JP2000216216A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
Abstract
(57)【要約】
【課題】 オペレータが基板収納カセットを特別な安全
装置無しに安全に挿入できる半導体製造装置を提供す
る。 【解決手段】 基板が収納されたケース（または基板）
を保管する装置１６と、半導体製造に際し基板を処理す
る装置１、２と、保管装置１６と処理装置２との間を基
板収納ケースを搬送する第１搬送装置１４を備えた半導
体製造装置において、半導体製造装置の外部において基
板収納ケースを受け取り同装置の内部に搬送する第２搬
送装置３１と、第２搬送装置の動きと連動して開閉する
シャッタ３３とを設け、このシャッタは、第２搬送装置
３１の基板収納ケース受け取り時に、第２搬送装置３１
と第１搬送装置１４との間を仕切る。
装置無しに安全に挿入できる半導体製造装置を提供す
る。 【解決手段】 基板が収納されたケース（または基板）
を保管する装置１６と、半導体製造に際し基板を処理す
る装置１、２と、保管装置１６と処理装置２との間を基
板収納ケースを搬送する第１搬送装置１４を備えた半導
体製造装置において、半導体製造装置の外部において基
板収納ケースを受け取り同装置の内部に搬送する第２搬
送装置３１と、第２搬送装置の動きと連動して開閉する
シャッタ３３とを設け、このシャッタは、第２搬送装置
３１の基板収納ケース受け取り時に、第２搬送装置３１
と第１搬送装置１４との間を仕切る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ等の半導体
を製造する半導体製造装置に関し、特にフォトマスク、
レチクルまたはウェハ、ガラスプレートなどの基板やそ
れらが収納されたカセット、キャリアを搬送する、搬送
装置が組込まれた露光装置、洗浄装置、検査装置等の半
導体製造装置に関するものである。
を製造する半導体製造装置に関し、特にフォトマスク、
レチクルまたはウェハ、ガラスプレートなどの基板やそ
れらが収納されたカセット、キャリアを搬送する、搬送
装置が組込まれた露光装置、洗浄装置、検査装置等の半
導体製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程のフォトリソグラフィ工
程で用いられている半導体露光装置等の半導体製造装置
には、歩留まり、スループット向上のために、搬送の効
率化、防塵の観点で、レチクルまたはウェハを自動搬送
するウェハ搬送装置またはレチクル搬送装置が備えられ
ている。
程で用いられている半導体露光装置等の半導体製造装置
には、歩留まり、スループット向上のために、搬送の効
率化、防塵の観点で、レチクルまたはウェハを自動搬送
するウェハ搬送装置またはレチクル搬送装置が備えられ
ている。
【０００３】露光工程に使用されるレチクルは、その露
光装置専用のカセットに収納されたまま露光装置外部の
ストッカに保管され、そこから、オペレータまたはＡＧ
Ｖ（自走型搬送車）などの自動搬送によりレチクル収納
カセットは各露光装置に搬送される。搬送されたカセッ
トは従来、図６に示すように露光装置内の所定の搬入位
置１３にセットされ、次に露光装置内部のレチクルカセ
ット搬送装置１４により、その搬入位置１３から装置内
のカセットが複数枚収納可能な収納棚１６へ自動搬送さ
れている。そして、各製造工程ごとに所望のレチクルを
レチクル搬送装置１４および２２にてレチクルステージ
２へ搬送し露光に用いている。
光装置専用のカセットに収納されたまま露光装置外部の
ストッカに保管され、そこから、オペレータまたはＡＧ
Ｖ（自走型搬送車）などの自動搬送によりレチクル収納
カセットは各露光装置に搬送される。搬送されたカセッ
トは従来、図６に示すように露光装置内の所定の搬入位
置１３にセットされ、次に露光装置内部のレチクルカセ
ット搬送装置１４により、その搬入位置１３から装置内
のカセットが複数枚収納可能な収納棚１６へ自動搬送さ
れている。そして、各製造工程ごとに所望のレチクルを
レチクル搬送装置１４および２２にてレチクルステージ
２へ搬送し露光に用いている。
【０００４】さらに、半導体製造工場では、設備コスト
の削減という観点から、製造装置のフットプリント（設
置面積）の最小化と、スループットの向上が求められて
おり、露光装置においても前記搬送装置のコンパクト化
の観点で、上下空間の有効活用のため、レチクルカセッ
トは図６に示すような上下方向に複数枚収納可能な棚１
６に保管されている。そして、前記搬入位置１３から各
収納棚１６へは、上下駆動機構１５を持ったカセット搬
送手段１４にて搬送を行なっている。
の削減という観点から、製造装置のフットプリント（設
置面積）の最小化と、スループットの向上が求められて
おり、露光装置においても前記搬送装置のコンパクト化
の観点で、上下空間の有効活用のため、レチクルカセッ
トは図６に示すような上下方向に複数枚収納可能な棚１
６に保管されている。そして、前記搬入位置１３から各
収納棚１６へは、上下駆動機構１５を持ったカセット搬
送手段１４にて搬送を行なっている。
【０００５】一方、図６に示すように露光装置本体１、
２および搬送装置１４、１５等は、クリーンルーム内で
は通常、温度、湿度および清浄度が管理された空調チャ
ンバ３内に収納され、装置内へのレチクルやウェハ等の
搬入は、チャンバー開口部に設けられたカセット搬入口
扉１２を開閉し、前記搬入位置１３へカセットをセット
することにより行なっていた。
２および搬送装置１４、１５等は、クリーンルーム内で
は通常、温度、湿度および清浄度が管理された空調チャ
ンバ３内に収納され、装置内へのレチクルやウェハ等の
搬入は、チャンバー開口部に設けられたカセット搬入口
扉１２を開閉し、前記搬入位置１３へカセットをセット
することにより行なっていた。
【０００６】カセット搬入位置１３の奥には、カセット
搬送手段１４が上下移動しているため、オペレータがカ
セットをセットする際に、誤って奥に手を挿入してしま
った場合、カセット搬送手段１４にて手を挟まれる危険
性がある。その安全対策として、前記カセット挿入口扉
１２にインターロックを設け、また、カセット搬送手段
１４が現在どの高さにいるかを検知する位置検知手段
と、上下駆動部１５にブレーキとを設けることにより、
前記カセット搬入口扉１２が強制的に開放された際に、
カセット搬送手段１４がオペレータに対し危険な領域に
いた場合、上下駆動をブレーキにて強制的に停止させて
いた。
搬送手段１４が上下移動しているため、オペレータがカ
セットをセットする際に、誤って奥に手を挿入してしま
った場合、カセット搬送手段１４にて手を挟まれる危険
性がある。その安全対策として、前記カセット挿入口扉
１２にインターロックを設け、また、カセット搬送手段
１４が現在どの高さにいるかを検知する位置検知手段
と、上下駆動部１５にブレーキとを設けることにより、
前記カセット搬入口扉１２が強制的に開放された際に、
カセット搬送手段１４がオペレータに対し危険な領域に
いた場合、上下駆動をブレーキにて強制的に停止させて
いた。
【０００７】しかしながら、前記従来技術によれば、搬
送効率を上げるために高速で駆動しているカセット搬送
手段１４を強制的に停止させるため、ブレーキの耐久性
が問題となっていたことと、信頼性を高めるために高性
能で高価なブレーキを使用していたため、コスト面でも
問題となっていた。
送効率を上げるために高速で駆動しているカセット搬送
手段１４を強制的に停止させるため、ブレーキの耐久性
が問題となっていたことと、信頼性を高めるために高性
能で高価なブレーキを使用していたため、コスト面でも
問題となっていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、オペレータ
が基板収納カセットを特別な安全装置無しに安全に挿入
できる半導体製造装置を提供することを目的とする。
が基板収納カセットを特別な安全装置無しに安全に挿入
できる半導体製造装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するため、本発明の半導体製造装置は、前記カセット
搬入位置１３に装置外部からカセットを搬入する搬送装
置、例えばｌ軸駆動機構を備えたカセット搬入トレイ３
１を具備し、このカセット搬入トレイ３１とカセット搬
送手段１４との間に、トレイ３１の動きと連動して開閉
するシャッタ３３を具備することを特徴とする（図１参
照）。
成するため、本発明の半導体製造装置は、前記カセット
搬入位置１３に装置外部からカセットを搬入する搬送装
置、例えばｌ軸駆動機構を備えたカセット搬入トレイ３
１を具備し、このカセット搬入トレイ３１とカセット搬
送手段１４との間に、トレイ３１の動きと連動して開閉
するシャッタ３３を具備することを特徴とする（図１参
照）。
【００１０】すなわち本発明の半導体製造装置は、基板
または基板が収納されたケースを複数枚収納可能な保管
装置と、半導体製造に際しそれら基板を処理する処理装
置と、前記保管装置と前記処理装置との間を前記基板ま
たは基板収納ケースを搬送する第１搬送装置を備え、前
記半導体製造装置は、同装置の外部において基板または
基板収納ケースを受け取りそして同装置の内部に搬送す
る第２搬送装置と、第２搬送装置の動きと連動して開閉
するシャッタとをさらに備え、前記シャッタは、第２搬
送装置の前記外部における基板または基板収納ケース受
け取り動作時に、第２搬送装置と第１搬送装置との間を
仕切ることを特徴とする。
または基板が収納されたケースを複数枚収納可能な保管
装置と、半導体製造に際しそれら基板を処理する処理装
置と、前記保管装置と前記処理装置との間を前記基板ま
たは基板収納ケースを搬送する第１搬送装置を備え、前
記半導体製造装置は、同装置の外部において基板または
基板収納ケースを受け取りそして同装置の内部に搬送す
る第２搬送装置と、第２搬送装置の動きと連動して開閉
するシャッタとをさらに備え、前記シャッタは、第２搬
送装置の前記外部における基板または基板収納ケース受
け取り動作時に、第２搬送装置と第１搬送装置との間を
仕切ることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の半導体製造装置におい
て、前記基板は例えばレチクルで、前記処理装置は該レ
チクルに刻印されたパターンをウェハに露光する露光系
であり、該半導体製造装置は前記第１搬送装置によるレ
チクルの搬送途中に該レチクルの位置合わせを行なう位
置合わせ装置を備えた露光装置とすることができる。
て、前記基板は例えばレチクルで、前記処理装置は該レ
チクルに刻印されたパターンをウェハに露光する露光系
であり、該半導体製造装置は前記第１搬送装置によるレ
チクルの搬送途中に該レチクルの位置合わせを行なう位
置合わせ装置を備えた露光装置とすることができる。
【００１２】本発明の好ましい実施形態において、前記
第２搬送装置とシャッタは機械的に結合されており、電
気的な制御無しに連動する。また前記シャッタは、前記
露光装置内部から外部への光漏れを防ぐものであっても
よい。
第２搬送装置とシャッタは機械的に結合されており、電
気的な制御無しに連動する。また前記シャッタは、前記
露光装置内部から外部への光漏れを防ぐものであっても
よい。
【００１３】本発明の別の実施形態においては、前記第
２搬送装置上の基板または基板収納ケース受け取り部
に、基板または基板収納ケースが正規の位置に受け渡さ
れたかどうかを検知するセンサーが組み込まれている。
更にまた別の実施形態において、本発明の半導体製造装
置は前記内部装置の処理環境を管理する空調チャンバー
を備える。
２搬送装置上の基板または基板収納ケース受け取り部
に、基板または基板収納ケースが正規の位置に受け渡さ
れたかどうかを検知するセンサーが組み込まれている。
更にまた別の実施形態において、本発明の半導体製造装
置は前記内部装置の処理環境を管理する空調チャンバー
を備える。
【００１４】図１の構成において、通常時には、カセッ
ト搬入トレイ３１の前面板部材３２が、チャンバー３の
レチクル搬出入用開口部を塞いでおり扉の役目を果たし
ている。外部からのカセット搬入時には、トレイ３１を
手前側に引き出して装置外へ突出させ、トレイ３１上に
カセットをセットするが、その際、トレイ３１と連動し
てシャッタ３３が閉まることにより、オペレータが手を
挿入可能な領域と、カセット搬送手段１４が駆動する領
域とが完全に分離され、オペレータの安全が確保でき
る。このトレイとシャッタが、インターロックやセンサ
ー等の電気部品の関与無しに、機械的な機構にて連動す
る場合、低コストかつ非常に信頼性の高い安全対策とな
る。
ト搬入トレイ３１の前面板部材３２が、チャンバー３の
レチクル搬出入用開口部を塞いでおり扉の役目を果たし
ている。外部からのカセット搬入時には、トレイ３１を
手前側に引き出して装置外へ突出させ、トレイ３１上に
カセットをセットするが、その際、トレイ３１と連動し
てシャッタ３３が閉まることにより、オペレータが手を
挿入可能な領域と、カセット搬送手段１４が駆動する領
域とが完全に分離され、オペレータの安全が確保でき
る。このトレイとシャッタが、インターロックやセンサ
ー等の電気部品の関与無しに、機械的な機構にて連動す
る場合、低コストかつ非常に信頼性の高い安全対策とな
る。
【００１５】その後、トレイ３１上にカセットをセット
したまま、チャンバー３内へトレイ３１を収納すること
により、トレイ３１と連動してシャッタ３３が開き、ト
レイ３１上のカセットを前記カセット搬送手段１４が搬
送可能となり、前記収納棚１６の任意のスロットヘ搬送
を行なう。
したまま、チャンバー３内へトレイ３１を収納すること
により、トレイ３１と連動してシャッタ３３が開き、ト
レイ３１上のカセットを前記カセット搬送手段１４が搬
送可能となり、前記収納棚１６の任意のスロットヘ搬送
を行なう。
【００１６】また、これらの機構は、露光装置等から外
部へのレーザー光の漏れ光を防ぐための機構として用い
ても良い。
部へのレーザー光の漏れ光を防ぐための機構として用い
ても良い。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の半導体製造装置の一実施例で
ある半導体露光装置について、図面を参照し説明する。
図１は、レチクル搬出入装置が組み込まれた本実施例の
半導体露光装置の概略図であり、ｌは半導体露光を行な
うレンズ、２は露光時にレチクルを保持するレチクルス
テージ、３は温度、湿度、清浄度などを管理する空調チ
ャンバー、３１は前後に可動で装置外へ突出した位置に
て外部とのレチクルカセットの受渡しを行なうトレイ、
３２はトレイ３１前面に設けられ、トレイ３１のチャン
バー内への収納時にチャンバー開口部を塞ぐ板部材、３
３はトレイ３１の前後動と連動して上下に移動するシャ
ッタ、１６はレチクル入りカセットを複数枚収納可能な
カセットライブラリ、１４はトレイ３１よりレチクルカ
セットを所定の位置へ搬送するカセット搬送ハンド、１
５はカセット搬送ハンド１４を上下に駆動するエレベー
タ、２１はレチクルカセットからレチクルを取り出すレ
チクル取り出し部、２２はレチクルカセットからレチク
ルを取り出しレチクルステージ２へ搬送するレチクル搬
送ハンド、２３はレチクルをレチクルステージ２へ送り
込む前に、レチクルステージ２に対して外形保持にて位
置合わせを行なう位置決めステーション、２３ａは配置
合わせ時にレチクル外形を保持する為のレチクル位置決
めツメである。カセット搬送ハンド１４は、トレイ３１
からレチクルライブラリ１６へのカセット搬送のみでな
くレチクルライブラリ１６からレチクル取り出し部２１
へのカセット搬送も行なう。
ある半導体露光装置について、図面を参照し説明する。
図１は、レチクル搬出入装置が組み込まれた本実施例の
半導体露光装置の概略図であり、ｌは半導体露光を行な
うレンズ、２は露光時にレチクルを保持するレチクルス
テージ、３は温度、湿度、清浄度などを管理する空調チ
ャンバー、３１は前後に可動で装置外へ突出した位置に
て外部とのレチクルカセットの受渡しを行なうトレイ、
３２はトレイ３１前面に設けられ、トレイ３１のチャン
バー内への収納時にチャンバー開口部を塞ぐ板部材、３
３はトレイ３１の前後動と連動して上下に移動するシャ
ッタ、１６はレチクル入りカセットを複数枚収納可能な
カセットライブラリ、１４はトレイ３１よりレチクルカ
セットを所定の位置へ搬送するカセット搬送ハンド、１
５はカセット搬送ハンド１４を上下に駆動するエレベー
タ、２１はレチクルカセットからレチクルを取り出すレ
チクル取り出し部、２２はレチクルカセットからレチク
ルを取り出しレチクルステージ２へ搬送するレチクル搬
送ハンド、２３はレチクルをレチクルステージ２へ送り
込む前に、レチクルステージ２に対して外形保持にて位
置合わせを行なう位置決めステーション、２３ａは配置
合わせ時にレチクル外形を保持する為のレチクル位置決
めツメである。カセット搬送ハンド１４は、トレイ３１
からレチクルライブラリ１６へのカセット搬送のみでな
くレチクルライブラリ１６からレチクル取り出し部２１
へのカセット搬送も行なう。
【００１８】次に、上記構成に基づき、図１、図２、図
３を参照してレチクルカセット受渡しトレイ３１周辺部
の動作を説明する。図２は通常状態であり、即ちトレイ
３１が装置内に収納され、板部材３２がチャンバー３の
開口部を塞いでおり、扉の役目を果たしている。３５は
ベルトで、トレイ３１とシャッタ３３に結合しており、
中間でプーリ３４に支持されている。５０はカセット搬
送ハンドが駆動する危険領域である。
３を参照してレチクルカセット受渡しトレイ３１周辺部
の動作を説明する。図２は通常状態であり、即ちトレイ
３１が装置内に収納され、板部材３２がチャンバー３の
開口部を塞いでおり、扉の役目を果たしている。３５は
ベルトで、トレイ３１とシャッタ３３に結合しており、
中間でプーリ３４に支持されている。５０はカセット搬
送ハンドが駆動する危険領域である。
【００１９】図３は外部から装置へカセットを搬入する
ために、トレイ３１が引出された状態である。シャッタ
３３はベルト３５によってトレイ３１と結合しているた
め、トレイ３１の引出される動きと連動して、上方へ動
き、カセット搬送ハンド駆動領域５０を塞いでしまう。
従って、オペレータはいかなることがあっても誤って危
険領域に手等を入れてしまうことが無い。この際に、プ
ーリ３４に減速機を設けることにより、トレイ３１の移
動量に対するシャッタ３３の移動量を自由自在に設定す
ることができる。
ために、トレイ３１が引出された状態である。シャッタ
３３はベルト３５によってトレイ３１と結合しているた
め、トレイ３１の引出される動きと連動して、上方へ動
き、カセット搬送ハンド駆動領域５０を塞いでしまう。
従って、オペレータはいかなることがあっても誤って危
険領域に手等を入れてしまうことが無い。この際に、プ
ーリ３４に減速機を設けることにより、トレイ３１の移
動量に対するシャッタ３３の移動量を自由自在に設定す
ることができる。
【００２０】図５はトレイ３１の詳細図である。レチク
ルカセットはトレイ３１上へ受け渡された際、レチクル
カセット位置決めピン３１ｂにより位置決めされ、レチ
クルカセット支持部３１ａ上に載置される。そして、有
無センサー３１ｃによりトレイ３１上のレチクルカセッ
トの有無が確認され、正規位置センサー３１ｄによりカ
セットが正規の位置に受け渡されたかどうかが検知され
る。
ルカセットはトレイ３１上へ受け渡された際、レチクル
カセット位置決めピン３１ｂにより位置決めされ、レチ
クルカセット支持部３１ａ上に載置される。そして、有
無センサー３１ｃによりトレイ３１上のレチクルカセッ
トの有無が確認され、正規位置センサー３１ｄによりカ
セットが正規の位置に受け渡されたかどうかが検知され
る。
【００２１】さて、トレイ３１へレチクルカセットをセ
ットした後、トレイ３１は図２のようにカセット搬送位
置に収納され、それと連動してシャッタ３３も下方へ動
き、カセット搬送位置とカセット搬送ハンド駆動領域と
の間を開放する。カセット搬送ハンドは、不図示のＲθ
駆動部によりＲ方向（伸び方向）およびθ方向（回転方
向）へ駆動可能で、エレベータ１５によって上下方向に
駆動する。トレイ３１上にセットされたレチクルカセッ
トは、カセット搬送ハンドにより、収納棚１６の所定の
スロットに搬送され保管される。そして露光時には、カ
セット搬送ハンドにより、収納棚１６から取り出され、
レチクル取り出し部２１へ搬送される。レチクル取り出
し部２１では不図示のカセット開閉機構によりカセット
が開けられ、レチクル搬送ハンド２２によりカセット内
部からレチクルが取り出される。レチクル搬送ハンド
は、カセット搬送ハンドと同様に、不図示のＲθ駆動部
によりＲ，θ方向に駆動可能で、取り出したレチクルを
レチクルステージ２へ搬送する。また、取り出し部２１
からレチクルステージ２への搬送途中には、レチクル位
置決めステーション２３が設けられており、レチクル位
置決めツメ２３ａによってレチクルは外形保持され、レ
チクルステージ２に対して位置合わせされる。
ットした後、トレイ３１は図２のようにカセット搬送位
置に収納され、それと連動してシャッタ３３も下方へ動
き、カセット搬送位置とカセット搬送ハンド駆動領域と
の間を開放する。カセット搬送ハンドは、不図示のＲθ
駆動部によりＲ方向（伸び方向）およびθ方向（回転方
向）へ駆動可能で、エレベータ１５によって上下方向に
駆動する。トレイ３１上にセットされたレチクルカセッ
トは、カセット搬送ハンドにより、収納棚１６の所定の
スロットに搬送され保管される。そして露光時には、カ
セット搬送ハンドにより、収納棚１６から取り出され、
レチクル取り出し部２１へ搬送される。レチクル取り出
し部２１では不図示のカセット開閉機構によりカセット
が開けられ、レチクル搬送ハンド２２によりカセット内
部からレチクルが取り出される。レチクル搬送ハンド
は、カセット搬送ハンドと同様に、不図示のＲθ駆動部
によりＲ，θ方向に駆動可能で、取り出したレチクルを
レチクルステージ２へ搬送する。また、取り出し部２１
からレチクルステージ２への搬送途中には、レチクル位
置決めステーション２３が設けられており、レチクル位
置決めツメ２３ａによってレチクルは外形保持され、レ
チクルステージ２に対して位置合わせされる。
【００２２】本実施例では、トレイ３１とシャッタ３３
が機械的に結合され、連動するようになっているが、ト
レイ３１とシャッタ３３を別々に駆動可能にし、制御し
ても良い。図４はその一例で、３６はトレイが装置内に
収納されたことを検知するスイッチ（センサー）であ
る。レチクルを搬入または搬出の為に、トレイ３１が若
干引出されると、スイッチ３６が切り換り、トレイが受
け渡し動作に入ったことを検知する。そして、不図示の
アクチュエータにより、シャッタ３３を閉じることによ
り、作業領域と危険領域との分離を行なうことができ
る。
が機械的に結合され、連動するようになっているが、ト
レイ３１とシャッタ３３を別々に駆動可能にし、制御し
ても良い。図４はその一例で、３６はトレイが装置内に
収納されたことを検知するスイッチ（センサー）であ
る。レチクルを搬入または搬出の為に、トレイ３１が若
干引出されると、スイッチ３６が切り換り、トレイが受
け渡し動作に入ったことを検知する。そして、不図示の
アクチュエータにより、シャッタ３３を閉じることによ
り、作業領域と危険領域との分離を行なうことができ
る。
【００２３】また、トレイ３１が確実に収納位置にいる
時のみ、シャッタ３３を開放できるようにしても良い。
そうすることにより、トレイ３１が中途半端な位置で半
開き状態の時でも、シャッタ３３は全閉のまま保持する
ことができるので、より安全性の高いシステムを提供す
ることができる。
時のみ、シャッタ３３を開放できるようにしても良い。
そうすることにより、トレイ３１が中途半端な位置で半
開き状態の時でも、シャッタ３３は全閉のまま保持する
ことができるので、より安全性の高いシステムを提供す
ることができる。
【００２４】また、トレイ３１の移動量をリニアエンコ
ーダにてモニターしながら、トレイ３１の移動量に応じ
てシャッタ３３を駆動させるようにしても良い。
ーダにてモニターしながら、トレイ３１の移動量に応じ
てシャッタ３３を駆動させるようにしても良い。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体製
造装置によれば、オペレータが基板または基板収納ケー
ス搬出入トレイを出し入れする際に、この動きに連動し
てシャッタが該トレイと装置内部のカセット搬送手段と
の間を仕切るため、オペレータが内部のカセット搬送手
段付近に手を入れてしまうことが無く安全である。
造装置によれば、オペレータが基板または基板収納ケー
ス搬出入トレイを出し入れする際に、この動きに連動し
てシャッタが該トレイと装置内部のカセット搬送手段と
の間を仕切るため、オペレータが内部のカセット搬送手
段付近に手を入れてしまうことが無く安全である。
【００２６】また、搬出入トレイとシャッタの連動が、
電気的な部品を使わない、機械的な機構による場合、低
コストで耐久性が高く、さらに信頼性が非常に高い、安
全規格に対応した半導体製造装置を提供することができ
る。
電気的な部品を使わない、機械的な機構による場合、低
コストで耐久性が高く、さらに信頼性が非常に高い、安
全規格に対応した半導体製造装置を提供することができ
る。
【図１】 本発明の半導体露光装置の概略図である。
【図２】 レチクルカセット搬出入トレイが収納された
状態のレチクル搬入部の詳細図である。
状態のレチクル搬入部の詳細図である。
【図３】 レチクルカセット搬出入トレイが引出された
状態のレチクル搬入部の詳細図である。
状態のレチクル搬入部の詳細図である。
【図４】 トレイとシャッタの別の連動形態を示す図で
ある。
ある。
【図５】 トレイの詳細図である。
【図６】 従来の半導体露光装置の概略図である。
１：レンズ、２：レチクルステージ、３：チャンバー、
１１：チャンバー開口部、１２：レチクルカセット搬出
入扉、１３：レチクルカセット搬入位置、１４：カセッ
ト搬送ハンド、１５：カセット搬送ハンド上下駆動部、
１６：レチクルカセット収納棚、２１：レチクル取り出
し部、２２：レチクル搬送ハンド、２３：レチクル位置
決めステーション、２３ａ：レチクル位置決めツメ、３
１：レチクルカセット搬出入トレイ、３１ａ：レチクル
カセット支持部、３１ｂ：レクチルカセット位置決めピ
ン、３１ｃ：有無センサー、３１ｄ：正規位置センサ
ー、３２：トレイ３１前面板部材、３３：シャッタ、３
４：プーリ、３５：べルト、３６：スイッチ、５０：カ
セット搬送ハンド１４駆動領域。
１１：チャンバー開口部、１２：レチクルカセット搬出
入扉、１３：レチクルカセット搬入位置、１４：カセッ
ト搬送ハンド、１５：カセット搬送ハンド上下駆動部、
１６：レチクルカセット収納棚、２１：レチクル取り出
し部、２２：レチクル搬送ハンド、２３：レチクル位置
決めステーション、２３ａ：レチクル位置決めツメ、３
１：レチクルカセット搬出入トレイ、３１ａ：レチクル
カセット支持部、３１ｂ：レクチルカセット位置決めピ
ン、３１ｃ：有無センサー、３１ｄ：正規位置センサ
ー、３２：トレイ３１前面板部材、３３：シャッタ、３
４：プーリ、３５：べルト、３６：スイッチ、５０：カ
セット搬送ハンド１４駆動領域。
Claims (6)
- 【請求項１】 基板または基板が収納されたケースを複
数枚収納可能な保管装置と、半導体製造に際しそれら基
板を処理する処理装置と、前記保管装置と前記処理装置
との間を前記基板または基板収納ケースを搬送する第１
搬送装置を備えた半導体製造装置であって、 前記半導体製造装置は、同装置の外部において基板また
は基板収納ケースを受け取りそして同装置の内部に搬送
する第２搬送装置と、第２搬送装置の動きと連動して開
閉するシャッタとをさらに備え、前記シャッタは、第２
搬送装置の前記外部における基板または基板収納ケース
受け取り動作時に、第２搬送装置と第１搬送装置との間
を仕切ることを特徴とした半導体製造装置。 - 【請求項２】 前記基板はレチクルで、前記処理装置は
該レチクルに刻印されたパターンをウェハに露光する露
光系であり、該半導体製造装置は前記第１搬送装置によ
るレチクルの搬送途中に該レチクルの位置合わせを行な
う位置合わせ装置を備えた露光装置であることを特徴と
した請求項１記載の半導体製造装置。 - 【請求項３】 前記第２搬送装置とシャッタは機械的に
結合されており、電気的な制御無しに連動することを特
徴とする、請求項１または２記載の半導体製造装置。 - 【請求項４】 前記シャッタは、前記露光装置内部から
外部への光漏れを防ぐことを特徴とする、請求項１また
は２記載の半導体製造装置。 - 【請求項５】 前記第２搬送装置上の基板または基板収
納ケース受け取り部に、基板または基板収納ケースが正
規の位置に受け渡されたかどうかを検知するセンサーが
組み込まれていることを特徴とする、請求項１または２
記載の半導体製造装置。 - 【請求項６】 前記内部装置の処理環境を管理する空調
チャンバーを備える請求項１〜５いずれかに記載の半導
体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01674399A JP3619042B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01674399A JP3619042B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000216216A true JP2000216216A (ja) | 2000-08-04 |
| JP3619042B2 JP3619042B2 (ja) | 2005-02-09 |
Family
ID=11924762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01674399A Expired - Fee Related JP3619042B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3619042B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007076918A (ja) * | 2005-08-16 | 2007-03-29 | Daifuku Co Ltd | フローティングユニット及び物品支持装置 |
| EP1884832A1 (en) * | 2006-07-31 | 2008-02-06 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Clean stocker and method of storing articles |
| JP2008219032A (ja) * | 2001-08-10 | 2008-09-18 | Asml Holding Nv | レチクルを保護及び搬送する装置及び方法 |
-
1999
- 1999-01-26 JP JP01674399A patent/JP3619042B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008219032A (ja) * | 2001-08-10 | 2008-09-18 | Asml Holding Nv | レチクルを保護及び搬送する装置及び方法 |
| JP4717096B2 (ja) * | 2001-08-10 | 2011-07-06 | エーエスエムエル ホールディング エヌ．ブイ． | レチクルを保護及び搬送する装置及び方法 |
| JP2007076918A (ja) * | 2005-08-16 | 2007-03-29 | Daifuku Co Ltd | フローティングユニット及び物品支持装置 |
| JP4614091B2 (ja) * | 2005-08-16 | 2011-01-19 | 株式会社ダイフク | フローティングユニット及び物品支持装置 |
| EP1884832A1 (en) * | 2006-07-31 | 2008-02-06 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Clean stocker and method of storing articles |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3619042B2 (ja) | 2005-02-09 |
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