KR20190076855A - 절삭 장치 - Google Patents

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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 생산성이 양호한 절삭 장치를 제공한다.
(해결 수단) 절삭 장치 (2) 는, 피가공물을 유지하는 제 1 유지 수단 (4a) 및 제 2 유지 수단 (4b) 과, 제 1 유지 수단 (4a) 을 X 축 방향으로 가공 이송하는 제 1 가공 이송 수단 (6a) 과, 제 1 가공 이송 수단 (6a) 과 인접하여 제 2 유지 수단 (4b) 을 X 축 방향으로 가공 이송하는 제 2 가공 이송 수단 (6b) 과, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지된 피가공물을 절삭하는 제 1 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비한 제 1 절삭 수단 (30a) 과, 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지된 피가공물을 절삭하는 제 2 절삭 블레이드 (28b) 를 회전 가능하게 구비한 제 2 절삭 수단 (30b) 과, 제 1 절삭 수단 (30a) 을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 제 1 산출 이송 수단 (32a) 과, 제 2 절삭 블레이드 (28b) 를 제 1 절삭 블레이드에 대치시키고 제 2 절삭 수단 (30b) 을 Y 축 방향으로 산출 이송하는 제 2 산출 이송 수단 (32b) 과, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지되는 피가공물을 복수 수용한 제 1 카세트 (56a) 와 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지되는 피가공물을 복수 수용한 제 2 카세트 (56b) 를 X 축 방향으로 인접하여 위치시키는 카세트 테이블 (58) 과, 카세트 테이블 (58) 을 X 축 방향과 Y 축 방향에 직교하는 Z 축 방향으로 승강시키는 승강 수단과, 카세트 테이블 (58) 에 재치된 제 1 카세트 (56a) 및 제 2 카세트 (56b) 에 인접하여 위치되어지고 피가공물을 임시 수용하는 임시 수용 테이블 (62) 과, 제 1 카세트 (56a) 및 제 2 카세트 (56b) 로부터 피가공물을 꺼내어 임시 수용 테이블 (62) 로 피가공물을 반송하는 제 1 반송 수단 (80) 과, 임시 수용 테이블 (62) 로 반송된 피가공물을 유지하여 제 1 유지 수단 (4a) 및 제 2 유지 수단 (4b) 으로 피가공물을 반송하는 제 2 반송 수단 (82) 과, 절삭 완료된 피가공물을 세정하는 세정 수단 (84) 과, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지된 절삭 완료된 피가공물 및 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지된 절삭 완료된 피가공물을 유지하여 세정 수단 (84) 으로 피가공물을 반송하는 제 3 반송 수단 (86) 으로 적어도 구성된다.

Description

절삭 장치{CUTTING APPARATUS}
본 발명은 판상의 피가공물을 절삭하는 절삭 장치에 관한 것이다.
IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 분할 예정 라인에 의해 구획되고 표면에 형성된 웨이퍼는, 다이싱 장치에 의해 개개의 디바이스로 분할되고, 분할된 각 디바이스는 휴대전화, 퍼스널 컴퓨터 등의 전기 기기에 이용된다.
다이싱 장치는, 카세트에 수용된 웨이퍼를 임시 수용 테이블로 반출하여 위치시키고, 임시 수용 테이블로부터 척 테이블까지 웨이퍼를 반송하여, 척 테이블에서 유지된 웨이퍼를 촬상하여 분할 예정 라인을 검출하고, 검출한 분할 예정 라인을 절삭 수단에 의해 절삭하여 웨이퍼를 개개의 디바이스로 분할하고, 개개의 디바이스로 분할한 웨이퍼를 세정 수단에 의해 세정하고, 세정이 끝난 웨이퍼를 카세트에 수용하는 기능을 가지고 있다 (예를 들어 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 평5-315444호
그러나 상기 특허문헌 1 에 개시된 절삭 장치에서는, 웨이퍼를 절삭하고 있을 때에, 임시 수용 테이블 및 세정 수단의 가동은 정지되어 있어, 반드시 생산성이 양호하다고는 할 수 없다.
상기 사실을 감안하여 이루어진 본 발명의 과제는, 생산성이 양호한 절삭 장치를 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명이 제공하는 것은 이하의 절삭 장치이다. 즉, 판상의 피가공물을 절삭하는 절삭 장치로서, 피가공물을 유지하는 제 1 유지 수단 및 제 2 유지 수단과, 그 제 1 유지 수단을 X 축 방향으로 가공 이송하는 제 1 가공 이송 수단과, 그 제 1 가공 이송 수단과 인접하여 그 제 2 유지 수단을 X 축 방향으로 가공 이송하는 제 2 가공 이송 수단과, 그 제 1 유지 수단에 유지된 피가공물을 절삭하는 제 1 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비한 제 1 절삭 수단과, 그 제 2 유지 수단에 유지된 피가공물을 절삭하는 제 2 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비한 제 2 절삭 수단과, 그 제 1 절삭 수단을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 제 1 산출 이송 수단과, 그 제 2 절삭 블레이드를 그 제 1 절삭 블레이드에 대치시키고 그 제 2 절삭 수단을 Y 축 방향으로 산출 이송하는 제 2 산출 이송 수단과, 그 제 1 유지 수단에 유지되는 피가공물을 복수 수용한 제 1 카세트와 그 제 2 유지 수단에 유지되는 피가공물을 복수 수용한 제 2 카세트를 X 축 방향으로 인접하여 위치시키는 카세트 테이블과, 그 카세트 테이블을 X 축 방향과 Y 축 방향에 직교하는 Z 축 방향으로 승강시키는 승강 수단과, 그 카세트 테이블에 재치 (載置) 된 제 1 카세트 및 제 2 카세트에 인접하여 위치되어지고 피가공물을 임시 수용하는 임시 수용 테이블과, 제 1 카세트 및 제 2 카세트로부터 피가공물을 꺼내어 그 임시 수용 테이블로 피가공물을 반송하는 제 1 반송 수단과, 그 임시 수용 테이블로 반송된 피가공물을 유지하여 그 제 1 유지 수단 및 그 제 2 유지 수단으로 피가공물을 반송하는 제 2 반송 수단과, 절삭 완료된 피가공물을 세정하는 세정 수단과, 그 제 1 유지 수단에 유지된 절삭 완료된 피가공물 및 그 제 2 유지 수단에 유지된 절삭 완료된 피가공물을 유지하여 그 세정 수단으로 피가공물을 반송하는 제 3 반송 수단으로 적어도 구성된 절삭 장치이다.
바람직하게는, 그 임시 수용 테이블은, Y 축 방향으로 연장됨과 함께 X 축 방향으로 개폐되는 1 쌍의 가이드 레일로 구성되고, 제 1 카세트 및 제 2 카세트에 선택적으로 임시 수용 테이블을 위치시키는 위치 결정 수단에 배치 형성되고, 그 제 1 반송 수단이 제 1 카세트로부터 피가공물을 꺼낼 때, 그 임시 수용 테이블은 제 1 카세트에 위치되어지고, 그 제 2 반송 수단은 그 임시 수용 테이블로 반송된 피가공물을 유지하여 그 임시 수용 테이블을 구성하는 1 쌍의 가이드 레일이 열리고 그 임시 수용 테이블의 바로 아래에 위치되어진 그 제 1 유지 수단으로 피가공물을 반송한다. 그 제 2 반송 수단은, 피가공물을 흡인 유지하는 흡인 패드와, 그 흡인 패드를 지지하는 지지부와, 그 지지부를 X 축 방향, Y 축 방향, Z 축 방향으로 이동시키는 구동부를 구비하고, 그 제 1 반송 수단은, 피가공물을 파지 (把持) 하는 파지부와, 그 파지부를 작용 위치와 비작용 위치에 선택적으로 위치시키는 선택부와, 그 선택부를 그 제 2 반송 수단의 그 지지부에 연결하는 연결부를 구비하고, 그 제 2 반송 수단의 그 구동부에 의해 X 축 방향, Y 축 방향, Z 축 방향으로 그 제 1 반송 수단이 이동되는 것이 바람직하다. 그 제 3 반송 수단은, 피가공물을 흡인 유지하는 흡인편과, 그 흡인편을 지지하는 지지편과, 그 지지편을 Y 축 방향, Z 축 방향으로 이동시키는 구동 기구를 구비하고, 그 제 1 유지 수단 및 그 제 2 유지 수단에 유지된 절삭 완료된 피가공물을 유지하여 그 세정 수단으로 피가공물을 반송하는 것이 바람직하다. 그 세정 수단에 의해 세정된 피가공물은 그 제 2 반송 수단에 의해 그 임시 수용 테이블까지 반송되고, 그 임시 수용 테이블로 반송된 피가공물은 그 제 1 반송 수단에 의해 소정의 카세트에 수용되는 것이 바람직하다.
본 발명이 제공하는 절삭 장치는, 피가공물을 유지하는 제 1 유지 수단 및 제 2 유지 수단과, 그 제 1 유지 수단을 X 축 방향으로 가공 이송하는 제 1 가공 이송 수단과, 그 제 1 가공 이송 수단과 인접하여 그 제 2 유지 수단을 X 축 방향으로 가공 이송하는 제 2 가공 이송 수단과, 그 제 1 유지 수단에 유지된 피가공물을 절삭하는 제 1 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비한 제 1 절삭 수단과, 그 제 2 유지 수단에 유지된 피가공물을 절삭하는 제 2 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비한 제 2 절삭 수단과, 그 제 1 절삭 수단을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 제 1 산출 이송 수단과, 그 제 2 절삭 블레이드를 그 제 1 절삭 블레이드에 대치시키고 그 제 2 절삭 수단을 Y 축 방향으로 산출 이송하는 제 2 산출 이송 수단과, 그 제 1 유지 수단에 유지되는 피가공물을 복수 수용한 제 1 카세트와 그 제 2 유지 수단에 유지되는 피가공물을 복수 수용한 제 2 카세트를 X 축 방향으로 인접하여 위치시키는 카세트 테이블과, 그 카세트 테이블을 X 축 방향과 Y 축 방향에 직교하는 Z 축 방향으로 승강시키는 승강 수단과, 그 카세트 테이블에 재치된 제 1 카세트 및 제 2 카세트에 인접하여 위치되어지고 피가공물을 임시 수용하는 임시 수용 테이블과, 제 1 카세트 및 제 2 카세트로부터 피가공물을 꺼내어 그 임시 수용 테이블로 피가공물을 반송하는 제 1 반송 수단과, 그 임시 수용 테이블로 반송된 피가공물을 유지하여 그 제 1 유지 수단 및 그 제 2 유지 수단으로 피가공물을 반송하는 제 2 반송 수단과, 절삭 완료된 피가공물을 세정하는 세정 수단과, 그 제 1 유지 수단에 유지된 절삭 완료된 피가공물 및 그 제 2 유지 수단에 유지된 절삭 완료된 피가공물을 유지하여 그 세정 수단으로 피가공물을 반송하는 제 3 반송 수단으로 적어도 구성되어 있기 때문에, 임시 수용 테이블과 세정 수단의 가동률이 2 배가 되어 생산성이 향상된다.
도 1 은 본 발명에 따라서 구성된 절삭 장치의 사시도이다.
도 2 는 도 1 에 나타내는 절삭 장치의 일부 사시도이다.
도 3 은 도 1 에 나타내는 제 1 절삭 수단 및 제 2 절삭 수단의 사시도이다.
도 4 는 도 1 에 나타내는 카세트 테이블, 카세트 및 임시 수용 테이블의 사시도이다.
도 5 는 도 1 에 나타내는 제 1 반송 수단 및 제 2 반송 수단의 사시도이다.
도 6 은 도 1 에 나타내는 제 3 반송 수단의 사시도이다.
도 7 은 제 1 유지 수단의 상방에 임시 수용 테이블이 위치하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 8 은 제 1 반송 공정이 실시되고 있는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 9 는 제 1 반송 공정이 실시된 상태를 나타내는 사시도이다.
도 10 은 제 2 반송 공정이 실시되고 있는 상태를 나타내는 사시도이다.
이하, 본 발명에 따라서 구성된 절삭 장치의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1 및 도 2 에 전체를 부호 2 로 나타내는 절삭 장치는, 피가공물을 유지하는 제 1 유지 수단 (4a) 및 제 2 유지 수단 (4b) 과, 제 1 유지 수단 (4a) 을 도 1 에 화살표 X 로 나타내는 X 축 방향으로 가공 이송하는 제 1 가공 이송 수단 (6a) 과, 제 1 가공 이송 수단 (6a) 과 인접하여 제 2 유지 수단 (4b) 을 X 축 방향으로 가공 이송하는 제 2 가공 이송 수단 (6b) 을 구비한다. 도 2 를 참조하여 설명하면, 제 1 유지 수단 (4a) 은, X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 기대 (8) 에 탑재된 제 1 의 X 축 방향 가동판 (10a) 과, 제 1 의 X 축 방향 가동판 (10a) 의 상면에 고정된 제 1 지주 (支柱) (12a) 와, 제 1 지주 (12a) 의 상단에 자유롭게 회전할 수 있도록 탑재된 제 1 척 테이블 (14a) 을 포함한다. 제 1 척 테이블 (14a) 은, 제 1 지주 (12a) 에 내장된 제 1 척 테이블용 모터 (도시 생략) 에 의해 회전된다. 또, 제 1 척 테이블 (14a) 의 상단 부분에는, 흡인 수단 (도시 생략) 에 접속된 다공질의 제 1 흡착 척 (16a) 이 배치되어 있다. 그리고 제 1 유지 수단 (4a) 에 있어서는, 흡인 수단으로 제 1 흡착 척 (16a) 의 상면에 흡인력을 생성함으로써, 피가공물을 흡착하여 유지할 수 있다. 또, 제 2 유지 수단 (4b) 은, 제 1 의 X 축 방향 가동판 (10a) 과 인접하여 X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 기대 (8) 에 탑재된 제 2 의 X 축 방향 가동판 (10b) 과, 제 2 의 X 축 방향 가동판 (10b) 의 상면에 고정된 제 2 지주 (12b) 와, 제 2 지주 (12b) 의 상단에 자유롭게 회전할 수 있도록 탑재된 제 2 척 테이블 (14b) 을 포함한다. 제 2 척 테이블 (14b) 은, 제 2 지주 (12b) 에 내장된 제 2 척 테이블용 모터 (도시 생략) 에 의해 회전된다. 또, 제 2 척 테이블 (14b) 의 상단 부분에는, 흡인 수단 (도시 생략) 에 접속된 다공질의 제 2 흡착 척 (16b) 이 배치되어 있다. 그리고 제 2 유지 수단 (4b) 에 있어서는, 흡인 수단으로 제 2 흡착 척 (16b) 의 상면에 흡인력을 생성함으로써, 피가공물을 흡착하여 유지할 수 있다. 또한, 도 1 에 화살표 Y 로 나타내는 Y 축 방향은 X 축 방향과 직교하는 방향이고, 도 1 에 화살표 Z 로 나타내는 Z 축 방향은 X 축 방향과 Y 축 방향의 각각에 직교하는 방향이다. 또, X 축 방향 및 Y 축 방향이 규정하는 평면은 실질상 수평이다.
도 2 를 참조하여 설명을 계속하면, 제 1 가공 이송 수단 (6a) 은, 제 1 의 X 축 방향 가동판 (10a) 에 연결되고 X 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (18a) 와, 볼 나사 (18a) 의 편단부 (片端部) 에 연결된 모터 (20a) 를 갖는다. 그리고 제 1 가공 이송 수단 (6a) 은, 볼 나사 (18a) 에 의해 모터 (20a) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 제 1 의 X 축 방향 가동판 (10a) 에 전달하고, 기대 (8) 상의 제 1 안내 레일 (8a) 을 따라 제 1 의 X 축 방향 가동판 (10a) 을 X 축 방향으로 가공 이송한다. 또, 제 2 가공 이송 수단 (6b) 은, 제 2 의 X 축 방향 가동판 (10b) 에 연결되고 X 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (18b) 와, 볼 나사 (18b) 의 편단부에 연결된 모터 (20b) 를 갖고, 제 1 안내 레일 (8a) 과 인접하여 기대 (8) 상에 설치된 제 2 안내 레일 (8b) 을 따라, 제 2 의 X 축 방향 가동판 (10b) 을 X 축 방향으로 가공 이송한다.
도 2 및 도 3 을 참조하여 설명한다. 도시한 실시형태에서는 도 2 에 나타내는 바와 같이, 제 1 가공 이송 수단 (6a) 및 제 2 가공 이송 수단 (6b) 에 걸쳐서 문형 (門型) 의 지지 프레임 (22) 이 기대 (8) 에 형성되어 있다. 지지 프레임 (22) 은, Y 축 방향으로 간격을 두고 기대 (8) 의 상면으로부터 상방으로 연장되는 1 쌍의 지주 (24) 와, 지주 (24) 의 상단 사이에 걸쳐서 놓이고 Y 축 방향으로 연장되는 들보 (26) 를 갖는다. 들보 (26) 의 편면 (도 2 에 있어서의 배면) 에는, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지된 피가공물을 절삭하는 제 1 절삭 블레이드 (도시 생략) 를 회전 가능하게 구비한 제 1 절삭 수단 (30a) 과, 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지된 피가공물을 절삭하는 제 2 절삭 블레이드 (28b) 를 회전 가능하게 구비한 제 2 절삭 수단 (30b) 과, 제 1 절삭 수단 (30a) 을 Y 축 방향으로 산출 이송하는 제 1 산출 이송 수단 (32a) (도 3 참조) 과, 제 2 절삭 블레이드 (28b) 를 제 1 절삭 블레이드에 대치시키고 제 2 절삭 수단 (30b) 을 Y 축 방향으로 산출 이송하는 제 2 산출 이송 수단 (32b) (도 3 참조) 이 장착되어 있다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 제 1 절삭 수단 (30a) 은, Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 들보 (26) 의 편면에 지지되는 사각형 형상의 제 1 산출 이송편 (34a) 과, Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 제 1 산출 이송편 (34a) 에 지지된 단면 L 자상의 제 1 절입 (切入) 이송편 (36a) 과, 제 1 절입 이송편 (36a) 의 하단에 고정된 제 1 스핀들 하우징 (38a) 을 갖는다. 제 1 스핀들 하우징 (38a) 에는, Y 축 방향으로 연장되는 축선을 중심으로 하여 회전 가능하게 스핀들 (도시 생략) 이 지지되고 있음과 함께, 스핀들을 회전시키는 스핀들용 모터 (도시 생략) 가 지지되고 있다. 그리고 제 1 절삭 블레이드는, 제 1 스핀들 하우징 (38a) 에 지지된 스핀들의 선단에 고정되어 있다. 또, 제 1 스핀들 하우징 (38a) 에는, 절삭수 공급 수단 (도시 생략) 에 접속된 제 1 절삭수 공급 노즐 (도시 생략) 이 형성되어 있어, 제 1 절삭 블레이드로 피가공물을 절삭할 때에 제 1 절삭수 공급 노즐로부터 절삭수가 공급된다. 또, 제 2 절삭 수단 (30b) 은, 제 1 절삭 수단 (30a) 과 마찬가지로, Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 들보 (26) 의 편면에 지지되는 사각형 형상의 제 2 산출 이송편 (34b) 과, Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 제 2 산출 이송편 (34b) 에 지지된 단면 L 자상의 제 2 절입 이송편 (36b) 과, 제 2 절입 이송편 (36b) 의 하단에 고정된 제 2 스핀들 하우징 (38b) 을 갖는다. 제 2 스핀들 하우징 (38b) 에는, Y 축 방향으로 연장되는 축선을 중심으로 하여 회전 가능하게 스핀들 (도시 생략) 이 지지되고 있음과 함께, 스핀들을 회전시키는 스핀들용 모터 (도시 생략) 가 지지되고 있다. 그리고 제 2 절삭 블레이드 (28b) 는, 제 2 스핀들 하우징 (38b) 에 지지된 스핀들의 선단에 고정되고, 제 1 절삭 블레이드와 대면하고 있다. 또, 제 2 스핀들 하우징 (38b) 에는, 절삭수 공급 수단 (도시 생략) 에 접속된 제 2 절삭수 공급 노즐 (39b) 이 형성되어 있어, 제 2 절삭 블레이드 (28b) 로 피가공물을 절삭할 때에 제 2 절삭수 공급 노즐 (39b) 로부터 절삭수가 공급된다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 제 1 산출 이송 수단 (32a) 은, 제 1 산출 이송편 (34a) 에 연결되고 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (40a) 와, 볼 나사 (40a) 의 편단부에 연결된 모터 (42a) 를 갖고, 들보 (26) 의 편면에 부설된 안내 레일 (도시 생략) 을 따라 제 1 산출 이송편 (34a) 을 Y 축 방향으로 산출 이송한다. 또, 제 2 산출 이송 수단 (32b) 은, 제 2 산출 이송편 (34b) 에 연결되고 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (40b) 와, 볼 나사 (40b) 의 편단부에 연결된 모터 (42b) 를 갖고, 들보 (26) 의 편면에 부설된 안내 레일 (도시 생략) 을 따라 제 2 산출 이송편 (34b) 을 Y 축 방향으로 산출 이송한다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 제 1 절입 이송편 (36a) 은, 제 1 절입 이송편 (36a) 에 연결되고 Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (도시 생략) 와, 이 볼 나사의 편단부에 연결된 모터 (44a) 를 갖는 제 1 절입 이송 수단 (46a) 에 의해 Z 축 방향으로 절입 이송 (승강) 된다. 또, 제 2 절입 이송편 (36b) 은, 제 2 절입 이송편 (36b) 에 연결되고 Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (도시 생략) 와, 이 볼 나사의 편단부에 연결된 모터 (44b) 를 갖는 제 2 절입 이송 수단 (46b) 에 의해 Z 축 방향으로 절입 이송된다.
도 2 를 참조하여 설명한다. 들보 (26) 의 타면 (도 2 에서의 전면) 에는, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지된 피가공물을 촬상하여 절삭 가공해야 할 영역을 검출하기 위한 제 1 촬상 수단 (48a) 과, 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지된 피가공물을 촬상하여 절삭 가공해야 할 영역을 검출하기 위한 제 2 촬상 수단 (48b) 이 Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 장착되어 있다. 제 1 촬상 수단 (48a) 은, 제 1 촬상 수단 (48a) 에 연결되고 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (50a) 와, 볼 나사 (50a) 의 편단부에 연결된 모터 (52a) 를 갖는 제 1 이동 기구 (54a) 에 의해, 들보 (26) 의 타면에 부설된 안내 레일 (26a) 을 따라 Y 축 방향으로 이동된다. 또, 제 2 촬상 수단 (48b) 은, 제 2 촬상 수단 (48b) 에 연결되고 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (50b) 와, 볼 나사 (50b) 의 편단부에 연결된 모터 (52b) 를 갖는 제 2 이동 기구 (54b) 에 의해, 들보 (26) 의 안내 레일 (26a) 을 따라 Y 축 방향으로 이동된다. 또한, 도시한 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 제 1 촬상 수단 (48a) 및 제 2 촬상 수단 (48b) 의 2 개의 촬상 수단이 형성되어 있지만, 단일 촬상 수단에 의해, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지된 피가공물을 촬상하여 절삭 가공해야 할 영역을 검출함과 함께, 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지된 피가공물을 촬상하여 절삭 가공해야 할 영역을 검출하도록 해도 된다.
도 1 및 도 4 를 참조하여 설명한다. 도 1 에 나타내는 바와 같이 기대 (8) 의 상면에는, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지되는 피가공물을 복수 수용한 제 1 카세트 (56a) 와, 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지되는 피가공물을 복수 수용한 제 2 카세트 (56b) 를 X 축 방향으로 인접하여 위치시키는 카세트 테이블 (58) 이 제 1 가공 이송 수단 (6a) 에 인접하여 배치되어 있다. 제 1 카세트 (56a) 및 제 2 카세트 (56b) 는 동일한 구성이어도 되고, 상하 방향으로 간격을 두고 복수 장의 판상의 피가공물 (도시한 실시형태에서는 웨이퍼 (W)) 을 수용 가능하게 구성되어 있다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 판상의 피가공물로서의 웨이퍼 (W) 의 표면 (Wa) 은, 격자상의 분할 예정 라인 (L) 에 의해 복수의 영역으로 구획되고, 복수의 영역의 각각에는 디바이스 (D) 가 형성되어 있다. 도시한 실시형태에서는, 둘레 가장자리가 환상 (環狀) 프레임 (F) 에 고정된 점착 테이프 (T) 에 웨이퍼 (W) 의 이면이 첩부 (貼付) 되어 있다. 도시한 실시형태에서는 도 1 에 나타내는 바와 같이, 복수 장의 웨이퍼 (W) 를 수용한 제 1 카세트 (56a) 가 상하 2 단으로 적층된 상태로 카세트 테이블 (58) 에 재치됨과 함께, 복수 장의 웨이퍼 (W) 를 수용한 제 2 카세트 (56b) 가 상하 2 단으로 적층된 상태로 X 축 방향에 있어서 제 1 카세트 (56a) 에 인접하여 카세트 테이블 (58) 에 재치된다. 사각형 형상의 카세트 테이블 (58) 은 기대 (8) 상의 지지대 (60) 에 자유롭게 승강할 수 있도록 지지되고 있고, 지지대 (60) 의 내부에는 카세트 테이블 (58) 을 Z 축 방향으로 승강시키는 승강 수단 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 승강 수단은, 예를 들어, 카세트 테이블 (58) 에 연결되고 Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사와, 볼 나사를 회전시키는 모터에 의해 구성될 수 있다.
도 4 를 참조하여 설명을 계속하면, 절삭 장치 (2) 는, 카세트 테이블 (58) 에 재치된 제 1 카세트 (56a) 및 제 2 카세트 (56b) 에 인접하여 위치되어지고 피가공물을 임시 수용하는 임시 수용 테이블 (62) 을 구비한다. 도시한 실시형태에서는, 임시 수용 테이블 (62) 은, Y 축 방향으로 연장됨과 함께 X 축 방향으로 개폐되는 단면 L 자상의 한 쌍의 가이드 레일 (62a) 로 구성되고, 제 1 카세트 (56a) 및 제 2 카세트 (56b) 에 선택적으로 임시 수용 테이블 (62) 을 위치시키는 위치 결정 수단 (64) 에 배치 형성되어 있다. 도 4 에 나타내는 바와 같이 위치 결정 수단 (64) 은, 제 1 가공 이송 수단 (6a) 의 상방에 있어서 적절한 브래킷 (도시 생략) 에 의해 고정된 고정 프레임 (66) 과, X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 고정 프레임 (66) 에 지지된 이동 프레임 (68) 을 포함한다. 임시 수용 테이블 (62) 을 구성하는 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 은, 이동 프레임 (68) 의 X 축 방향 일단부 (68a) 및 X 축 방향 타단부 (68b) 와 서로 대면하도록 장착되어 있다. 또, 위치 결정 수단 (64) 은 이동 프레임 (68) 을 X 축 방향으로 이동시키는 X 축 방향 이동 기구 (70) 를 포함한다. X 축 방향 이동 기구 (70) 는, 이동 프레임 (68) 에 연결되고 X 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (72) 와, 볼 나사 (72) 의 편단부에 연결된 모터 (74) 를 갖는다. 그리고, X 축 방향 이동 기구 (70) 에 의해 이동 프레임 (68) 이 X 축 방향으로 이동됨으로써, 제 1 카세트 (56a) 와 대면하는 위치 및 제 2 카세트 (56b) 와 대면하는 위치에 임시 수용 테이블 (62) 이 선택적으로 위치되어진다. 또, 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 은, 진퇴 수단 (76) 및 가이드 핀 (78) 을 개재하여, 이동 프레임 (68) 의 X 축 방향 일단부 (68a) 및 X 축 방향 타단부 (68b) 에 X 축 방향으로 자유롭게 진퇴할 수 있도록 (자유롭게 개폐할 수 있도록) 장착되어 있다. 그리고, 에어 실린더 또는 전동 실린더로 구성될 수 있는 진퇴 수단 (76) 에 의해 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 이 도 4 에 나타내는 닫힘 위치에 위치되어지면, 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 에 피가공물이 사이에 걸쳐서 재치된다. 한편, 닫힘 위치보다 상호 이간된 열림 위치에 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 이 진퇴 수단 (76) 에 의해 위치되어지면, 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 사이를 통과하여 피가공물을 승강시키는 것이 가능해진다.
도 1, 도 5 및 도 6 을 참조하여 설명한다. 절삭 장치 (2) 는, 제 1 카세트 (56a) 및 제 2 카세트 (56b) 로부터 피가공물을 꺼내어 임시 수용 테이블 (62) 로 피가공물을 반송하는 제 1 반송 수단 (80) (도 5 참조) 과, 임시 수용 테이블 (62) 로 반송된 피가공물을 유지하여 제 1 유지 수단 (4a) 및 제 2 유지 수단 (4b) 으로 피가공물을 반송하는 제 2 반송 수단 (82) (도 1 및 도 5 참조) 과, 절삭 완료된 피가공물을 세정하는 세정 수단 (84) (도 1 참조) 과, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지된 절삭 완료된 피가공물 및 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지된 절삭 완료된 피가공물을 유지하여 세정 수단 (84) 으로 피가공물을 반송하는 제 3 반송 수단 (86) (도 1 및 도 6 참조) 을 구비한다.
도 5 에 나타내는 바와 같이 제 2 반송 수단 (82) 은, 피가공물을 흡인 유지하는 흡인 패드 (88) 와, 흡인 패드 (88) 를 지지하는 지지부 (90) 와, 지지부 (90) 를 X 축 방향, Y 축 방향, Z 축 방향으로 이동시키는 구동부 (92) 를 구비하고, 제 1 반송 수단 (80) 은, 피가공물을 파지하는 파지부 (94) 와, 파지부 (94) 를 도 5 에 실선으로 나타내는 작용 위치와 도 5 에 2 점 쇄선으로 나타내는 비작용 위치에 선택적으로 위치시키는 선택부 (96) 와, 선택부 (96) 를 제 2 반송 수단 (82) 의 지지부 (90) 에 연결하는 연결부 (98) 를 구비하고, 제 2 반송 수단 (82) 의 구동부 (92) 에 의해 X 축 방향, Y 축 방향, Z 축 방향으로 제 1 반송 수단 (80) 이 이동되는 것이 바람직하다. 도시한 실시형태에서는, 제 2 반송 수단 (82) 의 구동부 (92) 는, Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 배치된 Y 축 방향 가동 부재 (100) 와, Y 축 방향 가동 부재 (100) 를 Y 축 방향으로 이동시키는 Y 축 방향 구동부 (102) 와, X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 Y 축 방향 가동 부재 (100) 에 지지된 X 축 방향 가동 부재 (104) 와, X 축 방향 가동 부재 (104) 를 X 축 방향으로 이동시키는 X 축 방향 구동부 (106) 를 포함한다. Y 축 방향 구동부 (102) 는, Y 축 방향 가동 부재 (100) 에 연결되고 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (108) 와, 볼 나사 (108) 의 편단부에 연결된 모터 (110) 를 갖고, 적절한 브래킷 (도시 생략) 을 개재하여 고정된 안내 레일 (111) 을 따라 Y 축 방향 가동 부재 (100) 를 Y 축 방향으로 이동시킨다. Y 축 방향 가동 부재 (100) 에 지지되고 있는 X 축 방향 구동부 (106) 는, X 축 방향 가동 부재 (104) 에 연결되고 X 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (112) 와, 볼 나사 (112) 의 편단부에 연결된 모터 (114) 를 갖고, Y 축 방향 가동 부재 (100) 의 하면에 형성된 안내 레일 (도시 생략) 을 따라, X 축 방향 가동 부재 (104) 를 X 축 방향으로 이동시킨다. 또, X 축 방향 가동 부재 (104) 의 하단에는, 에어 실린더 또는 전동 실린더로 구성될 수 있는 Z 축 방향 구동부 (116) 를 개재하여, 제 1 반송 수단 (80) 의 연결부 (98) 가 연결되고, 이 연결부 (98) 의 하단에 제 2 반송 수단 (82) 의 지지부 (90) 가 고정되어 있다. 따라서 제 1 반송 수단 (80) 과 제 2 반송 수단 (82) 의 지지부 (90) 는, X 축 방향 구동부 (106) 에 의해 X 축 방향으로 이동되고, Y 축 방향 구동부 (102) 에 의해 Y 축 방향으로 이동되고, 또한 Z 축 방향 구동부 (116) 에 의해 Z 축 방향으로 이동되도록 되어 있어, 제 1 반송 수단 (80) 과 제 2 반송 수단 (82) 은 구동부 (92) 를 공유하고 있다. 또, 지지부 (90) 의 하면에는, 흡인 수단 (도시 생략) 에 접속된 4 개의 흡인 패드 (88) 가 간격을 두고 지지되고 있다. 그리고 제 2 반송 수단 (82) 에 있어서는, 흡인 수단으로 각 흡인 패드 (88) 에 흡인력을 생성함으로써, 각 흡인 패드 (88) 에 의해 피가공물을 흡인 유지할 수 있다.
도 5 를 참조하여 설명을 계속하면, 제 1 반송 수단 (80) 의 연결부 (98) 는, Z 축 방향 구동부 (116) 에 연결된 기단부로부터 Y 축 방향으로 연장되어 있다. 연결부 (98) 의 연장단에는 X 축 방향으로 연장되는 지지 핀 (118) 을 개재하여 파지부 (94) 가 요동 가능하게 지지되고, 지지 핀 (118) 에는 선택부 (96) 가 연결되어 있다. 모터로 구성될 수 있는 선택부 (96) 는, 지지 핀 (118) 을 회전시킴으로써, 도 5 에 실선으로 나타내는 작용 위치와 도 5 에 2 점 쇄선으로 나타내는 비작용 위치에 파지부 (94) 를 선택적으로 위치시킨다. 파지부 (94) 에는, 1 쌍의 파지편 (94a) 이 서로 자유롭게 접근할 수 있고 또한 자유롭게 이간할 수 있도록 형성되어 있음과 함께, 1 쌍의 파지편 (94a) 을 접근 및 이간시키는 작동 수단 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 그리고 제 1 반송 수단 (80) 에 있어서는, 솔레노이드 기구로 구성될 수 있는 작동 수단으로 1 쌍의 파지편 (94a) 을 작동시킴으로써, 피가공물의 단부를 파지편 (94a) 에 의해 파지할 수 있다. 또, 제 1 반송 수단 (80) 에 있어서는, 파지편 (94a) 에 의해 피가공물을 파지한 상태로 구동부 (92) 를 작동시킴으로써, 제 1 카세트 (56a) 및 제 2 카세트 (56b) 로부터 피가공물을 꺼내어 임시 수용 테이블 (62) 로 피가공물을 반송할 수 있다. 제 2 반송 수단 (82) 에 있어서는, 제 1 반송 수단 (80) 에 의해 임시 수용 테이블 (62) 로 반송된 피가공물을 각 흡인 패드 (88) 에 의해 흡인 유지한 상태로 구동부 (92) 를 작동시킴으로써, 제 1 유지 수단 (4a) 및 제 2 유지 수단 (4b) 으로 피가공물을 반송할 수 있다.
도 1 을 참조하여 세정 수단 (84) 에 대해 설명한다. 세정 수단 (84) 은, 피가공물을 유지하는 유지 테이블 (120) 과, 유지 테이블 (120) 을 회전시키는 유지 테이블용 모터 (122) 와, 유지 테이블 (120) 을 덮는 커버 부재 (124) 와, 유지 테이블 (120) 에 유지된 절삭 완료된 피가공물을 향해 세정수를 분사하는 세정수 노즐 (126) 과, 유지 테이블 (120) 에 유지된 세정 후의 피가공물을 향해 에어를 분사하는 에어 노즐 (128) 을 포함한다. 유지 테이블 (120) 의 상단 부분에는, 흡인 수단 (도시 생략) 에 접속된 다공질의 흡착 척 (130) 이 배치되어 있다. 그리고 유지 테이블 (120) 에 있어서는, 흡인 수단으로 흡착 척 (130) 의 상면에 흡인력을 생성함으로써, 피가공물을 흡착하여 유지할 수 있다. 그리고 세정 수단 (84) 에 있어서는, 피가공물을 유지한 유지 테이블 (120) 을 유지 테이블용 모터 (122) 에 의해 회전시키면서, 소요 위치에 위치시킨 세정수 노즐 (126) 로부터 세정수를 분사함으로써, 피가공물을 세정하여 절삭 부스러기를 제거할 수 있다. 또, 세정 수단 (84) 에 있어서는, 소요 위치에 위치시킨 에어 노즐 (128) 로부터 건조 에어를 분사함으로써, 피가공물로부터 세정수를 제거하여 피가공물을 건조시킬 수 있다.
도 6 을 참조하여 제 3 반송 수단 (86) 에 대해 설명한다. 도시한 실시형태에 있어서의 제 3 반송 수단 (86) 은, 피가공물을 흡인 유지하는 흡인편 (132) 과, 흡인편 (132) 을 지지하는 지지편 (134) 과, 지지편 (134) 을 Y 축 방향, Z 축 방향으로 이동시키는 구동 기구 (136) 를 구비한다. 구동 기구 (136) 는, Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 지지된 Y 축 방향 가동편 (138) 과, Y 축 방향 가동편 (138) 을 Y 축 방향으로 이동시키는 Y 축 방향 구동 기구 (140) 를 포함한다. Y 축 방향 구동 기구 (140) 는, Y 축 방향 가동편 (138) 에 연결되고 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (142) 와, 볼 나사 (142) 의 편단부에 연결된 모터 (144) 를 갖고, 적절한 브래킷 (도시 생략) 을 개재하여 고정된 안내 레일 (145) 을 따라 Y 축 방향 가동편 (138) 을 Y 축 방향으로 이동시킨다. Y 축 방향 가동편 (138) 의 하단에는, 에어 실린더 또는 전동 실린더로 구성될 수 있는 Z 축 방향 구동 기구 (146) 를 개재하여 지지편 (134) 이 연결되어 있다. 따라서 지지편 (134) 은, Y 축 방향 구동 기구 (140) 에 의해 Y 축 방향으로 이동되고, 또한 Z 축 방향 구동 기구 (146) 에 의해 Z 축 방향으로 이동되도록 되어 있다. 또, 지지편 (134) 의 하면에는, 흡인 수단 (도시 생략) 에 접속된 4 개의 흡인편 (132) 이 간격을 두고 지지되고 있다. 그리고 제 3 반송 수단 (86) 에 있어서는, 흡인 수단으로 각 흡인편 (132) 에 흡인력을 생성함으로써, 각 흡인편 (132) 에 의해 피가공물을 흡인 유지할 수 있음과 함께, 각 흡인편 (132) 에 의해 피가공물을 흡인 유지한 상태로 구동 기구 (136) 를 작동시킴으로써, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지된 절삭 완료된 피가공물 및 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지된 절삭 완료된 피가공물을 유지하여 세정 수단 (84) 으로 반송할 수 있다.
상기 서술한 바와 같은 절삭 장치 (2) 에 의해, 피가공물로서의 웨이퍼 (W) 에 절삭 가공을 실시하는 절삭 방법에 대해 설명한다. 절삭 장치 (2) 를 사용하는 절삭 방법에서는, 먼저, 점착 테이프 (T) 를 통해 환상 프레임 (F) 에 지지된 웨이퍼 (W) 를 복수 수용한 제 1 카세트 (56a) 및 제 2 카세트 (56b) 를 카세트 테이블 (58) 에 재치하는 재치 공정을 실시한다. 도시한 실시형태에서는 도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지되는 복수 장의 웨이퍼 (W) 를 수용한 제 1 카세트 (56a) 를 상하 2 단으로 적층된 상태로 카세트 테이블 (58) 에 재치함과 함께, 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지되는 복수 장의 웨이퍼 (W) 를 수용한 제 2 카세트 (56b) 를 상하 2 단으로 적층된 상태로 X 축 방향에 있어서 제 1 카세트 (56a) 에 인접하여 카세트 테이블 (58) 에 재치한다.
재치 공정을 실시한 후, 제 1 카세트 (56a) 또는 제 2 카세트 (56b) 로부터 웨이퍼 (W) 를 꺼내어 임시 수용 테이블 (62) 로 웨이퍼 (W) 를 반송하는 제 1 반송 공정을 실시한다. 제 1 카세트 (56a) 로부터 임시 수용 테이블 (62) 로 웨이퍼 (W) 를 반송하는 경우와, 제 2 카세트 (56b) 로부터 임시 수용 테이블 (62) 로 웨이퍼 (W) 를 반송하는 경우는 실질상 동일하기 때문에, 여기서는, 제 1 카세트 (56a) 로부터 임시 수용 테이블 (62) 로 웨이퍼 (W) 를 반송하는 경우에 대해 설명한다. 제 1 반송 공정에서는, 먼저, 위치 결정 수단 (64) 의 이동 프레임 (68) 을 X 축 방향으로 이동시켜, 임시 수용 테이블 (62) 을 구성하는 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 을 제 1 카세트 (56a) 와 대면하는 위치에 위치시킨다. 또, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 환상 프레임 (F) 을 재치 가능한 닫힘 위치에 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 을 위치시킨다. 이어서, 제 1 반송 수단 (80) 의 파지부 (94) 를 작용 위치에 위치시킨다. 이어서, 파지부 (94) 를 제 1 카세트 (56a) 에 진입시킴과 함께, 제 1 카세트 (56a) 내의 환상 프레임 (F) 을 파지부 (94) 의 파지편 (94a) 에 의해 파지시킨다. 그리고 도 8 및 도 9 에 나타내는 바와 같이, 파지편 (94a) 에 의해 파지시킨 환상 프레임 (F) 을 제 1 카세트 (56a) 로부터 꺼내어 임시 수용 테이블 (62) 로 반송한다. 이와 같이 하여 제 1 반송 공정을 실시한다. 환상 프레임 (F) 을 임시 수용 테이블 (62) 까지 반송한 후, 파지편 (94a) 을 서로 이간시켜 파지편 (94a) 에 의한 환상 프레임 (F) 의 파지를 해제함과 함께, 선택부 (96) 에 의해 파지부 (94) 를 비작용 위치로 요동시킨다.
제 1 반송 공정을 실시한 후, 임시 수용 테이블 (62) 로 반송된 웨이퍼 (W) 를 유지하여 제 1 유지 수단 (4a) 또는 제 2 유지 수단 (4b) 으로 웨이퍼 (W) 를 반송하는 제 2 반송 공정을 실시한다. 임시 수용 테이블 (62) 로부터 제 1 유지 수단 (4a) 으로 웨이퍼 (W) 를 반송하는 예를 설명하면, 제 2 반송 공정에서는, 먼저, 제 2 반송 수단 (82) 의 지지부 (90) 를 구동부 (92) 로 이동시키고, 각 흡인 패드 (88) 를 환상 프레임 (F) 의 상방에 위치시킨다. 이어서 지지부 (90) 를 하강시켜, 각 흡인 패드 (88) 를 환상 프레임 (F) 의 상면에 밀착시킨다. 이어서, 각 흡인 패드 (88) 에 접속된 흡인 수단을 작동시켜, 각 흡인 패드 (88) 에 흡인력을 생성하고, 각 흡인 패드 (88) 에 의해 환상 프레임 (F) 을 흡인 유지한다. 이어서 지지부 (90) 를 상승시켜, 각 흡인 패드 (88) 에 의해 흡인 유지된 환상 프레임 (F) 을 임시 수용 테이블 (62) 로부터 이간시킨다. 또, 임시 수용 테이블 (62) 의 바로 아래에 제 1 유지 수단 (4a) 의 제 1 척 테이블 (14a) 을 위치시킨다. 이어서, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 을 열림 위치에 위치시킴과 동시에, 각 흡인 패드 (88) 에 의해 흡인 유지한 환상 프레임 (F) 을 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 사이를 통과하여 하강시킴으로써, 제 1 척 테이블 (14a) 의 상면에 웨이퍼 (W) 를 접촉시킨다. 그리고, 각 흡인 패드 (88) 에 접속된 흡인 수단을 정지시켜, 각 흡인 패드 (88) 의 흡인력을 해제하고, 제 1 척 테이블 (14a) 의 상면에 웨이퍼 (W) 를 싣는다. 이와 같이 하여 제 2 반송 공정을 실시한다. 또한, 임시 수용 테이블 (62) 로부터 제 2 유지 수단 (4b) 으로 웨이퍼 (W) 를 반송할 때에는, 각 흡인 패드 (88) 에 의해 환상 프레임 (F) 을 흡인 유지한 후, 환상 프레임 (F) 을 임시 수용 테이블 (62) 로부터 이간시킨다. 이어서, 제 2 반송 수단 (82) 의 지지부 (90) 를 이동시킴과 함께, 제 2 가공 이송 수단 (6b) 에 의해 제 2 척 테이블 (14b) 을 이동시킴으로써, 제 2 척 테이블 (14b) 의 상면에 웨이퍼 (W) 를 싣는다. 이와 같이 임시 수용 테이블 (62) 로부터 제 2 유지 수단 (4b) 에 웨이퍼 (W) 를 반송할 때에는 환상 프레임 (F) 을 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 사이를 통과시킬 필요는 없다.
제 2 반송 공정을 실시한 후, 제 1 유지 수단 (4a) 또는 제 2 유지 수단 (4b) 에 의해 웨이퍼 (W) 를 유지함과 함께, 제 1 유지 수단 (4a) 또는 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지된 웨이퍼 (W) 를 절삭하는 절삭 공정을 실시한다. 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지된 웨이퍼 (W) 를 절삭하는 경우와, 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지된 웨이퍼 (W) 를 절삭하는 경우는 실질상 동일하기 때문에, 여기서는, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지된 웨이퍼 (W) 를 절삭하는 경우에 대해 설명한다. 절삭 공정에서는, 먼저, 제 1 척 테이블 (14a) 의 상면에 흡인력을 생성하여, 제 1 척 테이블 (14a) 에 의해 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한다. 이어서, 제 1 가공 이송 수단 (6a) 에 의해 제 1 촬상 수단 (48a) 의 하방에 웨이퍼 (W) 를 위치시킴과 함께, 제 1 촬상 수단 (48a) 에 의해 웨이퍼 (W) 를 촬상한다. 이어서, 제 1 척 테이블 (14a) 을 회전시켜, 제 1 촬상 수단 (48a) 에 의해 촬상한 웨이퍼 (W) 의 화상에 기초하여 웨이퍼 (W) 의 분할 예정 라인 (L) 을 X 축 방향으로 정합시킨다. 또, 제 1 가공 이송 수단 (6a) 에 의해 제 1 척 테이블 (14a) 을 이동시킴과 함께, 제 1 산출 이송 수단 (32a) 에 의해 제 1 스핀들 하우징 (38a) 을 이동시킴으로써, X 축 방향으로 정합시킨 분할 예정 라인 (L) 의 편단부를 제 1 절삭 블레이드의 하방에 위치시킨다. 이어서, 제 1 절삭 블레이드를 회전시키고, 제 1 절입 이송 수단 (46a) 에 의해 제 1 스핀들 하우징 (38a) 을 하강시킴으로써 웨이퍼 (W) 의 분할 예정 라인 (L) 으로 제 1 절삭 블레이드의 날끝을 돌진시킴과 동시에, 제 1 척 테이블 (14a) 을 소정의 가공 이송 속도로 X 축 방향으로 가공 이송함으로써, 웨이퍼 (W) 의 분할 예정 라인 (L) 을 따라 절삭 가공을 실시한다. 절삭 가공시에는, 제 1 절삭수 공급 노즐로부터 절삭 영역에 절삭수가 공급된다. 이어서, 웨이퍼 (W) 의 분할 예정 라인 (L) 의 Y 축 방향의 간격의 분만큼, 제 1 산출 이송 수단 (32a) 에 의해 제 1 절삭 블레이드를 Y 축 방향으로 인덱스 이송한다. 그리고, 절삭 가공과 인덱스 이송을 교대로 반복함으로써, X 축 방향으로 정합시킨 분할 예정 라인 (L) 의 모두에 절삭 가공을 실시한다. 또, 제 1 척 테이블 (14a) 을 90 도 회전시킨 다음, 절삭 가공과 인덱스 이송을 교대로 반복함으로써, 먼저 절삭 가공을 실시한 분할 예정 라인 (L) 과 직교하는 분할 예정 라인 (L) 의 모두에도 절삭 가공을 실시한다. 이로써, 격자상의 분할 예정 라인 (L) 을 따라 웨이퍼 (W) 를 개개의 디바이스 (D) 로 분할할 수 있다.
절삭 공정을 실시한 후, 제 1 유지 수단 (4a) 에 유지된 절삭 완료 웨이퍼 (W) 또는 제 2 유지 수단 (4b) 에 유지된 절삭 완료 웨이퍼 (W) 를 유지하여 세정 수단 (84) 으로 웨이퍼 (W) 를 반송하는 제 3 반송 공정을 실시한다. 제 1 유지 수단 (4a) 으로부터 세정 수단 (84) 으로 웨이퍼 (W) 를 반송하는 예를 설명하면, 제 3 반송 공정에서는, 먼저, 제 1 가공 이송 수단 (6a) 에 의해 제 1 척 테이블 (14a) 을 X 축 방향으로 이동시키고, 또한 위치 결정 수단 (64) 의 X 축 방향 이동 기구 (70) 에 의해 이동 프레임 (68) 을 X 축 방향으로 이동시키고, 또한 제 3 반송 수단 (86) 의 Y 축 방향 구동 기구 (140) 에 의해 Y 축 방향 가동편 (138) 을 Y 축 방향으로 이동시킴으로써, 제 1 척 테이블 (14a) 과 이동 프레임 (68) 과 제 3 반송 수단 (86) 의 지지편 (134) 의 XY 평면에 있어서의 위치를 정합시킨다. 이어서, 열림 위치에 위치되어져 있는 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 사이를 통과하여 지지편 (134) 을 하강시켜, 환상 프레임 (F) 의 상면에 각 흡인편 (132) 을 밀착시킨다. 이어서, 각 흡인편 (132) 에 의해 환상 프레임 (F) 을 흡인 유지함과 함께, 제 1 척 테이블 (14a) 의 흡인력을 해제한다. 이어서, 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 사이를 통과하여, 각 흡인편 (132) 에 의해 흡인 유지한 환상 프레임 (F) 을 상승시킨다. 이어서 지지편 (134) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 세정 수단 (84) 의 상방에 환상 프레임 (F) 을 위치시킨다. 이어서 지지편 (134) 을 하강시켜, 세정 수단 (84) 의 유지 테이블 (120) 의 상면에 웨이퍼 (W) 를 접촉시킨다. 그리고, 각 흡인편 (132) 의 흡인력을 해제하여, 세정 수단 (84) 의 유지 테이블 (120) 의 상면에 웨이퍼 (W) 를 싣는다. 이와 같이 하여 제 3 반송 공정을 실시한다. 또한, 제 2 유지 수단 (4b) 으로부터 세정 수단 (84) 으로 웨이퍼 (W) 를 반송할 때에는, 제 2 척 테이블 (14b) 과 제 3 반송 수단 (86) 의 지지편 (134) 의 XY 평면에 있어서의 위치를 정합시킨 다음, 각 흡인편 (132) 에 의해 환상 프레임 (F) 을 흡인 유지함과 함께 제 2 척 테이블 (14b) 의 흡인력을 해제하고, 그리고 각 흡인편 (132) 에 의해 흡인 유지한 환상 프레임 (F) 을 세정 수단 (84) 으로 반송한다. 이와 같이 제 2 유지 수단 (4b) 으로부터 세정 수단 (84) 으로 웨이퍼 (W) 를 반송할 때에는 환상 프레임 (F) 을 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 사이를 통과시킬 필요는 없다. 또, 제 3 반송 공정을 제 3 반송 수단 (86) 에 의해 실시하는 것은, 절삭 완료 웨이퍼 (W) 에는, 절삭수나 절삭 부스러기가 부착되어 있기 때문에, 세정이 완료된 웨이퍼 (W) 를 반송하는 후술하는 제 4 반송 공정 및 수용 공정에 사용되는 제 1 반송 수단 (80) 및 제 2 반송 수단 (82) 과는 별도의 제 3 반송 수단 (86) 을 제 3 반송 공정에서 사용함으로써, 제 1 반송 수단 (80) 및 제 2 반송 수단 (82) 에 절삭수나 절삭 부스러기가 부착되는 것을 방지하고, 제 4 반송 공정 및 수용 공정에 있어서 세정이 완료된 웨이퍼 (W) 에 절삭수나 절삭 부스러기가 재부착되는 것을 방지하기 위해서이다.
제 3 반송 공정을 실시한 후, 절삭 완료 웨이퍼 (W) 를 세정하는 세정 공정을 실시한다. 세정 공정에서는, 먼저, 유지 테이블 (120) 의 상면에 흡인력을 생성하여, 유지 테이블 (120) 에 의해 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한다. 이어서, 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한 유지 테이블 (120) 을 유지 테이블용 모터 (122) 로 회전시키면서, 소요 위치에 위치시킨 세정수 노즐 (126) 로부터 웨이퍼 (W) 를 향해 세정수를 분사한다. 이로써, 웨이퍼 (W) 를 세정하여 웨이퍼 (W) 로부터 절삭 부스러기를 제거할 수 있다. 절삭 부스러기를 제거한 후, 소요 위치에 위치시킨 에어 노즐 (128) 로부터 웨이퍼 (W) 를 향해 건조 에어를 분사한다. 이로써 웨이퍼 (W) 로부터 세정수를 제거하여 웨이퍼 (W) 를 건조시킬 수 있다.
세정 공정을 실시한 후, 세정 수단 (84) 에 의해 세정된 웨이퍼 (W) 를 제 2 반송 수단 (82) 에 의해 임시 수용 테이블 (62) 까지 반송하는 제 4 반송 공정을 실시한다. 제 4 반송 공정에서는, 먼저, 제 2 반송 수단 (82) 의 지지부 (90) 를 세정 수단 (84) 의 상방에 위치시킨다. 이어서, 지지부 (90) 를 하강시켜, 환상 프레임 (F) 의 상면에 각 흡인 패드 (88) 를 밀착시킨다. 이어서, 각 흡인 패드 (88) 에 의해 환상 프레임 (F) 을 흡인 유지함과 함께, 세정 수단 (84) 의 유지 테이블 (120) 의 흡인력을 해제한다. 이어서, 지지부 (90) 를 상승시킴과 함께 Y 축 방향으로 이동시킴으로써, 임시 수용 테이블 (62) 의 상방에 환상 프레임 (F) 을 위치시킨다. 또, 환상 프레임 (F) 을 재치 가능한 닫힘 위치에 1 쌍의 가이드 레일 (62a) 을 위치시킨다. 이어서 지지부 (90) 를 하강시켜, 임시 수용 테이블 (62) 에 환상 프레임 (F) 을 접촉시킨다. 그리고, 각 흡인 패드 (88) 의 흡인력을 해제하여, 임시 수용 테이블 (62) 에 환상 프레임 (F) 을 싣는다.
제 4 반송 공정을 실시한 후, 임시 수용 테이블 (62) 로 반송된 웨이퍼 (W) 를 제 1 반송 수단 (80) 에 의해 소정의 카세트에 수용하는 수용 공정을 실시한다. 제 1 카세트 (56a) 에 웨이퍼 (W) 를 수용하는 경우와, 제 2 카세트 (56b) 에 웨이퍼 (W) 를 수용하는 경우는 실질상 동일하기 때문에, 여기서는, 제 1 카세트 (56a) 에 웨이퍼 (W) 를 수용하는 경우에 대해 설명한다. 수용 공정에서는, 먼저, 위치 결정 수단 (64) 의 이동 프레임 (68) 을 X 축 방향으로 이동시켜, 임시 수용 테이블 (62) 을 제 1 카세트 (56a) 와 대면하는 위치에 위치시킨다. 이어서, 제 1 반송 수단 (80) 의 파지부 (94) 를 작용 위치에 위치시킨다. 이어서, 구동부 (92) 에 의해 파지부 (94) 의 위치를 조정한 다음, 임시 수용 테이블 (62) 상의 환상 프레임 (F) 을 파지편 (94a) 에 의해 파지시킨다 (도 9 참조). 그리고 구동부 (92) 를 작동시켜, 파지편 (94a) 에 의해 파지시킨 환상 프레임 (F) 을 제 1 카세트 (56a) 로 반송하여 수용한다.
절삭 장치 (2) 에 있어서 실시하는 각 공정은 이상과 같지만, 절삭 장치 (2) 에 있어서는, 제 1 반송 공정 및 제 2 반송 공정을 실시하여 제 1 카세트 (56a) 로부터 제 1 유지 수단 (4a) 으로 웨이퍼 (W) 를 반송한 후, 제 2 카세트 (56b) 로부터 제 2 유지 수단 (4b) 으로 웨이퍼 (W) 를 반송하고, 제 1 카세트 (56a) 로부터 반출한 웨이퍼 (W) 및 제 2 카세트 (56b) 로부터 반출한 웨이퍼 (W) 의 각각에, 적절한 간격을 두고, 절삭 공정과 제 3 반송 공정과 세정 공정과 제 4 반송 공정과 수용 공정을 실시할 수 있기 때문에, 임시 수용 테이블 (62) 과 세정 수단 (84) 의 가동률이 2 배가 되어 생산성이 향상된다.
2 : 절삭 장치
4a : 제 1 유지 수단
4b : 제 2 유지 수단
6a : 제 1 가공 이송 수단
6b : 제 2 가공 이송 수단
28b : 제 2 절삭 블레이드
30a : 제 1 절삭 수단
30b : 제 2 절삭 수단
32a : 제 1 산출 이송 수단
32b : 제 2 산출 이송 수단
56a : 제 1 카세트
56b : 제 2 카세트
58 : 카세트 테이블
62 : 임시 수용 테이블
62a : 가이드 레일
64 : 위치 결정 수단
80 : 제 1 반송 수단
82 : 제 2 반송 수단
84 : 세정 수단
86 : 제 3 반송 수단
88 : 흡인 패드 (제 2 반송 수단)
90 : 지지부 (제 2 반송 수단)
92 : 구동부 (제 2 반송 수단)
94 : 파지부 (제 1 반송 수단)
96 : 선택부 (제 1 반송 수단)
98 : 연결부 (제 1 반송 수단)
132 : 흡인편 (제 3 반송 수단)
134 : 지지편 (제 3 반송 수단)
136 : 구동 기구 (제 3 반송 수단)

Claims (5)

  1. 판상의 피가공물을 절삭하는 절삭 장치로서,
    피가공물을 유지하는 제 1 유지 수단 및 제 2 유지 수단과,
    그 제 1 유지 수단을 X 축 방향으로 가공 이송하는 제 1 가공 이송 수단과,
    그 제 1 가공 이송 수단과 인접하여 그 제 2 유지 수단을 X 축 방향으로 가공 이송하는 제 2 가공 이송 수단과,
    그 제 1 유지 수단에 유지된 피가공물을 절삭하는 제 1 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비한 제 1 절삭 수단과,
    그 제 2 유지 수단에 유지된 피가공물을 절삭하는 제 2 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비한 제 2 절삭 수단과,
    그 제 1 절삭 수단을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 제 1 산출 이송 수단과,
    그 제 2 절삭 블레이드를 그 제 1 절삭 블레이드에 대치시키고 그 제 2 절삭 수단을 Y 축 방향으로 산출 이송하는 제 2 산출 이송 수단과,
    그 제 1 유지 수단에 유지되는 피가공물을 복수 수용한 제 1 카세트와 그 제 2 유지 수단에 유지되는 피가공물을 복수 수용한 제 2 카세트를 X 축 방향으로 인접하여 위치시키는 카세트 테이블과,
    그 카세트 테이블을 X 축 방향과 Y 축 방향에 직교하는 Z 축 방향으로 승강시키는 승강 수단과,
    그 카세트 테이블에 재치된 제 1 카세트 및 제 2 카세트에 인접하여 위치되어지고 피가공물을 임시 수용하는 임시 수용 테이블과,
    제 1 카세트 및 제 2 카세트로부터 피가공물을 꺼내어 그 임시 수용 테이블로 피가공물을 반송하는 제 1 반송 수단과,
    그 임시 수용 테이블로 반송된 피가공물을 유지하여 그 제 1 유지 수단 및 그 제 2 유지 수단으로 피가공물을 반송하는 제 2 반송 수단과,
    절삭 완료된 피가공물을 세정하는 세정 수단과,
    그 제 1 유지 수단에 유지된 절삭 완료된 피가공물 및 그 제 2 유지 수단에 유지된 절삭 완료된 피가공물을 유지하여 그 세정 수단으로 피가공물을 반송하는 제 3 반송 수단으로 적어도 구성된, 절삭 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 임시 수용 테이블은, Y 축 방향으로 연장됨과 함께 X 축 방향으로 개폐되는 1 쌍의 가이드 레일로 구성되고, 제 1 카세트 및 제 2 카세트에 선택적으로 임시 수용 테이블을 위치시키는 위치 결정 수단에 배치 형성되고,
    그 제 1 반송 수단이 제 1 카세트로부터 피가공물을 꺼낼 때, 그 임시 수용 테이블은 제 1 카세트에 위치되어지고,
    그 제 2 반송 수단은 그 임시 수용 테이블로 반송된 피가공물을 유지하여 그 임시 수용 테이블을 구성하는 1 쌍의 가이드 레일이 열리고 그 임시 수용 테이블의 바로 아래에 위치되어진 그 제 1 유지 수단으로 피가공물을 반송하는, 절삭 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    그 제 2 반송 수단은, 피가공물을 흡인 유지하는 흡인 패드와, 그 흡인 패드를 지지하는 지지부와, 그 지지부를 X 축 방향, Y 축 방향, Z 축 방향으로 이동시키는 구동부를 구비하고,
    그 제 1 반송 수단은, 피가공물을 파지하는 파지부와, 그 파지부를 작용 위치와 비작용 위치에 선택적으로 위치시키는 선택부와, 그 선택부를 그 제 2 반송 수단의 그 지지부에 연결하는 연결부를 구비하고,
    그 제 2 반송 수단의 그 구동부에 의해 X 축 방향, Y 축 방향, Z 축 방향으로 그 제 1 반송 수단이 이동되는, 절삭 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    그 제 3 반송 수단은, 피가공물을 흡인 유지하는 흡인편과, 그 흡인편을 지지하는 지지편과, 그 지지편을 Y 축 방향, Z 축 방향으로 이동시키는 구동 기구를 구비하고, 그 제 1 유지 수단 및 그 제 2 유지 수단에 유지된 절삭 완료된 피가공물을 유지하여 그 세정 수단으로 피가공물을 반송하는, 절삭 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    그 세정 수단에 의해 세정된 피가공물은 그 제 2 반송 수단에 의해 그 임시 수용 테이블까지 반송되고, 그 임시 수용 테이블로 반송된 피가공물은 그 제 1 반송 수단에 의해 소정의 카세트에 수용되는, 절삭 장치.
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