CN201644434U - 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮 - Google Patents
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN 200920277826 CN201644434U (zh) | 2009-11-26 | 2009-11-26 | 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN 200920277826 CN201644434U (zh) | 2009-11-26 | 2009-11-26 | 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201644434U true CN201644434U (zh) | 2010-11-24 |
Family
ID=43109630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 200920277826 Expired - Lifetime CN201644434U (zh) | 2009-11-26 | 2009-11-26 | 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201644434U (zh) |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: GRINM SEMICONDUCTOR MATERIALS CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: GENERAL RESEARCH INSTITUTE FOR NONFERROUS METALS Effective date: 20120121 Free format text: FORMER OWNER: GRINM SEMICONDUCTOR MATERIALS CO., LTD. Effective date: 20120121 |
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C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20120121 Address after: 100088, 2, Xinjie street, Beijing Patentee after: GRINM Semiconductor Materials Co., Ltd. Address before: 100088, 2, Xinjie street, Beijing Co-patentee before: GRINM Semiconductor Materials Co., Ltd. Patentee before: General Research Institute for Nonferrous Metals |
|
C56 | Change in the name or address of the patentee |
Owner name: GRINM ADVANCED MATERIALS CO., LTD. Free format text: FORMER NAME: GRINM SEMICONDUCTOR MATERIALS CO., LTD. |
|
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 100088, 2, Xinjie street, Beijing Patentee after: YOUYAN NEW MATERIAL CO., LTD. Address before: 100088, 2, Xinjie street, Beijing Patentee before: GRINM Semiconductor Materials Co., Ltd. |
|
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: GRINM SEMICONDUCTOR MATERIALS CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: GRINM ADVANCED MATERIALS CO., LTD. Effective date: 20150612 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20150612 Address after: 101300 Beijing city Shunyi District Shuanghe Linhe Industrial Development Zone on the south side of the road Patentee after: You Yan Semi Materials Co., Ltd. Address before: 100088, 2, Xinjie street, Beijing Patentee before: YOUYAN NEW MATERIAL CO., LTD. |
|
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20101124 |
|
CX01 | Expiry of patent term |