CN102556559B - 搬送系统及搬送方法 - Google Patents

搬送系统及搬送方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102556559B
CN102556559B CN201110340241.7A CN201110340241A CN102556559B CN 102556559 B CN102556559 B CN 102556559B CN 201110340241 A CN201110340241 A CN 201110340241A CN 102556559 B CN102556559 B CN 102556559B
Authority
CN
China
Prior art keywords
load port
article
track
working area
crane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201110340241.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102556559A (zh
Inventor
太田达司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of CN102556559A publication Critical patent/CN102556559A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102556559B publication Critical patent/CN102556559B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14—Wafer cassette transporting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Transportation (AREA)

Abstract

本发明提供一种搬送系统及搬送方法，不挡住处理装置的前面，并且缩小搬送系统在俯视时占有的地面面积，同时迅速地向处理装置供给及搬出物品。为了在多个处理装置之间搬送物品，设置了在处理装置的装载口的上部延伸的第一轨道和沿着第一轨道行驶并且具备起重机的桥式吊车。在第一轨道的下方，配置有在装载口的上方延伸并且与第一轨道平行的第二轨道。在第二轨道的下方并且比装载口高的位置，设置有用于以物品沿铅直方向在装载口的正上部通过自如的方式放置物品的暂存区。使具备在暂存区及装载口之间交接物品的起重机的区间台车沿着第二轨道行驶。

Description

搬送系统及搬送方法
技术领域
本发明涉及搬送系统，特别涉及不让处理装置等待而供给搬出物品的搬送系统。
背景技术
需要不让半导体加工装置及半导体的检查装置等处理装置等待，而向这些装置的装载口供给及搬出FOUP(用于搬送半导体晶片的封闭式盒子)等物品。因此，提出了在处理装置的附近设置暂存区，并且设置用于进行暂存区和处理装置之间的搬送的第二搬送装置。例如在专利文献1(JP2006-224944A)中，在顶棚空间平行配置多个桥式吊车(overheadtravellingvehicle)的轨道，一方作为长距离搬送用，另一方作为短距离搬送用。而且在长距离搬送用轨道的正下方配置暂存区，在短距离搬送用轨道的正下方配置处理装置的装载口。长距离搬送用的桥式吊车与暂存区之间交接物品，短距离搬送用的桥式吊车在暂存区与装载口之间交接物品。因此如果预先将处理装置所需的物品搬送到暂存区，就能够高速地向处理装置进行物品供给。另外，通过短距离搬送用的桥式吊车高速地从处理装置的装载口搬出物品。但是，如果这样的话，由于在相同高度位置平行设置轨道，因此搬送系统在俯视时占有的地面面积会增大。
在专利文献2(JP2005-150129A)中，在处理装置的前面设置具备了搬送装置的暂存区，桥式吊车与暂存区之间交接物品，暂存区内的搬送装置与装载口之间交接物品。但是在处理装置的前面设置了显示运转状况的显示器、人工操作用的操作板等，用暂存区将这些挡住是不理想的。另外装载口并不仅仅是自动搬送装置使用的，有时也由人工来供给搬出物品，如果用暂存区覆盖处理装置的前面，则人工处理变得困难。
现有技术文献(专利文献)
专利文献1：JP2006-224944A
专利文献2：JP2005-150129A
发明内容
本发明的课题在于，不挡住处理装置的前面，并且缩小搬送系统在俯视时占有的地面面积，同时迅速地向处理装置供给及搬出物品。
本发明的追加课题在于，提供区间台车的具体结构。
本发明的追加课题在于，使区间台车的馈线变得不需要。
本发明的追加课题在于，不追加装置就能够检测区间台车在桥式吊车的正下方。
本发明的搬送系统在多个处理装置之间搬送物品，设置有：
第一轨道，在处理装置的装载口上部延伸；
桥式吊车，沿着第一轨道行驶并且具备起重机(hoist)；
第二轨道，在所述第一轨道的下方，配置为在所述装载口的上方延伸并且与所述第一轨道平行；
暂存区，在所述第二轨道的下方并且比所述装载口高的位置，设置为物品沿铅直方向在所述装载口的正上部通过自如，该暂存区用于放置物品；以及
区间台车，具备在所述暂存区及所述装载口之间交接物品的起重机，并且沿着第二轨道行驶。
在本发明中，桥式吊车行驶的空间和区间台车行驶的空间可以在铅直方向重叠。因此能够缩小搬送系统在俯视时占有的地面面积。另外暂存区不会挡住处理装置的前面。而且桥式吊车和区间台车都在暂存区及装载口这双方之间交接物品。由此不会让处理装置等待，并且能够迅速地搬送来自处理装置的物品。暂存区也可以仅设置在从装载口的正上部远离的位置，或者也可以将暂存区的框架等配置在装载口的正上部。
本发明还涉及后附于由具备起重机的桥式吊车和在处理装置的装载口上部延伸的桥式吊车的轨道组成的已有的桥式吊车系统的搬送系统。
本系统的特征在于，具有：
第二轨道，在桥式吊车的轨道的下方，配置成在处理装置的装载口的上方延伸并且与桥式吊车的轨道平行；
暂存区，在所述第二轨道的下方并且比所述装载口高的位置，设置为物品沿铅直方向在所述装载口的正上部通过自如，该暂存区用于放置物品；以及
区间台车，具备在所述暂存区及所述装载口之间交接物品的起重机，并且沿着第二轨道行驶。
如果这样的话，能够对已有的桥式吊车系统后附由第二轨道和区间台车以及暂存区组成的搬送系统。而且后附的搬送系统无需对处理装置进行改造，即使对于现存的桥式吊车系统，也仅需要进行兼用支柱这一程度的改造。
在本发明中，在具备起重机的桥式吊车和处理装置的装载口之间交接物品。
而且桥式吊车沿着在处理装置的装载口的上部延伸的桥式吊车的轨道行驶，
在桥式吊车的轨道的下方，设置第二轨道，该第二轨道在处理装置的装载口的上方延伸并且与桥式吊车的轨道平行，
在所述第二轨道的下方并且比所述装载口高的位置，设置暂存区，该暂存区用于以物品沿铅直方向在所述装载口的正上部通过自如的方式放置物品，
设置区间台车，该区间台车具备在所述暂存区及所述装载口之间交接物品的起重机，并且沿着第二轨道行驶，
执行由桥式吊车通过起重机与暂存区之间交接物品的步骤，
以及执行由区间台车在暂存区和装载口之间交接物品的步骤。
在较为理想的搬送系统中，所述第二轨道至少具备一对轨道，并且在所述一对轨道之间设置有所述物品在铅直方向通过自如的间隙。在此状态下，通过使第二轨道上的支承区间台车的一对轨道之间的间隙比物品的进深大等，由此物品能够在铅直方向通过第二轨道。因此，由于第一轨道、第二轨道和装载口能够配置为在铅直方向重叠，物品的交接变得简单。另外能够用一对轨道支承区间台车。
在更为理想的搬送系统中，第一轨道、第二轨道和暂存区以平行且在俯视时重叠的方式配置在处理装置的前面。而且暂存区在装载口的上部具备暂存区的间隙，经由暂存区的间隙，桥式吊车和区间台车都与装载口之间自如交接物品。如果这样的话，桥式吊车和区间台车都能够对装载口进行处理。
在更为理想的搬送系统中，暂存区配置在搬送有物品的区间台车能够在放置有物品的暂存区的上部通过的高度。如果这样的话，桥式吊车和区间台车能够在暂存区上的任意空位置卸载物品，能够从任意的位置搬出物品。
或者另外，也可以是，所述暂存区配置在以下的高度位置：所述区间台车在没有搬送物品的情况下能够在放置有物品的暂存区的上部行驶，并且所述区间台车在搬送有物品的情况下不能够在放置有物品的所述暂存区的上部行驶的高度位置。如果这样的话，对于由区间台车进行的与暂存区之间的物品的搬出、搬入的顺序产生限制，但缩小暂存区和第二轨道的高度之差，可以容易地完成暂存区的设置。
例如，设置控制单元，该控制单元以以下方式对所述桥式吊车和所述区间台车进行控制：桥式吊车向所述暂存区搬入物品并且从所述装载口搬出物品，所述区间台车从所述暂存区向所述装载口搬入物品。如果这样的话，从桥式吊车侧来看，暂存区变为物品的搬入专用的装载口，处理装置的装载口变为物品的搬出专用的装载口，可以减少不能向装载口搬入物品的故障。另外从处理装置侧来看，可以在暂存区蓄积要处理的预定物品。
较为理想的是，所述区间台车用蓄电池驱动，并且用于为区间台车的蓄电池充电的充电装置沿着第二轨道设置在从所述装载口的正上部和所述暂存区的正上部都偏离的位置。如果这样的话，不妨碍向装载口及暂存区的物品的搬出、搬入，区间台车能够向蓄电池充电。
或者较为理想的是，区间台车用来自电容器的电力驱动，并且用于为区间台车的蓄电池充电的充电装置设置在沿着区间台车的第二轨道的各停止位置。因为区间台车每次停止时都能够充电，所以可以由蓄电池或者双电荷层电容器等电容器进行驱动，并且电容器不会变得充电不足。
较为理想的是，桥式吊车在装载口的正上方的位置，具备光通信部，该光通信部通过光与装载口进行光通信，该光的光轴朝向上下方向并且该光在区间台车的行驶路径通过。如果这样的话，若区间台车位于装载口的正上方，则桥式吊车与装载口之间的光通信变得不能进行。因此利用与装载口的光通信，能够排除区间台车干涉桥式吊车和装载口之间的物品迁移的可能性。
另外也可以是，通过区间台车的控制器对桥式吊车、区间台车和处理装置通信。例如区间台车的控制器用光或无线与桥式吊车通信，用光、无线或有线与区间台车及处理装置通信。如果这样的话，通过区间台车的控制器能够控制向暂存区及装载口的物品的搬出、搬入。
在较为理想的搬送系统中，在所述暂存区设置有俯视传感器，该俯视传感器用于检测所述装载口侧的干涉物的俯视传感器。在此，装载口侧意味着装载口的附近或者其近旁。而且如果根据此传感器的信号，通过控制器来控制区间台车和桥式吊车，则能够防止装载口附近的人等干涉物和区间台车及桥式吊车的迁移装置动作的干涉。
附图说明
图1是实施例的搬送系统的主要部分侧视图。
图2是改变了图1的暂存区的高度等级的变形例的搬送系统的主要部分侧视图。
图3是实施例的搬送系统的主要部分俯视图。
图4是变形例的搬送系统的主要部分俯视图。
图5是区间台车的侧视图。
图6是区间台车用单轨道行驶的变形例的主要部分俯视图。
图7是最优实施例的搬送系统的主要部分侧视图。
符号说明
2桥式吊车
4区间台车
6桥式吊车的轨道
8区间台车的轨道
9轨道
10、11暂存区
12处理装置
14装载口
16顶棚
17～19支柱
20充电装置
22区间控制器
24物品
25落下防止罩
26、27升降台
28显示器
29操作板
30间隙
31光通信部
32暂存区
34支柱
40行驶电动机
41行驶车轮
42、50起重机
43悬垂件
45蓄电池
46连接器
47光通信部
51～53导辊
具体实施方式
以下示出了用于实施本发明的最优实施例。本发明的范围应该是基于权利要求书的记述，参照说明书的记述和本领域的周知技术，根据本领域技术人员的理解而确定。
在图1至图7中，表示实施例的搬送系统及其变形。在图1至图5中，2是桥式吊车，在例如半导体工厂内进行工序间搬送和工序内搬送。4是区间台车，对于每个处理装置12进行FOUP等物品24的供给和搬出，或者对于邻接的数台处理装置12进行物品的供给和搬出。6是桥式吊车的轨道，包括行驶轨道和供电轨道。8是区间台车4的轨道，包括图3等中所示的一对轨道9、9，物品24能够上下通过轨道9、9之间的间隙。区间台车4在轨道8的上方行驶，但也可以在轨道8的下方行驶。处理装置12具备1个至多个装载口14，在处理装置12的前面，轨道6、8和暂存区10平行延伸。16是净化车间等的顶棚，通过支柱17至19来支承轨道6、8和暂存区10。
10是暂存区，临时放置物品24，在轨道8的下方，与轨道6、8平行配置。在轨道8上行驶的区间台车4，当没有搬送物品24时能够在临时放置物品24的暂存区10的上部通过，但当搬送有物品24时不能通过。因此当在暂存区10上临时放置多个物品时，区间台车4在暂存区10内搬送物品24的时候，在搬送上产生顺序。与之相对，如图2那样，也可以降低暂存区10的高度等级而作为暂存区11，搬送有物品24的区间台车4能够在临时放置物品24的暂存区11的上部通过。例如在轨道8的底部和暂存区11的上部之间，设置高度为物品24高度2倍以上的间隔。如果这样的话，桥式吊车2和区间台车4能够在暂存区11上的任意空位置卸载物品24，能够从任意位置搬出物品24。除去高度等级较低这一点以外，暂存区11和暂存区10相同，在实施例中使用暂存区10、11中的任意一个都可以。
桥式吊车的轨道6位于最高的位置，例如在其正下方有区间台车的轨道8，轨道6、8是平行的且上下重叠。在轨道6、8的正下方有与它们平行的暂存区10、11，装载口14在轨道6、8的正下方。如实施例那样，当暂存区10、11和装载口14以俯视时重叠的方式配置时，在装载口的正上部，在暂存区10、11上设置物品24在铅直方向通过所用的间隙30。或者另外，也可以将暂存区10、11设置为避免与装载口14在俯视时重叠。在区间台车的轨道8上，例如在其一端，在与装载口14和暂存区10、11在俯视时都不重叠的位置有充电装置20，给区间台车4的蓄电池充电。另外也可以将充电装置20设置在与暂存区10、11的物品24在铅直方向重叠的位置。但如果这样的话，会对向区间台车4的充电及在桥式吊车2和暂存区10、11之间的物品的交接产生干涉。因此，较为理想的是，在轨道8的端部，在与装载口14和暂存区10、11在铅直方向都不重叠的位置，设置充电装置20。
22是区间控制器，控制区间台车4，在实施例中设置在充电装置20的附近，通过光通信等与区间台车4通信。另外区间控制器22也可以设置在地上侧。另外向充电装置20的供电例如通过沿着支柱18设置的未图示的馈线进行。
桥式吊车2例如在前后具备落下防止罩25、25，通过未图示的起重机使升降台26升降，沿着铅直方向迁移物品24。在桥式吊车2中，除此以外，也可以设置用于横向输送物品24用的横向输送机构等。桥式吊车2具备光通信部31，与设置在装载口14侧的光通信部31′之间，通过基于光的光通信来进行物品交接前的联锁，该光的光轴朝向上下方向并且该光在区间台车4的行驶路径通过。在此，如果在桥式吊车2和装载口14之间存在区间台车4，则以光通信部31、31′之间的光轴被遮住的方式配置光通信部31、31′。由此，没有用于检测区间台车4的多余的装置，就能够确认在桥式吊车2和装载口14之间不存在区间台车。并且在桥式吊车2上设置与区间控制器22的通信单元(未图示)，当与暂存区10、11之间交接物品的时候，与区间控制器22通信。
在此，处理装置12除加工装置之外也包含检查装置。在处理装置12的前面设置了装载口14，在装载口14之间，桥式吊车2、区间台车4及在地上移动的人交接物品24。在处理装置12的前面除装载口14之外，设置了显示器28和操作板29等，监视处理装置12的运转状况，并且能够用人工控制处理装置12。
区间台车的轨道8包括一对轨道9、9，轨道9、9之间的宽度D(图3)比物品24的进深大，物品24能够同升降台26一起在铅直方向通过轨道9、9之间的间隙。并且在暂存区10、11中，在装载口14、14的上部设置间隙30，使物品24能够在铅直方向通过暂存区10、11。或者另外，以避开装载口14的正上部的方式配置暂存区10、11。因此，即使配置为轨道6、8和装载口14在铅直方向重叠，桥式吊车2也能够对于装载口14及暂存区10、11进行物品的交接。同样地，区间台车4能够对于暂存区10、11及装载口14进行物品的交接。因此能够使搬送系统在俯视时占有的地面面积最小。当若仅是区间台车的轨道8的正下方的暂存区10等则暂存区的容量不足时，也可以如图4那样设置追加的暂存区32，用支柱34从顶棚等进行支承。此时，追加的暂存区32例如以其高度位置与暂存区10等的高度位置对齐的方式配置，在桥式吊车2及区间台车4上设置横向输送起重机的机构等。
图5表示区间台车4的构造，40是行驶电动机，通过行驶车轮41等在轨道9、9上行驶。42是起重机，通过卷起或放出悬垂件43，使由升降台27支承的物品24升降。45是蓄电池，46是连接器，通过充电装置20进行蓄电池45的充电。47是光通信部，和桥式吊车2的光通信部31同样地，与装载口14的光通信部31’之间，进行用于联锁的通信。另外也可以不设置光通信部47，经由区间控制器22进行与装载口14的联锁。区间台车4行驶距离短，是不具备物品的横向输送等机构、不具备对行驶路线的选择及与其它台车之间的干涉的回避等信息进行处理的信息处理结构的简单的装置。例如使1台区间台车4沿着轨道8行驶，通过区间控制器22的控制往返于处理装置12的前面和从前面稍稍远离的位置之间。而且因为区间台车4行驶在桥式吊车的轨道6的正下方的轨道8上，所以不需要追加的地面面积。另外因为轨道8上的轨道9、9之间的间隙D比物品24的进深大，所以能够以在铅直方向通过轨道8的方式交接物品24。
在图6中表示变形例的搬送系统，与图1至图5相同的符号表示相同的部件，在图6中对于桥式吊车2，除去落下防止罩25来表示。在此变形例中区间台车的轨道8’包括单轨道。其剖面形状在这里是L字形状，但是形状是任意的。区间台车4’例如具备三种导辊51至53，通过用轨道8’引导这些导辊，由此维持区间台车4’的姿态。也可以不设置导辊53。10’是新的暂存区，具备间隙30，物品24在铅直方向通过间隙30。在图6的变形例中，由于用单轨道支承区间台车4，因此区间台车4’的姿态容易变得不稳定。
表示在实施例中的对桥式吊车2和区间台车4的控制。桥式吊车2由未图示的上位控制器控制，区间控制器20与上位控制器及桥式吊车2、区间台车4之间通信。当桥式吊车2及区间台车4与装载口14之间交接物品24时，使用光通信部31、31’、47进行联锁。如果在装载口14的正上方存在区间台车4，则桥式吊车2不能进行光通信从而联锁不成立，由此直到区间台车4移动到其它的位置为止，使物品的交接延迟。暂存区10、11等和桥式吊车2之间的物品24的交接，通过桥式吊车2和区间控制器22之间的通信而使联锁成立。另外区间台车4根据来自区间控制器22的指示，与暂存区10等交接物品24，不进行交接前的联锁。
通过以上的通信，能够得到在暂存区10等的哪个位置有哪个物品的库存数据，并由区间控制器22存储。区间控制器22管理暂存区10等的物品24。而且与装载口14的联锁通过与桥式吊车2及区间台车的直接通信或者经由区间控制器22的通信而成立。
最优实施例
在图7中表示最优实施例，与图1至图6相同的符号表示相同的部件，除特别指出的点以外都与图2的变形例相同。60是俯视传感器(lookdownsensor)，照射激光，如果由人等干涉物反射则通过受光元件检测出来。而且改变激光的方向扫描并使用反射光和激光的相位差等，由此检测装载口14附近的以点划线表示的监视范围内的干涉物。俯视传感器60的信号从控制器22传递到区间台车4和桥式吊车2，当存在干涉物的时候，禁止向装载口14的卸货和装货。另外干涉物检测用传感器的种类是任意的。
充电装置20例如沿着轨道8设置在区间台车4的每个停止位置，如果区间台车4停止，则能够在任意的位置给蓄电池充电。但是因为将装载口14的正上部作为区间台车4的待机位置是不理想的，所以也可以不将充电装置20设置在装载口14的正上部。另外也可以使用双电荷层电容器等电容器代替锂离子电池等蓄电池。
区间控制器22通过光或无线与桥式吊车2通信，通过光、无线或有线与区间台车4及处理装置12通信。由此能够通过区间控制器22使桥式吊车2及区间台车4与暂存区11及装载口14迁移物品24时的联锁成立。
图7的搬送系统例如如以下那样运用。
1)桥式吊车2进行向暂存区11的物品24的卸载和从装载口14的搬出。因为设置了暂存区11，所以能够减少桥式吊车2不能卸载物品24的故障，处理装置12能够将接下来要处理的物品24存储在暂存区11。
2)区间台车4进行从暂存区11到装载口14的搬入。
3)但是当装载口14处物品24有可能溢出时，由区间台车4将物品24搬出到暂存区11。
4)特急物品也可以由桥式吊车2直接卸载到装载口14。
5)区间台车4的待机位置是除了装载口14的正上部以外的位置，并且是接下来要向装载口14卸载的物品的上部。由此，能够迅速地进行向装载口14的搬入。
6)区间台车4停止时在任意位置充电。由此能够用小容量的蓄电池驱动区间台车4。
7)与桥式吊车2从装载口14搬出物品并行地，将区间台车4向装载口14搬入的物品打包。因此能够将下一个物品迅速地搬入到装载口14。
8)当有应该搬出到装载口14的物品时，搬送有对装载口14的搬入物品的桥式吊车2在装载口14的上游侧向暂存区11卸载物品，接着相同的桥式吊车2从装载口14搬出物品。于是能够有效率地搬送物品。
在实施例中能够得到以下的效果。
(1)能够不挡住处理装置12的前面而设置暂存区10等。
(2)将轨道6、8配置成在铅直方向重叠，并且物品24能够在设置在轨道8的间隙通过，所以桥式吊车2和区间台车4都不需要横向输送结构。
(3)通过增长轨道8，能够对于处理装置12准备充分容量的暂存区10、11。
(4)桥式吊车2和区间台车4都能够对装载口14和暂存区10、11这双方交接物品。因此，能够有效率地对于装载口14及暂存区10、11进行物品24的供给和搬出。
另外，没有必要对全部的处理装置12设置包括暂存区10、区间台车4的轨道8及区间台车4的系统，也可以仅对物品24的处理数量较多的处理装置12设置所述的系统。搬送物品的种类是任意的，例如可以是容纳半导体曝光用的中间掩膜(reticle)的盒子、平板显示器的电路板等。

Claims (11)

1.一种搬送系统，在多个处理装置之间搬送物品，其特征在于，设置有：
第一轨道，在处理装置的装载口上部延伸；
桥式吊车，沿着第一轨道行驶并且具备起重机；
第二轨道，在所述第一轨道的下方，配置为在所述装载口的上方延伸并且与所述第一轨道平行；
暂存区，在所述第二轨道的下方并且比所述装载口高的位置，设置为物品沿铅直方向在所述装载口的正上部通过自如，该暂存区用于放置物品；以及
区间台车，具备在所述暂存区及所述装载口之间交接物品的起重机，并且沿着第二轨道行驶，
所述暂存区配置在以下的高度位置：所述区间台车在没有搬送物品的情况下能够在放置有物品的所述暂存区的上部行驶，并且所述区间台车在搬送有物品的情况下不能够在放置有物品的所述暂存区的上部行驶的高度位置。
2.一种搬送系统，在多个处理装置之间搬送物品，其特征在于，设置有：
第一轨道，在处理装置的装载口上部延伸；
桥式吊车，沿着第一轨道行驶并且具备起重机；
第二轨道，在所述第一轨道的下方，配置为在所述装载口的上方延伸并且与所述第一轨道平行；
暂存区，在所述第二轨道的下方并且比所述装载口高的位置，设置为物品沿铅直方向在所述装载口的正上部通过自如，该暂存区用于放置物品；以及
区间台车，具备在所述暂存区及所述装载口之间交接物品的起重机，并且沿着第二轨道行驶，
在所述暂存区设置俯视传感器，所述俯视传感器用于检测所述装载口侧的干涉物。
3.根据权利要求1或2所述的搬送系统，其特征在于，
还具有控制单元，该控制单元以以下方式对所述桥式吊车和所述区间台车进行控制：所述桥式吊车向所述暂存区搬入物品并且从所述装载口搬出物品，所述区间台车从所述暂存区向所述装载口搬入物品。
4.根据权利要求1或2所述的搬送系统，其特征在于，
所述区间台车用蓄电池驱动，并且用于为区间台车的蓄电池充电的充电装置沿着第二轨道设置在从所述装载口的正上部和所述暂存区的正上部都偏离的位置。
5.根据权利要求1或2所述的搬送系统，其特征在于，
所述区间台车用来自蓄电池的电力驱动，并且用于为区间台车的蓄电池充电的充电装置设置在沿着所述区间台车的第二轨道的各停止位置。
6.根据权利要求1或2所述的搬送系统，其特征在于，
所述桥式吊车在所述装载口的正上方的位置具备光通信部，该光通信部通过光与装载口进行光通信，所述光的光轴朝向上下方向并且所述光在区间台车的行驶路径通过。
7.根据权利要求1或2所述的搬送系统，其特征在于，还设置有：
区间台车的控制器，该区间台车的控制器与所述桥式吊车、所述区间台车和处理装置通信自如。
8.一种搬送系统，后附于由具备起重机的桥式吊车和在处理装置的装载口上部延伸的桥式吊车的轨道组成的已有的桥式吊车系统，该搬送系统的特征在于，具有：
第二轨道，在桥式吊车的轨道的下方，配置为在处理装置的装载口的上方延伸并且与桥式吊车的轨道平行；
暂存区，在所述第二轨道的下方并且比所述装载口高的位置，设置为物品沿铅直方向在所述装载口的正上部通过自如，该暂存区用于放置物品；以及
区间台车，具备在所述暂存区及所述装载口之间交接物品的起重机，并且沿着第二轨道行驶。
9.一种搬送方法，是在具备起重机的桥式吊车和处理装置的装载口之间交接物品的方法，该搬送方法的特征在于，执行：
桥式吊车沿着在处理装置的装载口的上部延伸的桥式吊车的轨道行驶；
在桥式吊车的轨道的下方，设置第二轨道，该第二轨道在处理装置的装载口的上方延伸并且与桥式吊车的轨道平行；
在所述第二轨道的下方并且比所述装载口高的位置，设置暂存区，该暂存区用于以物品沿铅直方向在所述装载口的正上部通过自如的方式放置物品；
设置区间台车，该区间台车具备在所述暂存区及所述装载口之间交接物品的起重机并且沿着第二轨道行驶；
由桥式吊车通过起重机与暂存区之间交接物品的步骤；
以及由区间台车在暂存区和装载口之间交接物品的步骤。
10.一种搬送系统，在多个处理装置之间搬送物品，其特征在于，设置有：
第一轨道，在处理装置的装载口上部延伸；
桥式吊车，沿着第一轨道行驶并且具备起重机；
第二轨道，在所述第一轨道的下方，配置为在所述装载口的上方延伸并且与所述第一轨道平行；
暂存区，在所述第二轨道的下方并且比所述装载口高的位置，设置为物品沿铅直方向在所述装载口的正上部通过自如，该暂存区用于放置物品；以及
区间台车，具备在所述暂存区及所述装载口之间交接物品的起重机，并且沿着第二轨道行驶，
所述暂存区以多个连续的方式、以搬送有物品的区间台车能够在放置有物品的所述暂存区的上部通过的高度、配置在所述装载口的上游侧且除了所述装载口的上部以外的位置。
11.一种搬送系统，在多个处理装置之间搬送物品，其特征在于，设置有：
第一轨道，在处理装置的装载口上部延伸；
桥式吊车，沿着第一轨道行驶并且具备起重机；
第二轨道，在所述第一轨道的下方，配置为在所述装载口的上方延伸并且与所述第一轨道平行；
暂存区，在所述第二轨道的下方并且比所述装载口高的位置，设置为物品沿铅直方向在所述装载口的正上部通过自如，该暂存区用于放置物品；以及
区间台车，具备在所述暂存区及所述装载口之间交接物品的起重机，并且沿着第二轨道行驶，
所述暂存区以针对每个所述装载口各有两个该暂存区连续的方式、以搬送有物品的区间台车能够在放置有物品的所述暂存区的上部通过的高度、配置在除了所述装载口的上部以外的位置。
CN201110340241.7A 2010-11-04 2011-11-01 搬送系统及搬送方法 Active CN102556559B (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010247552 2010-11-04
JP247552/2010 2010-11-04
JP187119/2011 2011-08-30
JP2011187119A JP5229363B2 (ja) 2010-11-04 2011-08-30 搬送システム及び搬送方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102556559A CN102556559A (zh) 2012-07-11
CN102556559B true CN102556559B (zh) 2015-11-18

Family

ID=44903118

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110340241.7A Active CN102556559B (zh) 2010-11-04 2011-11-01 搬送系统及搬送方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8915690B2 (zh)
EP (1) EP2450297B1 (zh)
JP (1) JP5229363B2 (zh)
KR (1) KR101423221B1 (zh)
CN (1) CN102556559B (zh)
SG (1) SG180144A1 (zh)
TW (1) TWI525026B (zh)

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5445015B2 (ja) * 2009-10-14 2014-03-19 シンフォニアテクノロジー株式会社 キャリア移載促進装置
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP5648983B2 (ja) 2010-11-04 2015-01-07 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
TWI447058B (zh) * 2011-11-30 2014-08-01 Inotera Memories Inc 天車輸送系統及其運轉方法
WO2013183376A1 (ja) 2012-06-08 2013-12-12 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送システムでの物品の一時保管方法
WO2013183384A1 (ja) * 2012-06-08 2013-12-12 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法
US9385019B2 (en) 2012-06-21 2016-07-05 Globalfoundries Inc. Overhead substrate handling and storage system
EP2878553A1 (en) 2012-07-26 2015-06-03 Murata Machinery, Ltd. Overhead traveling vehicle system and control method for overhead traveling vehicle system
EP2878552B1 (en) * 2012-07-26 2021-01-13 Murata Machinery, Ltd. Overhead traveling vehicle system and transfer control method for overhead traveling vehicle system
US20150003951A1 (en) * 2013-06-28 2015-01-01 International Business Machines Corporation High performance tape system
WO2015045803A1 (ja) 2013-09-25 2015-04-02 株式会社Ihi 搬送システム
US9921493B2 (en) * 2013-11-14 2018-03-20 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Photolithography system, method for transporting photo-mask and unit therein
US9633879B2 (en) * 2014-05-14 2017-04-25 Murata Machinery, Ltd. Storage system in the ceiling space and storage method for goods thereby
US9415934B2 (en) * 2014-05-14 2016-08-16 Murata Machinery, Ltd. Transport system and transport method
EP3159923B1 (en) * 2014-06-19 2021-06-16 Murata Machinery, Ltd. Carrier buffering device and buffering method
JP6206747B2 (ja) * 2014-06-19 2017-10-04 村田機械株式会社 キャリアの一時保管装置と保管方法
WO2015194267A1 (ja) * 2014-06-19 2015-12-23 村田機械株式会社 キャリアの搬送システムと搬送方法
WO2015194265A1 (ja) * 2014-06-19 2015-12-23 村田機械株式会社 キャリアの一時保管装置と一時保管方法
CN106573728B (zh) 2014-09-10 2019-09-24 村田机械株式会社 临时保管系统、使用了它的输送系统和临时保管方法
KR20170058393A (ko) 2014-09-25 2017-05-26 무라다기카이가부시끼가이샤 퍼지 장치 및 퍼지 방법
JP6048686B2 (ja) 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
GB201509921D0 (en) * 2015-06-08 2015-07-22 Ocado Innovation Ltd Object storage, handling and retrieving system and method
JP6507897B2 (ja) * 2015-07-10 2019-05-08 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6551530B2 (ja) * 2015-08-25 2019-07-31 村田機械株式会社 パージ装置、パージストッカ、及びパージ方法
JP6679157B2 (ja) * 2015-10-27 2020-04-15 株式会社ディスコ 加工装置の搬送機構
EP3388368B1 (en) 2015-12-08 2020-07-01 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system
WO2017098813A1 (ja) * 2015-12-09 2017-06-15 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP6614330B2 (ja) 2016-03-03 2019-12-04 村田機械株式会社 一時保管システム
KR102165426B1 (ko) 2016-03-03 2020-10-14 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템
KR102512046B1 (ko) * 2016-06-29 2023-03-20 세메스 주식회사 캐리어 이송 장치
KR102490590B1 (ko) * 2016-06-29 2023-01-20 세메스 주식회사 캐리어 이송 장치
JP6760644B2 (ja) * 2016-07-22 2020-09-23 パスカルエンジニアリング株式会社 金型搬送台車
KR102165190B1 (ko) 2016-08-26 2020-10-12 무라다기카이가부시끼가이샤 유궤도 대차 시스템 및 유궤도 대차
JP6493339B2 (ja) * 2016-08-26 2019-04-03 村田機械株式会社 搬送容器、及び収容物の移載方法
WO2018088085A1 (ja) * 2016-11-14 2018-05-17 村田機械株式会社 天井搬送システムとこれに用いる中継搬送装置及び搬送方法
KR102302099B1 (ko) * 2017-05-19 2021-09-13 무라다기카이가부시끼가이샤 보관 시스템
CN111212797B (zh) * 2017-11-02 2021-07-20 村田机械株式会社 空中输送车系统以及其中的物品的暂时保管方法
US11239102B2 (en) 2018-03-22 2022-02-01 Murata Machinery, Ltd. Stocker system
US11011402B2 (en) * 2018-06-27 2021-05-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Transport system of semiconductor fabrication facility, associated movable container and method
JP7136236B2 (ja) * 2019-01-25 2022-09-13 村田機械株式会社 保管システム
KR20230032399A (ko) 2021-08-31 2023-03-07 삼성전자주식회사 기판 분석 설비 및 방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101003349A (zh) * 2006-01-17 2007-07-25 村田机械株式会社 桥式吊车系统
CN101088905A (zh) * 2006-06-16 2007-12-19 村田机械株式会社 桥式吊车系统
CN102869587A (zh) * 2010-03-08 2013-01-09 株式会社大福 物品输送设备

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE393585B (sv) * 1975-09-12 1977-05-16 Salen & Wicander Ab For hantering av enhetslaster avsedd kran
JPH0684251A (ja) * 1992-02-25 1994-03-25 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 自動記憶ライブラリー
JP3451649B2 (ja) * 1993-02-25 2003-09-29 株式会社片岡機械製作所 シートロール加工設備
US6435330B1 (en) * 1998-12-18 2002-08-20 Asyai Technologies, Inc. In/out load port transfer mechanism
US6889813B1 (en) * 2000-06-22 2005-05-10 Amkor Technology, Inc. Material transport method
US7991505B2 (en) * 2003-08-29 2011-08-02 Casepick Systems, Llc Materials-handling system using autonomous transfer and transport vehicles
JP2005150129A (ja) 2003-11-11 2005-06-09 Asyst Shinko Inc 移載装置及び移載システム
JP4337683B2 (ja) * 2004-08-16 2009-09-30 村田機械株式会社 搬送システム
JP2006096427A (ja) * 2004-09-28 2006-04-13 Murata Mach Ltd 物品保管設備
JP4296601B2 (ja) 2005-01-20 2009-07-15 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP4221603B2 (ja) * 2005-03-31 2009-02-12 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP5145686B2 (ja) 2006-10-20 2013-02-20 村田機械株式会社 搬送システム
JP4688824B2 (ja) * 2007-01-12 2011-05-25 村田機械株式会社 天井走行車システム及び天井走行車システムの周囲の処理装置の搬出入方法
JP4378655B2 (ja) 2007-03-07 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品処理設備
DE102007035839B4 (de) * 2007-07-31 2017-06-22 Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg Verfahren und System zum lokalen Aufbewahren von Substratbehältern in einem Deckentransportsystem zum Verbessern der Aufnahme/Abgabe-Kapazitäten von Prozessanlagen
JP5369560B2 (ja) * 2008-09-10 2013-12-18 村田機械株式会社 搬送装置
JP4807424B2 (ja) * 2009-03-17 2011-11-02 村田機械株式会社 天井搬送システムと物品の移載方法
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101003349A (zh) * 2006-01-17 2007-07-25 村田机械株式会社 桥式吊车系统
CN101088905A (zh) * 2006-06-16 2007-12-19 村田机械株式会社 桥式吊车系统
CN102869587A (zh) * 2010-03-08 2013-01-09 株式会社大福 物品输送设备

Also Published As

Publication number Publication date
EP2450297B1 (en) 2014-03-05
JP2012111635A (ja) 2012-06-14
SG180144A1 (en) 2012-05-30
JP5229363B2 (ja) 2013-07-03
TW201233611A (en) 2012-08-16
US20120275886A1 (en) 2012-11-01
EP2450297A1 (en) 2012-05-09
KR20120047772A (ko) 2012-05-14
KR101423221B1 (ko) 2014-07-28
CN102556559A (zh) 2012-07-11
US8915690B2 (en) 2014-12-23
TWI525026B (zh) 2016-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102556559B (zh) 搬送系统及搬送方法
JP5382470B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
CN101837871B (zh) 桥式输送系统及物品的移载方法
TWI556344B (zh) 物品搬送設備
KR101489718B1 (ko) 물품 수납 설비와 그 작동 방법
CN103201198B (zh) 搬运系统以及搬运方法
JP6048686B2 (ja) 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
JP2006298566A (ja) 天井走行車とそのシステム
TW201415574A (zh) 高架移行車系統及高架移行車系統之控制方法
CN102753458A (zh) 输送车系统
JP5549757B2 (ja) 搬送システム
WO2019192327A1 (zh) 集装箱检查系统、转运方法及港口设施
JP2015196555A (ja) コンテナターミナル及びコンテナターミナルの運用方法
JP5729415B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
JP2013212884A (ja) コンテナターミナルとその制御方法
JP2013212890A (ja) コンテナターミナルとその制御方法
JP5516972B2 (ja) 物品搬送設備
JP2010058956A (ja) 物品収納設備

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: MURATA MACHINERY CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: ASYST TECHNOLOGIES

Effective date: 20130415

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20130415

Address after: Kyoto Japan

Applicant after: Murata Machinery Co., Ltd.

Address before: Kyoto Japan

Applicant before: Asyst Technologies

C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant