JP2016127097A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カセット載置部(10)には、被加工物(11)が収容された第1のカセット(12)と、被加工物が収容されていない第2のカセット(14)と、が載置され、第1のカセットから搬出された被加工物をアライメント手段(44)で撮像し、検出される所定の画像に基づいて被加工物を加工手段(42)で加工してから第1のカセットに収容する一方で、第1のカセットから搬出された被加工物をアライメント手段で撮像しても所定の画像が検出されない場合には、被加工物を加工手段で加工せず第2のカセットに収容する構成とした。
【選択図】図1
Description
4 基台
6 基部
6a 突設部
8 壁部
8a 支持アーム
10 カセット載置台(カセット載置部)
12 第1のカセット
12a,12b 側板
12c 上板
12d 下板
12e 背板
12f 開口
12g,12h 棚板
14 第2のカセット
14a,14b 側板
14c 上板
14d 下板
14e 背板
14f 開口
14g,14h 棚板
16 仮置き機構
16a,16b ガイドレール
18 チャックテーブル
18a 保持面
20 クランプ
22 Y軸移動機構
24 Y軸ガイドレール
26 Y軸移動テーブル
28 Y軸ボールネジ
30 Y軸パルスモータ
32 X軸移動機構
34 X軸ガイドレール
36 X軸移動テーブル
38 X軸ボールネジ
40 支持台
42 レーザー加工ユニット(加工手段)
44 カメラ(アライメント手段)
46 洗浄機構
48 スピンナテーブル
50 噴射ノズル
52 搬送機構(搬出手段、収容手段)
54 制御装置(制御手段)
11 被加工物
13 デバイス
15 識別コード
17 ダイシングテープ
19 フレーム
Claims (3)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像して検出される所定の画像に基づいて加工すべき領域を特定するアライメント手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、複数の被加工物を収容するカセットが載置されるカセット載置部と、該カセット載置部に載置された該カセットから該チャックテーブルへ被加工物を搬送する搬出手段と、該チャックテーブルから搬送された被加工物を該カセットに収容する収容手段と、各構成要素を制御する制御手段と、を備える加工装置であって、
該カセット載置部には、被加工物が収容された第1のカセットと、被加工物が収容されていない第2のカセットと、が載置され、
該第1のカセットから搬出された被加工物を該アライメント手段で撮像し、検出される該所定の画像に基づいて該被加工物を該加工手段で加工してから該第1のカセットに収容する一方で、該第1のカセットから搬出された被加工物を該アライメント手段で撮像しても該所定の画像が検出されない場合には、該被加工物を該加工手段で加工せず該第2のカセットに収容することを特徴とする加工装置。 - 被加工物に形成された識別コードを読み取る識別コード読み取り手段を更に備え、
該第1のカセットから搬出された被加工物の該識別コードを該識別コード読み取り手段で読み取っても所定の識別コードが検出されない場合には、該被加工物を該加工手段で加工せず該第2のカセットに収容することを特徴とする請求項1に記載の加工装置。 - 該カセットは、それぞれ1枚の被加工物が収容される複数の棚を備え、
該第1のカセットの任意の棚から搬出された被加工物を該第2のカセットに収容する場合には、該被加工物を該第1のカセットの該任意の棚に対応する該第2のカセットの棚に収容することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の加工装置。
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