WO2009141976A1 - 天井搬送車 - Google Patents

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WO2009141976A1
WO2009141976A1 PCT/JP2009/002106 JP2009002106W WO2009141976A1 WO 2009141976 A1 WO2009141976 A1 WO 2009141976A1 JP 2009002106 W JP2009002106 W JP 2009002106W WO 2009141976 A1 WO2009141976 A1 WO 2009141976A1
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WO
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lid
article
foup
prevention member
drop prevention
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PCT/JP2009/002106
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English (en)
French (fr)
Inventor
本田則明
泉孝憲
Original Assignee
村田機械株式会社
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Priority to JP2010512929A priority patent/JP5035415B2/ja
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to a ceiling transport vehicle, and more particularly to a ceiling transport vehicle that stores and transports a transportable article having a removable lid on its side surface in a suspended state.
  • a ceiling transport system in which a ceiling transport vehicle is made to travel along a traveling rail provided on the ceiling to transport articles. ing.
  • the overhead conveyance vehicle includes a traveling unit that travels along a traveling rail, an article storage unit that stores articles, and a hoist that can move the articles up and down.
  • the hoist has a chuck for holding articles, a belt capable of moving the chuck up and down, and a belt drive mechanism capable of delivering and winding up the belt.
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • the FOUP is a sealed wafer storage pod.
  • the FOUP comprises a cassette and a lid for closing the side opening of the cassette. The lid prevents particles from invading the interior and is positioning the wafer within the cassette.
  • the overhead transport vehicle travels with the hoist moving the FOUP upward and being stored in the storage unit.
  • the hoist moves the FOUP downward and places it on the load port table.
  • the FOUP docks with the opening of the manufacturing device, and the FOUP opener then removes the lid from the FOUP cassette and pulls the lid into the interior of the device.
  • the wafer is carried into the semiconductor manufacturing apparatus and predetermined processing is performed.
  • the processed wafer is returned to the FOUP and the FOUP lid is closed.
  • the overhead transport vehicle holds the FOUP placed on the table of the load port of the manufacturing apparatus by a hoist, raises it to the storage position, stores the FOUP, and starts traveling. In this way, the overhead vehicle moves the FOUP between the load ports.
  • an unmanned conveyance may pass below the traveling rail, or a worker may move or work.
  • a worker may move or work.
  • the lid may fall from the FOUP, workers and other devices may be harmed.
  • cover fall prevention member in the overhead conveyance vehicle is proposed (for example, refer patent document 1).
  • the lid drop prevention member described in Patent Document 1 is fixed to the elevator and can move laterally with the elevator, but does not move in the other direction. Therefore, at the time of raising and lowering operation to lower the FOUP downward from the storage position or to move it upward from the port load, there is a possibility that the lifting platform or the FOUP may contact the lid drop preventing member. In particular, when the FOUP rises while shaking, the FOUP is likely to collide with the lid fall prevention member. When the two come in contact with each other, the overhead carriage shakes and the wafer in the FOUP receives an impact due to the shake. In addition, it is possible that the traveling vehicle which has swung collides with another traveling vehicle.
  • An object of the present invention is to provide a ceiling transport vehicle in which a transport article is less likely to collide with the lid drop prevention member when moving up and down.
  • the overhead conveyance vehicle is a ceiling conveyance vehicle which stores and conveys a conveyance article suspended with a lid provided on its side surface in a suspended state, and includes a conveyance vehicle main body, an elevating mechanism, and lid fall prevention A member and a first retracting mechanism are provided.
  • the lifting and lowering mechanism is provided on the carrier body and is capable of lifting and lowering the conveyed articles.
  • the lid drop prevention member is disposed close to the front of the lid.
  • the first retracting mechanism retracts the lid fall preventing member from the front of the lid when moving up and down the transported article.
  • the lid drop prevention member is disposed close to the front of the lid.
  • the lid drop preventing member retracts the lid drop preventing member from the front of the lid. As a result, it is difficult for the conveyed article to collide with the lid drop prevention member when moving up and down.
  • the overhead transport vehicle preferably includes a transport article drop prevention member, a second retraction mechanism, and a drive mechanism.
  • the transported article drop prevention member is disposed below the storage position of the transported article.
  • the second retracting mechanism retracts the transport article drop prevention member from below the storage position of the transport article when moving the transport article up and down.
  • the drive mechanism drives both the first retraction mechanism and the second retraction mechanism.
  • the transported article drop prevention member is disposed below the storage position of the transported article. Therefore, even if the conveyed article is removed from the elevating mechanism, the conveyed article is less likely to fall downward.
  • the second retraction mechanism retracts the transported article drop prevention member from the lower side of the transported article.
  • the conveyed article is less likely to collide with the conveyed article fall prevention member.
  • the drive mechanism drives both the first retraction mechanism and the second retraction mechanism, it is not necessary to use a plurality of power sources.
  • the lid drop prevention member is a member rotatable between the drop prevention position and the withdrawal position
  • the conveyed article drop prevention member is a member rotatable between the drop prevention position and the withdrawal position. preferable.
  • the lid drop prevention member and the transport article drop prevention member are rotatable, the lid and the transport article can be more reliably prevented from dropping.
  • first retraction mechanism and the second retraction mechanism are connected via a power transmission unit for changing the rotational direction between the two.
  • first retraction mechanism and the second retraction mechanism are connected via the power transmission unit, and are driven by a common power source.
  • the first retraction mechanism and the second retraction mechanism can be driven with a small number of parts.
  • the power transmission unit transmits power to the first shaft provided at the rotation center of the lid drop prevention member, the second shaft provided at the rotation center of the conveyed article fall prevention member, and the first shaft and the second shaft. It is preferable to have a pair of bevel gears that can be connected. In this overhead transportation vehicle, the driving force is transmitted from the first shaft to the second shaft via the pair of bevel gears.
  • the lid fall prevention member is preferably a pair of members disposed apart in the vertical direction.
  • the drive mechanism preferably includes a rotational drive unit and a link mechanism having a pair of link members for transmitting the drive force from the rotational drive unit to the pair of fall preventing members.
  • the pair of fall prevention members are simultaneously driven by the link mechanism.
  • the first retraction mechanism retracts the lid drop prevention member from the front of the lid. As a result, it is difficult for the conveyed article to collide with the lid drop prevention member when moving up and down.
  • FIG. 1 is a schematic view of an overhead traveling car system 1 according to a non-contact power feeding method using a feeder line.
  • the overhead traveling vehicle system 1 is provided in a clean room of a semiconductor factory or the like, and transports a FOUP (Front Opening Unified Pod) described later.
  • the overhead traveling vehicle system 1 mainly includes a rail 3 and an overhead traveling vehicle 5 traveling along the rail 3.
  • the configuration in the semiconductor factory will be described.
  • the semiconductor factory has a plurality of bays (processes), and interbay routes 51 are provided to connect remote bays, and each bay has an intrabay route 53.
  • Each of the routes 51 and 53 is constituted by a rail 3.
  • a plurality of processing devices 55, 55 such as semiconductor processing devices are arranged.
  • a load port 57 is provided in the vicinity of the processing devices 55, 55.
  • the load port 57 is provided immediately below the intra-bay route 53.
  • the overhead traveling vehicle 5 travels the rail 3 to transport the FOUP to be described later between the load ports 57.
  • the rail 3 is suspended from the ceiling 9 by a plurality of columns 7 as shown in FIG.
  • the rail 3 mainly includes a traveling rail 11 and a feed rail 13 provided below the traveling rail 11.
  • the traveling rail 11 is made of, for example, aluminum, and as shown in FIG. 3, is formed in an inverted U shape in cross section, and has an upper surface portion 11a and both side surface portions 11b. Under the both side surface portions 11b, a pair of first traveling surfaces 11c extending inward are formed. Furthermore, a second traveling surface 11d is formed on the upper portion of the inner side surface of the both side surface portions 11b, and a third traveling surface 11e is formed on the lower side surface of the upper surface portion 11a.
  • the feeding rail 13 mainly includes a pair of feeding line holders 15 provided on both sides of the lower part of the traveling rail 11.
  • a power supply (not shown) is provided at one end of the feed line 17 so that a high frequency current is supplied to the pair of feed lines 17.
  • the overhead traveling vehicle 5 mainly includes a traveling unit 21, a power receiving unit 23, and an elevation driving unit 25.
  • the traveling unit 21 is a mechanism that is disposed in the traveling rail 11 and travels on the rail 3.
  • the power receiving unit 23 is a mechanism that is disposed in the feed rail 13 and is supplied with power from the pair of feed lines 17 and 17.
  • the elevation drive unit 25 is a mechanism disposed below the feed rail 13 for holding the FOUP 4 and vertically moving it up and down.
  • the traveling part 21 is mainly disposed in the traveling rail 11, and includes a pair of first guide wheels 18 and 18, a pair of second guide wheels 19 and 19, and a traveling drive wheel 20. , And a motor 22.
  • the pair of first guide wheels 18, 18 are disposed on both sides of the lower portion of the traveling portion 21 and rotatably supported by an axle extending in the left-right direction.
  • the first guide wheels 18, 18 are placed on the first traveling surface 11 c of the traveling rail 11.
  • the second guide wheels 19 and 19 are disposed on both upper sides of the traveling portion 21 and rotatably supported by vertically extending axles.
  • the second guide wheels 19, 19 prevent the positional deviation in the lateral direction (the left and right direction in the traveling direction) with the second traveling surface 11d of the traveling rail 11 as a guide surface.
  • the traveling driving wheel 20 is disposed substantially at the center of the traveling portion 21 and pressed against the third traveling surface 11 e of the traveling rail 11 by a pressing unit such as a spring.
  • the traveling drive wheels 20 are driven by a motor 22. As a result, the overhead traveling vehicle 5 travels on the rail 3.
  • the power receiving unit 23 has a pair of pickup units 27 for obtaining electric power from the pair of feed lines 17, 17. Specifically, the pair of pickup units 27 are arranged side by side in the feed rail 13. Each pickup unit 27 includes a ferrite core 29 having a substantially E-shaped cross section, and a pickup coil 31 wound around the core 29. Specifically, the core 29 has protrusions 29a on both sides and a protrusion 29b in the middle between the two, and the pickup coil 31 is wound around the protrusion 29b in the center.
  • a pair of feed lines 17, 17 held by the feed line holder 15 are respectively disposed between the projecting portions 29 a on both sides and the projecting portion 29 b in the center.
  • a magnetic field generated by supplying a high frequency current to the pair of feed lines 17 acts on the pickup coil 31 to generate an induced current in the pickup coil 31.
  • electric power is supplied contactlessly from the pair of feeders 17 and 17 to the pickup unit 27 to drive the traveling motor 22 and to supply electric power to the control device.
  • the non-contact power feeding unit 33 is configured by the pair of feed lines 17 and 17 of the power feeding rail 13 and the power receiving unit 23 of the overhead traveling vehicle 5.
  • the lifting drive 25 is mainly composed of the main body frame 35, the lateral feed portion 37, the ⁇ drive 39, the hoist main body 41, and the lifting platform 43. Is equipped.
  • the main body frame 35 is a member fixed to the lower part of the power reception unit 23.
  • a front frame 45 and a rear frame 47 are provided on the front and back of the main body frame 35.
  • the front side frame 45 and the rear side frame 47 are members extending downward from the main body frame 35, and sandwich the transverse feeding portion 37, the ⁇ drive 39, the hoist main body 41, and the elevator 43 in the front and rear direction.
  • the front side frame 45 and the rear side frame 47 have a housing having a space inside.
  • a FOUP drop prevention mechanism and a lid drop prevention mechanism are housed in the housing (described later).
  • the transverse feed section 37 can laterally feed the ⁇ drive 39, the hoist main body 41 and the elevator 43, for example, and can deliver the FOUP 4 with a side buffer (not shown) provided on the side of the rail 3. .
  • the ⁇ drive 39 rotates the hoist main body 41 in the horizontal plane to facilitate the delivery of the FOUP 4.
  • elevating means (not shown) for raising and lowering the elevating table 43 is provided.
  • the elevating means is, for example, four sets of winding drums, and a belt 59 is wound around the winding drum.
  • a lift 43 is attached to the end of the belt 59.
  • FIG. 4 shows the belt 59 being unwound from the winding drum and the elevator 43 being lowered together with the FOUP 4.
  • the FOUP 4 accommodates a plurality of semiconductor wafers inside, and a removable lid 4 a is provided on the front surface.
  • a flange 49 is provided at the top of the FOUP 4, and the flange 49 is chucked by a lift 43
  • the FOUP fall prevention mechanism 58 includes a conveyed article fall prevention member 61, and a drive mechanism 60 that rotates the conveyed article fall prevention member 61 between the fall prevention position and the retracted position.
  • a conveyed article drop prevention member 61 for preventing the FOUP 4 from falling is disposed in front and rear.
  • the transported article drop prevention members 61 are provided on the front side frame 45 and the rear side frame 47 in pairs, respectively.
  • the FOUP 4 is disposed at the storage position, and the transported article drop prevention member 61 is at the drop prevention position below the FOUP 4.
  • the FOUP 4 is moved downward from the storage position by the hoist main body 41, and the transported article drop prevention member 61 is at the retracted position retracted from below the FOUP 4.
  • the drive mechanism 60 will be described using FIGS. 5 to 7.
  • the drive mechanism 60 is provided on both the front frame 45 and the rear frame 47, only the drive mechanism 60 provided on the rear frame 47 will be described here. 6 and 7, the left side of the drawing is the first side direction, and the right side of the drawing is the second side direction. Further, the right side of FIG. 5 and the lower side of FIG. 7 are front sides in the transport direction, and the left side of FIG. 5 and the top side of FIG. 7 are rear sides in the transport direction.
  • the drive mechanism 60 mainly includes a motor 63, a gear member 65, and link members 67 and 69.
  • the motor 63 is fixed to the first fixed plate 54 in the rear frame 47 and has a vertically extending rotation shaft.
  • the rotating shaft of the motor 63 projects downward, and a gear 64 is provided at the tip thereof.
  • the gear member 65 is a member rotatably supported by the first fixed plate 54 and has a rotation shaft 68 extending in parallel with the rotation shaft of the motor 63.
  • a gear 66 is provided on the top of the gear member 65, and the gear 66 meshes with the gear 64 of the motor 63.
  • the link members 67 and 69 constitute link mechanisms for driving the transportable article drop prevention members 61 and 61, respectively. Since the configuration and operation of the link members 67 and 69 are the same, only the link member 67 will be described.
  • the link member 67 is a member for rotating the conveyed product drop prevention member 61 by the rotation of the gear member 65.
  • the link member 67 as shown in FIG. 7, is an elongated plate-like member extending in the side direction, one end of which is rotatably connected to the first support portion 71 of the gear member 65, and the other end of which is a transport article drop prevention
  • the second support portion 73 of the member 61 is rotatably supported.
  • the first support portion 71 is disposed on the opposite side of the rotation shaft 68 of the gear member 65 with respect to the support portion of the link member 69, so that the link member 67 extends from the first support portion 71 to the gear member 65 It has a curved portion 67a which is curved so as to bypass the rotation shaft 68 rearward.
  • the conveyed product fall prevention member 61 is composed of a fall prevention portion 61a, a rotation support portion 61b, and a wall portion 61c connecting the both.
  • the fall prevention part 61a is a plate member extending in the horizontal direction, and extends relatively long. In addition, the corner of the fall prevention part 61a is chamfered and continues smoothly.
  • the rotation support portion 61 b is a plate member which is disposed at a position higher than the fall prevention portion 61 a and extends in the horizontal direction.
  • the shaft 81 is fixed to the rotation support portion 61 b, and the shaft 81 is rotatably supported by the second fixed plate 56 of the rear frame 47 around the rotation shaft 84.
  • the position of the shaft 81 is slightly outside the center in the left-right direction in the conveyed product fall prevention member 61.
  • the conveyed product fall prevention member 61 is pivotable between the fall prevention position indicated by the solid line and the retracted position indicated by the two-dot chain line in FIG. 7.
  • the link member 69 realizes a point-symmetrical structure and operation with respect to the link member 67 around the rotation axis 68.
  • the lid drop prevention mechanism 80 is composed of a lid drop prevention member 62 and a power transmission mechanism 82.
  • lid fall preventing members 62 for preventing the lid 4a of the FOUP 4 from falling are disposed in the front and rear.
  • One lid fall prevention member 62 is provided on each of the front frame 45 and the rear frame 47.
  • the FOUP 4 is disposed at the storage position, and the lid drop prevention member 62 is at the drop prevention position in front of the lid 4 a of the FOUP 4.
  • the FOUP 4 is moved downward from the storage position by the hoist main body 41, and the lid drop prevention member 62 is at the retracted position retracted from the front of the lid 4 a of the FOUP 4.
  • the power transmission mechanism 82 is a mechanism for transmitting the driving force from the drive mechanism 60 of the above-described FOUP fall prevention mechanism 58 to the lid fall prevention member 62.
  • the power transmission mechanism 82 mainly includes a first shaft 85, a first bevel gear (a bevel gear) 87, a second bevel gear (a bevel gear) 89, and a second shaft 91.
  • the first shaft 85 is integrally rotated with the shaft 81 of the drive mechanism 60.
  • the first shaft 85 is rotatably supported by the bearing 83 and further extends away from the shaft 81.
  • the first bevel gear 87 is fixed to the tip of the first shaft 85.
  • the rotation center of the first bevel gear 87 coincides with the rotation axis 84 of the first shaft 85.
  • the second bevel gear 89 meshes with the side outer portion of the first bevel gear 87.
  • the rotation axis of the second bevel gear 89 extends at a right angle to the rotation axis 84 of the first bevel gear 87.
  • the second shaft 91 is fixed to the second bevel gear 89.
  • the second shaft 91 is rotatably supported at its lateral inward (second lateral direction) end by the bearing 93, and the second bevel gear 89 is fixed to the lateral outward (first lateral side) end.
  • a lid drop prevention member 62 is fixed to a tip protruding from there. As shown in FIG.
  • the lid fall prevention member 62 extends in the side direction, and a portion from the middle portion to the tip projects from the rear side frame 47 and approaches the front side of the lid 4 a of the FOUP 4 It is arranged. As shown in FIG. 2, the lid drop prevention member 62 is disposed at a position corresponding to the lower portion of the lid 4 a (a portion below the center in the vertical direction). By the above operation, the lid fall prevention member 62 is pivotable between the fall prevention position indicated by the solid line and the retracted position indicated by the two-dot chain line in FIG. As is apparent from FIG.
  • the extending direction of the second shaft 91 is inclined with respect to the side direction (not perpendicular to the front-rear direction), and therefore, the tip of the lid fall preventing member 62 is also closer than the root end. It inclines so that it may be located in the side direction outside (the 1st side side). However, as another embodiment, the extending direction of the second shaft may be parallel to the side direction, and the lid drop prevention member may be parallel to the front-rear direction.
  • the conveyed product drop prevention member 61 pivots from the retracted position to the drop prevention position, and the lid drop prevention member 62 pivots from the retracted position to the drop prevention position.
  • the conveyed product fall prevention member 61 and the lid fall prevention member 62 move between the fall prevention position and the retracted position at the same timing.
  • the lid fall prevention member 62 and the power transmission mechanism 82 are provided.
  • the lid drop prevention member 62 is disposed close to the front of the lid 4a.
  • the power transmission mechanism 82 retracts the lid drop preventing member 62 from the front of the lid 4 a when the FOUP 4 is moved up and down.
  • the lid fall preventing member 62 is disposed in the vicinity of the front of the lid 4a. Therefore, even if the lid 4a of the FOUP 4 is removed, the lid 4a is unlikely to fall downward.
  • the power transmission mechanism 82 retracts the lid drop prevention member 62 from the front of the lid 4a.
  • the FOUP 4 it is difficult for the FOUP 4 to collide with the lid fall prevention member 62 when moving up and down.
  • the FOUP 4 hardly collides with the lid fall prevention member 62.
  • the wafer in the FOUP 4 is less susceptible to shocks due to swinging.
  • the overhead traveling vehicle 5 has a transported article drop prevention member 61 and a drive mechanism 60.
  • the transported article drop prevention member 61 is disposed below the storage position of the FOUP 4.
  • the drive mechanism 60 retracts the conveyed product drop prevention member 61 from below the storage position of the FOUP 4 when moving up and down the FOUP 4.
  • the drive mechanism 60 includes a motor 63 which is a drive source, and a gear member 65 and a link member 67 for driving the conveyed product drop prevention member 61.
  • the gear member 65, the link member 67, and the like also have a function of transmitting the power of the motor 63 to the power transmission mechanism 82.
  • the conveyed article drop prevention member 61 is disposed below the storage position of the FOUP 4. Therefore, even if the FOUP 4 is detached from the elevation driving unit 25, it is difficult for the FOUP 4 to fall downward.
  • the drive mechanism 60 retracts the transported article drop prevention member 61 from the lower side of the FOUP 4. As a result, it is difficult for the FOUP 4 to collide with the conveyed product falling prevention member 61 when moving up and down. In particular, even when the FOUP 4 rises while swinging, the FOUP 4 is less likely to collide with the transported article drop prevention member 61. As a result, the wafer in the FOUP 4 is less susceptible to shocks due to swinging.
  • the lid drop prevention members 62 are a pair of members disposed on both sides (both sides in this embodiment in the front-rear direction) of the FOUP 4 and capable of rotating between the drop prevention position and the standby position.
  • the conveyed product drop prevention members 61 are a pair of members disposed on both sides of the FOUP 4 and capable of rotating between the drop prevention position and the withdrawal position.
  • the transportable article drop prevention members 61 are provided in a pair in the left-right direction in each of the front frame 46 and the rear frame 47, but one each is provided in the front frame 45 and the rear frame 47. It may be done.
  • the lid drop prevention member 62 and the conveyed article fall prevention member 61 are respectively disposed on both sides of the conveyed article, the lid 4a and the FOUP 4 can be more reliably prevented from falling.
  • the power transmission mechanism 82 and the drive mechanism 60 are connected via a first bevel gear 87 and a second bevel gear 89 for changing the rotational direction between the two.
  • the power transmission mechanism of the power transmission mechanism 82 and the power transmission portion of the drive mechanism 60 are driven by the common motor 63.
  • the power transmission mechanism 82 and the drive mechanism 60 can be driven with a small number of parts.
  • the power transmission mechanism 82 includes a first shaft 85 provided at the rotation center of the lid fall prevention member 62, a second shaft 91 provided at the rotation center of the conveyed article fall prevention member 61, and the first shaft 85.
  • the lid fall prevention member 62 is a pair of members which are disposed apart in the vertical direction.
  • the drive mechanism 60 includes a motor 63 and a link mechanism having a pair of link members 67 and 69 for transmitting the drive force from the motor 63 to the pair of lid drop prevention members 62. As a result, the pair of lid drop prevention members 62 are simultaneously driven by the link mechanism.
  • the traveling vehicle system in the clean room of the semiconductor manufacturing factory has been described in the above embodiment, the present invention is applicable to other types of factories.
  • the conveyed article was FOUP, it may be another member.
  • the present invention is widely applicable to an overhead traveling vehicle system traveling on a track.

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Abstract

　昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝突しにくい天井搬送車を提供する。天井搬送車は、側面に蓋（４ａ）が取り外し可能に設けられたＦＯＵＰ（４）を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車であって、搬送車本体と、昇降機構と、蓋落下防止部材（６２）と、動力伝達機構（８２）とを備えている。昇降機構は、搬送車本体に設けられ、ＦＯＵＰ（４）を昇降可能である。蓋落下防止部材（６２）は、蓋（４ａ）の正面に近接して配置される。動力伝達機構（８２）は、ＦＯＵＰ（４）の昇降時に蓋落下防止部材（６２）を蓋（４ａ）の正面から待避させる。

Description

天井搬送車
　本発明は、天井搬送車、特に、側面に蓋が取り外し可能に設けられた搬送物品を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車に関する。
　従来、半導体製造工場等、塵埃の発生が問題となるクリーンルームでは、物品を搬送するために、天井に設けられた走行レールに沿って天井搬送車を走行させるようにした天井搬送車システムが採用されている。
　天井搬送車は、走行レールに沿って走行を行う走行部と、物品を収納する物品収納部と、物品を昇降可能なホイストとから構成されている。ホイストは、物品をつかむためのチャックと、チャックを上下動可能なベルトと、ベルトを繰り出したり巻き上げたりできるベルト駆動機構とを有している。
　天井搬送車がクリーンルームで搬送する物品としては、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）がある。ＦＯＵＰは、密閉型のウェハ格納用ポッドである。ＦＯＵＰによってウェハのクリーン度を高めて、ウェハサイズの大型化に伴う微細化に対応可能になっている。ＦＯＵＰは、カセットと、カセットの側方開口部を閉鎖するための蓋とから構成されている。蓋は、パーティクルが内部に侵入するのを防止するとともに、カセット内でウェハの位置決めを行っている。
　天井搬送車は、ホイストがＦＯＵＰを上方に移動させて収納部に収めた状態で、走行する。天井搬送車は、製造装置の前にくると、ホイストによってＦＯＵＰを下方に移動させロードポートのテーブル上に載置する。載置後は、ＦＯＵＰが製造装置の開口部とドッキングして、次に、ＦＯＵＰオープナがＦＯＵＰのカセットから蓋を取り外して、蓋を装置内部に引き込む。そして、ウェハが半導体製造装置に運び込まれ、所定の処理が行われる。処理後のウェハはＦＯＵＰ内に戻され、ＦＯＵＰの蓋が閉められる。天井搬送車は、製造装置のロードポートのテーブル上に載置されたＦＯＵＰをホイストによって保持して、収納位置まで上昇させ、ＦＯＵＰを収納して走行を開始する。このようにして、天井搬送車はＦＯＵＰをロードポート間で移動させる。
　天井搬送車システムでは、走行レールの下方を無人搬送車が通過したり、作業者が移動や作業をしたりすることがある。このような場合に、ＦＯＵＰから蓋が落下するようなことがあると、作業者や他の装置が危害を被ることがありえる。そこで、天井搬送車に蓋落下防止部材を設けた構成が提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。
特開２００４－２７７０６６号公報（特許３８８５２３２号）
　特許文献１で示した蓋落下防止部材は、昇降台に固定されており、昇降台と共に横移動可能となっているが、他の方向への移動は行わない。そのため、ＦＯＵＰを収納位置から下方に降下させたり、ポートロードから上方に移動させたりする昇降動作の際に、昇降台やＦＯＵＰが蓋落下防止部材に接触する可能性がある。特にＦＯＵＰが揺れながら上昇してくるときに、ＦＯＵＰが蓋落下防止部材に衝突しやすい。両者が接触すると、それによって、天井搬送車が揺れて、ＦＯＵＰ内のウェハが揺動による衝撃を受ける。また、揺動した走行車が他の走行車と衝突することもあり得る。
　本発明の課題は、昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝突しにくい天井搬送車を提供することにある。
　本発明に係る天井搬送車は、側面に蓋が取り外し可能に設けられた搬送物品を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車であって、搬送車本体と、昇降機構と、蓋落下防止部材と、第１退避機構とを備えている。昇降機構は、搬送車本体に設けられ、搬送物品を昇降可能である。蓋落下防止部材は、蓋の正面に近接して配置される。第１退避機構は、搬送物品の昇降時に蓋落下防止部材を蓋の正面から待避させる。
　この天井搬送車では、搬送車本体が搬送物品を吊り下げた状態で搬送しているときには、蓋落下防止部材は蓋の正面に近接して配置されている。したがって、搬送物品の蓋が外れても蓋が下方に落下しにくい。一方、搬送車本体が停止してさらに昇降機構が搬送物品を昇降させるときには、第１退避機構が蓋落下防止部材を蓋の正面から待避させる。この結果、昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝突しにくい。
　天井搬送車は、搬送物品落下防止部材と、第２待避機構と、駆動機構とを備えていることが好ましい。搬送物品落下防止部材は、搬送物品の収納位置の下方に配置される。第２待避機構は、搬送物品の昇降時に搬送物品落下防止部材を搬送物品の収納位置の下方から待避させる。駆動機構は、第１待避機構と第２待避機構の両方を駆動する。
　この天井搬送車では、搬送車本体が搬送物品を吊り下げた状態で搬送しているときには、搬送物品落下防止部材は搬送物品の収納位置の下方に配置される。したがって、搬送物品が昇降機構から外れても搬送物品が下方に落下しにくい。一方、搬送車本体が停止してさらに昇降機構が搬送物品を昇降させるときには、第２退避機構が搬送物品落下防止部材を搬送物品の下方から待避させる。この結果、搬送物品が搬送物品落下防止部材に衝突しにくい。
　さらに、駆動機構が第１退避機構と第２退避機構の両方を駆動するため、複数の動力源を用いる必要がない。
　蓋落下防止部材は、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な部材であり、搬送物品落下防止部材は、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な部材であることが好ましい。
　この天井搬送車では、蓋落下防止部材と搬送物品落下防止部材とが回動可能であるため、より確実に蓋及び搬送物品の落下を防止できる。
　第１待避機構と第２待避機構は、両者間で回転方向を変更するための動力伝達部を介して連結されていることが好ましい。
　この天井搬送車では、第１退避機構と第２退避機構が動力伝達部を介して連結されており、共通の動力源によって駆動される。この結果、少ない部品点数で第１退避機構と第２退避機構を駆動することができる
　動力伝達部は、蓋落下防止部材の回動中心に設けられた第１シャフトと、搬送物品落下防止部材の回動中心に設けられた第２シャフトと、第１シャフトと第２シャフトを動力伝達可能に連結する一対のかさ歯車とを有していることが好ましい。
　この天井搬送車では、駆動力は、第１シャフトから一対のかさ歯車を介して第２シャフトに伝達される。
　蓋落下防止部材は、上下方向に離れて配置された一対の部材であることが好ましい。駆動機構は、回転駆動部と、回転駆動部からの駆動力を前記一対の落下防止部材に伝達するための一対のリンク部材を有するリンク機構とを有していることが好ましい。
　この天井搬送車では、一対の落下防止部材がリンク機構によって同時に駆動される。
　本発明に係る天井搬送車では、搬送車本体が停止してさらに昇降機構が搬送物品を昇降させるときには、第１退避機構が蓋落下防止部材を蓋の正面から待避させる。この結果、昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝突しにくい。
クリーンルーム内の天井走行車システムの概略模式図。 天井走行車システム及び天井走行車の部分側面図。 レール内の縦断面概略図。 天井走行車システム及び天井走行車の部分側面図。 天井走行車の落下防止カバーの下部の縦断面概略図。 天井走行車の落下防止カバーの下部の縦断面概略図。 駆動機構の概略平面図。
　本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。
（１）天井走行車システム
　図１は、給電線を用いた非接触給電供給方式による天井走行車システム１の模式図である。天井走行車システム１は、半導体工場などのクリーンルームなどに設けられ、後述するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）を搬送する。天井走行車システム１は、主に、レール３と、レール３に沿って走行する天井走行車５とを有している。
　半導体工場内の構成について説明する。半導体工場は、複数のベイ（工程）を有しており、遠隔のベイ同士を接続するためにインターベイルート５１が設けられており、さらに各ベイはイントラベイルート５３を有している。各ルート５１，５３はレール３により構成されている。
　イントラベイルート５３に沿って、半導体処理装置などの複数の処理装置５５，５５が配置されている。さらに、処理装置５５，５５の近傍には、ロードポート５７が設けられている。ロードポート５７は、イントラベイルート５３の直下に設けられている。以上の構成において、天井走行車５はレール３を走行してロードポート５７間で後述するＦＯＵＰを搬送する。
（２）レール
　レール３は、図２に示すように、複数の支柱７によって天井９から吊り下げられている。レール３は、主に、走行レール１１と、走行レール１１の下部に設けられた給電レール１３とを有している。
（ａ）走行レール
　走行レール１１は、例えばアルミ製であり、図３に示すように、断面視逆Ｕ字状に構成されており、上面部１１ａと、両側面部１１ｂとを有している。両側面部１１ｂの下には、内側に延びる一対の第１走行面１１ｃが形成されている。さらに、両側面部１１ｂの内側面の上部には第２走行面１１ｄが形成され、上面部１１ａの下側面に第３走行面１１ｅが形成されている。
（ｂ）給電レール
　給電レール１３は、走行レール１１の下部両側に設けられた一対の給電線ホルダ１５，１５から主に構成されている。給電線ホルダ１５，１５には、銅線などの導電線を絶縁材料で被覆しリッツ線からなる一対の給電線１７，１７が配置されている。給電線１７の一端には電力供給装置（図示せず）が設けられ、一対の給電線１７，１７に高周波電流が供給されるようになっている。
（３）天井走行車
　天井走行車５は、主に、走行部２１と、受電部２３と、昇降駆動部２５とを有している。走行部２１は、走行レール１１内に配置され、レール３上を走行するための機構である。受電部２３は、給電レール１３内に配置され、一対の給電線１７，１７から電力を供給されるための機構である。昇降駆動部２５は、給電レール１３の下方に配置され、ＦＯＵＰ４を保持すると共に上下に昇降させるための機構である。
（ａ）走行部
　走行部２１は、主に、走行レール１１内に配置されており、一対の第１ガイド輪１８，１８と、一対の第２ガイド輪１９，１９と、走行駆動輪２０と、モータ２２とを有している。一対の第１ガイド輪１８，１８は、走行部２１の下部両側に配置され、左右方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第１ガイド輪１８，１８は、走行レール１１の第１走行面１１ｃ上に載置されている。
　第２ガイド輪１９，１９は、走行部２１の上部両側に配置され、垂直方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第２ガイド輪１９，１９は、走行レール１１の第２走行面１１ｄをガイド面として、横方向（進行方向の左右方向）の位置ズレを防止している。
　走行駆動輪２０は、走行部２１の略中央に配置され、走行レール１１の第３走行面１１ｅに、スプリングなどの押圧手段により押圧されている。走行駆動輪２０は、モータ２２によって駆動される。その結果、天井走行車５はレール３上を走行する。
（ｂ）受電部
　受電部２３は、一対の給電線１７，１７から電力を得るための一対のピックアップユニット２７を有している。具体的には、一対のピックアップユニット２７，２７は、給電レール１３内で左右に並んで配置されている。各ピックアップユニット２７は、断面が略Ｅ字型をしたフェライト製のコア２９と、コア２９に巻かれたピックアップコイル３１とを有している。具体的には、コア２９は、両側の突出部２９ａと、その間の中央の突出部２９ｂとを有しており、ピックアップコイル３１は中央の突出部２９ｂに巻かれている。
　給電線ホルダ１５に保持された一対の給電線１７，１７が、両側の突出部２９ａと中央の突出部２９ｂとの間に、それぞれ配置されている。この一対の給電線１７，１７に高周波電流を流すことによって発生する磁界がピックアップコイル３１に作用して、ピックアップコイル３１に誘導電流が発生する。このようにして、一対の給電線１７，１７からピックアップユニット２７に非接触で電力を供給し、走行用のモータ２２を駆動したり、制御機器に電力を供給したりする。このように給電レール１３の一対の給電線１７，１７と天井走行車５の受電部２３とによって、非接触給電部３３が構成されている。
（ｃ）昇降駆動部
　昇降駆動部（ホイスト）２５は、図２に示すように、主に、本体フレーム３５と、横送り部３７と、θドライブ３９と、ホイスト本体４１と、昇降台４３とを備えている。
　本体フレーム３５は、受電部２３の下部に固定された部材である。本体フレーム３５の前後には、前側フレーム４５および後側フレーム４７が設けられている。前側フレーム４５および後側フレーム４７は、本体フレーム３５から下方に延びる部材であり、横送り部３７と、θドライブ３９と、ホイスト本体４１と、昇降台４３を前後に挟んでいる。前側フレーム４５および後側フレーム４７は、内部に空間を有する筐体を有している。この筐体内には、ＦＯＵＰ落下防止機構や蓋落下防止機構が収納されている（後述）。
　横送り部３７は、θドライブ３９、ホイスト本体４１および昇降台４３を例えば側方に横送りし、レール３の側方に設けたサイドバッファ（図示せず）との間で、ＦＯＵＰ４を受け渡しできる。θドライブ３９は、ホイスト本体４１を水平面内で回動させて、ＦＯＵＰ４の受け渡しを容易にする。ホイスト本体４１内には、昇降台４３を昇降させるための昇降手段（図示せず）が設けられている。昇降手段は、例えば、４組の巻き取りドラムであり、巻き取りドラムにはベルト５９が巻きかけられている。ベルト５９の端部には昇降台４３が取り付けられている。図４に、ベルト５９が巻き取りドラムから繰り出されて、昇降台４３がＦＯＵＰ４と共に下降している状態を示している。
　ＦＯＵＰ４は、内部に複数の半導体ウェハを収容しており、前面に取り外し可能な蓋４ａが設けられている。ＦＯＵＰ４の上部にはフランジ４９が設けられており、フランジ４９は昇降台４３でチャックされている。
（４）ＦＯＵＰ落下防止機構
　次に、ＦＯＵＰ落下防止機構５８について説明する。ＦＯＵＰ落下防止機構５８は、搬送物品落下防止部材６１と、搬送物品落下防止部材６１を落下防止位置と退避位置と回動させる駆動機構６０とから構成されている。
　図２及び図４に示すように、前側フレーム４５および後側フレーム４７の下部には、ＦＯＵＰ４の落下を防止するための搬送物品落下防止部材６１が前後に配置されている。搬送物品落下防止部材６１は、前側フレーム４５と後側フレーム４７にそれぞれ一対ずつ左右に並んで設けられている。図２において、ＦＯＵＰ４は収納位置に配置され、搬送物品落下防止部材６１はＦＯＵＰ４の下方の落下防止位置にある。図４において、ＦＯＵＰ４はホイスト本体４１によって収納位置から下方に移動しており、搬送物品落下防止部材６１はＦＯＵＰ４の下方から退避した退避位置にある。
　次に、図５～図７を用いて、駆動機構６０について説明する。なお、駆動機構６０は前側フレーム４５および後側フレーム４７の両方に設けられているが、ここでは後側フレーム４７に設けられた駆動機構６０のみを説明する。なお、図６および図７において、図左側を第１側方向として、図右側を第２側方向とする。さらに、図５の図右側及び図７の図下側を搬送方向前側として、図５の図左側及び図７の図上側を搬送方向後側とする。
　駆動機構６０は、主に、モータ６３と、ギア部材６５と、リンク部材６７，６９とから構成されている。モータ６３は、図６に示すように、後側フレーム４７内の第１固定プレート５４に固定して設けられ、上下方向に延びる回転軸を有している。モータ６３の回転シャフトは下方に突出し、その先端にはギア６４が設けられている。ギア部材６５は、第１固定プレート５４に回転自在に支持された部材であり、モータ６３の回転軸と平行に延びる回転軸６８を有している。ギア部材６５の上部にはギア６６が設けられており、ギア６６はモータ６３のギア６４に噛み合っている。
　リンク部材６７，６９は、それぞれ、搬送物品落下防止部材６１，６１を駆動するためのリンク機構を構成している。なお、リンク部材６７，６９の構成及び動作は同じであるため、リンク部材６７についてのみ説明する。
　リンク部材６７は、ギア部材６５の回転によって、搬送物品落下防止部材６１を回動させるための部材である。リンク部材６７は、図７に示すように、側方方向に延びる細長い板状の部材であり、一端がギア部材６５の第１支持部７１に回転可能に連結され、他端が搬送物品落下防止部材６１の第２支持部７３に回転可能に支持されている。図７では、第１支持部７１は、リンク部材６９の支持部に対してギア部材６５の回転軸６８と反対側に配置され、そのためリンク部材６７は、第１支持部７１からギア部材６５の回転軸６８を後方に迂回するように湾曲された湾曲部６７ａを有している。
　搬送物品落下防止部材６１は、落下防止部６１ａと、回転支持部６１ｂと、両者を連結する壁部６１ｃとから構成されている。落下防止部６１ａは、水平方向に延びる板部材であり、比較的長く延びている。なお、落下防止部６１ａの角は面取りされて滑らかに連続している。回転支持部６１ｂは、落下防止部６１ａより高い位置に配置され、水平方向に延びる板部材である。回転支持部６１ｂにはシャフト８１が固定されており、シャフト８１は後側フレーム４７の第２固定プレート５６に回転軸８４を中心に回転自在に支持されている。なお、シャフト８１の位置は、搬送物品落下防止部材６１において左右方向中心よりわずかに外側である。これにより、搬送物品落下防止部材６１は、図７において、実線で示す落下防止位置と、二点鎖線で示す退避位置とで回動可能になっている。
　なお、リンク部材６９は、リンク部材６７に対して、回転軸６８を中心に点対称の構造及び動作を実現する。
（５）蓋落下防止機構
　次に、蓋落下防止機構８０について説明する。蓋落下防止機構８０は、蓋落下防止部材６２と、動力伝達機構８２とから構成されている。
　図２及び図４に示すように、前側フレーム４５および後側フレーム４７の下部には、ＦＯＵＰ４の蓋４ａが落下を防止するための蓋落下防止部材６２が前後に配置されている。蓋落下防止部材６２は、前側フレーム４５と後側フレーム４７にそれぞれ一つ設けられている。図２において、ＦＯＵＰ４は収納位置に配置され、蓋落下防止部材６２はＦＯＵＰ４の蓋４ａの正面の落下防止位置にある。図４において、ＦＯＵＰ４はホイスト本体４１によって収納位置から下方に移動しており、蓋落下防止部材６２はＦＯＵＰ４の蓋４ａの正面から退避した退避位置にある。
　動力伝達機構８２は、前述のＦＯＵＰ落下防止機構５８の駆動機構６０からの駆動力を蓋落下防止部材６２に伝達するための機構である。動力伝達機構８２は、第１シャフト８５と、第１ベベルギア（かさ歯車）８７と、第２ベベルギア（かさ歯車）８９と、第２シャフト９１とから主に構成されている。第１シャフト８５は、駆動機構６０のシャフト８１と一体に又は固定されて一体回転するようになっている。第１シャフト８５は、軸受８３によって回転自在に支持されてさらにシャフト８１から離れる方向に延びている。第１ベベルギア８７は、第１シャフト８５の先端に固定されている。これにより、第１ベベルギア８７の回転中心は第１シャフト８５の回転軸８４と一致している。第２ベベルギア８９は、第１ベベルギア８７の側方外側部分に噛み合っている。この状態で、第２ベベルギア８９の回転軸は第１ベベルギア８７の回転軸８４に対して直角に延びている。以上より、第１ベベルギア８７と第２ベベルギア８９の噛み合いにより、回転方向が変換されている。第２ベベルギア８９には、第２シャフト９１が固定されている。第２シャフト９１は、側方向内側（第２側方向側）端が軸受９３に回転自在に支持されており、側方向外側（第１側方側）端に第２ベベルギア８９が固定され、さらにそこから突出する先端に蓋落下防止部材６２が固定されている。図５示すように、落下防止位置において、蓋落下防止部材６２は、側方向に延びており、中間部から先端にかけての部分が後側フレーム４７から突出して、ＦＯＵＰ４の蓋４ａの正面側に近接して配置されている。図２に示すように、蓋落下防止部材６２は、蓋４ａの下部（上下方向中心より下側の部分）に対応する位置に配置されている。以上の動作により、蓋落下防止部材６２は、図５において、実線で示す落下防止位置と、二点鎖線で示す退避位置とで回動可能になっている。なお、図７から明らかなように、第２シャフト９１の延びる方向は側方向に対して傾いており（前後方向に対して直角ではなく）、したがって、蓋落下防止部材６２も先端が根元端より側方向外側（第１側方側）に位置するように傾いている。ただし、別の実施例として、第２シャフトの延びる方向が側方向に平行であり、蓋落下防止部材が前後方向に平行になっていても良い。
（６）ＦＯＵＰ落下防止機構と蓋落下防止機構の動作
　天井走行車５がＦＯＵＰ４を搬送しているときには、図７に示すように搬送物品落下防止部材６１が落下防止位置にあり、さらに図５に示すように蓋落下防止部材６２が落下防止位置にある。これにより、例えば昇降台４３のチャック機構からＦＯＵＰ４が外れた場合やＦＯＵＰ４のカセットから蓋４ａが外れた場合でも、それらが下方に落下しにくい。このように、ＦＯＵＰ４や蓋４ａの落下を防止できるため、レール３の下方への作業車の立ち入り規制を無くすことができる。このため、クリーンルームの有効利用が可能になる。
　この状態では、駆動機構６０において、図７に示すように、ギア部材６５は最も時計回り方向に回転しており、第１支持部７１はギア部材６５の回転軸の第２側方向側に配置されている。第２支持部７３は、回転軸８４の前方第２側方向側に配置されている。この状態からモータ６３が駆動されてギア部材６５が反時計方向回りに回転すると、ギア部材６５から搬送物品落下防止部材６１にリンク部材６７を介して力が伝達される。より具体的には、リンク部材６７が第２支持部７３に力を加えることで、搬送物品落下防止部材６１が回転軸８４を中心に時計回り方向に回動する。この結果、搬送物品落下防止部材６１は落下防止位置から退避位置に回動する。
　また、以上の動作によって、搬送物品落下防止部材６１が回転軸８４を中心に時計回り方向に回動すると、シャフト８１および第１シャフト８５が回転する。そして、第１ベベルギア８７と第２ベベルギア８９の噛み合いにより、第２シャフト９１が回転して、その結果、蓋落下防止部材６２が実線で示す落下防止位置から二点鎖線で示す退避位置に回動する。
　なお、前述の動作と反対の動作が行われると、搬送物品落下防止部材６１が退避位置から落下防止位置に回動して、蓋落下防止部材６２が退避位置から落下防止位置に回動する。
　以上に述べたように、搬送物品落下防止部材６１と蓋落下防止部材６２は、落下防止位置と退避位置の間の移動を同じタイミングで行う。
（７）ＦＯＵＰ落下防止機構と蓋落下防止機構の効果
　以上に述べたように、本発明に係る実施形態では、蓋落下防止部材６２と、動力伝達機構８２が設けられている。蓋落下防止部材６２は、蓋４ａの正面に近接して配置される。動力伝達機構８２は、ＦＯＵＰ４の昇降時に蓋落下防止部材６２を蓋４ａの正面から待避させる。この天井走行車５では、ＦＯＵＰ４を吊り下げた状態で搬送しているときには、蓋落下防止部材６２は蓋４ａの正面に近接して配置されている。したがって、ＦＯＵＰ４の蓋４ａが外れても蓋４ａが下方に落下しにくい。一方、天井走行車５が停止してさらに昇降駆動部２５がＦＯＵＰ４を昇降させるときには、動力伝達機構８２が蓋落下防止部材６２を蓋４ａの正面から待避させる。この結果、昇降時にＦＯＵＰ４が蓋落下防止部材６２に衝突しにくい。特に、ＦＯＵＰ４が揺れながら上昇してくる場合でも、ＦＯＵＰ４が蓋落下防止部材６２に衝突しにくい。その結果、ＦＯＵＰ４内のウェハが揺動による衝撃を受けにくい。
　さらに、天井走行車５は、搬送物品落下防止部材６１と、駆動機構６０を有している。搬送物品落下防止部材６１は、ＦＯＵＰ４の収納位置の下方に配置される。駆動機構６０は、ＦＯＵＰ４の昇降時に搬送物品落下防止部材６１をＦＯＵＰ４の収納位置の下方から待避させる。駆動機構６０は、駆動源であるモータ６３と、搬送物品落下防止部材６１を駆動させるためのギア部材６５やリンク部材６７を有している。なお、ギア部材６５やリンク部材６７等は、モータ６３の動力を動力伝達機構８２に伝達する機能も有している。この天井走行車５では、ＦＯＵＰ４を吊り下げた状態で搬送しているときには、搬送物品落下防止部材６１はＦＯＵＰ４の収納位置の下方に配置される。したがって、ＦＯＵＰ４が昇降駆動部２５から外れても下方に落下しにくい。一方、天井走行車５が停止してさらに昇降駆動部２５がＦＯＵＰ４を昇降させるときには、駆動機構６０が搬送物品落下防止部材６１をＦＯＵＰ４の下方から待避させる。この結果、昇降時にＦＯＵＰ４が搬送物品落下防止部材６１に衝突しにくい。特に、ＦＯＵＰ４が揺れながら上昇してくる場合でも、ＦＯＵＰ４が搬送物品落下防止部材６１に衝突しにくい。その結果、ＦＯＵＰ４内のウェハが揺動による衝撃を受けにくい。
　蓋落下防止部材６２は、ＦＯＵＰ４の両側部（この実施形態では前後方向両側）に配置され、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な一対の部材である。また、搬送物品落下防止部材６１は、ＦＯＵＰ４の両側部に配置され落下防止位置と待避位置との間で回動可能な一対の部材である。なお、この実施形態では、搬送物品落下防止部材６１は前側フレーム４６および後側フレーム４７それぞれで左右方向に並んで一対ずつ設けられているが、前側フレーム４５および後側フレーム４７に一つずつ設けられていても良い。この天井走行車５では、蓋落下防止部材６２と搬送物品落下防止部材６１とがそれぞれ搬送物品の両側部に配置されているため、より確実に蓋４ａ及びＦＯＵＰ４の落下を防止できる。
　動力伝達機構８２と駆動機構６０は、両者間で回転方向を変更するための第１ベベルギア８７および第２ベベルギア８９を介して連結されている。この天井走行車５では、動力伝達機構８２と駆動機構６０の動力伝達部が、共通のモータ６３によって駆動される。この結果、少ない部品点数で動力伝達機構８２と駆動機構６０を駆動することができる。
　動力伝達機構８２は、蓋落下防止部材６２の回動中心に設けられた第１シャフト８５と、搬送物品落下防止部材６１の回動中心に設けられた第２シャフト９１と、第１シャフト８５と第２シャフト９１を動力伝達可能に連結する第１ベベルギア８７および第２ベベルギア８９とを有している。この結果、駆動力は、第１シャフト８５から第１ベベルギア８７および第２ベベルギア８９を介して第２シャフト９１に伝達される。
　蓋落下防止部材６２は、上下方向に離れて配置された一対の部材である。駆動機構６０は、モータ６３と、モータ６３からの駆動力を一対の蓋落下防止部材６２に伝達するための一対のリンク部材６７、６９を有するリンク機構とを有している。この結果、一対の蓋落下防止部材６２がリンク機構によって同時に駆動される。
（８）他の実施例
　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　前記実施形態では、半導体製造工場のクリーンルーム内の走行車システムを説明したが、本発明は他の種類の工場にも適用可能である。
　前記実施形態では、搬送物品はＦＯＵＰであったが、他の部材であっても良い。
　本発明は、軌道上を走行する天井走行車システムに広く適用可能である。
１　　　天井走行車システム
３　　　レール
４　　　ＦＯＵＰ
４ａ　　蓋
５　　　天井走行車
１１　　走行レール
１３　　給電レール
１５　　給電線ホルダ
１７　　給電線
２１　　走行部（搬送車本体）
２３　　受電部
２５　　昇降駆動部（昇降機構）
２７　　ピックアップユニット
２９　　コア
３１　　ピックアップコイル
３３　　非接触給電部
３５　　本体フレーム
３７　　横送り部
３９　　θドライブ
４１　　ホイスト本体
４３　　昇降台
４５　　前側フレーム
４７　　後側フレーム
５８　　ＦＯＵＰ落下防止機構
６０　　駆動機構（第２退避機構）
６１　　搬送物品落下防止部材
６２　　蓋落下防止部材
６３　　モータ
６４　　ギア
６５　　ギア部材
６７　　リンク部材
６９　　リンク部材
６８　　回転軸
７１　　第１支持部
７３　　第２支持部
８０　　蓋落下防止機構
８１　　シャフト
８２　　動力伝達機構（第１退避機構）
８５　　第１シャフト
８７　　第１ベベルギア
８９　　第２ベベルギア
９１　　第２シャフト

Claims (6)

  1. 　側面に蓋が取り外し可能に設けられた搬送物品を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車であって、
    　搬送車本体と、
    　前記搬送車本体に設けられ、前記搬送物品を昇降可能な昇降機構と、
    　前記蓋の正面に近接して配置される蓋落下防止部材と、
    　前記搬送物品の昇降時に前記蓋落下防止部材を前記蓋の正面から待避させる第１待避機構と、
    を備えた天井搬送車。
  2. 　前記搬送物品の収納位置の下方に配置される搬送物品落下防止部材と、
    　前記搬送物品の昇降時に前記搬送物品落下防止部材を前記搬送物品の収納位置の下方から待避させる第２待避機構と、
    　前記第１待避機構と前記第２待避機構の両方を駆動するための駆動機構と、
    をさらに備えた請求項１に記載の天井搬送車。
  3. 　前記蓋落下防止部材は、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な部材であり、
    　前記搬送物品落下防止部材は、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な部材である、請求項２に記載の天井搬送車。
  4. 　前記第１待避機構と前記第２待避機構は、両者間で回転方向を変更するための動力伝達部を介して連結されている、請求項３に記載の天井搬送車。
  5. 　前記動力伝達部は、前記蓋落下防止部材の回動中心に設けられた第１シャフトと、前記搬送物品落下防止部材の回動中心に設けられた第２シャフトと、前記第１シャフトと前記第２シャフトを動力伝達可能に連結するかさ歯車とを有している、請求項４に記載の天井搬送車。
  6. 　前記蓋落下防止部材は、上下方向に離れて配置された一対の部材であり、
    　前記駆動機構は、回転駆動部と、前記回転駆動部からの駆動力を前記一対の落下防止部材に伝達するための一対のリンク部材を有するリンク機構とを有している、請求項２～５のいずれかに記載の天井搬送車。
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