KR102490590B1 - 캐리어 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

캐리어 이송 장치는 반도체 제조 라인의 천장에 고정되며, 일정한 경로를 따라 구비되며, OHT의 주행 레일을 지지하는 서포트 부재와, 상기 주행 레일의 일측 또는 양측에 배치되며 상기 OHT에 의해 이송되는 캐리어를 수납하기 위한 버퍼 유닛 및 상기 버퍼 유닛을 상기 서포트 부재에 장착하기 위한 고정 부재들을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 버퍼 유닛으로 인한 하중과 상기 OHT로 인한 하중이 상기 서포트 부재의 한 부위에 집중되는 것을 방지할 수 있다.

Description

캐리어 이송 장치{Apparatus for transferring a carrier}
본 발명은 캐리어 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 캐리어를 이송하는 캐리어 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 상기 대상물이 수납된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.
상기 반도체 공정 장치의 로드 포드에 캐리어가 존재하는 경우, 상기 OHT에 의해 이송된 캐리어를 임시로 수납하기 위한 버퍼 유닛이 구비된다.
종래 기술에 따르면, 상기 버퍼 유닛은 상기 OHT의 일측 또는 양측에 위치한다. 이때, 상기 OHT가 고정되는 서포트 부재와 상기 버퍼 유닛이 고정되는 서포트 부재가 각각 구비된다. 상기 버퍼 유닛을 고정하기 위한 서포트 부재가 별도로 구비되므로, 상기 버퍼 유닛을 구비하기 위한 비용이 증가할 수 있다.
또한, 상기 버퍼 유닛은 크기가 규격화되어 있어, 필요에 따라 상기 캐리어를 수납하기 위한 공간을 확장하기 어렵다.
본 발명은 버퍼 유닛을 구비하는데 소요되는 비용을 줄이고, 캐리어를 수납하기 위한 공간의 확장이 용이한 캐리어 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는 반도체 제조 라인의 천장에 고정되며, 일정한 경로를 따라 구비되며, OHT의 주행 레일을 지지하는 서포트 부재와, 상기 주행 레일의 일측 또는 양측에 배치되며 상기 OHT에 의해 이송되는 캐리어를 수납하기 위한 버퍼 유닛 및 상기 버퍼 유닛을 상기 서포트 부재에 장착하기 위한 고정 부재들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 고정 부재들은, 상단부가 상기 서포트 부재에 고정되며 하방으로 연장하는 다수의 제1 고정 부재들 및 상기 제1 고정 부재들의 하단부에 고정된 상태로 상기 버퍼 유닛과 체결되어 상기 버퍼 유닛을 고정하는 제2 고정 부재들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 유닛은 상단부에 수평 방향을 따라 연장하는 장홈을 가지며, 상기 고정 부재들은 상기 제2 고정 부재들이 상기 버퍼 유닛을 고정하는 위치를 조절할 수 있도록 상기 장홈을 관통하여 상기 제2 고정 부재들과 체결되는 체결 나사를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 유닛은 하나의 캐리어를 수납할 수 있는 크기를 가지며, 상기 버퍼 유닛을 추가로 결합하여 상기 캐리어를 수납하기 위한 공간을 확장할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 서포트 부재는 상기 고정 부재들 및 상기 버퍼 유닛이 장착되는 영역에서는 상대적으로 넓은 폭을 가지며, 나머지 부분에서는 상대적으로 좁은 폭을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캐리어 이송 장치는 상기 고정 부재들이 상기 서포트 부재에 고정되는 위치와 다른 위치에서 상기 서포트 부재에 고정되며, 상기 서포트 부재를 따라 구비되는 주행 레일, 상기 주행 레일을 따라 이동하는 주행부 및 상기 주행부에 결합되어 캐리어를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 및 상하 이동시키는 그립부를 포함하는 OHT를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는 서포트 부재에서 버퍼 유닛을 고정하는 고정 부재들의 고정 위치와 OHT의 주행 레일의 고정 위치가 서로 다르다. 따라서, 상기 버퍼 유닛으로 인한 하중과 상기 OHT로 인한 하중이 상기 서포트 부재의 한 부위에 집중되지 않고 분산된다. 그러므로, 상기 버퍼 유닛과 상기 OHT가 상기 서포트 부재에 안정적으로 고정될 수 있다.
또한, 상기 버퍼 유닛은 하나의 캐리어를 수납할 수 있는 크기를 가지므로, 필요에 따라 상기 버퍼 유닛을 추가로 설치하여 상기 캐리어를 수납하기 위한 공간을 용이하게 확장할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 버퍼 유닛과 고정 부재들의 결합을 설명하기 위한 사시도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 버퍼 유닛과 고정 부재들의 결합을 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 캐리어 이송 장치(100)는 서포트 부재(110), OHT(120), 버퍼 유닛(130) 및 고정 부재(140)를 포함한다.
서포트 부재(110)는 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장(10)을 따라 구비된다. 서포트 부재(110)는 트랙 형태를 가질 수 있다.
서포트 부재(110)는 다수의 체결 부재(112)들에 의해 천장(10)에 고정될 수 있다. 체결 부재(112)들의 예로는 전산 볼트를 들 수 있다.
체결 부재(112)들은 서포트 부재(110)의 폭 방향을 따라 적어도 두 개가 연결되고, 바람직하게는 네 개가 연결될 수 있다.
서포트 부재(110)는 버퍼 유닛(130) 및 OHT(120)을 지지할 수 있다. 또한, 서포트 부재(110)는 내부에 다수의 배선을 수납하는 배전관으로 기능할 수도 있다.
서포트 부재(110)는 상대적으로 넓은 폭을 갖는 영역과 상대적으로 좁은 폭을 갖는 영역을 포함할 수 있다. 상기 상대적으로 넓은 폭을 갖는 영역에서는 OHT(120), 버퍼 유닛(130) 및 고정 부재(140)들이 구비되고, 상기 상대적으로 좁은 폭을 갖는 영역에서는 OHT(120)만 구비될 수 있다.
다른 예로, 서포트 부재(110)는 전체적으로 일정한 폭을 가질 수도 있다.
OHT(120)는 상기 반도체 공정 장치에서 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어(20)에 수납한 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공하거나 캐리어(20)를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수할 수 있다.
상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 다이들이 부착되기 위한 인쇄회로 기판, 상기 인쇄회로기판에 다이들이 본딩된 반도체 패키지 등을 들 수 있다. 상기 캐리어(20)의 예로는 복수의 반도체 기판들을 수납하기 위한 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP) 및 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB), 상기 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 상기 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다.
OHT(120)는 주행 레일(122), 주행부(124) 및 그립부(126)를 포함한다.
주행 레일(122)은 서포트 부재(110)의 하부면에 서포트 부재(110)를 따라 구비된다. 예를 들면, 주행 레일(122)은 서포트 부재(110)의 하부면 중앙에 위치할 수 있다. 주행 레일(122)은 서포트 부재(110)와 동일한 형태를 가질 수 있다.
주행부(124)는 주행 레일(122)을 따라 이동한다. 주행부(124)는 내부에 구비되는 모터의 구동력으로 주행 레일(122)을 따라 이동할 수 있다.
그립부(126)는 주행부(124)와 연결되며, 캐리어(20)를 착탈 가능하도록 파지한다. 그립부(126)는 수평 및 상하 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 예를 들면, 그립부(126)는 밸트, 풀리, 기어 등을 이용하여 상기 수평 이동하고, 모터, 실린더 등을 이용하여 상하 이동할 수 있다. 따라서, 그립부(126)는 캐리어(20)를 상기 수평 및 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
또한, 그립부(126)는 캐리어(20)를 버퍼 유닛(130) 또는 상기 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나 버퍼 유닛(130) 또는 상기 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다.
버퍼 유닛(130)은 OHT(120)의 일측 또는 양측에 구비되며, OHT(120)에 의해 이송되는 캐리어(20)를 수납한다. 예를 들면, 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들의 로드 포트에 캐리어(20)가 놓여진 경우, OHT(120)가 캐리어(20)를 바로 상기 로드 포트로 로딩할 수 없다. 따라서, OHT(120)가 캐리어(20)를 버퍼 유닛(130)에 수납한다.
버퍼 유닛(130)은 가로 부재(132), 세로 부재(134) 및 수납부(136)를 포함한다.
가로 부재(132)는 OHT(120)의 하부에 주행 레일(122)과 평행하도록 배치된다. 가로 부재(132)는 한 쌍이 구비될 수 있다.
또한, 가로 부재(132)에는 장홈(133)이 구비된다. 장홈(133)은 가로 부재(132)의 길이 방향을 따라 연장한다.
세로 부재(134)는 가로 부재(132)에 고정되며, 가로 부재(132)로부터 상기 하방으로 연장한다. 구체적으로, 세로 부재(134)의 상단은 가로 부재(132)에 고정된다. 세로 부재(134)는 가로 부재(132)와 별도의 체결 부재에 의해 고정되거나, 세로 부재(134)는 가로 부재(132)와 일체로 형성될 수 있다.
세로 부재(134)는 가로 부재(132)에 적어도 하나가 구비될 수 있다. 예를 들면, 세로 부재(134)는 수납부(130)를 안정적으로 고정하기 위해 하나의 가로 부재(132)에 두 개씩 고정될 수 있다.
수납부(136)는 세로 부재(134)의 하단에 구비되어 세로 부재(134)에 고정된다. 예를 들면, 수납부(136)는 세로 부재(134)의 하단과 연결되어 세로 부재(134)에 고정될 수 있다. 수납부(136)는 대략 평판 형태를 가지며, OHT(120)에 의해 이송된 캐리어(20)를 수납한다.
구체적으로, 그립부(126)가 상기 수평 이동을 통해 수납부(136)의 상방으로 이동한 후 하강하여 수납부(136)에 캐리어(20)를 수납한다.
이때, 수납부(136)가 OHT(120)의 그립부(126)에 의해 이송되는 캐리어(20)의 높이와 같거나 캐리어(20)의 높이보다 높은 높이에 위치하는 경우, 그립부(126)가 캐리어(20)의 수납을 위해 수평 이동할 때 캐리어(20)와 수납부(136)가 충돌할 우려가 있다. 그러므로, 수납부(136)는 OHT(120)의 그립부(126)에 의해 이송되는 캐리어(20)의 높이 보다 낮은 높이에 위치할 수 있다.
한편, 수납부(136)의 상면에는 다수의 가이드(138)들을 포함할 수 있다. 가이드(138)들은 그립부(126)에 의해 하강하는 캐리어(20)를 가이드하여 캐리어(20)가 수납부(136) 상의 기준 위치에 정확하게 안착되도록 한다.
캐리어(20)가 수납부(136) 상의 상기 기준 위치에 정확하게 안착되므로, 캐리어(20)를 상기 반도체 공정 장치로 로딩하기 위해 OHT(120)의 그립부(126)가 수납부(136)에 수납된 캐리어(20)를 픽업할 때 그립부(126)가 캐리어(20)를 정확하게 픽업할 수 있다.
버퍼 유닛(130)은 하나의 캐리어(20)를 수납할 수 있는 크기를 갖는다. 따라서, 서포트 부재(110) 또는 주행 레일(122)을 따라 버퍼 유닛(130)을 추가로 결합하여 캐리어(20)를 수납하기 위한 공간을 확장할 수 있다. 또한, 서로 결합된 버퍼 유닛(130)을 분리하여 캐리어(20)를 수납하기 위한 공간을 축소할 수도 있다. 그러므로, 버퍼 유닛(130)의 결합이나 분리를 통해 캐리어(20)를 수납하기 위한 공간을 용이하게 조절할 수 있다.
고정 부재(140)들은 버퍼 유닛(130)을 서포트 부재(110)에 장착한다. 버퍼 유닛(130)이 OHT(120)의 일측 또는 양측에 위치하므로, 고정 부재(140)들도 HT(120)의 일측 또는 양측에서 버퍼 유닛(130)을 서포트 부재(110)에 장착한다.
고정 부재(140)는 제1 고정 부재(142) 및 제2 고정 부재(144)를 갖는다.
제1 고정 부재(142)는 상하로 연장된 바 형태를 가지며, 상단부가 서포트 부재(110)에 고정된다. 이때, 서포트 부재(110)의 하부면에서 주행 레일(122)의 일측 또는 양측에 고정된다. 일 예로, 주행 레일(122)은 서포트 부재(110)의 하부면 중앙을 따라 고정되므로, 제1 고정 부재(142)는 주행 레일(122)의 일측 또는 양측, 즉, 서포트 부재(110)의 하부면에서 폭 방향의 일측 또는 양측을 따라 고정될 수 있다.
서포트 부재(110)에서 제1 고정 부재(142)의 고정 위치와 주행 레일(122)의 고정 위치가 서로 다르므로, 버퍼 유닛(130)으로 인한 하중과 OHT(120)로 인한 하중이 서포트 부재(110)의 한 부위에 집중되지 않고 분산될 수 있다. 그러므로, 버퍼 유닛(130)과 OHT(120)가 서포트 부재(110)에 안정적으로 고정될 수 있다.
제2 고정 부재(144)는 제1 고정 부재(142)의 하단부에 고정된 상태로 버퍼 유닛(130)과 체결되어 버퍼 유닛(130)을 고정한다.
제2 고정 부재(144)는 대략 ‘ㄱ’자 모양을 가질 수 있다. 제1 고정 부재(142)의 하단부가 제1 고정 부재(114)의 상단부를 관통하여 고정될 수 있다.
제2 고정 부재(144)는 상기 상단부와 반대되는 하단부 내측면에 가로 부재(132)와 평행한 방향, 즉, 수평 방향을 따라 형성되는 홈(145)을 갖는다. 홈(145)에는 버퍼 유닛(130)의 가로 부재(132)가 삽입될 수 있다.
제2 고정 부재(144)는 가로 부재(132)의 상기 수평 방향 이동을 가이드할 수 있다. 따라서, 버퍼 유닛(130)이 제2 고정 부재(144)에 고정되는 위치를 조절할 수 있다. 공간적인 제약 등의 원인에 따라 필요한 경우 버퍼 유닛(130)의 위치를 용이하게 변경할 수 있으므로, 버퍼 유닛(130)의 설치 자유도를 높일 수 있다.
고정 부재(140)는 체결 나사(146)를 더 포함할 수 있다.
체결 나사(146)는 제2 고정 부재(144)가 버퍼 유닛(130)을 고정하는 위치를 조절할 수 있도록 가로 부재(132)의 장홈(133)을 관통하여 제2 고정 부재(144)와 체결된다. 체결 나사(146)의 예로는 나사, 볼트와 너트 등을 들 수 있다. 따라서, 체결 나사(146)는 가로 부재(132)와 제2 고정 부재(144)를 결합한다.
체결 나사(146)가 가로 부재(132)와 제2 고정 부재(144)의 결합을 해제한 상태에서 가로 부재(132)가 제2 고정 부재(144)의 홈(145)을 따라 이동한다.
가로 부재(132)가 제2 고정 부재(144)의 홈(145)을 따라 이동하여 제2 고정 부재(144)에 고정될 부위에 위치한 상태에서 체결 나사(146)가 가로 부재(132)와 제2 고정 부재(144)를 체결한다.
상기와 같이 캐리어 이송 장치(100)는 서포트 부재(110)에서 버퍼 유닛(130)을 고정하는 고정 부재(140)들 및 OHT(120)의 주행 레일(122)이 같이 고정할 수 있다. OHT(120) 및 버퍼 유닛(130)을 고정하기 위한 서포트 부재(110)를 추가로 구비할 필요가 없으므로, 캐리어 이송 장치(100)의 설치 비용을 절감할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는 OHT와 버퍼 유닛을 하나의 서포트 부재에 고정하므로, 상기 캐리어 이송 장치의 설치 비용을 절감할 수 있다.
또한, 상기 버퍼 유닛이 고정 부재에 의해 가이드되면서 수평 방향으로 이동할 수 있으므로, 상기 버퍼 유닛의 고정 위치를 용이하게 변경할 수 있다. 따라서, 상기 버퍼 유닛의 설치 자유도를 높일 수 있다.
그리고, 상기 버퍼 유닛은 하나의 캐리어를 수납할 수 있는 크기를 가지므로, 필요에 따라 상기 버퍼 유닛을 추가로 설치하여 상기 캐리어를 수납하기 위한 공간을 용이하게 확장할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 캐리어 이송 장치 110 : 서포트 부재
120 : OHT 130 : 버퍼 유닛
140 : 고정 부재 10 : 천장
20 : 캐리어

Claims (7)

  1. 반도체 제조 라인의 천장에 고정되며, 일정한 경로를 따라 구비되며, OHT의 주행 레일을 지지하는 서포트 부재;
    상기 주행 레일의 일측 또는 양측에 배치되며 상기 OHT에 의해 이송되는 캐리어를 수납하기 위한 버퍼 유닛; 및
    상기 버퍼 유닛을 상기 서포트 부재에 장착하기 위한 고정 부재들을 포함하되,
    상기 서포트 부재는 상기 고정 부재들 및 상기 버퍼 유닛이 장착되는 영역에서는 상대적으로 넓은 폭을 가지며, 나머지 부분에서는 상대적으로 좁은 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 고정 부재들은,
    상단부가 상기 서포트 부재에 고정되며 하방으로 연장하는 다수의 제1 고정 부재들; 및
    상기 제1 고정 부재들의 하단부에 고정된 상태로 상기 버퍼 유닛과 체결되어 상기 버퍼 유닛을 고정하는 제2 고정 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 버퍼 유닛은 상단부에 수평 방향을 따라 연장하는 장홈을 가지며,
    상기 고정 부재들은 상기 제2 고정 부재들이 상기 버퍼 유닛을 고정하는 위치를 조절할 수 있도록 상기 장홈을 관통하여 상기 제2 고정 부재들과 체결되는 체결 나사를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 버퍼 유닛은,
    상기 주행 레일과 평행하도록 배치되는 한 쌍의 가로 부재들;
    상단이 상기 가로 부재들에 각각 고정되며, 상기 가로 부재들로부터 하방으로 연장하는 복수의 세로 부재들; 및
    상기 세로 부재들의 하단에 고정되며, 상기 캐리어를 수납하는 수납부를 포함하고,
    상기 장홈은 상기 가로 부재들에 각각 구비되며, 상기 가로 부재들의 길이 방향을 따라 연장하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 버퍼 유닛은 하나의 캐리어를 수납할 수 있는 크기를 가지며, 상기 버퍼 유닛을 추가로 결합하여 상기 캐리어를 수납하기 위한 공간을 확장하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서, 상기 고정 부재들이 상기 서포트 부재에 고정되는 위치와 다른 위치에서 상기 서포트 부재에 고정되며, 상기 서포트 부재를 따라 구비되는 주행 레일, 상기 주행 레일을 따라 이동하는 주행부 및 상기 주행부에 결합되어 캐리어를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 및 상하 이동시키는 그립부를 포함하는 OHT를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
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