JPWO2009141976A1 - 天井搬送車 - Google Patents

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Abstract

昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝突しにくい天井搬送車を提供する。天井搬送車は、側面に蓋（４ａ）が取り外し可能に設けられたＦＯＵＰ（４）を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車であって、搬送車本体と、昇降機構と、蓋落下防止部材（６２）と、動力伝達機構（８２）とを備えている。昇降機構は、搬送車本体に設けられ、ＦＯＵＰ（４）を昇降可能である。蓋落下防止部材（６２）は、蓋（４ａ）の正面に近接して配置される。動力伝達機構（８２）は、ＦＯＵＰ（４）の昇降時に蓋落下防止部材（６２）を蓋（４ａ）の正面から待避させる。

Description

本発明は、天井搬送車、特に、側面に蓋が取り外し可能に設けられた搬送物品を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車に関する。
従来、半導体製造工場等、塵埃の発生が問題となるクリーンルームでは、物品を搬送するために、天井に設けられた走行レールに沿って天井搬送車を走行させるようにした天井搬送車システムが採用されている。
天井搬送車は、走行レールに沿って走行を行う走行部と、物品を収納する物品収納部と、物品を昇降可能なホイストとから構成されている。ホイストは、物品をつかむためのチャックと、チャックを上下動可能なベルトと、ベルトを繰り出したり巻き上げたりできるベルト駆動機構とを有している。
天井搬送車がクリーンルームで搬送する物品としては、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）がある。ＦＯＵＰは、密閉型のウェハ格納用ポッドである。ＦＯＵＰによってウェハのクリーン度を高めて、ウェハサイズの大型化に伴う微細化に対応可能になっている。ＦＯＵＰは、カセットと、カセットの側方開口部を閉鎖するための蓋とから構成されている。蓋は、パーティクルが内部に侵入するのを防止するとともに、カセット内でウェハの位置決めを行っている。
天井搬送車は、ホイストがＦＯＵＰを上方に移動させて収納部に収めた状態で、走行する。天井搬送車は、製造装置の前にくると、ホイストによってＦＯＵＰを下方に移動させロードポートのテーブル上に載置する。載置後は、ＦＯＵＰが製造装置の開口部とドッキングして、次に、ＦＯＵＰオープナがＦＯＵＰのカセットから蓋を取り外して、蓋を装置内部に引き込む。そして、ウェハが半導体製造装置に運び込まれ、所定の処理が行われる。処理後のウェハはＦＯＵＰ内に戻され、ＦＯＵＰの蓋が閉められる。天井搬送車は、製造装置のロードポートのテーブル上に載置されたＦＯＵＰをホイストによって保持して、収納位置まで上昇させ、ＦＯＵＰを収納して走行を開始する。このようにして、天井搬送車はＦＯＵＰをロードポート間で移動させる。
天井搬送車システムでは、走行レールの下方を無人搬送車が通過したり、作業者が移動や作業をしたりすることがある。このような場合に、ＦＯＵＰから蓋が落下するようなことがあると、作業者や他の装置が危害を被ることがありえる。そこで、天井搬送車に蓋落下防止部材を設けた構成が提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。
特開２００４−２７７０６６号公報（特許３８８５２３２号）
特許文献１で示した蓋落下防止部材は、昇降台に固定されており、昇降台と共に横移動可能となっているが、他の方向への移動は行わない。そのため、ＦＯＵＰを収納位置から下方に降下させたり、ポートロードから上方に移動させたりする昇降動作の際に、昇降台やＦＯＵＰが蓋落下防止部材に接触する可能性がある。特にＦＯＵＰが揺れながら上昇してくるときに、ＦＯＵＰが蓋落下防止部材に衝突しやすい。両者が接触すると、それによって、天井搬送車が揺れて、ＦＯＵＰ内のウェハが揺動による衝撃を受ける。また、揺動した走行車が他の走行車と衝突することもあり得る。
本発明の課題は、昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝突しにくい天井搬送車を提供することにある。
本発明に係る天井搬送車は、側面に蓋が取り外し可能に設けられた搬送物品を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車であって、搬送車本体と、昇降機構と、蓋落下防止部材と、第１退避機構とを備えている。昇降機構は、搬送車本体に設けられ、搬送物品を昇降可能である。蓋落下防止部材は、蓋の正面に近接して配置される。第１退避機構は、搬送物品の昇降時に蓋落下防止部材を蓋の正面から待避させる。
この天井搬送車では、搬送車本体が搬送物品を吊り下げた状態で搬送しているときには、蓋落下防止部材は蓋の正面に近接して配置されている。したがって、搬送物品の蓋が外れても蓋が下方に落下しにくい。一方、搬送車本体が停止してさらに昇降機構が搬送物品を昇降させるときには、第１退避機構が蓋落下防止部材を蓋の正面から待避させる。この結果、昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝突しにくい。
天井搬送車は、搬送物品落下防止部材と、第２待避機構と、駆動機構とを備えていることが好ましい。搬送物品落下防止部材は、搬送物品の収納位置の下方に配置される。第２待避機構は、搬送物品の昇降時に搬送物品落下防止部材を搬送物品の収納位置の下方から待避させる。駆動機構は、第１待避機構と第２待避機構の両方を駆動する。
この天井搬送車では、搬送車本体が搬送物品を吊り下げた状態で搬送しているときには、搬送物品落下防止部材は搬送物品の収納位置の下方に配置される。したがって、搬送物品が昇降機構から外れても搬送物品が下方に落下しにくい。一方、搬送車本体が停止してさらに昇降機構が搬送物品を昇降させるときには、第２退避機構が搬送物品落下防止部材を搬送物品の下方から待避させる。この結果、搬送物品が搬送物品落下防止部材に衝突しにくい。
さらに、駆動機構が第１退避機構と第２退避機構の両方を駆動するため、複数の動力源を用いる必要がない。
蓋落下防止部材は、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な部材であり、搬送物品落下防止部材は、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な部材であることが好ましい。
この天井搬送車では、蓋落下防止部材と搬送物品落下防止部材とが回動可能であるため、より確実に蓋及び搬送物品の落下を防止できる。
第１待避機構と第２待避機構は、両者間で回転方向を変更するための動力伝達部を介して連結されていることが好ましい。
この天井搬送車では、第１退避機構と第２退避機構が動力伝達部を介して連結されており、共通の動力源によって駆動される。この結果、少ない部品点数で第１退避機構と第２退避機構を駆動することができる
動力伝達部は、蓋落下防止部材の回動中心に設けられた第１シャフトと、搬送物品落下防止部材の回動中心に設けられた第２シャフトと、第１シャフトと第２シャフトを動力伝達可能に連結する一対のかさ歯車とを有していることが好ましい。
この天井搬送車では、駆動力は、第１シャフトから一対のかさ歯車を介して第２シャフトに伝達される。
蓋落下防止部材は、上下方向に離れて配置された一対の部材であることが好ましい。駆動機構は、回転駆動部と、回転駆動部からの駆動力を前記一対の落下防止部材に伝達するための一対のリンク部材を有するリンク機構とを有していることが好ましい。
この天井搬送車では、一対の落下防止部材がリンク機構によって同時に駆動される。
本発明に係る天井搬送車では、搬送車本体が停止してさらに昇降機構が搬送物品を昇降させるときには、第１退避機構が蓋落下防止部材を蓋の正面から待避させる。この結果、昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝突しにくい。
クリーンルーム内の天井走行車システムの概略模式図。 天井走行車システム及び天井走行車の部分側面図。 レール内の縦断面概略図。 天井走行車システム及び天井走行車の部分側面図。 天井走行車の落下防止カバーの下部の縦断面概略図。 天井走行車の落下防止カバーの下部の縦断面概略図。 駆動機構の概略平面図。
本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。
（１）天井走行車システム
図１は、給電線を用いた非接触給電供給方式による天井走行車システム１の模式図である。天井走行車システム１は、半導体工場などのクリーンルームなどに設けられ、後述するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）を搬送する。天井走行車システム１は、主に、レール３と、レール３に沿って走行する天井走行車５とを有している。
半導体工場内の構成について説明する。半導体工場は、複数のベイ（工程）を有しており、遠隔のベイ同士を接続するためにインターベイルート５１が設けられており、さらに各ベイはイントラベイルート５３を有している。各ルート５１，５３はレール３により構成されている。
イントラベイルート５３に沿って、半導体処理装置などの複数の処理装置５５，５５が配置されている。さらに、処理装置５５，５５の近傍には、ロードポート５７が設けられている。ロードポート５７は、イントラベイルート５３の直下に設けられている。以上の構成において、天井走行車５はレール３を走行してロードポート５７間で後述するＦＯＵＰを搬送する。
（２）レール
レール３は、図２に示すように、複数の支柱７によって天井９から吊り下げられている。レール３は、主に、走行レール１１と、走行レール１１の下部に設けられた給電レール１３とを有している。
（ａ）走行レール
走行レール１１は、例えばアルミ製であり、図３に示すように、断面視逆Ｕ字状に構成されており、上面部１１ａと、両側面部１１ｂとを有している。両側面部１１ｂの下には、内側に延びる一対の第１走行面１１ｃが形成されている。さらに、両側面部１１ｂの内側面の上部には第２走行面１１ｄが形成され、上面部１１ａの下側面に第３走行面１１ｅが形成されている。
（ｂ）給電レール
給電レール１３は、走行レール１１の下部両側に設けられた一対の給電線ホルダ１５，１５から主に構成されている。給電線ホルダ１５，１５には、銅線などの導電線を絶縁材料で被覆しリッツ線からなる一対の給電線１７，１７が配置されている。給電線１７の一端には電力供給装置（図示せず）が設けられ、一対の給電線１７，１７に高周波電流が供給されるようになっている。
（３）天井走行車
天井走行車５は、主に、走行部２１と、受電部２３と、昇降駆動部２５とを有している。走行部２１は、走行レール１１内に配置され、レール３上を走行するための機構である。受電部２３は、給電レール１３内に配置され、一対の給電線１７，１７から電力を供給されるための機構である。昇降駆動部２５は、給電レール１３の下方に配置され、ＦＯＵＰ４を保持すると共に上下に昇降させるための機構である。
（ａ）走行部
走行部２１は、主に、走行レール１１内に配置されており、一対の第１ガイド輪１８，１８と、一対の第２ガイド輪１９，１９と、走行駆動輪２０と、モータ２２とを有している。一対の第１ガイド輪１８，１８は、走行部２１の下部両側に配置され、左右方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第１ガイド輪１８，１８は、走行レール１１の第１走行面１１ｃ上に載置されている。
第２ガイド輪１９，１９は、走行部２１の上部両側に配置され、垂直方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第２ガイド輪１９，１９は、走行レール１１の第２走行面１１ｄをガイド面として、横方向（進行方向の左右方向）の位置ズレを防止している。
走行駆動輪２０は、走行部２１の略中央に配置され、走行レール１１の第３走行面１１ｅに、スプリングなどの押圧手段により押圧されている。走行駆動輪２０は、モータ２２によって駆動される。その結果、天井走行車５はレール３上を走行する。
（ｂ）受電部
受電部２３は、一対の給電線１７，１７から電力を得るための一対のピックアップユニット２７を有している。具体的には、一対のピックアップユニット２７，２７は、給電レール１３内で左右に並んで配置されている。各ピックアップユニット２７は、断面が略Ｅ字型をしたフェライト製のコア２９と、コア２９に巻かれたピックアップコイル３１とを有している。具体的には、コア２９は、両側の突出部２９ａと、その間の中央の突出部２９ｂとを有しており、ピックアップコイル３１は中央の突出部２９ｂに巻かれている。
給電線ホルダ１５に保持された一対の給電線１７，１７が、両側の突出部２９ａと中央の突出部２９ｂとの間に、それぞれ配置されている。この一対の給電線１７，１７に高周波電流を流すことによって発生する磁界がピックアップコイル３１に作用して、ピックアップコイル３１に誘導電流が発生する。このようにして、一対の給電線１７，１７からピックアップユニット２７に非接触で電力を供給し、走行用のモータ２２を駆動したり、制御機器に電力を供給したりする。このように給電レール１３の一対の給電線１７，１７と天井走行車５の受電部２３とによって、非接触給電部３３が構成されている。
（ｃ）昇降駆動部
昇降駆動部（ホイスト）２５は、図２に示すように、主に、本体フレーム３５と、横送り部３７と、θドライブ３９と、ホイスト本体４１と、昇降台４３とを備えている。
本体フレーム３５は、受電部２３の下部に固定された部材である。本体フレーム３５の前後には、前側フレーム４５および後側フレーム４７が設けられている。前側フレーム４５および後側フレーム４７は、本体フレーム３５から下方に延びる部材であり、横送り部３７と、θドライブ３９と、ホイスト本体４１と、昇降台４３を前後に挟んでいる。前側フレーム４５および後側フレーム４７は、内部に空間を有する筐体を有している。この筐体内には、ＦＯＵＰ落下防止機構や蓋落下防止機構が収納されている（後述）。
横送り部３７は、θドライブ３９、ホイスト本体４１および昇降台４３を例えば側方に横送りし、レール３の側方に設けたサイドバッファ（図示せず）との間で、ＦＯＵＰ４を受け渡しできる。θドライブ３９は、ホイスト本体４１を水平面内で回動させて、ＦＯＵＰ４の受け渡しを容易にする。ホイスト本体４１内には、昇降台４３を昇降させるための昇降手段（図示せず）が設けられている。昇降手段は、例えば、４組の巻き取りドラムであり、巻き取りドラムにはベルト５９が巻きかけられている。ベルト５９の端部には昇降台４３が取り付けられている。図４に、ベルト５９が巻き取りドラムから繰り出されて、昇降台４３がＦＯＵＰ４と共に下降している状態を示している。
ＦＯＵＰ４は、内部に複数の半導体ウェハを収容しており、前面に取り外し可能な蓋４ａが設けられている。ＦＯＵＰ４の上部にはフランジ４９が設けられており、フランジ４９は昇降台４３でチャックされている。
（４）ＦＯＵＰ落下防止機構
次に、ＦＯＵＰ落下防止機構５８について説明する。ＦＯＵＰ落下防止機構５８は、搬送物品落下防止部材６１と、搬送物品落下防止部材６１を落下防止位置と退避位置と回動させる駆動機構６０とから構成されている。
図２及び図４に示すように、前側フレーム４５および後側フレーム４７の下部には、ＦＯＵＰ４の落下を防止するための搬送物品落下防止部材６１が前後に配置されている。搬送物品落下防止部材６１は、前側フレーム４５と後側フレーム４７にそれぞれ一対ずつ左右に並んで設けられている。図２において、ＦＯＵＰ４は収納位置に配置され、搬送物品落下防止部材６１はＦＯＵＰ４の下方の落下防止位置にある。図４において、ＦＯＵＰ４はホイスト本体４１によって収納位置から下方に移動しており、搬送物品落下防止部材６１はＦＯＵＰ４の下方から退避した退避位置にある。
次に、図５〜図７を用いて、駆動機構６０について説明する。なお、駆動機構６０は前側フレーム４５および後側フレーム４７の両方に設けられているが、ここでは後側フレーム４７に設けられた駆動機構６０のみを説明する。なお、図６および図７において、図左側を第１側方向として、図右側を第２側方向とする。さらに、図５の図右側及び図７の図下側を搬送方向前側として、図５の図左側及び図７の図上側を搬送方向後側とする。
駆動機構６０は、主に、モータ６３と、ギア部材６５と、リンク部材６７，６９とから構成されている。モータ６３は、図６に示すように、後側フレーム４７内の第１固定プレート５４に固定して設けられ、上下方向に延びる回転軸を有している。モータ６３の回転シャフトは下方に突出し、その先端にはギア６４が設けられている。ギア部材６５は、第１固定プレート５４に回転自在に支持された部材であり、モータ６３の回転軸と平行に延びる回転軸６８を有している。ギア部材６５の上部にはギア６６が設けられており、ギア６６はモータ６３のギア６４に噛み合っている。
リンク部材６７，６９は、それぞれ、搬送物品落下防止部材６１，６１を駆動するためのリンク機構を構成している。なお、リンク部材６７，６９の構成及び動作は同じであるため、リンク部材６７についてのみ説明する。
リンク部材６７は、ギア部材６５の回転によって、搬送物品落下防止部材６１を回動させるための部材である。リンク部材６７は、図７に示すように、側方方向に延びる細長い板状の部材であり、一端がギア部材６５の第１支持部７１に回転可能に連結され、他端が搬送物品落下防止部材６１の第２支持部７３に回転可能に支持されている。図７では、第１支持部７１は、リンク部材６９の支持部に対してギア部材６５の回転軸６８と反対側に配置され、そのためリンク部材６７は、第１支持部７１からギア部材６５の回転軸６８を後方に迂回するように湾曲された湾曲部６７ａを有している。
搬送物品落下防止部材６１は、落下防止部６１ａと、回転支持部６１ｂと、両者を連結する壁部６１ｃとから構成されている。落下防止部６１ａは、水平方向に延びる板部材であり、比較的長く延びている。なお、落下防止部６１ａの角は面取りされて滑らかに連続している。回転支持部６１ｂは、落下防止部６１ａより高い位置に配置され、水平方向に延びる板部材である。回転支持部６１ｂにはシャフト８１が固定されており、シャフト８１は後側フレーム４７の第２固定プレート５６に回転軸８４を中心に回転自在に支持されている。なお、シャフト８１の位置は、搬送物品落下防止部材６１において左右方向中心よりわずかに外側である。これにより、搬送物品落下防止部材６１は、図７において、実線で示す落下防止位置と、二点鎖線で示す退避位置とで回動可能になっている。
なお、リンク部材６９は、リンク部材６７に対して、回転軸６８を中心に点対称の構造及び動作を実現する。
（５）蓋落下防止機構
次に、蓋落下防止機構８０について説明する。蓋落下防止機構８０は、蓋落下防止部材６２と、動力伝達機構８２とから構成されている。
図２及び図４に示すように、前側フレーム４５および後側フレーム４７の下部には、ＦＯＵＰ４の蓋４ａが落下を防止するための蓋落下防止部材６２が前後に配置されている。蓋落下防止部材６２は、前側フレーム４５と後側フレーム４７にそれぞれ一つ設けられている。図２において、ＦＯＵＰ４は収納位置に配置され、蓋落下防止部材６２はＦＯＵＰ４の蓋４ａの正面の落下防止位置にある。図４において、ＦＯＵＰ４はホイスト本体４１によって収納位置から下方に移動しており、蓋落下防止部材６２はＦＯＵＰ４の蓋４ａの正面から退避した退避位置にある。
動力伝達機構８２は、前述のＦＯＵＰ落下防止機構５８の駆動機構６０からの駆動力を蓋落下防止部材６２に伝達するための機構である。動力伝達機構８２は、第１シャフト８５と、第１ベベルギア（かさ歯車）８７と、第２ベベルギア（かさ歯車）８９と、第２シャフト９１とから主に構成されている。第１シャフト８５は、駆動機構６０のシャフト８１と一体に又は固定されて一体回転するようになっている。第１シャフト８５は、軸受８３によって回転自在に支持されてさらにシャフト８１から離れる方向に延びている。第１ベベルギア８７は、第１シャフト８５の先端に固定されている。これにより、第１ベベルギア８７の回転中心は第１シャフト８５の回転軸８４と一致している。第２ベベルギア８９は、第１ベベルギア８７の側方外側部分に噛み合っている。この状態で、第２ベベルギア８９の回転軸は第１ベベルギア８７の回転軸８４に対して直角に延びている。以上より、第１ベベルギア８７と第２ベベルギア８９の噛み合いにより、回転方向が変換されている。第２ベベルギア８９には、第２シャフト９１が固定されている。第２シャフト９１は、側方向内側（第２側方向側）端が軸受９３に回転自在に支持されており、側方向外側（第１側方側）端に第２ベベルギア８９が固定され、さらにそこから突出する先端に蓋落下防止部材６２が固定されている。図５示すように、落下防止位置において、蓋落下防止部材６２は、側方向に延びており、中間部から先端にかけての部分が後側フレーム４７から突出して、ＦＯＵＰ４の蓋４ａの正面側に近接して配置されている。図２に示すように、蓋落下防止部材６２は、蓋４ａの下部（上下方向中心より下側の部分）に対応する位置に配置されている。以上の動作により、蓋落下防止部材６２は、図５において、実線で示す落下防止位置と、二点鎖線で示す退避位置とで回動可能になっている。なお、図７から明らかなように、第２シャフト９１の延びる方向は側方向に対して傾いており（前後方向に対して直角ではなく）、したがって、蓋落下防止部材６２も先端が根元端より側方向外側（第１側方側）に位置するように傾いている。ただし、別の実施例として、第２シャフトの延びる方向が側方向に平行であり、蓋落下防止部材が前後方向に平行になっていても良い。
（６）ＦＯＵＰ落下防止機構と蓋落下防止機構の動作
天井走行車５がＦＯＵＰ４を搬送しているときには、図７に示すように搬送物品落下防止部材６１が落下防止位置にあり、さらに図５に示すように蓋落下防止部材６２が落下防止位置にある。これにより、例えば昇降台４３のチャック機構からＦＯＵＰ４が外れた場合やＦＯＵＰ４のカセットから蓋４ａが外れた場合でも、それらが下方に落下しにくい。このように、ＦＯＵＰ４や蓋４ａの落下を防止できるため、レール３の下方への作業車の立ち入り規制を無くすことができる。このため、クリーンルームの有効利用が可能になる。
この状態では、駆動機構６０において、図７に示すように、ギア部材６５は最も時計回り方向に回転しており、第１支持部７１はギア部材６５の回転軸の第２側方向側に配置されている。第２支持部７３は、回転軸８４の前方第２側方向側に配置されている。この状態からモータ６３が駆動されてギア部材６５が反時計方向回りに回転すると、ギア部材６５から搬送物品落下防止部材６１にリンク部材６７を介して力が伝達される。より具体的には、リンク部材６７が第２支持部７３に力を加えることで、搬送物品落下防止部材６１が回転軸８４を中心に時計回り方向に回動する。この結果、搬送物品落下防止部材６１は落下防止位置から退避位置に回動する。
また、以上の動作によって、搬送物品落下防止部材６１が回転軸８４を中心に時計回り方向に回動すると、シャフト８１および第１シャフト８５が回転する。そして、第１ベベルギア８７と第２ベベルギア８９の噛み合いにより、第２シャフト９１が回転して、その結果、蓋落下防止部材６２が実線で示す落下防止位置から二点鎖線で示す退避位置に回動する。
なお、前述の動作と反対の動作が行われると、搬送物品落下防止部材６１が退避位置から落下防止位置に回動して、蓋落下防止部材６２が退避位置から落下防止位置に回動する。
以上に述べたように、搬送物品落下防止部材６１と蓋落下防止部材６２は、落下防止位置と退避位置の間の移動を同じタイミングで行う。
（７）ＦＯＵＰ落下防止機構と蓋落下防止機構の効果
以上に述べたように、本発明に係る実施形態では、蓋落下防止部材６２と、動力伝達機構８２が設けられている。蓋落下防止部材６２は、蓋４ａの正面に近接して配置される。動力伝達機構８２は、ＦＯＵＰ４の昇降時に蓋落下防止部材６２を蓋４ａの正面から待避させる。この天井走行車５では、ＦＯＵＰ４を吊り下げた状態で搬送しているときには、蓋落下防止部材６２は蓋４ａの正面に近接して配置されている。したがって、ＦＯＵＰ４の蓋４ａが外れても蓋４ａが下方に落下しにくい。一方、天井走行車５が停止してさらに昇降駆動部２５がＦＯＵＰ４を昇降させるときには、動力伝達機構８２が蓋落下防止部材６２を蓋４ａの正面から待避させる。この結果、昇降時にＦＯＵＰ４が蓋落下防止部材６２に衝突しにくい。特に、ＦＯＵＰ４が揺れながら上昇してくる場合でも、ＦＯＵＰ４が蓋落下防止部材６２に衝突しにくい。その結果、ＦＯＵＰ４内のウェハが揺動による衝撃を受けにくい。
さらに、天井走行車５は、搬送物品落下防止部材６１と、駆動機構６０を有している。搬送物品落下防止部材６１は、ＦＯＵＰ４の収納位置の下方に配置される。駆動機構６０は、ＦＯＵＰ４の昇降時に搬送物品落下防止部材６１をＦＯＵＰ４の収納位置の下方から待避させる。駆動機構６０は、駆動源であるモータ６３と、搬送物品落下防止部材６１を駆動させるためのギア部材６５やリンク部材６７を有している。なお、ギア部材６５やリンク部材６７等は、モータ６３の動力を動力伝達機構８２に伝達する機能も有している。この天井走行車５では、ＦＯＵＰ４を吊り下げた状態で搬送しているときには、搬送物品落下防止部材６１はＦＯＵＰ４の収納位置の下方に配置される。したがって、ＦＯＵＰ４が昇降駆動部２５から外れても下方に落下しにくい。一方、天井走行車５が停止してさらに昇降駆動部２５がＦＯＵＰ４を昇降させるときには、駆動機構６０が搬送物品落下防止部材６１をＦＯＵＰ４の下方から待避させる。この結果、昇降時にＦＯＵＰ４が搬送物品落下防止部材６１に衝突しにくい。特に、ＦＯＵＰ４が揺れながら上昇してくる場合でも、ＦＯＵＰ４が搬送物品落下防止部材６１に衝突しにくい。その結果、ＦＯＵＰ４内のウェハが揺動による衝撃を受けにくい。
蓋落下防止部材６２は、ＦＯＵＰ４の両側部（この実施形態では前後方向両側）に配置され、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な一対の部材である。また、搬送物品落下防止部材６１は、ＦＯＵＰ４の両側部に配置され落下防止位置と待避位置との間で回動可能な一対の部材である。なお、この実施形態では、搬送物品落下防止部材６１は前側フレーム４６および後側フレーム４７それぞれで左右方向に並んで一対ずつ設けられているが、前側フレーム４５および後側フレーム４７に一つずつ設けられていても良い。この天井走行車５では、蓋落下防止部材６２と搬送物品落下防止部材６１とがそれぞれ搬送物品の両側部に配置されているため、より確実に蓋４ａ及びＦＯＵＰ４の落下を防止できる。
動力伝達機構８２と駆動機構６０は、両者間で回転方向を変更するための第１ベベルギア８７および第２ベベルギア８９を介して連結されている。この天井走行車５では、動力伝達機構８２と駆動機構６０の動力伝達部が、共通のモータ６３によって駆動される。この結果、少ない部品点数で動力伝達機構８２と駆動機構６０を駆動することができる。
動力伝達機構８２は、蓋落下防止部材６２の回動中心に設けられた第１シャフト８５と、搬送物品落下防止部材６１の回動中心に設けられた第２シャフト９１と、第１シャフト８５と第２シャフト９１を動力伝達可能に連結する第１ベベルギア８７および第２ベベルギア８９とを有している。この結果、駆動力は、第１シャフト８５から第１ベベルギア８７および第２ベベルギア８９を介して第２シャフト９１に伝達される。
蓋落下防止部材６２は、上下方向に離れて配置された一対の部材である。駆動機構６０は、モータ６３と、モータ６３からの駆動力を一対の蓋落下防止部材６２に伝達するための一対のリンク部材６７、６９を有するリンク機構とを有している。この結果、一対の蓋落下防止部材６２がリンク機構によって同時に駆動される。
（８）他の実施例
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
前記実施形態では、半導体製造工場のクリーンルーム内の走行車システムを説明したが、本発明は他の種類の工場にも適用可能である。
前記実施形態では、搬送物品はＦＯＵＰであったが、他の部材であっても良い。
本発明は、軌道上を走行する天井走行車システムに広く適用可能である。
１ 天井走行車システム
３ レール
４ ＦＯＵＰ
４ａ 蓋
５ 天井走行車
１１ 走行レール
１３ 給電レール
１５ 給電線ホルダ
１７ 給電線
２１ 走行部（搬送車本体）
２３ 受電部
２５ 昇降駆動部（昇降機構）
２７ ピックアップユニット
２９ コア
３１ ピックアップコイル
３３ 非接触給電部
３５ 本体フレーム
３７ 横送り部
３９ θドライブ
４１ ホイスト本体
４３ 昇降台
４５ 前側フレーム
４７ 後側フレーム
５８ ＦＯＵＰ落下防止機構
６０ 駆動機構（第２退避機構）
６１ 搬送物品落下防止部材
６２ 蓋落下防止部材
６３ モータ
６４ ギア
６５ ギア部材
６７ リンク部材
６９ リンク部材
６８ 回転軸
７１ 第１支持部
７３ 第２支持部
８０ 蓋落下防止機構
８１ シャフト
８２ 動力伝達機構（第１退避機構）
８５ 第１シャフト
８７ 第１ベベルギア
８９ 第２ベベルギア
９１ 第２シャフト
第１待避機構と第２待避機構は、両者間で回転方向を変更する第１退避機構及び第２退避機構の一方の回転方向を第１退避機構及び第２退避機構の他方の回転方向に変換する動力伝達部を介して連結されていることが好ましい。
この天井搬送車では、第１退避機構と第２退避機構が動力伝達部を介して連結されており、共通の動力源によって駆動される。この結果、少ない部品点数で第１退避機構と第２退避機構を駆動することができる
搬送物品落下防止部材は、離れて配置された一対の落下防止部材を含むことが好ましい。駆動機構は、回転駆動部と、回転駆動部からの駆動力を前記一対の落下防止部材に伝達するための一対のリンク部材を有するリンク機構とを有していることが好ましい。
この天井搬送車では、一対の落下防止部材がリンク機構によって同時に駆動される。
本発明に係る天井搬送車は、側面に蓋が取り外し可能に設けられた搬送物品を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車であって、搬送車本体と、昇降機構と、蓋落下防止部材と、第１退避機構とを備えている。昇降機構は、搬送車本体に設けられ、搬送物品を昇降可能である。蓋落下防止部材は、蓋の正面に近接して配置される。第１退避機構は、搬送物品の昇降時に蓋落下防止部材を蓋の正面から退避させる。
この天井搬送車では、搬送車本体が搬送物品を吊り下げた状態で搬送しているときには、蓋落下防止部材は蓋の正面に近接して配置されている。したがって、搬送物品の蓋が外れても蓋が下方に落下しにくい。一方、搬送車本体が停止してさらに昇降機構が搬送物品を昇降させるときには、第１退避機構が蓋落下防止部材を蓋の正面から退避させる。この結果、昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝突しにくい。
天井搬送車は、搬送物品落下防止部材と、第２退避機構と、駆動機構とを備えていることが好ましい。搬送物品落下防止部材は、搬送物品の収納位置の下方に配置される。第２退避機構は、搬送物品の昇降時に搬送物品落下防止部材を搬送物品の収納位置の下方から退避させる。駆動機構は、第１退避機構と第２退避機構の両方を駆動する。
この天井搬送車では、搬送車本体が搬送物品を吊り下げた状態で搬送しているときには、搬送物品落下防止部材は搬送物品の収納位置の下方に配置される。したがって、搬送物品が昇降機構から外れても搬送物品が下方に落下しにくい。一方、搬送車本体が停止してさらに昇降機構が搬送物品を昇降させるときには、第２退避機構が搬送物品落下防止部材を搬送物品の下方から退避させる。この結果、搬送物品が搬送物品落下防止部材に衝突しにくい。
さらに、駆動機構が第１退避機構と第２退避機構の両方を駆動するため、複数の動力源を用いる必要がない。
蓋落下防止部材は、落下防止位置と退避位置との間で回動可能な部材であり、搬送物品落下防止部材は、落下防止位置と退避位置との間で回動可能な部材であることが好ましい。
この天井搬送車では、蓋落下防止部材と搬送物品落下防止部材とが回動可能であるため、より確実に蓋及び搬送物品の落下を防止できる。
第１退避機構と第２退避機構は、両者間で回転方向を変更する第１退避機構及び第２退避機構の一方の回転方向を第１退避機構及び第２退避機構の他方の回転方向に変換する動力伝達部を介して連結されていることが好ましい。
この天井搬送車では、第１退避機構と第２退避機構が動力伝達部を介して連結されており、共通の動力源によって駆動される。この結果、少ない部品点数で第１退避機構と第２退避機構を駆動することができる
本発明に係る天井搬送車では、搬送車本体が停止してさらに昇降機構が搬送物品を昇降させるときには、第１退避機構が蓋落下防止部材を蓋の正面から退避させる。この結果、昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝突しにくい。
（７）ＦＯＵＰ落下防止機構と蓋落下防止機構の効果
以上に述べたように、本発明に係る実施形態では、蓋落下防止部材６２と、動力伝達機構８２が設けられている。蓋落下防止部材６２は、蓋４ａの正面に近接して配置される。動力伝達機構８２は、ＦＯＵＰ４の昇降時に蓋落下防止部材６２を蓋４ａの正面から退避させる。この天井走行車５では、ＦＯＵＰ４を吊り下げた状態で搬送しているときには、蓋落下防止部材６２は蓋４ａの正面に近接して配置されている。したがって、ＦＯＵＰ４の蓋４ａが外れても蓋４ａが下方に落下しにくい。一方、天井走行車５が停止してさらに昇降駆動部２５がＦＯＵＰ４を昇降させるときには、動力伝達機構８２が蓋落下防止部材６２を蓋４ａの正面から退避させる。この結果、昇降時にＦＯＵＰ４が蓋落下防止部材６２に衝突しにくい。特に、ＦＯＵＰ４が揺れながら上昇してくる場合でも、ＦＯＵＰ４が蓋落下防止部材６２に衝突しにくい。その結果、ＦＯＵＰ４内のウェハが揺動による衝撃を受けにくい。
さらに、天井走行車５は、搬送物品落下防止部材６１と、駆動機構６０を有している。搬送物品落下防止部材６１は、ＦＯＵＰ４の収納位置の下方に配置される。駆動機構６０は、ＦＯＵＰ４の昇降時に搬送物品落下防止部材６１をＦＯＵＰ４の収納位置の下方から退避させる。駆動機構６０は、駆動源であるモータ６３と、搬送物品落下防止部材６１を駆動させるためのギア部材６５やリンク部材６７を有している。なお、ギア部材６５やリンク部材６７等は、モータ６３の動力を動力伝達機構８２に伝達する機能も有している。この天井走行車５では、ＦＯＵＰ４を吊り下げた状態で搬送しているときには、搬送物品落下防止部材６１はＦＯＵＰ４の収納位置の下方に配置される。したがって、ＦＯＵＰ４が昇降駆動部２５から外れても下方に落下しにくい。一方、天井走行車５が停止してさらに昇降駆動部２５がＦＯＵＰ４を昇降させるときには、駆動機構６０が搬送物品落下防止部材６１をＦＯＵＰ４の下方から退避させる。この結果、昇降時にＦＯＵＰ４が搬送物品落下防止部材６１に衝突しにくい。特に、ＦＯＵＰ４が揺れながら上昇してくる場合でも、ＦＯＵＰ４が搬送物品落下防止部材６１に衝突しにくい。その結果、ＦＯＵＰ４内のウェハが揺動による衝撃を受けにくい。
蓋落下防止部材６２は、ＦＯＵＰ４の両側部（この実施形態では前後方向両側）に配置され、落下防止位置と退避位置との間で回動可能な一対の部材である。また、搬送物品落下防止部材６１は、ＦＯＵＰ４の両側部に配置され落下防止位置と退避位置との間で回動可能な一対の部材である。なお、この実施形態では、搬送物品落下防止部材６１は前側フレーム４５および後側フレーム４７それぞれで左右方向に並んで一対ずつ設けられているが、前側フレーム４５および後側フレーム４７に一つずつ設けられていても良い。この天井走行車５では、蓋落下防止部材６２と搬送物品落下防止部材６１とがそれぞれ搬送物品の両側部に配置されているため、より確実に蓋４ａ及びＦＯＵＰ４の落下を防止できる。

Claims (6)

  1. 側面に蓋が取り外し可能に設けられた搬送物品を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車であって、
    搬送車本体と、
    前記搬送車本体に設けられ、前記搬送物品を昇降可能な昇降機構と、
    前記蓋の正面に近接して配置される蓋落下防止部材と、
    前記搬送物品の昇降時に前記蓋落下防止部材を前記蓋の正面から待避させる第１待避機構と、
    を備えた天井搬送車。
  2. 前記搬送物品の収納位置の下方に配置される搬送物品落下防止部材と、
    前記搬送物品の昇降時に前記搬送物品落下防止部材を前記搬送物品の収納位置の下方から待避させる第２待避機構と、
    前記第１待避機構と前記第２待避機構の両方を駆動するための駆動機構と、
    をさらに備えた請求項１に記載の天井搬送車。
  3. 前記蓋落下防止部材は、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な部材であり、
    前記搬送物品落下防止部材は、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な部材である、請求項２に記載の天井搬送車。
  4. 前記第１待避機構と前記第２待避機構は、両者間で回転方向を変更するための動力伝達部を介して連結されている、請求項３に記載の天井搬送車。
  5. 前記動力伝達部は、前記蓋落下防止部材の回動中心に設けられた第１シャフトと、前記搬送物品落下防止部材の回動中心に設けられた第２シャフトと、前記第１シャフトと前記第２シャフトを動力伝達可能に連結するかさ歯車とを有している、請求項４に記載の天井搬送車。
  6. 前記蓋落下防止部材は、上下方向に離れて配置された一対の部材であり、
    前記駆動機構は、回転駆動部と、前記回転駆動部からの駆動力を前記一対の落下防止部材に伝達するための一対のリンク部材を有するリンク機構とを有している、請求項２〜５のいずれかに記載の天井搬送車。
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