JP3885232B2 - 搬送台車 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の利用分野】
この発明は、天井走行車などの高所走行用の搬送台車に関する。
【０００２】
【従来技術】
クリーンルーム等の天井付近や床面よりも高い位置を走行して、半導体ウェハーや液晶基板等の搬送物品を搬送する搬送台車が知られている（特許文献１）。このような搬送台車では、搬送物品はカセットに収容され、カセットには蓋が取り付けられて、埃の侵入を防止すると共に、カセットの奧と蓋との間に物品を固定する。
【０００３】
ところでこのような搬送台車は高所走行であるため、搬送台車の走行レールの下部を人や無人搬送車が通過したり、人が作業したりする。そして搬送台車から蓋が落下しても安全であるように、搬送台車の走行時には走行レールの下部への人の立ち入りを制限する。しかしながらこのようにすると、搬送台車の通過の都度、人の立ち入りを制限せねばならず不便である。
【特許文献１】
特開２０００−１９１２７２号公報
【０００４】
【発明の課題】
この発明の基本的課題は、搬送台車からの蓋や搬送物品の落下を防止して、走行レールの下部への人の立ち入り規制を簡単にすることにある。
この発明での追加の課題は、蓋がカセットからずれて落下に到らないものの、カセット内の搬送物品が破損して落下することを防止することにある。
【０００５】
【発明の構成】
この発明は、昇降台を昇降させると共に、搬送台車の走行方向と水平面内で直角な方向に該昇降台を横移動させる巻き上げユニットを備え、かつ搬送物品を収容しかつ蓋を着脱自在にほぼ鉛直な姿勢で取り付けたカセットを前記昇降台で保持して高所走行により搬送する搬送台車において、前記蓋に近接してかつ蓋の厚さ未満の隙間を蓋との間に設けた蓋落下防止部材を、搬送台車の巻き上げユニットに配設して、前記昇降台と共に横移動させるようにして、カセットに対する蓋の妄動を規制することにより、蓋がカセットから落下するのを防止し、さらに 蓋がカセットへの係止位置からずれたことを検出するための光センサを、検出用の光が蓋と蓋落下防止部材との間を通過するように配設して、蓋ずれ検出時に搬送台車を停止させるようにしたことを特徴とする。
【０００８】
【発明の作用と効果】
この発明では、蓋がカセットへの係止位置からずれても、蓋落下防止部材により蓋の妄動を規制して、カセットからの脱落を防止する。このため、搬送台車から走行レールの下部へと蓋が落下する恐れが解消し、走行レールの下部への人の立ち入り規制を緩和できる。
【０００９】
またこの発明では、蓋落下防止部材と蓋との隙間を、蓋の厚さ未満にする。このため蓋がカセットへの係止部からずれても、蓋が落下するのを確実に防止できる。
【００１０】
この発明では、蓋がカセットへの係止位置からずれるとセンサで検出し、搬送台車を停止させる。カセット内のウェハーなどは、カセットの奥と蓋の内面との間に挟み込まれているので、蓋がずれると、ウェハーがカセット内を動き回って破損し、破損したウェハーの断片が落下する恐れがある。ここで蓋のずれを検出して搬送台車を停止させると、ウェハーなどの搬送物品の破損を防止でき、かつ破損した搬送物品の落下を防止できるので、走行レールの下部に人などが立ち入っても、極めて安全になる。
【００１１】
【実施例】
図１〜図３に、天井走行車２に関する実施例を示す。天井走行車２は、走行レール４に沿って走行ユニット６で走行し、走行レール４は例えばクリーンルーム内の天井付近などに配設する。８は巻き上げユニットで、昇降台１０の昇降用のワイヤやロープ、帯板などを巻き上げ、かつ昇降台１０を走行レール４に対して水平面内で直角な方向に横移動させる。昇降台１０にはチャック１２を複数設けて、カセット３０の頭部３８をチャックできるようにし、１４，１４は巻き上げユニット８の前後に設けたカバーである。カバー１４の底部には例えば支持部材１６を設けて、図１の矢印方向に揺動させて、カセット３０の底部でロックし、万一チャック１２がカセット３０の頭部３８から外れた際に、カセット３０の落下を防止する。
【００１２】
２０は蓋落下防止部材で、巻き上げユニット８等に、昇降台１０と共に水平動するように取り付ける。蓋落下防止部材２０は、例えば切欠部２２を設けて軽量化した板状の部材であり、図２に示すような補強片２３を設けて、変形を防止することが好ましい。図２に示すように、蓋落下防止部材２０の内側と、カセット３０との間のギャップをｔ2、カセット３０の蓋３２の肉厚をｔ1とした場合、ギャップｔ2は肉厚ｔ1未満とすることが好ましい。また図２に示すように、走行レールの前後方向をｘ方向、蓋３２が蓋落下防止部材２０側へ傾いてくる方向をｙ方向、鉛直方向下向きをｚ方向とすると、蓋落下防止部材２０の内側とカセット３０とのギャップｔ2を、蓋３２の肉厚ｔ1未満とすることにより、ｘ，ｙ，ｚのいずれの方向にも蓋３２が移動して落下することを防止できる。実施例では、蓋落下防止部材２０は蓋３２の全高分の高さがあるが、蓋３２の底部から蓋の高さの１／２程度までの範囲で、蓋落下防止部材２０が蓋３２と対向すると落下を防止できる。また蓋落下防止部材２０を昇降台１０に取り付けて、昇降させても良い。
【００１３】
２４は投光部、２５は受光部で、これらは蓋落下防止部材２０に設け、投光部２４から受光部２５への光が、蓋３２により遮断されると、蓋ずれを検出する。ここでは透過型の光センサを用いたが、反射型の光センサやその他のセンサなどを用いて、蓋３２がカセット３０への係止位置からずれたことを検出してもよい。蓋ずれ検出部２６は、蓋３２がカセット３０への係止位置からずれたことを検出すると、走行ユニット６に対して、蓋ずれ異常による停止信号を入力する。これによって、走行ユニット６は通常停止時の減速度や、あるいはこれよりも絶対値が小さな減速度により減速して、最寄りのステーションや引き込み線などの、好ましくは他の天井走行車の走行の邪魔とならない位置まで低速で走行して、天井走行車２を停止させる。蓋ずれ異常による停止信号は、図示しない天井走行車コントローラ（地上設置）などへ送信され、例えば人手で蓋ずれの確認や復旧などのメンテナンスを行う。
【００１４】
蓋３２の左右に例えば円状の操作部３４，３４があり、操作部３４を図示しないオープナーで回動させると、係合部材３６が伸縮して、カセット３０への係止を外し、あるいはカセット３０に蓋３２を係止する。カセット３０の頂部には前記の頭部３８があり、チャック１２で保持する。
【００１５】
図３に示すように、カセット本体４２の奥側には棚受け４４が設けられ、蓋３２の内面にも棚受け４５を設けて、棚受け４４，４５間に半導体基板のウェハー４０や、液晶基板などの搬送対象物品を載置する。ここで蓋３２がカセット３０からずれると、ウェハー４０は蓋３２の方向に移動自在になり、天井走行車２の加減速やカーブなどによる力によって、位置ずれして破損する恐れがある。これに対して前記のように、投光部２４と受光部２５とを用いた位置ずれセンサにより、蓋のずれを検出すると、ウェハー４０の破損や、破損した断片の落下などを防止できる。なお、本実施例では、蓋３２の内側に棚受け４５を設けているが、棚受け４５でなく、ウェハー４０を奥行き方向に押さえる弾性部材であっても良い。
【００１６】
実施例では蓋３２の落下を防止できるので、走行レール４の下部への人の立ち入り規制をほぼ不要にできる。特に蓋ずれを検出して、天井走行車２を停止させるようにすると、搬送物品のウェハーの破損や破損した断片の落下を防止でき、走行レール４の下部への人の立ち入り規制を完全に不要にできる。これらのため、クリーンルームの有効利用が容易になる。
【００１７】
実施例では、蓋落下防止部材２０を巻き上げユニット８に取り付けて、昇降台１０と共に横移動させるようにした。巻き上げユニット８で横移動を行わない場合、蓋落下防止部材２０を例えばカバー１４，１４間に設けてもよい。また蓋落下防止部材２０は、昇降台１０の昇降や、カセット３０の昇降と干渉しないように設ける。
【００１８】
図４に変形例の蓋落下防止部材４６を示す。蓋落下防止部材４６は例えば天井走行車の巻き上げユニットに設置し、カセット３０の両側面と蓋３２の底部付近とに突起４７，４８とを設ける。そして他の位置では、蓋落下防止部材４６と蓋３２との隙間を蓋３２の肉厚寄りも大きくする。このようにしても蓋３２の落下は防止できるが、蓋３２がカセット３０から外れるのを許すことになるため、搬送物品のウエハー等が損傷する恐れがあり、好ましくない。
【００１９】
図５〜図７に、リニア搬送台車５０を用いた実施例を示す。５２は台車本体で、５４はその走行レールで、クリーンルームなどの高所に敷設する。なおこの明細書において高所とは、人の背丈よりも高い位置を意味する。リニア搬送台車５０には例えば一対のカセット３０，３０を載置できるようにし、各カセット３０を例えば３箇所の載置台５５〜５７に載置する。５８，５８は、蓋３２の左右両端のやや中央寄りからカセット３０の側面へと延びる、平面視でＬ字型の蓋落下防止部材である。蓋落下防止部材５８のカセット３０側にはテーパー部５９を設けて、カセット３０の移載時にテーパー部５９でカセット３０を案内して位置決めできるようにする。６０はテーパー部５９の内側の鉛直面である。
【００２０】
カセット３０を載置台５５〜５７上に載置すると、鉛直面６０と蓋３２との隙間は例えば蓋３２の肉厚の例えば１／４以下と僅かで、鉛直面６０と蓋３２とが接触していることもある。そして鉛直面６０と蓋３２との隙間が僅かで、かつ鉛直面６０が蓋３２の高さの例えば１／１０〜１／５程度あると、仮に蓋３２がカセット３０の係止位置から外れても、落下することはない。
【００２１】
左右の蓋落下防止部材５８，５８の一方あるいは双方に、反射型光センサ６２などを設けて、蓋３２がカセット３０への係止位置からずれたことを検出する。この場合も蓋３２がずれたことを検出すると、リニア搬送台車５０を通常の減速度、あるいはそれよりも絶対値が小さな減速度で減速して、所定の位置で停止させる。停止位置は好ましくは他のリニア搬送台車の走行の邪魔とならない位置とし、蓋ずれ異常により停止すると、図示しないリニア搬送台車のコントローラに送信し、人手などのメンテナンスを受けるようにする。また反射型光センサ６２に代えて、蓋ずれを検出できるものであれば、任意のセンサを用いることができる。
【００２２】
６４，６６はカセット３０の左右に設けた位置決め部材で、６８は背面側に設けた位置決め部材で、それぞれテーパー部６５，６７，６９を備えて、カセット３０を移載する際にガイドする。７０，７２，７４はワイヤ部材で、ワイヤ部材７０によりカセット３０が背面側に移動することを防止し、ワイヤ部材７２によりカセット３０が左右に傾動することを防止し、ワイヤ部材７４によりカセット３０が前後方向にずれることを防止する。各載置台５５〜５７には、例えばピン８０を設けて、カセット３０の図示しない係合孔などに係合させて位置決めする。リニア搬送台車５０は例えば、反射型光センサ６２を作動可能な程度の小型の電池等を搭載した実質上の無電源とし、カセット３０の移載では、図７に示すように、スカラアーム８２をステーション側に設けて移載する。
【００２３】
図５〜図７の実施例でも、蓋３２の落下を蓋落下防止部材５８，５８により防止し、蓋ずれが生じると反射型光センサ６２で検出して、リニア搬送台車５０を停止させる。なお実施例では、蓋落下防止部材５８を蓋３２の妄動を規制し、かつカセット３０の側面もガイドするように、Ｌ字状にしたが、単に蓋の落下を防止するだけであれば、蓋３２と僅かな隙間をおくように、蓋３２の正面に例えば、１〜３箇所に設ければよい。このように、蓋３２と隙間をおくように蓋落下防止部材を設けることにより、カセット３０を移載する際にカセット３０と落下防止部材とが接触して、塵埃が発生することや、カセット３０に収納されているウェハーや液晶基板などの搬送対象物品に振動が伝わることを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施例の天井走行車の側面図
【図２】 図１の天井走行車への蓋落下防止部材の配設を示すため、天井走行車からカバーや巻き上げユニットを除いて示す図
【図３】 実施例で用いたカセットの要部断面図
【図４】 変形例の蓋落下防止部材を示す平面図
【図５】 第２の実施例でのリニア搬送台車の平面図
【図６】 図５のリニア搬送台車の、要部拡大平面図
【図７】 図５のリニア搬送台車の要部拡大側面図
【符号の説明】
２ 天井走行車
４ 走行レール
６ 走行ユニット
８ 巻き上げユニット
１０ 昇降台
１２ チャック
１４ カバー
１６ 支持部材
２０ 蓋落下防止部材
２２ 切欠部
２３ 補強片
２４ 投光部
２５ 受光部
２６ 蓋ずれ検出部
３０ カセット
３２ 蓋
３４ 操作部
３６ 係合部材
３８ 頭部
４０ ウェハー
４２ カセット本体
４４，４５ 棚受け
４６ 蓋落下防止部材
４７，４８ 突起
５０ リニア搬送台車
５２ 台車本体
５４ 走行レール
５５〜５７ 載置台
５８ 蓋落下防止部材
５９ テーパー部
６０ 鉛直面
６２ 反射型光センサ
６４，６６，６８ 位置決め部材
６５，６７，６９ テーパー部
７０，７２，７４ ワイヤ部材
８０ ピン
８２ スカラアーム
【発明の利用分野】
この発明は、天井走行車などの高所走行用の搬送台車に関する。
【０００２】
【従来技術】
クリーンルーム等の天井付近や床面よりも高い位置を走行して、半導体ウェハーや液晶基板等の搬送物品を搬送する搬送台車が知られている（特許文献１）。このような搬送台車では、搬送物品はカセットに収容され、カセットには蓋が取り付けられて、埃の侵入を防止すると共に、カセットの奧と蓋との間に物品を固定する。
【０００３】
ところでこのような搬送台車は高所走行であるため、搬送台車の走行レールの下部を人や無人搬送車が通過したり、人が作業したりする。そして搬送台車から蓋が落下しても安全であるように、搬送台車の走行時には走行レールの下部への人の立ち入りを制限する。しかしながらこのようにすると、搬送台車の通過の都度、人の立ち入りを制限せねばならず不便である。
【特許文献１】
特開２０００−１９１２７２号公報
【０００４】
【発明の課題】
この発明の基本的課題は、搬送台車からの蓋や搬送物品の落下を防止して、走行レールの下部への人の立ち入り規制を簡単にすることにある。
この発明での追加の課題は、蓋がカセットからずれて落下に到らないものの、カセット内の搬送物品が破損して落下することを防止することにある。
【０００５】
【発明の構成】
この発明は、昇降台を昇降させると共に、搬送台車の走行方向と水平面内で直角な方向に該昇降台を横移動させる巻き上げユニットを備え、かつ搬送物品を収容しかつ蓋を着脱自在にほぼ鉛直な姿勢で取り付けたカセットを前記昇降台で保持して高所走行により搬送する搬送台車において、前記蓋に近接してかつ蓋の厚さ未満の隙間を蓋との間に設けた蓋落下防止部材を、搬送台車の巻き上げユニットに配設して、前記昇降台と共に横移動させるようにして、カセットに対する蓋の妄動を規制することにより、蓋がカセットから落下するのを防止し、さらに 蓋がカセットへの係止位置からずれたことを検出するための光センサを、検出用の光が蓋と蓋落下防止部材との間を通過するように配設して、蓋ずれ検出時に搬送台車を停止させるようにしたことを特徴とする。
【０００８】
【発明の作用と効果】
この発明では、蓋がカセットへの係止位置からずれても、蓋落下防止部材により蓋の妄動を規制して、カセットからの脱落を防止する。このため、搬送台車から走行レールの下部へと蓋が落下する恐れが解消し、走行レールの下部への人の立ち入り規制を緩和できる。
【０００９】
またこの発明では、蓋落下防止部材と蓋との隙間を、蓋の厚さ未満にする。このため蓋がカセットへの係止部からずれても、蓋が落下するのを確実に防止できる。
【００１０】
この発明では、蓋がカセットへの係止位置からずれるとセンサで検出し、搬送台車を停止させる。カセット内のウェハーなどは、カセットの奥と蓋の内面との間に挟み込まれているので、蓋がずれると、ウェハーがカセット内を動き回って破損し、破損したウェハーの断片が落下する恐れがある。ここで蓋のずれを検出して搬送台車を停止させると、ウェハーなどの搬送物品の破損を防止でき、かつ破損した搬送物品の落下を防止できるので、走行レールの下部に人などが立ち入っても、極めて安全になる。
【００１１】
【実施例】
図１〜図３に、天井走行車２に関する実施例を示す。天井走行車２は、走行レール４に沿って走行ユニット６で走行し、走行レール４は例えばクリーンルーム内の天井付近などに配設する。８は巻き上げユニットで、昇降台１０の昇降用のワイヤやロープ、帯板などを巻き上げ、かつ昇降台１０を走行レール４に対して水平面内で直角な方向に横移動させる。昇降台１０にはチャック１２を複数設けて、カセット３０の頭部３８をチャックできるようにし、１４，１４は巻き上げユニット８の前後に設けたカバーである。カバー１４の底部には例えば支持部材１６を設けて、図１の矢印方向に揺動させて、カセット３０の底部でロックし、万一チャック１２がカセット３０の頭部３８から外れた際に、カセット３０の落下を防止する。
【００１２】
２０は蓋落下防止部材で、巻き上げユニット８等に、昇降台１０と共に水平動するように取り付ける。蓋落下防止部材２０は、例えば切欠部２２を設けて軽量化した板状の部材であり、図２に示すような補強片２３を設けて、変形を防止することが好ましい。図２に示すように、蓋落下防止部材２０の内側と、カセット３０との間のギャップをｔ2、カセット３０の蓋３２の肉厚をｔ1とした場合、ギャップｔ2は肉厚ｔ1未満とすることが好ましい。また図２に示すように、走行レールの前後方向をｘ方向、蓋３２が蓋落下防止部材２０側へ傾いてくる方向をｙ方向、鉛直方向下向きをｚ方向とすると、蓋落下防止部材２０の内側とカセット３０とのギャップｔ2を、蓋３２の肉厚ｔ1未満とすることにより、ｘ，ｙ，ｚのいずれの方向にも蓋３２が移動して落下することを防止できる。実施例では、蓋落下防止部材２０は蓋３２の全高分の高さがあるが、蓋３２の底部から蓋の高さの１／２程度までの範囲で、蓋落下防止部材２０が蓋３２と対向すると落下を防止できる。また蓋落下防止部材２０を昇降台１０に取り付けて、昇降させても良い。
【００１３】
２４は投光部、２５は受光部で、これらは蓋落下防止部材２０に設け、投光部２４から受光部２５への光が、蓋３２により遮断されると、蓋ずれを検出する。ここでは透過型の光センサを用いたが、反射型の光センサやその他のセンサなどを用いて、蓋３２がカセット３０への係止位置からずれたことを検出してもよい。蓋ずれ検出部２６は、蓋３２がカセット３０への係止位置からずれたことを検出すると、走行ユニット６に対して、蓋ずれ異常による停止信号を入力する。これによって、走行ユニット６は通常停止時の減速度や、あるいはこれよりも絶対値が小さな減速度により減速して、最寄りのステーションや引き込み線などの、好ましくは他の天井走行車の走行の邪魔とならない位置まで低速で走行して、天井走行車２を停止させる。蓋ずれ異常による停止信号は、図示しない天井走行車コントローラ（地上設置）などへ送信され、例えば人手で蓋ずれの確認や復旧などのメンテナンスを行う。
【００１４】
蓋３２の左右に例えば円状の操作部３４，３４があり、操作部３４を図示しないオープナーで回動させると、係合部材３６が伸縮して、カセット３０への係止を外し、あるいはカセット３０に蓋３２を係止する。カセット３０の頂部には前記の頭部３８があり、チャック１２で保持する。
【００１５】
図３に示すように、カセット本体４２の奥側には棚受け４４が設けられ、蓋３２の内面にも棚受け４５を設けて、棚受け４４，４５間に半導体基板のウェハー４０や、液晶基板などの搬送対象物品を載置する。ここで蓋３２がカセット３０からずれると、ウェハー４０は蓋３２の方向に移動自在になり、天井走行車２の加減速やカーブなどによる力によって、位置ずれして破損する恐れがある。これに対して前記のように、投光部２４と受光部２５とを用いた位置ずれセンサにより、蓋のずれを検出すると、ウェハー４０の破損や、破損した断片の落下などを防止できる。なお、本実施例では、蓋３２の内側に棚受け４５を設けているが、棚受け４５でなく、ウェハー４０を奥行き方向に押さえる弾性部材であっても良い。
【００１６】
実施例では蓋３２の落下を防止できるので、走行レール４の下部への人の立ち入り規制をほぼ不要にできる。特に蓋ずれを検出して、天井走行車２を停止させるようにすると、搬送物品のウェハーの破損や破損した断片の落下を防止でき、走行レール４の下部への人の立ち入り規制を完全に不要にできる。これらのため、クリーンルームの有効利用が容易になる。
【００１７】
実施例では、蓋落下防止部材２０を巻き上げユニット８に取り付けて、昇降台１０と共に横移動させるようにした。巻き上げユニット８で横移動を行わない場合、蓋落下防止部材２０を例えばカバー１４，１４間に設けてもよい。また蓋落下防止部材２０は、昇降台１０の昇降や、カセット３０の昇降と干渉しないように設ける。
【００１８】
図４に変形例の蓋落下防止部材４６を示す。蓋落下防止部材４６は例えば天井走行車の巻き上げユニットに設置し、カセット３０の両側面と蓋３２の底部付近とに突起４７，４８とを設ける。そして他の位置では、蓋落下防止部材４６と蓋３２との隙間を蓋３２の肉厚寄りも大きくする。このようにしても蓋３２の落下は防止できるが、蓋３２がカセット３０から外れるのを許すことになるため、搬送物品のウエハー等が損傷する恐れがあり、好ましくない。
【００１９】
図５〜図７に、リニア搬送台車５０を用いた実施例を示す。５２は台車本体で、５４はその走行レールで、クリーンルームなどの高所に敷設する。なおこの明細書において高所とは、人の背丈よりも高い位置を意味する。リニア搬送台車５０には例えば一対のカセット３０，３０を載置できるようにし、各カセット３０を例えば３箇所の載置台５５〜５７に載置する。５８，５８は、蓋３２の左右両端のやや中央寄りからカセット３０の側面へと延びる、平面視でＬ字型の蓋落下防止部材である。蓋落下防止部材５８のカセット３０側にはテーパー部５９を設けて、カセット３０の移載時にテーパー部５９でカセット３０を案内して位置決めできるようにする。６０はテーパー部５９の内側の鉛直面である。
【００２０】
カセット３０を載置台５５〜５７上に載置すると、鉛直面６０と蓋３２との隙間は例えば蓋３２の肉厚の例えば１／４以下と僅かで、鉛直面６０と蓋３２とが接触していることもある。そして鉛直面６０と蓋３２との隙間が僅かで、かつ鉛直面６０が蓋３２の高さの例えば１／１０〜１／５程度あると、仮に蓋３２がカセット３０の係止位置から外れても、落下することはない。
【００２１】
左右の蓋落下防止部材５８，５８の一方あるいは双方に、反射型光センサ６２などを設けて、蓋３２がカセット３０への係止位置からずれたことを検出する。この場合も蓋３２がずれたことを検出すると、リニア搬送台車５０を通常の減速度、あるいはそれよりも絶対値が小さな減速度で減速して、所定の位置で停止させる。停止位置は好ましくは他のリニア搬送台車の走行の邪魔とならない位置とし、蓋ずれ異常により停止すると、図示しないリニア搬送台車のコントローラに送信し、人手などのメンテナンスを受けるようにする。また反射型光センサ６２に代えて、蓋ずれを検出できるものであれば、任意のセンサを用いることができる。
【００２２】
６４，６６はカセット３０の左右に設けた位置決め部材で、６８は背面側に設けた位置決め部材で、それぞれテーパー部６５，６７，６９を備えて、カセット３０を移載する際にガイドする。７０，７２，７４はワイヤ部材で、ワイヤ部材７０によりカセット３０が背面側に移動することを防止し、ワイヤ部材７２によりカセット３０が左右に傾動することを防止し、ワイヤ部材７４によりカセット３０が前後方向にずれることを防止する。各載置台５５〜５７には、例えばピン８０を設けて、カセット３０の図示しない係合孔などに係合させて位置決めする。リニア搬送台車５０は例えば、反射型光センサ６２を作動可能な程度の小型の電池等を搭載した実質上の無電源とし、カセット３０の移載では、図７に示すように、スカラアーム８２をステーション側に設けて移載する。
【００２３】
図５〜図７の実施例でも、蓋３２の落下を蓋落下防止部材５８，５８により防止し、蓋ずれが生じると反射型光センサ６２で検出して、リニア搬送台車５０を停止させる。なお実施例では、蓋落下防止部材５８を蓋３２の妄動を規制し、かつカセット３０の側面もガイドするように、Ｌ字状にしたが、単に蓋の落下を防止するだけであれば、蓋３２と僅かな隙間をおくように、蓋３２の正面に例えば、１〜３箇所に設ければよい。このように、蓋３２と隙間をおくように蓋落下防止部材を設けることにより、カセット３０を移載する際にカセット３０と落下防止部材とが接触して、塵埃が発生することや、カセット３０に収納されているウェハーや液晶基板などの搬送対象物品に振動が伝わることを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施例の天井走行車の側面図
【図２】 図１の天井走行車への蓋落下防止部材の配設を示すため、天井走行車からカバーや巻き上げユニットを除いて示す図
【図３】 実施例で用いたカセットの要部断面図
【図４】 変形例の蓋落下防止部材を示す平面図
【図５】 第２の実施例でのリニア搬送台車の平面図
【図６】 図５のリニア搬送台車の、要部拡大平面図
【図７】 図５のリニア搬送台車の要部拡大側面図
【符号の説明】
２ 天井走行車
４ 走行レール
６ 走行ユニット
８ 巻き上げユニット
１０ 昇降台
１２ チャック
１４ カバー
１６ 支持部材
２０ 蓋落下防止部材
２２ 切欠部
２３ 補強片
２４ 投光部
２５ 受光部
２６ 蓋ずれ検出部
３０ カセット
３２ 蓋
３４ 操作部
３６ 係合部材
３８ 頭部
４０ ウェハー
４２ カセット本体
４４，４５ 棚受け
４６ 蓋落下防止部材
４７，４８ 突起
５０ リニア搬送台車
５２ 台車本体
５４ 走行レール
５５〜５７ 載置台
５８ 蓋落下防止部材
５９ テーパー部
６０ 鉛直面
６２ 反射型光センサ
６４，６６，６８ 位置決め部材
６５，６７，６９ テーパー部
７０，７２，７４ ワイヤ部材
８０ ピン
８２ スカラアーム
Claims (1)
- 昇降台を昇降させると共に、搬送台車の走行方向と水平面内で直角な方向に該昇降台を横移動させる巻き上げユニットを備え、かつ搬送物品を収容しかつ蓋を着脱自在にほぼ鉛直な姿勢で取り付けたカセットを前記昇降台で保持して高所走行により搬送する搬送台車において、前記蓋に近接してかつ蓋の厚さ未満の隙間を蓋との間に設けた蓋落下防止部材を、搬送台車の巻き上げユニットに配設して、前記昇降台と共に横移動させるようにして、カセットに対する蓋の妄動を規制することにより、蓋がカセットから落下するのを防止し、さらに 蓋がカセットへの係止位置からずれたことを検出するための光センサを、検出用の光が蓋と蓋落下防止部材との間を通過するように配設して、蓋ずれ検出時に搬送台車を停止させるようにしたことを特徴とする、搬送台車。
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