KR20110101623A - 카세트 이송용 스태커로봇 - Google Patents

카세트 이송용 스태커로봇 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판표시장치용 제조설비 내에서 카세트를 운반하는 랙마스터 또는 카세트이송대차에 관한 것으로 특히, 랙마스터 또는 카세트이송대차의 주행시 발생하는 갈림이물이 스토커 내부 또는 클린룸 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지하고자 하는 것이다.
본 발명의 특징은 스태커로봇의 한쌍의 리프팅포스트에 팬유닛과 집진유닛으로 이루어지는 공기순환장치를 구비함으로써, 리프팅프레임의 승강에 의한 수직이동시 리프팅포스트 내부에 구비된 알루미늄 또는 스테인리스와 같은 금속재질로 이루어진 순환체인으로부터 많은 갈림 이물이 발생되어도, 이와 같은 갈림 이물이 스토커 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
이로 인하여, 갈림 이물에 의해 발생된 미세먼지나 파티클로 인하여 스토커 내부에 위치하는 기판이 오염되거나 클린룸이 오염되는 것을 방지할 수 있다.

Description

카세트 이송용 스태커로봇{Stacker robot for transfering cassette}
본 발명은 평판표시장치용 제조설비 내에서 카세트를 운반하는 랙마스터 또는 카세트이송대차에 관한 것으로 특히, 랙마스터 또는 카세트이송대차의 주행시 발생하는 갈림 이물이 스토커 내부 또는 클린룸 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지하고자 하는 것이다.
일반적으로 널리 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(cathode ray tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보단말기기 등의 모니터에 주로 이용되어 오고 있으나, CRT 자체의 큰 무게나 크기로 인하여 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극 대응할 수 없었다.
이러한 CRT를 대체하기 위해 소형, 경량화의 장점을 갖고 있는 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 플라즈마표시장치(plasma display panel device : PDP) 등이 활발하게 개발되어 왔다.
여기서, 액정표시장치는 고유의 형광 또는 편광층을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있는데, 이와 같은 패널은 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 포토리소그라피(photo lithography)공정, 식각(etching)공정을 여러 번 반복하여 구성하며 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정이 수반된다.
한편, 이와 같은 수많은 단위 공정들로 이루어진 액정표시장치의 제조공정은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있으며, 클린룸 내부의 특정 공정장비에 의해 공정이 완료된 다수의 기판은 카세트(cassette)에 적재된 후 물류반송시스템에 의해 클린룸 내에 저장되거나, 또는 다른 공정장비로 이송된다.
여기서, 물류반송시스템은 클린룸 내 공정간 발생하는 기판의 저장, 이송을 유기적으로 연결함으로써, 전체 제조시스템의 생산성을 극대화시키기 위한 자동 반송시스템을 말하며, 대표적인 클린룸의 물류반송시스템은 스토커, OHS(OverHead Shuttle), OHT(Overhead Hoist Transport), AGV(Automated Guided Vehicle), RGV(Rail Guided Vehicle), Handling robot, Overhead Conveyor, Overhead Carrier Vehicle 등이 있다.
스토커는 또 다른 공정장비들에서 이미 공정이 수행되고 있거나 또는 카세트에 적재된 기판을 일시 보관하는 기능을 담당하는 액정표시장치의 제조공정에 필수 장비이다.
이러한 스토커는 내부에 카세트 보관을 위한 다수의 쉘프가 제공되며, 스토커 바닥면을 가로지르는 레일(rail) 상에는 스태커로봇(stacker robot), 이른바 랙마스터(rack master)가 안착되어 슬라이딩 이동한다.
한편, 스토커(10)의 내부는 미세먼지나 입자와 같은 파티클(particle)에 의하여 카세트(C)에 수납된 기판(미도시)이 오염되지 않도록 극도로 청결한 상태가 유지되어야 함에도 불구하고, 카세트(C)의 입출고 시 입,출고포트(32, 34)를 통해서 외부의 미세먼지나 파티클이 스토커(10) 내부로 유입되거나, 스태커로봇(20)의 움직임 등에 의해 스토커(10) 내부에서 자체적으로 미세먼지나 파티클이 발생되고 있다.
특히, 스태커로봇은 카세트를 목적하는 방에 따라 적재 및 하역하는 과정에서, 리프팅부의 리프팅프레임의 승강에 의한 수직이동시 많은 갈림 이물이 발생하게 된다.
비록, 스토커(10) 내부에는 스토커(10) 내부 환경의 청정도를 유지하기 위한 팬 필터 유닛(fan filter unit : 미도시)을 설치하여, 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클을 외부로 배출하고자 하나, 이러한 팬 필터 유닛을 통한 미세먼지나 파티클의 외부배출은 스토커(10) 바닥면을 통해서 이루어지므로, 미세먼지나 파티클이 스토커의 바닥면을 통해 외부로 배출되기 전, 일부 미세먼지나 파티클은 스토커 내부에서 비산(飛散)되어 기판을 오염시키는 문제점을 야기하게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 스태커로봇으로 인해 발생하는 미세먼지나 파티클이 스토커 내부에서 비산(飛散)되는 것을 방지하고자 하는 것을 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본체와; 상기 본체 하부에 부설되며, 트롤리레일(trolly rail)을 따라 이동하는 이동부와; 상기 본체의 서로 마주보는 양측으로 상향 직립된 한쌍의 리프팅포스트(lifting post)와; 상기 리프팅포스트의 상부에 구비되어, 상기 리프팅포스트 내부로 기체를 분사하는 팬유닛(fan unit)과, 상기 기체를 흡입하는 집진유닛(集塵 unit)으로 이루어지는 공기순환장치와; 상기 한쌍의 리프팅포스트 사이에 수평하게 구비되며, 상기 리프팅포스트 길이방향을 따라 승하강하는 리프팅프레임(lifting frame)과; 상기 리프팅프레임 상에 회전, 수축 및 신장 가능한 아암(arm)을 포함하는 카세트 이송용 스태커로봇을 제공한다.
이때, 상기 집진유닛은 상기 각 리프팅포스트의 하부에 구비되며, 상기 기체는 불활성 가스를 포함하는 청정에어(clean air)이다.
그리고, 상기 각 리프팅포스트는 서로 마주보는 일 방향이 개구부를 이루며, 상기 개구부에는 방진필름이 구비되며, 상기 각 리프팅포스트에 길이방향을 따라 순환 회전하는 체인이 내장된다.
또한, 상기 리프팅프레임은 상기 체인과 연결되어 승하강되며, 상기 아암부는 상기 리프팅프레임 상에 장착된 회전디스크와, 상기 회전디스크에 일단이 결합된 상태로 수축 및 신장하는 아암과, 상기 아암의 말단부에 결합되어 카세트를 지지하는 캣치플레이트(catch plate)를 포함한다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 스태커로봇은 리프팅프레임을 승강에 의한 수직이동 하도록 내부에 순환체인이 구비된 한쌍의 리프팅포스트에 팬유닛과 집진유닛으로 이루어지는 공기순환장치를 구비함으로써, 리프팅프레임의 승강에 의한 수직이동시 리프팅포스트 내부에서 발생되는 갈림 이물이 스토커 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이로 인하여, 갈림 이물에 의해 발생된 미세먼지나 파티클로 인하여 스토커 내부에 위치하는 기판이 오염되거나 클린룸이 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 스토커를 나타낸 사시도.
도 2 ~ 3은 본 발명의 실시예에 따른 스태커로봇의 구조를 개략적으로 도시한 사시도 및 측면도.
도 4는 도 3의 리프팅포스트의 구조를 확대 도시한 측면도.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 스토커를 나타낸 사시도이다.
도시한 바와 같이, 스토커(100) 내에는 바닥면을 따라 배열된 트롤리레일(trolly rail : 136)의 적어도 일측으로는 카세트(C)가 안착되는 복수개의 쉘프(shelf : 112)가 상하좌우로 구획(區劃)되어 제공되고, 입고포트(132) 및 출고포트(134)가 제공되며, 트롤리레일(136)을 따라 슬라이딩 이동하면서 카세트를 운반하는 스태커로봇(stacker robot : 200), 이른바 랙마스터(rack master)가 구비되어 있다.
이때, 스태커로봇(200)은 외부의 반송시스템인 AGV(auto guided vehicle : 미도시) 등에 의해 스토커(100)의 입고포트(132)로 전달된 카세트(C)를 적절한 쉘프(112)로 운반 및 적재하거나 임의의 쉘프(112)로부터 카세트(C)를 꺼내 출고포트(134)에 하역함으로써 AGV(미도시) 등에 의해 반출되도록 하며, 쉘프(112) 내의 카세트(C)를 옮겨 정리하는 역할을 수행한다.
이때, 입출고포트(132, 134)에는 컨베이어 또는 이재로봇(pick and place : P&P)(미도시)이 구성되는데, 입출고포트(132, 134) 상에 카세트(C)가 안착되면 이를 내부 스태커로봇(200)에게 이송하거나 또는 외부로 반출하는 역할을 한다.
즉, 일예로 카세트(C)가 스토커(100) 내부로 이송되면, 스태커로봇(200)의 암(243)을 통해 각 카세트(C)를 지정된 쉘프(112)에 로딩(loading)하게 되고, 카세트(C)를 다음 공정으로 이동시킬 때에도 스태커로봇(200)의 암(243)이 지정된 쉘프(112)에서 카세트(C)를 언로딩(unloading)하여 스토커(100)의 출고포트(134)로 옮기면 외부의 AGV(미도시) 등에 의해 목적하는 장소로 운반된다.
여기서, 본 발명의 스태커로봇(200)은 공기순환장치(300)를 구비하는 것을 특징으로 하는데, 이에 스태커로봇(200)의 리프팅프레임(234)의 승강에 의한 수직이동시 많은 갈림 이물이 발생하여도, 갈림 이물이 스토커(100) 내부에서 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
따라서, 갈림 이물에 의해 발생된 미세먼지나 파티클로 인하여 스토커(100) 내부에 위치하는 기판(미도시)이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 이에 대해 도 2를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
도 2 ~ 3은 본 발명의 실시예에 따른 스태커로봇의 구조를 개략적으로 도시한 사시도 및 측면도이며, 도 4는 도 3의 리프팅포스트의 구조를 확대 도시한 측면도이다.
도 2 ~ 3에 도시한 바와 같이, 스태커로봇(200)은 수평이동이 가능한 하단의 본체(210)와 이에 구비된 주행부(220)와, 본체(210)로부터 승강되는 리프팅부(230) 및 리프팅부(230)에 장착되어 직접적으로 카세트(C)를 지지하는 아암부(240)를 포함한다.
각각을 좀더 세부적으로 살펴보면, 먼저 본체(210)는 스태커로봇(200)의 전체를 지탱하는 베이스프레임(base frame) 역할을 담당하며, 본체(210)의 좌,우측 가장자리에는 상향 직립된 한쌍의 리프팅포스트(232)를 포함하는 리프팅부(230)가 구비되어 있다.
이때, 리프팅부(230)는 한쌍의 리프팅포스트(232) 사이로 리프팅프레임(234)이 위치하여 수평을 유지한 상태로 상하 승강하는데, 이를 위해 각 리프팅포스트(232)의 내부로는 서보모터(미도시)와 같은 구동수단에 의해 순환하는 순환체인(미도시)이 각각의 길이방향을 따라 실장되며, 리프팅프레임(234)은 이들 순환체인(미도시)에 연결되어 있다. 따라서, 이들 순환체인(미도시)의 순환방향에 따라 리프팅프레임(234)은 승강된다.
그리고 아암부(240)는 리프팅프레임(234) 상에 장착된 회전디스크(241)와, 회전디스크(241)에 일 끝단이 연결된 체 다관절 방식으로 수축 및 신장하는 한 쌍의 아암(243)을 포함하며, 이들 아암(243)의 말단으로는 캣치플레이트(catch plate : 245)가 결합되어 직접적으로 카세트(C)를 지지할 수 있다.
또한 본체(210)에 구비된 주행부(220)는 스태커로봇(200)을 원하는 위치로 이동시키기 위한 부분으로, 스토커(도 1의 100) 바닥면을 가로질러 형성된 트롤리레일(136)을 따라 밀착 회전함으로써 스태커로봇(200)의 전체를 지지 및 이동시키는 주행휠(222)을 포함하며, 비록 도면상에 명확하게 표시하진 않았지만 주행휠(222)을 회전시키기 위한 모터 등의 구동수단과 주행휠(222)의 회전을 강제로 정지시킬 수 있는 브레이크(break)를 포함한다.
이때, 트롤리레일(136)과 접촉하는 주행휠(222)의 외면은 진동과 소음의 저감을 위해 우레탄 또는 고무재질로 이루어진 트레드부재(미도시)를 둘러 진동과 소음을 방지할 수 있다.
상기한 구성을 나타내는 스태커로봇(200)은 주행부(220)에 의해 트롤리레일(136)을 따라 좌,우 수평이동을 하고, 리프팅프레임(234)의 승강에 의한 수직이동 그리고 아암(243)의 회전 및 수측, 신장에 의한 동작을 연결하여 목적하는 바에 따라 카세트(C)를 운반하고 적재 및 하역할 수 있다.
여기서, 앞서의 설명을 토대로 스태커로봇(200)의 아암(243)에 의해 수행되어지는 쉘프(도 1의 112)로의 카세트(C) 적재 및 하역 과정을 보다 구체적으로 살펴보도록 하겠다.
우선 카세트(C) 이송동작은 카세트(C)가 스토커(도 1의 100)의 입고포트(도 1의 132)로 운반됨으로써 시작된다.
이에 스태커로봇(200)은 주행부(220)의 주행휠(222)에 의해 트롤리레일(136)을 따라 1차원 수평이동을 한 후, 본체(210)로부터 승강하는 리프팅프레임(234)에 의해 2차원 수직이동을 하여, 아암(243)의 수축 및 신장동작에 의해 3차원 수평운동과 더불어 회전디스크(241)에 의한 회전운동을 통해 입고포트(도 1의 132)에 적재된 카세트(C)를 캣치플레이트(245) 상에 안착시킨다.
여기서, 캣치플레이트(245) 상에 카세트(C)를 안착시키는 과정에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 입고포트(도 1의 132)로부터 카세트(C)를 꺼내올 수 있도록 아암(243)은 전방을 향한 채 신장 및 수축하며, 이 과정 중에 캣치플레이트(245)에는 입고포트(도 1의 132)에 적재되어 있는 카세트(C)가 안착된다.
이어서 스태커로봇(200)은 아암(243)을 수축하고 트롤리레일(136)을 따라 이동하여 목적하는 쉘프(도 1의 112)에 도달한 후 회전디스크(241)에 의해 회전하여 카세트(C)를 적재하고자 하는 쉘프(도 1의 112)를 향해 정렬되도록 하고, 이의 쉘프(도 1의 112)에 아암(243)이 신장하여 카세트(C)를 쉘프(도 1의 112)로 옮겨 적재한다.
이때 임의의 쉘프(도 1의 112)로부터 카세트(C)를 꺼내 이송하는 방법은 상술한 설명을 반대로 진행하여, 쉘프(도 1의 112) 내에 안착되어 있는 카세트(C)를 캣치플레이트(245) 상에 안착시킨 후, 카세트(C)를 스토커(도 1의 100)의 출고포트(도 1의 134)에 안착시키면 된다.
이러한 스태커로봇(200)의 모든 동작은 전기를 원동력으로 하며, 주행 중에도 안정적으로 전원을 공급받을 수 있도록 통상 무접촉 전원공급방식을 채택하고 있다. 이를 위해 스토커(도 1의 100) 내에는 스태커로봇(200)의 이동경로를 따라 외부전력이 공급되는 파워트랙(power track : 미도시)이 배설되어, 스태커로봇(200)은 이로부터 전원을 공급받게 된다.
한편, 본 발명의 스태커로봇(200)에 있어 가장 핵심적인 역할을 담당하는 일 부분은 리프팅부(230)의 각 리프팅포스트(232)라 할 수 있다.
여기서, 도 4를 참조하여 본 발명의 각 리프팅포스트(232)의 구조에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 한쌍의 리프팅포스트(232)는 내부에 각각 순환체인(미도시)이 내장되어 있으며, 순환체인(미도시)은 리프팅프레임(234)과 연결되어 리프팅프레임(234)을 상하로 승강하는 역할을 하게 된다.
이때, 도면상에 도시하지는 않았지만 각 리프팅포스트(232)의 하단에는 서보모터에 의해 회전하는 체인 스프라킷(chain sproket)이 마련되고, 이를 주동기어로 하여 각 리프팅포스트(232)의 상단에는 종동기어 역할을 스풀(spool)이 존재함에 따라, 순환체인(미도시)은 각 리프팅포스트(232) 내부에서 상하단의 체인 스프라킷과 스풀을 감싸 연결하도록 두 줄로 마련되어, 체인 스프라킷으로 출력된 서보모터의 회전력을 스풀에 전달하는 과정에서 순환 회전하게 된다.
이를 통해, 순환체인(미도시)과 연결된 리프팅프레임(234)은 한쌍의 리프팅포스트(232)의 길이방향을 따라 상하로 승강운동하게 되는 것이다.
이때, 한쌍의 리프팅포스트(232)는 각 리프팅포스트(232) 내부에 내장된 순환체인(미도시)과 리프팅프레임(234)이 서로 연결되도록 길이방향을 따라 서로 마주보는 일방향이 개구부(232a)를 이루게 되는데, 각 리프팅포스트(232)의 개구부(232a)에는 각 리프팅포스트(232) 내부의 이물이 외부로 유출되거나 외부로부터 각 리프팅포스트(232) 내부로 갈림 이물이 유입되는 것을 방지하기 위하여 방진필름(250)이 구비된다.
즉, 리프팅프레임(234)의 승강에 의한 수직이동시 각 리프팅포스트(232)에 내장된 알루미늄 또는 스테인리스와 같은 금속재질로 이루어진 순환체인(미도시)으로부터 많은 갈림 이물이 발생하게 된다.
이에, 방진필름(250)을 구비하여 각 리프팅포스트(232)의 개구부(232a)를 덮어, 각 리프팅포스트(232) 내부에서 발생한 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클이 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지하고자 하는 것이다.
그러나, 방진필름(250)을 구비함에도 불구하고 각 리프팅포스트(232) 내부에서 발생하는 미세먼지나 파티클 중 일부는 스토커(도 1의 100) 내부로 유입되고, 스토커(도 1의 100) 내부로 유입된 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클은 스토커(도 1의 100) 내부에서 비산(飛散)되어 기판을 오염시키는 문제점을 야기하게 된다.
이에, 본 발명은 각 리프팅포스트(232) 내부에서 발생하는 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클이 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지하기 위하여 공기순환장치(300)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
공기순환장치(300)는 각 리프팅포스트(232)의 상부 및 하부에 설치되어, 각 리프팅포스트(232) 내에서 발생하는 미세먼지나 파티클을 제거하기 위한 장치이다. 즉, 공기순환장치(300)는 각 리프팅포스트(232)의 개구부(232a)의 에어커튼(air curtain) 역할을 하게 된다.
공기순환장치(300)는 각 리프팅포스트(232)의 상부에 구비되는 팬유닛(fan unit : 310)과 각 리프팅포스트(232)의 하부에 구비되는 집진유닛(集塵 unit : 320)으로 이루어진다.
여기서, 팬유닛(310)은 리프팅포스트(232)의 상부에 구성되어, 리프팅포스트(232) 내의 공기의 흐름을 제공하여 리프팅포스트(232) 내부에 에어커튼이 생성되게 하는 역할을 한다.
즉, 팬유닛(310)은 각 리프팅포스트(232) 상부에 구비되어, 각 리프팅포스트(232) 길이방향을 따라 하방으로 기체를 분사함으로써, 각 리프팅포스트(232) 내부의 공기를 하강기류(下降氣流)로 형성한다.
이때, 팬유닛(310)으로부터 분사되는 기체는 질소(N2) 가스 등과 같은 불활성 가스를 포함하는 청정에어(clean air)를 이용할 수 있다.
그리고, 각 리프팅포스트(232) 하부에 구비되는 집진유닛(320)은 팬유닛(310)에 의해 각 리프팅포스트(232) 내부에서 수직하게 흐르는 공기를 흡입하여 집진(集塵)함으로써, 각 리프팅포스트(232) 내부의 기류를 제어하게 된다.
이와 같은 구성에 의해 각 리프팅포스트(232) 내부에는 공기가 각 리프팅포스트(232) 길이방향을 따라 상측에서부터 하측으로 유동하게 된다.
즉, 각 리프팅포스트(232) 내부에서 발생하는 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클은 각 리프팅포스트(232) 내부의 수직한 기류를 통해 각 리프팅포스트(232)의 하부로 집진하게 됨으로써, 미세먼지나 파티클이 각 리프팅포스트(232)의 개구부(232a)를 통해 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
여기서, 공기순환장치(300)는 리프팅프레임(234)이 승강에 의한 수직이동시 작동되는 것이 바람직하며, 리프팅프레임(234)의 움직임이 없을 경우에도 주기적으로 일정시간 동안 작동되도록 하는 것이 바람직하다.
그리고, 팬유닛(310)은 미세먼지 또는 파티클이 축적되는 필터(미도시)를 구비하여 집진유닛(320)으로부터 유입된 공기를 정화시킨 후, 이를 다시 각 리프팅포스트(232) 내부로 분사할 수 있다. 위의 과정을 통해, 청정공기가 각 리프팅포스트(232) 내에서 반복적으로 순환되도록 할 수 있다.
이때, 필터(미도시)를 구비한 팬유닛(310)은 각 리프팅포스트(232) 내부로 공기를 지속적으로 공급할 수 있다면 특정한 구조와 설치형태로 제한하지 않으나, 하나의 일예를 들어 설명하면 인조섬유(syntheric fiber)로 이루어지며 0.3 미크론(micron)이상의 입자를 제거하는 효능범위를 가지는 HEPA(High Efficiency Particulate Arrestor)필터를 내장하여 날개의 회전에 의해 공기흐름을 일측으로 유도함으로써 공기의 유동과 정화가 동시에 이루어지도록 할 수 있다.
또는 집진유닛(320)에 필터(미도시)를 구비하여, 집진유닛(320)으로 유입된 공기를 정화시킨 후, 이를 팬유닛(310)을 통해 다시 각 리프팅포스트(232) 내부로 분사되도록 할 수도 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 스태커로봇(200)은 리프팅프레임(234)을 승강에 의한 수직이동 하도록 내부에 순환체인(미도시)이 구비된 한쌍의 리프팅포스트(232)에 팬유닛(310)과 집진유닛(320)으로 이루어지는 공기순환장치(300)를 구비함으로써, 리프팅프레임(234)의 승강에 의한 수직이동시 각 리프팅포스트(232) 내부에 구비된 알루미늄 또는 스테인리스와 같은 금속재질로 이루어진 순환체인(미도시)으로부터 많은 갈림 이물이 발생되어도, 이와 같은 갈림 이물이 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
이로 인하여, 갈림 이물에 의해 발생된 미세먼지나 파티클로 인하여 스토커(도 1의 100) 내부에 위치하는 기판이 오염되거나 클린룸이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
C : 카세트, 200 : 스태커로봇
210 : 본체, 220 : 주행부
222 : 주행휠, 230 : 리프팅부
232 : 리프팅포스트, 232a : 개구부
234 : 리프팅프레임, 240 : 아암부
241 : 회전디스크, 243 : 아암
245 : 캣치플레이트, 250 : 방진필름
300 : 공기순환장치
310 : 팬유닛, 320 : 집진유닛

Claims (7)

  1. 본체와;
    상기 본체 하부에 부설되며, 트롤리레일(trolly rail)을 따라 이동하는 이동부와;
    상기 본체의 서로 마주보는 양측으로 상향 직립된 한쌍의 리프팅포스트(lifting post)와;
    상기 리프팅포스트의 상부에 구비되어, 상기 리프팅포스트 내부로 기체를 분사하는 팬유닛(fan unit)과, 상기 기체를 흡입하는 집진유닛(集塵 unit)으로 이루어지는 공기순환장치와;
    상기 한쌍의 리프팅포스트 사이에 수평하게 구비되며, 상기 리프팅포스트 길이방향을 따라 승하강하는 리프팅프레임(lifting frame)과;
    상기 리프팅프레임 상에 회전, 수축 및 신장 가능한 아암(arm)
    을 포함하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 집진유닛은 상기 각 리프팅포스트의 하부에 구비되는 카세트 이송용 스태커로봇.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기체는 불활성 가스를 포함하는 청정에어(clean air)인 카세트 이송용 스태커로봇.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 리프팅포스트는 서로 마주보는 일 방향이 개구부를 이루며, 상기 개구부에는 방진필름이 구비되는 카세트 이송용 스태커로봇.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 리프팅포스트에 길이방향을 따라 순환 회전하는 체인이 내장된 카세트 이송용 스태커로봇.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 리프팅프레임은 상기 체인과 연결되어 승하강되는 카세트 이송용 스태커로봇.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 아암부는 상기 리프팅프레임 상에 장착된 회전디스크와, 상기 회전디스크에 일단이 결합된 상태로 수축 및 신장하는 아암과, 상기 아암의 말단부에 결합되어 카세트를 지지하는 캣치플레이트(catch plate)를 포함하는 카세트 이송용 스태커로봇.
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