CN201644434U - 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮 - Google Patents

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边永智
宁永铎
徐继平
籍小兵
韩少华
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You Yan Semi Materials Co., Ltd.
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Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals
Grinm Semiconductor Materials Co Ltd
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Abstract

一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，它包括：两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接，侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。一组(三支)带有卡槽、卡杆，其中正下方一支，左右侧上方各一支。正下方卡杆为固定的，用来承托晶圆。侧上方的两支可以在导槽内滑动，用来适应不同直径的硅片，通过卡锁固定后，能够有效防止晶圆在花篮中左右移动和滑落，上方不同位置开有放置插杆的圆孔，插入插杆后，可以防止晶圆在清洗过程中从上方脱出。本实用新型优点是：在晶圆清洗过程中，最大限度减少花篮与硅片接触面积，降低超声波衰减比例，提高晶圆清洗均匀性，提高清洗效果；花篮组合结实牢靠；可实现一个花篮适用于清洗不同直径晶圆。

Description

一种适用多尺寸晶圆清洗花篮
技术领域
本实用新型涉及一种晶圆清洗装置，特别是一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，它适用于4、5、6英寸晶圆的切割、研磨后清洗。
背景技术
在晶圆加工过程中，需要进行多次清洗，通常清洗将晶圆放在花篮内，投入清洗槽内。清洗槽内有超声和清洗剂，目前传统清洗花篮多为塑料注塑制成，花篮与晶圆接触面积比较大，超声波强度在花篮边缘位置衰减严重。容易造成晶圆边缘清洗效果差，表面不均匀等问题，影响晶圆产品表面状况和洁净程度。传统花篮为单一尺寸清洗，实际操作过程中，需要为每一种尺寸晶圆准备相应尺寸的清洗花篮。这样不免需要准备各个尺寸的清洗花篮，增大了工装成本。当清洗某些种类的的晶圆时，晶圆容易因为清洗过程中的抛动和化学反应产生的力而脱出花篮，造成额外的加工损失。
为了克服以上技术问题，我们设计制作了一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，该花篮与晶圆表面接触面积小，可以解决表面均匀性的问题。而且该花篮可以通过简单的操作，而兼容4、5、6寸晶圆。
发明内容
本实用新型的目的是一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，该花蓝清洗效果好，实现了使用一只花篮，可以清洗3种直径晶圆的工作。
本实用新型采取了如下一些技术方案：
这种适用多尺寸晶圆清洗花篮，它包括：两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接，侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。
在侧板的外侧，有用来固定可拆卸卡杆的卡锁。
所述的槽口可适应不同尺寸硅片。
卡杆上缺口宽度一致，缺口宽度与传统花篮宽度相同。
所述的卡杆为三支，一支位于侧板下方，另外两支分别位于侧板上方两侧。
侧板上槽口与卡杆以固定销片卡合。
本实用新型优点是：在晶圆清洗过程中，晶圆由三支卡杆固定，最大限度减少花篮与硅片接触面积，降低超声波衰减比例，提高晶圆清洗均匀性，提高清洗效果；卡杆与侧板连接方式为插接式，由卡锁固定，使得花篮组合结实牢靠；通过卡杆在不同插口的放置，实现一个花篮适用于清洗不同直径晶圆；设置上方插杆，可以防止晶圆在清洗过程中从上方脱出，避免晶圆加工损失。
附图说明
图1为本实用新型提供的适用多尺寸晶圆清洗花篮结构示意图
图1中：1为侧板，2为插杆，3为卡杆，4为卡锁，5为固定销片，6为6寸槽口，7为5寸槽口，8为4寸槽口。
具体实施方式
图1中，一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，包括一组平行的侧板和一组连接侧板的卡杆。一组卡杆为三支，一支位于侧板下方，另外两支分别位于侧板上方两侧。正下方卡杆为固定的，用来承托晶圆。侧上方的两支可以在导槽内滑动，用来适应不同直径的硅片。卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。卡杆安装好之后，三支卡杆的缺口处于一个平面，再次平片位置可以承载一枚晶圆。
在侧插板上方有开孔，用来安装插杆，防止硅片从上方脱出。
侧板上的开口，用来安装开槽的卡杆。卡杆安装位置有三个，分别用来适应不同直径的晶圆。
在一组平行侧板的一侧，设置有固定卡锁，安装好卡杆之后，将卡锁锁死，侧板和卡杆即可很好的连接在一起，构成一个整体。
上述所有卡杆的缺口为25个，每一组缺口的间距均匀一致，三支卡杆的缺口在同一平面上，缺口间距于传统花篮一致。即每一个花篮可以放置25枚硅片，另外清洗后硅片可以方便的转移到传统花篮中。
花篮全部组件为PVDF材质构成。可以应用于晶圆生产中使用的各种酸碱性清洗剂环境，材料本身和清洗溶液不发生反应，可以避免对硅片的污染。

Claims (6)

1.一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：它包括：两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接，侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。
2.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：在侧板的外侧，有用来固定可拆卸卡杆的卡锁。
3.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：在侧板的外侧，有适应不同尺寸硅片的槽口。
4.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：卡杆上缺口宽度一致，缺口宽度与传统花篮宽度相同。
5.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：所述的卡杆为三支，一支位于侧板下方，另外两支分别位于侧板上方两侧。
6.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：侧板上槽口与卡杆以固定销片卡合。
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