KR101472514B1

KR101472514B1 - 트레이 이송 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러

Info

Publication number: KR101472514B1
Application number: KR1020090024549A
Authority: KR
Inventors: 공근택; 이정원
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2009-03-23
Filing date: 2009-03-23
Publication date: 2014-12-15
Also published as: KR20100106096A

Abstract

트레이 이송 장치는 제1 바텀 지지부, 사이드 지지부, 제2 바텀 지지부, 수직 이송부, 탑 지지부 및 제1 캠플레이트를 포함한다. 제1 바텀 지지부는 수직 상태인 테스트 트레이의 하부를 지지한다. 사이드 지지부는 테스트 트레이의 측부를 지지하며, 수평 방향으로 이동할 수 있다. 제2 바텀 지지부는 상승 이동할 때 테스트 트레이의 하부를 지지한다. 수직 이송부는 제2 바텀 지지부를 수직 방향으로 이동시킨다. 탑 지지부는 제2 바텀 지지부가 테스트 트레이의 하부를 지지할 때 테스트 트레이의 상부를 지지한다. 캠플레이트는 수직 이송부에 의한 제2 바텀 지지부의 수직 방향 이동에 연동하여 사이드 지지부가 수평 방향으로 이동하도록 사이드 지지부와 캠팔로워 및 캠홈을 통해 결합한다. 따라서, 이송하고자 하는 테스트 트레이를 간단한 구성과 동작으로 지지하면서 이송시킬 수 있다.

Description

트레이 이송 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러{APPARATUS FOR TRANSFERRING A TRAY AND TEST HANDLER INCLUDING THE SAME}

본 발명은 트레이 이송 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 테스트를 위한 반도체 소자들이 탑재된 테스트 트레이를 이송하는 장치 및 상기 테스트 트레이에 탑재된 반도체 소자들의 테스트를 핸들링하는 테스트 핸들러에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자는 칩이 기판 상에 연결된 구조를 갖는 전자 부품 중의 하나이다. 상기 반도체 소자는 디램(DRAM), 에스램(SRAM) 등과 같은 메모리 소자를 포함할 수 있다.

상기 반도체 소자는 실리콘 재질의 얇은 단결정 기판으로 이루어진 웨이퍼(wafer)를 기초로 하여 제조된다. 구체적으로, 상기 반도체 소자는 상기 웨이퍼 상에 회로 패턴이 패터닝된 다수의 칩들을 형성하는 팹 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 칩들 각각을 기판들 각각에 전기적으로 연결시키기 위한 본딩 공정, 상기 기판에 연결된 상기 칩을 외부로부터 보호하기 위한 몰딩 공정 등을 수행하여 제조된다. 이렇게 제조된 상기 반도체 소자들은 별도의 테스트 공정을 거쳐 그 전기적 인 기능을 검사하게 된다.

이때, 상기 테스트 공정은 실질적으로 상기 반도체 소자들을 대상으로 테스트를 수행하는 테스트 장치와 상기 테스트 장치에 상기 반도체 소자들을 제공하기 위한 테스트 핸들러를 통하여 진행된다.

상기 테스트 핸들러는 상기 반도체 소자들을 테스트 트레이에 탑재된 상태로 상기 테스트 장치에 접속시키기 위한 공간을 제공하는 테스트 챔버 및 상기 테스트 챔버에 연결되어 상기 반도체 소자들을 가열 및 냉각하기 위한 공간을 제공하는 속 챔버를 포함한다.

이때, 상기 속 챔버에 위치하는 상기 테스트 트레이는 수직인 상태로 전환되어 다수의 실린더들을 통해 외부로부로터 공급되는 위치에서부터 상기 테스트 챔버의 진입부까지 스텝 방식으로 이송된다.

이를 구체적으로 설명하면, 우선 상기 테스트 트레이를 제1 바텀 지지부와 사이드 지지부에 의해 하부 및 측부를 지지한다. 이어, 상기 제1 바텀 지지부와 인접하게 배치된 제2 바텀 지지부를 상승시켜 상기 테스트 트레이를 상기 제1 바텀 지지부로부터 이격시키면서 하부를 지지한다.

이어, 상기 사이드 지지부를 상기 테스트 트레이로부터 이격시키기 위하여 이동시킨다. 이어, 탑 지지부를 하강시켜 상기 테스트 트레이의 상부를 지지한다. 이어, 제2 바텀 지지부와 상기 탑 지지부를 원 스텝 이송시킨다.

이어, 상기 제2 바텀 지지부를 하강시켜 상기 테스트 트레이를 상기 제1 바텀 지지부에 지지시킨다. 이때, 상기 탑 지지부는 상승하여 상기 테스트 트레이로 부터 이격된다. 이어, 상기 사이드 지지부를 상기 테스트 트레이의 측부를 지지하기 위하여 이동시킨다. 이어, 상기 제2 바텀 지지부와 상기 탑 지지부를 원래의 위치로 원 스텝 이동시킨다. 이후, 상기의 동작을 반복하여 상기 테스트 트레이를 스텝 방식에 따라 연속적으로 이송시킨다.

그러나, 상기와 같은 일련의 동작들을 진행하기 위해서는 상기 제2 바텀 지지부를 상승 및 하강시키기 위한 실린더와 별도로 상기 사이드 지지부를 이동시키기 위한 실린더가 필요하므로, 전체적인 구성이 복잡하면서 동작 횟수도 많아지는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 이송하고자하는 테스트 트레이를 간단한 구성과 동작으로 이송할 수 있는 트레이 이송 장치를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 트레이 이송 장치를 포함하는 테스트 핸들러를 제공하는 것이다.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 트레이 이송 장치는 제1 바텀 지지부, 사이드 지지부, 제2 바텀 지지부, 수직 이송부, 탑 지지부 및 제1 캠플레이트를 포함한다.

상기 제1 바텀 지지부는 수직 상태인 테스트 트레이의 하부를 지지한다. 상기 사이드 지지부는 상기 제1 바텀 지지부에 의해 지지된 테스트 트레이의 넘어짐을 방지하기 위하여 상기 테스트 트레이의 측부를 지지하며, 상기 테스트 트레이를 지지 및 해제를 위하여 제1 수평 방향으로 이동할 수 있다.

상기 제2 바텀 지지부는 상기 제1 바텀 지지부와 인접하게 수직 방향으로 이동이 가능하도록 배치되며, 상승 이동할 때 상기 테스트 트레이의 하부를 상기 제1 바텀 지지부를 대신하여 지지한다.

상기 수직 이송부는 상기 제2 바텀 지지부와 연결되어 상기 제2 바텀 지지부를 수직 방향으로 이동시킨다. 상기 탑 지지부는 상기 테스트 트레이의 상부에 배 치되고, 상기 제2 바텀 지지부가 상기 테스트 트레이의 하부를 지지할 때 상기 테스트 트레이의 상부를 지지한다.

상기 제1 캠플레이트는 상기 제2 바텀 지지부와 결합되고, 상기 수직 이송부에 의한 상기 제2 바텀 지지부의 수직 방향 이동에 연동하여 상기 사이드 지지부가 상기 제1 수평 방향으로 이동하도록 상기 사이드 지지부와 제1 캠팔로워 및 제1 캠홈을 통해 결합한다.

여기서, 상기 제1 캠홈은 상단으로부터 하단으로 갈수록 상기 테스트 트레이의 지지되는 측부로부터 멀어지도록 형성될 수 있다. 이와 달리, 상기 제1 캠홈은 상단으로부터 하단으로 갈수록 일정 구간에서는 상기 테스트 트레이의 지지되는 측부와 일정 거리를 유지하다가 상기 일정 구간에 이어지는 연장 구간에서는 상기 테스트 트레이의 지지되는 측부로부터 멀어지도록 형성될 수 있다.

이에, 상기 제1 캠팔로워는 상기 사이드 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 측면과 다른 측면에 구성되고, 상기 제1 캠홈은 상기 제1 캠팔로워가 삽입되도록 상기 캠플레이트에 구성될 수 있다.

한편, 상기 트레이 이송 장치는 상기 테스트 트레이를 지지하는 상기 제2 바텀 지지부 및 상기 탑 지지부를 상기 제1 수평 방향과 수직한 제2 수평 방향으로 이동시키는 수평 이송부 및 상기 제2 바텀 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 제2 캠팔로워 및 제2 캠홈을 통해 결합되어 상기 제2 바텀 지지부가 일정 피치만큼 이동되도록 하는 제2 캠플레이트를 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 제2 캠홈은 상기 제2 수평 방향을 기준으로 경사지게 형성될 수 있다.

이에, 상기 제2 캠팔로워는 상기 제2 바텀 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 구성되고, 상기 제2 캠홈은 상기 제2 캠팔로워가 삽입되도록 상기 제2 캠플레이트에 구성될 수 있다.

또한, 상기 트레이 이송 장치는 상기 수평 이송부와 상기 제2 캠플레이트 사이에 배치되어 상기 제2 수평 방향으로 이동하는 상기 제2 바텀 지지부가 상기 제2 캠홈에 의해 상기 수평 방향으로 이동되는 것을 가이드하는 가이드부를 더 포함할 수 있다.

한편, 상기 트레이 이송 장치는 상기 탑 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 제3 캠팔로워 및 제3 캠홈을 통해 결합되어 상기 탑 지지부가 일정 피치만큼 이동되도록 하는 제3 캠플레이트를 더 포함할 수 있다.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 다른 특징에 따른 트레이 이송 장치는 바텀 지지부, 탑 지지부, 수평 이송부 및 제1 캠플레이트를 포함한다.

상기 바텀 지지부는 수직 상태인 테스트 트레이의 하부를 지지한다. 상기 탑 지지부는 상기 바텀 지지부에 의해 지지된 테스트 트레이의 상부를 지지한다.

상기 수평 이송부는 상기 테스트 트레이를 지지하는 상기 바텀 지지부 및 상기 탑 지지부를 수평 방향으로 이동시킨다. 상기 제1 캠플레이트는 상기 바텀 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 제1 캠팔로워 및 제1 캠홈을 통해 결합되어 상기 바텀 지지부가 일정 피치만큼 이동되도록 한다.

여기서, 상기 제1 캠홈은 상기 수평 방향을 기준으로 경사지게 형성될 수 있 다.

한편, 상기 트레이 이송 장치는 상기 탑 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 제2 캠팔로워 및 제2 캠홈을 통해 결합되어 상기 탑 지지부가 일정 피치만큼 이동되도록 하는 제2 캠플레이트를 더 포함할 수 있다.

상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 테스트 핸들러는 속 챔버, 테스트 챔버, 디속 챔버, 제1 이송 장치 및 제2 이송 장치를 포함한다.

상기 속 챔버는 다수의 반도체 소자들이 탑재된 테스트 트레이가 수직인 상태로 제공되고, 상기 반도체 소자들을 가열 및 냉각시키기 위한 공간을 제공한다.

상기 테스트 챔버는 상기 속 챔버와 연결되고, 상기 반도체 소자들을 상기 테스트 트레이에 탑재된 상태로 외부의 테스트 장치와 접속시키기 위한 공간을 제공한다.

상기 디속 챔버는 상기 테스트 챔버와 연결되고, 상기 수직 상태의 테스트 트레이에 탑재된 상기 반도체 소자들을 상온으로 회복시키기 위한 공간을 제공한다.

상기 제1 및 제2 이송 장치들은 상기 속 챔버 및 상기 디속 챔버 각각에 설치되고, 상기 속 챔버 및 상기 디속 챔버 각각의 내부에서 상기 테스트 트레이를 이송시킨다.

이에, 일 실시예에 따른 상기 제1 및 제2 이송 장치들 각각은 상기 수직 상태인 테스트 트레이의 하부를 지지하는 제1 바텀 지지부, 상기 제1 바텀 지지부에 의해 지지된 테스트 트레이의 넘어짐을 방지하기 위하여 상기 테스트 트레이의 측부를 지지하며 상기 테스트 트레이를 지지 및 해제를 위하여 수평 방향으로 이동이 가능한 사이드 지지부, 상기 제1 바텀 지지부와 인접하게 수직 방향으로 이동이 가능하도록 배치되며 상승 이동할 때 상기 테스트 트레이의 하부를 상기 제1 바텀 지지부를 대신하여 지지하는 제2 바텀 지지부, 상기 제2 바텀 지지부와 연결되어 상기 제2 바텀 지지부를 수직 방향으로 이동시키는 수직 이송부, 상기 테스트 트레이의 상부에 배치되고 상기 제2 바텀 지지부가 상기 테스트 트레이의 하부를 지지할 때 상기 테스트 트레이의 상부를 지지하는 탑 지지부, 및 상기 제2 바텀 지지부와 결합되고 상기 수직 이송부에 의한 상기 제2 바텀 지지부의 수직 방향 이동에 연동하여 상기 사이드 지지부가 수평 방향으로 이동하도록 상기 사이드 지지부와 캠팔로워 및 캠홈을 통해 결합하는 캠플레이트를 포함할 수 있다.

다른 실시예에 따른 상기 제1 및 제2 이송 장치들 각각은 상기 수직 상태인 테스트 트레이의 하부를 지지하는 바텀 지지부, 상기 바텀 지지부에 지지된 테스트 트레이의 상부를 지지하는 탑 지지부, 상기 테스트 트레이를 지지하는 상기 바텀 지지부 및 상기 탑 지지부를 수평 방향으로 이동시키는 수평 이송부, 및 상기 바텀 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 캠팔로워 및 캠홈을 통해 결합되어 상기 바텀 지지부가 일정 피치만큼 이동되도록 하는 캠플레이트를 포함할 수 있다.

이러한 트레이 이송 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러에 따르면, 제2 바 텀 지지부와 같이 수직 방향으로 이동하는 제1 캠플레이트와 제1 캠팔로워 및 제1 캠홈의 결합을 통해 상기 제2 바텀 지지부가 수직 방향으로 이동하는 동작과 연동하여 사이드 지지부가 테스트 트레이를 지지 및 해제하도록 함으로써, 배경 기술에서 설명하였던 상기 사이드 지지부를 이동시키기 위한 실린더를 제거하여 구성을 간단하게 할 수 있다.

또한, 상기 사이드 지지부와 상기 제1 캠플레이트의 연동 동작을 통해 상기 테스트 트레이의 이송을 위한 전체적인 동작 횟수도 줄임으로써, 상기 테스트 트레이의 이송에 소요되는 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있다.

또한, 제2 캠플레이트의 제2 캠홈을 통해 상기 테스트 트레이를 일정 피치만큼 스텝 이송되도록 간단하게 제어할 수 있다.

또한, 상기 제2 캠홈을 상기 테스트 트레이가 이송하는 방향을 기준으로 경사지게 형성함으로써, 상기 수평 이송부를 상대적으로 공간적 활용도가 좋은 상기 테스트 트레이가 이송하는 제2 수평 방향과 수직한 제1 수평 방향으로 설치할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 트레이 이송 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미 와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러를 개략적으로 나타낸 구성도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러(1000)는 로딩 스택커(100), 로딩부(200), 속 챔버(300), 테스트 챔버(400), 제1 이송 장치(500), 디속 챔버(600), 언로딩부(700), 제2 이송 장치(800), 소팅 버퍼(900) 및 언로딩 스택커(950)를 포함한다.

상기 로딩 스택커(100)에는 다수의 제1 커스터머 트레이(CT1)들이 배치된다. 상기 제1 커스터머 트레이(CT1)들에는 다수의 반도체 소자(SD)들이 제1 간격으로 수납된다. 여기서, 상기 반도체 소자(SD)들은 전자 기기에 사용되는 부품 중 하나로써, 디램(DRAM), 에스램(SRAM) 등과 같은 메모리 소자를 의미할 수 있다.

상기 로딩부(200)에는 테스트 트레이(TT)가 수평 상태로 배치된다. 상기 테스트 트레이(TT)에는 상기 제1 커스터머 트레이(CT1)들로부터 이송된 상기 반도체 소자(SD)들이 제2 간격으로 탑재된다.

이에, 상기 테스트 핸들러(1000)는 상기 로딩 스택커(100) 및 상기 로딩부(200) 사이에서 상기 반도체 소자(SD)들을 상기 제1 간격에서 상기 제2 간격으로 변경시키기 위한 로딩 픽커(150)를 더 포함할 수 있다.

상기 속 챔버(300)는 상기 로딩부(200)와 연결된다. 상기 속 챔버(300)에는 상기 테스트 트레이(TT)가 상기 로딩부(200)로부터 수평 상태에서 수직 상태로 전환되어 로딩된다. 상기 속 챔버(300)는 상기 테스트 트레이(TT)에 탑재된 상기 반도체 소자(SD)들을 일정 온도로 가열 또는 냉각시키기 위한 공간을 제공한다.

상기 테스트 챔버(400)는 상기 속 챔버(300)와 연결된다. 상기 테스트 챔버(400)는 상기 반도체 소자(SD)들을 실질적으로 테스트하기 위한 공간을 제공한다. 이에 따라, 상기 테스트 챔버(400)는 상기 반도체 소자(SD)들을 실질적으로 테스트하기 위한 테스트 장치(10)와 연결된다.

또한, 상기 테스트 챔버(400)에는 상기 테스트 트레이(TT)에 탑재된 상기 반도체 소자(SD)들을 상기 테스트 장치(10)에 푸싱하여 접속시키기 위한 푸싱부(410)가 설치될 수 있다.

상기 제1 이송 장치(500)는 상기 속 챔버(300)에 설치된다. 상기 제1 이송 장치(500)는 상기 로딩부(200)로부터 전달된 상기 테스트 트레이(TT)를 상기 테스트 챔버(400)의 진입부까지 이송시킨다.

이때, 상기 제1 이송 장치(500)는 상기 테스트 트레이(TT)를 수직 상태로 지지하면서 스텝 방식에 따라 이송시킨다. 이하, 상기 제1 이송 장치(500)에 대해서는 도 2a 및 도 2b를 참조하며 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 2a 및 도 2b는 도 1에 도시된 제1 이송 장치를 정면에서 바라본 도면들이다.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 상기 제1 이송 장치(500)는 제1 바텀 지지부(520), 사이드 지지부(530), 제2 바텀 지지부(540), 수직 이송부(541), 탑 지지 부(550) 및 제1 캠플레이트(560)를 포함한다.

이에, 상기 구성들에 대해서는 도 3을 추가적으로 참조하여 보다 더 명확하게 설명하고자 한다.

도 3은 도 2a에 도시된 제1 이송 장치를 구체적으로 나타낸 사시도이다.

도 3을 추가적으로 참조하면, 상기 제1 바텀 지지부(520)는 수직 상태인 상기 테스트 트레이(TT)의 하부를 지지한다.

구체적으로, 상기 제1 바텀 지지부(520)는 상기 테스트 트레이(TT)의 하부에서 양측 부위들을 지지하기 위하여 두 개가 배치될 수 있다. 이러한 상기 제1 바텀 지지부(520)는 상기 속 챔버(300)의 내부에 고정된 상태로 배치된다.

상기 사이드 지지부(530)는 수직 상태인 상기 테스트 트레이(TT)가 넘어지지 않도록 하기 위하여 상기 테스트 트레이(TT)의 측부를 지지한다. 상기 사이드 지지부(530)는 상기 속 챔버(300)의 내부에서 수직 방향(y)으로는 움직임이 제한되도록 고정되고, 상기 테스트 트레이(TT)의 측부로부터 멀어지는 제1 수평 방향(x)으로는 움직임이 가능하도록 배치된다.

상기 제2 바텀 지지부(540)는 상기 제1 바텀 지지부(520)와 인접하게 배치된다. 구체적으로, 상기 제1 바텀 지지부(520)가 상기 테스트 트레이(TT)의 하부에서 양측 부위들을 지지하기 위해 두 개가 배치된다면, 상기 제2 바텀 지지부(540)는 상기 제1 바텀 지지부(520)들 사이에 배치될 수 있다.

상기 제2 바텀 지지부(540)는 수직 이송부(541)에 의해서 상승 및 하강이 가능하도록 배치된다. 여기서, 상기 수직 이송부(541)는 직선 구동력을 발생하는 실 린더(cylinder)를 포함할 수 있다.

이에, 상기 제2 바텀 지지부(540)는 상기 수직 이송부(541)를 통해 상승하여 상기 테스트 트레이(TT)를 상기 제1 바텀 지지부(520)로부터 이격시키면서 상기 제1 바텀 지지부(520)를 대신하여 상기 테스트 트레이(TT)의 하부를 지지한다.

상기 탑 지지부(550)는 상기 테스트 트레이(TT)의 상부에 배치된다. 상기 탑 지지부(550)는 상기 제1 바텀 지지부(520)가 상기 테스트 트레이(TT)의 하부를 지지할 때에는 상기 테스트 트레이(TT)의 상부로부터 이격되어 있고, 상기 제2 바텀 지지부(540)가 상기 수직 이송부(541)를 통해 상승하여 상기 테스트 트레이(TT)의 하부를 지지할 때에는 상기 테스트 트레이(TT)의 상부를 지지하도록 배치된다. 이러한 상기 탑 지지부(550)는 수직 방향(y)으로 고정된 상태로 배치된다.

상기 제1 캠플레이트(560)는 상기 제2 바텀 지지부(540)의 결합되면서 상기 사이드 지지부(530)의 일측면으로 연장되도록 배치된다. 이에, 상기 제1 캠플레이트(560)는 실질적으로 상기 제2 바텀 지지부(540)와 같이 상기 수직 이송부(541)를 통해 상승 및 하강한다.

이와 같은 구성에 있어서, 상기 사이드 지지부(530)는 일측면에 제1 캠팔로워(532)를 갖고, 상기 제1 캠플레이트(560)는 상기 제1 캠팔로워(532)가 삽입 결합되는 제1 캠홈(562)을 갖는다. 이와 달리, 상기 제1 캠팔로워(532)와 상기 제1 캠홈(562)은 각각 서로 반대인 상기 제1 캠플레이트(560) 및 상기 사이드 지지부(530)에 구성될 수 있다.

이에, 상기 사이드 지지부(530)는 수직 방향(y)으로 고정되면서 제1 수평 방 향(x)으로는 움직임이 가능하므로, 상기 제1 캠플레이트(560)가 상기 제2 바텀 지지부(540)와 같이 상승 및 하강할 때 상기 제1 캠팔로워(532)는 상기 제1 캠홈(562)을 따라 제1 수평 방향(x)으로만 이동하게 된다.

즉, 상기 제2 바텀 지지부(540)가 상기 수직 이송부(541)를 통해 상승하여 상기 테스트 트레이(TT)를 상기 제1 바텀 지지부(520)로부터 이격시킬 때 추가적인 동작 없이 상기 사이드 지지부(530)를 상기 테스트 트레이(TT)로부터 이격시켜 그 지지를 해제시킬 수 있다.

이하, 상기 제1 캠홈(562)의 형상에 대해서는 도 4 및 도 5를 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 4는 도 3에 도시된 제1 이송 장치 중 제1 캠플레이트의 일 실시예에 따른 제1 캠홈을 확대하여 나타낸 도면이고, 도 5는 도 3에 도시된 제1 이송 장치 중 제1 캠플레이트의 다른 실시예에 따른 제1 캠홈을 확대하여 나타낸 도면이다.

도 4를 참조하면, 상기 제1 캠플레이트(560)의 제1 캠홈(562)은 상단으로부터 하단으로 갈수록 상기 테스트 트레이(TT)의 측부로부터 멀어지도록 경사지게 형성된다.

이에 따라, 상기 사이드 지지부(530)는 상기 제2 바텀 지지부(540)가 하강한 상태에서는 상기 제1 캠팔로워(532)가 상기 제1 캠홈(562)의 상단에 위치함으로써 상기 테스트 트레이(TT)의 측부를 지지하고, 상기 제1 캠플레이트(560)가 상기 제2 바텀 지지부(540)와 같이 상기 수직 이송부(541)를 통해 상승할 때에는 상기 제1 캠팔로워(532)가 상기 제1 캠홈(562)의 상단으로부터 하단으로 이동하면서 상기 테 스트 트레이(TT)의 측부로부터 이격된다.

이렇게 상기 사이드 지지부(530)로부터 이격된 테스트 트레이(TT)는 곧바로 상기 탑 지지부(550)를 통해 지지됨으로써 넘어짐이 방지될 수 있다.

이에, 상기 제1 캠홈(562)의 경사진 각도는 상기 사이드 지지부(530)와 상기 탑 지지부(550)가 서로 교차되어 지지하도록 정밀하게 조절될 필요성이 있다.

따라서, 상기 제2 바텀 지지부(540)와 같이 상승하는 상기 제1 캠플레이트(560)의 제1 캠홈(562)을 통해 상기 제2 바텀 지지부(540)가 상승하는 한 동작으로 상기 사이드 지지부(530)가 상기 테스트 트레이(TT)의 측부로부터 이격되도록 함으로써, 배경 기술에서 설명하였던 상기 사이드 지지부(530)를 이동시키는 실린더를 제거하여 구성을 간단하게 할 수 있다.

이와 다르게 도 5를 참조하면, 제1 캠플레이트(570)의 제1 캠홈(572)은 상단으로부터 하단으로 갈수록 일정한 제1 구간(S1)에서는 상기 테스트 트레이(TT)의 측부와 일정 거리를 유지하다가 상기 제1 구간(S1)에 이어지는 제2 구간(S2)에서는 상기 테스트 트레이(TT)의 측부로부터 멀어지도록 경사지게 형성될 수 있다.

이에 따라, 상기 사이드 지지부(530)는 상기 제2 바텀 지지부(540)가 하강한 상태에서는 도 4에서와 같이 상기 제1 캠팔로워(532)가 상기 제1 캠홈(572)의 상단에 위치함으로써 상기 테스트 트레이(TT)의 측부를 지지하고, 상기 제2 바텀 지지부(540)와 같이 상기 제1 캠플레이트(570)가 상기 수직 이송부(541)를 통하여 상승할 때에는 상기 제1 캠팔로워(532)가 상기 제1 캠홈(572)의 상기 제1 및 제2 구간(S1, S2)들을 거치면서 상기 테스트 트레이(TT)의 측부로부터 이격된다.

구체적으로, 상기 사이드 지지부(530)는 상기 제1 캠홈(572)의 제1 구간(S1)에서는 상기 테스트 트레이(TT)의 측부를 그대로 지지하다가 상기 제2 구간(S2)을 접어들면서는 상기 테스트 트레이(TT)로부터 이격되게 된다.

이와 같이, 본 실시예에서는 도 4에서와 다르게 상기 제1 캠홈(572)에 상기 제1 구간(S1)을 형성하여 상기 제2 바텀 지지부(540)와 같이 상기 제1 캠플레이트(570)가 상승할 때 일정 시간동안 상기 사이드 지지부(530)가 상기 테스트 트레이(TT)의 측부를 지지하도록 함으로써, 상기 사이드 지지부(530)와 상기 탑 지지부(550)가 서로 교차되어 지지하는 시점을 보다 용이하게 조절할 수 있다.

즉, 상기 제1 캠홈(572)의 제2 구간(S2)에서는 상기 사이드 지지부(530)가 상기 테스트 트레이(TT)로부터 빠르게 이격되도록 단순히 급경사를 이루도록 하면 되므로, 경사진 각도를 정밀하게 조절할 필요성을 배제시킬 수 있다.

이하, 상기 제1 이송 장치(500)가 상기 테스트 트레이(TT)를 수평 이송시키는 구성에 대해서는 도 6 및 도 7을 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 6은 도 2a에 도시된 제1 이송 장치를 측면에서 바라본 도면이고, 도 7은 도 2a에 도시된 제1 이송 장치의 제2 바텀 지지부의 이송을 나타낸 도면이다.

도 6 및 도 7을 추가적으로 참조하면, 상기 제1 이송 장치(500)는 제1 수평 이송부(590), 제2 수평 이송부(595), 제2 캠플레이트(545) 및 제3 캠플레이트(555)를 포함한다.

상기 제1 및 제2 수평 이송부(590, 595)들 각각은 상기 제2 바텀 지지 부(540) 및 상기 탑 지지부(550)와 연결되어 상기 테스트 트레이(TT)를 상기 제1 수평 방향(x)에 수직한 제2 수평 방향(z)으로 이송시킨다. 여기서, 상기 제1 및 제2 수평 이송부(590, 595)들은 상기 수직 이송부(541)와 같이 실린더(cylinder) 구조를 포함한다.

한편, 상기 제2 바텀 지지부(540)는 상기 테스트 트레이(TT)의 하부를 지지하는 제1 지지홈(543)과 상기 제1 지지홈(543)과 반대되는 면에 제2 캠팔로워(544)를 갖는다.

이에, 상기 제2 캠플레이트(545)는 상기 제2 바텀 지지부(540)의 제2 캠팔로워(544)가 형성된 면에 배치되며, 상기 제2 캠팔로워(544)가 삽입 결합되는 제2 캠홈(546)을 갖는다. 여기서, 상기 제2 캠팔로워(544)와 상기 제2 캠홈(546) 각각은 서로 반대인 상기 제2 캠플레이트(545) 및 상기 제2 바텀 지지부(540)에 구성될 수 있다.

여기서, 상기 제2 캠홈(546)은 상기 테스트 트레이(TT)가 이송하는 제2 수평 방향(z)을 기준으로 경사지게 형성된다. 또한, 상기 제2 캠플레이트(545)는 상기 제2 바텀 지지부(540)와 같이 상기 제1 캠플레이트(560)에 결합되어 상기 수직 이송부(541)에 의해 상승 및 하강한다.

또한, 상기 탑 지지부(550)는 상기 테스트 트레이(TT)의 상부를 지지하는 제2 지지홈(553)과 상기 제2 지지홈(553)과 반대되는 면에 제3 캠팔로워(554)를 갖는다.

이에, 상기 제3 캠플레이트(555)는 상기 탑 지지부(550)의 제2 지지홈(553) 과 반대되는 면에서 상기 속 챔버(300)의 천장에 고정되며, 상기 제3 캠팔로워(554)가 삽입 결합되는 제3 캠홈(556)을 갖는 제3 캠플레이트(555)를 포함한다. 여기서, 상기 제3 캠홈(556)은 상기 제2 캠홈(546)과 실질적으로 동일한 형상을 갖는다.

한편, 상기에서와 같이 상기 제1 및 제2 수평 이송부(590, 595)들은 상기 제2 바텀 지지부(540) 및 상기 탑 지지부(550) 각각에 연결되어 이송시킬 수도 있지만, 하나의 구성으로 이루어져 상기 제2 바텀 지지부(540) 및 상기 탑 지지부(550)들을 같이 이송시킬 수도 있다.

이와 같이, 상기 제1 및 제2 수평 이송부(590, 595)들이 상기 제2 바텀 지지부(540) 및 상기 탑 지지부(550)를 이송시키게 되면, 상기 제2 및 제3 캠팔로워(544, 554)들 각각이 상기 제2 및 제3 캠홈(546, 556)들 각각을 따라 이동하게 된다. 즉, 상상기 제2 바텀 지지부(540) 및 상기 탑 지지부(550) 각각의 이동 피치는 상기 제2 및 제3 캠홈(546, 556)들 각각의 양단 거리에 의해 결정된다.

따라서, 상기 제2 및 제3 캠플레이트(545, 555)들의 제2 및 제3 캠홈(546, 556)들을 양단 거리를 간단하게 조절하여 상기 테스트 트레이(TT)를 원하는 피치만큼 이송되도록 간단하게 제어할 수 있다.

한편, 상기 제1 및 제2 수평 이송부(590, 595)들이 상기 제2 수평 방향(z)을 따라 구동할 경우 상기 제2 및 제3 캠홈(546, 556)들이 경사지게 형성되어 있기 때문에, 상기 제2 바텀 지지부(540)와 상기 탑 지지부(550)는 상기 제1 수평 방향(x)으로도 이동할 수 있다.

이에, 상기 제1 이송 장치(500)는 상기 제1 및 제2 수평 이송부(590, 595)들과 상기 제2 바텀 지지부(540) 및 상기 탑 지지부(550) 각각의 사이에 결합되어 상기 제2 바텀 지지부(540) 및 상기 탑 지지부(550) 각각의 상기 제1 수평 방향(x)에 대한 움직임을 가이드하는 상기 제1 및 제2 가이드부(592, 597)들을 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 제1 및 제2 가이드부(592, 597)들은 일 예로, LM 블록과 LM 가이드의 구성을 포함할 수 있다.

이로써, 상기 제1 및 제2 수평 이송부(590, 595)들의 구동에 의해서 상기 제2 바텀 지지부(540) 및 상기 탑 지지부(550)는 서로 수직한 상기 제1 및 제2 수평 방향(x, z)들로 모두 이동하게 되므로, 상기 제1 및 제2 수평 이송부(590, 595)들의 설치 위치를 상기의 두 방향들 중 어느 한 방향으로 얼마든지 설치할 수 있다.

예를 들어, 상기 테스트 챔버(400)와 제1 수평 방향(x)으로 연결되어 있는 상기 속 챔버(300)에서 상기 테스트 트레이(TT)를 제2 수평 방향(z)으로 이송시키고자 할 경우에, 상기 제1 및 제2 수평 이송부(590, 595)들을 상대적으로 공간적 활용도가 좋은 상기 제1 수평 방향(x)으로 설치할 수 있다.

한편, 상기에서 설명한 제1 이송 장치(500)를 통해 상기 테스트 트레이(TT)를 이송하는 동작을 간단하게 언급하면, 우선 상기 테스트 트레이(TT)는 상기 속 챔버(300)에서 수직 상태로 전환되어 상기 제1 바텀 지지부(520)와 상기 사이드 지지부(530)에 의해 지지된다.

이어, 상기 수직 이송부(541)를 통해 상기 제2 바텀 지지부(540)를 상승시켜 상기 테스트 트레이(TT)가 상기 제1 바텀 지지부(520)로부터 이격되면서 상기 제2 바텀 지지부(540)와 상기 탑 지지부(550)에 의해 지지되도록 한다.

이와 동시에, 상기 제2 바텀 지지부(540)와 같이 상승하는 상기 제1 캠플레이트(560)의 제1 캠홈(562)을 통해 상기 사이드 지지부(530)를 상기 테스트 트레이(TT)로부터 이격시킨다.

이어, 상기 제1 및 제2 수평 이송부(590, 595)들을 통해 상기 제2 바텀 지지부(540)와 상기 탑 지지부(550)를 원 스텝 이동시켜 상기 테스트 트레이(TT)를 이송시킨다. 여기서, 상기의 원 스텝 이동하는 피치는 상기 제2 및 제3 캠플레이트(545, 555)의 제2 및 제3 캠홈(546, 556)들의 양단 거리를 통하게 간단하게 설정된다.

이어, 상기 수직 이송부(541)를 통하여 상기 제2 바텀 지지부(540)를 하강시켜 상기 테스트 트레이(TT)가 상기 탑 지지부(550)로부터 이격되면서 상기 제1 바텀 지지부(520)에 지지되도록 한다.

이와 동시에, 상기 제2 바텀 지지부(540)와 같이 하강하는 상기 제1 캠플레이트(560)의 제1 캠홈(562)을 통해 상기 사이드 지지부(530)가 상기 테스트 트레이(TT)로 이동하여 지지하도록 한다. 이와 같은 일련의 동작들을 반복하면서 상기 테스트 트레이(TT)들은 일정한 간격을 두고 스텝 이송시킬 수 있다.

따라서, 배경 기술에서와 다르게 상기 테스트 트레이(TT)의 측부를 지지하는 상기 사이드 지지부(530)를 이동시키는 동작들을 상기 제2 바텀 지지부(540)가 상승 및 하강하는 동작과 동시에 진행시켜 상기 테스트 트레이(TT)의 이송을 위한 전 체적인 동작 횟수를 줄임으로써, 상기 테스트 트레이(TT)의 이송에 소요되는 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있다.

한편, 상기 제1 이송 장치(500)는 상기 테스트 트레이(TT)가 상기 테스트 챔버(400)의 진입부까지 스텝 이송되었을 경우, 상기 이송된 테스트 트레이(TT)를 상기 테스트 챔버(400)로 전달하기 위한 트레이 전달부(미도시)를 더 포함할 수 있다.

도 1을 다시 참조하면, 상기 디속 챔버(600)는 상기 테스트 챔버(400)와 연결된다.

상기 디속 챔버(600)에는 테스트를 수행한 상기 반도체 소자(SD)들이 로딩된 상기 테스트 트레이(TT)가 제공된다. 상기 디속 챔버(600)에서는 상기 속 챔버(300)에서 가열 또는 냉각된 상기 반도체 소자(SD)들을 상온으로 회복시킨다.

상기 언로딩부(700)는 상기 디속 챔버(600)와 연결된다. 상기 언로딩부(700)에는 상기 디속 챔버(600)로부터 상온 상태의 상기 반도체 소자(SD)들이 로딩된 상기 테스트 트레이(TT)가 제공된다. 이때, 상기 테스트 트레이(TT)는 다시 수평 상태로 전환된다. 상기 언로딩부(700)에서는 상기 테스트 트레이(TT)로부터 상기 반도체 소자(SD)들이 분리된다.

상기 제2 이송 장치(800)는 상기 디속 챔버(600)에 설치된다. 상기 제2 이송 장치(800)는 상기 테스트 챔버(400)로부터 제공된 상기 테스트 트레이(TT)를 상기 언로딩부(700)의 입구까지 이송시킨다.

여기서, 상기 제2 이송 장치(800)는 이송하고자 하는 방향 및 위치를 제외하 고는 상기 제1 이송 장치(500)와 동일한 구성을 가지므로, 이에 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다.

상기 소팅 버퍼(900)는 상기 언로딩부(700)와 연결된다. 상기 소팅 버퍼(900)에는 상기 반도체 소자(SD)들을 상기 테스트 챔버(400)에서 테스트한 결과에 따라 등급별로 구분하여 위치시키기 위한 다수의 소팅 테이블(910)들이 설치된다. 이때, 상기 소팅 테이블(910)들에는 상기 반도체 소자(SD)들이 상기 제2 간격으로 탑재된다.

상기 언로딩 스택커(950)에는 등급별로 구분된 다수의 제2 커스터머 트레이(CT2)들이 배치된다. 상기 제2 커스터머 트레이(CT2)들에는 상기 소팅 버퍼(900)로부터 상기 제2 간격으로 탑재된 상기 반도체 소자(SD)들이 등급별로 구분되어 상기 제1 간격으로 탑재된다.

이에, 상기 테스트 핸들러(1000)는 상기 소팅 버퍼(900) 및 상기 언로딩 스택커(950) 사이에서 상기 반도체 소자(SD)들을 상기 제2 간격에서 상기 제1 간격으로 변경시키기 위한 언로딩 픽커(690)를 더 포함할 수 있다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

상술한 본 발명은 테스트 트레이의 측부를 지지하는 사이드 지지부를 별도의 실린더가 아닌, 테스트 트레이의 하부를 지지하는 바텀 지지부와 결합된 캠플레이트와 캠팔로워 및 캠홈의 결합을 통해 상기 바텀 지지부의 수직 방향 이동과 연동하여 수평 방향으로 이동시킴으로써, 상기 테스트 트레이의 스텝 이송을 위한 동작 횟수를 줄일 수 있는 테스트 핸들러에 이용될 수 있다.

도 4는 도 3에 도시된 제1 이송 장치 중 제1 캠플레이트의 일 실시예에 따른 제1 캠홈을 확대하여 나타낸 도면이다.

도 5는 도 3에 도시된 제1 이송 장치 중 제1 캠플레이트의 다른 실시예에 따른 제1 캠홈을 확대하여 나타낸 도면이다.

도 6은 도 2a에 도시된 제1 이송 장치를 측면에서 바라본 도면이다.

도 7은 도 2a에 도시된 제1 이송 장치의 제2 바텀 지지부의 이송을 나타낸 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

SD : 반도체 소자 TT : 테스트 트레이

100 : 로딩 스택커 200 : 로딩부

300 : 속 챔버 400 : 테스트 챔버

500 : 제1 이송 장치 520 : 제1 바텀 지지부

530 : 사이드 지지부 540 : 제2 바텀 지지부

545 : 제2 캠플레이트 550 : 탑 지지부

560 : 제1 캠플레이트 600 : 디속 챔버

700 : 언로딩부 800 : 제2 이송 장치

900 : 소팅 버퍼 950 : 언로딩 스택커

1000 : 테스트 핸들러

Claims

수직 상태인 테스트 트레이의 하부를 지지하는 제1 바텀 지지부;

상기 제1 바텀 지지부에 의해 지지된 테스트 트레이의 넘어짐을 방지하기 위하여 상기 테스트 트레이의 측부를 지지하며, 상기 테스트 트레이를 지지 및 해제를 위하여 수평 방향으로 이동이 가능한 사이드 지지부;

상기 제1 바텀 지지부와 인접하게 수직 방향으로 이동이 가능하도록 배치되며, 상승 이동할 때 상기 테스트 트레이의 하부를 상기 제1 바텀 지지부를 대신하여 지지하는 제2 바텀 지지부;

상기 제2 바텀 지지부와 연결되어 상기 제2 바텀 지지부를 수직 방향으로 이동시키는 수직 이송부;

상기 테스트 트레이의 상부에 배치되고, 상기 제2 바텀 지지부가 상기 테스트 트레이의 하부를 지지할 때 상기 테스트 트레이의 상부를 지지하는 탑 지지부; 및

상기 제2 바텀 지지부와 결합되고, 상기 수직 이송부에 의한 상기 제2 바텀 지지부의 수직 방향 이동에 연동하여 상기 사이드 지지부가 수평 방향으로 이동하도록 상기 사이드 지지부와 캠팔로워 및 캠홈을 통해 결합하는 캠플레이트를 포함하는 트레이 이송 장치.
제1항에 있어서, 상기 캠홈은 상단으로부터 하단으로 갈수록 상기 테스트 트 레이의 지지되는 측부로부터 멀어지도록 형성된 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
제1항에 있어서, 상기 캠홈은 상단으로부터 하단으로 갈수록 일정 구간에서는 상기 테스트 트레이의 지지되는 측부와 일정 거리를 유지하다가 상기 일정 구간에 이어지는 연장 구간에서는 상기 테스트 트레이의 지지되는 측부로부터 멀어지도록 형성된 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
제1항에 있어서, 상기 캠팔로워는 상기 사이드 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 측면과 다른 측면에 구성되고, 상기 캠홈은 상기 캠팔로워가 삽입되도록 상기 캠플레이트에 구성되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
제1항에 있어서,

상기 테스트 트레이를 지지하는 상기 제2 바텀 지지부 및 상기 탑 지지부를 상기 수평 방향과 수직한 제2 수평 방향으로 이동시키는 수평 이송부; 및

상기 제2 바텀 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 제2 캠팔로워 및 제2 캠홈을 통해 결합되어 상기 제2 바텀 지지부가 일정 피치만큼 이동되도록 하는 제2 캠플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
제5항에 있어서, 상기 제2 캠홈은 상기 제2 수평 방향을 기준으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
제6항에 있어서, 상기 수평 이송부와 상기 제2 캠플레이트 사이에 배치되어 상기 제2 수평 방향으로 이동하는 상기 제2 바텀 지지부가 상기 제2 캠홈에 의해 상기 수평 방향으로 이동되는 것을 가이드하는 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
제5항에 있어서, 상기 제2 캠팔로워는 상기 제2 바텀 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 구성되고, 상기 제2 캠홈은 상기 제2 캠팔로워가 삽입되도록 상기 제2 캠플레이트에 구성된 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
제5항에 있어서,

상기 탑 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 제3 캠팔로워 및 제3 캠홈을 통해 결합되어 상기 탑 지지부가 일정 피치만큼 이동되도록 하는 제3 캠플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
수직 상태인 테스트 트레이의 하부를 지지하는 바텀 지지부;

상기 바텀 지지부에 의해 지지된 테스트 트레이의 상부를 지지하는 탑 지지부;

상기 테스트 트레이를 지지하는 상기 바텀 지지부 및 상기 탑 지지부를 수평 방향으로 이동시키는 수평 이송부; 및

상기 바텀 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 캠팔로워 및 캠홈을 통해 결합되어 상기 바텀 지지부가 일정 피치만큼 이동되도록 하는 캠플레이트를 포함하는 트레이 이송 장치.
제10항에 있어서, 상기 캠홈은 상기 수평 방향을 기준으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
제10항에 있어서,

상기 탑 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 제2 캠팔로워 및 제2 캠홈을 통해 결합되어 상기 탑 지지부가 일정 피치만큼 이동되도록 하는 제2 캠플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
다수의 반도체 소자들이 탑재된 테스트 트레이가 수직인 상태로 제공되고, 상기 반도체 소자들을 가열 및 냉각시키기 위한 공간을 제공하는 속 챔버;

상기 속 챔버와 연결되고, 상기 반도체 소자들을 상기 테스트 트레이에 탑재된 상태로 외부의 테스트 장치와 접속시키기 위한 공간을 제공하는 테스트 챔버;

상기 테스트 챔버와 연결되고, 상기 수직 상태의 테스트 트레이에 탑재된 상기 반도체 소자들을 상온으로 회복시키기 위한 공간을 제공하는 디속 챔버; 및

상기 속 챔버 및 상기 디속 챔버 각각에 설치되고, 상기 속 챔버 및 상기 디속 챔버 각각의 내부에서 상기 테스트 트레이를 이송시키는 제1 및 제2 이송 장치들을 포함하고,

상기 제1 및 제2 이송 장치들 각각은,

상기 수직 상태인 테스트 트레이의 하부를 지지하는 제1 바텀 지지부;

상기 제1 바텀 지지부에 의해 지지된 테스트 트레이의 넘어짐을 방지하기 위하여 상기 테스트 트레이의 측부를 지지하며, 상기 테스트 트레이를 지지 및 해제를 위하여 수평 방향으로 이동이 가능한 사이드 지지부;

상기 제1 바텀 지지부와 인접하게 수직 방향으로 이동이 가능하도록 배치되며, 상승 이동할 때 상기 테스트 트레이의 하부를 상기 제1 바텀 지지부를 대신하여 지지하는 제2 바텀 지지부;

상기 제2 바텀 지지부와 연결되어 상기 제2 바텀 지지부를 수직 방향으로 이동시키는 수직 이송부;

상기 테스트 트레이의 상부에 배치되고, 상기 제2 바텀 지지부가 상기 테스트 트레이의 하부를 지지할 때 상기 테스트 트레이의 상부를 지지하는 탑 지지부; 및

상기 제2 바텀 지지부와 결합되고, 상기 수직 이송부에 의한 상기 제2 바텀 지지부의 수직 방향 이동에 연동하여 상기 사이드 지지부가 수평 방향으로 이동하도록 상기 사이드 지지부와 캠팔로워 및 캠홈을 통해 결합하는 캠플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
다수의 반도체 소자들이 탑재된 테스트 트레이가 수직인 상태로 제공되고, 상기 반도체 소자들을 가열 및 냉각시키기 위한 공간을 제공하는 속 챔버;

상기 속 챔버와 연결되고, 상기 반도체 소자들을 상기 테스트 트레이에 탑재된 상태로 외부의 테스트 장치와 접속시키기 위한 공간을 제공하는 테스트 챔버;

상기 테스트 챔버와 연결되고, 상기 수직 상태의 테스트 트레이에 탑재된 상기 반도체 소자들을 상온으로 회복시키기 위한 공간을 제공하는 디속 챔버; 및

상기 속 챔버 및 상기 디속 챔버 각각에 설치되고, 상기 속 챔버 및 상기 디속 챔버 각각의 내부에서 상기 테스트 트레이를 이송시키는 제1 및 제2 이송 장치들을 포함하고,

상기 제1 및 제2 이송 장치들 각각은,

상기 수직 상태인 테스트 트레이의 하부를 지지하는 바텀 지지부;

상기 바텀 지지부에 지지된 테스트 트레이의 상부를 지지하는 탑 지지부;

상기 테스트 트레이를 지지하는 상기 바텀 지지부 및 상기 탑 지지부를 수평 방향으로 이동시키는 수평 이송부; 및

상기 바텀 지지부의 상기 테스트 트레이를 지지하는 면과 반대면에 캠팔로워 및 캠홈을 통해 결합되어 상기 바텀 지지부가 일정 피치만큼 이동되도록 하는 캠플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.