TWI525026B - Handling system and handling method - Google Patents

Description

搬運系統及搬運方法

本發明是有關搬運系統，特別是有關於不讓處理裝置等待地將物品供給搬出的搬運系統。

有需要不讓半導體加工裝置及半導體的檢查裝置等的處理裝置等待地將FOUP(前開口式通用容器)(將半導體晶圓搬運用的密閉型卡匣)等的物品朝這些的裝置的裝載埠供給及搬出。因此被提案：在處理裝置的附近設置暫存區，且設置進行暫存區及處理裝置之間的搬運用的第2搬運裝置。在例如專利文獻1(JP2006-224944A)中，將高架行走車的軌道與頂棚空間平行地複數配置，將一方供長距離搬運用，將另一方供短距離搬運用。且在長距離搬運用的軌道的正下方配置暫存區，在短距離搬運用的軌道的正下方配置處理裝置的裝載埠。長距離搬運用的高架行走車是在與暫存區之間將物品收授，短距離搬運用的高架行走車是在與暫存區及裝載埠之間將物品收授。因此處理裝置所需要的物品若預先被搬運至暫存區的話，朝處理裝置的物品的供給就可以高速地進行。且從處理裝置的裝載埠的物品的搬出，是藉由短距離搬運用的高架行走車由高速進行。但是如此的話，因為是在相同高度位置平行地設置軌道，所以搬運系統的從平面視所佔位的地上面積會增大。

在專利文獻2(JP2005-150129A)中，在處理裝置的前面設置設有搬運裝置的暫存區，高架行走車是在與暫存區之間將物品收授，暫存區內的搬運裝置是在與裝載埠之間將物品收授。但是在處理裝置的前面，設有供顯示運轉狀況的顯示器、手動操作用的操作盤等，使暫存區被這些塞住而不佳。且裝載埠並非只有使用自動搬運裝置，也有由人員將供給物品搬出，若暫存區覆蓋處理裝置的前面的話，人員的進入會成為困難。

[先行技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]JP2006-224944A

[專利文獻2]JP2005-150129A

本發明的課題，是不會塞住處理裝置的前面，且可一邊減小搬運系統的從平面視所佔位的地上面積，一邊朝處理裝置將物品迅速地供給及搬出。

本發明的追加的課題，是提供區域台車的具體的構成。

本發明的追加的課題，是不需要區域台車的供電線。

本發明的追加的課題，不需追加的裝置就可檢出區域台車是否存在於高架行走車的正下方。

本發明的搬運系統是在複數處理裝置之間搬運物品，設有：第1軌道，是通過處理裝置的裝載埠的上部；及高架行走車，是沿著第1軌道行走且設有吊車；及第2軌道，是在前述第1軌道的下方，通過前述裝載埠的上方，且與前述第1軌道平行地被配置；及暫存區，是在前述第2軌道的下方，且在比前述裝載埠更高的位置，設成在前述裝載埠的正上部可讓物品朝鉛直方向通過自如，將物品放置用；及區域台車，是具備在與前述暫存區及前述裝載埠之間將物品收授的吊車，且沿著第2軌道行走。

在本發明中，高架行走車所行走的空間及區域台車所行走的空間可以在鉛直方向重疊。因此可以減小搬運系統的從平面視所佔位的地上面積。且處理裝置的前面不會被暫存區塞住。且高架行走車及區域台車，皆但在與暫存區及裝載埠的雙方之間將物品收授。因此不會讓處理裝置等待，且可以將來自處理裝置的物品迅速地搬運。暫存區是只有設在從裝載埠的正上部徧離的位置也可以，或是將暫存區的框架等也配置在裝載埠的正上部也可以。

本發明是有關於對於由：具備吊車的高架行走車、及通過處理裝置的裝載埠的上部的高架行走車的軌道所構成的既有的高架行走車系統後來附加的搬運系統。此系統，其特徵為，具備：第2軌道，是在高架行走車的軌道的下方，通過處理裝置的裝載埠的上方，且與高架行走車的軌道平行地被配置；及暫存區，是在前述第2軌道的下方，且在比前述裝載埠更高的位置，設成在前述裝載埠的正上部可讓物品朝鉛直方向通過自如，將物品放置用；及區域台車，是具備在與前述暫存區及前述裝載埠之間將物品收授的吊車，且沿著第2軌道行走。

如此的話，在既有的高架行走車系統，可以後來附加由第2軌道及區域台車及暫存區所構成的搬運系統。且後來附加的搬運系統，不需要改造處理裝置，對於既有的高架行走車系統，也只需要改造兼用支柱程度的改造。

本發明，是在具備吊車的高架行走車及處理裝置的裝載埠之間將物品收授。

且高架行走車是沿著通過處理裝置的裝載埠的上部的高架行走車的軌道行走，設有第2軌道，其是在高架行走車的軌道的下方，通過處理裝置的裝載埠的上方，且與高架行走車的軌道平行，設有暫存區，其是在前述第2軌道的下方，且在比前述裝載埠更高的位置，在前述裝載埠的正上部可讓物品朝鉛直方向通過自如地將物品放置用，設有區域台車，其是具備在與前述暫存區及前述裝載埠之間將物品收授的吊車，且沿著第2軌道行走，並實行：藉由高架行走車在與暫存區之間藉由吊車將物品收授的步驟；及藉由區域台車，在與暫存區及裝載埠之間將物品收授的步驟。

在較佳搬運系統中，前述第2軌道是具備至少一對軌道，進一步在前述一對軌道之間設有可讓前述物品朝鉛直方向通過自如的間隙。在此態樣中，藉由使將第2軌道中的區域台車支撐的一對軌道之間的間隙比物品的深度更大等，物品就可以朝鉛直方向通過第2軌道。因此，第1軌道及第2軌道及裝載埠可以配置成在鉛直方向重疊，物品的收授成為簡單。且可以由一對的軌道將區域台車支撐。

在更佳搬運系統中，第1軌道及第2軌道及暫存區，是使平行地在平面視重疊的方式，被配置於處理裝置的前面。且暫存區是在裝載埠的上部具備暫存區的間隙，透過暫存區的間隙使高架行走車及區域台車皆可在與裝載埠之間將物品收授自如。如此的話，高架行走車及區域台車皆可以進入裝載埠。

特別是在較佳的搬運系統中，在使搬運物品的區域台車可以通過被放置有物品的暫存區的上部的高度，配置有暫存區。如此的話，高架行走車及區域台車可以將物品卸貨在暫存區上的任意的空位置，且可以從任意的位置將物品搬出。

或者是雖使未搬運物品的區域台車可以通過被放置有物品的暫存區的上部，但是在搬運物品的區域台車無法通過的高度，配置暫存區也可以。如此的話雖會發生由區域台車所產生的與暫存區的物品的搬出入的順序的限制，但是可以減小暫存區及第2軌道的高度的差，且可以容易設置暫存區。

例如，設置將高架行走車及區域台車控制的手段，使高架行走車進行：朝前述暫存區的物品的搬入、及從前述裝載埠的物品的搬出，使前述區域台車進行從前述暫存區朝前述裝載埠的物品的搬入的方式進行控制。如此的話，從高架行走車側的話，暫存區是成為物品的搬入專用的裝載埠，處理裝置的裝載埠是成為物品的搬出專用的裝載埠，可以減少無法朝裝載埠將物品將搬入的問題。且從處理裝置側的話，可以將處理的預定的物品積蓄於暫存區。

較佳是，前述區域台車是由電池驅動，且將區域台車的電池充電用的充電裝置，是沿著第2軌道設在徧離前述裝載埠的正上部及前述暫存區的正上部的位置。如此的話，不會妨害朝裝載埠及暫存區的物品的搬出入，區域台車可以朝電池充電。

或較佳是，區域台車是由來自蓄電器的電力被驅動，且將區域台車的電池充電用的充電裝置是設在區域台車的沿著第2軌道的各停止位置。因為區域台車每次停止皆可充電，所以可以由電池或雙電層電容器等的蓄電器驅動，且蓄電器不會成為充電不足。

較佳是，高架行走車，是在裝載埠的正上的位置具備光通訊部，其是藉由光軸是朝向上下方向且通過區域台車的行走路徑的光，與裝載埠進行光通訊。如此的話，區域台車是位於裝載埠的正上的話，高架行走車成為無法與裝載埠進行光通訊。因此利用與裝載埠的光通訊，就可以排除在高架行走車及裝載埠之間進行物品的移載時干涉區域台車的可能性。

且藉由區域台車的控制器，對於高架行走車及區域台車及處理裝置進行通訊也可以。例如區域台車的控制器是與高架行走車進行光或無線通訊，與區域台車及處理裝置進行光、無線或有線通訊。如此的話，可以藉由區域台車的控制器控制朝暫存區及裝載埠的物品的搬出入。

在較佳搬運系統中，檢出前述裝載埠側的干涉物的俯瞰感測器是設在前述暫存區。在此，裝載埠側，是裝載埠的附近或其近傍的意思。且藉由此感測器的訊號，透過控制器控制區域台車及高架行走車的話，可防止干涉：人等的裝載埠附近的干涉物、及區域台車及高架行走車的移載裝置動作。

以下顯示實施本發明用的最適實施例。對於本發明的專利範圍，本行業者可依據申請專利範圍的記載，並參酌說明書的記載及此領域中的周知技術而理解。

[實施例]

在第1圖～第7圖中，顯示實施例的搬運系統及其變形。在第1圖～第5圖中，2是高架行走車，例如在半導體工場內進行工程間搬運及工程內搬運。4是區域台車，對於各處理裝置12的FOUP(前開口式通用容器)等進行物品24的供給及搬出，或是對於鄰接的數台的處理裝置12進行物品的供給及搬出。6是高架行走車的軌道，由行走軌道及供電軌道所構成。8是區域台車4的軌道，由第3圖等所示的一對的軌道9、9所構成，且物品24可以上下通過軌道9、9之間的間隙。區域台車4雖是行走於軌道8的上方，但是行走於軌道8的下方也可以。處理裝置12是具備1個～複數個裝載埠14，暫存區10是在處理裝置12的前面與軌道6、8平行地延伸。16是清淨室等的頂棚，藉由支柱17～19，使軌道6、8及暫存區10被支撐。

10是暫存區，供將物品24暫置用，並與軌道6、8平行地被配置於軌道8的下方。行走於軌道8的區域台車4，是對於物品24被暫置的暫存區10的上部，使未搬運有物品24的情況時可以通過，但是搬運有物品24的情況時無法通過。因此多數的物品是被暫置在暫存區10的情況時，區域台車4若是在暫存區10內搬運物品24時，會有搬運的順序。對於此如第2圖，將暫存區10的高度下降作為暫存區11，使搬運有物品24的區域台車4可以通過物品24被暫置的暫存區11的上部也可以。例如在軌道8的底部及暫存區11的上部之間，形成物品24的高度的2倍以上的間隔。如此的話，高架行走車2及區域台車4可以將物品24卸貨在暫存區11上的任意的空位置，並從任意的位置將物品24搬出。除了高度較低的點以外，暫存區11是與暫存區10相同，在實施例中使用暫存區10、11的其中任一也可以。

高架行走車的軌道6是位於最高的位置，在其例如正下方具有區域台車的軌道8，軌道6、8是平行地上下重疊。在軌道6、8的正下方具有與這些平行地暫存區10、11，裝載埠14是位於軌道6、8的正下方。如實施例若暫存區10、11及裝載埠14是被配置於平面視重疊的情況時，使物品24可鉛直方向通過用的間隙30，是在裝載埠的正上部，被設在暫存區10、11。或者是避開與裝載埠14在平面視重疊的位置的方式，設在暫存區10、11也可以。在區域台車的軌道8中，例如在其一端且在裝載埠14及暫存區10、11在平面視不重疊的位置設有充電裝置20，可對於區域台車4的電池進行充電。又充電裝置20是設在與暫存區10、11的物品24在鉛直方向重疊的位置也可以。但是如此的話，會干涉：朝區域台車4的充電、及高架行走車2和暫存區10、11之間的物品的收授。因此，在軌道8的端部，且在裝載埠14及暫存區10、11不在鉛直方向重疊的位置，設置充電裝置20較佳。

22是區域控制器，用來控制區域台車4，在實施例中設在充電裝置20的附近，由光通訊等與區域台車4進行通訊。又區域控制器22是設在地上側也可以。且朝充電裝置20的供電是藉由沿著例如支柱18設置的無圖示的供電線進行。

高架行走車2是例如在前後具備落下防止蓋25、25，藉由無圖示的吊車使昇降台26昇降，沿著鉛直方向移載物品24。在高架行走車2中，另外設置將物品24橫送用的橫送機構等也可以。高架行走車2是具備光通訊部31，在與被設在裝載埠14的側的光通訊部31’之間，藉由光軸是朝向上下方向且由通過區域台車4的行走路徑的光進行的光通訊進行物品的收授前的連鎖。在此在與高架行走車2及裝載埠14之間若區域台車4存在的話，使光通訊部31、31’之間的光軸被遮的方式，配置光通訊部31、31’。藉此不需要供檢出區域台車4用的多餘的裝置，就可以確認區域台車不存在於高架行走車2及裝載埠14之間。進一步在高架行走車2中設置與區域控制器22的通訊手段(未圖示)，在與暫存區10、11之間收授物品時，與區域控制器22進行通訊。

在此，處理裝置12除了加工裝置以外，也包含檢查裝置。在處理裝置12的前面設有裝載埠14，在與裝載埠14之間，由高架行走車2、區域台車4、及地上移動的人收授物品24。在處理裝置12的前面除了裝載埠14以外也設有顯示器28及操作盤29等，使可以監視處理裝置12的運轉狀況，且可以由人員控制處理裝置12。

區域台車的軌道8是由一對的軌道9、9所構成，軌道9、9間的寬度D(第3圖)是比物品24的深度更大，使物品24可以與昇降台26一起朝鉛直方向通過軌道9、9之間的間隙。進一步在暫存區10、11中，在裝載埠14、14的上部設置間隙30，使物品24可以朝鉛直方向通過暫存區10、11。或者是使徧離裝載埠14的正上部的方式配置暫存區10、11。由此，即使軌道6、8及裝載埠14被配置成在鉛直方向重疊，高架行走車2仍可以對於裝載埠14及暫存區10、11進行物品的收授。同樣地區域台車4也可以對於暫存區10、11及裝載埠14進行物品的收授。因此搬運系統的從平面視所佔位的地上面積可以成為最小。

只有在區域台車的軌道8的正下方的暫存區10等中若暫存區的容量不足的情況時，如第4圖，設置追加的暫存區32，由支柱34從頂棚等支撐也可以。此情況，追加的暫存區32是被配置於與例如暫存區10等高度對齊的位置，在高架行走車2及區域台車4設置將吊車橫送的機構等。

第5圖是顯示區域台車4的構造，40是行走馬達，藉由行走車輪41等在軌道9、9上行走。42是吊車，藉由將吊持材43捲取或吐出，使藉由昇降台27被支撐的物品24昇降。45是電池，46是連接器，進行由充電裝置20所進行的電池45的充電。47是光通訊部，與高架行走車2的光通訊部31同樣，在與裝載埠14的光通訊部31’之間，進行連鎖用的通訊。又不設置光通訊部47，將與裝載埠14的連鎖，經由區域控制器22進行也可以。區域台車4，因為不具備行走距離短的將物品橫送等的機構，且不具備行走路線的選擇、迴避與其他的台車干涉等的資訊處理機構，所以構成簡潔。由區域控制器22的控制，使例如1台的區域台車4沿著軌道8行走，且往復於：處理裝置12的前面、及稍為遠離前面的位置之間。且區域台車4，因為是行走在高架行走車的軌道6的正下方的軌道8，所以不需要追加的地上面積。且軌道8中的軌道9、9之間的間隙D，因為是比物品24的深度更大，所以可以朝鉛直方向通過軌道8的方式收授物品24。

第6圖是顯示變形例的搬運系統，與第1圖～第5圖相同的符號是表示相同者，在第6圖中對於高架行走車2，是將落下防止蓋25取下顯示。在此變形例中區域台車的軌道8’是由單軌鐵路所構成。其剖面形狀在此雖為L字狀，但是其形狀為任意。區域台車4’是具備例如3種類的導引滾子51～53，藉由將這些由軌道8’導引，維持區域台車4’的姿勢。不設置導引滾子53也可以。10’是新的暫存區且具備間隙30，物品24可朝鉛直方向通過間隙30。在第6圖的變形例中，因為由單軌鐵路將區域台車4’支撐，所以區域台車4’的姿勢容易成為不穩定。

顯示實施例中的高架行走車2及區域台車4的控制。高架行走車2是藉由無圖示的上位控制器被控制，區域控制器20是與上位控制器及高架行走車2、區域台車4之間進行通訊。高架行走車2及區域台車4是在與裝載埠14之間收授物品24的情況時，使用光通訊部31、31’、47進行連鎖。在裝載埠14的正上若區域台車4存在的話，高架行走車2，會因為光通訊無法進行，連鎖不成立，而直到區域台車4朝其他的位置移動為止，使物品的收授延遲。暫存區10、11等及高架行走車2之間的物品24的收授，是藉由高架行走車2及區域控制器22之間的通訊使連鎖成立。且區域台車4，是依據來自區域控制器22的指示，與暫存區10等進行物品24的收授，不進行收授前的連鎖。

藉由以上的通訊，獲得在暫存區10等的那一位置有那些物品所在的在庫資料，並由區域控制器22記憶。區域控制器22是管理暫存區10等的物品24。且與裝載埠14的連鎖是藉由透過高架行走車2及區域台車的直接通訊或是區域控制器22的通訊而成立。

[最適實施例]

在第7圖中顯示最適實施例，與第1圖～第6圖相同符號是表示相同者，除了特別指摘的點以外是與第2圖的變形例同樣。60是俯瞰感測器，將雷射光照射，若被人等的干涉物反射的話藉由受光元件檢出。且改變雷射光的方向並掃描，藉由使用反射光及雷射光的相位差等，檢出由裝載埠14附近的一點虛線所示的監視範圍內的干涉物。俯瞰感測器60的訊號是從控制器22被傳達至區域台車4及高架行走車2，若干涉物存在時，朝裝載埠14的卸載及裝貨就被禁止。又干涉物的檢出用的感測器的種類為任意。

充電裝置20是沿著例如軌道8，設在區域台車4的各停止位置，區域台車4若停止的話，可以在任意的位置進行朝電池的充電。但是裝載埠14的正上部因為是區域台車4的待機位置所以不佳，所以不將充電裝置20設在裝載埠14的正上部也可以。且可取代鋰離子電池等的電池，使用雙電層電容器等的蓄電器也可以。

區域控制器22，是與高架行走車2由光或無線進行通訊，與區域台車4及處理裝置12是由光、無線或有線進行通訊。藉此使由高架行走車2及區域台車4與暫存區11及裝載埠14移載物品24時的連鎖，可以透過區域控制器22成立。

第7圖的搬運系統可以如以下地運用。

1)高架行走車2，是進行：朝暫存區11的物品24的卸載、及從裝載埠14的搬出。因為設有暫存區11，所以高架行走車2無法將物品24卸載的問題可以減少，處理裝置12可以在暫存區11貯藏下一個欲處理的物品24。

2)從暫存區11朝裝載埠14的搬入，是由區域台車4進行。

3)但是若裝載埠14有可能因物品24過多而無法進一步裝載(overflow)的情況時，藉由區域台車4將物品24朝暫存區11搬出。

4)若是特急品的話，由高架行走車2直接朝裝載埠14卸貨也可以。

5)區域台車4的待機位置，是在除了裝載埠14的正上部以外的位置，且朝下一個裝載埠14卸貨的物品的上部。藉此，可以迅速地進行朝裝載埠14的搬入。

6)區域台車4在停止中可在任意的位置進行充電。藉此可以由小容量的電池驅動區域台車4。

7)與由高架行走車2從裝載埠14將物品搬出的動作並行，由區域台車4挾持朝裝載埠14搬入的物品。因此可以迅速地將下一個物品朝裝載埠14搬入。

8)具有應朝裝載埠14搬出的物品情況時，搬運朝裝載埠14的搬入物品的高架行走車2是在裝載埠14的上流側朝暫存區11將物品卸貨，接著由相同的高架行走車2從裝載埠14將物品搬出。如此的話可以有效率地搬運物品。

在實施例中可獲得以下的效果。

(1)可以不阻塞處理裝置12前面地設置暫存區10等。

(2)因為將軌道6、8在鉛直方向重疊的方式配置，使物品24通過軌道8之間的間隙，所以高架行走車2及區域台車4皆不需要橫送機構。

(3)藉由加長軌道8，就可以對於處理裝置12準備充分的容量的暫存區10、11。

(4)高架行走車2及區域台車4，皆可以對於裝載埠14及暫存區10、11的雙方收授物品。因此，對於裝載埠14及暫存區10、11的物品24的供給及搬出但有效率地進行。

又對於全部的處理裝置12，不需要設置由暫存區10、區域台車4的軌道8及區域台車4所構成的系統，只有對於物品24的處理數多的處理裝置12，設置上述系統也可以。搬運物品的種類為任意，例如將半導體的曝光用的光柵收容的卡匣、平面顯示器的基板等也可以。

2．．．高架行走車

4．．．區域台車

6．．．高架行走車的軌道

8．．．區域台車的軌道

9．．．軌道

10、11．．．暫存區

12．．．處理裝置

14．．．裝載埠

16．．．頂棚

17～19．．．支柱

20．．．充電裝置

22．．．區域控制器

24．．．物品

25．．．落下防止蓋

26、27．．．昇降台

28．．．顯示器

29．．．操作盤

30．．．間隙

31．．．光通訊部

32．．．暫存區

34．．．支柱

40‧‧‧行走馬達

41‧‧‧行走車輪

42、50‧‧‧吊車

43‧‧‧吊持材

45‧‧‧電池

46‧‧‧連接器

47‧‧‧光通訊部

51~53‧‧‧導引滾子

[第1圖]實施例的搬運系統的主要部分側面圖。

[第2圖]改變了第1圖的暫存區的高度的變形例的搬運系統的主要部分側面圖。

[第3圖]實施例的搬運系統的主要部分平面圖。

[第4圖]變形例的搬運系統的主要部分平面圖。

[第5圖]區域台車的側面圖。

[第6圖]區域台車是行走於單軌鐵路的變形例的主要部分平面圖。

[第7圖]最適實施例的搬運系統的主要部分側面圖。

2．．．高架行走車

4．．．區域台車

6．．．高架行走車的軌道

8．．．區域台車的軌道

10．．．暫存區

12．．．處理裝置

14．．．裝載埠

16．．．頂棚

17．．．支柱

18．．．支柱

19．．．支柱

20．．．充電裝置

22．．．區域控制器

24．．．物品

25．．．落下防止蓋

26．．．昇降台

28．．．顯示器

29．．．操作盤

30．．．間隙

31．．．光通訊部

31’．．．光通訊部

Claims (13)

1. 一種搬運系統，是在複數處理裝置之間搬運物品，設有：第1軌道，是通過處理裝置的裝載埠的上部；及高架行走車，是沿著第1軌道行走且設有吊車；及第2軌道，是在前述第1軌道的下方，通過前述裝載埠的上方，且與前述第1軌道平行地被配置；及暫存區，是在前述第2軌道的下方，且在比前述裝載埠更高的位置，設成在前述裝載埠的正上部可讓物品朝鉛直方向通過自如，用於放置物品；及區域台車，是具備在與前述暫存區及前述裝載埠之間將物品收授的吊車，且沿著前述第2軌道行走；在被放置有物品的前述暫存區的上部，且在使未搬運物品的前述區域台車可以通過，但搬運物品的前述區域台車無法通過的高度，配置有前述暫存區。
2. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中，前述第2軌道是具備至少一對軌道，進一步在前述一對的軌道之間設有可讓前述物品朝鉛直方向通過自如的間隙。
3. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中，前述第1軌道及前述第2軌道及前述暫存區，是以平行地在平面視重疊的方式，被配置於前述處理裝置的前面，前述暫存區是在前述裝載埠的上部具備間隙，透過前述暫存區的間隙使前述高架行走車及前述區域台車皆可在與前述裝載埠之間將物品收授自如。
4. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中，檢出前述裝載埠側的干涉物用的俯瞰感測器是設在前述暫存區。
5. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中，進一步具備：使前述高架行走車進行朝前述暫存區的物品的搬入、及從前述裝載埠的物品的搬出，並使前述區域台車從前述暫存區進行朝前述裝載埠的物品的搬入的方式，將前述高架行走車及前述區域台車控制的手段。
6. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中，前述區域台車是由電池驅動，且將前述區域台車的電池充電用的充電裝置，是設置在沿著前述第2軌道設置，但偏離前述裝載埠的正上部及前述暫存區的正上部的位置。
7. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中，前述區域台車是由來自蓄電器的電力而被驅動，且將前述區域台車的電池充電用的充電裝置是設在前述區域台車的沿著第2軌道的各停止位置。
8. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中，前述高架行走車具備光通訊部，其是在前述裝載埠的正上的位置，藉由光軸是朝向上下方向且通過前述區域台車的行走路徑的光，與前述裝載埠進行光通訊用。
9. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中，進一步前述區域台車的控制器，是被設成對於前述高架行走車及前述區域台車及前述處理裝置可通訊自如。
10. 一種搬運系統，是對於由：具備吊車的高架行走 車、及通過處理裝置的裝載埠的上部的高架行走車的軌道所構成的既有的高架行走車系統後來附加的搬運系統，具備：第2軌道，是在前述高架行走車的軌道的下方，通過前述處理裝置的裝載埠的上方，且與前述高架行走車的軌道平行地被配置；及暫存區，是在前述第2軌道的下方，且在比前述裝載埠更高的位置，設成在前述裝載埠的正上部可讓物品朝鉛直方向通過自如，用於放置物品；及區域台車，是具備在與前述暫存區及前述裝載埠之間將物品收授的吊車，且沿著前述第2軌道行走；在被放置有物品的前述暫存區的上部，且在使未搬運物品的前述區域台車可以通過，但搬運物品的前述區域台車無法通過的高度，配置有前述暫存區。
11. 一種搬運方法，是在與具備吊車的高架行走車及處理裝置的裝載埠之間將物品收授的方法，前述高架行走車是沿著通過前述處理裝置的裝載埠的上部之前述高架行走車的軌道行走，設有第2軌道，其是在前述高架行走車的軌道的下方，通過前述處理裝置的裝載埠的上方，且與前述高架行走車的軌道平行，設有暫存區，其是在前述第2軌道的下方，且在比前述裝載埠更高的位置，在前述裝載埠的正上部可讓物品朝鉛直方向通過自如地將物品放置用， 設有區域台車，其是具備在與前述暫存區及前述裝載埠之間將物品收授的吊車，且沿著前述第2軌道行走，實行：藉由前述高架行走車在與前述暫存區之間藉由吊車將物品收授的步驟；及藉由前述區域台車，在與前述暫存區及前述裝載埠之間將物品收授的步驟；在被放置有物品的前述暫存區的上部，且在使未搬運物品的前述區域台車可以通過，但搬運物品的前述區域台車無法通過的高度，配置有前述暫存區。
12. 一種搬運系統，是在複數處理裝置之間搬運物品，設有：第1軌道，是通過處理裝置的裝載埠的上部；及高架行走車，是沿著第1軌道行走且設有吊車；及第2軌道，是在前述第1軌道的下方，通過前述裝載埠的上方，且與前述第1軌道平行地被配置；及暫存區，是在前述第2軌道的下方，且在比前述裝載埠更高的位置，設成在前述裝載埠的正上部可讓物品朝鉛直方向通過自如，用於放置物品；及區域台車，是具備在與前述暫存區及前述裝載埠之間將物品收授的吊車，且沿著前述第2軌道行走；前述暫存區，是配置成使其放置了物品的暫存區的上部的高度，是搬運物品的區域台車可通過的高度，且在前述裝載埠的上游側且除了裝載埠的上部的位置，連續配置 複數個物品。
13. 一種搬運系統，是在複數處理裝置之間搬運物品，設有：第1軌道，是通過處理裝置的裝載埠的上部；及高架行走車，是沿著第1軌道行走且設有吊車；及第2軌道，是在前述第1軌道的下方，通過前述裝載埠的上方，且與前述第1軌道平行地被配置；及暫存區，是在前述第2軌道的下方，且在比前述裝載埠更高的位置，設成在前述裝載埠的正上部可讓物品朝鉛直方向通過自如，用於放置物品；及區域台車，是具備在與前述暫存區及前述裝載埠之間將物品收授的吊車，且沿著前述第2軌道行走；前述暫存區，是配置成使其放置了物品的暫存區的上部的高度，是搬運物品的區域台車可通過的高度，且在除了裝載埠的上部的位置，各連續配置2個物品。