JP2011138835A - 搬送振動監視装置及び真空処理装置並びに搬送振動監視方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の搬送振動監視装置は、基板6を搭載してインライン式成膜装置S内に配設された搬送路Rに沿って搬送されるキャリアTに加わる振動を監視するものであって、キャリアTに取付けられた加速度変化を測定できる加速度センサ5と、加速度センサ5で測定された加速度データと解析するPC13とを備えて構成されている。
【選択図】図2
Description
或いは、本発明に係る搬送振動監視方法は、基板を搭載して真空処理装置内に配設された搬送路に沿って搬送されるキャリアに加わる振動を監視し、キャリアに取付けられた加速度変化を測定できる加速度センサと、加速度センサで測定された測定値を解析するPCとを用いる搬送振動監視方法であって、キャリアが搬送されている状態で加速度センサによって測定された測定値と予め設定された加速度の基準値とを比較する振動判定ステップを有し、測定値が基準値よりも高い値であるときは、測定値が検出された位置情報が前記PCに表示されることを特徴とする。
以下に、搬送振動監視装置を構成する各部材について説明する。
基準値bを超える振動数値(加速度)を検出した場合(S003:YES)は、キャリアの搬送を停止し(S004:第1搬送停止ステップ)、ガイドローラ7間の調整など基板搬送装置Tのメンテナンスを行う(S005)。メンテナンス後、再度、キャリアの搬送をSTARTさせる(S001)。測定値が基準値b以下の場合(S003:NO)は、S006へ進む。
基準値cを超える振動数値(加速度値)を測定した場合(S006:YES)は、キャリアT(ホルダー)に基板6が搭載されているか否か、すなわち基板6の有無を確認する(S007:基板確認ステップ)。キャリアTが受けた振動によって基板6が落下した可能性があるからである。基板6の落下を確認した場合(S007:YES)には、キャリアTの搬送を停止し(S008:第2搬送停止ステップ)、ガイドローラ7間調整など基板搬送装置の調整を行う(S009)。
R 搬送路
S1 プロセスチャンバー
ST ストックチャンバー
LL ロードチャンバー
UL アンロ−ドチャンバー
C コーナーチャンバー
T キャリア
1 スライダー
2 ホルダー
3 発信アンテナ
4 基板支持爪
5 振動センサ(加速度センサ)
6 基板
7 ガイドローラ
8 キャリアレール
9 メインレール
10 センサホルダー
11 ネジ
12 送信アンテナ
13 PC
Claims (9)
- 基板を搭載して真空処理装置内に配設された搬送路に沿って搬送されるキャリアに加わる振動を監視する搬送振動監視装置であって、
前記キャリアに取付けられた加速度変化を測定できる加速度センサと、
前記加速度センサで測定された加速度データと解析するPCとを備えることを特徴とする搬送振動監視装置。 - 前記加速度センサは、少なくとも垂直方向の加速度変化を測定できるように前記キャリアに取付けられていることを特徴とする請求項1に記載の搬送振動監視装置。
- 前記加速度センサは、測定値を無線送信する送信機を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送振動監視装置。
- 前記真空処理装置は、複数のチャンバーが四角形状に連結されるとともに、前記複数のチャンバーに囲まれた内側領域に前記チャンバーが配置されない中庭を有するように構成され、
前記中庭に、前記送信機から無線送信された測定値を受信する受信機配設されることを特徴とする請求項3に記載の搬送振動監視装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動監視装置を備えることを特徴とする真空処理装置。
- 基板を搭載して真空処理装置内に配設された搬送路に沿って搬送されるキャリアに加わる振動を監視し、
前記キャリアに取付けられた加速度変化を測定できる加速度センサと、
前記加速度センサで測定された測定値を解析するPCとを用いる搬送振動監視方法であって、
前記キャリアが搬送されている状態で前記加速度センサによって測定された測定値と予め設定された加速度の基準値とを比較する振動判定ステップを有し、
前記測定値が前記基準値よりも高い値であるときは、前記測定値が検出された位置情報が前記PCに表示されることを特徴とする搬送振動監視方法。 - 基板を搭載して真空処理装置を構成する複数のチャンバーを貫通して配設された搬送路に沿って搬送されるキャリアに取付けられた加速度変化を測定できる加速度センサと、
前記搬送路側に取付けられ、前記キャリアが前記基板を保持しているか否かを検出する基板落下検出手段と、
前記加速度センサで測定された測定値を解析するPCとを用いる搬送振動監視方法であって、
前記キャリアが搬送されている状態で前記加速度センサによって測定された測定値と予め設定された加速度の第1基準値とを比較する第1振動判定ステップと、
前記測定値が前記第1基準値よりも大きいときに前記キャリアの搬送を停止する第1搬送停止ステップと、
前記測定値と予め設定された加速度の第2基準値とを比較する第2振動判定ステップと、
前記測定値が前記第2基準値よりも大きいときに前記キャリアに前記基板が保持されているか否かを確認する基板確認ステップと、
前記基板確認ステップにおいて前記キャリアに前記基板が保持されていないことが確認されたときに前記キャリアの搬送を停止する第2搬送停止ステップと、を有し、
前記第1基準値は、前記第2基準値よりも大きな加速度の値であることを特徴とする搬送振動監視方法。 - 前記第1搬送停止ステップ及び第2搬送停止ステップによって、前記キャリアの搬送が停止されたときに、前記第1基準値又は前記第2基準値が検出された前記チャンバーの位置情報が前記PCに表示されることを特徴とする請求項7に記載の搬送振動監視方法。
- 前記加速度センサを用いて加速度を測定した連続測定時間と予め設定された基準時間とを比較し、前記連続測定時間が前記基準時間を超えたときに、前記加速度センサが取付けられた前記キャリアが交換されることを特徴とする請求項7又は8に記載の搬送振動監視方法。
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Cited By (1)
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US11738954B2 (en) | 2019-12-17 | 2023-08-29 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Conveyance device |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001264157A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-26 | Omron Corp | 振動データ収集ツールと、この振動データ収集ツールを用いた振動管理装置 |
JP2001330620A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-11-30 | Omron Corp | 振動・衝撃警報装置 |
JP2002288888A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Anelva Corp | 基板搬送装置及びそれを用いた基板処理装置 |
JP2005171940A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 建設機械のエンジンメンテナンス時期予測装置及び予測方法 |
JP2005268556A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Yaskawa Electric Corp | ウェハ有無検出装置およびこれを用いた搬送ロボット装置 |
JP2005334836A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Renesas Technology Corp | 搬送台車、およびそれを用いた軌道清掃方法、走行検査方法並びに半導体装置の製造方法 |
JP2006278396A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及びプログラム |
JP2006310349A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造システム及び製造方法 |
JP2009124078A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001264157A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-26 | Omron Corp | 振動データ収集ツールと、この振動データ収集ツールを用いた振動管理装置 |
JP2001330620A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-11-30 | Omron Corp | 振動・衝撃警報装置 |
JP2002288888A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Anelva Corp | 基板搬送装置及びそれを用いた基板処理装置 |
JP2005171940A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 建設機械のエンジンメンテナンス時期予測装置及び予測方法 |
JP2005268556A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Yaskawa Electric Corp | ウェハ有無検出装置およびこれを用いた搬送ロボット装置 |
JP2005334836A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Renesas Technology Corp | 搬送台車、およびそれを用いた軌道清掃方法、走行検査方法並びに半導体装置の製造方法 |
JP2006278396A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及びプログラム |
JP2006310349A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造システム及び製造方法 |
JP2009124078A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016147714A1 (ja) * | 2015-03-18 | 2016-09-22 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 点検デバイス |
CN107407688A (zh) * | 2015-03-18 | 2017-11-28 | 株式会社日立高新技术 | 检查设备 |
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