KR20080081692A - 카세트 이송용 스태커로봇 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시장치용 제조설비인 스토커(stocker) 내에 구비되어 카세트를 운반하는 스태커로봇(stacker robot)에 관한 것으로 특히, 스토커 내부를 자동으로 청소할 수 있는 자동청소기가 구비된 스태커로봇에 관한 것이다.
본 발명은 스태커로봇에 흡입구를 갖는 자동청소기를 구성하여, 상기 스태커로봇이 카세트를 운반하는 과정에서, 상기 자동청소기를 통해 스태커로봇의 이동경로인 스토커 바닥면의 미세먼지 또는 파티클을 흡입 세척하는 것을 특징으로 한다.
이로 인하여, 상기 스토커 바닥면에 쌓여있는 미세먼지 또는 파티클을 깨끗하게 청소할 수 있으며, 기존의 스토커 바닥면의 크리닝공정을 전적으로 작업자에 의존함으로써 갖는 작업상의 불편함과, 크리닝공정을 진행하는 동안 스태커로봇의 운행이 불가능하여 장비 및 작업효율을 저하시켰던 문제점을 미연에 방지할 수 있다.
Figure P1020070022066
스토커, 스태커로봇, 트롤리레일, 청소기

Description

카세트 이송용 스태커로봇{stacker robot for transfering cassette}
도 1은 일반적인 스토커를 개략적으로 도시한 평면도.
도 2는 본 발명에 따른 스토커를 나타낸 사시도.
도 3a는 본 발명에 따른 스토커용 자동청소기의 구조를 개략적으로 도시한 사시도.
도 3b는 자동청소기의 움직임을 개략적으로 도시한 사시도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 스토커 112 : 쉘프
120 : 스태커로봇 122 : 본체
124 : 리프팅포스트 126 : 리프팅프레임
128 : 아암 129 : 이동부
130 : 자동청소기 132, 134 : 입,출고포트
136 : 트롤리레일 C : 카세트
본 발명은 평판표시장치용 제조설비인 스토커(stocker) 내에 구비되어 카세트를 운반하는 스태커로봇(stacker robot)에 관한 것으로 특히, 스토커 내부를 자동으로 청소할 수 있는 자동청소기가 구비된 스태커로봇에 관한 것이다.
일반적으로 널리 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(cathode ray tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보단말기기 등의 모니터에 주로 이용되어 오고 있으나, CRT 자체의 큰 무게나 부피로 인하여 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극 대응할 수 없었다.
이러한 CRT를 대체하기 위해 소형, 경량화의 장점을 갖고 있는 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 플라즈마표시장치(plasma display panel device : PDP) 등의 평판표시장치(flat panel display)가 활발하게 개발되어 왔다.
이중, 액정표시장치는 액정을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 액정패널을 필수적인 구성요소로 갖추고 있는데, 이와 같은 패널은 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 포토리소그라피(photo lithography)공정, 식각(etching)공정을 여러 번 반복하여 구성하며, 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정이 수반된다.
그리고 이들 각각의 공정진행을 위해 기판은 해당공정을 수행하는 공정장비 로 운반 및 공급되는데, 이 과정 중에 기판의 운반 및 보관에 드는 시간과 노력을 절감하고자 복수의 기판을 수납하는 카세트(cassette)가 사용되며, 현재 평판표시장치의 제조공정에 있어서 기판 보관 및 운반의 최소단위를 이루고 있다.
아울러 일반적인 평판표시장치의 제조설비에는 일정한 청정도를 유지하면서 카세트를 보관하는 창고 역할의 스토커(stocker)가 마련되어, 대기(待期) 중의 카세트가 보관된다.
도 1은 일반적인 스토커를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도시한 바와 같이, 스토커(10) 내에는 카세트(미도시) 보관을 위한 다수의 쉘프(12)가 제공되며, 스토커(10) 바닥면을 가로지르는 트롤리레일(trolly rail : 36) 상에는 스태커로봇(stacker robot : 20), 이른바 랙마스터(rack master)가 안착되어 슬라이딩 이동한다.
이때, 스태커로봇(20)은 외부의 반송시스템인 AGV(auto guided vehicle : 미도시) 등에 의해 스토커(10)의 입고포트(32)로 전달된 카세트(C)를 적절한 쉘프(12)로 운반 및 적재하거나 임의의 쉘프(12)로부터 카세트(C)를 꺼내 출고포트(34)에 하역함으로써 AGV 등에 의해 반출되도록 한다.
이러한 스토커(10)의 내부는 미세먼지나 입자와 같은 파티클(particle)에 의하여 카세트(C)에 수납된 기판(미도시)이 오염되지 않도록 극도록 청결한 상태가 유지되어야 함에도 불구하고, 상기 카세트(C)의 입출고 시 상기 입,출고포트(32, 34)를 통해서 외부의 미세먼지나 파티클이 스토커(10) 내부로 유입되거나, 스태커로봇(20)의 움직임 등에 의해 스토커(10) 내부에서 자체적으로 미세먼지나 파티클 이 발생되고 있다.
따라서, 스토커(10)의 천장에는 스토커(10) 내부 환경의 청정도를 유지하기 위한 팬 필터 유닛(fan filter unit : 미도시)을 설치하여, 상기 미세먼지나 파티클을 외부로 배출하고자 한다.
그러나, 이러한 팬 필터 유닛을 통한 미세먼지 또는 파티클의 외부배출은 상기 스토커(10) 바닥면의 개구를 통해 이루어지는데, 일반적으로 상기 스토커(10) 바닥면의 개구율은 약 50% 정도 밖에 되지 않아 상기 미세먼지 또는 파티클이 모두 외부로 배출되지 않고, 일부가 스토커(10) 바닥면에 쌓이게 되는 문제점을 야기하게 된다.
이에 따라 별도의 크리닝공정을 진행해야 하는데, 현재로서는 일정주기 별로 스태커로봇(20)을 정지시킨 후 작업자가 직접 와이퍼(wiper)를 이용하여 스토커(10) 바닥면을 세척하고 있는 실정이다.
이러한 크리닝공정은 전적으로 작업자에 의존해야 하므로 작업상의 불편함을 가지며, 크리닝공정을 진행하는 동안 스태커로봇(20)의 운행이 불가능하여 장비 및 작업효율을 저하시키는 문제점을 발생시킨다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 스태커로봇의 운행 중에도 스토커 내부의 크리닝공정을 진행하고자 하는 것을 제 1 목적으로 한다.
이로 인하여, 장비 및 작업의 효율성 향상을 제 2 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 본체와; 상기 본체 하부에 부설되며, 트롤리레일(trolly rail)을 따라 이동하는 이동부와; 상기 본체의 서로 마주보는 양측으로 상향 직립된 한쌍의 리프팅포스트(lifting post)와; 상기 한쌍의 리프팅포스트 사이에서 수평하게 구비되며, 승강하는 리프팅프레임(lifting frame)과; 상기 리프팅프레임 상에 회전, 수축 및 신장 가능한 아암(arm)과; 상기 본체에 부설되며, 흡입구를 포함하는 자동청소기를 포함하는 카세트 이송용 스태커로봇을 제공한다.
상기 흡입구는 상기 스태커로봇의 이동방향에 수직하게 좌,우로 왕복 슬라이딩 이동하는 것을 특징으로 하며, 상기 흡입구는 상기 트롤리레일과 밀접하게 위치하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 자동청소기는 상기 흡입구를 고정 및 지지하는 고정부를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 고정부의 일측면에는 상기 흡입구가 좌,우로 왕복 슬라이딩 가능하도록 가이드라인이 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 고정부의 하부면에는 한쌍의 주행 휠(wheel)이 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 주행 휠은 표면에 탄성재질인 트래드(tread)부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 고정부 내에는 미세먼지 또는 파티클이 축적되는 필터(filter)가 구비되는 것을 특징으로 하며, 상기 고정부의 타측면은 상기 스태커로봇의 이동방향에 수직한 본체의 일측면과 볼트를 통해 고정되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 자동청소기는 상기 본체의 양측면에 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 자동청소기는 상기 스태커로봇의 동력과 연결되는 것을 특징으로 한다.
이하 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 스토커를 나타낸 사시도이다.
도시한 바와 같이, 카세트(C)가 안착되는 복수개의 쉘프(shelf : 112)가 상하좌우로 구획(區劃) 제공되고, 스토커(100) 바닥면을 가로지르는 트롤리레일(trolly rail : 136) 상에는 스태커로봇(stacker robot : 120), 이른바 랙마스터(rack master)가 안착되어 슬라이딩 이동한다.
이때, 스태커로봇(120)은 외부의 반송시스템인 AGV(auto guided vehicle : 미도시) 등에 의해 스토커(100)의 입고포트(132)로 전달된 카세트(C)를 적절한 쉘프(112)로 운반 및 적재하거나 임의의 쉘프(112)로부터 카세트(C)를 꺼내 출고포트(134)에 하역함으로써 AGV 등에 의해 반출되도록 한다.
이를 위해 스태커로봇(120)은 본체(122)와, 상기 트롤리레일(136)을 따라 전체를 운행시키는 이동부(129)와, 상기 본체(122)의 좌,우측 가장자리로부터 상향 직립된 된 한 쌍의 리프팅포스트(lifting post : 124)와, 이들 한 쌍의 리프팅포스트(124) 사이에서 수평하게 승강되는 리프팅프레임(lifting frame : 126) 및 이의 상부에 회전 그리고 수축 및 신장 가능하여 직접적으로 카세트(C)를 운반하는 아암(arm : 128)을 포함한다.
그 결과 상기 스태커로봇(120)은 이동부(129)에 의해 트롤리레일(136)을 따라 좌,우 평면이동을 하고, 리프팅프레임(126)의 승강에 의한 수직이동 그리고 아암(128)의 회전, 수축 및 신장에 의한 수평운동 동작을 연결하여 목적하는 바에 따라 카세트(C)를 운반하고 적재 및 하역할 수 있다.
한편, 이러한 스태커로봇(120)의 모든 동작은 전기를 원동력으로 하며, 주행 중에도 안정적으로 전원을 공급받을 수 있도록 통상 무접촉전원공급방식을 채택하고 있다. 이를 위해 스토커(100) 내에는 스태커로봇(120)의 이동경로를 따라 외부전력이 공급되는 파워트랙(power track : 미도시)이 배설되어, 스태커로봇(120)은 이로부터 전원을 공급받게 된다.
이때 특히 본 발명에 따른 스태커로봇(120)의 본체(122)에는 적어도 하나의 자동청소기(130)가 구비되는데, 이는 상기 스태커로봇(120)의 본체(122)와 볼트 등을 통해 조립 고정되어, 상기 스태커로봇(120)의 좌,우 평면이동 시 함께 이동한다.
본 발명은 이상에서 설명한 자동청소기(130)를 통해 상기 스토커(100) 바닥면의 미세먼지 또는 파티클을 흡입 세척하는 것을 특징으로 하는데, 이는 도 3a및 3b를 참조하여 좀더 자세히 설명하도록 하겠다.
도 3a는 본 발명에 따른 스토커용 자동청소기의 구조를 개략적으로 도시한 사시도이며, 도 3b는 자동청소기의 움직임을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 3a에 도시한 바와 같이, 자동청소기(130)는 직접적으로 미세먼지 또는 파티클을 흡입하는 흡입구(131)와, 상기 흡입구(131)를 고정 및 지지하며 상기 흡입 구(131)를 구동하기 위한 구성요소들을 포함하는 고정부(133)로 구성된다.
이때, 상기 고정부(133)의 일측면에는 상기 흡입구(131)를 수평방향으로 이동시키기 위한 홈 형태의 가이드라인(guide line : 137)이 구성되어, 상기 흡입구(131)는 상기 가이드라인(137)의 길이방향을 따라 수평방향으로 왕복하여 슬라이딩 이동하게 된다.
또한, 상기 고정부(133)의 하부면에는 상기 스토커(도 2의 100) 바닥면에 가로질러 구성되는 트롤리레일(도 2의 136)과 대응되는 한쌍의 주행 휠(wheel : 135)이 구성되는데, 상기 주행 휠(135)은 트롤리레일(도 2의 136)과 밀착되어 회전함에 따라, 상기 자동청소기(130)가 트롤리레일(도 2의 136)을 따라 이동하게 된다.
이때, 상기 휠(135)의 외면으로는 우레탄 등의 탄성재질로 이루어진 트레드(tread)부재를 둘러 진동과 소음을 방지하는 것이 바람직하다.
이로 인하여, 도 3b에 도시한 바와 같이 상기 트롤리레일(136)을 따라 상기 자동청소기(130)가 x축 방향으로 이동하게 되는 동시에, 상기 흡입구(131)가 상기 가이드라인(137)을 따라 y축 방향으로 슬라이딩 이동하여 트롤리레일(136) 주변의 미세먼지 또는 파티클을 흡입하게 된다.
즉, 상기 자동청소기(130)는 상기 트롤리레일(136)을 따라 이동하는 스태커로봇(도 2의 120)의 이동경로인 스토커(도 2의 100) 바닥면을 청소하는 것이다.
이렇듯, 흡입구(131)를 통해 흡입된 미세먼지 또는 파티클은 상기 자동청소기(130)의 고정부(133) 내부에 구비된 필터(filter : 미도시)로 축적되도록 하여, 일정량의 미세먼지나 파티클이 축적되면 상기 필터를 세척하거나 교환하여 사용한 다.
이때, 필터의 세척 및 교환은 상기 스토커(도 2의 100) 또는 스태커로봇(도 2의 120)의 정기점검 시 행하여, 공정 장비 및 작업효율을 저하시키지 않도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 자동청소기(130)의 흡입구(131)의 이동 및 흡입을 위한 모터 등은 상기 스태커로봇(도 2의 120)의 동력전달수단을 사용함으로써, 별도의 동력원을 필요치 않는다.
이때, 상기 자동청소기(130)는 상기 스태커로봇(도 2의 120)의 본체(도 2의 122) 양측 즉, 트롤리레일(136)과 수직하게 본체(도 2의 122)의 양측면에 구성되어, 상기 스태커로봇(도 2의 120)의 이동방향에 대해 앞,뒤로 미세먼지 또는 파티클을 흡입 세척할 수 있다.
전술한 바와 같이, 스태커로봇(도 2의 120)에 자동청소기(130)를 구성하여, 상기 자동청소기(130)를 통해 상기 스태커로봇(도 2의 120)의 이동경로인 스토커(도 2의 100) 바닥면의 미세먼지 또는 파티클을 흡입 세척함으로써, 상기 스토커 (도 2의 100) 바닥면에 쌓여있는 미세먼지 또는 파티클을 깨끗하게 청소할 수 있다.
이로 인하여, 기존의 일정주기 별로 스태커로봇(도 2의 120)을 정지시킨 후 작업자가 직접 와이퍼(wiper)를 이용하여 스토커(도 2의 100) 바닥면을 세척함으로써, 스토커(도 2의 100) 바닥면의 크리닝공정이 전적으로 작업자에 의존해야 했던 작업상의 불편함과, 크리닝공정을 진행하는 동안 스태커로봇(도 2의 120)의 운행이 불가능하여 장비 및 작업효율을 저하시켰던 문제점을 미연에 방지할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 스태커로봇에 자동청소기를 더욱 구성하여, 상기 자동청소기를 통해 스태커로봇의 이동경로인 스토커 바닥면의 미세먼지 또는 파티클을 흡입 세척함으로써, 상기 스토커 바닥면에 쌓여있는 미세먼지 또는 파티클을 깨끗하게 청소할 수 있는 효과가 있다.
이로 인하여, 기존의 스토커 바닥면의 크리닝공정을 전적으로 작업자에 의존함으로써 갖는 작업상의 불편함과, 크리닝공정을 진행하는 동안 스태커로봇의 운행이 불가능하여 장비 및 작업효율을 저하시켰던 문제점을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (11)

  1. 본체와;
    상기 본체 하부에 부설되며, 트롤리레일(trolly rail)을 따라 이동하는 이동부와;
    상기 본체의 서로 마주보는 양측으로 상향 직립된 한쌍의 리프팅포스트(lifting post)와;
    상기 한쌍의 리프팅포스트 사이에서 수평하게 구비되며, 승강하는 리프팅프레임(lifting frame)과;
    상기 리프팅프레임 상에 회전, 수축 및 신장 가능한 아암(arm)과;
    상기 본체에 부설되며, 흡입구를 포함하는 자동청소기
    를 포함하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡입구는 상기 스태커로봇의 이동방향에 수직하게 좌,우로 왕복 슬라이딩 이동하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 흡입구는 상기 트롤리레일과 밀접하게 위치하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 자동청소기는 상기 흡입구를 고정 및 지지하는 고정부를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 고정부의 일측면에는 상기 흡입구가 좌,우로 왕복 슬라이딩 가능하도록 가이드라인이 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 고정부의 하부면에는 한쌍의 주행 휠(wheel)이 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 주행 휠은 표면에 탄성재질인 트래드(tread)부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 고정부 내에는 미세먼지 또는 파티클이 축적되는 필터(filter)가 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  9. 제 4 항에 있어서,
    상기 고정부의 타측면은 상기 스태커로봇의 이동방향에 수직한 본체의 일측면과 볼트를 통해 고정되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 자동청소기는 상기 본체의 양측면에 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 자동청소기는 상기 스태커로봇의 동력과 연결되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 스태커로봇.
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