201140735 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種搬送車系統’尤其係關於一種由搬送車 搬达在内部收納有複數個基板之容器之搬送車系統。 【先前技術】 ' 先前，眾所周知有-種包括有預先規定之路徑、設置於路 徑上之複數辦台、及沿著純練㈣送物品之複數個搬 送車的搬送車系統。於搬送車㈣巾，於平台與搬送車之間 進行裝貨（自平台向搬送車裝載物品）或卸貨（自搬送車向平 台搬出物品）。 作為搬送車系統之代表例，取所周知有一種在半導體工廠 之搬送系統中使用之高架搬送車系統。高架搬送車系統包含 設置於高架之轨道及可沿著執道行敬之高架搬送車。高架搬 送車主要包含卡合於軌道之行駛部、可簡堆積有半導體晶 圓之前端開 口片盒(F〇UP，Front 0pening Unified p〇d)之保 持部、及用以使保持部向上下移動之移動機構。 亦眾所周知有一種用以移載半導體晶圓或液晶玻璃之地 面搬送車。地面搬送車包含車體本體及移載裝置。移載裝置 例如包含移載臂、基台、轉盤、移載臂（例如，參照專利文 獻1)〇 於專利文獻1所揭示之地面搬送車中，於構成移載臂之移 載手設置有映射感測器。映射感測器藉由偵測缓衝區載體内 100100038 3 201140735 之各儲存槽而檢測出各儲存槽岐否配置有晶圓 [先前技術文獻] [專利文獻] 專利文獻1 .日本專利特開2〇〇3_168718號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 於搬送車系統中，搬送車於處理裝置與倉儲之間搬送在内 部收納有晶圓之載體。於該情形時，有時在搬送過程中因載 體傾斜而產生使内部之晶圓在支架傾斜或者偏離儲存槽之 不良情況。又’當於處縣置巾將晶圓_於紐時，有時 晶圓會偏離儲存槽之正常位置。若如此在產生不良情況之狀 態下搬送載體’職由於該搬送本身之㈣，導致搬送 之下降。 本發明之課題在於不會降低搬送車系統之搬送效率。 (解決問題之手段） 以下’說明複數個態樣，作為解決課題之手段。該等綠樣 可視需要任意組合。本發明之搬送車系統包括有搬送車;;狀 態檢測裝置及搬送控制部。搬送車於複數個裝置之間搬送裝 有基板之容n。狀態檢測裝置檢測容器内之基板狀態。搬送 控制部控制搬送車之搬送，㈣若自㈣_裝置輸M t 信號，則中止向目的地搬送容器。於該系統中，搬送車係於 裝置之間搬送容器。但是，當容器内之基板狀態處於異常 100100038 4 201140735 時’則搬送車將中止向目的地搬送容器。由此，可消除徒勞 之搬送知作’其結果，搬送車系統之搬送效率將較不會降低。 义狀態檢㈣置亦可於搬送車開始向目的地搬送容器之 前’檢測容器内之基板狀態。於該情形時，搬送控制部若於 開始向目的地搬送容器之前，自狀態檢測裝置輸入異常信 號，财止向目的地搬送容器。於㈣統巾，可消除徒勞之 .搬送㈣，其結果’搬送車系狀崎料將較不會降低。 若自狀態檢測裝置輸入異常信號，搬送控制部亦可使搬送 車將容器自t置搬送至異常處理裝置或檢錄置。於該系統 中’可立即對容n内之基板之異常進行處理或檢查。 裝置為對基板實施處理之基板處理裝置，若自狀態檢測裝 置輸入異常信號’搬送控制部亦可使搬送車將容器自基板處 理裝置予以搬出。於該情形時，不論正常·異常，容器均將 ί基板處理裝置被搬出。因此，基板處理裝置之運行率將提 宾》0 搬送車系統亦可更包括與裝置並設之裝置附近自動倉 庫。於該情形時’狀態檢測裝置於搬送車將容器自裝置附近 自動倉庫搬出至下—步驟之裝置之情形時，係檢測容器内之 基板狀態。於t㈣統中，若於搬送車將容器自裝置附近自動 倉庫=出至下—步驟之楚置之情形時容器内之基板狀態處 於異常’舰送車將中止向目的裝置搬送容器。由此，可消 除徒勞之搬送操作，錢果，搬送車系統之搬送效率將較不 100100038 5 201140735 會降低。 狀態檢測裝置亦可設置於裝置附近自動倉庫之出庫埠。於 該情形時’狀態檢測襄置可檢測放置於出庫埠之容器内之基 板狀態。 狀態檢測裝置亦可設置於裝置附近自動倉庫之内部。於該 情形時’狀態檢測裝置可檢測自裝置搬出之容器内之基板狀 搬送車系統亦可更包括有沿著搬送車之路徑配置立可臨 時放置谷器之緩衝區。於該情形時，狀態檢測裝置設置於缓 衝區’其於緩衝n巾檢測容器内之基板狀態。於該系統中， 若於搬送車將容器自緩衝區搬送至較遠之裝置之情形時容 器内之基板狀態處於異常，則搬送車將中止隨後容器之搬 送。由此，可消除徒勞之搬送操作，其結果，搬送車系統之 搬送效率將較不會降低。 搬送車系統亦可更包括有沿著搬送車之路徑配置之路徑 配置自動倉庫。於該情形時，狀態檢測裝置係設置於路徑配 置自動倉庫’其於路徑配置自動倉庫中檢測容器内之基板狀 態。於該系統中，若於搬送車將容器自路徑配置自動倉庫搬 出至較遠之裝置之情形時容器内之基板狀態處於異常，則搬 送車將中止容器之搬送。由此，可消除徒勞之搬送操作，其 結果’搬送車系統之搬送效率將不會下降。 狀態檢測裝置亦可設置於搬送車，用於檢測由搬送車搬送 100100038 Λ 201140735 之容器内之基板狀態。於該系統中，若於搬送車開始搬送容 器之情形時容器内之基板狀態處於異常，則搬送車將中止容 器之搬送。由此，可消除徒勞之搬送操作，其結果，搬送車 系統之搬送效率將較不會降低。 (發明效果） 於本發明之搬送車系統中，由於可適當地檢測出容器内部 之基板狀態，故而搬送效率將較不會降低。 【實施方式】 (1)搬送車系統之佈局 適用本發明之一實施形態之搬送車系統丨，為用以使複數 個搬送車3在已規定之路徑上行駛之系統。搬送車3於路徑 上行駛，並根據藉由上位之控制器所分配之搬送指令，自目 的場所裝載物品，接著行驶至搬送目的地之場所而將物品堆 積於搬送目的地之場所。搬送車系統丨可適用於半導體或液 晶之製造讀。於製造4中，係神晶圓或玻璃板等基板 上經由薄膜形成、氧化、_等各種處理構成而於基板上形 成有半導體7L件或液晶元件。於此種處理裝置之間，搬送車 3用於搬送收納有基板之載體。 圖1表示搬送車系統1之佈局。搬送車系統i包括複數個 環繞行駛路5及連結魏個環繞行祕5之基幹行敌路7。 基幹行駛路7整體上為-個環繞雜。沿著環繞行驶路$ 而設置有複數個第1處縣置9，並沿著基幹行驶路7而設 100100038 7 201140735 置有複數個倉儲(stocker)ll。倉儲11可實現環繞行駛路5 中第1處理裝置9群間之緩衝區之功能。 於第1處理裝置9及倉儲11，設置有用以將物品搬入至 設備内之入庫璋13及用以自設備搬出物品之出庫蟑15。再 者’入庫埠13與出庫埠15亦可兼用。 進而，沿著環繞行駛路5而設置有複數個第2處理裝置 51。第2處理裝置51包含處理裝置本體53及處理裝置前倉 儲55。於處理裝置前倉儲55設置有入庫埠13與出庫埠 於環繞行駛路5之内側，配置有複數個側緩衝區17。侧 緩衝區17如圖3所示，包括載置部24及將其懸掛自無塵室 之尚架29之一對支持構件26。進而，於第丨處理裝置9彼 此之間’且於環繞行歇路5之下方配置有下部緩衝區19。 下緩衝區19與側緩衝區17同樣地，包括有載置部及將其 自高架懸掛之一對支持構件。 (2)搬送車之構造 使用圖2及圖3，對搬送車3之構造進行說明。 %繞行駛路5主要包含行駛軌道3〇。行駛執道3〇藉由支 柱31而由無塵室之高架29所支持。行駛執道30由行駛軌 道本體32及供電軌道33構成。 搬送車3包含本體基座34、行駛驅動部35及受電部36。 本體基座34设置於行歇執道％之下方。行驶驅動部％於 行驶軌道本體32内行歇^受電部％自供電轨道33接收電 100100038 201140735 力。 二、為用以於農置之間搬送載體49(例如，FOUP)之 裝置於戴體49内收納有複數個基板50(例如，晶圓）。搬
送車3為懸吊式之搬送車’其更包括橫向移動機構39、升 降驅動部40月A 升降σ 41。升降驅動部40可利用傳送帶或 :、繩索等吊持材料使升降台41升降。升降台41可由手 •來卡緊·解除載體49上部之凸緣。橫向移動機構39可使升 降驅動。卩40、升降台41及載體49 ’沿著與行駛執道％之 订進方向正交之方向（左右方向）橫向移動。 於搬送車3之前後，進而設置有可自前後夾持載體49之 前側蓋37及後侧蓋38。 如圖3所不，搬送車3於其側部接近側缓衝區17之支持 構件26侧方之位置處行駛。又，搬送車3於第丨處理裝置 9之出庫埠15上方行駛。進而，雖未圖示，搬送車3可於 下部緩衝區19之一對支持構件彼此間之狹窄空間内行驶。 (3)裝置前倉儲使用圖4 ’對第2處理裝置51進行說明。圖 4係第2處理裝置之概略側視圖。 如上所述，第2處理裝置51包含處理裝置本體53及處理 ' 裝置前倉儲55。處理裝置本體53為用以對基板進行適當處 理之裝置。處理裝置刖倉儲55係接近.鄰接地設置於處理裝 置本體53。處理裝置如倉儲55係用於調整搬送車3與處理 裝置本體53間之處理時間而設置。處理裝置前倉儲55包含 100100038 9 201140735 複數個支架，且具有可暫時保管搬入至處理裝置本體53之 載體49及自處理裝置本體53搬出之載體49之功能。處理 裝置前倉儲55於與處理裝置本體53相反側處係具有入庫埠 13及出庫埠15。進而，處理裝置前倉儲55包含有用以於其 與處理裝置本體53之間搬入·搬出載體49之交接埠56。 由於設置有此種處理裝置前倉儲55,即便因處理裝置本 體53或搬送車3之故障而使載體49之搬入或搬出停滯，亦 可連續地將物品搬入至第2處理裝置51或自其搬出而無需 使系統停機。 再者，圖4中已省略以下3種裝置。 •於入庫埠13及出庫埠15與處理裝置本體53之間移載載 體49之裝置 •在處理裝置前於倉儲55内移動載體49之堆高式起重機 •於交接埠56與處理裝置本體53之間移載載體49之裝置 (4)CW感測器 使用圖5至圖7,對CW感測器（Cassette Wafer，晶圓匣）57 進行說明。圖5係表示載體及CW感測器之立體圖，圖6 係表示載體及CW感測器之俯視圖，圖7係表示載體及CW 感測器之側視圖。 CW感測器57係設置於處理裝置前倉儲55之出庫埠15。 CW感測器57包含第1光電感測器58及第2光電感測器 59。第1光電感測器58及第2光電感測器59係固定於不同 100100038 201140735 之轴60。 弟1光電感測益58及第2光電感測器59為分別獨立之反 射式感測益，可接收經朝蓋呈已關閉狀態之載體49照射包 含光之電磁波後進而自内部之基板反射而返回之電磁 波。藉由以上動作，第1光電感測器58及第2光電感測器 59可檢測出载體49内之基板50有無，而於有基板50時可 檢測出基板50是否於正常狀態下配置於儲存槽内。更詳細 而言，能夠檢測出的是整個載體49之儲存槽中之基板5〇 有無及該儲存槽中之複數個基板5G有無。由上，可檢測出 基板50傾斜地_於儲存_、基板％收納於狀外之儲 存槽内、及基板50存在有缺陷之異常狀態。 載體49對來自光電感測器之放射具有透過性。因此，不 =打開载體49之蓋，即可得知内部之基板狀態。例如 =9之全㈣1分村為透”半透明。又，電磁波之 波長未作特別限定。 於該實施例中，由於盔需 作將變得簡單且迅速。開载體49之蓋，故而檢測動 (5)搬送車系統之控制系統 以下’使用圖8，璧+输 明。圖8料-| 、钱1之㈣純20進行說 月圖8係表不搬送車系統之控制系統之方塊圖。 控制糸統20包含制、Α〜 綱25及_ ^ 器2卜物流控㈣23、倉儲控 刺裔25及搬送車控制器27。 100100038 201140735 物流控制器23為倉儲控制器25及搬送車控制器27之上 位控制器。 搬送車控制器27具有用於管理複數個搬送車 3且對該等 分配搬送指令之分配功能。再者，「搬送指令」係包括與行 驶有關之指令、或與裝貨位置及却貨位置有關之指令。 製造控制11 21可於第1處理t置9與第2處理裝置51 之間進仃通信。第1處理裝置9及第2處理裝置51將已結 束處理之載體49之搬送要求(裝貨要求卸貨要求)發送至製 造控制器21。 製以控制器21將來自第1處理裝置9及第2處理裝置51 之搬送要求發送至物流控制器23，物流控制器23將報告發 送至製造控制器21。 物流控制器23於自製造控制器21接收搬送要求時，在倉 儲11中伴k人庫或出庫之情形下，以既定之時序將入庫指 令或出庫指令發送至倉儲控制器25。錄，倉儲控制器Μ 可與此相應地將入庫或出庫指令發送至倉儲u。物流控制 器23進而當自製造控制器21接收搬送要求後，則將其轉換 為搬送指令，並對搬送車3進行㈣齡分配動作。 搬送車控制器27為了作成搬送指令而連續地與各搬送車 3進行通信，根據自各搬送車3所發送之位置f料而獲得其 位置資訊。取得位置資訊之例子有以下方法。第】，預先於 搬送軌道設定複數個點，於搬送車3通過點時可將通過信號 100100038 12 201140735 發送至搬送車控制器27。並且，搬送車控制器27將記憶搬 送車3最後通過之點及通過點之時刻。然後，根據該點區間 之規定速度與時間而運算求出搬送車3之位置。第2，例如 預先將編碼器設置於搬送車3，將通過點後之行駛距離作為 位置資料而自搬送車3發送至搬送車控制器27，由此搬送 車控制器27可把握搬送車3之位置。 搬送車控制器27為由中央處理單元（cpu，Cemral
Pr〇CeSSlng Unit)、隨機存取記憶體(RAM，Random Access 7)唯5賣5己憶體(R0M ’ Read Only Memory)等構成而 執行程式之電腦，且具有控制部及記憶體。搬送車控制器與 搬送車3進行通信，同時亦與物流控制器進行通信。搬 ' 、制器27之5己憶體中保存有路線圖。所謂路線圖，係 指記載有行駛路線之配置、·之位置、以賴為基準之基 準位f或㈣位置之座標之關。座標係將離原點之行驶距 離換异成搬送車3之編碼器之輸ώ脈衝數等者。 ^ /、有控制部及記憶體。控制部為由CPU、RAM、 ROM等構，而執行程式之電腦。控制部可與搬送車控制器
月卸’其具有控制部及記憶體。 100100038 、—I彳。搬送車3於記憶體内具有路線圖，一面將記 ;之座操及本機之内部座標（由編碼器所求出之座 ROM荨構成而執行程 。倉儲控制器25係連接 13 201140735 於存貨感測器及〗D讀取器（Identification Reader)(未圖示）而 可接收來自該等之檢測信號。 倉儲控制器25可通信地連接於起重機控制器（未圖示）。 起重機控制器係連接於堆高式起重機（未圖示），從而可將控 制信號發送至堆高式起重機。 (6) CW感測器之通信構成 使用圖9 ’對CW感測器之通信構成進行說明。圖9係表 示CW感測器及處理裝置之通信構成之方塊圖。 於搬送車系統1中，第1處理裝置9及第2處理裝Ϊ 51 配置有複數個，並與此相對應地設置有CW感測器57。於 CW感測器57連接有CW感測器.控制器61。CW感測器· 控制器61為由CPU、RAM、ROM等構成而執行程式之電 腦，其具有控制部及記憶體。CW感測器·控制器61係接收 來自CW感測器57之檢測資訊，進而判斷基板5〇之炎常· 異常。 於CW感測器.控制器61進而連接有製造控制器21。製 造控制器21根據來自CW感測器.控制器61之資訊，對物 流控制器23發送搬送要求或搬送中止要求。 (7) 檢測搬送開始前之载體内部之動作 使用圖1〇及圖13，對檢測搬送車3將載體49自第2處 理裝置51之處理裝置前倉儲55搬送至其他裝置時之截體内 部之動作進行說明。圖10係表示自裝置前倉儲搬送載醴之 100100038 201140735 動作之模式圖。圖13係表示用於檢測載體内之基板狀態之 處理之流程圖。 於圖13之步驟S1中，於處理裝置前倉儲55中，未圖示 之堆同式起重機將載體49移動至出庫埠15。於步驟S2中， CW感測器.控制器61根據來自CW感測器57之檢測資訊 - 而判斷載體49内之基板5Q之狀態是否正常。於正常之情形 - 夺矛序將過渡到步驟S3。於異常之情形時，程序則過渡 到4 S4。再者，作為變形例，亦可預先將感測器之安裝 地又定於倉儲内部，從而能立即確認經結束處理而搬出之 載體内之晶圓狀態。又，亦可預先對搬送車分配搬出指令， 於直至搬送車到達為止之等待時間内確認載體内之晶圓狀 態’若為異常時，射止搬出指令分配。 於步驟S3甲’ CW感剛器·控制器61將表示晶圓為正常 之内令發送至製造控制器21。進而，製造控制器21將搬送 要求發送至物流控制器23。藉此，搬送車3可將載體49搬 送至目的褒置。於目的裝置中，由於在到達之前已確認基板 5G之正常狀態’因而有時在搬人時亦可不確認裝載谭中基 板％之狀態。於該情形時，於裝载埠打開载體後，將可立 即處理基板5〇。 於步驟S4中，CW感測器·控制器61將表示晶圓為異常 之内容發送至製造控顧21。進.製造控制器21將異常 時之搬送要級送至減控制器η。由此，搬送車3可將 100100038 201140735 載體49搬送至異常載體處理裝置(未圖示）。亦即，中止對 目的地之搬送。於異常賴處卿、置+，使絲恢復正常狀 ^再者’亦可進行將載體之目的地變更為檢查裝置之處理。 綜上所述’搬送車系統i係包括有搬送車3、cw感測器 ⑽造控制器2卜搬送車3於複數個裝置之間搬送裝有 基板50之載體49。cw感測器57檢測載體49内之基板％
之狀態。製造控制器21控制搬送車3之搬送，同時若自CW 感測器57輸入異常信號’則搬送車3將中止載體W自裝置 搬送至其他裝置。再者’亦可進行將載體之目的地變更為檢 查裝置之處理。 之間搬送載體49。但是 於該系統中，搬送車3係於裝置 當載體49内之基板50之狀態變成異常時，搬送車3將中止 載體的自裝置崎至其他裝置。纽，可㈣徒勞之搬送 操作’其結果’搬送車系統丨之搬送效率較不會降低。亦即， 本發明之課題在於藉由減少徒勞之料而提高_效率本 發明之解決手段係於自裝置開始搬送之前即檢測載體内之 基板狀態。 又，於上述實施形態中，於自第2處理裝置Μ搬送載體 49時’則確認基板50之狀態，於正常.異常之任―_時， 搬送車3均自第2處理觉署^丨妨χ_φ^ μ 衷置51搬出载體49。因此，第2處 理裝置51之運行率將提高。 (8)本發明之特徵 100100038 201140735 搬送車系統1係包括有搬送車3、CW感測器57(狀態檢 測裝置）及各種控制器（搬送控制部）。搬送車3於複數個裝置 之間搬送裝有基板50之載體49。CW感測器57檢測載體 49内之基板50之狀態。各種控制器控制搬送車3之搬送， 同時若自CW感測器57輸入異常信號，則中止向目的地搬 - 送載體49。 - 於該搬送車系統1中，搬送車3係於裝置之間搬送載體 49。但是，當載體49内之基板50之狀態變成異常時，搬送 車3中止向目的地搬送載體49。由此，可消除徒勞之搬送 操作，其結果，搬送車系統1之搬送效率將較不會降低。 CW感測器57於搬送車3開始向目的地搬送載體49之 前，即檢測載體49内之基板50之狀態。於該情形時，若於 開始向目的地搬送載體49之前自CW感測器57輸入有異常 信號，則製造控制器21將中止向目的地搬送載體49。 於該搬送車系統1中，可消除徒勞之搬送操作，其結果， 搬送車系統1之搬送效率將較不會降低。 (9)其他實施形態 以上，已對本發明之實施形態進行說明，但本發明並不受 限於上述實施形態，可於不脫離發明主旨之範圍内進行各種 變更。尤其本說明書所記載之複數個實施形態及變形例可視 需要任意組合。 (9-1)於其他裝置中設置有CW感測器之變形例 100100038 17 201140735 於上述實施形態中，係已對處理裝置前倉儲55中設置有 CW感測器57之情形進行說明，但本發明並不受限於此。 作為本發明之實施形態，若自cw感測器57輸入異常信號， 只要搬送車3中止將裁體49自裝置向其他裝置搬送，則cw 感測器57之位置亦可為任一處。 以下，作為第1變形例，對在第1處理裝置9、倉儲u、
側緩衝區17、下部緩衝區19之全部或一部分中設置有cW 感測器57之例進行說明。圖u係揭示此種實施例。圖^ 係表不自處理裝置及倉儲、缓衝區搬送載體之動作之模式 圖。於該情形時，於將載體49自第1處理裝置9、倉儲n、 側緩衝區17、下部緩衝區19搬送至其他裝置之時，執行圖 13之處理。 例如’ CW感測器57係設置於第1處理裝置9，於第i 處理裝置9中檢測載體49内之基板50之狀態。於該系統 中’右於搬送車3將载體49自第1處理裝置9搬出至較遠 之裝置之情形時載體49内之基板50之狀態處於異常，則搬 送車3將中止搬送載體49。由此，可消除徒勞之搬送操作， 其結果，搬送車系統1之搬送效率將較不會降低。 於該變形例中，於自第1處理装置9搬送載體49時，確 °心基板50之狀態，於正常.異常之任一情形時，搬送車3 均自第1處理裝置9搬出載體49。因此，第i處理裝置9 之運行率將提高。 100100038 201140735 例如，CW感測器57係設置於倉儲n，並於倉儲I〗中人 測載體49内之基板5〇之狀態。於該系統中，若於搬送車^ 將載體49自倉11 *出至較遠之裝置之情形時載體的内 之基板50之狀態處於異常，則搬送車3將中止搬送載體 49。由此，可祕徒勞之搬送操作，其結果，搬送車系統1 . 之搬送效率將較不會降低。 '' 例如’⑽感測器57係設置於側緩衝區17及下部緩衝區 19，並於側緩衝區17及下部緩衝區19中檢測載體49内二 基板50之狀態。於該系統中，若於搬送車3將载體的 緩衝區17及下部緩衝區19搬出至較遠之裝置之情形時载體 49内之基板50之狀態處於異常，則搬送車3將中止隨後之 載體49之搬送。由此，可消除徒勞之搬送操作，其 搬送車系統1之搬送效率將較不會降低。 以下，作為第2變形例，對搬送車 57之例進行說明。圖12係揭 。又置有CW感測器 搬送車自處理裝置搬送載體之動作^表不 右於搬送車3開始搬送載體49之情 …中’ 50之狀態處於異常，則搬送車3中 载體49内之基板 _搬送。由此，可消除徒勞之搬送操作，其 向目的位置之 1之搬送效率將較不會降低。 搬送車系統 於該例中，於搬送車3將裁體49自 儲1卜侧緩衝區17向其他裴 禮裝置9、倉 100100038 搬送之情形時，執行圖13 201140735 之處理。 (9-2)其他變形例 CW感測器57可僅設置於一種裝置，亦可設置於複數種 裝置。但是，如圖10所示，於在處理裝置前倉儲55中設置 有CW感測器57之情形時，當將載體49自處理裝置前倉儲 55搬送至其他處理裝置時只要檢測基板50之狀態一次即 可，因此效率較佳。因此，僅將CW感測器57設置於處理 裝置前倉儲之實施例更為有效。 CW感測器之種類只要為非接觸感測器即可，不受特別限 定。例如，CW感測器可為穿透型之光電感測器，亦可為包 含投光器及攝像機之感測器。 一處之CW感測器57可為一個，亦可為3個以上。 CW感測器57亦可設置於地板緩衝區。 CW感測器57亦可將檢測信號發送至第1處理裝置9或 第2處理裝置51之控制器而非發送至製造控制為21。於該 情形時，係將檢測信號自第1處理裝置9戒第2 51之控制器發送至製造控制器21。 進而’ CW感測器57亦可將檢測信號發送至设置场所之 裝置之控制器。例如，CW感測器57可將檢測#號發送至 倉儲控制器25、搬送車控制器27、搬送卓3内之控制器。 搬送車系統之佈局及控制系統並不受限於上述實把形 態。又，適用搬送車系統之設備之種類亦不受限於上述實施 100100038 20 201140735 形態。 搬送車之種類亦可為高架搬送車、在無軌道上行駛之無人 搬送車或有軌道台車之任一種。 (產業上之可利用性） 本發明係可廣泛應用於由搬送車搬送内部收納有複數個 . 基板之容器之搬送車系統。 . 【圖式簡單說明】 圖1係表示本發明一實施形態之搬送車系統之佈局之部 分俯視圖。 圖2係高架搬送車之側視圖。 圖3係高架搬送車在處理裝置與側緩衝區之間行駛時之 前視圖。 圖4係第2處理裝置之概略側視圖。 圖5係表示載體及CW感測器之立體圖。 圖6係表示載體及CW感測器之俯視圖。 圖7係表示載體及CW感測器之側視圖。 圖8係表示搬送車系統之控制系統之方塊圖。 ' 圖9係表示CW感測器及處理裝置之通信構成之方塊圖。 ' 圖10係表示自裝置前倉儲搬送載體之動作之模式圖。 圖11係表示自處理裝置及倉儲、緩衝區搬送載體之動作 之模式圖。 圖12係表示搬送車自處理裝置搬送載體之動作之模式 100100038 21 201140735 圖。 圖13係表示用於檢測載體内之基板狀態之處理之流程 圖。 [ 主要元件符號說明】 1 搬送車系統 3 搬送車 5 環繞行驶路 7 基幹行駛路 9 第1處理裝置 11 倉儲（路徑配置自動倉庫) 13 入庫琿 15 出庫埠 17 側緩衝區（緩衝區） 19 下部緩衝區（緩衝區） 20 控制系統 21 製造控制器（搬送控制部） 23 物流控制器 24 載置部 25 倉儲控制器 26 支持構件 27 搬送車控制器 29 高架 100100038 22 201140735 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 49 50 51 53 55 56 57 58 59 60 行駛轨道 支柱 行駛執道本體 供電執道 本體基座 行駛驅動部 受電部 前側蓋 後側蓋 橫向移動機構 升降驅動部 升降台 載體（容器） 基板 第2處理裝置 處理裝置本體 處理裝置前倉儲（裝置附近自動倉庫) 交接埠 CW感測器（狀態檢測裝置） 第1光電感測器 第2光電感測器 袖 100100038 23 201140735 61 CW感測器·控制器 100100038 24