JP6888529B2 - 搬送車 - Google Patents
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Description
前記収納容器は、当該収納容器の外部と内部との間で光を透過可能な窓部を有し、
前記収納容器を保持する容器保持部と、
前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器を覆うカバー部と、
前記収納容器を保持した状態の前記容器保持部の姿勢を変更する姿勢変更部と、
前記カバー部に設けられて、前記窓部を通して前記収納容器の内部の前記被収納物を検出する検出部と、を備え、
前記姿勢変更部は、旋回軸回りに前記容器保持部を旋回させるように構成され、
前記窓部は、前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器における、前記旋回軸を基準とした周方向の一部の領域に設けられ、
前記検出部の前記旋回軸に沿う方向の位置が、前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器の前記窓部の位置に対応するように、前記検出部が配置され、
前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中に前記検出部と前記窓部とが対向していない場合には、前記検出部と前記窓部とが対向する対向状態となるように、前記容器保持部の姿勢を変更し、
前記対向状態は、前記検出部と前記窓部とが、前記旋回軸を基準とした径方向に対向する状態である点にある。
また、本構成によれば、容器保持部に保持された状態の収納容器の姿勢の変更を、容器保持部の旋回という比較的簡単な動作によって実現可能となる。また、旋回軸に沿う方向における検出部の配置位置が、容器保持部に保持された状態の収納容器の窓部の位置に対応しているため、容器保持部を旋回動作させるだけで、検出部と窓部とを対向状態とすることができる。従って、比較的簡素な構成により、収納容器の搬送中に、当該収納容器の内部の被収納物を検出することができる。
第1実施形態に係る搬送車について図面を参照して説明する。図1及び2に示すように、搬送車1は、搬送設備100に備えられて、被収納物7を収納する収納容器8を搬送設備100内に設けられた搬送対象場所Tに搬送する。
図1に示すように、搬送設備100には、露光処理やエッチング処理などの各種の処理を行うための処理装置91が複数設けられている。搬送設備100では、半導体基板の材料とされるウエハや、半導体基板の製造過程においてウエハの露光処理に用いられるレチクルなどが搬送される。例えば、レチクルは、レチクルポッドと呼ばれる専用の容器に収納された状態で搬送される。また、ウエハは、いわゆるFOUP(Front Opening Unified Pod)と呼ばれる専用の容器に収納された状態で搬送される。本実施形態では、レチクルが「第1種被収納物」に相当し、レチクルを収納するためのレチクルポッドが「収納容器としての第1種収納容器」に相当する。また、ウエハが「第2種被収納物」に相当し、FOUPが「第2種収納容器」に相当する。なお、搬送車1は、状況に応じて、第1種被収納物71が収納された第1種収納容器81を搬送することもあれば、第1種被収納物71が収納されていない空の第1種収納容器81を搬送することがある。同様に、搬送車1は、状況に応じて、第2種被収納物72が収納された第2種収納容器82を搬送することもあれば、第2種被収納物72が収納されていない空の第2種収納容器82を搬送することがある。
次に、搬送設備100の制御構成について図4を参照して説明する。搬送設備100は、設備全体を制御する統括制御装置Htと、搬送車1の動作を制御する個別制御装置Hmと、を備えている。個別制御装置Hmは、複数の搬送車1のそれぞれに備えられている。これらの制御装置は、例えば、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアと、コンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムと、の協働により、各機能が実現される。
次に、搬送車1(個別制御装置Hm)が、統括制御装置Htから搬送指令を受けてから、搬送対象場所Tに第1種収納容器81を引き渡す(移載する)までに実行される動作処理について、図6を参照して説明する。
ここで、被収納物検出処理(#6)の直後に行う確認処理(#7)について説明する。図7に示すように、確認処理(#7)では、被収納物検出処理(#6)の実行により第1種収納容器81の内部に第1種被収納物71が有ると判定された場合には(#101;Yes)、個別制御装置Hmは、統括制御装置Htにより指定された搬送対象場所T(搬送先)が一時保管場所93であるか否かを判定する(#102)。そして、搬送対象場所T(搬送先)が一時保管場所93であると判定された場合には(#102;Yes)、個別制御装置Hmは、その旨を統括制御装置Htに報知すると共に(#103)、搬送指令を再度要求する(#104)。これにより、統括制御装置Htは、一時保管場所93以外の他の搬送対象場所Tへ搬送するように、搬送車1に対して搬送指令を行う。すなわち、個別制御装置Hmは、一時保管場所93以外の新たな搬送対象場所Tへ搬送するように、統括制御装置Htから指令される。そして、個別制御装置Hmは、行先を新たな搬送対象場所T(搬送先)に変更し(#105)、当該新たな搬送対象場所T(搬送先)に向けた第1種収納容器81の搬送を実行する。なお、ステップ#101において第1種収納容器81の内部に第1種被収納物71が無いと判定された場合(#101;No)、及び、ステップ#102において搬送対象場所T(搬送先)が一時保管場所93でないと判定された場合は(#102;No)、個別制御装置Hmは、元々指定されている搬送対象場所Tに向かう第1種収納容器81の搬送を継続する。その後、個別制御装置Hmは、上述したステップ#8以降の処理を実行する。
次に、搬送車1の第2実施形態について説明する。本実施形態に係る搬送車1は、動作処理が上記第1の実施形態と異なる。なお、特に説明しない点については上記第1の実施形態と同様である。
次に、搬送車1又は搬送設備100のその他の実施形態について説明する。
以下、上記において説明した搬送車の概要について説明する。
前記収納容器は、当該収納容器の外部と内部との間で光を透過可能な窓部を有し、
前記収納容器を保持する容器保持部と、
前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器を覆うカバー部と、
前記収納容器を保持した状態の前記容器保持部の姿勢を変更する姿勢変更部と、
前記カバー部に設けられて、前記窓部を通して前記収納容器の内部の前記被収納物を検出する検出部と、を備え、
前記姿勢変更部は、旋回軸回りに前記容器保持部を旋回させるように構成され、
前記窓部は、前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器における、前記旋回軸を基準とした周方向の一部の領域に設けられ、
前記検出部の前記旋回軸に沿う方向の位置が、前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器の前記窓部の位置に対応するように、前記検出部が配置され、
前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中に前記検出部と前記窓部とが対向していない場合には、前記検出部と前記窓部とが対向する対向状態となるように、前記容器保持部の姿勢を変更し、
前記対向状態は、前記検出部と前記窓部とが、前記旋回軸を基準とした径方向に対向する状態である。
また、本構成によれば、容器保持部に保持された状態の収納容器の姿勢の変更を、容器保持部の旋回という比較的簡単な動作によって実現可能となる。また、旋回軸に沿う方向における検出部の配置位置が、容器保持部に保持された状態の収納容器の窓部の位置に対応しているため、容器保持部を旋回動作させるだけで、検出部と窓部とを対向状態とすることができる。従って、比較的簡素な構成により、収納容器の搬送中に、当該収納容器の内部の被収納物を検出することができる。
前記姿勢変更部は、前記容器保持部の旋回量を検出する旋回量センサを有していると好適である。
前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中は、前記検出部と前記窓部とが前記対向状態となるように前記容器保持部の姿勢を維持し、
前記搬送対象場所との間で前記収納容器を移載する際は、前記収納容器の姿勢が前記搬送対象場所に対応した姿勢となるように前記容器保持部の姿勢を制御すると好適である。
搬送元から前記搬送対象場所まで前記収納容器を搬送する場合において、前記搬送元に対応した前記収納容器の姿勢と前記搬送対象場所に対応した前記収納容器の姿勢とが同じである場合であって、その収納容器の姿勢が前記対向状態とならない姿勢である場合には、前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中に一時的に前記対向状態となるように、前記容器保持部の姿勢を変更すると好適である。
前記容器保持部及び前記カバー部は、前記収納容器としての第1種収納容器に加えて、前記第1種収納容器とは形状が異なる第2種収納容器にも対応しており、
前記第2種収納容器には、前記被収納物としての第1種被収納物とは異なる第2種被収納物が収納され、
前記検出部は、前記第1種収納容器に対応し、前記第2種収納容器に対応していないと好適である。
前記検出部により前記第1種収納容器の内部に前記第1種被収納物が有ることを検出した場合には、前記収納容器を一時的に保管するための一時保管場所が前記搬送対象場所とされることを規制すると好適である。
1 :搬送車
7 :被収納物
8 :収納容器
14 :容器保持部
15 :姿勢変更部
15A :旋回軸
17S :検出部
71 :第1種被収納物
72 :第2種被収納物
81 :第1種収納容器
81D :窓部
82 :第2種収納容器
93 :一時保管場所
T :搬送対象場所
F :搬送元
L :軸方向(旋回軸に沿う方向)
R :径方向
C :周方向
Claims (6)
- 搬送設備に備えられて、被収納物を収納する収納容器を前記搬送設備内に設けられた搬送対象場所に搬送する搬送車であって、
前記収納容器は、当該収納容器の外部と内部との間で光を透過可能な窓部を有し、
前記収納容器を保持する容器保持部と、
前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器を覆うカバー部と、
前記収納容器を保持した状態の前記容器保持部の姿勢を変更する姿勢変更部と、
前記カバー部に設けられて、前記窓部を通して前記収納容器の内部の前記被収納物を検出する検出部と、を備え、
前記姿勢変更部は、旋回軸回りに前記容器保持部を旋回させるように構成され、
前記窓部は、前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器における、前記旋回軸を基準とした周方向の一部の領域に設けられ、
前記検出部の前記旋回軸に沿う方向の位置が、前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器の前記窓部の位置に対応するように、前記検出部が配置され、
前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中に前記検出部と前記窓部とが対向していない場合には、前記検出部と前記窓部とが対向する対向状態となるように、前記容器保持部の姿勢を変更し、
前記対向状態は、前記検出部と前記窓部とが、前記旋回軸を基準とした径方向に対向する状態である搬送車。 - 前記姿勢変更部は、前記容器保持部の旋回量を検出する旋回量センサを有している請求項1に記載の搬送車。
- 前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中は、前記検出部と前記窓部とが前記対向状態となるように前記容器保持部の姿勢を維持し、
前記搬送対象場所との間で前記収納容器を移載する際は、前記収納容器の姿勢が前記搬送対象場所に対応した姿勢となるように前記容器保持部の姿勢を制御する請求項1又は2に記載の搬送車。 - 搬送元から前記搬送対象場所まで前記収納容器を搬送する場合において、前記搬送元に対応した前記収納容器の姿勢と前記搬送対象場所に対応した前記収納容器の姿勢とが同じである場合であって、その収納容器の姿勢が前記対向状態とならない姿勢である場合には、前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中に一時的に前記対向状態となるように、前記容器保持部の姿勢を変更する請求項1又は2に記載の搬送車。
- 前記容器保持部及び前記カバー部は、前記収納容器としての第1種収納容器に加えて、前記第1種収納容器とは形状が異なる第2種収納容器にも対応しており、
前記第2種収納容器には、前記被収納物としての第1種被収納物とは異なる第2種被収納物が収納され、
前記検出部は、前記第1種収納容器に対応し、前記第2種収納容器に対応していない請求項1から4のいずれか一項に記載の搬送車。 - 前記検出部により前記第1種収納容器の内部に前記第1種被収納物が有ることを検出した場合には、前記収納容器を一時的に保管するための一時保管場所が前記搬送対象場所とされることを規制する請求項5に記載の搬送車。
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