JP2005334836A - 搬送台車、およびそれを用いた軌道清掃方法、走行検査方法並びに半導体装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 搬送システムを稼働させながら、搬送台車の走行する軌道清掃や、あるいは軌道状態、走行状況の検査等を行えるようにする。
【解決手段】 半導体ウエハを収納したフープ等の被搬送物６０を載せる荷台部１１と、リニアモータを用いて駆動する走行機構部１２と、軌道３０上を回転する車輪１３と、ローラ表面に粘着部を設けた粘着ローラ５０ａとから搬送台車１０を構成する。かかる構成の搬送台車１０を軌道３０上に自走走行させることで、被搬送物６０を搬送しながら、粘着ローラ５０ａにより軌道３０上の埃等の不要物を付着させて除去する。
【選択図】 図２

Description

本発明は軌道に沿って搬送台車により被搬送物を搬送する技術に関し、特に、半導体装置等の製造に際して使用するクリーンルーム内での搬送を行いながら、軌道の清掃、搬送台車の走行に支障を来す走行不良状況を検査するのに適用して有効な技術である。

以下に説明する技術は、本発明を完成するに際し、本発明者によって検討されたものであり、その概要は次のとおりである。

半導体装置、液晶等の電子部品の製造は、所定の清浄度が確保されたクリーンルーム内で行われる。製造に際しては、一連の製造工程間の搬送を、搬送台車を用いて行う。工程毎に関連装置群を配置した領域間、すなわちベイ間を、クリーンルームの天井側に設けた軌道によって繋ぎ、かかる軌道に沿って自走する搬送台車に、適宜被搬送物を搭載することで搬送する。

近年、クリーンルームの大規模化に伴い、かかる搬送システムの軌道全長が長くなる傾向にある。総延長が数キロメートルに及ぶものも決して珍しくない。かかる軌道上に自立走行型の搬送台車を走行させて搬送するが、かかる搬送システムの稼働に際しての塵埃等の発生は極力防がなければならない重要な問題である。

そこで、搬送台車の搬送機構としては、塵埃発生の原因ともなる搬送時の擦れを極力発生させない方式として、リニアモータを用いた非接触式の走行方式等が提案されている。一方、搬送台車を走行させる軌道に関しては、清浄度の高いクリーンルーム内に敷設されているとの観点から、メンテナンスフリーを標榜するメーカーもある。

しかし、実際には、軌道に関わる問題でトラブルが発生する場合も、決して皆無ではない。例えば、軌道は定尺の軌道を複数本繋いで構成されるが、搬送システムを稼働している内には、軌道のつなぎ目に緩みが発生して、走行に際して異常振動を発生させて振動を嫌う電子部品等の被搬送物への影響が懸念される場合もある。

これまでは、かかるトラブルが発生してから、その対処を行っているのが現状であった。トラブル発生に際しては、搬送システムの稼働を停止させた状態で、人手で不良箇所を見つけ、対処しなければならない。総延長が数キロメートルになる場合も珍しくない現状では、人手によりかかる検査、修復作業を行うのは、極めて面倒で短時間での対処が難しい。

そこで、軌道内の定期清掃、軌道段差確認、各種部品の点検等を予め行うことで、かかるトラブルを未然に防ぐことが必要であるとの観点から、搬送台車に被搬送物の代わりに検査装置等を搭載させて、搬送システムの稼働を一旦休止状態にして検査する方法が、特許文献１に提案されている。

一方、これまで搬送システムを停止した状態で、天井側の敷設軌道内を人手で高所作業により行う方法では、時間と手間がかかり、且つ作業に危険が伴うとの観点から、搬送システムのトラブルの原因となり得るゴミ等の除去を目的とした軌道内清掃を、搬送台車に被搬送物の代わりに真空式掃除機を搭載することで、搬送台車を走行させながら清掃を行う方法が特許文献２に提案されている。
特開２０００−３１６２０６号公報 特開２０００−２７１５５２号公報

上記の如く、特許文献１、２に記載の提案は、人手による作業を減らし、自動で検査を行ったり、あるいは自動で軌道内の清掃が行える点で優れた技術ではあるが、本発明者は、以下の課題があることに気がついた。

すなわち、いずれの場合も、搬送台車の荷台に検査装置、あるいは真空式掃除機を搭載しているため、検査あるいは清掃に際しては、当該搬送台車には被搬送物を搭載させることができず、搬送台車は検査専用台車あるいは清掃専用台車として使用され、検査あるいは清掃を行うに際しては、搬送効率を低下させざるを得ないのである。

特許文献１に記載の構成では、かかる検査用の台車を走行させるに際しては、搬送システムを非稼働の状態にすることが述べられている。しかし、実際の製造ラインでは、搬送システムを非稼働状態にすることは極めて難しい。意図的に非稼働状態にし得るのは、年末年始の工場の長期操業停止時期程度しかないのが現状である。

かかる状況下、本発明者は、搬送システムを非稼働状態にすることなく、検査、清掃を行うことができる技術の開発が急務であると考えた。

搬送台車の荷台に被搬送物の代わりに検査装置あるいは真空式掃除機を載せる前記提案の構成を用いて、搬送システムを非稼働状態にすることなく検査する方法について考えてみたが、通常の搬送システムが稼働している状態では、例えば、半導体装置の製造工程毎に、必要な一連の装置群が所定の領域に配置され、かかる装置群間を、予めレシピにより設定された工程スケジュールに従って時間的に密な状態で搬送台車が搬送させられている現状では、検査専用あるいは清掃専用の搬送台車を割り込みで走行させることは、思う程には簡単ではなかった。

かかる搬送システムでは、当初から、検査用の搬送台車、あるいは清掃用の搬送台車を必要に応じて走行させるスケジュール設定は行われていない。勿論、スケジュールの変更手段を用いることで、多数の搬送台車が搬送システムとして自立走行している状態で、割り込み走行させることも不可能ではないが、しかし、そのための搬送制御システムのレシピ変更等の極めて面倒なスケジュール変更を行わなければならない。

かかる状況では、検査、清掃等を、必要に応じて適宜臨機応変に行うことは極めて難しく、行うとすれば、検査、清掃スケジュールを搬送システムの制御システムに当初から定期的に行えるように割り込ませるしかないのが現状である。稼働中の搬送システムに、適宜割り込みさせることは、難しいのが現状である。

また、清掃手段として真空式掃除機を装備する構成が提案されてはいるが、かかる真空式掃除機を稼働させるに際しては、真空式掃除機からの排気が懸念される。半導体装置や液晶等の電子部品の製造分野では、クリーンルーム内で埃等を拡散させる可能性のある手段はできる限り排除することが好ましい。搬送台車に搭載させた真空式掃除機は、搬送台車の荷台に搭載されており、かかる状態で排気を行えば、多少なりともその排気の影響が懸念される。

本発明者は、かかる観点から、真空式掃除機等の吸引式清掃手段以外の構成が好ましいと考えた。モップやブラシ、箒等の清掃手段も、塵等を集めはするが周囲に拡散させる虞無しとは言えず、やはり好ましい清掃手段ではないと考えた。清掃手段としては、塵等を拡散させる虞のない手段を用いることが必要であると考えた。さらには、手軽に行える簡単な構成であれば尚好ましい。

前記提案の真空式掃除機の構成では、軌道に沿ってファンフィルタユニット等の軌道内の排気装置を利用して、真空掃除機で吸引した塵等を排気する構成を有している。すなわち、軌道内の排気装置の構成を必須の前提とするものである。

しかし、クリーンルーム内の搬送システムにおいては、かかる軌道内の排気構成を行う搬送システムばかりではない。特に、近年は、密閉性のフープ（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）等の収納容器が採用され、搬送状態におけるクリーンルーム内の清浄度を、オープンカセット等で搬送する場合に比べて多少なりとも低下させることで、クリーンルームの設備コストの低減を図る対応も見られ、かかる対応では、ファンフィルタユニット等の排気装置を軌道に沿って多数配置する構成の搬送システムは採用されないこともある。かかる場合には、前記提案の真空式掃除機の活用は図れないこととなる。そこで、本発明者は、清掃手段としては、種々の搬送方式で採用できるより汎用的な構成が好ましいと考えた。

本発明の目的は、搬送システムを稼働させながら、搬送台車の走行する軌道清掃や、あるいは軌道状態、走行状況等の検査等を行えるようにすることにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。

すなわち、搬送台車に、搬送機能と検査機能あるいは清掃機能を併有させることで、搬送台車を搬送用に使用しながら、併せて検査あるいは清掃を行わせる。

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。

搬送システムの稼働を停止させることなく被搬送物の搬送を行いながら、併せて、搬送状況の検査あるいは搬送軌道の清掃を行うことができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。

図１は、本発明に係わる搬送台車を走行させる搬送工程を有する半導体装置の製造方法で使用する軌道敷設の状況を模式的に示した説明図である。図２（ａ）は本発明に係わる搬送台車の構成を模式的に示す側面図であり、（ｂ）は正面図である。

本発明は、自走型の搬送台車１０を、図１に示すように、例えば半導体装置、液晶等の電子部品の製造工場におけるクリーンルーム２０内の天井側に設けた軌道３０に沿って、半導体ウエハ等の被搬送物を搬送しながら、搬送システムを非稼働にさせることなく、軌道３０の清掃、あるいは搬送台車１０の走行状況に支障を来す要因を見つける検査を行う技術である。

（実施の形態１）
本実施の形態では、搬送台車１０を、被搬送物を搬送しながら、軌道清掃を行うように構成した場合について説明する。

軌道３０は、図１に模式的に示すように、クリーンルーム２０内の天井側にループ状に敷設されている。ループ内には、複数の例えば半導体装置の製造工程の各種工程に必要な一連の装置を配置した装置群Ａ、Ｂ、Ｃが配置されている。各装置群Ａ、Ｂ、Ｃ内では、床上を走行する床上搬送台車４０により、各装置間の半導体ウエハのベイ内搬送が行われている。

例えば、装置群Ａでの処理が終了した半導体ウエハは、フープ等の密閉式収納容器に所要枚数収容された状態で、床上搬送台車４０によりベイ内搬送されて、軌道３０に設けたストッカ３１ａに棚置きされる。ストッカ３１ａに置かれたフープは、その後搬送台車１０に載せられ、次工程の処理を行う装置群Ｂに搬送される。フープは搬送台車１０からストッカ３１ｂに棚置きされ、さらに装置群Ｂ内の床上搬送台車４０により、各装置まで搬送されて、フープ内から半導体ウエハが適宜取り出され所要の処理が半導体ウエハに施される。

装置群Ｂでの処理が終了した半導体ウエハは、装置群Ａの場合と同様に、フープに収納された状態でストッカ３１ｂから、搬送台車１０に移しかえられ、装置群Ｃに搬送される。装置群Ｃ内では、床上搬送台車４０により半導体ウエハがフープに収容された状態で、各装置に搬送され、所要の処理が施される。

このように本発明に係わる搬送台車１０により、各装置群Ａ、Ｂ、Ｃ間のベイ間搬送が行われる。搬送台車１０は、図２（ａ）に示すように、半導体ウエハを収容したフープ等の密閉式収納容器を搭載する荷台部１１と、搬送台車１０の自走機能を構成する走行機構部１２、及び軌道３０上を回転する車輪１３を有している。図示はしないが、走行機構部１２には、軌道３０に沿って設けられた永久磁石列に対向して、軌道３０に沿って敷設された給電線から非接触で電気の供給を受けて前記永久磁石列との間で推力を発生させるリニアモータが設けられている。

かかるリニアモータにより、搬送台車１０は自立走行することができるようになっている。車輪１３は、搬送台車１０を軌道３０上に支持する役目を担うもので、それ自体は、モータ等により駆動する駆動輪には構成されていない。

軌道３０は、図２（ｂ）の正面図に示すように、車輪１３が走行する走行面を含む軌道面３０ａの両側に側壁３０ｂを立ち上げた形状で、全体として略箱型、上方開口の凹形、ダクト形状に形成されている。

さらに、搬送台車１０には、図２（ａ）に示すように、搬送台車１０の進行方向に対して後方となる側に、軌道走行をする際に、軌道面３０ａ上のゴミ、埃等の不要物を付着させて除去する清掃手段として機能する付着手段５０が設けられている。図２（ａ）に示す場合は、付着手段５０は、軌道面３０ａ上を回転する粘着ローラ５０ａに構成されている。搬送台車１０に設けた支持部５１の先端に回転可能に設けたローラの表面に粘着部を設けることで、粘着ローラ５０ａが構成されている。

尚、図２（ａ）に示す場合は、粘着ローラ５０ａは、進行方向に対して搬送台車１０の後方に設けたが、走行上の支障がない限り、進行方向に対して搬送台車１０の前方に設けるようにしても一向に構わない。

粘着部の構成は、ローラ表面に粘着材を塗布する等して構成すればよく、粘着材が軌道面３０ａ上に移らない程度の粘着性のものを使用すればよい。例えば、カーペット上に絡んだ髪の毛等のゴミ埃等を付着させて掃除する公知の掃除用ローラ等で使用する粘着材等を使用しても構わない。

かかる構成を有する搬送台車１０は、図２（ａ）に示すように、荷台部１１上に、半導体ウエハを収納したフープ６０ａ等の密閉式収納容器等に構成された被搬送物６０を載せた状態で、通常の搬送を行うと、被搬送物６０を搬送しながら、搬送台車１０に設けた粘着ローラ５０ａにより、軌道面３０ａ上のゴミ、埃等の不要物を除去することができる。すなわち、被搬送物６０を搬送しながら、軌道の清掃が行えることとなる。

そのため、これまでの提案技術とは異なり、通常の搬送システムを稼働させた状態で、自ずと軌道清掃が並行して行えることとなる。勿論、搬送システムを非稼働状態にして行うこともできるが、本発明に係わる上記構成の搬送台車１０を用いれば、敢えて、搬送システムを非稼働状態にして行う必要はない。

さらに、上記構成の搬送台車１０を用いれば、清掃専用に構成した台車を、複数の搬送専用の台車が往来する搬送システムに割り込ませる必要はなく、面倒な搬送制御システムのレシピ変更を行わなくても済み、搬送効率を低下させる虞がない。

また、かかる搬送台車１０は、搬送機能を有しているため、軌道３０に設けた全ての専用搬送台車と置き換えても構わないが、複数台の専用搬送台車の一部を本発明に係わる搬送台車１０に置き換えることでも、十分に軌道清掃を行わせることができる。

また、粘着ローラ５０ａにより付着させて軌道面３０ａから除去された不要物は、粘着部に確実に付着されているため、モップ、ブラシ、箒等により清掃する場合とは異なり、不要物が周囲に飛散する虞がない。また、真空式掃除機等の吸引式の掃除機を使用する場合とは異なり、掃除機自体からの排気による影響の懸念が全くない。また、軌道内の排気構成を前提とする必要もなく、軌道面を走行する構成の搬送台車であれば、広く汎用適用することができる簡単な構成である。

また、粘着ローラ５０ａにより除去された不要物は、ローラ面に付着された状態で残るため、例えば、どのような不要物が軌道面３０ａ上に存在していたのか、直接的に目視確認で調べることができる。すなわち、粘着ローラ５０ａの構成は、軌道面３０ａ上の不要物のサンプリング機能をも兼ね備えているのである。

粘着ローラ５０ａは、ローラ面の粘着部を取替え可能に構成することで、繰り返し使用することができる。例えば、薄いシートの一方の面に粘着材を塗布しておき、他方の面は粘着材への粘着性を抑制した構成にしておけばよい。かかる粘着シートをロール状に巻き込んでおき、必要に応じて不要物を付着させた範囲を除去することで、新しい粘着部に簡単に更新することができる。

粘着ローラ５０ａは、図３に示すように、搬送専用に用いる専用搬送台車７０に着脱自在に構成してもよく、必要に応じて装着することで適宜の軌道清掃を円滑に行えるようにしても構わない。着脱自在の構成としては、すなわち、図３に示すように、専用搬送台車７０に、粘着ローラ５０ａを走行車輪として兼用する走行台車を清掃ユニット５２として、連結部材７１を介して着脱自在に設けることで、付着手段５０を常備させるのではなく、必要に応じて装着させる構成とすることができる。

また、前記説明の構成では、粘着ローラ５０ａに構成した付着手段５０は、搬送台車１０に別構成として設けたが、搬送台車１０の車輪１３表面に粘着部を設けることで粘着ローラ５０ａとして車輪機能と清掃機能とを兼用させる構成でも構わない。

図２（ａ）に示す構成では、付着手段５０を粘着ローラ５０ａに構成した場合を示したが、効率的に軌道面３０ａ上の不要物を付着することができる構成であれば、図４に示すように、表面に粘着部を設けた粘着シート５３を、両ローラ間に無限軌道状に設ける構成でも構わない。

あるいは、図５に示すように、粘着シート５３を、巻き取り式に構成しておき、走行に合わせて常に新しい粘着部で軌道面３０ａ内の不要物を付着させるようにしても構わない。例えば、粘着シート５３をロール状に巻き込んだ供給ロール５４から、粘着シート５３の粘着部を軌道面３０ａ上に押し付ける押圧ローラ５５を介して、巻き取りロール５６に走行距離に合わせて巻き取らせるように構成しておけばよい。

かかる図５に示す構成を採用すれば、粘着シート５３は、走行距離に応じた長さの範囲で不要物を付着させることとなり、軌道走行終了後に、不要物が付着した粘着シート５３を展開することで、どのような付着物が走行開始地点からどの位離れた箇所で発生していたか採取域を容易に特定することができる。

図２（ａ）に示すように、周長が所定長さに規定された粘着ローラ５０ａの構成では、走行距離がローラの周長より長い場合には、ローラ面に重畳して不要物が付着されるため、どのような不要物が軌道面３０ａ上に存在したかは分かるが、存在位置と対応してどのような不要物があったかまでは特定することができない。図５に示す構成を採用すれば、不要物の存在位置の特定が可能なサンプリング機能を発揮させることができる。

不要物が、走行する台車と軌道構成部との接触により起きるものであれば、その接触部の特定に役立つ。また、どの部分の接触が発生しているかも分かり、かかるサンプリング機能は、搬送システムのメンテナンス等に有効に活用することができる。

尚、図５に示す場合には、上記構成の付着手段を着脱自在のユニットに構成した場合を示したが、図２（ａ）に示す如く、搬送台車１０に一体に設ける構成でも構わない。

以上説明の本発明に係わる搬送台車１０を軌道上に自走走行させることで、搬送システムを非稼働にすることなく清掃が行え、軌道内清掃に必要なシステム停止時期を削減することができる。また、通常の搬送システムの稼働状況の中で並行して清掃を行うことができるため、必要に応じて高頻度で清掃を行うことができ、搬送システムの信頼性の向上が図れる。そのため、かかる搬送システムを採用した半導体装置の製造方法における、製品ＴＡＴを短縮することができ、併せて生産性の向上を図ることができる。

（実施の形態２）
本実施の形態では、搬送台車１０に、被搬送物を搬送させながら、軌道状態あるいは走行状況の検査を行う機能を持たせた構成について説明する。

図６（ａ）に示すように、前記実施の形態１で示したと同様の荷台部１１、走行機構部１２、車輪１３を有し、軌道３０上を走行する搬送台車１０に、検査手段８０が装備されている。検査手段８０としては、例えば、走行時の振動状態を走行位置と共に特定可能に記録する振動計を挙げることができる。かかる振動計を備えることで、振動を嫌う被搬送物としての半導体ウエハ等への搬送時の振動状況を検査することができる。悪影響が懸念される虞のある軌道３０内の振動発生箇所を特定することが容易に行える。

また、走行中の搬送台車１０側の不良による振動等も、上記振動計を搭載して走行状況を検査することで見つけることができる。例えば、車輪１３の欠け等に起因する振動も見つけることができる。

検査手段８０としては、レーザー変位計に構成しても構わない。レーザー変位計を装備することで、軌道敷設時の正常な軌道寸法が、搬送システムを稼働している間に発生したネジ、ボルト等の取り付け部の緩み等に起因する軌道段差、軌道間隔の狭小化等を見つけることができる。

特に、分岐軌道を有する構成では、搬送台車に設けた左右いずれかの腕を、分岐しようとする軌道側壁の左右のいずれかのガイドに案内させることで分岐走行を図る構成が知られているが、かかる分岐部におけるガイド寸法等がズレると、分岐が円滑に行われない場合が十分に想定され、かかる寸法支障箇所の特定に有効に機能させることができる。

また、検査手段８０としては、カメラに構成しても構わない。軌道走行状況をカメラで常時撮影しながら、撮影画像を無線で制御センター等のモニターに映し出すことができるように構成しておけば、走行状況に支障を来す状況が目視確認することができ、メンテナンスに極めて有効に機能することとなる。

また、図６（ａ）に示す構成では、搬送台車１０に検査手段８０を常設する構成を採用した場合を示したが、図６（ｂ）に示すように、検査手段８０を、上記振動計、レーザー変位計、カメラ等を搭載した走行台車からなる検査ユニット５７として構成することで、連結部材７１を介して着脱自在に設けて、専用搬送台車７０を搬送用に走行させながら、軌道状態あるいは走行状況の検査を行うようにしても構わない。

以上説明の本発明に係わる搬送台車１０等を軌道上に自走走行させることで、搬送システムを非稼働にすることなく軌道状態あるいは走行状況の検査が行え、事前に支障発生が予想される箇所の特定、メンテナンスが行え、トラブルによる突発的なシステム停止を抑制することができる。また、通常の搬送システムの稼働状況の中で並行してかかる検査を行うことができるため、必要に応じて高頻度で検査が行え、搬送システムの信頼性の向上が図れる。そのため、かかる搬送システムを採用した半導体装置の製造方法における、製品ＴＡＴを短縮することができ、併せて生産性の向上を図ることができる。

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

前記実施の形態では、清掃手段として機能する付着手段、軌道状態、走行状況等を検査する検査手段は、個別に搬送台車に設ける構成を示したが、搬送台車に付着手段、検査手段の双方を併有させる構成であっても構わない。

前記実施の形態では、半導体装置、液晶等の製造工場のクリーンルームで本発明の適用例を例示して説明したが、かかる電子部品以外の搬送システムで適用しても構わない。

本発明は、電子部品等の搬送システムとして使用する軌道に沿って搬送台車により被搬送物を搬送する分野で有効に利用することができる。

本発明の一実施の形態である搬送台車を走行させる軌道敷設の状況を模式的に示した説明図である。 （ａ）は本発明の一実施の形態である搬送台車の構成を模式的に示す側面図であり、（ｂ）は正面図である。 本発明の一実施の形態である付着手段を専用搬送台車に連結可能に構成した場合を示す側面図である。 本発明の一実施の形態である付着手段の変形例を模式的に示す側面図である。 本発明の一実施の形態である付着手段の変形例を模式的に示す側面図である。 （ａ）は本発明の一実施の形態である検査手段を設けた搬送台車の構成を模式的に示す側面図であり、（ｂ）はその変形例である。

符号の説明

１０ 搬送台車
１１ 荷台部
１２ 走行機構部
１３ 車輪
２０ クリーンルーム
３０ 軌道
３０ａ 軌道面
３０ｂ 側壁
３１ａ ストッカ
３１ｂ ストッカ
３１ｃ ストッカ
４０ 床上搬送台車
５０ 付着手段
５０ａ 粘着ローラ
５１ 支持部
５２ 清掃ユニット
５３ 粘着シート
５４ 供給ロール
５５ 押圧ローラ
５６ 巻き取りロール
５７ 検査ユニット
６０ 被搬送物
６０ａ フープ
７０ 専用搬送台車
７１ 連結部材
８０ 検査手段
Ａ 装置群
Ｂ 装置群
Ｃ 装置群

Claims (10)

1. 被搬送物を載せてクリーンルーム内の軌道を走行する搬送台車であって、
   前記被搬送物を前記搬送台車に載せて搬送させながら、軌道上の不要物を粘着部に付着させて除去する付着手段と、
   前記被搬送物を前記搬送台車に載せて搬送させながら、前記搬送台車の走行状況あるいは軌道状態を検査する検査手段との少なくともいずれかの手段を有することを特徴とする搬送台車。
2. 請求項１記載の搬送台車において、
   前記付着手段あるいは前記検査手段の少なくともいずれかの手段は、前記搬送台車に着脱可能に連結されて走行するユニットに形成されていることを特徴とする搬送台車。
3. 請求項１または２記載の搬送台車において、
   前記付着手段は、ローラ面が前記不要物を付着させる粘着部に形成されている粘着ローラであることを特徴とする搬送台車。
4. 請求項１または２記載の搬送台車において、
   前記付着手段は、シート面が前記不要物を付着させる粘着部に形成されている粘着シートを、前記搬送台車の走行に合わせて、前記軌道に前記粘着部を接触させながら巻き取る粘着シートであることを特徴とする搬送台車。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送台車において、
   前記軌道は、半導体装置等の電子部品を扱うクリーンルームの天井側に設けられた天井搬送用軌道であることを特徴とする搬送台車。
6. 搬送台車に被搬送物を載せてクリーンルーム内の軌道を走行しながら、軌道上の不要物を粘着部に付着させて除去することを特徴とする軌道清掃方法。
7. 搬送台車に被搬送物を載せてクリーンルーム内の軌道を走行しながら、軌道状態あるいは走行状況の検査を行うことを特徴とする走行検査方法。
8. クリーンルームの天井側に設けた軌道を走行する搬送台車に被搬送物を載せて搬送する搬送工程を有する半導体装置の製造方法であって、
   前記搬送台車に前記被搬送物を載せて走行させながら、軌道上の不要物を粘着部に付着させて除去することを特徴とする半導体装置の製造方法。
9. クリーンルームの天井側に設けた軌道を走行する搬送台車に被搬送物を載せて搬送する搬送工程を有する半導体装置の製造方法であって、
   前記搬送台車に前記被搬送物を載せて走行させながら、軌道状態あるいは走行状況の検査を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
10. クリーンルームの天井側に設けた軌道を走行する搬送台車に被搬送物を載せて搬送する搬送工程を有する半導体装置の製造方法であって、
    前記搬送台車に前記被搬送物を載せて走行させながら、軌道上の不要物を、前記不要物の採取域を特定可能にサンプリングすることを特徴とする半導体装置の製造方法。

Images