CN104465466A - 一种多尺寸led芯片兼容石英清洗提篮 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮，包括：底部支架、中部支架，所述底部支架、中部支架上设有定位孔，底部支架与中部支架之间设有固定支架，固定支架上设有若干通孔以减轻固定支架的重量，中部支架两侧设有固定上支架，固定上支架两侧设有抓取凹槽，抓取凹槽上侧的固定上支架上设有两个平行设置的石英棒支架，所述中部支架内侧设有卡塞固定孔。本发明结构合理，可以解决提篮数量有限、尺寸不兼容问题以及不同规格产品不能同时作业问题；清洗效率大幅度提高，完美解决部分芯片边缘清洗不干净的技术难题，提高产品品质。

Description

一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮
技术领域
本发明涉及LED芯片生产技术领域，具体为一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮。
背景技术
在现代LED生产制造过程中，某些GaN晶片在匀上光刻胶、蒸镀ITO、沉积SiO2后需要进行化学去胶、蚀刻、腐蚀、正划后侧壁腐蚀等清洗工艺处理，其中GaN晶片在做完正划处理后，需要将划道内的杂质利用3:1溶液(H2SO4：H3PO4＝3：1)高温(280℃)腐蚀处理，将划道内的杂质清洗干净，此时需要将晶片放入石英卡塞中，再将石英卡塞放入石英清洗提篮内，由机械手将清洗提篮运输至特定的化学槽内进行以上多道工序清洗处理，化学处理的主要目的是去除保护胶、ITO、SiO2蚀刻、正划后划道内的等杂物，由于是300℃高温清洗作业，所以必须使用机械手进行作业，而高温清洗作业就需要使用这种专用的石英清洗提篮治具
现有国内大部分LED制作行业都是使用同一种结构的石英清洗提篮，虽然提篮外观设计略有不同，但总体整体设计思路都是相同的，即卡塞放入提篮内时，卡塞都是水平放置在清洗提篮内；2、4寸提篮尺寸不兼容，2英寸提篮只能放置2个2英寸的石英卡塞，4英寸的石英提篮只能放置一个4英寸石英卡塞，不同规格的产品不能同时清洗作业。
发明内容
本发明所解决的技术问题在于提供一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮，以解决上述背景技术中的问题。
本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮，包括：底部支架、中部支架，所述底部支架、中部支架上设有定位孔，底部支架与中部支架之间设有固定支架，固定支架上设有若干通孔以减轻固定支架的重量，中部支架两侧设有固定上支架，固定上支架两侧设有抓取凹槽，抓取凹槽上侧的固定上支架上设有两个平行设置的石英棒支架，所述中部支架内侧设有卡塞固定孔。
所述底部支架上设有芯片定位孔。
所述底部支架、中部支架上端面设有3-8°的倾斜面。
与已公开技术相比，本发明存在以下优点：本发明结构合理，可以解决提篮数量有限、尺寸不兼容问题以及不同规格产品不能同时作业问题；清洗效率大幅度提高，完美解决部分芯片边缘清洗不干净的技术难题，提高产品品质。
附图说明
图1为本发明的主视图示意图。
图2为本发明的侧视图示意图。
图3为本发明的仰视图示意图。
具体实施方式
为了使本发明的技术手段、创作特征、工作流程、使用方法达成目的与功效易于明白了解，下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-3所示，一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮，包括：底部支架1、中部支架3，所述底部支架1、中部支架3上设有定位孔7，底部支架1与中部支架3之间设有固定支架2，固定支架2上设有若干通孔8以减轻固定支架2的重量，中部支架3两侧设有固定上支架4，固定上支架4两侧设有抓取凹槽6，抓取凹槽6上侧的固定上支架4上设有两个平行设置的石英棒支架5，所述中部支架3内侧设有卡塞固定孔9。
所述底部支架1上设有芯片定位孔11。
所述底部支架1、中部支架3上端面设有3-8°的倾斜面。
本发明在不改变原机台槽体尺寸及保证机台安全运行的前提下，将石英提篮的外形结构尺寸适当放大，然后在石英提篮底部设计一系列特殊定位孔用于固定石英卡塞，这些小孔可以满足放置不同规格的石英卡塞，如单次可放置4个2英寸石英卡塞，也可满足放置2个4英寸石英卡塞，同时还可以满足单次放置2个2英寸和一个4英寸石英卡塞的生产需求。其次放置卡塞的底部支撑板和水平面设计成5°倾斜角，这样设计可避免晶片在清洗过程中晶片的外侧边缘和石英卡塞卡槽相互接触，造成晶片无法和化学药液之间相互接触、充分反应，致使清洗后产品边缘出现少许蚀刻、清洗不彻底现象，导致产品品质下降。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征及本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (3)

1.一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮，包括：底部支架、中部支架，其特征在于：所述底部支架、中部支架上设有定位孔，底部支架与中部支架之间设有固定支架，固定支架上设有若干通孔以减轻固定支架的重量，中部支架两侧设有固定上支架，固定上支架两侧设有抓取凹槽，抓取凹槽上侧的固定上支架上设有两个平行设置的石英棒支架，所述中部支架内侧设有卡塞固定孔。
2.根据权利要求1所述的一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮，其特征在于：所述底部支架上设有芯片定位孔。
3.根据权利要求1所述的一种多尺寸LED芯片兼容石英清洗提篮，其特征在于：所述底部支架、中部支架上端面设有3-8°的倾斜面。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104934352A (zh) * 2015-05-07 2015-09-23 合肥彩虹蓝光科技有限公司 多规格光刻版清洗治具

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201644434U (zh) * 2009-11-26 2010-11-24 北京有色金属研究总院 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮
CN202238771U (zh) * 2011-09-21 2012-05-30 有研半导体材料股份有限公司 一种适用于多尺寸晶圆的清洗槽
CN202268336U (zh) * 2011-10-11 2012-06-06 天津市环欧半导体材料技术有限公司 一种清洗硅片用清洗筐
CN103212551A (zh) * 2013-04-02 2013-07-24 苏州海铂晶体有限公司 一种用于晶片的超声波清洗装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201644434U (zh) * 2009-11-26 2010-11-24 北京有色金属研究总院 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮
CN202238771U (zh) * 2011-09-21 2012-05-30 有研半导体材料股份有限公司 一种适用于多尺寸晶圆的清洗槽
CN202268336U (zh) * 2011-10-11 2012-06-06 天津市环欧半导体材料技术有限公司 一种清洗硅片用清洗筐
CN103212551A (zh) * 2013-04-02 2013-07-24 苏州海铂晶体有限公司 一种用于晶片的超声波清洗装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104934352A (zh) * 2015-05-07 2015-09-23 合肥彩虹蓝光科技有限公司 多规格光刻版清洗治具
CN104934352B (zh) * 2015-05-07 2018-01-19 合肥彩虹蓝光科技有限公司 多规格光刻版清洗治具

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