JP2007149903A - 欠損基板の検出方法及びその検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転するウエハWの周辺部の欠損の有無を検出する光電式の検出器8と、この検出器により基板外周部の基準位置から周方向に欠損情報を取得する欠損情報取得手段18と、取得した欠損情報を、予めメモリ19に格納してある基板周方向の既知のクランプ予定位置情報26と対比する手段28と、上記対比手段による対比の結果、各クランプ予定位置のクランプ範囲に欠損が在ると判断された場合に、その欠損の周方向長さがクランプ範囲より長いとき、又は、その欠損の数が同一クランプ範囲内に2以上あるときに基板不良(欠損基板)と判定する手段29と、基板不良と判定された基板を抜き取る手段35とを有する構成とする。
【選択図】 図1
Description
6 回転機構
7 エンコーダ
8 光電式検出器
9 光源
11 光センサ
12 光源駆動回路
13 LEDランプ
14 CCDラインセンサ
15 センサ駆動回路
16 ウエハ外周部
17 欠損
18 欠損情報取得手段
19 メモリ
26 クランプ予定位置情報
28 対比手段
29 判定手段
35 抜き取り手段
100 位置検出器
200 中央演算処理装置(CPU)
Claims (4)
- 回転する基板の周辺部の欠損の有無を検出する光電式の検出器により基板外周部の基準位置から周方向に欠損情報を取得する工程と、
取得した欠損情報を、基板外周部の既知の基板を把持するためのクランプ予定位置の情報と対比する工程と、
上記対比により各クランプ予定位置のクランプ範囲に欠損が有ると判断された場合に、その欠損の周方向長さが上記クランプ範囲より長いときに基板不良と判定する工程と、
上記基板不良と判定された基板を抜き取る工程と、
を有することを特徴とする欠損基板の検出方法。 - 請求項1記載の欠損基板の検出方法において、
上記の判定工程が、上記対比により各クランプ予定位置のクランプ範囲に欠損が有ると判断された場合に、その欠損の数が同一クランプ範囲内に2以上あるときに基板不良と判定する工程を含むことを特徴とする欠損基板の検出方法。 - 回転する基板の周辺部の欠損の有無を検出する光電式の検出器と、
上記検出器により基板外周部の基準位置から周方向に欠損情報を取得する欠損情報取得手段と、
取得した欠損情報を、予めメモリに格納してある基板周方向の既知の基板を把持するためのクランプ予定位置情報と対比する手段と、
上記対比手段による対比の結果、各クランプ予定位置のクランプ範囲に欠損が有ると判断された場合に、その欠損の周方向長さが上記クランプ範囲より長いときに基板不良と判定する手段と、
上記基板不良と判定された基板を抜き取る手段と、
を有することを特徴とする欠損基板の検出装置。 - 請求項3記載の欠損基板の検出装置において、
上記の判定手段が、上記対比により各クランプ予定位置のクランプ範囲に欠損が有ると判断された場合に、その欠損の数が同一クランプ範囲内に2以上あるときに基板不良と判定する手段を含むことを特徴とする欠損基板の検出装置。
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