CN104934352B - 多规格光刻版清洗治具 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种多规格光刻版清洗治具，涉及半导体制造技术领域。本发明所提供的一种多规格光刻版清洗治具，主要包括主支架(4)、侧支架(9)、底部支架(12)、支撑圆柱(14)和底部圆柱(6)，其中，所述支撑圆柱(14)与所述的主支架(4)通过螺栓连接；所述侧支架(9)与所述的主支架(4)通过螺栓连接；所述底部支架(12)通过螺栓与所述的主支架(4)连接，所述底部支架定圆柱(6)固定在主支架(4)的下部；本发明能够用于对不同规格光刻版进行清洗，且一次能够清洗多个同一规格的光刻版，从而能够有效提光刻版的高清洗效率，降低设备采购成本。

Description

多规格光刻版清洗治具

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种多规格光刻版清洗治具。

背景技术

在半导体芯片生产制造过程中，芯片涂上光刻胶经特殊光刻处理后方能制造出特殊的管芯图形，由于芯片在曝光时必须使用光刻版，而且曝光时芯片和光刻版之间的间隙非常小，另外少量芯片表面存在缺陷，芯片表面在涂上光刻胶后表面凸凹不平，所以在曝光时就会发生光刻版和芯片相互接触。导致光刻版上部分区域存在残胶不能继续使用，又由于光刻版成本高且可以反复利用，所以受污染的光刻版需要使用特殊的化学药液进行清洗，清洗光刻版时就需要使用专用的清洗治具。

国内大部分LED制作行业都没有标准的清洗治具，对于光刻版的清洗都是手动作业，每次只是将光刻版装进特定的清洗治具里。

在目前光刻版的清洗过程中，对于不同规格的光刻版只能用相应规格的清洗治具进行清洗，清洗效率低，设备成本高。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种多规格光刻版清洗治具，该清洗治具能够用于清洗不同规格的光刻版。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

一种多规格光刻版清洗治具，包括主支架、侧支架、底部支架、支撑圆柱和底部圆柱，所述支撑圆柱与所述的主支架固定连接；所述侧支架与所述的主支架固定连接；所述底部支架与所述的主支架固定连接，所述底部支架定圆柱固定在主支架的下部；所述的主支架上有开有孔槽、支架取放口、侧支架固定螺丝孔和底板固定螺丝孔；所述主支架开设不同距离的侧支架固定螺丝孔，且所述的侧支架固定螺丝孔分布在主支架的两侧和底部；所述的侧支架一侧开有用于固定光刻版的侧支架卡槽；通过螺栓将所述侧支架卡槽按照光刻版的规格固定在相应的所述侧支架固定螺丝孔上；所述的底部支架开有底部支架通孔，将所述支撑圆柱安装在所述底部支架的所述底部支架通孔内，两端分别通过所述底板固定螺丝孔与两个所述主支架固定，底部支架安装在两所述主支架的下方外侧的位置；

优选的，所述的底部支架的一侧开有用于固定光刻版的底部支架卡槽；

优选的，所述底部支架通孔与所述底部支架卡槽连通；

优选的，所述的支撑圆柱两端开有底部支架圆柱孔，所述的底部支架圆柱孔为螺纹孔；

优选的，所述的清洗治具由耐腐蚀材料制成；

优选的，所述的主支架板的下部固定有至少一个底部支架定圆柱。

(三)有益效果

本发明提供了一种多规格光刻版清洗治具，由于主支架上开了不同距离的侧支架固定螺丝孔，可通过螺栓将侧支架卡槽按照光刻版的规格固定在相应的侧支架固定螺丝孔上，从而实现对于不同规格光刻版的清洗，从而提高清洗效率，降低设备采购成本。

同时，由于主支架和侧支架上都开有相同数目的多个卡槽，可以实现一次清洗多个同一规格的光刻版。

本发明所提供的清洗治具，由于卡槽有一定的长度，每个光刻版通过两侧各一个卡槽和底部的一个卡槽固定在清洗治具内，能够有效防止光刻版在取放过程中脱落的危险，提高操作的安全性。

此外，本发明在底部支架上开有通孔，通孔与底部卡槽上的支架连通，且底部卡槽的通孔里安装有支撑圆柱，光刻版与支撑圆柱的接触为线接触，在对光刻版进行清洗之后，放入烘箱中烘干，光刻版底部不易出现由于底部卡槽与光刻板接触面过大而引起的未烘干现象。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为光刻版主支架示意图；

图2为光刻版固定卡槽侧支架剖视图；

图3为光刻版固定卡槽底部支架左视图；

图4为光刻版固定卡槽底部支架剖视图；

图5为光刻版固定卡槽底支架圆柱视图；

其中，1-孔槽，2-支架取放口，3-侧支架固定螺丝孔，4-主支架，5-底板固定螺丝孔，6-底部圆柱，7-侧支架卡槽，8-侧支架螺丝孔，9-侧支架，10-底部支架孔，11-底部支架通孔12-底部支架，13-底部支架卡槽，14-支撑圆柱，15-底部支架圆柱孔。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

一种多规格光刻版清洗治具，包括主支架(4)、侧支架(9)、底部支架(12)、支撑圆柱(14)和底部圆柱(6)，其中，所述支撑圆柱(14)与所述的主支架(4)固定连接；所述侧支架(9)与所述的主支架(4)固定连接；所述底部支架(12)与所述的主支架(4)固定连接，所述底部支架定圆柱(6)固定在主支架(4)的下部。因此可将主支架(4)、侧支架(9)、底部支架(12)、支撑圆柱(14)和底部圆柱(6)，组装成一个完整的多规格光刻版清洗治具。

主支架4上的开有孔槽1、支架取放口2、侧支架固定螺丝孔3、底板固定螺丝孔5，其中，孔槽1是为了减少所使用的材料，支架取放口2位于主支架板的上方，便于取放时的夹持；侧支架固定螺丝孔3则分别按照不同光刻版的规格尺寸进行排列，其排列方式如图1中所示；

如附图1-5所示一种多规格光刻版清洗治具，包括主支架4、侧支架9、底部支架11、支撑圆柱14；底部圆柱6固定在主支架4的底部，保证两主支架4之间有固定的距离。支撑圆柱14安装在底部支架12的底部支架通孔11内，两个侧支架9分别与两个主支架4通过螺栓连接；由于底部支架通孔11与底部支架卡槽是连通的，因此能够保证光刻版与底部卡槽的接触为线接触，在对光刻版进行清洗之后，放入烘箱中烘干，光刻版底部不易出现由于底部卡槽与光刻板接触面过大而引起的未烘干现象。

待清洗的光刻版固定在底部支架12和侧支架9的卡槽里，且底部支架12与侧支架9上的卡槽数目一样多，从而能够保证本发明实施例一次可清洗多个光刻版。

因为本清洗治具要放在化学溶液里进行工作，所以本发明实施例所采用的制作材料为耐腐蚀材料。

实施例1

以清洗6寸光刻版为例，将支撑圆柱14安装在底部支架12的底部支架通孔11内，两端分别通过底板固定螺丝孔5与两个主支架板4固定在一起，且底部支架安装在两主支架4的下方外侧的位置；底部圆柱6固定在主支架4上孔槽1的下方；先将一个侧支架9通过螺栓固定在6寸光刻版对应的侧支架固定螺丝孔3上，使得侧支架卡槽开口向内，将光6寸刻版逐个固定到底部支架卡槽13和相应的侧支架卡槽7上，再将另一个侧支架9安装到6寸光刻版相应的侧支架固定螺丝孔3上，且侧支架卡槽7与各光刻版卡合。

将清洗治具用特定的镊子夹住放入去膜剂溶液蚀刻15分钟；蚀刻之后，将光刻版取出放入QDR水槽进行冲洗；然后将光刻版治具用特定的夹子夹住放入硫酸溶液蚀刻15分钟；将蚀刻好的光刻版取出放入QDR水槽中进行冲洗；用夹子取出水槽内的光刻版治具，然后放入特定的烘箱中烘干，最后用镊子取出治具内清洗干净的光刻版，将治具放入规定放置点。

实施例2

以清洗2寸光刻版为例，将支撑圆柱14安装在底部支架12的底部支架通孔11内，两端分别通过底板固定螺丝孔5与两个主支架板4固定在一起，且底部支架安装在两主支架4的下方外侧的位置；将三个底部圆柱6固定在主支架4上孔槽1的下方；先将一个侧支架9通过螺栓固定在2寸光刻版对应的侧支架固定螺丝孔3上，使得侧支架卡槽开口向内，将光2寸刻版逐个固定到底部支架卡槽13和相应的侧支架卡槽7上，再将另一个侧支架9安装到2寸光刻版相应的侧支架固定螺丝孔3上，且侧支架卡槽7与各光刻版卡合。

将清洗治具用特定的镊子夹住放入去膜剂溶液蚀刻15分钟；蚀刻之后，将光刻版取出放入QDR水槽进行冲洗；然后将光刻版治具用特定的夹子夹住放入硫酸溶液蚀刻15分钟；将蚀刻好的光刻版取出放入QDR水槽中进行冲洗；用夹子取出水槽内的光刻版治具，然后放入特定的烘箱中烘干，最后用镊子取出治具内清洗干净的光刻版，将治具放入规定放置点。

综上所述，本发明实施例有如下有益效果：

本发明实施例提供了一种多规格光刻版清洗治具，由于主支架上开了不同距离的侧支架固定螺丝孔，可通过螺栓将侧支架卡槽按照光刻版的规格固定在相应的侧支架固定螺丝孔上，从而实现对于不同规格光刻版的清洗，从而提高清洗效率，降低设备采购成本。

本发明实施例所提供的清洗治具，由于卡槽有一定的长度，每个光刻版通过两侧各一个卡槽和底部的支撑圆柱固定在清洗治具内，能够有效防止光刻版在取放过程中脱落的危险，提高操作的安全性。

由于主支架和侧支架上都开有相同数目的多个卡槽，可以实现一次清洗多个同一规格的光刻版；由于主支架上开有不同距离的侧支架固定螺丝孔，因此可以通过改变侧支架的位置实现清洗不同规格光刻版。

此外，本发明实施例在底部支架上开有通孔，通孔与底部卡槽上的支架连通，且支撑圆柱安装在底部卡槽的通孔里，光刻版与支撑圆柱的接触为线接触，在对光刻版进行清洗之后，放入烘箱中烘干，光刻版底部不易出现未烘干现象。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种多规格光刻版清洗治具，包括主支架(4)、侧支架(9)、底部支架(12)、支撑圆柱(14)和底部支架定圆柱(6)，其特征在于：所述支撑圆柱(14)与所述的主支架(4)固定连接；所述侧支架(9)与所述的主支架(4)固定连接；所述底部支架(12)与所述的主支架(4)固定连接，所述底部支架定圆柱(6)固定在主支架(4)的下部；所述的主支架(4)上有开有孔槽(1)、支架取放口(2)、侧支架固定螺丝孔(3)和底板固定螺丝孔(5)；所述主支架(4)开设不同距离的侧支架固定螺丝孔(3)，且所述的侧支架固定螺丝孔(3)分布在主支架(4)的两侧和底部；所述的侧支架(9)一侧开有用于固定光刻版的侧支架卡槽(7)；通过螺栓将所述侧支架卡槽(7)按照光刻版的规格固定在相应的所述侧支架固定螺丝孔(3)上；所述的底部支架(12)开有底部支架通孔(11)，将所述支撑圆柱(14)安装在所述底部支架(12)的所述底部支架通孔(11)内，两端分别通过所述底板固定螺丝孔(5)与两个所述主支架(4)固定，底部支架(12)安装在两所述主支架(4)的下方外侧的位置。

2.如权利要求1所述的一种多规格光刻版清洗治具，其特征在于：所述的底部支架(12)的一侧开有用于固定光刻版的底部支架卡槽(13)。

3.如权利要求2所述的一种多规格光刻版清洗治具，其特征在于：所述底部支架通孔(11)与所述底部支架卡槽(13)连通。

4.如权利要求1所述的一种多规格光刻版清洗治具，其特征在于：所述的支撑圆柱(14)两端开有底部支架圆柱孔(15)，所述的底部支架圆柱孔(15)为螺纹孔。

5.如权利要求1所述的一种多规格光刻版清洗治具，其特征在于：所述的清洗治具由耐腐蚀材料制成。

6.如权利要求1所述的一种多规格光刻版清洗治具，其特征在于：所述的主支架板(4)的下部固定有至少一个底部支架定圆柱(6)。