KR101423221B1 - 반송 시스템 및 반송 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 처리장치의 전면(前面)을 막지 않으며, 또한 반송시스템이 평면에서 볼 때 차지하는 바닥면적을 작게 하면서 처리장치에 물품을 신속하게 공급 반출할 수가 있다.
복수의 처리장치 사이에서 물품을 반송하기 위하여, 처리장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 제 1 궤도와, 제 1 궤도를 따라 주행하며 또한 호이스트를 구비하는 천정 주행차를 설치한다. 제 1 궤도의 하방으로서, 로드 포트의 상방을 통과하며 또한 제 1 궤도와 평행하게 제 2 궤도를 배치한다. 제 2 궤도의 하방으로서, 로드 포트보다 높은 위치에, 로드 포트의 수직 상방부를 물품이 연직방향으로 통과할 수 있게 물품을 놓기 위한 버퍼를 설치한다. 버퍼 및 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는 호이스트를 구비한 로컬 대차를 제 2 궤도를 따라 주행시킨다.
복수의 처리장치 사이에서 물품을 반송하기 위하여, 처리장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 제 1 궤도와, 제 1 궤도를 따라 주행하며 또한 호이스트를 구비하는 천정 주행차를 설치한다. 제 1 궤도의 하방으로서, 로드 포트의 상방을 통과하며 또한 제 1 궤도와 평행하게 제 2 궤도를 배치한다. 제 2 궤도의 하방으로서, 로드 포트보다 높은 위치에, 로드 포트의 수직 상방부를 물품이 연직방향으로 통과할 수 있게 물품을 놓기 위한 버퍼를 설치한다. 버퍼 및 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는 호이스트를 구비한 로컬 대차를 제 2 궤도를 따라 주행시킨다.
Description
본 발명은 반송 시스템에 관한 것으로서, 특히 처리장치를 대기시키는 일없이 물품을 공급 반출하는 반송 시스템에 관한 것이다.
반도체 가공장치 및 반도체의 검사장치 등의 처리장치를 대기시키는 일없이, FOUP(반도체 웨이퍼를 반송하기 위한 밀폐형 카세트) 등의 물품을, 이들 장치의 로드 포트로 공급 및 반출할 필요가 있다. 이를 위해, 처리장치 부근에 버퍼를 설치하고 버퍼와 처리장치 사이의 반송을 수행하기 위한 제 2 반송장치를 설치하는 것이 제안된 바 있다. 예컨대, 특허문헌 1(JP2006-224944A)에서는, 천정 주행차의 궤도를 천정 스페이스에 평행하게 복수로 배치하고, 한쪽을 장거리 반송용, 다른 쪽을 단거리 반송용으로 한다. 그리고, 장거리 반송용 궤도의 수직 하방에 버퍼를, 단거리 반송용 궤도의 수직 하방에 처리장치의 로드 포트를 배치한다. 장거리 반송용 천정 주행차는 버퍼와의 사이에서 물품을 주고받고, 단거리 반송용 천정 주행차는 버퍼와 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는다. 따라서, 처리장치가 필요로 하는 물품이 미리 버퍼까지 반송되어 있으면, 처리장치로의 물품의 공급을 고속으로 수행할 수가 있다. 또한, 처리장치의 로드 포트로부터의 물품의 반출은, 단거리 반송용 천정 주행차에 의해 고속으로 수행된다. 그러나, 이렇게 하면, 같은 높이 위치에 평행하게 궤도를 설치하기 때문에, 반송 시스템이 평면에서 볼 때 차지하는 바닥면적이 증대된다.
특허문헌 2(JP2005-150129A)에서는, 처리장치의 전면(前面)에 반송장치를 구비한 버퍼를 설치하고, 천정 주행차는 버퍼와의 사이에서 물품을 주고받으며, 버퍼 내의 반송장치가 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는다. 그러나 처리장치의 전면에는, 가동상황을 나타내는 디스플레이, 매뉴얼 조작용 조작패널 등이 설치되어 있어, 버퍼로 이들을 막는 것은 바람직하지 않다. 또, 로드 포트는 자동반송장치만 이용하는 것은 아니며 사람의 손으로 물품을 공급 반출하는 경우도 있어, 처리장치의 전면을 버퍼로 덮으면 손으로 액세스하기가 어려워진다.
본 발명의 과제는 처리장치의 전면을 막지 않으며, 또한 반송 시스템이 평면에서 볼 때 차지하는 바닥면적을 작게 하면서 처리장치에 물품을 신속하게 공급 및 반출하는 데 있다.
본 발명의 추가적인 과제는 로컬 대차(臺車)의 구체적인 구성을 제공하는 데 있다.
본 발명의 추가적인 과제는 로컬 대차의 급전선(給電線)이 불필요하도록 하는 데 있다.
본 발명의 추가적인 과제는 로컬 대차가 천정 주행차의 수직 하방에 존재하는 것을 추가적인 장치없이 검출하는 데 있다.
본 발명의 반송 시스템은 복수의 처리장치 사이에서 물품을 반송하며,
처리장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 제 1 궤도와,
제 1 궤도를 따라 주행하며 호이스트를 구비하는 천정 주행차와,
상기 제 1 궤도의 하방으로서, 상기 로드 포트의 상방을 통과하며 또한 상기 제 1 궤도와 평행하게 배치된 제 2 궤도와,
상기 제 2 궤도의 하방으로서, 상기 로드 포트보다 높은 위치에, 상기 로드 포트의 수직 상방부를 물품이 연직방향으로 통과할 수 있게 설치된, 물품을 놓기 위한 버퍼와,
상기 버퍼 및 상기 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는 호이스트를 구비하며, 또한 제 2 궤도를 따라 주행하는 로컬 대차가 설치되어 있다.
본 발명에서는, 천정 주행차가 주행하는 스페이스와 로컬 대차가 주행하는 스페이스를 연직방향으로 겹칠 수 있다. 따라서 반송 시스템이 평면에서 볼 때 차지하는 바닥면적을 작게 할 수가 있다. 또, 처리장치의 전면을 버퍼로 막지 않는다. 그리고 천정 주행차도 로컬 대차도 모두 버퍼 및 로드 포트 쌍방과의 사이에서 물품을 주고받는다. 따라서, 처리장치를 대기시키는 일이 없으며 또한 처리장치로부터의 물품을 신속하게 반송할 수 있다. 버퍼는 로드 포트의 수직 상방부로부터 벗어난 위치에만 설치하여도 무방하고, 혹은 버퍼의 프레임 등을 로드 포트의 수직 상방부에도 배치하여도 무방하다.
본 발명은 또한 호이스트를 구비하는 천정 주행차와, 처리장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정 주행차의 궤도로 이루어지는 기존에 설치된 천정 주행차 시스템에 추가적으로 설치하는 반송 시스템에 관한 것이다. 본 시스템은,
천정 주행차의 궤도의 하방으로서, 처리장치의 로드 포트의 상방을 통과하며 또한 천정 주행차의 궤도와 평행하게 배치된 제 2 궤도와,
상기 제 2 궤도의 하방으로서, 상기 로드 포트보다 높은 위치에, 상기 로드 포트의 수직 상방부를 물품이 연직방향으로 통과할 수 있게 설치된, 물품을 놓기 위한 버퍼와,
상기 버퍼 및 상기 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는 호이스트를 구비하고, 또한 제 2 궤도를 따라 주행하는 로컬 대차를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 하면, 기존에 설치된 천정 주행차 시스템에, 제 2 궤도와 로컬 대차 및 버퍼로 이루어지는 반송 시스템을 추가 설치할 수가 있다. 그리고, 추가 설치되는 반송 시스템은, 처리장치의 개조를 필요로 하지 않으면서 기존에 설치된 천정 주행차 시스템에 대해서도 지지기둥을 겸용하는 정도의 개조만 필요로 하게 된다.
본 발명에서는 호이스트를 구비하는 천정 주행차와 처리장치의 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는다.
그리고, 천정 주행차는 처리장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정 주행차의 궤도를 따라 주행하며,
천정 주행차의 궤도의 하방으로서, 처리장치의 로드 포트의 상방을 통과하며 또한 천정 주행차의 궤도와 평행하게 제 2 궤도가 설치되고,
상기 제 2 궤도의 하방으로서, 상기 로드 포트보다 높은 위치에, 상기 로드 포트의 수직 상방부를 물품이 연직방향으로 통과할 수 있도록 물품을 놓기 위한 버퍼가 설치되며,
상기 버퍼 및 상기 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는 호이스트를 구비하고, 또한 제 2 궤도를 따라 주행하는 로컬 대차가 설치되며,
천정 주행차에 의해 버퍼와의 사이에서 호이스트에 의해 물품을 주고받는 단계와,
로컬 대차에 의해, 버퍼와 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는 단계를 실행한다.
바람직한 반송 시스템에서는, 상기 제 2 궤도가 적어도 한 쌍의 레일을 구비하고, 더욱이 상기 한 쌍의 레일 사이에 상기 물품이 연직방향으로 통과할 수 있는 틈새가 형성되어 있다. 이러한 양태에서는, 제 2 궤도에서의 로컬 대차를 지지하는 한 쌍의 레일 사이의 틈새를 물품의 폭보다 크게 하는 등에 의해, 물품이 제 2 궤도를 연직방향으로 통과할 수가 있다. 따라서, 제 1 궤도와 제 2 궤도와 로드 포트가 연직방향으로 겹치도록 배치할 수 있어 물품의 주고받기가 간단해진다. 또, 로컬 대차를 한 쌍의 레일로 지지할 수 있다.
보다 바람직한 반송 시스템에서는, 제 1 궤도와 제 2 궤도와 버퍼가, 평행하게 평면에서 볼 때 겹치도록 처리장치의 전면(前面)에 배치되어 있다. 그리고 로드 포트의 상부에서 버퍼는 버퍼의 틈새를 구비하고, 버퍼의 틈새를 통해 천정 주행차도 로컬 대차도 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받을 수 있게 되어 있다. 이와 같이 하면, 천정 주행차도 로컬 대차도 모두 로드 포트에 액세스할 수 있다.
특히 바람직한 반송 시스템에서는, 물품이 놓여 있는 버퍼의 상부를, 물품을 반송하고 있는 로컬 대차가 통과할 수 있는 높이에, 버퍼가 배치되어 있다. 이와 같이 하면, 천정 주행차와 로컬 대차는 버퍼 위의 임의의 빈 위치에 물품을 내려놓고 임의의 위치로부터 물품을 반출할 수가 있다.
혹은, 물품이 놓여 있는 버퍼의 상부를, 물품을 반송하고 있지 않은 로컬 대차는 통과할 수 있으나, 물품을 반송하고 있는 로컬 대차는 통과할 수 없는 높이에, 버퍼를 배치하여도 무방하다. 이와 같이 하면, 로컬 대차에 의한 버퍼와의 물품의 반입반출 순서에 제약이 생기지만, 버퍼와 제 2 궤도와의 높이의 차를 작게 하여 버퍼를 용이하게 설치할 수가 있다.
예컨대, 천정 주행차와 로컬 대차를 제어하는 수단을 설치하여, 천정 주행차는 상기 버퍼로의 물품의 반입과, 상기 로드 포트로부터의 물품의 반출을 수행하고, 상기 로컬 대차는 상기 버퍼로부터 상기 로드 포트로의 물품의 반입을 수행하도록 제어한다. 이와 같이 하면, 천정 주행차측에서는, 버퍼가 물품의 반입 전용의 로드 포트가 되고, 처리장치의 로드 포트가 물품의 반출 전용의 로드 포트가 되어, 로드 포트로 물품을 반입할 수 없는 문제를 줄일 수가 있다. 또, 처리장치측에서는, 처리할 예정의 물품을 버퍼에 축적할 수가 있다.
바람직하게는, 상기 로컬 대차는 배터리 구동이며, 또한 로컬 대차의 배터리를 충전하기 위한 충전장치가, 제 2 궤도를 따라 상기 로드 포트 및 상기 버퍼의 수직상방부로부터 벗어난 위치에 설치되어 있다. 이와 같이 하면, 로드 포트 및 버퍼로의 물품의 반입반출을 방해하지 않으면서 로컬 대차의 배터리 충전이 가능하다.
혹은, 바람직하게는, 로컬 대차는 축전기로부터의 전력으로 구동되며, 또한 로컬 대차의 배터리를 충전하기 위한 충전장치가 로컬 대차의 제 2 궤도를 따르는 각 정지위치에 설치되어 있다. 로컬 대차는 정지할 때마다 충전가능하므로, 배터리 혹은 전기 이중층 캐패시터 등의 축전기로 구동할 수 있으며, 또한 축전기가 충전 부족이 되는 일이 없다.
바람직하게는 천정 주행차는, 로드 포트의 수직 상방의 위치에서, 광축이 상하방향을 향하며 또한 로컬 대차의 주행경로를 통과하는 광에 의해, 로드 포트와 광 통신을 수행하기 위한 광 통신부를 구비한다. 이와 같이 하면, 로컬 대차가 로드 포트의 수직 상방에 위치하면, 천정 주행차는 로드 포트와의 광 통신이 불가능해진다. 따라서, 로드 포트와의 광 통신을 이용하여, 천정 주행차와 로드 포트 사이의 물품의 이재(移載)에 로컬 대차가 간섭할 가능성을 배제할 수가 있다.
또, 로컬 대차의 컨트롤러에 의해, 천정 주행차와 로컬 대차와 처리장치에 대해 통신하도록 하여도 무방하다. 예컨대, 로컬 대차의 컨트롤러는 천정 주행차와 광 혹은 무선으로 통신하며, 로컬 대차 및 처리장치와는 광, 무선 혹은 유선으로 통신한다. 이와 같이 하면, 로컬 대차의 컨트롤러에 의해 버퍼 및 로드 포트로의 물품의 반입반출을 제어할 수가 있다.
바람직한 반송 시스템에서는, 상기 로드 포트측의 간섭물을 검출하는 룩 다운 센서가 상기 버퍼에 설치되어 있다. 여기에서 로드 포트측은, 로드 포트의 부근 혹은 그 근방을 의미한다. 그리고 상기 센서의 신호에 의해, 컨트롤러를 통해 로컬 대차와 천정 주행차를 제어하면, 사람 등의 로드 포트 부근의 간섭물과, 로컬 대차 및 천정 주행차의 이재(移載)장치동작이 간섭하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 반송 시스템의 주요부 측면도이다.
도 2는 도 1로부터 버퍼의 높이레벨을 바꾼 변형예에 따른 반송시스템의 주요부 측면도이다.
도 3은 실시예에 따른 반송 시스템의 주요부 평면도이다.
도 4는 변형예에 따른 반송 시스템의 주요부 평면도이다.
도 5는 로컬 대차의 측면도이다.
도 6은 로컬 대차가 모노레일에서 주행하는 변형예의 주요부 평면도이다.
도 7은 최적의 실시예에 따른 반송 시스템의 주요부 측면도이다.
도 2는 도 1로부터 버퍼의 높이레벨을 바꾼 변형예에 따른 반송시스템의 주요부 측면도이다.
도 3은 실시예에 따른 반송 시스템의 주요부 평면도이다.
도 4는 변형예에 따른 반송 시스템의 주요부 평면도이다.
도 5는 로컬 대차의 측면도이다.
도 6은 로컬 대차가 모노레일에서 주행하는 변형예의 주요부 평면도이다.
도 7은 최적의 실시예에 따른 반송 시스템의 주요부 측면도이다.
이하에서 본 발명을 실시하기 위한 최적의 실시예를 나타낸다. 본 발명의 범위는, 특허청구범위의 기재에 근거하며, 명세서의 기재와 본 분야에서의 주지기술을 참작하여 당업자의 이해에 따라 정해져야 한다.
(실시예)
도 1 ~ 도 7은 실시예에 따른 반송 시스템과 그 변형을 나타낸다. 도 1~도 5에 있어서, 도면부호 2는 천정 주행차로서, 예컨대 반도체 공장 내에서 공정간 반송과 공정내 반송을 수행한다. 도면부호 4는 로컬 대차로서, 개개의 처리장치(12)에 대한 FOUP 등의 물품(24)의 공급과 반출을 수행하거나, 혹은 인접한 여러 대의 처리장치(12)에 대한 물품의 공급과 반출을 수행한다. 도면부호 6은 천정 주행차의 궤도로서, 주행 레일과 급전(給電) 레일로 이루어진다. 도면부호 8은 로컬 대차(4)의 궤도로서, 도 3 등에 나타낸 한 쌍의 레일(9,9)로 이루어지며, 레일(9,9) 사이의 틈새를 물품(24)이 상하로 통과할 수 있다. 로컬 대차(4)는 궤도(8)의 상방을 주행하는데, 궤도(8)의 하방을 주행하여도 무방하다. 처리장치(12)는 1개~복수 개의 로드 포트(14)를 구비하며, 처리장치(12)의 전면에 평행하게 궤도(6,8)와 버퍼(10)가 연장되어 있다. 도면부호 16은 클린 룸 등의 천정으로서, 지지기둥(17~19)에 의해 궤도(6,8)와 버퍼(10)가 지지되어 있다.
도면부호 10은 버퍼로서, 물품(24)을 임시로 재치(載置)하며 궤도(8)의 하방에 궤도(6,8)와 평행하게 배치되어 있다. 궤도(8)를 주행하는 로컬 대차(4)는 물품(24)이 임시로 놓여 있는 버퍼(10)의 상부를, 물품(24)을 반송하고 있지 않은 경우에는 통과할 수 있으나, 물품(24)을 반송하고 있는 경우에는 통과할 수 없다. 이 때문에 버퍼(10)에 다수의 물품이 임시로 놓여 있을 경우, 로컬 대차(4)가 버퍼(10) 내에서 물품(24)을 반송할 때, 반송에 순서가 생기게 된다. 이에 대하여 도 2와 같이, 버퍼(10)의 높이 레벨을 낮추어 버퍼(11)로 하고, 물품(24)이 임시로 놓여 있는 버퍼(11)의 상부를, 물품(24)을 반송하고 있는 로컬 대차(4)가 통과할 수 있도록 하여도 무방하다. 예컨대, 궤도(8)의 바닥부와 버퍼(11) 상부의 사이에, 물품(24) 높이의 2배 이상의 간격을 둔다. 이와 같이 하면, 천정 주행차(2)와 로컬 대차(4)는 버퍼(11) 상의 임의의 빈 위치에 물품(24)을 내려놓고, 임의의 위치로부터 물품(24)을 반출할 수 있다. 높이레벨이 낮은 점을 제외하고, 버퍼(11)는 버퍼(10)와 동일하며, 실시예에서는 버퍼(10,11) 중 어느 것을 이용하여도 무방하다.
천정 주행차의 궤도(6)가 가장 높은 위치에 있으며, 예컨대 그 수직 하방에 로컬 대차의 궤도(8)가 있고, 궤도(6,8)는 평행하며 상하로 겹쳐 있다. 궤도(6,8)의 수직 하방에 이들과 평행하게 버퍼(10,11)가 있으며, 로드 포트(14)는 궤도(6,8)의 수직 하방에 있다. 실시예와 같이 버퍼(10,11)와 로드 포트(14)가 평면에서 볼 때 겹치도록 배치할 경우, 물품(24)이 연직방향으로 통과하기 위한 틈새(30)를, 로드 포트의 수직 상방부에서 버퍼(10,11)에 설치한다. 혹은, 로드 포트(14)와 평면에서 볼 때 겹치는 위치를 피하도록 버퍼(10,11)를 설치하여도 무방하다. 로컬 대차의 궤도(8)에서는, 예컨대 그 일단으로서 로드 포트(14)와도 버퍼(10,11)와도 평면에서 볼 때 겹치지 않는 위치에 충전장치(20)가 있으며, 로컬 대차(4)의 배터리를 충전한다. 또한, 충전장치(20)는 버퍼(10,11)의 물품(24)과 연직방향으로 겹치는 위치에 설치하여도 무방하다. 그러나, 이와 같이 하면 로컬 대차(4)에 대한 충전과 천정 주행차(2)와 버퍼(10,11)와의 사이에서의 물품의 주고받기가 간섭하게 된다. 따라서, 궤도(8)의 단부로서, 로드 포트(14)와도 버퍼(10,11)와도 연직방향으로 겹치지 않는 위치에 충전장치(20)를 설치하는 것이 바람직하다.
도면부호 22는 로컬 컨트롤러로서, 로컬 대차(4)를 제어하며 실시예에서는 충전장치(20)의 부근에 설치하여 광 통신 등으로 로컬 대차(4)와 통신한다. 또한, 로컬 컨트롤러(22)는 지상측에 설치하여도 무방하다. 또, 충전장치(20)에 대한 급전(給電)은 예컨대 지지기둥(18)을 따라 설치된 도시되지 않은 급전선에 의해 수행한다.
천정 주행차(2)는 예컨대 전후에 낙하방지커버(25,25)를 구비하고, 승강대(26)를 도시되지 않은 호이스트에 의해 승강시켜 연직방향을 따라 물품(24)을 이재한다. 천정 주행차(2)에는 이것 이외에, 물품(24)을 횡으로 이송하기 위한 횡이송 기구 등을 설치하여도 무방하다. 천정 주행차(2)는 광 통신부(31)를 구비하며, 로드 포트(14)측에 설치된 광통신부(31')와의 사이에서, 광축이 상하방향을 향하고, 또한 로컬 대차(4)의 주행경로를 통과하는 광에 의한 광 통신을 통해 물품을 주고받기 전의 인터로크를 수행한다. 여기서 천정 주행차(2)와 로드 포트(14)의 사이에 로컬 대차(4)가 존재하면 광 통신부(31,31') 사이의 광축이 차단되도록 광 통신부(31,31')를 배치한다. 이로써 로컬 대차(4)를 검출하기 위한 여분의 장치없이 천정 주행차(2)와 로드 포트(14)의 사이에 로컬 대차가 존재하지 않는 것을 확인할 수가 있다. 더욱이 천정 주행차(2)에는 로컬 컨트롤러(22)와의 통신수단(도시생략)을 설치하여, 버퍼(10,11)와의 사이에서 물품을 주고받을 때 로컬 컨트롤러(22)와 통신한다.
처리장치(12)는 여기서는 가공장치 외에 검사장치도 포함하는 것으로 한다. 처리장치(12)의 전면(前面)에는 로드 포트(14)가 설치되고, 로드 포트(14)와의 사이에서 천정 주행차(2), 로컬 대차(4) 및 지상을 이동하는 사람이 물품(24)을 주고받는다. 처리장치(12)의 전면에는 로드 포트(14) 외에, 디스플레이(28)와 조작패널(29) 등이 설치되어, 처리장치(12)의 가동상황을 감시하며 사람의 손으로 처리장치(12)를 제어할 수 있도록 한다.
로컬 대차의 궤도(8)는 한 쌍의 레일(9,9)로 이루어지며, 레일(9,9) 사이의 폭(D, 도 3)은 물품(24)의 폭보다 크고, 물품(24)은 승강대(26)와 함께 레일(9,9) 사이의 틈새를 연직방향으로 통과할 수 있다. 더욱이 버퍼(10,11)에서는 로드 포트(14,14)의 상부에 틈새(30)를 형성하여, 물품(24)이 버퍼(10,11)를 연직방향으로 통과할 수 있도록 한다. 혹은, 로드 포트(14)의 수직 상방부를 벗어나도록 버퍼(10,11)를 배치한다. 이 때문에, 궤도(6,8)와 로드 포트(14)가 연직방향으로 겹치도록 배치하여도, 천정 주행차(2)는 로드 포트(14) 및 버퍼(10,11)와 물품을 주고받을 수 있다. 마찬가지로 로컬 대차(4)는 버퍼(10,11) 및 로드 포트(14)와 물품을 주고받을 수 있다. 따라서 평면에서 볼 때 반송 시스템이 차지하는 바닥면적을 최소화할 수가 있다.
로컬 대차의 궤도(8) 수직 하방의 버퍼(10) 등 만으로는 버퍼의 용량이 부족할 경우, 도 4와 같이 추가의 버퍼(32)를 설치하여 지지기둥(34)에 의해 천정 등으로부터 지지하여도 무방하다. 이 경우, 추가의 버퍼(32)는 예컨대 버퍼(10) 등과 높이위치를 맞추어 배치하며, 천정 주행차(2) 및 로컬 대차(4)에 호이스트를 횡으로 이송하는 기구 등을 설치한다.
도 5는 로컬 대차(4)의 구조를 나타내며, 도면부호 40은 주행모터로서, 주행 휠(41) 등에 의해 레일(9,9) 위를 주행한다. 도면부호 42는 호이스트로서, 행잉타입 유지재(43)를 감거나 혹은 풂으로써, 승강대(27)에 의해 지지된 물품(24)을 승강시킨다. 도면부호 45는 배터리, 46은 커넥터로서, 충전장치(20)에 의한 배터리(45)의 충전을 실행한다. 도면부호 47은 광 통신부로서, 천정 주행차(2)의 광 통신부(31)와 마찬가지로 하여 로드 포트(14)의 광 통신부(31')와의 사이에서 인터로크를 위한 통신을 수행한다. 또한, 광 통신부(47)를 설치하지 않고 로드 포트(14)와의 인터로크를, 로컬 컨트롤러(22)를 경유하여 수행하도록 하여도 무방하다. 로컬 대차(4)는 주행거리가 짧고 물품을 횡방향으로 이송시키는 등의 기구를 구비하지 않으며, 주행루트의 선택, 다른 대차와의 간섭 회피 등의 정보처리기구를 구비하지 않는 간소한 것이다. 예컨대 1대의 로컬 대차(4)를 궤도(8)를 따라 주행시키고, 처리장치(12)의 전면과 전면으로부터 약간 떨어진 위치와의 사이를, 로컬 컨트롤러(22)의 제어에 의해 왕복시킨다. 그리고 로컬 대차(4)는 천정 주행차의 궤도(6)의 수직 하방의 궤도(8)를 주행하므로, 추가적인 바닥면적을 필요로 하지 않는다. 또한, 궤도(8)에서의 레일(9,9) 사이의 틈새(D)는, 물품(24)의 폭보다 크므로, 궤도(8)를 연직방향으로 통과하도록 물품(24)을 주고받을 수 있다.
도 6은 변형예의 반송 시스템을 나타내며, 도 1~도 5와 동일한 부호는 동일한 것을 나타내고, 도 6에서는 천정 주행차(2)에 대해 낙하방지커버(25)를 벗기고 도시되어 있다. 본 변형예에서는 로컬 대차의 궤도(8')가 모노레일로 이루어진다. 그 단면형상은 여기서는 L자 형상으로 하였으나, 형상은 임의적인 것이다. 로컬 대차(4')는 예컨대 3종류의 가이드 롤러(51~53)를 구비하며, 이들을 궤도(8')에서 가이드함으로써, 로컬 대차(4')의 자세를 유지한다. 가이드 롤러(53)는 설치하지 않아도 무방하다. 도면부호 10'은 새로운 버퍼로서 틈새(30)를 구비하고, 물품(24)은 연직방향으로 틈새(30)를 통과한다. 도 6의 변형예에서는, 모노레일로 로컬 대차(4')를 지지하기 때문에, 로컬 대차(4')의 자세가 불안정해지기 쉽다.
실시예에서의 천정 주행차(2)와 로컬 대차(4)의 제어를 나타낸다. 천정 주행차(2)는 도시되지 않은 상위 컨트롤러에 의해 제어되며, 로컬 컨트롤러(20)는 상위 컨트롤러 및 천정 주행차(2), 로컬 대차(4)와의 사이에서 통신한다. 천정 주행차(14) 및 로컬 대차(4)가 로드 포트(14)와의 사이에서 물품(24)을 주고받을 경우, 광 통신부(31,31',47)를 이용하여 인터로크를 수행한다. 로드 포트(14)의 수직 상방에 로컬 대차(4)가 존재하면, 천정 주행차(2)는 광 통신이 불가능하고 인터로크가 성립되지 않음에 따라, 로컬 대차(4)가 다른 위치로 이동할 때까지 물품의 주고받기를 늦춘다. 버퍼(10,11) 등과 천정 주행차(2) 사이의 물품(24)의 주고받기는, 천정 주행차(2)와 로컬 컨트롤러(22) 사이의 통신에 의해 인터로크를 성립시킨다. 또한, 로컬 대차(4)는 로컬 컨트롤러(22)로부터의 지시에 의해, 버퍼(10) 등과 물품(24)을 주고받고, 주고받기 전의 인터로크는 수행하지 않는다.
이상의 통신에 의해, 버퍼(10) 등의 어느 위치에 어느 물품이 존재하는지의 재고 데이터가 얻어지며, 로컬 컨트롤러(22)가 기억한다. 버퍼(10) 등의 물품(24)은 로컬 컨트롤러(22)가 관리한다. 그리고 로드 포트(14)와의 인터로크는 천정 주행차(2) 및 로컬 대차와의 직접 통신, 혹은 로컬 컨트롤러(22)를 통한 통신에 의해 성립시킨다.
최적의
실시예
도 7에 최적의 실시예를 나타내며, 도 1~도 6과 동일한 부호는 동일한 것을 나타내고, 특별히 지적한 점 이외에는 도 2의 변형예와 같다. 도면부호 60은 룩 다운 센서로서, 레이저 광을 조사하며 사람 등의 간섭물에 의해 반사되면 수광소자에 의해 검출한다. 그리고, 레이저 광의 방향을 바꾸어 주사하여, 반사 광과 레이저 광의 위상 차를 이용하는 등에 의해, 로드 포트(14) 부근의 쇄선으로 나타낸 감시범위 내의 간섭물을 검출한다. 룩 다운 센서(60)의 신호는 컨트롤러(22)로부터 로컬 대차(4)와 천정 주행차(2)에 전해지며, 간섭물이 존재할 때, 로드 포트(14)에 물품을 내려놓고 쌓는 것이 금지된다. 또한, 간섭물 검출용 센서의 종류는 임의적이다.
충전장치(20)는 예컨대 궤도(8)를 따라 로컬 대차(4)의 정지위치마다 설치되며, 로컬 대차(4)가 정지하면, 임의의 위치에서 배터리 충전이 가능하다. 단, 로드 포트(14)의 수직 상방부는 로컬 대차(4)의 대기위치로서는 바람직하지 않으므로, 충전장치(20)를 로드 포트(14)의 수직 상방부에 설치하지 않도록 하여도 무방하다. 또, 리튬이온전지 등의 배터리 대신에 전기 이중층 캐패시터 등의 축전기를 이용하여도 무방하다.
로컬 컨트롤러(22)는 천정 주행차(2)와 광 혹은 무선으로 통신하며, 로컬 대차(4) 및 처리장치(12)와 광, 무선 혹은 유선으로 통신한다. 이로써 천정 주행차(2) 및 로컬 대차(4)가 버퍼(11) 및 로드 포트(14)와 물품(24)을 이재할 때의 인터로크를, 로컬 컨트롤러(22)를 통해 성립시킬 수가 있다.
도 7의 반송 시스템은 예컨대 이하와 같이 운용한다.
1) 천정 주행차(2)는 버퍼(11)에 물품(24)을 내려놓고 로드 포트(14)로부터 반출한다. 버퍼(11)를 설치하였기 때문에, 천정 주행차(2)가 물품(24)을 내려놓을 수 없는 문제를 줄일 수 있으며, 처리장치(12)는 버퍼(11)에 다음에 처리할 물품(24)을 저장할 수 있다.
2) 버퍼(11)로부터 로드 포트(14)로의 반입은 로컬 대차(4)가 수행한다.
3) 단, 로드 포트(14)가 물품(24)으로 넘쳐날 우려가 있는 경우에는, 로컬 대차(4)에 의해 물품(24)을 버퍼(11)로 반출한다.
4) 특급(特急)품은 천정 주행차(2)가 직접 로드 포트(14)에 내려놓아도 무방하다.
5) 로컬 대차(4)의 대기위치는, 로드 포트(14)의 수직 상방부를 제외한 위치이며, 또한 다음에 로드 포트(14)에 내려놓을 물품의 상부이다. 이로써, 로드 포트(14)에 대한 반입을 신속하게 수행할 수가 있다.
6) 로컬 대차(4)는 정지중에는 임의의 위치에서 충전한다. 이로써 작은 용량의 배터리로 로컬 대차(4)를 구동할 수가 있다.
7) 천정 주행차(2)가 로드 포트(14)로부터 물품을 반출하는 것과 병행하여, 로컬 대차(4)가 로드 포트(14)로 반입할 물품을 집는다. 따라서 다음의 물품을 로드 포트(14)에 신속하게 반입할 수가 있다.
8) 로드 포트(14)에 반출할 물품이 있을 경우, 로드 포트(14)로의 반입 물품을 반송하고 있는 천정 주행차(2)는 로드 포트(14)의 상류측에서 버퍼(11)에 물품을 내려놓고, 이어서 같은 천정 주행차(2)가 로드 포트(14)로부터 물품을 반출한다. 이렇게 하면 효율적으로 물품을 반송할 수가 있다.
실시예에서는 이하와 같은 효과가 얻어진다.
(1) 처리장치(12)의 전면을 막지 않고 버퍼(10) 등을 설치할 수 있다.
(2) 궤도(6,8)를 연직방향과 겹치도록 배치하고, 궤도(8)에 형성된 틈새를 물품(24)이 통과하므로, 천정 주행차(2)에도 로컬 대차(4)에도 횡이송기구가 불필요하다.
(3) 궤도(8)를 길게 함으로써, 처리장치(12)에 대해 충분한 용량의 버퍼(10,11)를 준비할 수가 있다.
(4) 천정 주행차(2)도 로컬 대차(4)도 모두 로드 포트(14)와 버퍼(10,11)의 쌍방과 물품을 주고받을 수 있다. 이 때문에, 로드 포트(14) 및 버퍼(10,11)에 대한 물품(24)의 공급과 반출을 효율적으로 수행할 수가 있다.
또한, 모든 처리장치(12)에 대하여, 버퍼(10), 로컬 대차(4)의 궤도(8) 및 로컬 대차(4)로 이루어지는 시스템을 설치할 필요는 없으며, 물품(24)의 처리 수가 많은 처리장치(12)에 대해서만 상기 시스템을 설치하여도 무방하다. 반송물품의 종류는 임의적이며, 예컨대 반도체 노광용의 레티클을 수용한 카세트, 플랫 패널 디스플레이의 기판 등이어도 무방하다.
2 : 천정 주행차
4 : 로컬 대차
6 : 천정 주행차의 궤도
8 : 로컬 대차의 궤도
9 : 레일
10,11 : 버퍼
12 : 처리장치
14 : 로드 포트
16 : 천정
17~19 : 지지기둥
20 : 충전장치
22 : 로컬 컨트롤러
24 : 물품
25 : 낙하방지커버
26,27 : 승강대
28 : 디스플레이
29 : 조작패널
30 : 틈새
31 : 광 통신부
32 : 버퍼
34 : 지지기둥
40 : 주행 모터
41 : 주행 휠
42,50 : 호이스트
43 : 행잉타입 유지재
45 : 배터리
46 : 커넥터
47 : 광 통신부
51~53 : 가이드 롤러
4 : 로컬 대차
6 : 천정 주행차의 궤도
8 : 로컬 대차의 궤도
9 : 레일
10,11 : 버퍼
12 : 처리장치
14 : 로드 포트
16 : 천정
17~19 : 지지기둥
20 : 충전장치
22 : 로컬 컨트롤러
24 : 물품
25 : 낙하방지커버
26,27 : 승강대
28 : 디스플레이
29 : 조작패널
30 : 틈새
31 : 광 통신부
32 : 버퍼
34 : 지지기둥
40 : 주행 모터
41 : 주행 휠
42,50 : 호이스트
43 : 행잉타입 유지재
45 : 배터리
46 : 커넥터
47 : 광 통신부
51~53 : 가이드 롤러
Claims (13)
- 복수의 처리장치 사이에서 물품을 반송하는 반송시스템으로서,
처리장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 제 1 궤도와,
제 1 궤도를 따라 주행하며 또한 호이스트를 구비하는 천정 주행차와,
상기 제 1 궤도의 하방으로서, 상기 로드 포트의 상방을 통과하며 또한 상기 제 1 궤도와 평행하게 배치된 제 2 궤도와,
상기 제 2 궤도의 하방으로서, 상기 로드 포트보다 높은 위치에, 상기 로드 포트의 수직 상방부를 물품이 연직방향으로 통과할 수 있게 설치된, 물품을 놓기 위한 버퍼와,
상기 버퍼 및 상기 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는 호이스트를 구비하고, 또한 제 2 궤도를 따라 주행하는 로컬 대차가 설치되어 있는, 반송시스템. - 제 1항에 있어서,
상기 제 2 궤도는 적어도 한 쌍의 레일을 구비하고, 또한 상기 한 쌍의 레일 사이에 상기 물품이 연직방향으로 통과할 수 있는 틈새가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템. - 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
제 1 궤도와 제 2 궤도와 버퍼가 평행하게 평면에서 볼 때 겹치도록, 처리장치의 전면(前面)에 배치되며,
로드 포트의 상부에서 버퍼는 틈새를 구비하고, 버퍼의 틈새를 통해 천정 주행차도 로컬 대차도 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받을 수 있게 되어 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템. - 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
물품이 놓여 있는 버퍼의 상부를, 물품을 반송하고 있는 로컬 대차가 통과할 수 있는 높이에, 버퍼가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템. - 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
물품이 놓여 있는 버퍼의 상부를, 물품을 반송하고 있지 않은 로컬 대차는 통과할 수 있으나, 물품을 반송하고 있는 로컬 대차는 통과할 수 없는 높이에, 버퍼가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템. - 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 로드 포트측의 간섭물을 검출하는 룩 다운 센서가 상기 버퍼에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템. - 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 천정 주행차는 상기 버퍼로의 물품의 반입과, 상기 로드 포트로부터의 물품의 반출을 수행하고, 상기 로컬 대차는 상기 버퍼로부터 상기 로드 포트로의 물품의 반입을 수행하도록, 천정 주행차와 로컬 대차를 제어하는 수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템. - 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 로컬 대차는 배터리 구동이며, 또한 로컬 대차의 배터리를 충전하기 위한 충전장치가, 제 2 궤도를 따라 상기 로드 포트의 수직상방부 및 상기 버퍼의 수직상방부로부터 벗어난 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템. - 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 로컬 대차는 축전기로부터의 전력으로 구동되며, 또한 로컬 대차의 배터리를 충전하기 위한 충전장치가 상기 로컬 대차의 제 2 궤도를 따르는 각 정지위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템. - 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 천정 주행차는, 상기 로드 포트의 수직 상방의 위치에서, 광축이 상하방향을 향하며 또한 로컬 대차의 주행경로를 통과하는 광에 의해, 로드 포트와 광 통신을 수행하기 위한 광 통신부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템. - 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
또한 로컬 대차의 컨트롤러가, 상기 천정 주행차와 상기 로컬 대차와 처리장치에 대해 통신가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템. - 호이스트를 구비하는 천정 주행차와, 처리장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정 주행차의 궤도로 이루어지는 기존에 설치된 천정 주행차 시스템에 추가 설치하는 반송시스템으로서,
천정 주행차의 궤도의 하방으로서, 처리장치의 로드 포트의 상방을 통과하며, 또한 천정 주행차의 궤도와 평행하게 배치된 제 2 궤도와,
상기 제 2 궤도의 하방으로서, 상기 로드 포트보다 높은 위치에, 상기 로드 포트의 수직 상방부를 물품이 연직방향으로 통과할 수 있게 설치된, 물품을 놓기 위한 버퍼와,
상기 버퍼 및 상기 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는 호이스트를 구비하고, 또한 제 2 궤도를 따라 주행하는 로컬 대차를 구비하는 반송시스템. - 호이스트를 구비하는 천정 주행차와 처리장치의 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는 방법으로서,
천정 주행차는 처리장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정 주행차의 궤도를 따라 주행하고,
천정 주행차의 궤도의 하방으로서, 처리장치의 로드 포트의 상방을 통과하며 또한 천정 주행차의 궤도와 평행하게 제 2 궤도가 설치되며,
상기 제 2 궤도의 하방으로서, 상기 로드 포트보다 높은 위치에, 상기 로드 포트의 수직 상방부를 물품이 연직방향으로 통과할 수 있게 물품을 놓기 위한 버퍼가 설치되고,
상기 버퍼 및 상기 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는 호이스트를 구비하고, 또한 제 2 궤도를 따라 주행하는 로컬 대차가 설치되며,
천정 주행차에 의해 버퍼와의 사이에서 호이스트에 의해 물품을 주고받는 단계와,
로컬 대차에 의해, 버퍼와 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고받는 단계를 실행하는 반송방법.
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| US9921493B2 (en) * | 2013-11-14 | 2018-03-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Photolithography system, method for transporting photo-mask and unit therein |
| US9633879B2 (en) * | 2014-05-14 | 2017-04-25 | Murata Machinery, Ltd. | Storage system in the ceiling space and storage method for goods thereby |
| US9415934B2 (en) * | 2014-05-14 | 2016-08-16 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system and transport method |
| US10153189B2 (en) | 2014-06-19 | 2018-12-11 | Murata Machinery, Ltd. | Carrier buffering device and buffering method |
| CN106463443B (zh) * | 2014-06-19 | 2019-09-24 | 村田机械株式会社 | 载体的临时保管装置以及保管方法 |
| US10256129B2 (en) | 2014-06-19 | 2019-04-09 | Murata Machinery, Ltd. | Carrier buffering device and buffering method |
| CN106663649B (zh) * | 2014-06-19 | 2019-05-21 | 村田机械株式会社 | 载具的搬运系统以及搬运方法 |
| JP6256783B2 (ja) | 2014-09-10 | 2018-01-10 | 村田機械株式会社 | 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法 |
| SG11201700643UA (en) | 2014-09-25 | 2017-04-27 | Murata Machinery Ltd | Purging device and purging method |
| JP6048686B2 (ja) * | 2014-09-25 | 2016-12-21 | 村田機械株式会社 | 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法 |
| GB201509921D0 (en) * | 2015-06-08 | 2015-07-22 | Ocado Innovation Ltd | Object storage, handling and retrieving system and method |
| JP6507897B2 (ja) | 2015-07-10 | 2019-05-08 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| KR102072621B1 (ko) * | 2015-08-25 | 2020-02-03 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 퍼지 장치, 퍼지 스토커, 및 퍼지 방법 |
| JP6679157B2 (ja) * | 2015-10-27 | 2020-04-15 | 株式会社ディスコ | 加工装置の搬送機構 |
| EP3388368B1 (en) | 2015-12-08 | 2020-07-01 | Murata Machinery, Ltd. | Conveyance system |
| WO2017098813A1 (ja) * | 2015-12-09 | 2017-06-15 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送方法 |
| WO2017150005A1 (ja) | 2016-03-03 | 2017-09-08 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
| US10913601B2 (en) | 2016-03-03 | 2021-02-09 | Murata Machinery, Ltd. | Temporary storage system |
| KR102490590B1 (ko) * | 2016-06-29 | 2023-01-20 | 세메스 주식회사 | 캐리어 이송 장치 |
| KR102512046B1 (ko) * | 2016-06-29 | 2023-03-20 | 세메스 주식회사 | 캐리어 이송 장치 |
| JP6760644B2 (ja) * | 2016-07-22 | 2020-09-23 | パスカルエンジニアリング株式会社 | 金型搬送台車 |
| JP6493339B2 (ja) * | 2016-08-26 | 2019-04-03 | 村田機械株式会社 | 搬送容器、及び収容物の移載方法 |
| JP6665938B2 (ja) | 2016-08-26 | 2020-03-13 | 村田機械株式会社 | 有軌道台車システム、及び有軌道台車 |
| CN109937184B (zh) * | 2016-11-14 | 2021-09-28 | 村田机械株式会社 | 空中输送系统和其中使用的中转输送装置以及输送方法 |
| EP3637459B1 (en) * | 2017-05-19 | 2021-12-22 | Murata Machinery, Ltd. | Storing system |
| JP6844715B2 (ja) * | 2017-11-02 | 2021-03-17 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム及び天井搬送車システムでの物品の一時保管方法 |
| US11239102B2 (en) | 2018-03-22 | 2022-02-01 | Murata Machinery, Ltd. | Stocker system |
| US11011402B2 (en) * | 2018-06-27 | 2021-05-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Transport system of semiconductor fabrication facility, associated movable container and method |
| KR102531954B1 (ko) * | 2019-01-25 | 2023-05-12 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 보관 시스템 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006282303A (ja) | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
| JP2008169005A (ja) | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
| JP2010064833A (ja) | 2008-09-10 | 2010-03-25 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送装置 |
| KR20100105376A (ko) * | 2009-03-17 | 2010-09-29 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천장 반송 시스템과 물품의 이동 재치 방법 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE393585B (sv) * | 1975-09-12 | 1977-05-16 | Salen & Wicander Ab | For hantering av enhetslaster avsedd kran |
| JPH0684251A (ja) * | 1992-02-25 | 1994-03-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 自動記憶ライブラリー |
| JP3451649B2 (ja) * | 1993-02-25 | 2003-09-29 | 株式会社片岡機械製作所 | シートロール加工設備 |
| US6481558B1 (en) | 1998-12-18 | 2002-11-19 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated load port-conveyor transfer system |
| US6889813B1 (en) * | 2000-06-22 | 2005-05-10 | Amkor Technology, Inc. | Material transport method |
| US7991505B2 (en) * | 2003-08-29 | 2011-08-02 | Casepick Systems, Llc | Materials-handling system using autonomous transfer and transport vehicles |
| JP2005150129A (ja) | 2003-11-11 | 2005-06-09 | Asyst Shinko Inc | 移載装置及び移載システム |
| JP4337683B2 (ja) * | 2004-08-16 | 2009-09-30 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
| JP2006096427A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Murata Mach Ltd | 物品保管設備 |
| JP4296601B2 (ja) | 2005-01-20 | 2009-07-15 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
| JP2007191235A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
| JP2007331906A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
| JP5145686B2 (ja) | 2006-10-20 | 2013-02-20 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
| JP4378655B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2009-12-09 | 株式会社ダイフク | 物品処理設備 |
| DE102007035839B4 (de) * | 2007-07-31 | 2017-06-22 | Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg | Verfahren und System zum lokalen Aufbewahren von Substratbehältern in einem Deckentransportsystem zum Verbessern der Aufnahme/Abgabe-Kapazitäten von Prozessanlagen |
| JP5429570B2 (ja) | 2010-03-08 | 2014-02-26 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| JP5382470B2 (ja) * | 2010-11-04 | 2014-01-08 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送方法 |
-
2011
- 2011-08-30 JP JP2011187119A patent/JP5229363B2/ja active Active
- 2011-10-18 KR KR1020110106474A patent/KR101423221B1/ko active IP Right Grant
- 2011-10-28 EP EP20110187030 patent/EP2450297B1/en active Active
- 2011-10-28 US US13/283,628 patent/US8915690B2/en active Active
- 2011-10-28 SG SG2011079076A patent/SG180144A1/en unknown
- 2011-11-01 CN CN201110340241.7A patent/CN102556559B/zh active Active
- 2011-11-02 TW TW100139957A patent/TWI525026B/zh active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006282303A (ja) | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
| JP2008169005A (ja) | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
| JP2010064833A (ja) | 2008-09-10 | 2010-03-25 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送装置 |
| KR20100105376A (ko) * | 2009-03-17 | 2010-09-29 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천장 반송 시스템과 물품의 이동 재치 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| TWI525026B (zh) | 2016-03-11 |
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