CN102753458A - 输送车系统 - Google Patents

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Murata Machinery Ltd
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Abstract

输送车系统（1）具备输送车（3）、CW传感器（57）及制造控制器（21）。输送车（3）在多个装置间输送装入有基板（50）的搬运器（49）。CW传感器（57）检测搬运器（49）内的基板（50）的状态。制造控制器（21）控制输送车（3）的输送，并且如果从CW传感器（57）输入异常信号，就使输送车（3）中止输送搬运器（49）。

Description

输送车系统
技术领域
本发明涉及输送车系统，特别涉及输送车输送内部收纳有多块基板的容器的输送车系统。
背景技术
以往，已知有具有预先设定的路径、设置在路径上的多个车站及沿着路径行走而输送物品的多个输送车的输送车系统。在输送车系统中，在车站与输送车之间进行货物抓起（将物品从车站装入到输送车上）或货物放下（将物品从输送车卸出到车站上）。
作为输送车系统的代表例，已知有在半导体工厂的输送系统中使用的桥式行走车（over head traveling vehicle）系统。桥式行走车系统由设置在天花板上的轨道和能够沿着轨道行走的桥式行走车构成。桥式行走车主要具有卡合在轨道上的行走部、能够保持积载了半导体晶片的FOUP的保持部及用来使保持部上下移动的移动机构。
还已知有用来移载半导体晶片或液晶玻璃的地上输送车。地上输送车具有车体主体及移载装置。移载装置例如由移载臂、基台、转台（turn table）及移载臂构成（例如，参照专利文献1）。
在专利文献1记载的地上输送车中，在构成移载臂的移载手（ハンド）上设置测量传感器（マツピングセンサ）。测量传感器通过探知缓冲搬运器内的各槽，检测晶片是否配置在各槽。
现有技术文献（专利文献）
专利文献1：日本特开2003-168718号公报
发明内容
发明所要解决的课题
在输送车系统中，输送车在处理装置、储料器间输送内部收纳有晶片的搬运器（キヤリア）。在这种情况下，在输送中有时发生搬运器倾斜从而内部的晶片在货架上倾斜或从槽脱落等不良状况。另外，当在处理装置中将晶片收纳在搬运器时，晶片有时会从槽的标准的位置偏离。若输送产生了这种不良状况的状态的搬运器，则该输送本身是徒劳的，所以输送效率降低。
本发明的课题在于，在输送车系统中输送效率不降低。
用来解决课题的手段
以下，作为用来解决课题的手段，说明多种方式。这些方式能够根据需要任意组合。
本发明所涉及的输送车系统具备输送车、状态检测装置及输送控，制部。输送车在多个装置间输送装入了基板的容器。状态检测装置检测容器内的基板的状态。输送控制部控制输送车的输送，并且如果从状态检测装置输入异常信号，则中止将容器输送至目的地。
在该系统中，输送车在装置间输送容器。但是若容器内的基板的状态变为异常，中止输送车将容器输送至目的地。由此，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统的输送效率难以降低。
状态检测装置可以在输送车开始向目的地输送容器之前，检测容器内的基板的状态。在这种情况下，如果在容器向目的地输送开始之前从状态检测装置输入异常信号，输送控制部中止向目的地输送容器。
在该系统中，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统的输送效率难以降低。
输送控制部如果从状态检测装置输入异常信号，则可以使输送车从装置向异常处理装置或检查装置输送容器。
在该系统中，直接应对或检查容器内的基板的异常。
装置是对基板实施处理的基板处理装置，输送控制部如果从状态检测装置输入异常信号，则可以使输送车从基板处理装置搬出容器。
在这种情况下，无论正常还是异常，都从基板处理装置搬出容器。因此，基板处理装置的运转率变高。
输送车系统可以还包括附设于装置的装置附近自动仓库。在这种情况下，在输送车将容器从装置附近自动仓库搬出到下一工序的装置时，状态检测装置检测容器内的基板的状态。
在该系统中，如果在输送车将容器从装置附近自动仓库搬出到下一工序的装置时容器内的基板的状态为异常，就中止输送车向目的装置输送容器。由此，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统的输送效率难以降低。
状态检测装置可以设置于装置附近自动仓库的出库口。在此情况下，状态检测装置检测放置于出库口的容器内的基板的状态。
状态检测装置可以设置于装置附近自动仓库的内部。在此情况下，状态检测装置检测从装置出来后的容器内的基板的状态。
输送车系统可以还包括沿输送车的路径配置并且能够暂时放置容器的缓冲区。在这种情况下，状态检测装置设置于缓冲区，并在缓冲区检测容器内的基板的状态。
在该系统中，如果在输送车从缓冲区向远离的装置搬出容器时容器内的基板的状态为异常，输送车中止之后的容器的输送。由此，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统的输送效率难以降低。
输送车系统可以还包括沿输送车的路径配置的路径配置自动仓库。在这种情况下，状态检测装置设置于路径配置自动仓库，在径配置自动仓库检测容器内的基板的状态。
在该系统中，如果在输送车将容器从路径配置自动仓库搬出到远离的装置时容器内的基板的状态为异常，输送车就中止容器的输送。由此，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统的输送效率不降低。
状态检测装置可以设置于输送车，检测由输送车输送的容器内的基板的状态。
在该系统中，如果输送车开始输送容器时容器内的基板的状态为异常，输送车就中止容器的输送。由此，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统的输送效率难以降低。
发明的效果
在本发明所涉及的输送车系统中，恰当地检测容器内部的基板的状态，所以输送效率难以降低。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式所涉及的输送车系统的布局的局部俯视图。
图2是桥式行走车的侧视图。
图3是桥式行走车在处理装置与外部缓冲区（サイドバツフア）之间行走时的主视图。
图4是第2处理装置的概略侧视图。
图5是表示搬运器和CW传感器的立体图。
图6是表示搬运器和CW传感器的俯视图。
图7是表示搬运器和CW传感器的侧视图。
图8是表示输送车系统的控制系统的框图。
图9是表示CW传感器及处理装置的通信结构的框图。
图10是表示从装置前储料器输送搬运器的动作的模式图。
图11是表示从处理装置及储料器、缓冲区输送搬运器的动作的模式图。
图12是表示输送车从处理装置输送搬运器的动作的模式图。
图13是表示检测搬运器内的基板的状态的处理的流程图。
具体实施方式
（1）输送车系统的布局
适用本发明的一实施方式的输送车系统1是用来使多个输送车3在设定的路径上行走的系统。输送车3在路径上行走，并按照由上位的控制器分派的输送指令，从目的场所装入物品，接着行走到输送目的地的场所将物品卸出到输送目的地的场所。
输送车系统1能够适用于半导体或液晶的制造工厂。在制造工厂中，在硅晶片或玻璃板等的基板上，经薄膜形成、氧化、蚀刻等各种处理结构而在基板上形成半导体器件或液晶器件。在这种处理装置之间，输送车3输送收纳有基板的搬运器。
图1示出了输送车系统1的布局。输送车系统1具有多条环绕行走路5和连接多条环绕行走路5的主干行走路7。主干行走路7整体成为一条环绕路径。沿着环绕行走路5设置多个第1处理装置9，沿着主干行走路7设置多个储料器11。储料器11实现环绕行走路5上的第1处理装置9组间的缓冲区的功能。
第1处理装置9及储料器11中设置有：入库口13，用来将物品搬入设备内；及出库口15，用来从设备搬出物品。此外，入库口13和出库口15也可以兼用。
并且，沿着环绕行走路5设置有多个第2处理装置51。第2处理装置51具有处理装置主体53和处理装置前储料器55。处理装置前储料器55上设置有入库口13和出库口15。
环绕行走路5的内侧配置有多块外部缓冲区17。外部缓冲区17如图3所示，具有载置部24和从洁净室的天花板29吊着载置部24的一对支承部件26。并且，在各个第1处理装置9之间并且是环绕行走路5的下方配置有下部缓冲区19。下部缓冲区19与外部缓冲区17同样地，具有载置部和从天花板吊着载置部的一对支承部件。
（2）输送车的构造
用图2及图3对输送车3的构造进行说明。
环绕行走路5主要由行走轨道30构成。行走轨道30由支柱31从洁净室的天花板29支承。行走轨道30由行走轨道主体32和供电轨道33构成。
输送车3具有主体壳34、行走驱动部35及受电部36。主体壳34设置于行走轨道30的下方。行走驱动部35在行走轨道主体32内行走。受电部36从供电轨道33受电。
输送车3是用来在装置间输送搬运器49（例如，FOUP）的装置。在搬运器49内，收纳有多块基板50（例如，晶片）。输送车3是悬吊式的输送车，并且，具有横向移动机构39、升降驱动部40及升降台41。升降驱动部40能够通过带子或线材、绳子等吊持件使升降台41升降。升降台41能够通过柄来卡住或解除搬运器49的上部的凸缘。横向移动机构39能够使升降驱动部40、升降台41及搬运器49在与行走轨道30的前进方向垂直的方向上（左右方向上）横向移动。
在输送车3的前后，还以从前后夹着搬运器49的方式设置有前侧盖37和后侧盖38。
如图3所示，输送车3在其侧部与外部缓冲区17的支承部件26的侧方接近的位置行走。另外，输送车3在第1处理装置9的出库口15的上方行走。并且，虽未图示，但输送车3在下部缓冲区19的一对支承部件彼此之间的狭窄的空间行走。
（3）装置前储料器
用图4说明第2处理装置51。图4是第2处理装置的概略侧视图。
如前所述，第2处理装置51具有处理装置主体53和处理装置前储料器55。处理装置主体53是用来对基板进行适当处理的装置。处理装置前储料器55与处理装置主体53接近或相邻而设置。设置处理装置前储料器55用来调整输送车3与处理装置主体53之间的处理时间。处理装置前储料器55具有多个货架，具有暂时保管向处理装置主体53搬入的搬运器49及从处理装置主体53搬出的搬运器49的功能。处理装置前储料器55在与处理装置主体53相反一侧具有入库口13和出库口15。并且，处理装置前储料器55具有用来与处理装置主体53之间进行搬运器49的搬入或搬出的交付口56。
通过设置这种处理装置前储料器55，即使搬运器49的搬入或搬出由于处理装置主体53或输送车3的故障而拖延，也能够不发生系统故障从而连续地将物品搬入及搬出第2处理装置51。
此外，在图4中，省略了以下三种装置。
·在入库口13及出库口15与处理装置主体53之间移载搬运器49的装置
·在处理装置前储料器55内移动搬运器49的堆装起重机
·在交付口56和处理装置主体53之间移载搬运器49的装置
（4）CW传感器
用图5～图7说明CW传感器（Cassette Wafer）57。图5是表示搬运器和CW传感器的立体图，图6是表示搬运器和CW传感器的俯视图，图7是表示搬运器和CW传感器的侧视图。
CW传感器57设置于处理装置前储料器55的出库口15。CW传感器57具有第1光电传感器58及第2光电传感器59。第1光电传感器58及第2光电传感器59固定于不同的轴60。
第1光电传感器58及第2光电传感器59是各自独立的反射式传感器，能够接收对盖闭合状态下的搬运器49照射含有光的电磁波进而从内部的基板50反射回来的电磁波。通过以上的动作，第1光电传感器58及第2光电传感器59能够检测搬运器49内的基板50的有无、在有的情况下基板50是否以正常的状态配置于槽。更详细而言，检测的是搬运器49整体的槽中基板50的有无和该槽中多块基板50的有无。通过以上，能够检测出基板50斜着收纳于槽、基板50收纳于预定外的槽及基板50有缺损来作为异常状态。
搬运器49相对于来自光电传感器的放射具有透过性。因此，不打开搬运器49的盖就能够知道内部的基板的状态。例如，搬运器49可以整体或部分为透明或半透明。另外，电磁波的波长未特别限定。
在该实施例中，无需打开搬运器49的盖，所以检测动作变得简单并且迅速。
（5）输送车系统的控制系统
用图8说明输送车系统1的控制系统20。图8是表示输送车系统的控制系统的框图。
控制系统20具有制造控制器21、物流控制器23、储料器控制器25及输送车控制器27。
物流控制器23是储料器控制器25及输送车控制器27上位的控制器。
输送车控制器27具有管理多个输送车3，并对它们分派输送指令的分派功能。此外，“输送指令”包括与行走有关的指令、与货物抓起位置和货物放下位置有关的指令。
制造控制器21能够与第1处理装置9及第2处理装置51之间进行通信。第1处理装置9及第2处理装置51向制造控制器21发送处理结束的搬运器49的输送请求（货物抓起请求或货物放下请求）。
制造控制器21将来自第1处理装置9及第2处理装置51的输送请求发送至物流控制器23，物流控制器23将报告发送至制造控制器21。
物流控制器23在从制造控制器21收到输送请求后，在输送请求伴随着储料器11的入库或出库的情况下，在指定的时机向储料器控制器25发送入库指令及出库指令。并且，储料器控制器25据此向储料器11发送入库及出库指令。进一步，物流控制器23从制造控制器21收到输送请求后，将其转换为输送指令，并进行对输送车3的输送指令分派动作。
输送车控制器27为了生成输送指令而与各输送车3连续地通信，并基于从各输送车3发送来的位置数据取得该位置信息。作为取得位置信息的例子，有以下的方法。第一、在输送轨道上事先设定多个点，在输送车3通过点时将通过信号发送至输送车控制器27。在此基础上，输送车控制器27存储输送车3刚刚通过了的点和通过点的时刻。并且，基于该点区间的规定速度和时间运算并求出输送车3的位置。第二、，例如在输送车3设置编码器，将通过点之后的行走距离作为位置数据从输送车3发送至输送车控制器27，输送车控制器27据此掌握输送车3的位置。
输送车控制器27是由CPU、RAM、ROM等构成并执行程序的计算机，具有控制部和存储器。输送车控制器与输送车3通信联络，并且与物流控制器23通信联络。输送车控制器27的存储器中保存有路径地图。所谓路径地图，是记载行走路径的配置、原点的位置、以原点为基准的基准位置、移载位置的坐标的地图。坐标是将距原点的行走距离换算成输送车3的编码器的输出脉冲数等后的数。
输送车3具有控制部和存储器。控制部是由CPU、RAM、ROM等构成并执行程序的计算机。控制部能够与输送车控制器27通信联络。输送车3在存储器内具有路径地图，将在路径地图上记载的坐标和本机的内部坐标（通过编码器求出的坐标）进行比较，同时继续行走。
储料器控制器25是由CPU、RAM、ROM等构成并且执行程序的计算机，具有控制部和存储器。储料器控制器25与货物传感器及ID阅读器（未图示）连接，能够接收来自它们的检测信号。
储料器控制器25与起重机控制器（未图示）能够通信联络地连接。起重机控制器与堆装起重机（未图示）连接，能够对堆装起重机发送控制信号。
（6）CW传感器的通信结构
用图9说明CW传感器的通信结构。图9是表示CW传感器及处理装置的通信结构的框图。
在输送车系统1中，配置有多个第1处理装置9及第2处理装置51，与之相对应地设置有CW传感器57。CW传感器57上连接有CW传感器控制器61。CW传感器控制器61是由CPU、RAM、ROM等构成并且执行程序的计算机，具有控制部和存储器。CW传感器控制器61接收来自CW传感器57的检测信息，并且判断基板50的正常或异常。
CW传感器控制器61还连接有制造控制器21。制造控制器21基于来自CW传感器控制器61的信息，并对物流控制器23发送输送请求或输送中止请求。
（7）输送开始前的检测搬运器内部的动作
利用图10及图13，说明对输送车3将搬运器49从第2处理装置51的处理装置前储料器55输送至其他装置时的搬运器内部进行检测的动作。图10是表示从装置前储料器输送搬运器的动作的模式图。图13是表示检测搬运器内的基板的状态的处理的流程图。
在图13的步骤S1中，在处理装置前储料器55，未图示的堆装起重机将搬运器49移动到出库口15。在步骤S2中，CW传感器控制器61基于来自CW传感器57的检测信息，判断搬运器49内的基板50的状态是否正常。正常的情况下，处理转移至步骤S3。异常的情况下，处理转移至步骤S4。
此外，作为变形例，可以事先将传感器的安装目的地设为储料器内部，从而直接确认处理结束而出来的搬运器内的晶片的状态。另外，可以在对输送车分派搬出指令时，在输送车到达之前的等待时间确认搬运器内的晶片的状态，如果异常则中止搬出指令分派。
在步骤S3，CW传感器控制器61将为正常的意思发送至制造控制器21。并且，制造控制器21将输送请求发送至物流控制器23。由此，输送车3将搬运器49输送至目的装置。在目的装置中，通过在到达以前确认基板50的正常状态，由此有时在搬入时也可以不确认在负载口的基板50的状态。在这种情况下，能够在负载口打开搬运器后直接处理基板50。
在步骤S4中，CW传感器控制器61将为异常的意思发送至制造控制器21。并且，制造控制器21将异常时的输送请求发送至物流控制器23。由此，输送车3进行将搬运器49输送到异常搬运器处理装置（未图示）。即，对目的地的输送被中止。在异常搬运器处理装置中，基板返回到正常的状态。此外，也可以进行将搬运器的目的地变更为检查装置的处理。
若总结以上，则输送车系统1具备输送车3、CW传感器57及制造控制器21。输送车3在多个装置间输送装入了基板50的搬运器49。CW传感器57检测搬运器49内的基板50的状态。制造控制器21控制输送车3的输送，并且如果从CW传感器57输入异常信号，则输送车3中止将搬运器49从装置输送到其他装置。此外，也可以进行将搬运器的目的地变更为检查装置的处理。
在该系统中，输送车3在装置间输送搬运器49。但是，若搬运器49内的基板50的状态变为异常，则中止输送车3将搬运器49从装置输送至其他装置。由此，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统1的输送效率难以降低。即，本发明的课题是通过减少徒劳的输送来提高输送效率，本发明的解决手段是在输送开始前检测来自装置的搬运器内的基板状态。
另外，在上述实施方式中，在从第2处理装置51输送搬运器49时确认基板50的状态，无论在正常或异常任一情况，输送车3都将搬运器49从第2处理装置51搬出。因此，第2处理装置51的运转率变高。
（8）本发明的特征
输送车系统1具备输送车3、CW传感器57（状态检测装置）和各种控制器（输送控制部）。输送车3在多个装置间输送装入了基板50的搬运器49。CW传感器57检测搬运器49内的基板50的状态。各种控制器控制输送车3的输送，并且如果从CW传感器57输入异常信号，就中止将搬运器49输送至目的地。
在该输送车系统1中，输送车3在装置间输送搬运器49。但是，如果搬运器49内的基板50的状态变为异常，则中止输送车3将搬运器49输送至目的地。由此，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统1的输送效率难以降低。
CW传感器57在输送车3将搬运器49向目的地输送开始前，检测搬运器49内的基板50的状态。在这种情况下，制造控制器21在搬运器49向目的地输送开始之前，如果从CW传感器57输入异常信号，则中止将搬运器49输送至目的地。
在该输送车系统1中，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统1的输送效率难以降低。
（9）其他实施方式
以上，说明本发明的实施方式，但本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离发明宗旨的范围内能够进行各种变更。特别是本说明书所述的多个实施方式及变形例能够根据必要任意组合。
（9-1）在其他装置设置有CW传感器的变形例
在所述实施方式中，说明了在处理装置前储料器55设置有CW传感器57的情况，但本发明不限定于此。作为本发明所涉及的实施方式，只要在从CW传感器57输入异常信号时中止输送车3从装置向其他装置输送搬运器49即可，CW传感器57的位置可以在任何地方。
作为第1变形例，说明了第1处理装置9、储料器11、外部缓冲区17、下部缓冲区19的全部或一部分设置有CW传感器57的例子。图11公开了这种实施例。图11是表示从处理装置及储料器、缓冲区输送搬运器的动作的模式图。在这种情况下，在从第1处理装置9、储料器11、外部缓冲区17、下部缓冲区19向其他装置输送搬运器49时，执行图13的处理。
例如，CW传感器57设置于第1处理装置9，在第1处理装置9检测搬运器49内的基板50的状态。在该系统中，如果在输送车3从第1处理装置9向远离的装置搬出搬运器49时搬运器49内的基板50的状态为异常，则输送车3中止搬运器49的输送。由此，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统1的输送效率难以降低。
在该变形例中，在从第1处理装置9输送搬运器49时确认基板50的状态，无论正常或异常中的任一个，输送车3都从第1处理装置9搬出搬运器49。因此，第1处理装置9的运转率变高。
例如，CW传感器57设置于储料器11，在储料器11检测搬运器49内的基板50的状态。在该系统中，如果在输送车3从储料器11向远离的装置搬出搬运器49时搬运器49内的基板50的状态为异常，则输送车3中止搬运器49的输送。由此，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统1的输送效率难以降低。
例如，CW传感器57设置于外部缓冲区17及下部缓冲区19，在外部缓冲区17及下部缓冲区19检测搬运器49内的基板50的状态。在该系统中，如果在输送车3从外部缓冲区17及下部缓冲区19向远离的装置搬出搬运器49时搬运器49内的基板50的状态为异常，则输送车3中止之后的搬运器49的输送。由此，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统1的输送效率难以降低。
作为第2变形例，说明输送车3设置有CW传感器57的例子。图12公开了这种实施例。图12是表示输送车从处理装置输送搬运器的动作的模式图。在该系统中，如果在输送车3开始输送搬运器49时搬运器49内的基板50的状态为异常，则输送车3中止向搬运器49的目的位置的输送。由此，没有徒劳的输送作业，其结果是，输送车系统1的输送效率难以降低。
在该例中，输送车3在从第1处理装置9、储料器11、外部缓冲区17向其他装置输送搬运器49时执行图13的处理。
（9-2）其他变形例
CW传感器57可以仅设置于一种装置，也可以设置与多种装置。但是，如图10所示，在处理装置前储料器55设置CW传感器57时，可以在从处理装置前储料器55向其他处理装置输送搬运器49时仅检测一次基板50的状态，所以效率高。因此，将CW传感器57仅设置于处理装置前储料器这一实施例是有效的。
CW传感器的种类只要是非接触传感器即可。不特别限定。例如，CW传感器可以是透过式的光电传感器，也可以是由泛光灯和照相机构成的传感器。
一处CW传感器57可以是一个，也可以是三个以上。
CW传感器57可以设置于地面缓冲区。
CW传感器57可以不是向制造控制器21而是向第1处理装置9或第2处理装置51的控制器发送检测信号。在此情况下，从第1处理装置9或第2处理装置51的控制器向制造控制器21发送检测信号。
并且，CW传感器57可以向设置的场所的装置的控制器发送检测信号。例如，CW传感器57能够向储料器控制器25、输送车控制器27、输送车3内的控制器发送检测信号。
输送车系统的布局及控制系统不限定于上述实施方式。另外，适用输送车系统的设备的种类也不限定于所述实施方式。
输送车的种类可以是桥式行走车、无轨道行走的无人输送车、有轨道台车中的任一个。
产业上的可利用性
本发明能够广泛适用于输送车输送内部收纳有多块基板的容器的输送车系统。
符号说明
1输送车系统
3输送车
5环绕行走路
7主干行走路
9第1处理装置
11储料器（路径配置自动仓库）
13入库口
15出库口
17外部缓冲区（缓冲区）
19下部缓冲区（缓冲区）
20控制系统
21制造控制器（输送控制部）
23物流控制器
24载置部
25储料器控制器
26支承部件
27输送车控制器
29天花板
30行走轨道
31支柱
32行走轨道主体
33供电轨道
34主体壳
35行走驱动部
36受电部
37前侧盖
38后侧盖
39横向移动机构
40升降驱动部
41升降台
49搬运器（容器）
50基板
51第2处理装置
53处理装置主体
55处理装置前储料器（装置附近自动仓库）
56交付口
57CW传感器（状态检测装置）
58第1光电传感器
59第2光电传感器
60轴
61CW传感器控制器

Claims (14)

1.一种输送车系统，包括：
输送车，用来在多个装置间输送装入了基板的容器；
状态检测装置，用来检测所述容器内的所述基板的状态；以及
输送控制部，控制所述输送车的输送，并且如果从所述状态检测装置输入异常信号，就中止向目的地输送所述容器。
2.根据权利要求1所述的输送车系统，其中，
所述状态检测装置在所述输送车开始向目的地输送所述容器之前，检测所述容器内的基板的状态，
如果在所述输送车开始向目的地输送所述容器之前从所述状态检测装置输入异常信号，所述输送控制部就中止向目的地输送所述容器。
3.根据权利要求2所述的输送车系统，其中，
如果从所述状态检测装置输入异常信号，所述输送控制部就使所述输送车从所述装置向异常处理装置或检查装置输送所述容器。
4.根据权利要求2所述的输送车系统，其中，
所述装置是对所述基板实施处理的基板处理装置，
如果从所述状态检测装置输入异常信号，所述输送控制部就使所述输送车从所述基板处理装置搬出。
5.根据权利要求3所述的输送车系统，其中，
所述装置是对所述基板实施处理的基板处理装置，
如果从所述状态检测装置输入异常信号，所述输送控制部就使所述输送车从所述基板处理装置搬出所述容器。
6.根据权利要求2所述的输送车系统，还包括：
附设于所述装置的装置附近自动仓库，
在所述输送车将所述容器从所述装置附近自动仓库搬出到下一工序的装置时，所述状态检测装置检测所述容器内的所述基板的状态。
7.根据权利要求6所述的输送车系统，其中，
如果从所述状态检测装置输入异常信号，所述输送控制部就使所述输送车从所述装置向异常处理装置或检查装置输送所述容器。
8.根据权利要求6所述的输送车系统，其中，
所述状态检测装置设置于所述装置附近自动仓库的出库口，
所述状态检测装置检测放置于所述出库口的所述容器内的所述基板的状态。
9.根据权利要求7所述的输送车系统，其中，
所述状态检测装置设置于所述装置附近自动仓库的出库口，
所述状态检测装置检测放置于所述出库口的所述容器内的所述基板的状态。
10.根据权利要求6所述的输送车系统，其中，
所述状态检测装置设置于所述装置附近自动仓库的内部，
所述状态检测装置检测所述容器从装置出来后的所述容器内的所述基板的状态。
11.根据权利要求7所述的输送车系统，其中，
所述状态检测装置设置于所述装置附近自动仓库的内部，
所述状态检测装置检测所述容器从装置出来后的所述容器内的所述基板的状态。
12.根据权利要求2所述的输送车系统，还包括：
沿所述输送车的路径配置并且能够暂时放置所述容器的缓冲区，
所述状态检测装置设置于所述缓冲区，在所述缓冲区检测所述容器内的所述基板的状态。
13.根据权利要求2所述的输送车系统，还包括：
沿所述输送车的路径配置的路径配置自动仓库，
所述状态检测装置设置于所述路径配置自动仓库，在所述路径配置自动仓库检测所述容器内的所述基板的状态。
14.根据权利要求2所述的输送车系统，其中，
所述状态检测装置设置于所述输送车，检测由所述输送车输送的所述容器内的所述基板的状态。
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Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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