TWI527084B - Direction adjustment device and direction adjustment method - Google Patents

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Description

方向調整裝置及方向調整方法
本發明，是有關於調整貨物、及將該貨物載置的載置台的相對的方向用的方向調整裝置。
習知的曝光裝置，是藉由將被描繪在光柵的電路圖型複寫在半導體元件的方式製造電子零件。此時，為了防止污染，光柵是在被收納於容器的狀態下被插入曝光裝置。且，光柵的朝曝光裝置的插入方向，是依據機種不同而相異。更具體而言，光柵的朝曝光裝置的插入方向是預先被決定，且光柵被收納的狀態的容器的朝曝光裝置的插入方向是預先被決定。
因此，在習知的光柵保管庫等中，設有可配合曝光裝置的機種來調整容器內的光柵的方向用的機構。具體而言，在已存在的光柵保管庫中，已設有一種機構作為方向調整裝置，該機構，是從開盒機內的容器將光柵取出，由旋轉台將光柵只有旋轉預定的角度，再度將光柵收納於開盒機內的容器的機構。
先行技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本特開2008-30914號公報
但是依據上述的機構的話，需要將光柵從開盒機移動至旋轉台，旋轉之後再度從旋轉台移動至開盒機。其結果，會有在開盒機及旋轉台之間移載光柵的處理方面會花費很多時間的課題。
在此，本發明是有鑑於上述的課題，其目的是提供一種方向調整裝置，可以由短時間且少步驟，調整貨物及將該貨物載置的載置台的相對的方向。
本發明的一形態的方向調整裝置，是貨物的朝外部裝置的插入方向是預先被決定，且朝前述貨物已載置狀態的載置台的外部裝置的插入方向是預先被決定的情況時，調整前述貨物及前述載置台的相對的方向用的裝置。具體而言，具備：使前述載置台旋轉的旋轉裝置、及使不會變更其方向地保持前述貨物用的保持裝置、及為了將前述貨物及前述載置台的相對的方向調整成預先被決定的方向而將前述旋轉裝置及前述保持裝置控制的控制器°且，前述控制器，是進行以下的控制：由前述保持裝置，在從被保持於前述旋轉裝置的前述載置台隔離的狀態下將前述貨物保持，由前述旋轉裝置，將前述貨物被隔離的狀態的前述載置台從初期位置旋轉至目的位置，由前述保持裝置，將前述貨物載置於被旋轉直到前述目的位置為止的前述載置台 ，由前述旋轉裝置，將前述貨物已載置狀態的前述載置台從前述目的位置旋轉至前述初期位置。
依據上述構成的話，因為不需要如習知將貨物移載至他處，所以可以削減在移載所需要的週期時間。其結果，可以由短時間且少步驟來調整貨物及載置台的相對的方向。
且前述保持裝置，是在將前述貨物保持的狀態下朝上下方向移動，將前述貨物保持於從前述載置台朝上方只有隔離預定距離的保持位置也可以。由此，將載置台旋轉之後再度將貨物載置時，因為不需要定位等的步驟，所以可更短時間且少步驟地進行方向的調整。
進一步，前述控制器，是藉由前述保持裝置將前述貨物從前述載置台隔離之後，且在到達前述保持位置之前，藉由前述旋轉裝置開始從前述載置台的前述初期位置朝前述目的位置的旋轉也可以。如此，藉由並行：將貨物從載置台隔離的步驟、及將載置台旋轉的步驟，可更短時間且少步驟地進行方向的調整。
進一步，該方向調整裝置，是具備確認前述貨物及前述載置台的相對的方向用的方向確認裝置也可以。且，前述控制器，是藉由前述旋轉裝置將前述載置台旋轉至前述初期位置之後，由前述方向確認裝置確認前述貨物及前述載置台的相對的方向也可以。由此，可以在確認貨物及載置台的相對的方向之後，朝後續過程送出。
本發明的一形態的方向調整方法，是貨物的朝外部裝 置的插入方向是預先被決定，且前述貨物已載置狀態的載置台的朝外部裝置的插入方向是預先被決定的情況時，由具備使前述載置台旋轉的旋轉裝置、及使其方向不會變更地將前述貨物保持用的保持裝置之方向調整裝置，調整前述貨物及前述載置台的相對的方向的方法。具體而言，方向調整方法，是包含：由前述保持裝置，在從被保持於前述旋轉裝置的前述載置台隔離的狀態下將前述貨物保持的步驟；及由前述旋轉裝置，將前述貨物被隔離的狀態的前述載置台從初期位置旋轉至目的位置的步驟；及由前述保持裝置，將前述貨物載置於被旋轉至前述目的位置的前述載置台的步驟；及由前述旋轉裝置，將前述貨物已載置狀態的前述載置台從前述目的位置旋轉至前述初期位置的步驟。
依據本發明的話，因為不需要如習知將貨物移載至他處，所以可以由短時間且少步驟來調整貨物及載置台的相對的方向。
以下，參照圖面，說明本發明的實施例。
首先，參照第1圖~第3圖，說明包含本發明的實施例的方向調整裝置的清淨貯藏庫100的構成。又，第1圖，是實施例的清淨貯藏庫100的前視圖。第2圖，是第1 圖的II-II線剖面圖。第3圖，是第1圖的III-III線剖面圖。
清淨貯藏庫100，是被設在半導體工場或液晶工場等的清淨室內，各別保管：半導體或液晶基板的曝光用的光柵(貨物)、及將光柵收納的容器。且，光柵的朝曝光裝置(外部裝置)的插入方向是預先被決定，且光柵已載置的狀態的容器的朝曝光裝置的插入方向是預先被決定。
具體而言，清淨貯藏庫100，主要具備：旋轉棚110、及光柵搬運裝置120、及容器搬運裝置130、及開盒機140、及OHT(懸掛式搬運系統)自動裝載埠150、及手動裝載埠160、及風扇過濾器元件(FFU)170、及控制器180。且，旋轉棚110，是具備上下多段的多數的段，從上依序被區分成：光柵用旋轉棚111、及空容器用旋轉棚112。
又，本發明的一形態的方向調整裝置，是例如，由：清淨貯藏庫100的構成要素之中作為旋轉裝置功能的開盒機140(更具體而言，後述的載置部142)、及作為保持裝置功能的光柵搬運裝置120、及控制器180所構成。對於各部的構成及動作，如後述。
光柵用旋轉棚111，是保管半導體或液晶基板的曝光用的光柵的棚。空容器用旋轉棚112，是保管光柵未被收納的空的容器(以下表記為「空容器」)的棚。又，空容器用旋轉棚112中的容器的保管數量，即使是比光柵用旋轉棚111中的光柵的保管數量更少也可以，例如，1/10~ 1/100程度也可以。
光柵用旋轉棚111及空容器用旋轉棚112，是一體旋轉，或各段獨立不旋轉也可以。或是為了將收納物的出入更高速進行，進一步將各棚分割成上下複數區段，在各區段獨立旋轉也可以。
光柵搬運裝置120，是被設在清淨貯藏庫100內部的前同一面方側(在第1圖中，朝向左側)。此光柵搬運裝置120，是在光柵用旋轉棚111及開盒機140之間搬運光柵，並在開盒機140內移動光柵的位置。
更具體而言，光柵搬運裝置120，是在2段的臂121、122的先端設有手臂123，具有在水平面內動作的3個關節124、125、126。且，光柵搬運裝置120，是沿著昇降導引127昇降。即，此光柵搬運裝置120，是在昇降導引127的範圍內上下昇降，且藉由使各關節124、125、126獨立動作，在2段的臂121、122可到達的範圍內，可以將光柵朝任意的方向搬運。
容器搬運裝置130，是被設在清淨貯藏庫100內部的前面另一方側(在第1圖中，朝向右側)。此容器搬運裝置130，是在空容器用旋轉棚112及開盒機140之間搬運空容器，並在開盒機140及OHT自動裝載埠150之間、及在開盒機140及手動裝載埠160之間搬運收納有光柵的容器(以下表記為「裝有光柵容器」)。
更具體而言，容器搬運裝置130，是在2段的臂131、132的先端設有手臂133，具有在水平面內動作的3個 關節134、135、136。且，容器搬運裝置130，是沿著昇降導引137昇降。即，此容器搬運裝置130，是在昇降導引137的範圍內上下昇降，且藉由將各關節134、135、136獨立動作，在2段的臂131、132可到達的範圍內，可以將容器朝任意的方向搬運。
開盒機140，是被配置於清淨貯藏庫100內部的前面中央部，即，光柵搬運裝置120及容器搬運裝置130之間，使用於：將光柵收納於空容器，並從裝有光柵容器將光柵取出，並調整光柵及容器的相對的方向。處理的具體的內容是如後述。
OHT自動裝載埠150，是設在清淨貯藏庫100的前面上部的高架行走車用裝載埠，在與無圖示的高架行走車之間進行裝有光柵容器的入出庫的介面。手動裝載埠160，是設在清淨貯藏庫100的前面下部的作業者用裝載埠，在與作業者之間進行裝有光柵容器的入出庫的介面。
控制器180，是將清淨貯藏庫100的各可動部控制。例如，將旋轉棚110朝預定的位置旋轉、控制光柵搬運裝置120及容器搬運裝置130的動作。詳細如後述。又，控制器180，是將程式載入並實行預定的處理的CPU(中央處理器、Central Processing Unit)也可以，實現預定的功能的集成電路也可以。
接著，說明上述構成的清淨貯藏庫100的基本的動作。
首先，將裝有光柵容器入庫的情況時，藉由高架行走 車使裝有光柵容器被搬入OHT自動裝載埠150，或藉由作業者使裝有光柵容器被搬入手動裝載埠160。接著，被搬入的裝有光柵容器，是藉由容器搬運裝置130被移載至開盒機140，將光柵及空容器分離。且，光柵是藉由光柵搬運裝置120被收納於光柵用旋轉棚111，空容器是藉由容器搬運裝置130被收納於空容器用旋轉棚112。
另一方面，將裝有光柵容器出庫的情況時，欲出庫的光柵是藉由光柵搬運裝置120從光柵用旋轉棚111被移載至開盒機140，空容器是藉由容器搬運裝置130從空容器用旋轉棚112被移載至開盒機140。被搬入開盒機140的光柵是被收納於空容器，藉由容器搬運裝置130被移載至OHT自動裝載埠150或手動裝載埠160，並被出庫。
接著，參照第4圖~第9圖說明，使用光柵搬運裝置120、容器搬運裝置130、及開盒機140，調整光柵及容器的相對的方向的方向調整處理。第4圖，是顯示方向調整處理的流程圖。又，第4圖的各處理，是藉由控制器180被控制。
首先，裝有光柵容器是被載置於開盒機140(S11)。例如，被出庫的光柵230是藉由光柵搬運裝置120從光柵用旋轉棚111被移載至開盒機140，空的容器200是藉由容器搬運裝置130從空容器用旋轉棚112被移載至開盒機140，在開盒機140內使光柵230被收納於容器200。
參照第5圖，說明開盒機140及容器200的詳細。又，第5圖，是顯示開盒機140內部的側面圖，第4圖的 S11的狀態的圖。
首先，容器200，是由可上下分離的蓋210及門220所構成。且，容器200，是由從門220的上面突出的複數突起221將光柵230支撐，藉由蓋210將光柵230覆蓋，將光柵230收納於內部。
開盒機140，是由：將蓋210卡止的卡止部141、及將門220載置的載置部142所構成。又，載置部142，是作為在門220被載置的狀態下可上下昇降的昇降裝置的功能，並且也作為在水平面內旋轉的旋轉裝置的功能。
在開盒機140的上面，設有開口。且，卡止部141，是設於開口的周緣部。且，載置部142，是在開盒機140的內部，且被設在相面對於位於上面的開口的位置。開盒機140的上面及載置部142的載置面(上面)，是當載置部142最上昇時，位於同一平面上。且，容器200，是被載置於最上昇的狀態的載置部142。由此，開盒機140的開口是藉由容器200被閉鎖。
第6圖，是顯示開盒機140內部的側面圖，第4圖的S12的狀態的圖。如第6圖所示，載置了容器200的狀態的載置部142若降下的話，門220會與載置部142一起降下，使蓋210被卡止於卡止部141，使蓋210及門220被分離。
且作為保持裝置的光柵搬運裝置120，是藉由在將光柵230保持的狀態下沿著昇降導引127昇降，將光柵230保持於從門220朝上方只有隔離預定距離的保持位置( S12)。此時，光柵搬運裝置120，是使光柵230的方向不會變更地進行保持。
第7圖，是顯示開盒機140內部的俯視圖，第4圖的S13的狀態的圖。如第7圖所示，作為旋轉裝置的載置部142，是光柵230被隔離的狀態的門220從初期位置旋轉至目的位置(S13)。從初期位置直到目的位置為止的旋轉角度並無特別限定，但是例如朝逆時針旋轉180°。
第8圖，是顯示開盒機140內部的側面圖，第4圖的S14的狀態的圖。如第8圖所示，光柵搬運裝置120，是藉由沿著昇降導引127降下，將光柵230載置已旋轉至目的位置的門220。在此，光柵230是藉由光柵搬運裝置120使方向不會被變更地被保持，對於此，因為門220是藉由載置部142被旋轉，所以光柵230及門220的相對的方向已變化。
第9圖，是顯示開盒機140內部的俯視圖，第4圖的S15的狀態的圖。載置部142，是將光柵230已載置狀態的門220從目的位置旋轉至初期位置(S15)。即，在上述的例中，朝順時針旋轉180°。由此，使位於光柵230的左下隅的記號231朝右上隅(虛線框所示的位置)移動的方式，使光柵230與門220一起旋轉。又，記號231，是可以利用任何可特定光柵230的方向者，例如，識別光柵230用的條碼等也可以。
依據上述的方法的話，在開盒機140內，可以調整光柵230及容器200的相對的方向。即，因為不需要將光柵 230及容器200從開盒機140取出並移載至他處，所以可以削減在移載所需要的週期時間。其結果，可以由短時間且少步驟來調整光柵230及容器200的相對的方向。
又，在第4圖的S12及S13，在光柵搬運裝置120將光柵230保持的狀態下上昇至保持位置之後，使載置部142開始旋轉也可以。但是，從將方向調整處理的處理時間進一步短縮的觀點，控制器180，是藉由光柵搬運裝置120使光柵230從門220隔離之後，且在到達保持位置之前，在載置部142開始從門220的初期位置朝目的位置的旋轉也可以。
且清淨貯藏庫100，是進一步具備確認光柵230及門220的相對的方向用的方向確認裝置(圖示省略)也可以。且，控制器180，是藉由載置部142將門220旋轉至初期位置之後，由方向確認裝置確認光柵230及門220的相對的方向也可以。
更具體而言，方向確認裝置，是具備從上方將光柵230攝影的照相機也可以。且，在第4圖的S15之後，藉由光柵搬運裝置120將光柵230從容器200取出並照相機攝影，確認記號231是否位於預先被決定的預定位置也可以。
又，在上述的實施例中，雖說明在清淨貯藏庫100內調整光柵230及容器200的相對的方向的例，但是本發明不限定於此。例如，在清淨貯藏庫100的外部被獨立設置，調整光柵230及容器200的相對的方向的光柵方向調整 裝置也被包含於本發明。
進一步，不限定於調整光柵230及容器200的相對的方向者，調整任何貨物及該貨物已載置的載置台的相對的方向的方向調整裝置也被包含於本發明。例如，調整液晶面板及將該液晶面板載置的托盤的相對的方向者也可以。
以上，雖參照圖面說明了本發明的實施例，但是本發明，不限定於圖示的實施例者。對於圖示的實施例，在與本發明相同的範圍內，或是均等的範圍內，可加上各種的修正和變形。
產業上的利用可能性
本發明，是有利於被利用在供調整貨物、及將該貨物載置的載置台的相對的方向用的方向調整裝置。
100‧‧‧清淨貯藏庫
110‧‧‧旋轉棚
111‧‧‧光柵用旋轉棚
112‧‧‧空容器用旋轉棚
120‧‧‧光柵搬運裝置
121、122、131、132‧‧‧臂
123、133‧‧‧手臂
124、125、126、134、135、136‧‧‧關節
127、137‧‧‧昇降導引
130‧‧‧容器搬運裝置
140‧‧‧開盒機
141‧‧‧卡止部
142‧‧‧載置部
150‧‧‧OHT(懸掛式搬運系統)自動裝載埠
160‧‧‧手動裝載埠
170‧‧‧風扇過濾器元件
180‧‧‧控制器
200‧‧‧容器
210‧‧‧蓋
220‧‧‧門
221‧‧‧突起
230‧‧‧光柵
231‧‧‧記號
[第1圖]實施例的清淨貯藏庫的前視圖。
[第2圖]第1圖的II-II剖面圖。
[第3圖]第1圖的III-III剖面圖。
[第4圖]顯示方向調整處理的流程圖。
[第5圖] 顯示開盒機內部的側面圖，S11的狀態的圖。
[第6圖]顯示開盒機內部的側面圖，S12的狀態的圖。
[第7圖]顯示開盒機內部的俯視圖，S13的狀態的圖。
[第8圖]顯示開盒機內部的側面圖，S14的狀態的圖。
[第9圖]顯示開盒機內部的俯視圖，S15的狀態的圖。
100‧‧‧清淨貯藏庫
110‧‧‧旋轉棚
111‧‧‧光柵用旋轉棚
112‧‧‧空容器用旋轉棚
120‧‧‧光柵搬運裝置
127‧‧‧昇降導引
130‧‧‧容器搬運裝置
137‧‧‧昇降導引
140‧‧‧開盒機
150‧‧‧OHT(懸掛式搬運系統)自動裝載埠
160‧‧‧手動裝載埠
170‧‧‧風扇過濾器元件
180‧‧‧控制器

Claims (5)

  1. 一種方向調整裝置，貨物的朝外部裝置的插入方向是預先被決定，且前述貨物已載置狀態的載置台的朝外部裝置的插入方向是預先被決定的情況時，調整前述貨物及前述載置台的相對的方向，具備：使前述載置台旋轉的旋轉裝置、及使不會變更其方向地保持前述貨物用的保持裝置、及為了將前述貨物及前述載置台的相對的方向調整成預先被決定的方向而將前述旋轉裝置及前述保持裝置控制的控制器，前述控制器，是進行以下的控制：由前述保持裝置，在從被保持於前述旋轉裝置的前述載置台隔離的狀態下將前述貨物保持，由前述旋轉裝置，將前述貨物被隔離的狀態的前述載置台從初期位置旋轉至目的位置，由前述保持裝置，將前述貨物載置於被旋轉直到前述目的位置為止的前述載置台，由前述旋轉裝置，將前述貨物已載置狀態的前述載置台從前述目的位置旋轉至前述初期位置。
  2. 如申請專利範圍第1項的方向調整裝置，其中，前述保持裝置，是在將前述貨物保持的狀態下朝上下方向移動，並將前述貨物保持於從前述載置台朝上方只有隔離預定距離的保持位置。
  3. 如申請專利範圍第2項的方向調整裝置，其中，前述控制器，是藉由前述保持裝置將前述貨物從前述載置台隔離之後，且在到達前述保持位置之前，藉由前述旋轉裝置開始從前述載置台的前述初期位置朝前述目的位置的旋轉。
  4. 如申請專利範圍第1~3項中的任一項的方向調整裝置，其中，該方向調整裝置，是進一步，具備供確認前述貨物及前述載置台的相對的方向用的方向確認裝置，前述控制器，是藉由前述旋轉裝置將前述載置台旋轉至前述初期位置之後，由前述方向確認裝置確認前述貨物及前述載置台的相對的方向。
  5. 一種方向調整方法，貨物的朝外部裝置的插入方向是預先被決定，且前述貨物已載置狀態的載置台的朝外部裝置的插入方向是預先被決定的情況時，由具備使前述載置台旋轉的旋轉裝置、及使其方向不會變更地將前述貨物保持用的保持裝置之方向調整裝置，調整前述貨物及前述載置台的相對的方向，包含：由前述保持裝置，在從被保持於前述旋轉裝置的前述載置台隔離的狀態下將前述貨物保持的步驟；及由前述旋轉裝置，將前述貨物被隔離的狀態的前述載置台從初期位置旋轉至目的位置的步驟；及由前述保持裝置，將前述貨物載置於被旋轉至前述目 的位置的前述載置台的步驟；及由前述旋轉裝置，將前述貨物已載置狀態的前述載置台從前述目的位置旋轉至前述初期位置的步驟。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5631464B1 (ja) * 2013-08-30 2014-11-26 株式会社 ベアック 露光装置
CN109014586A (zh) * 2017-06-12 2018-12-18 信码互通（北京）科技有限公司 用于实现易拉罐顶盖精确赋码的装置、系统及其方法
TW202134774A (zh) * 2019-12-05 2021-09-16 美商應用材料股份有限公司 光標處理系統

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05136233A (ja) * 1991-11-12 1993-06-01 Seiko Epson Corp フオトマスクの自動搬送装置及びフオトマスク検査装置
US5944475A (en) * 1996-10-11 1999-08-31 Asyst Technologies, Inc. Rotated, orthogonal load compatible front-opening interface
US6082949A (en) * 1996-10-11 2000-07-04 Asyst Technologies, Inc. Load port opener
US6427096B1 (en) * 1999-02-12 2002-07-30 Honeywell International Inc. Processing tool interface apparatus for use in manufacturing environment
US6338409B1 (en) * 2000-04-13 2002-01-15 International Business Machines Corporation Reticle SMIF pod in situ orientation
US6619903B2 (en) * 2001-08-10 2003-09-16 Glenn M. Friedman System and method for reticle protection and transport
TWI286674B (en) * 2002-12-27 2007-09-11 Asml Netherlands Bv Container for a mask, method of transferring lithographic masks therein and method of scanning a mask in a container
EP1434094A1 (en) * 2002-12-27 2004-06-30 ASML Netherlands B.V. Container for a mask
US7397539B2 (en) * 2003-03-31 2008-07-08 Asml Netherlands, B.V. Transfer apparatus for transferring an object, lithographic apparatus employing such a transfer apparatus, and method of use thereof
US7695239B2 (en) * 2003-07-14 2010-04-13 Fortrend Engineering Corporation End effector gripper arms having corner grippers which reorient reticle during transfer
JP4356443B2 (ja) * 2003-12-17 2009-11-04 凸版印刷株式会社 基板移載装置
JP2005221618A (ja) 2004-02-04 2005-08-18 Toppan Printing Co Ltd 基板収納方向制御装置
US7462011B2 (en) * 2004-08-12 2008-12-09 Tokyo Electron Limited Substrate processing system, substrate processing method, sealed container storing apparatus, program for implementing the substrate processing method, and storage medium storing the program
JP4665468B2 (ja) * 2004-09-15 2011-04-06 凸版印刷株式会社 フォトマスク及びフォトマスクブランクスの載置方向変更装置
JP4710308B2 (ja) * 2004-10-29 2011-06-29 株式会社ニコン レチクル搬送装置、露光装置、及びレチクルの搬送方法
JP4667018B2 (ja) * 2004-11-24 2011-04-06 ミライアル株式会社 レチクル搬送容器
US7245350B2 (en) * 2005-11-11 2007-07-17 Canon Kabushiki Kaisha Exposure apparatus
JP2007165367A (ja) * 2005-12-09 2007-06-28 Izumi Akiyama ワーク枚葉搬送システム
JP4215079B2 (ja) * 2006-07-31 2009-01-28 村田機械株式会社 クリーンストッカと物品の保管方法
KR100774828B1 (ko) * 2006-12-18 2007-11-07 동부일렉트로닉스 주식회사 레티클 방향전환장치
US8814488B2 (en) * 2007-04-02 2014-08-26 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing apparatus and semiconductor device manufacturing method
JP5549736B2 (ja) * 2010-09-13 2014-07-16 村田機械株式会社 自動倉庫及び物品搬出方法

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