JPH05136233A - フオトマスクの自動搬送装置及びフオトマスク検査装置 - Google Patents
フオトマスクの自動搬送装置及びフオトマスク検査装置Info
- Publication number
- JPH05136233A JPH05136233A JP29600391A JP29600391A JPH05136233A JP H05136233 A JPH05136233 A JP H05136233A JP 29600391 A JP29600391 A JP 29600391A JP 29600391 A JP29600391 A JP 29600391A JP H05136233 A JPH05136233 A JP H05136233A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask
- case
- arm
- holder
- automatic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体装置などの製造での、フォト工程及び検
査工程の両方において、フォトマスクケース内のフォト
マスクを作業者によって入れ換えることなくフォトマス
クを表裏反転させ使用できるフォトマスクの自動搬送装
置及び検査装置を提供する。 【構成】４のアームにより３のフォトマスクを取り出
し、８のフォトマスク保持部で３のフォトマスクを保持
し、６の回転部を回転させることにより３のフォトマス
クを表裏反転させ、再び４のアームに載せることにより
フォトマスクの反転動作を完了する。
査工程の両方において、フォトマスクケース内のフォト
マスクを作業者によって入れ換えることなくフォトマス
クを表裏反転させ使用できるフォトマスクの自動搬送装
置及び検査装置を提供する。 【構成】４のアームにより３のフォトマスクを取り出
し、８のフォトマスク保持部で３のフォトマスクを保持
し、６の回転部を回転させることにより３のフォトマス
クを表裏反転させ、再び４のアームに載せることにより
フォトマスクの反転動作を完了する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置などの製造に
利用されるフォトマスクの自動搬送装置及びフォトマス
クの検査装置に関する。
利用されるフォトマスクの自動搬送装置及びフォトマス
クの検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のフォトマスクの自動搬送装置は図
５（ａ）に示すように、１のフォトマスクケースの２の
扉を開けて４のアームを３のフォトマスクの下方に挿入
し、４のアームを１のケース内で上昇させることによっ
て３のフォトマスクを４のアームに載せ、４のアームを
水平に移動することによって３のフォトマスクを取り出
し、４のアームを３のフォトマスクを乗せた状態で４の
アーム下部の軸５を中心に１８０゜回転させ図５（ｂ）
に示すように９のホルダーの正面までアームを移動す
る。次に、アームを９のホルダーの上方にスライドさ
せ、３のフォトマスクを９のホルダー上まで移動させ４
のアームを下げることによって３のフォトマスクを９の
ホルダー上に乗せ、４のアームを３のフォトマスクの下
方より抜き取ることによって３のフォトマスクを９のホ
ルダーにセットしている。そのためフォトマスクはケー
スに収納されている表裏の状態のまま検査装置などのホ
ルダーにセットされる。つまり２のフォトマスクの上側
のＦというパターンは９のホルダーにセットされる際も
上側を向いている。
５（ａ）に示すように、１のフォトマスクケースの２の
扉を開けて４のアームを３のフォトマスクの下方に挿入
し、４のアームを１のケース内で上昇させることによっ
て３のフォトマスクを４のアームに載せ、４のアームを
水平に移動することによって３のフォトマスクを取り出
し、４のアームを３のフォトマスクを乗せた状態で４の
アーム下部の軸５を中心に１８０゜回転させ図５（ｂ）
に示すように９のホルダーの正面までアームを移動す
る。次に、アームを９のホルダーの上方にスライドさ
せ、３のフォトマスクを９のホルダー上まで移動させ４
のアームを下げることによって３のフォトマスクを９の
ホルダー上に乗せ、４のアームを３のフォトマスクの下
方より抜き取ることによって３のフォトマスクを９のホ
ルダーにセットしている。そのためフォトマスクはケー
スに収納されている表裏の状態のまま検査装置などのホ
ルダーにセットされる。つまり２のフォトマスクの上側
のＦというパターンは９のホルダーにセットされる際も
上側を向いている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、通常フォトマ
スクはフォト工程で使用される際、パターンを転写する
相手であるウエハーの上にセットされフォトマスクの上
方から光を当てて露光を行なうためフォトマスクのパタ
ーン面は下向きの状態になっていなければならない。こ
の場合フォトマスクは当然フォトマスクケース内でもパ
ターン面を下側にした状態で保管されている。
スクはフォト工程で使用される際、パターンを転写する
相手であるウエハーの上にセットされフォトマスクの上
方から光を当てて露光を行なうためフォトマスクのパタ
ーン面は下向きの状態になっていなければならない。こ
の場合フォトマスクは当然フォトマスクケース内でもパ
ターン面を下側にした状態で保管されている。
【０００４】一方、フォトマスクの検査を行う際にはフ
ォトマスクはパターン面が上向きの状態でホルダーにセ
ットされなければならないため、フォト工程を行う際と
検査工程を行う際で作業者が一旦手でフォトマスクを保
持し反転させてフォトマスクケースに収納し直す必要が
あり、たとえフォトマスクがクリーンな状態でフォトマ
スクケース内に保管されていたとしても、フォトマスク
ケースの蓋を開けて取り出す際にフォトマスクを汚染し
てしまうことがあった。
ォトマスクはパターン面が上向きの状態でホルダーにセ
ットされなければならないため、フォト工程を行う際と
検査工程を行う際で作業者が一旦手でフォトマスクを保
持し反転させてフォトマスクケースに収納し直す必要が
あり、たとえフォトマスクがクリーンな状態でフォトマ
スクケース内に保管されていたとしても、フォトマスク
ケースの蓋を開けて取り出す際にフォトマスクを汚染し
てしまうことがあった。
【０００５】また、検査からフォト工程に至る工程数も
増加し、スループットが非常に悪いと言う問題もあっ
た。
増加し、スループットが非常に悪いと言う問題もあっ
た。
【０００６】そこで本発明の目的は、作業者がフォトマ
スクをフォトマスクケースから入れ換える必要なく、フ
ォトマスクを表裏反転させる自動搬送装置を提供するこ
とにある。
スクをフォトマスクケースから入れ換える必要なく、フ
ォトマスクを表裏反転させる自動搬送装置を提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め本発明のフォトマスクの自動搬送装置は、フォトマス
クをフォトマスクケースから取り出しホルダーに移す際
またはフォトマスクをホルダーからフォトマスクケース
に戻す際にフォトマスクを表裏反転させる機能を備えた
ことを特徴とする。
め本発明のフォトマスクの自動搬送装置は、フォトマス
クをフォトマスクケースから取り出しホルダーに移す際
またはフォトマスクをホルダーからフォトマスクケース
に戻す際にフォトマスクを表裏反転させる機能を備えた
ことを特徴とする。
【０００８】また、上記の課題を解決するため本発明の
フォトマスクの検査装置は、フォトマスクをフォトマス
クケースから取り出しホルダーに移す際またはフォトマ
スクをホルダーからフォトマスクケースに戻す際にフォ
トマスクを表裏反転させる機能を持つ自動搬送装置を備
えたことを特徴とする。
フォトマスクの検査装置は、フォトマスクをフォトマス
クケースから取り出しホルダーに移す際またはフォトマ
スクをホルダーからフォトマスクケースに戻す際にフォ
トマスクを表裏反転させる機能を持つ自動搬送装置を備
えたことを特徴とする。
【０００９】
【実施例】図１、図２、図３及び図４に本発明の実施例
を載せる。
を載せる。
【００１０】図１の１はフォトマスクケース、２はフォ
トマスクケース扉、３はフォトマスク、４はフォトマス
ク搬送用アーム、５はアーム回転用支持軸、６、７、８
は回転可能なフォトマスク保持具である。本発明の搬送
装置は、まず１のフォトマスクケースの２の扉を開けて
４のアームを３のフォトマスクの下方に挿入し、４のア
ームを１のケース内で上昇させることによって３のフォ
トマスクを４のアームに載せ、４のアームを水平に移動
することによって３のフォトマスクを取り出し、回転保
持具の直前にフォトマスクを移動させる。
トマスクケース扉、３はフォトマスク、４はフォトマス
ク搬送用アーム、５はアーム回転用支持軸、６、７、８
は回転可能なフォトマスク保持具である。本発明の搬送
装置は、まず１のフォトマスクケースの２の扉を開けて
４のアームを３のフォトマスクの下方に挿入し、４のア
ームを１のケース内で上昇させることによって３のフォ
トマスクを４のアームに載せ、４のアームを水平に移動
することによって３のフォトマスクを取り出し、回転保
持具の直前にフォトマスクを移動させる。
【００１１】この後、図２の様に６の回転保持具の７の
ピストンを延ばし８のフォトマスク保持部によって３の
フォトマスクを支え、４のアームを下げてそのまま１の
フォトマスクケース方向に水平移動させ、一旦４のアー
ムを１のフォトマスクケース内に収納する。
ピストンを延ばし８のフォトマスク保持部によって３の
フォトマスクを支え、４のアームを下げてそのまま１の
フォトマスクケース方向に水平移動させ、一旦４のアー
ムを１のフォトマスクケース内に収納する。
【００１２】そして、図３の様に６、７、８の回転保持
部全体を１８０゜回転させて、３のフォトマスクを表裏
逆さにする。
部全体を１８０゜回転させて、３のフォトマスクを表裏
逆さにする。
【００１３】この時点で３のフォトマスクは、１のフォ
トマスクケース内に収納されていた状態ではパターン面
が下であったが、表裏反転して上側がパターン面になっ
ている。
トマスクケース内に収納されていた状態ではパターン面
が下であったが、表裏反転して上側がパターン面になっ
ている。
【００１４】さらに、図４の様に一旦ケースに収納して
あった４のアームを水平方向に移動させて１のフォトマ
スクケースの外側に出し、４のアームをアーム下部の軸
５を中心に１８０゜回転させて、３のフォトマスクの下
まで移動させ、６の回転保持部の７のピストンを縮めて
フォトマスクを４のアーム上に乗せ、そのままの状態で
アームを９のホルダーの上方にスライドさせ、３のフォ
トマスクを９のホルダー上まで移動させ４のアームを下
げることによって３のフォトマスクを９のホルダー上に
乗せ、４のアームを３のフォトマスクの下方より抜き取
ることによって３のフォトマスクを９のホルダーにセッ
トする。
あった４のアームを水平方向に移動させて１のフォトマ
スクケースの外側に出し、４のアームをアーム下部の軸
５を中心に１８０゜回転させて、３のフォトマスクの下
まで移動させ、６の回転保持部の７のピストンを縮めて
フォトマスクを４のアーム上に乗せ、そのままの状態で
アームを９のホルダーの上方にスライドさせ、３のフォ
トマスクを９のホルダー上まで移動させ４のアームを下
げることによって３のフォトマスクを９のホルダー上に
乗せ、４のアームを３のフォトマスクの下方より抜き取
ることによって３のフォトマスクを９のホルダーにセッ
トする。
【００１５】以上のようにして、フォトマスクを表裏反
転させてホルダーにセットするが、検査が終了してフォ
トマスクをフォトマスクケース内に元あった状態、つま
りパターン面を下側にした状態に戻す場合には、以上の
一連の動作を逆にたどることによって可能である。
転させてホルダーにセットするが、検査が終了してフォ
トマスクをフォトマスクケース内に元あった状態、つま
りパターン面を下側にした状態に戻す場合には、以上の
一連の動作を逆にたどることによって可能である。
【００１６】以上が、本発明の一実施例であるがこの他
にも、上記の自動搬送装置を備えたフォトマスクの検査
装置。また、フォトマスクをフォトマスクケースから取
り出し、フォトマスクを表裏反転させて、元のフォトマ
スクケースに収納し直す動作を行うフォトマスクの自動
搬送装置等も本発明の実施例として適用する。
にも、上記の自動搬送装置を備えたフォトマスクの検査
装置。また、フォトマスクをフォトマスクケースから取
り出し、フォトマスクを表裏反転させて、元のフォトマ
スクケースに収納し直す動作を行うフォトマスクの自動
搬送装置等も本発明の実施例として適用する。
【００１７】
【発明の効果】このように、本発明のフォトマスクの自
動搬送装置を使用すれば、フォトマスクケース内に挿入
されたフォトマスクの検査を行う場合に、通常の使用状
態のまま検査装置にセットするだけでフォトマスクの様
々な検査を行うことができ、作業者が直接フォトマスク
に触れることがないため、フォトマスクを汚染すること
がなくなるという効果がある。
動搬送装置を使用すれば、フォトマスクケース内に挿入
されたフォトマスクの検査を行う場合に、通常の使用状
態のまま検査装置にセットするだけでフォトマスクの様
々な検査を行うことができ、作業者が直接フォトマスク
に触れることがないため、フォトマスクを汚染すること
がなくなるという効果がある。
【００１８】また、フォト工程から検査工程、検査工程
からフォト工程に至る工程数が減少するため作業効率が
上がるという効果もある。
からフォト工程に至る工程数が減少するため作業効率が
上がるという効果もある。
【図１】本発明のフォトマスクの自動搬送装置の動作説
明図。
明図。
【図２】本発明のフォトマスクの自動搬送装置の動作説
明図。
明図。
【図３】本発明のフォトマスクの自動搬送装置の動作説
明図。
明図。
【図４】本発明のフォトマスクの自動搬送装置の動作説
明図。
明図。
【図５】従来のフォトマスクの自動搬送装置の動作説明
図。
図。
１‥‥フォトマスクケース ２‥‥フォトマスクケース扉 ３‥‥フォトマスク ４‥‥フォトマスク搬送用アーム ５‥‥アーム回転用支持軸 ６‥‥フォトマスク保持具回転部 ７‥‥フォトマスク保持具ピストン部 ８‥‥フォトマスク保持部
Claims (2)
- 【請求項１】 フォトマスクの自動搬送装置に於て、フ
ォトマスクをフォトマスクケースから取り出しホルダー
に移す際、またはフォトマスクをホルダーからフォトマ
スクケースに戻す際にフォトマスクを表裏反転させる機
能を備えたことを特徴とするフォトマスクの自動搬送装
置。 - 【請求項２】 フォトマスクの検査装置に於て、請求項
１記載のフォトマスクの自動搬送装置を備えたことを特
徴とするフォトマスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29600391A JPH05136233A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | フオトマスクの自動搬送装置及びフオトマスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29600391A JPH05136233A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | フオトマスクの自動搬送装置及びフオトマスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05136233A true JPH05136233A (ja) | 1993-06-01 |
Family
ID=17827875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29600391A Pending JPH05136233A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | フオトマスクの自動搬送装置及びフオトマスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05136233A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012150645A1 (ja) * | 2011-05-02 | 2012-11-08 | 村田機械株式会社 | 向き調整装置及び向き調整方法 |
| JP2012252336A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-20 | Semes Co Ltd | バッファユニット、基板処理設備、及び基板処理方法 |
| KR101663759B1 (ko) * | 2016-05-11 | 2016-10-10 | 주식회사 티엠씨 | 패턴검사용 포토마스크 얼라인 어댑터 유니트 |
| CN107228752A (zh) * | 2017-05-17 | 2017-10-03 | 耐世特凌云驱动系统（芜湖）有限公司 | 滑套自动检测差动弹簧圈装置 |
-
1991
- 1991-11-12 JP JP29600391A patent/JPH05136233A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012150645A1 (ja) * | 2011-05-02 | 2012-11-08 | 村田機械株式会社 | 向き調整装置及び向き調整方法 |
| JP5585726B2 (ja) * | 2011-05-02 | 2014-09-10 | 村田機械株式会社 | 向き調整装置及び向き調整方法 |
| KR101463135B1 (ko) * | 2011-05-02 | 2014-11-21 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 방향 조정 장치 및 방향 조정 방법 |
| JP2012252336A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-20 | Semes Co Ltd | バッファユニット、基板処理設備、及び基板処理方法 |
| US9349626B2 (en) | 2011-05-31 | 2016-05-24 | Semes Co., Ltd. | Buffer units, substrate processing apparatuses, and substrate processing methods |
| KR101663759B1 (ko) * | 2016-05-11 | 2016-10-10 | 주식회사 티엠씨 | 패턴검사용 포토마스크 얼라인 어댑터 유니트 |
| CN107228752A (zh) * | 2017-05-17 | 2017-10-03 | 耐世特凌云驱动系统（芜湖）有限公司 | 滑套自动检测差动弹簧圈装置 |
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