CN201644434U - 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮 - Google Patents

一种适用多尺寸晶圆清洗花篮 Download PDF

Info

Publication number
CN201644434U
CN201644434U CN 200920277826 CN200920277826U CN201644434U CN 201644434 U CN201644434 U CN 201644434U CN 200920277826 CN200920277826 CN 200920277826 CN 200920277826 U CN200920277826 U CN 200920277826U CN 201644434 U CN201644434 U CN 201644434U
Authority
CN
China
Prior art keywords
flower basket
gaily decorated
decorated basket
side plate
wafers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN 200920277826
Other languages
English (en)
Inventor
边永智
宁永铎
徐继平
籍小兵
韩少华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
You Yan Semi Materials Co., Ltd.
Original Assignee
Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals
Grinm Semiconductor Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals, Grinm Semiconductor Materials Co Ltd filed Critical Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals
Priority to CN 200920277826 priority Critical patent/CN201644434U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201644434U publication Critical patent/CN201644434U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

一种适用多尺寸晶圆清洗花篮,它包括:两块平行的侧板,侧板以一支插杆连接,侧板上有与卡杆连接的槽口,卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。一组(三支)带有卡槽、卡杆,其中正下方一支,左右侧上方各一支。正下方卡杆为固定的,用来承托晶圆。侧上方的两支可以在导槽内滑动,用来适应不同直径的硅片,通过卡锁固定后,能够有效防止晶圆在花篮中左右移动和滑落,上方不同位置开有放置插杆的圆孔,插入插杆后,可以防止晶圆在清洗过程中从上方脱出。本实用新型优点是:在晶圆清洗过程中,最大限度减少花篮与硅片接触面积,降低超声波衰减比例,提高晶圆清洗均匀性,提高清洗效果;花篮组合结实牢靠;可实现一个花篮适用于清洗不同直径晶圆。

Description

一种适用多尺寸晶圆清洗花篮
技术领域
本实用新型涉及一种晶圆清洗装置,特别是一种适用多尺寸晶圆清洗花篮,它适用于4、5、6英寸晶圆的切割、研磨后清洗。
背景技术
在晶圆加工过程中,需要进行多次清洗,通常清洗将晶圆放在花篮内,投入清洗槽内。清洗槽内有超声和清洗剂,目前传统清洗花篮多为塑料注塑制成,花篮与晶圆接触面积比较大,超声波强度在花篮边缘位置衰减严重。容易造成晶圆边缘清洗效果差,表面不均匀等问题,影响晶圆产品表面状况和洁净程度。传统花篮为单一尺寸清洗,实际操作过程中,需要为每一种尺寸晶圆准备相应尺寸的清洗花篮。这样不免需要准备各个尺寸的清洗花篮,增大了工装成本。当清洗某些种类的的晶圆时,晶圆容易因为清洗过程中的抛动和化学反应产生的力而脱出花篮,造成额外的加工损失。
为了克服以上技术问题,我们设计制作了一种适用多尺寸晶圆清洗花篮,该花篮与晶圆表面接触面积小,可以解决表面均匀性的问题。而且该花篮可以通过简单的操作,而兼容4、5、6寸晶圆。
发明内容
本实用新型的目的是一种适用多尺寸晶圆清洗花篮,该花蓝清洗效果好,实现了使用一只花篮,可以清洗3种直径晶圆的工作。
本实用新型采取了如下一些技术方案:
这种适用多尺寸晶圆清洗花篮,它包括:两块平行的侧板,侧板以一支插杆连接,侧板上有与卡杆连接的槽口,卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。
在侧板的外侧,有用来固定可拆卸卡杆的卡锁。
所述的槽口可适应不同尺寸硅片。
卡杆上缺口宽度一致,缺口宽度与传统花篮宽度相同。
所述的卡杆为三支,一支位于侧板下方,另外两支分别位于侧板上方两侧。
侧板上槽口与卡杆以固定销片卡合。
本实用新型优点是:在晶圆清洗过程中,晶圆由三支卡杆固定,最大限度减少花篮与硅片接触面积,降低超声波衰减比例,提高晶圆清洗均匀性,提高清洗效果;卡杆与侧板连接方式为插接式,由卡锁固定,使得花篮组合结实牢靠;通过卡杆在不同插口的放置,实现一个花篮适用于清洗不同直径晶圆;设置上方插杆,可以防止晶圆在清洗过程中从上方脱出,避免晶圆加工损失。
附图说明
图1为本实用新型提供的适用多尺寸晶圆清洗花篮结构示意图
图1中:1为侧板,2为插杆,3为卡杆,4为卡锁,5为固定销片,6为6寸槽口,7为5寸槽口,8为4寸槽口。
具体实施方式
图1中,一种适用多尺寸晶圆清洗花篮,包括一组平行的侧板和一组连接侧板的卡杆。一组卡杆为三支,一支位于侧板下方,另外两支分别位于侧板上方两侧。正下方卡杆为固定的,用来承托晶圆。侧上方的两支可以在导槽内滑动,用来适应不同直径的硅片。卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。卡杆安装好之后,三支卡杆的缺口处于一个平面,再次平片位置可以承载一枚晶圆。
在侧插板上方有开孔,用来安装插杆,防止硅片从上方脱出。
侧板上的开口,用来安装开槽的卡杆。卡杆安装位置有三个,分别用来适应不同直径的晶圆。
在一组平行侧板的一侧,设置有固定卡锁,安装好卡杆之后,将卡锁锁死,侧板和卡杆即可很好的连接在一起,构成一个整体。
上述所有卡杆的缺口为25个,每一组缺口的间距均匀一致,三支卡杆的缺口在同一平面上,缺口间距于传统花篮一致。即每一个花篮可以放置25枚硅片,另外清洗后硅片可以方便的转移到传统花篮中。
花篮全部组件为PVDF材质构成。可以应用于晶圆生产中使用的各种酸碱性清洗剂环境,材料本身和清洗溶液不发生反应,可以避免对硅片的污染。

Claims (6)

1.一种适用多尺寸晶圆清洗花篮,其特征在于:它包括:两块平行的侧板,侧板以一支插杆连接,侧板上有与卡杆连接的槽口,卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。
2.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮,其特征在于:在侧板的外侧,有用来固定可拆卸卡杆的卡锁。
3.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮,其特征在于:在侧板的外侧,有适应不同尺寸硅片的槽口。
4.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮,其特征在于:卡杆上缺口宽度一致,缺口宽度与传统花篮宽度相同。
5.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮,其特征在于:所述的卡杆为三支,一支位于侧板下方,另外两支分别位于侧板上方两侧。
6.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮,其特征在于:侧板上槽口与卡杆以固定销片卡合。
CN 200920277826 2009-11-26 2009-11-26 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮 Expired - Lifetime CN201644434U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200920277826 CN201644434U (zh) 2009-11-26 2009-11-26 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200920277826 CN201644434U (zh) 2009-11-26 2009-11-26 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201644434U true CN201644434U (zh) 2010-11-24

Family

ID=43109630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200920277826 Expired - Lifetime CN201644434U (zh) 2009-11-26 2009-11-26 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201644434U (zh)

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102172584A (zh) * 2011-02-14 2011-09-07 常州亿晶光电科技有限公司 硅料方段酸洗专用装载装置
CN103021900A (zh) * 2011-09-20 2013-04-03 宜兴市环洲微电子有限公司 石英法篮
CN103157640A (zh) * 2011-12-09 2013-06-19 龙焱能源科技(杭州)有限公司 一种玻璃清洗花篮
CN103464414A (zh) * 2013-09-12 2013-12-25 武汉新芯集成电路制造有限公司 一种用于清洗炉管设备保温片的治具
CN104282595A (zh) * 2014-10-23 2015-01-14 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种兼容多尺寸硅外延测试片的制备方法
CN104465463A (zh) * 2014-12-16 2015-03-25 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种承托多个尺寸硅外延片的花篮结构
CN104465466A (zh) * 2014-12-26 2015-03-25 合肥彩虹蓝光科技有限公司 一种多尺寸led芯片兼容石英清洗提篮
CN104465464A (zh) * 2014-12-16 2015-03-25 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种小尺寸硫化镉单晶片超声清洗架
CN104934352A (zh) * 2015-05-07 2015-09-23 合肥彩虹蓝光科技有限公司 多规格光刻版清洗治具
CN104992917A (zh) * 2015-08-10 2015-10-21 乐山无线电股份有限公司 一种硅片载具
CN106702496A (zh) * 2015-07-20 2017-05-24 有研半导体材料有限公司 一种酸腐蚀去除硅晶圆表面损伤的装置及方法
CN108063109A (zh) * 2017-12-22 2018-05-22 山西飞虹激光科技有限公司 一种用于清洗晶片的花篮及对晶片进行清洗的方法
WO2019011291A1 (zh) * 2017-07-14 2019-01-17 君泰创新(北京)科技有限公司 硅片的承载装置
CN110369390A (zh) * 2019-07-05 2019-10-25 上海提牛机电设备有限公司 一种陶瓷盘360度旋装置
CN112992745A (zh) * 2021-02-08 2021-06-18 江苏亚电科技有限公司 一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮
CN113257730A (zh) * 2021-03-29 2021-08-13 无锡亚电智能装备有限公司 一种半导体晶圆晶清洗装置
CN113967648A (zh) * 2020-07-23 2022-01-25 富准精密模具(嘉善)有限公司 清洗装置
CN114345778A (zh) * 2021-12-27 2022-04-15 浙江光特科技有限公司 一种晶圆清洗装置

Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102172584A (zh) * 2011-02-14 2011-09-07 常州亿晶光电科技有限公司 硅料方段酸洗专用装载装置
CN103021900A (zh) * 2011-09-20 2013-04-03 宜兴市环洲微电子有限公司 石英法篮
CN103021900B (zh) * 2011-09-20 2015-06-17 宜兴市环洲微电子有限公司 石英法篮
CN103157640A (zh) * 2011-12-09 2013-06-19 龙焱能源科技(杭州)有限公司 一种玻璃清洗花篮
CN103464414B (zh) * 2013-09-12 2016-04-27 武汉新芯集成电路制造有限公司 一种用于清洗炉管设备保温片的治具
CN103464414A (zh) * 2013-09-12 2013-12-25 武汉新芯集成电路制造有限公司 一种用于清洗炉管设备保温片的治具
CN104282595A (zh) * 2014-10-23 2015-01-14 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种兼容多尺寸硅外延测试片的制备方法
CN104465463A (zh) * 2014-12-16 2015-03-25 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种承托多个尺寸硅外延片的花篮结构
CN104465464A (zh) * 2014-12-16 2015-03-25 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种小尺寸硫化镉单晶片超声清洗架
CN104465466B (zh) * 2014-12-26 2017-02-22 合肥彩虹蓝光科技有限公司 一种多尺寸led芯片兼容石英清洗提篮
CN104465466A (zh) * 2014-12-26 2015-03-25 合肥彩虹蓝光科技有限公司 一种多尺寸led芯片兼容石英清洗提篮
CN104934352A (zh) * 2015-05-07 2015-09-23 合肥彩虹蓝光科技有限公司 多规格光刻版清洗治具
CN104934352B (zh) * 2015-05-07 2018-01-19 合肥彩虹蓝光科技有限公司 多规格光刻版清洗治具
CN106702496B (zh) * 2015-07-20 2019-01-25 有研半导体材料有限公司 一种酸腐蚀去除硅晶圆表面损伤的装置及方法
CN106702496A (zh) * 2015-07-20 2017-05-24 有研半导体材料有限公司 一种酸腐蚀去除硅晶圆表面损伤的装置及方法
CN104992917B (zh) * 2015-08-10 2018-04-24 乐山无线电股份有限公司 一种硅片载具
CN104992917A (zh) * 2015-08-10 2015-10-21 乐山无线电股份有限公司 一种硅片载具
WO2019011291A1 (zh) * 2017-07-14 2019-01-17 君泰创新(北京)科技有限公司 硅片的承载装置
CN108063109A (zh) * 2017-12-22 2018-05-22 山西飞虹激光科技有限公司 一种用于清洗晶片的花篮及对晶片进行清洗的方法
CN110369390A (zh) * 2019-07-05 2019-10-25 上海提牛机电设备有限公司 一种陶瓷盘360度旋装置
CN113967648A (zh) * 2020-07-23 2022-01-25 富准精密模具(嘉善)有限公司 清洗装置
CN112992745A (zh) * 2021-02-08 2021-06-18 江苏亚电科技有限公司 一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮
CN113257730A (zh) * 2021-03-29 2021-08-13 无锡亚电智能装备有限公司 一种半导体晶圆晶清洗装置
CN113257730B (zh) * 2021-03-29 2022-10-18 无锡亚电智能装备有限公司 一种半导体晶圆清洗装置
CN114345778A (zh) * 2021-12-27 2022-04-15 浙江光特科技有限公司 一种晶圆清洗装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201644434U (zh) 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮
CN202103032U (zh) 晶片清洗及干燥花篮
KR20130090109A (ko) 엘시디용 유리기판 세척방법 및 그 장치
CN109616549B (zh) 一种太阳能电池片的制备方法
CN104409403A (zh) 光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺
CN204966468U (zh) 一种压杆、清洗花篮及清洗装置
CN101716585B (zh) 化学机械抛光设备硅片清洗装置
CN219112305U (zh) 自动芯片清洗机
CN209647166U (zh) 一种石英晶片的清洗装置
CN207381373U (zh) 一种半导体零件清洗装置
CN201394550Y (zh) 手动制绒清洗机
CN110877042A (zh) 一种可调节式插片清洗夹具
CN216291642U (zh) 一种用于ic载板的喷流装置
KR20140001087U (ko) 모듈 세척용 스핀 지그
CN203373269U (zh) 蚀刻蓝具
CN202762707U (zh) 硅片清洗脱胶夹具
CN210974903U (zh) 线路板电镀防药水残留装置
CN220553429U (zh) 晶圆清洗装置
CN202779046U (zh) 一种蓝宝石衬底专用清洗篮
CN205797909U (zh) 一种用于石英晶体的高激励电清洗装置
CN202097153U (zh) 太阳能硅片清洗装置
CN202162174U (zh) 一种手工硅片清洗机
KR20110018121A (ko) 피씨비 기판 제조용 반전기
CN205508774U (zh) 一种半导体晶片清洗花篮
CN201632463U (zh) 一种配合刷轮组使用的滚轮装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: GRINM SEMICONDUCTOR MATERIALS CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: GENERAL RESEARCH INSTITUTE FOR NONFERROUS METALS

Effective date: 20120121

Free format text: FORMER OWNER: GRINM SEMICONDUCTOR MATERIALS CO., LTD.

Effective date: 20120121

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20120121

Address after: 100088, 2, Xinjie street, Beijing

Patentee after: GRINM Semiconductor Materials Co., Ltd.

Address before: 100088, 2, Xinjie street, Beijing

Co-patentee before: GRINM Semiconductor Materials Co., Ltd.

Patentee before: General Research Institute for Nonferrous Metals

C56 Change in the name or address of the patentee

Owner name: GRINM ADVANCED MATERIALS CO., LTD.

Free format text: FORMER NAME: GRINM SEMICONDUCTOR MATERIALS CO., LTD.

CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 100088, 2, Xinjie street, Beijing

Patentee after: YOUYAN NEW MATERIAL CO., LTD.

Address before: 100088, 2, Xinjie street, Beijing

Patentee before: GRINM Semiconductor Materials Co., Ltd.

ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: GRINM SEMICONDUCTOR MATERIALS CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: GRINM ADVANCED MATERIALS CO., LTD.

Effective date: 20150612

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20150612

Address after: 101300 Beijing city Shunyi District Shuanghe Linhe Industrial Development Zone on the south side of the road

Patentee after: You Yan Semi Materials Co., Ltd.

Address before: 100088, 2, Xinjie street, Beijing

Patentee before: YOUYAN NEW MATERIAL CO., LTD.

CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20101124

CX01 Expiry of patent term