KR20080047127A - 기판 수납용 카세트 및 이를 포함하는 기판반송장치 - Google Patents

기판 수납용 카세트 및 이를 포함하는 기판반송장치 Download PDF

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KR20080047127A
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Abstract

본 발명은 기판 수납용 카세트에 관한 것으로, 카세트 운반시, 카세트 내부에 실장된 기판의 밀림현상을 방지하고자 하는 것이다.
본 발명의 특징은 카세트의 입구면에 기판의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지장치를 구성하는 것으로, 기판을 수납한 상태의 카세트가 카세트반송장치에 의해 운반되는 과정에서 흔들림이 발생하거나, 카세트반송장치의 회전동작 시, 회전동작의 속도가 증가할 경우에도, 상기 이탈방지장치가 기판을 지지함으로써, 카세트 내부에서 기판이 밀리게 되는 현상을 미연에 방지할 수 있다.
이로 인하여, 상기 기판이 운반되는 과정에서 안정적으로 보관 및 운반할 수 있다.
카세트, 카세트반송장치

Description

기판 수납용 카세트 및 이를 포함하는 기판반송장치{Substrate acceptance cassette and substrate transfer apparatus including the same}
도 1은 일반적인 기판 수납용 카세트에 대한 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 수납용 카세트에 대한 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 기판 자동이탈방지장치를 자세히 도시한 사시도.
도 4는 도 3의 이탈방지장치가 카세트에 구성된 모습을 자세히 도시한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 카세트반송장치의 대표적인 예로 꼽히는 AGV의 구조를 개략적으로 도시한 사시도.
도 6a ~ 6b는 이탈방지장치의 개폐(開閉)에 따른 동력을 전달하는 과정을 개략적으로 도시한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
112 : 입구면 114, 116 : 상하플레이트
118, 120 : 측면 122 : 뒷면
132a, 132b, 132c, 134a, 134b, 134c : 프레임바
136 : 서포트프레임바 142 : 사이드 슬럿핀
144 : 피크 146 : 서포트바
150 : 기판 이탈방지장치(152 : 프로텍터, 154 : 전동장치)
C : 카세트
본 발명은 기판 수납용 카세트에 관한 것으로, 카세트 운반 시, 카세트 내부에 실장된 기판의 밀림현상을 방지하고자 하는 것이다.
일반적으로 널리 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(cathode ray tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보단말기기 등의 모니터에 주로 이용되어 오고 있으나, CRT 자체의 큰 무게나 크기로 인하여 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극 대응할 수 없었다.
이러한 CRT를 대체하기 위해 소형, 경량화의 장점을 갖고 있는 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 플라즈마표시장치(plasma display panel device : PDP) 등이 활발하게 개발되어 왔다.
이들은 공통적으로 고유의 형광 또는 편광층을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있는데, 이와 같은 패널은 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 포토리소그라피(photo lithography)공정, 식각(etching)공정을 여러 번 반복하여 구성하며 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정이 수반된다.
그리고 이들 각각의 공정진행을 위해 기판은 해당공정을 수행하는 공정장비로 운반 및 공급되며, 이 과정 중에 기판의 운반 및 보관에 드는 시간과 노력을 절감하고자 복수의 기판을 수납하는 카세트(cassette)가 사용되며, 현재 평판표시장치의 제조공정에 있어서 기판보관 및 운반의 최소단위를 이루고 있다.
도 1은 일반적인 기판 수납용 카세트에 대한 사시도이다.
도시한 바와 같이, 기판 수납용 카세트(이하, 카세트라 함 : C)는 천정과 바닥 역할의 상하수평면을 이루는 상하플레이트(14, 16) 그리고 이들 상하플레이트(14, 16)의 서로 대응된 가장자리를 연결함으로써 개구된 입구면(12)을 비롯하여 내부의 기판수납공간을 형성하도록 전방의 입구면(12)을 기준으로 서로 마주보는 양 측면(18, 20) 그리고 입구면(12)과 마주보는 후방의 뒷면(22)으로 구분된다.
이때, 양 측면(18, 20)을 비롯한 뒷면(22)은 소정간격으로 배열된 복수개의 프레임바(32a, 32b, 32c, 34a, 34b, 34c)와 서포트프레임바(36)로 이루어지며 특히, 상기 프레임바(32a, 32b, 32c, 34a, 34b, 34c) 내면에는 서로 마주보는 방향으로 수평하게 돌출된 다수의 사이드 슬럿핀(42)이 일정간격으로 구비되며, 상기 카세트(10)의 뒷면(22)을 이루는 서포트프레임바(36)에는 상기 사이드 슬럿핀(42)과 동일한 간격을 이루는 다수의 서포트바(46)가 입구면(12)을 향해 수평하게 돌출되어 있다. 이때, 상기 서포트바(46)의 일끝단에는 기판과의 직접적인 접촉을 방지하기 위해, 점(點)접촉되도록 피크(44)가 형성된다.
따라서, 기판(미도시)은 양 측면에 구비되어 서로 대응되는 사이드 슬럿핀(42)에 의해 양 가장자리가 지지됨과 동시에 해당 기판을 가로질러 떠받치는 서 포트바(46)에 의해 각 층별로 수납된다.
이러한 카세트(C)는 내부에 기판을 수납한 상태로, 카세트반송장치(미도시)에 의해 각 공정장비 및 스토커로 반송하는데 이때, 카세트반송장치의 회전, 수축, 신장 동작을 통해 카세트(C)를 적제 또는 하역하게 된다.
이때, 상기 카세트(C) 내부에 수납되는 기판은 운반되는 과정 또는 상기 카세트반송장치의 회전동작 시, 상기 카세트(C) 내부에서 밀림현상이 발생되는 문제점이 있다.
또한, 회전동작의 속도가 증가할 경우 상기 카세트(C)로부터 이탈되면서 파손되는 현상이 빈번하게 나타나게 된다. 이때 카세트(C) 내에 다수의 기판이 복층으로 수납됨을 감안하면 어느 하나의 기판이 떨어질 경우 카세트(C)에 수납된 전체 기판에 손상을 가하는 대형사고로 직결될 수 있는 문제점이 있다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 카세트 내에서 수납되는 기판을 운반되는 과정에서 안정적으로 보관 및 운반할 수 있는 카세트를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 상하수평면과; 상기 상하수평면을 연결하여 양 측면을 이루는 다수의 프레임바와; 상기 상하수평면을 연결하 여 뒷면을 이루는 서포트프레임바와; 상기 기판을 지지하는 다수의 사이드 슬럿핀과; 상기 사이드 슬럿핀 사이에 위치하여, 상기 기판을 지지하는 다수의 프로텍터(protector)와, 전동장치를 포함하는 기판 자동이탈방지장치를 포함하는 기판 수납용 카세트를 제공한다.
상기 전동장치는 브래킷과, 웜축(worm 軸)과 웜휠(worm wheel)로 구성된 웜기어(worm gear)부와, 피니언(pinion)과 래크(rack)로 구성된 베벨기어(bevel gear)부로 구성된 기어수단과 그리고, 상기 다수의 프로텍터(protector)로 구성되는 회전축을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 웜축에는 톱니가 형성되어, 상기 웜축이 직선운동함으로써 상기 웜휠이 상기 톱니에 맞물려 회전하게 되며, 상기 피니언은 웜휠의 일끝단에 구성되어 상기 웜휠이 회전함에 의해 함께 회전하게 되며, 상기 피니언의 톱니에 맞물려 돌아가면서 동력을 전달받아 래크가 회전운동을 하는 것을 특징으로 하며, 상기 래크는 회전축과 연결되어, 상기 피니언에 의해 전달받은 동력을 통해 상기 회전축을 회전시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 웜축은 상기 브래킷 상에 수직하게 구성되며, 상기 웜축의 상측 둘레를 따라 스프링과 스프링지지대가 더욱 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 프로텍터는 상기 회전축과 지지바를 통해 연결되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프로텍터는 상기 사이드 슬럿핀의 서로 이웃하는 사이 간격을 넘지 않으며, 상기 사이드 슬럿핀의 1/4 ~ 3/4 길이로 구성하는 것을 특징으로 하며, 상기 프로텍터는 0 ~ 90ㅀ 사이에서 수평운동하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 기판 자동이탈방지장치는 상기 카세트의 입구면을 정의하는 양측의 프레임바에 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 프레임바의 하측일부의 인입영역에 상기 전동장치가 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 기판을 지지하는 다수의 프로텍터(protector)와, 전동장치를 포함하는 기판 자동이탈방지장치가 구성된 카세트를 운반하는 카세트반송장치에 있어서, 상기 카세트가 올려진 플레이트 상에 돌출부가 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트반송장치를 제공한다.
상기 돌출부는 상기 기판 이탈방지장치와 대응되는 위치에 구성하는 것을 특징으로 하며, 상기 전동장치는 브래킷과, 웜축(worm 軸)과 웜휠(worm wheel)로 구성된 웜기어(worm gear)부와, 피니언(pinion)과 래크(rack)로 구성된 베벨기어(bevel gear)부로 구성된 기어수단과 그리고, 상기 다수의 프로텍터(protector)로 구성되는 회전축을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 카세트반송장치는 카세트를 실장하여 운반하는 RGV(rail guide vehicle), AGV(automatic guide vehicle), LGV(laser guide vehicle) 또는 카세트를 안착시켜 회전동작을 하는 P&P(pick & place) 중 선택된 하나인 것을 특징으로 한다.
이하 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 수납용 카세트에 대한 사시도이다.
도시한 바와 같이, 카세트(C)의 전체적인 형태는 위 아래로 대면된 직사각형의 상하수평면 그리고 이들의 대응되는 가장자리를 각각 연결하는 세 개의 수직면 을 포함하며, 그 결과 내부로 기판수납공간을 정의하면서 나머지 하나의 수직면이 개방되어져 입구면(112)을 이루는 육면체의 박스형상을 나타내고 있다.
즉, 먼저 본 발명에 따른 카세트(C)의 상하수평면은 각각 기판과 유사한 직사각형의 상하플레이트(114, 116)로 이루어져 각각 천정과 바닥 역할을 담당한다. 그리고 이들 상하플레이트(114, 116)의 서로 대응된 가장자리를 연결함으로써 개구된 입구면(112)을 비롯하여 내부의 기판수납공간을 형성하도록 전방의 입구면(112)을 기준으로 서로 마주보는 양 측면(118, 120) 그리고 입구면(112)과 마주보는 후방의 뒷면(122)으로 구분된다.
이때, 양 측면(118, 120)을 비롯한 뒷면(122)은 소정간격으로 배열된 복수개의 프레임바(132a, 132b, 132c, 134a, 134b, 134c)와 서포트프레임바(136)로 이루어져 기판 수납여부를 어느 방향에서도 확인 가능하도록 한다.
특히, 상기 양 측면에 구성된 복수개의 프레임바(132a, 132b, 132c, 134a, 134b, 134c) 내면에는 서로 마주보는 방향으로 수평하게 돌출된 다수의 사이드 슬럿핀(142)이 일정간격으로 구비되며, 상기 카세트(C)의 뒷면(122)을 이루는 서포트프레임바(136)에는 상기 사이드 슬럿핀(142)과 동일한 간격을 이루는 다수의 서포트바(146)가 입구면(112)을 향해 수평하게 돌출되어 있다.
이때, 상기 서포트바(146)의 일끝단에는 기판(미도시)과의 직접적인 접촉을 방지하기 위해, 점(點)접촉되도록 피크(144)가 형성될 수도 있다.
따라서, 기판(미도시)은 양 측면에 구비되어 서로 대응되는 사이드 슬럿핀(142)에 의해 양 가장자리가 지지됨과 동시에 해당 기판을 가로질러 떠받치는 서 포트바(146)에 의해 각 층별로 수납된다.
이때, 본 발명은 카세트(C) 입구면(112)을 이루는 양 측면의 프레임바(132a, 134a)에 기판의 자동이탈방지장치(이하, 이탈방지장치라 함 : 150)를 더욱 구성하는 것을 특징으로 한다. 상기 이탈방지장치(150)는 상기 카세트(C)의 운반 과정 중, 상기 카세트(C) 내부에 수납된 기판의 밀림현상을 방지하기 위하여 구비되는데, 기판을 직접 지지하는 프로텍터(protector : 152)와, 상기 프로텍터(152)의 개폐(開閉)동작을 제어하는 전동장치(154)로 이루어진다. 이에 대해서 도 3을 참조하여 자세히 설명하도록 하겠다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 이탈방지장치를 자세히 도시한 사시도이며, 도 4는 도 3의 이탈방지장치가 카세트에 구성된 모습을 자세히 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 기판 이탈방지장치(도 2의 150)는 기판을 직접적으로 지지하는 프로텍터(152)와, 상기 프로텍터(152)가 자동으로 수평운동하여 개폐될 수 있도록 상기 전동장치(154)는 회전축(156)과 기어수단(160, 170)으로 구성되며, 상기 기어수단(160, 170)은 서로 직각 또는 둔각으로 만나 두 축 사이에 회전운동을 전달하는 베벨기어(bevel gear : 170)부와, 서로 다른 평면에서 수직으로 만나는 두 축 사이에 회전운동을 전달하는 웜기어(worm gear)부(160)로 나뉘게 된다.
즉, 상기 전동장치(154)는 상하 직선운동을 하며 브래킷(bracket : 161) 상에 수직하게 구성되어 톱니가 형성된 웜축(worm 軸 : 163)과, 상기 웜축(163)과 수직하게 구성되어 웜축(163)의 톱니에 의해 맞물려 회전할 수 있는 웜휠(worm wheel : 165)을 포함하는 웜기어부(160)와, 삿갓모양의 바퀴형상에 톱니가 형성된 피니언(pinion : 173)과 래크(rack : 175)가 서로 직각 또는 둔각으로 맞물려 돌아가는 베벨기어부(170)로 구성된다.
이때, 상기 피니언(173)은 웜휠(165)의 일끝단에 구성되어 상기 웜휠(165)이 회전함에 의해 함께 회전하게 되며, 상기 피니언(173)의 톱니에 맞물려 돌아가면서 동력을 전달받아 래크(175)가 회전운동을 하게 된다. 따라서, 상기 피니언(173)은 동력을 전달하는 구동기어가 되며 상기 래크(175)는 상기 구동기어로부터 전달되는 동력을 받는 종동기어가 되는 것이다.
또한, 상기 래크(175)는 중심에 긴 바(bar) 형상의 회전축(156)과 연결되어, 상기 피니언(173)에 의해 전달받은 동력을 통해 상기 회전축(156)을 회전시키게 된다.
상기 상하 직선운동을 하는 웜축(163)은 브래킷(161) 반대편인 일 타측에 스프링(167)과 스프링지지대(169)를 더욱 구성하여, 상측으로 직선운동한 웜축(163)이 상기 스프링(167)의 복원력에 의해 원상태로 되돌아오도록 하므로, 상기 웜축(163)을 자동으로 상하 직선운동이 가능케 한다.
이때, 상기 스프링(167)은 상기 윔축(163)의 상측 둘레를 감싸도록 구성하며, 상기 스프링지지대(169)는 상기 웜축(163)이 통과할 수 있는 홈(168)을 포함하며, 상기 스프링(167)이 수축 및 신장할 수 있도록 지지하게 된다.
한편, 상기 프로텍터(152)는 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 전동장치(154)의 회전축(156)에 일정간격을 두고 다수개가 구성되며, 회전축(156)과 지지바(158)를 통해 연결된다.
이러한, 이탈방지장치(150)의 전동장치는 카세트(도 2의 C)의 입구면(112)을 이루는 일측 및 타측의 프레임바(132a, 133a)의 하단에 구성한다. 즉, 상기 프레임바(132a)의 하측일부의 인입영역(140)에 상기 전동장치(154)를 고정하여 구성한다.
이때, 상기 전동장치(154)의 회전축(156)은 프레임바(132a, 133a)의 외부에 노출하여 구성하며, 상기 인입영역(140)의 바닥에는 홀(141)을 구성하여, 상기 홀(141)의 하부로 전동장치(154)의 브래킷(161)이 노출되도록 한다.
또한, 상기 회전축(156)은 상기 카세트(C)의 상측플레이트(114) 또는 프레임바(132a)의 일끝단에 고정부재(미도시)를 통해 고정되며, 이에 일정간격으로 다수개 구성되는 프로텍터(152)는 상기 프레임바(132a)의 측면에 고정되는 사이드 슬럿핀(142)들의 층 사이에 위치하도록 구성하여, 상기 사이드 슬럿핀(142) 상에 안착되는 기판의 일면을 직접적으로 지지하도록 한다.
이때, 상기 프로텍터(152)의 폭을 서로 이웃하는 상기 사이드 슬럿핀(142)의 사이 간격 보다 두께보다 두껍게 구성하면 서로 이웃하는 프로텍터(152)의 부딪힘이 발생할 수 있으며, 상기 프로텍터(152)의 길이를 길게 구성하면 상기 카세트(도 2의 C)에서 기판을 출납할 시 불편함을 겪게 되며, 길이를 너무 짧게 구성하면 상기 카세트(도 2의 C)에 수납된 기판을 지지하기가 어려워지게 된다.
따라서, 상기 회전축(156)에 구성된 프로텍터(152)는 일끝단에 일정간격으로 배열되는 사이드 슬럿핀(142)의 사이 간격을 넘지 않도록 구성하며, 상기 수평하게 돌출된 사이드 슬럿핀(142)의 1/4 ~ 3/4 길이로 구성하는 것이 바람직하다.
이때, 상기 프로텍터(152)는 상기 회전축(156)이 전동장치(154)의 기어수 단(160, 170)에 의해 회전운동 함에 따라 0 ~ 90ㅀ(90 ~ 180ㅀ) 사이에서 수평운동을 하여, 상기 카세트(도 2의 C) 입구면(112) 일부분을 개폐하게 된다.
즉, 평상시에는 카세트(도 2의 C)의 입구면(112)에서 상기 입구면(112)의 전방으로 수직하게 구성되어 상기 카세트(도 2의 C)의 입구면(112)이 완전히 오픈(open)되어 있는 상태이나, 상기 전동장치(154)의 브래킷(161)이 어떠한 돌출부(미도시)에 의해 물리적으로 상측으로 눌려지게 되면, 상기 브래킷(161)과 함께 웜축(163)이 직선운동하게 되고, 상기 웜축(163)에 맞물려 구성된 웜휠(165)을 통해 상기 웜기어부(160)가 회전운동을 하게 되고, 이의 동력을 베벨기어부(170)에 전달하여 상기 베벨기어부(170)의 피니언(173)과 래크(175)의 회전운동을 통해 회전축(156)을 회전시키게 된다. 이로 인하여, 상기 회전축(156)에 구성된 프로텍터(152)가 수평운동을 하여 상기 카세트(도 2의 C) 입구면(112)의 일부분을 닫게 되는 것이다.
이러한, 기판 이탈방지장치(150)는 기판을 수납한 상태로 카세트(도 2의 C)를 운반하는 과정에서 많이 발생되는 기판의 밀림현상을 미연에 방지하고자 함으로, 상기 카세트반송장치를 통해 상기 카세트(도 2의 C)가 운반될 시 상기 이탈방지장치(150)의 프로텍터(152)를 통해 상기 카세트(도 2의 C) 입구면(112)의 일부분을 닫아주고자 한다.
따라서, 상기 카세트(도 2의 C) 운반 시, 이탈방지장치(150)의 프로텍터(152)가 닫히도록 하기 위해서는 상기 카세트(도 2의 C)를 운반하는 카세트반송장치 상에 돌출부(도 5의 240)를 구성해야 한다.
도 5는 본 발명에 따른 카세트반송장치의 대표적인 예로 꼽히는 AGV의 구조를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도시한 바와 같이, AGV(200)는 액정표시장치용 제조 공정라인에서 진행경로를 따라 운행하면서 카세트(C)를 운반하는 역할을 하며, 크게 본체(210)와, 상기 본체(210) 하단의 이동부(220) 그리고 본체(210) 상단의 아암부(230)로 구분될 수 있다.
이를 좀더 자세히 알아보면, 상기 본체(210)는 이동부(220)와 아암부(230)를 포함하며, 카세트(C)가 안착될 수 있는 스테이지(212)를 제공한다. 또한, 상기 이동부(220)는 AGV(200) 전체를 지지함과 동시에 원하는 위치로 이동시키기 위한 부분으로, 바닥을 따라 움직이는 복수개의 휠(222)과, 비록 도면상에 명확하게 표시하진 않았지만 휠(222)을 회전시키기 위한 모터 등의 구동수단과 휠(222)의 회전을 강제로 정지시킬 수 있는 브레이크를 포함한다. 이때, 휠(222)은 진동과 소음의 저감을 위해 우레탄 또는 고무재질로 이루어진다.
또한, 아암부(230)는 본체(210)의 스테이지(212) 상에 회전가능하게 장착된 회전디스크(232)와, 상기 회전디스크(232)에 고정된 상태로 수축 및 신장이 가능한 아암(234) 그리고 이의 말단에 결합되어 직접적으로 카세트(C)를 지지하는 캣치플레이트(236)를 포함한다.
따라서, AGV(200)는 이동부(220)에 의해 이동경로를 따라 운행하면서 목적하는 지점으로부터 아암부(230)의 회전, 수축, 신장 동작을 통해 카세트(C)를 적제 또는 하역할 수 있다.
이때, 상기 카세트(C)를 직접 지지하는 캣치플레이트(236) 상에 돌출부(240)를 구성하는데, 상기 돌출부(240)는 상기 캣치플레이트(236) 상에 안착되는 카세트(C)의 입구면(도 2의 112)을 이루는 양 측 프레임바(도 2의 132a, 134a)의 하부면과 맞닿는 위치에 구성하여, 상기 프레임바(도 2의 132a, 134a)에 구성된 이탈방지장치(도 3의 150)의 브래킷(도 3의 161)이 상기 돌출부(240)에 의해 상측으로 눌리게 되도록 한다. 따라서, 상기 돌출부(240)에 의해 눌려진 브래킷(도 3의 161)을 통해 상기 이탈방지장치(도 3의 150)가 구동하여 상기 카세트(C) 입구면(도 2의 112)의 양측 일부분을 자동으로 개폐하게 되는데, 이는 도 6a ~ 6b를 참조하여 자세히 설명하도록 하겠다.
도 6a ~ 6b는 이탈방지장치의 개폐에 따른 동력을 전달하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6a에 도시한 바와 같이, 기판이 수납되어 있으며, 프로텍터(도 3의 152)가 카세트(도 5의 C)의 입구면(도 3의 112)에서 상기 입구면(도 3의 112)의 전방으로 수직하게 구성되어 있는 카세트(도 5의 C)를 AGV(도 5의 200)의 캣치플레이트(도 5의 236) 상에 안착시키게 되면, 상기 이탈방지장치(도 4의 150)의 전동장치(154)에 구성된 브래킷(161)은 상기 캣치플레이트(도 5의 236)상에 구성된 돌출부(240)에 의해 눌려지게 되고, 상기 돌출부(240)에 의해 눌려진 브래킷(161) 상에 수직하게 구성된 웜축(163)이 상기 돌출부(240)의 높이만큼 상측으로 직선운동하여, 상기 스프링지지대(169)에 구성된 홈(168)을 통과하게 된다.
상기 웜축(163)이 직선운동함으로써, 상기 웜축(163)의 톱니에 맞물려 구성 되는 웜휠(165) 및 이에 연결된 피니언(173)이 x 방향으로 회전하게 되고, 상기 피니언(173)과 맞물려 구성되는 래크(175)와 이에 연결된 회전축(156)은 상기 피니언(173)의 회전에 의해 y 방향으로 회전하여, 상기 회전축(156)에 구성된 프로텍터(도 3의 152)가 상기 카세트(도 5의 C)의 입구면(도 3의 112) 일부를 닫게 되는 것이다.
이로 인하여, 기판을 수납한 상태의 카세트(도 5의 C)는 AGV(도 5의 200) 상에 안착되어 운반되는 과정에서 흔들림이 발생하거나, AGV(도 5의 200)의 회전동작의 속도가 증가할 경우에도, 상기 프로텍터(도 3의 152)가 기판을 지지하고 있어 카세트(도 5의 C) 내부에서 기판이 밀리게 되는 현상을 미연에 방지할 수 있게 된다.
이때, 상기 AGV(도 5의 200)외에도 카세트(도 5의 C)를 실장하여 운반하는 평판표시장치 제조공정에서 사용되고 있는 모든 종류의 카세트이송대차인, RGV(rail guide vehicle), AGV(automatic guide vehicle) 또는 LGV(laser guide vehicle) 등에도 적용 가능하며, 카세트(도 5의 C)를 안착시켜 회전동작을 하는 P&P(pick and place), 스토커 내부의 리프트 등에도 적용 가능하다.
또한, 상기 AGV(도 5의 200)를 통해 운반된 카세트(도 5의 C)를 목적하는 지점에 하역하게 되면, 도 6b에 도시한 바와 같이, 상기 전동장치(154)의 브래킷(161)은 아무것도 감지하지 못하므로 웜축(163)에 구성된 스프링(167)의 복원력에 의해 하측으로 직선운동하여 원상태로 돌아오게 되고, 이 과정에서 상기 웜축(163)의 톱니에 맞물려 구성되는 웜휠(165)과 이에 연결된 피니언(173)은 이전의 회전방향과 반대방향인 x′방향으로 회전하게 된다.
따라서, 상기 피니언(173)과 맞물려 구성되는 래크(175)와 이에 연결된 회전축(156) 또한, 기존과 반대방향인 y′방향으로 회전하여, 상기 회전축(156)에 구성된 프로텍터(도 3의 152)가 상기 카세트(도 5의 C)의 입구면(도 3의 112)에서 상기 입구면(도 3의 112)의 전방으로 수직하게 구성되어 상기 카세트(도 5의 C)의 입구면(도 3의 112)이 완전히 오픈(open)되는 상태가 된다.
전술한 바와 같이, 카세트(도 5의 C)의 입구면(도 3의 112)에 기판의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지장치(도 2의 150)를 구성함으로써, 기판을 수납한 상태의 카세트(도 5의 C)가 카세트반송장치에 의해 운반되는 과정에서 흔들림이 발생하거나, 카세트반송장치의 회전동작 시, 회전동작의 속도가 증가할 경우에도, 상기 프로텍터(도 3의 152)가 기판을 지지하고 있어 카세트(도 5의 C) 내부에서 기판이 밀리게 되는 현상을 미연에 방지할 수 있게 된다.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 카세트의 입구면에 기판의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지장치를 구성함으로써, 기판을 수납한 상태의 카세트가 카세트반송장치에 의해 운반되는 과정에서 흔들림이 발생하거나, 카세트반송장치의 회전동작 시, 회전동작의 속도가 증가할 경우에도, 상기 프로텍터가 기판을 지지하고 있어 카세트 내부에서 기판이 밀리게 되는 현상을 미연에 방지할 수 있어 상기 기판이 운반되는 과정에서 안정적으로 보관 및 운반할 수 있는 효과가 있다.

Claims (14)

  1. 상하수평면과;
    상기 상하수평면을 연결하여 양 측면을 이루는 다수의 프레임바와;
    상기 상하수평면을 연결하여 뒷면을 이루는 서포트프레임바와;
    상기 기판을 지지하는 다수의 사이드 슬럿핀과;
    상기 사이드 슬럿핀 사이에 위치하여, 상기 기판을 지지하는 다수의 프로텍터(protector)와, 전동장치를 포함하는 기판 자동이탈방지장치
    를 포함하는 기판 수납용 카세트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전동장치는 브래킷과, 웜축(worm 軸)과 웜휠(worm wheel)로 구성된 웜기어(worm gear)부와, 피니언(pinion)과 래크(rack)로 구성된 베벨기어(bevel gear)부로 구성된 기어수단과 그리고, 상기 다수의 프로텍터(protector)로 구성되는 회전축을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 웜축에는 톱니가 형성되어, 상기 웜축이 직선운동함으로써 상기 웜휠이 상기 톱니에 맞물려 회전하게 되며, 상기 피니언은 웜휠의 일끝단에 구성되어 상기 웜휠이 회전함에 의해 함께 회전하게 되며, 상기 피니언의 톱니에 맞물려 돌아가면서 동력을 전달받아 래크가 회전운동을 하는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 래크는 회전축과 연결되어, 상기 피니언에 의해 전달받은 동력을 통해 상기 회전축을 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 웜축은 상기 브래킷 상에 수직하게 구성되며, 상기 웜축의 상측 둘레를 따라 스프링과 스프링지지대가 더욱 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 프로텍터는 상기 회전축과 지지바를 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로텍터는 상기 사이드 슬럿핀의 서로 이웃하는 사이 간격을 넘지 않으며, 상기 사이드 슬럿핀의 1/4 ~ 3/4 길이로 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로텍터는 0 ~ 90ㅀ 사이에서 수평운동하는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 자동이탈방지장치는 상기 카세트의 입구면을 정의하는 양측의 프레임바에 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 프레임바의 하측일부의 인입영역에 상기 전동장치가 구성되는 것을 특 징으로 하는 기판 수납용 카세트.
  11. 기판을 지지하는 다수의 프로텍터(protector)와, 전동장치를 포함하는 기판 자동이탈방지장치가 구성된 카세트를 운반하는 카세트반송장치에 있어서,
    상기 카세트가 올려진 플레이트 상에 돌출부가 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트반송장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 돌출부는 상기 기판 이탈방지장치와 대응되는 위치에 구성하는 것을 특징으로 하는 카세트반송장치.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 전동장치는 브래킷과, 웜축(worm 軸)과 웜휠(worm wheel)로 구성된 웜기어(worm gear)부와, 피니언(pinion)과 래크(rack)로 구성된 베벨기어(bevel gear)부로 구성된 기어수단과 그리고, 상기 다수의 프로텍터(protector)로 구성되는 회전축을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트반송장치.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 카세트반송장치는 카세트를 실장하여 운반하는 RGV(rail guide vehicle), AGV(automatic guide vehicle), LGV(laser guide vehicle) 또는 카세트를 안착시켜 회전동작을 하는 P&P(pick & place) 중 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 카세트반송장치.
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