＹ軸方向の端部には、ガイドレール２３６の形状に対応するブラケット２４０が設けられており、このブラケット２４０を介して移動プレート２３８がガイドレール２３６に支持される。移動プレート２３８の上面には、ナット部２４２が固定されている。ナット部２４２のネジ孔２４２ａには、Ｘ軸方向に概ね平行なボールネジ２４４が回転できる態様で挿入される。

ボールネジ２４４の一端には、パルスモータ２４６が連結されている。このパルスモータ２４６でボールネジ２４４を回転させれば、移動プレート２３８は、ガイドレール２３６に沿ってＸ軸方向に移動する。移動プレート２３８の下面側には、チェンジャー支持構造２４８が固定されている。

チェンジャー支持構造２４８には、切削ユニット８０に対して切削ブレード８２を固定する固定ナット（不図示）を着脱するための一対のナット着脱機構２５０が支持されている。各ナット着脱機構２５０は、Ｙ軸方向に沿って移動できるとともに、Ｙ軸方向に平行な回転軸の周りに回転できるように構成される。このナット着脱機構２５０によって固定ナットを把持して回転させることで、切削ユニット８０に固定ナットを取り付け、又は切削ユニット８０から固定ナットを取り外すことができる。

また、チェンジャー支持構造２４８には、切削ブレード８２を交換するための一対のブレード交換機構２５２が支持されている。各ブレード交換機構２５２は、それぞれ切削ブレード８２を保持可能な第１ブレード保持部２５２ａ及び第２ブレード保持部２５２ｂを含む。このブレード交換機構２５２は、Ｙ軸方向に沿って移動できるとともに、Ｘ軸方向において第１ブレード保持部２５２ａと第２ブレード保持部２５２ｂとの位置を入れ替えることができるように構成される。

ブレードチェンジャー２３２で切削ブレード８２を交換する際には、例えば、ブレード昇降機構２２６のブレード保持部２２８によって保持された交換用の切削ブレード８２を第１ブレード保持部２５２ａで受け取る。そして、ナット着脱機構２５０で切削ユニット８０から固定ナットを取り外す。また、切削ユニット８０に装着されている切削ブレード８２を第２ブレード保持部２５２ｂで切削ユニット８０から取り外す。

その後、第１ブレード保持部２５２ａと第２ブレード保持部２５２ｂとの位置を入れ替え、第１ブレード保持部２５２ａで交換用の切削ブレード８２を切削ユニット８０に取り付ける。そして、最後に、ナット着脱機構２５０で切削ユニット８０に固定ナットを取り付ける。なお、切削ユニット８０に装着されていた切削ブレード８２は、例えば、第２ブレード保持部２５２ｂからブレード昇降機構２２６のブレード保持部２２８に受け渡される。

次に、本実施形態に係る搬送システム２０２の制御方法の例を説明する。図２１は、搬送システム２０２の制御方法の例を説明するための機能ブロック図である。なお、被加工物１１（カセット２８）の搬送に係る制御は実施形態１と同様であるから、本実施形態では、主に切削ブレード８２の搬送に係る制御の例を説明する。

例えば、切削装置２０４の制御装置９６は、切削ブレード８２の交換が必要な状況になると、その旨を通知するための通知信号（ブレード要求信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（ブレード要求信号）は、送信機１００から制御ユニット１４へと送信される。

制御ユニット１４の受信機１５４は、切削装置２０４の送信機１００から送信された通知信号（ブレード要求信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、切削装置２０４からの通知信号（ブレード要求信号）を確認すると、無人ブレード搬送車２０６に対して、ストックユニット２０８の傍（切削ブレード８２を受け渡せる位置）で待機するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第１待機指示信号）を生成し、送信機１５６から無人ブレード搬送車２０６へと送信する。

無人ブレード搬送車２０６の受信機２２２は、制御ユニット１４からの制御信号（第１待機指示信号）を受信すると、これを制御装置２２０へと送る。制御装置２２０は、この制御信号（第１待機指示信号）に基づき車輪（走行機構）２１８等の動作を制御し、無人ブレード搬送車２０６を搬送通路６に沿って走行させる。

なお、図２１に示すように、無人ブレード搬送車２０６の制御装置２２０には、搬送通路６に設けられている情報提供部１０２ｂの情報を読み取るための読み取り機２５４が接続されている。そのため、読み取り機２５４によって情報提供部１０２ｂの情報を読み取ることで、制御装置２２０は、自身（無人ブレード搬送車２０６）の位置を確認できる。

制御装置２２０は、自身（無人ブレード搬送車２０６）がストックユニット２０８の傍に移動したことを確認すると、車輪２１８等を停止させる。また、制御装置２２０は、無人ブレード搬送車２０６がストックユニット２０８の傍で待機中である旨を通知するための通知信号（第１待機中信号）を生成する。制御装置２２０で生成された通知信号（第１待機中信号）は、送信機２２４から制御ユニット１４へと送信される。

制御ユニット１４の受信機１５４は、無人ブレード搬送車２０６の送信機２２４から送信された通知信号（第１待機中信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、無人ブレード搬送車２０６からの通知信号（第１待機中信号）を確認すると、ストックユニット２０８に対して、切削ブレード８２を無人ブレード搬送車２０６へと搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第１搬送指示信号）を生成し、送信機１５６からストックユニット２０８へと送信する。

ストックユニット２０８の受信機３４は、制御ユニット１４からの制御信号（第１搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置３２へと送る。制御装置３２は、この制御信号（第１搬送指示信号）に基づきブレード搬送アーム２１２等の動作を制御して、切削ブレード８２をブレードストッカー２１０から搬出し、無人ブレード搬送車２０６のシャシ２１４に載せる。具体的には、例えば、制御信号（第１搬送指示信号）を通じて制御ユニット１４から指示されたブレードケース２１６に切削ブレード８２を載せる。

無人ブレード搬送車２０６に切削ブレード８２が搬送されると、制御装置３２は、無人ブレード搬送車２０６への切削ブレード８２の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第１搬送完了信号）を生成する。制御装置３２で生成された通知信号（第１搬送完了信号）は、送信機３６から制御ユニット１４へと送信される。

制御ユニット１４の受信機１５４は、ストックユニット２０８の送信機３６から送信された通知信号（第１搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、ストックユニット２０８からの通知信号（第１搬送完了信号）を確認すると、無人ブレード搬送車２０６に対して、切削装置２０４の傍（切削ブレード８２を受け渡せる位置）に移動して待機するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第２待機指示信号）を生成し、送信機１５６から無人ブレード搬送車２０６へと送信する。

無人ブレード搬送車２０６の受信機２２２は、制御ユニット１４からの制御信号（第２待機指示信号）を受信すると、これを制御装置２２０へと送る。制御装置２２０は、この制御信号（第２待機指示信号）に基づき車輪２１８等の動作を制御して、無人ブレード搬送車２０６を搬送通路６に沿って走行させる。

制御装置２２０は、無人ブレード搬送車２０６が切削装置２０４の傍に移動したことを確認すると、車輪２１８等を停止させる。また、制御装置２２０は、無人ブレード搬送車２０６が切削装置２０４の傍で待機中である旨を通知するための通知信号（第２待機中信号）を生成する。制御装置２２０で生成された通知信号（第２待機中信号）は、送信機２２４から制御ユニット１４へと送信される。

制御ユニット１４の受信機１５４は、無人ブレード搬送車２０６の送信機２２４から送信された通知信号（第２待機中信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、無人ブレード搬送車２０６からの通知信号（第２待機中信号）を確認すると、切削装置２０４に対して、切削ブレード８２を無人ブレード搬送車２０６から搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第２搬送指示信号）を生成し、送信機１５６から切削装置２０４へと送信する。

切削装置２０４の受信機９８は、制御ユニット１４からの制御信号（第２搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置９６へと送る。制御装置９６は、この制御信号（第２搬送指示信号）に基づきブレード搬送アーム２３０等の動作を制御して、切削ブレード８２を無人ブレード搬送車２０６のシャシ２１４から搬出し、ブレード保持部２２８に受け渡す。具体的には、制御信号（第２搬送指示信号）を通じて制御ユニット１４から指示されるブレードケース２１６内の切削ブレード８２が搬出され、ブレード保持部２２８へと受け渡される。

切削装置２０４に切削ブレード８２が受け渡されると、例えば、制御装置９６は、切削装置２０４への切削ブレード８２の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第２搬送完了信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（第２搬送完了信号）は、送信機１００から制御ユニット１４へと送信される。このような手順により、ストックユニット２０８に収容されている切削ブレード８２を必要に応じて切削装置２０４に搬送できる。

その後、切削装置２０４は、例えば、上述したブレード保持部２２８からブレードチェンジャー２３２へと切削ブレード８２を受け渡す。そして、このブレードチェンジャー２３２によって、ブレード保持部２２８から受け取った切削ブレード８２と、切削ユニット８０に既に装着されている使用済みの切削ブレード８２とが交換される。

切削ユニット８０から取り外された使用済みの切削ブレード８２は、ブレード保持部２２８へと受け渡される。ブレード搬送アーム２３０は、ブレード保持部２２８に保持されている使用済みの切削ブレード８２を、待機中の無人ブレード搬送車２０６のシャシ２１４に載せる。この時、使用済みの切削ブレード８２は、例えば、制御装置９６によって指定されたブレードケース２１６へと載せられる。

無人ブレード搬送車２０６に使用済みの切削ブレード８２が搬送されると、制御装置９６は、無人ブレード搬送車２０６への使用済みの切削ブレード８２の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第３搬送完了信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（第３搬送完了信号）は、送信機１００から制御ユニット１４へと送信される。なお、この通知信号（第３搬送完了信号）には、使用済みの切削ブレード８２が載せられたブレードケース２１６の情報（ブレードケース２１６に対応する情報提供部２１４ｂの情報）が含まれる。

制御ユニット１４の受信機１５４は、切削装置２０４の送信機１００から送信された通知信号（第３搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、切削装置２０４からの通知信号（第３搬送完了信号）を確認すると、無人ブレード搬送車２０６に対して、ストックユニット２０８の傍に移動して待機するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第３待機指示信号）を生成し、送信機１５６から無人ブレード搬送車２０６へと送信する。

無人ブレード搬送車２０６の受信機２２２は、制御ユニット１４からの制御信号（第３待機指示信号）を受信すると、これを制御装置２２０へと送る。制御装置２２０は、この制御信号（第３待機指示信号）に基づき車輪２１８等の動作を制御して、無人ブレード搬送車２０６を搬送通路６に沿って走行させる。

制御装置２２０は、無人ブレード搬送車２０６がストックユニット２０８の傍に移動したことを確認すると、車輪２１８等を停止させる。また、制御装置２２０は、無人ブレード搬送車２０６がストックユニット２０８の傍で待機中である旨を通知するための通知信号（第３待機中信号）を生成する。制御装置２２０で生成された通知信号（第３待機中信号）は、送信機２２４から制御ユニット１４へと送信される。

制御ユニット１４の受信機１５４は、無人ブレード搬送車２０６の送信機２２４から送信された通知信号（第３待機中信号）を受信すると、これを制御部１５２へと送る。制御部１５２は、無人ブレード搬送車２０６からの通知信号（第３待機中信号）を確認すると、ストックユニット２０８に対して、使用済みの切削ブレード８２を無人ブレード搬送車２０６から搬出するように指示を出す。具体的には、制御部１５２は、この指示に相当する制御信号（第３搬送指示信号）を生成し、送信機１５６からストックユニット２０８へと送信する。

ストックユニット２０８の受信機３４は、制御ユニット１４からの制御信号（第３搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置３２へと送る。制御装置３２は、この制御信号（第３搬送指示信号）に基づきブレード搬送アーム２１２等の動作を制御して、使用済みの切削ブレード８２を無人ブレード搬送車２０６のシャシ２１４から搬出し、ブレードストッカー２１０に収容する。具体的には、制御信号（第３搬送指示信号）を通じて制御ユニット１４から指示されるブレードケース２１６内の切削ブレード８２が搬出され、ブレードストッカー２１０へと受け渡される。

このような手順により、ストックユニット２０８に収容されている切削ブレード８２を必要に応じて切削装置２０４に搬送し、また、切削装置２０４の切削ユニット８０から取り外された使用済みの切削ブレード８２を回収できる。なお、ここでは、切削ブレード８２を交換する作業の間に無人ブレード搬送車２０６をその場で待機させているが、例えば、この切削ブレード８２を交換する作業の間に、他の切削装置２０４に対して切削ブレード８２を搬送しても良い。

また、上述した手順は、切削ブレード８２を適切に搬送できる範囲内で変更できる。例えば、上述した手順に含まれている複数のステップを同時に行っても良いし、切削ブレード８２の搬送に支障が出ない範囲内でステップの順序を入れ替えても良い。同様に、切削ブレード８２の搬送に支障が出ない範囲内で任意のステップを追加、変更、省略して良い。

以上のように、本実施形態に係る搬送システム２０２は、複数の切削装置（加工装置）２０４に渡って設置される搬送通路６と、シャシ（ブレード保持部）２１４、車輪（走行機構）２１８、及び受信機２２２を備える無人ブレード搬送車２０６と、ブレード搬送アーム（ブレード搬送部）２１２、及び受信機３４を備えるストックユニット２０８と、を含んでいる。

そのため、ブレードストッカー２１０に収容されている切削ブレード８２をブレード搬送アーム２１２で無人ブレード搬送車２０６のシャシ２１４へと搬送し、この無人ブレード搬送車２０６を搬送通路６上で走行させることにより、複数の切削装置２０４のそれぞれに対して切削ブレード８２を搬送できる。また、本実施形態に係る搬送システム２０２では、搬送通路６が、切削装置２０４の真上の空間に設置される。そのため、この搬送通路６を設計する際に各切削装置２０４の側面の構造を考慮する必要がない。すなわち、搬送システム２０２の構築が容易になる。

（実施形態３）
本実施形態では、ストックユニット８及びストックユニット２０８とは異なる構造のストックユニットについて説明する。なお、本実施形態のストックユニットが組み込まれる搬送システム等の基本的な構成は、実施形態１及び実施形態２に係る搬送システム等と同じである。よって、共通する構成要素には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。

図２２は、本実施形態に係るストックユニット３０８の構成例を模式的に示す側面図であり、図２３は、ストックユニット３０８の内部の構造を模式的に示す平面図である。図２２に示すように、ストックユニット３０８は、各種の構成要素を収容する筐体３１６を含む。なお、図２２では、説明の便宜上、筐体３１６の輪郭のみが示されている。

筐体３１６内には、例えば、ボールねじ式の第１昇降機構（不図示）によって昇降する第１カセット保持台３１８が設けられている。第１カセット保持台３１８の上面には、複数の被加工物１１を収容できるカセット（被加工物ストッカー）２０が載せられる。なお、このカセット２０は、例えば、上述のように、テープ１３を介してフレーム１５に支持された状態の被加工物１１を収容する。

図２３に示すように、第１カセット保持台３１８（カセット２０）に対面する第１位置には、フレーム１５を把持して移動させる第１被加工物移動ユニット３２０が配置されている。第１被加工物移動ユニット３２０は、フレーム１５を上下に把持する把持部３２２と、把持部３２２を概ね水平な方向に移動させる駆動部３２４とを含む。

駆動部３２４の上面には、第１カセット保持台３１８に向かって概ね水平に伸びるスリット状の開口３２４ａが形成されており、駆動部３２４は、この開口３２４ａに沿う第１方向に把持部３２２を移動させる。つまり、把持部３２２は、第１カセット保持台３１８に対して接近し、又は第１カセット保持台３１８から離隔するように移動する。

そのため、例えば、カセット２０に収容されているフレーム１５の高さを第１昇降機構によって把持部３２２の高さに合わせ、把持部３２２を第１カセット保持台３１８に接近させれば、把持部３２２によってカセット２０内のフレーム１５を把持できる。また、把持部３２２によってカセット２０内のフレーム１５を把持した後に、把持部３２２を第１カセット保持台３１８から離隔させれば、フレーム１５をカセット２０の外部に引き出せる。

第１被加工物移動ユニット３２０の周囲には、カセット２０から搬出されたフレーム１５が仮置きされる第１仮置き台３２６が配置されている。第１仮置き台３２６は、それぞれ第１方向に長い一対のガイド部３２６ａと、第１方向に垂直かつ水平な第２方向に長い基部３２６ｂと、を含む。一対のガイド部３２６ａは、互いの長手方向が平行になるように基部３２６ｂを介して連結されている。第１被加工物移動ユニット３２０でカセット２０から引き出されたフレーム１５は、一対のガイド部３２６ａに載せられる。

第１仮置き台３２６は、この第１仮置き台３２６を第２方向に移動させる第１仮置き台移動部３２８によって支持されている。第１仮置き台移動部３２８は、第２方向に長いガイドレール３３０を備えている。ガイドレール３３０には、移動部材３３２がスライド可能に取り付けられている。

移動部材３３２には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、ガイドレール３３０に概ね平行なボールねじ（不図示）が螺合されている。ボールねじの一端には、パルスモータ３３４が連結されている。パルスモータ３３４でボールねじを回転させると、移動部材３３２は、ガイドレール３３０に沿って第２方向に移動する。

移動部材３３２の上部には、第１仮置き台３２６の基部３２６ｂが固定されている。そのため、第１仮置き台３２６は、移動部材３３２とともに第２方向に移動する。なお、第１仮置き台移動部３２８は、第１位置と、この第１位置の隣の第２位置との間で第１仮置き台３２６を移動させることができるように構成されている。

第２位置には、フレーム１５を把持して移動させる第２被加工物移動ユニット３３６が配置されている。つまり、第２被加工物移動ユニット３３６は、第１被加工物移動ユニット３２０の隣に配置されている。第２被加工物移動ユニット３３６の構造は、第１被加工物移動ユニット３２０の構造と同様である。

具体的には、第２被加工物移動ユニット３３６は、フレーム１５を上下に把持する把持部３３８と、把持部３３８を概ね水平な方向に移動させる駆動部３４０とを含む。駆動部３４０の上面には、第１方向に長いスリット状の開口３４０ａが形成されており、駆動部３４０は、この開口３４０ａに沿って把持部３３８を移動させる。

第２被加工物移動ユニット３３６の周囲には、第１仮置き台３２６と同様の構造を持つ第２仮置き台３４２が配置されている。つまり、第２仮置き台３４２は、それぞれ第１方向に長い一対のガイド部３４２ａと、第１方向に垂直かつ水平な第２方向に長い基部３４２ｂとを含む。一対のガイド部３４２ａは、互いの長手方向が平行になるように基部３４２ｂを介して連結されている。

第２仮置き台３４２は、この第２仮置き台３４２を第２方向及び鉛直方向に移動させる第２仮置き台移動部３４４によって支持されている。第２仮置き台移動部３４４は、第２方向に長いガイドレール３４６を備えている。ガイドレール３４６には、移動部材３４８がスライド可能に取り付けられている。

移動部材３４８には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、ガイドレール３４６に概ね平行なボールねじ（不図示）が螺合されている。ボールねじの一端には、パルスモータ３５０が連結されている。パルスモータ３５０でボールねじを回転させると、移動部材３４８は、ガイドレール３４６に沿って第２方向に移動する。

移動部材３４８の上部には、エアシリンダ等で構成される昇降機構３５２を介して第２仮置き台３４２の基部３４２ｂが固定されている。そのため、第２仮置き台３４２は、移動部材３４８及び昇降機構３５２とともに第２方向に移動し、昇降機構３５２によって昇降する。なお、第２仮置き台移動部３４４は、第２位置と、この第２位置の隣の第１位置との間で第２仮置き台３４２を移動させることができるように構成されている。

図２４は、第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とを第２方向に移動させて、第１仮置き台３２６の位置と第２仮置き台３４２の位置とを入れ替える様子を模式的に示す側面図である。第１仮置き台３２６の位置と第２仮置き台３４２の位置とを入れ替える際には、まず、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって上昇させる。具体的には、第２仮置き台３４２の下端の高さが第１仮置き台３２６の上端の高さよりも高くなる上昇位置に第２仮置き台３４２を位置付ける。

その後、第２仮置き台３４２を上昇位置に位置付けた状態で、第２仮置き台３４２を第２仮置き台移動部３４４によって第１位置側に移動させる。また、同様のタイミングで、第１仮置き台３２６を第１仮置き台移動部３２８によって第２位置側に移動させる。なお、図２４では、第１仮置き台３２６を第１位置から第２位置まで移動させ、第２仮置き台３４２を第２位置から第１位置まで移動させる様子を示している。

第１仮置き台３２６及び第２仮置き台３４２の移動が完了した後には、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって下降させ、第２仮置き台３４２の下端の高さが第１仮置き台３２６の下端の高さと概ね等しくなる基準位置に第２仮置き台３４２を位置付ける。このように、ストックユニット３０８では、第１仮置き台移動部３２８と第２仮置き台移動部３４４とによって、第１位置と第２位置との間で第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とを入れ替えるように移動させることができる。

第２被加工物移動ユニット３３６が配置されている第２位置と対面する位置には、ボールねじ式の第２昇降機構（不図示）によって昇降する第２カセット保持台３５４が設けられている。この第２カセット保持台３５４には、上述したカセット２８が載せられる。図２２に示すように、第２カセット保持台３５４の直上の領域には、筐体３１６の天井３１６ａを上下に貫通する開口３１６ｂが設けられている。この開口３１６ｂは、第２カセット保持台３５４に載せられるカセット２８を通過できる形状、大きさに形成されている。

第１カセット保持台３１８を昇降する第１昇降機構、第１被加工物移動ユニット３２０、第１仮置き台移動部３２８、第２被加工物移動ユニット３３６、第２仮置き台移動部３４４、昇降機構３５２、第２カセット保持台３５４を昇降する第２昇降機構等の構成要素には、ストックユニット３０８の動作を制御するための制御装置３６２が接続されている。制御装置３６２は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成され、記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置３６２の機能が実現される。

制御装置３６２には、更に、搬送システムの制御ユニット１４から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機３６４と、制御ユニット１４に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機３６６とが接続されている。制御装置３６２は、受信機３６４で受信した信号に基づきストックユニット３０８の動作を制御する。また、制御装置３６２は、送信機３６６を通じて必要な信号を制御ユニット１４に送信する。

次に、本実施形態に係るストックユニット３０８の動作を説明する。図２５（Ａ）、図２５（Ｂ）、図２６（Ａ）、及び図２６（Ｂ）は、ストックユニット３０８の動作の例を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態では、第１仮置き台３２６が第１位置に位置付けられ、第２仮置き台３４２が第２位置に位置付けられている場合の動作について説明するが、第１仮置き台３２６が第２位置に位置付けられ、第２仮置き台３４２が第１位置に位置付けられている場合の動作も同様である。

例えば、ストックユニット８の上方の搬送ユニット１２ｂは、加工後の被加工物１１が収容されているカセット２８を第２カセット保持台３５４に載せる。なお、第１カセット保持台３１８には、加工前の被加工物１１（フレーム１５）が収容されているカセット２０を予め載せておく。

その後、図２５（Ａ）に示すように、第１カセット保持台３１８上のカセット２０に対して把持部３２２を接近させ、カセット２０に収容されているフレーム１５を把持部３２２で把持する。同様のタイミングで、第２カセット保持台３５４上のカセット２８に対して把持部３３８を接近させ、カセット２８に収容されているフレーム１５を把持部３３８で把持する。

カセット２０内のフレーム１５を把持部３２２で把持した後には、図２５（Ｂ）に示すように、把持部３２２を第１カセット保持台３１８から離隔させる。同様に、カセット２８内のフレーム１５を把持部３３８で把持した後には、図２５（Ｂ）に示すように、把持部３３８を第２カセット保持台３５４から離隔させる。これにより、加工前の被加工物１１がカセット２０から第１仮置き台３２６に引き出され、加工後の被加工物１１がカセット２８から第２仮置き台３４２に引き出される。

次に、図２６（Ａ）に示すように、第１位置と第２位置との間で第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とを入れ替えるように移動させる。すなわち、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって上昇させ、上昇位置に位置付ける。そして、第２仮置き台３４２を第２方向に沿って第１位置側に移動させる。

また、同様のタイミングで、第１仮置き台３２６を第２方向に沿って第２位置側に移動させる。第１仮置き台３２６及び第２仮置き台３４２の移動が完了した後には、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって下降させ、基準位置に位置付ける。その結果、第１仮置き台３２６が第２カセット保持台３５４と対面する第２位置に位置付けられ、第２仮置き台３４２が第１カセット保持台３１８と対面する第１位置に位置付けられる。

その後、図２６（Ｂ）に示すように、第１仮置き台３２６上のフレーム１５を把持部３３８で把持し、第２カセット保持台３５４上のカセット２８に対して把持部３３８を接近させる。これにより、加工前の被加工物１１を支持する第１仮置き台３２６上のフレーム１５が第２カセット保持台３５４上のカセット２８に収容される。

同様のタイミングで、第２仮置き台３４２上のフレーム１５を把持部３２２で把持し、第１カセット保持台３１８上のカセット２０に対して把持部３３８を接近させる。これにより、加工後の被加工物１１を支持する第２仮置き台３４２上のフレーム１５が第１カセット保持台３１８上のカセット２０に収容される。

搬送ユニット１２ｂは、第１仮置き台３２６上のフレーム１５が第２カセット保持台３５４上のカセット２８に収容された後に、このカセット２８を第２カセット保持台３５４から搬送する。以上により、無人被加工物搬送車１０からストックユニット３０８に加工後の被加工物１１を搬送し、ストックユニット３０８から無人被加工物搬送車１０に加工前の被加工物１１を搬送できる。

なお、第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とは同じ機能を備えており、カセット２０から搬出されるフレーム１５は、第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とのいずれに対しても仮置きされ得る。例えば、第２仮置き台３４２が第１位置に位置付けられている場合には、カセット２０から搬出されるフレーム１５は、第２仮置き台３４２に仮置きされることになる。

また、上述した第１被加工物移動ユニット３２０は、第１位置に位置付けられた第１仮置き台３２６又は第２仮置き台３４２と、第１カセット保持台３１８（カセット２０）との間で被加工物１１を移動させる。同様に、第２被加工物移動ユニット３３６は、第２位置に位置付けられた第２仮置き台３４２又は第１仮置き台３２６と、第２カセット保持台３５４（カセット２８）との間で被加工物１１を移動させる。

なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上述した実施形態の搬送システム２では、搬送ユニット（カセット搬送ユニット）１２が切削装置４及びストックユニット８の上方に配置されているが、搬送ユニット１２に相当する機能を持つリフト機構等が、無人被加工物搬送車１０に設けられても良い。

この場合、カセット２８は、無人被加工物搬送車１０が備えるリフト機構によって、切削装置４のカセット保持台５０又はストックユニット８の第２カセット保持台２６と、無人被加工物搬送車１０のシャシ３８と、の間で搬送される。リフト機構の動作は、無人被加工物搬送車１０（制御装置４２）によって制御されても良いし、制御ユニット１４によって制御されても良い。

また、上述した実施形態の切削装置２０４には、切削ブレード８２を昇降させるためのブレード昇降機構２２６を設けているが、搬送通路６や無人ブレード搬送車２０６に対してブレード昇降機構を取り付けても良い。この場合には、切削装置にブレード昇降機構を設ける場合等に比べて搬送システムの汎用性が高くなる。

また、搬送通路６は、２台の無人被加工物搬送車１０等が行き違うためのスペース（待機領域）を有していても良い。更に、搬送通路６は、無人被加工物搬送車１０等の一方向への走行のみを許容する、いわゆる一方通行に設定されても良い。この場合には、切削装置（加工装置）の上に、往路用の搬送通路６と、復路用の搬送通路６とを設けても良い。

また、上述した実施形態では、識別コードや無線タグ等の情報提供部１０２ｂを通路部１０２に設けているが、情報提供部をガイド部１０４に対して取り付けることもできる。この場合には、例えば、ガイド部１０４の内側の壁面や上端部等に情報提供部を取り付けると良い。

その他、上述した実施形態や変形例等に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ ：搬送システム
４ ：切削装置（加工装置）
４ａ ：切削装置（加工装置）
４ｂ ：切削装置（加工装置）
６ ：搬送通路
６ａ ：通路モジュール
６ｂ ：通路モジュール
６ｃ ：通路モジュール
８ ：ストックユニット
１０ ：無人被加工物搬送車（無人搬送車）
１０ａ ：無人被加工物搬送車（無人搬送車）
１０ｂ ：無人被加工物搬送車（無人搬送車）
１０ｃ ：無人被加工物搬送車（無人搬送車）
１２ ：搬送ユニット（カセット搬送ユニット）
１２ａ ：搬送ユニット（カセット搬送ユニット）
１２ｂ ：搬送ユニット（カセット搬送ユニット）
１４ ：制御ユニット
１６ ：筐体
１６ａ ：天井
１６ｂ ：開口
１８ ：第１カセット保持台
２０ ：カセット（被加工物ストッカー）
２２ ：プッシュプルアーム
２４ ：ガイドレール
２６ ：第２カセット保持台
２８ ：カセット（搬送用カセット）
３２ ：制御装置
３４ ：受信機
３６ ：送信機
３８ ：シャシ（カセット保持部）
３８ａ ：凹部
４０ ：車輪（走行機構）
４２ ：制御装置
４４ ：受信機
４６ ：送信機
９６ ：制御装置
９８ ：受信機
１００ ：送信機
１１８ ：箱体
１１８ａ ：開口
１２０ ：底板
１２２ ：側板
１２４ ：側板
１２６ ：天板
１２８ ：棚板
１３０ ：棚板
１３２ ：支柱
１３４ ：被保持プレート
１４０ ：支持構造
１４２ ：ガイド部
１４４ ：第１移動部
１４６ ：第２移動部
１４８ ：カセット保持ハンド
１５０ ：カセット保持爪
１５２ ：制御部
１５４ ：受信機
１５６ ：送信機
１５８ ：読み取り機
１１ ：被加工物
１３ ：テープ
１５ ：フレーム
２１ ：配管
Ａ ：棚
Ｂ ：棚
Ｃ ：棚
Ｄ ：棚

Claims (4)

1. 複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送する搬送システムであって、
   複数の該加工装置に渡って該加工装置の真上の空間に設置される搬送通路と、
   該被加工物の加工の進捗状況に応じて選択的に使用され各々が１枚の該被加工物を支持できる複数の棚を備えたカセットを保持するカセット保持部、該カセット保持部に設けられた走行機構、及び制御信号を受信する受信機を備え、該搬送通路を走行する無人搬送車と、
   該被加工物が収容された被加工物ストッカーから該カセットに対して該被加工物を受け渡す際に該カセットを保持するカセット保持台、及び制御信号を受信する受信機を備えるストックユニットと、
   該ストックユニットの上方で待機している該無人搬送車の該カセット保持部と該ストックユニットの該カセット保持台との間、又は、該加工装置の上方で待機している該無人搬送車の該カセット保持部と該加工装置の内部との間で該カセットを搬送する複数のカセット搬送ユニットと、
   該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに制御信号を送信する送信機、該加工装置から送信される通知信号を受信する受信機、及び該送信機から送信される制御信号を生成する制御信号生成部を備える制御ユニットと、を含み、
   該制御ユニットの該制御信号生成部は、該制御ユニットの該受信機が受信した通知信号に基づき該制御ユニットの該送信機から送信される制御信号を生成し、
   該制御ユニットの該送信機は、該制御ユニットの該制御信号生成部で生成された制御信号を、該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに送信し、
   該無人搬送車は、該受信機で受信した制御信号に基づき該搬送通路上で走行し、該カセット保持部で保持する該カセットを該加工装置へと搬送することを特徴とする搬送システム。
2. 該搬送通路は、該加工装置の上面に設置されることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
3. 該搬送通路は、該加工装置に対して吸着する吸着部を有する脚部を備え、該吸着部によって該加工装置に固定されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送システム。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載された搬送システムと、複数の該加工装置と、を用いて該被加工物の加工の進捗状況を管理する管理方法であって、
   該加工装置は、加工後の該被加工物を該カセットへと搬入する際に、未加工の該被加工物が支持されていた該棚とは別の該棚に加工後の被加工物を搬入し、
   複数の該棚の使用の状態に基づき該被加工物の加工の進捗状況を管理することを特徴とする管理方法。

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