CN106784145A - 一种硅片插片方法 - Google Patents
一种硅片插片方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106784145A CN106784145A CN201611213865.1A CN201611213865A CN106784145A CN 106784145 A CN106784145 A CN 106784145A CN 201611213865 A CN201611213865 A CN 201611213865A CN 106784145 A CN106784145 A CN 106784145A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gaily decorated
- decorated basket
- silicon chip
- female
- male
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 131
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 110
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 110
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 23
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 8
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 claims description 5
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
- H01L21/67781—Batch transfer of wafers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
本发明属于光伏电池技术领域，涉及一种硅片插片方法，其特征在于：步骤一、将花篮分为正放硅片的母花篮和反放硅片的公花篮，母花篮的硅片槽与公花篮的硅片槽错位；步骤二、将母花篮与公花篮竖立在推片装置上，利用推片装置将公花篮内的硅片推入母花篮内；步骤三、将母花篮放平，并在母花篮底部垫设垫块，垫块将硅片托起至高出母花篮；步骤四、作业人员手掌伸直，戴防尘手套，双手掌心向内，两只手掌抵在硅片的两侧，每次从母花篮内取出20片硅片，插入石英舟内。本发明具有简单易学，投入少，见效快，效益高的特点。
Description
技术领域
本发明涉及一种把硅片装入石英舟的方法，属于光伏电池技术领域。
背景技术
随着多晶硅太阳能电池片生产技术的日渐成熟，行业对电池片的生产要求越来越高。现在行业内普遍采用管式扩散炉进行磷扩散，而操作人员需要用石英吸笔将硅片单片式插入石英舟内，石英舟每个槽插入两片硅片，进行单面扩散，这种方法具有很大局限性，不仅费时费力，操作人员上手速度慢，而且石英吸笔接触到硅片容易引起硅片工艺污染，很多硅片需要返工进行二次清洗，给公司无形中增大了成本。
CN 104409403 A公开了一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，所述工艺步骤为：步骤一、将装有硅片的两个花篮并排放置，且两个花篮一正一反放置；步骤二、将一个花篮中的硅片水平推进进入另一个花篮中，从而使得第二个花篮中的每一个槽内均具有背靠背设置的两片硅片；步骤三、将第二个花篮中的硅片推导进入石英舟内。步骤一和步骤二依靠装片机实现，该装片机包含有装片机架，所述装片机架的工作台面上安装有花篮固定架，所述花篮固定架内并排放置有两个花篮，且所述装片机架的工作台面上通过直线导轨滑动设置有装片推进架，该装片推进架位于上述花篮固定架旁，且装片推进架靠近花篮固定架的一侧竖向设置有导条。上述步骤三依靠导片机实现，该导片机包含有导片机架，所述导片机架的工作台面斜向设置，所述导片机架的工作台面上并排设置有导片花篮固定架和石英舟固定座，所述导片花篮固定架旁设置有利用直线导轨滑动设置于导片机架工作台面上的移动条，所述移动条朝向导片花篮固定架的一面设置有推动条，所述石英舟固定座旁设置有利用直线导轨滑动设置于导片机架工作台面上的移动引导条，所述移动引导条朝向石英舟固定座的一面设置有引导梳齿。
前述的装片机机构较为复杂，不方便在工厂现场制作，花篮需要固定在花篮固定架内，虽然定位准确，但是取放花篮不方便，影响工作效率。上述步骤三依靠导片机实现，虽然机械化程度高，但是实际上花篮和石英舟的长度和装片量是不一样的，这时就不能采用前述的导片机，这种导片机只能适用于200片石英舟，而且采用这种导片机，硅片插入位置没有对齐时，硅片易碎，损伤率高。
发明内容
为了在较为简单的车间条件下提高硅片扩散工序的装片效率，本发明提供了一种硅片插片方法，它具有简单易学，投入少，见效快，效益高的特点。
本发明通过下述技术方案来实现。一种硅片插片方法，其特征在于：
步骤一、将花篮分为正放硅片的母花篮和反放硅片的公花篮，母花篮与公花篮外形大小一致，母花篮与公花篮竖直摆放时，母花篮的硅片槽与公花篮的硅片槽错位，母花篮内正放50片硅片，公花篮内反放50片硅片；
步骤二、将母花篮与公花篮竖立在推片装置上，并且母花篮与公花篮开口侧相对而放，利用推片装置将公花篮内的硅片推入母花篮内，确认绒面朝外，每个硅片槽内放有2片硅片；
步骤三、将母花篮放平，并在母花篮底部垫设垫块，垫块将硅片托起至高出母花篮；
步骤四、作业人员手掌伸直，双手掌心向内，两只手掌抵在硅片的两侧，每次从母花篮内取出20片硅片，插入石英舟内。
更特别的是，所述推片装置包括底部平板、中部箱体和两侧的推片机构，中部箱体由硬质有机玻璃板组装而成，中部箱体安装底部平板上，中部箱体内安装中隔板，在中隔板和中部箱体的前端板上安装两根导杆，两根导杆上分别安装滑块，两个滑块通过连板连接在一起，连板上安装两根垂直于连板平面的横杆，所述中部箱体的两侧板上开设有供横杆运动的横杆运动槽，横杆的两端分别固定推片机构。所述推片机构包括与公花篮的推片口配合的推片板、横板、竖板，横板与竖板十字交叉，推片板固定在横板和竖板的前端，竖板的后端与横杆通过螺母固定。推片时，母花篮和公花篮放置在底部平板上，并且都紧靠中部箱体，一手扶住后端的母花篮，一手移动推片机构即可完成推片。
更特别的是，母花篮的硅片槽与公花篮的硅片槽错位距离为2mm。
更特别的是，所述垫块是泡沫塑料垫，将母花篮内100片硅片托出10cm。
更特别的是，步骤四作业时，双手戴防尘手套。
更特别的是，为了使得人工转移硅片时，各组硅片之间的距离稳定，硅片间不会偏差晃动，所述手套的掌心侧，沿中指方向设置橡胶条，橡胶条设有若干槽状间隔，槽状结构的间距与母花篮或石英舟的硅片槽的间距相等。
更特别的是，所述花篮包括前壁板、后壁板、底板、两块侧板，两块侧板通过螺丝固定在前壁板和后壁板之间，底部固定底板，两块侧板上开设50个硅片槽，硅片槽的高度不小于20cm，硅片槽的顶部开口较硅片槽主体宽，这样方便硅片插入，且方便公花篮的硅片推入母花篮内，公花篮的单个硅片槽可只容纳一块硅片，母花篮的单个硅片槽可容纳两块硅片。所述底板的中间设有推片口，前壁板和后壁板上设有提手口。
本发明的技术效果：使用的设备简单，容易制作，成本低，简单易学，投入少，见效快，效益高。传统方法插满一个石英舟(共计286片)需要12分钟，而采用本发明的方法，可将每次插片速度减少为3分钟，大大节省了人力，提升了生产效率，此种方法简单易学，上手速度较之前手法有明显提升。本发明减少了吸笔接触硅片的次数，从而减少了硅片污染，降低硅片二次清洗的数量。
附图说明
图1是石英舟示意图。
图2是花篮示意图。
图3是推片装置示意图。
图4是手套的示意图。
具体实施方式
为了便于理解下面结合附图进一步相信阐明本发明。
实施例1
步骤一、将花篮分为正放硅片的母花篮和反放硅片的公花篮，母花篮与公花篮外形大小一致，母花篮与公花篮竖直摆放时，母花篮的硅片槽与公花篮的硅片槽错位2mm，母花篮内正放50片硅片，公花篮内反放50片硅片。花篮的结构如图2所示，包括前壁板11、后壁板12、底板14、两块侧板13，两块侧板13通过螺丝固定在前壁板11和后壁板12之间，底部固定底板14，两块侧板13上开设50个硅片槽17，硅片槽17的高度不小于20cm，硅片槽17的顶部开口较硅片槽主体宽，这样方便硅片插入，且方便公花篮的硅片推入母花篮内，公花篮的单个硅片槽可只容纳一块硅片，母花篮的单个硅片槽可容纳两块硅片。所述底板14的中间设有推片口16，前壁板11和后壁板12上设有提手口15。
步骤二、将母花篮与公花篮竖立在推片装置上，并且母花篮与公花篮开口侧相对而放，利用推片装置将公花篮内的硅片推入母花篮内，确认绒面朝外，每个硅片槽内放有2片硅片；所述推片装置如图3所示，包括底部平板21、中部箱体22和两侧的推片机构，中部箱体22由硬质有机玻璃板组装而成，中部箱体22安装底部平板21上，中部箱体22内安装中隔板23，在中隔板23和中部箱体22的前端板上安装两根导杆24，两根导杆24上分别安装滑块25，两个滑块通过连板26连接在一起，连板26上安装两根垂直于连板平面的横杆28，所述中部箱体22的两侧板上开设有供横杆28运动的横杆运动槽27，横杆28的两端分别固定推片机构。所述推片机构包括与公花篮的推片口16配合的推片板30、横板31、竖板29，横板31与竖板29十字交叉，推片板30固定在横板31和竖板29的前端，竖板29的后端与横杆28通过螺母固定。所述推片机构采用硬质有机玻璃板制成，制作成本低，且推片时对硅片损伤小，横板31与竖板29十字交叉形成的支撑结构不但质量轻，而且能够提供足够的强度。所述中部箱体22和底部平板21的长度较长，推片时，母花篮和公花篮放置在底部平板21上，并且都紧靠中部箱体22，一手扶住后端的母花篮，一手移动推片机构即可完成推片。
步骤三、将母花篮放平，并在母花篮底部垫设泡沫塑料垫，垫块将100片硅片托起至高出母花篮10cm；
步骤四、作业人员双手戴防尘手套，手掌伸直，双手掌心向内，两只手掌抵在硅片的两侧边上，每次从母花篮内取出20片硅片，插入石英舟内，石英舟的形状如图1所示，插满可防止共计286片硅片。
传统方法插满一个石英舟(共计286片)需要12分钟，而采用本发明的方法，可将每次插片速度减少为3分钟，大大节省了人力，提升了生产效率，此种方法简单易学，上手速度较之前手法有明显提升。并且减少了吸笔接触硅片的次数，从而减少了硅片污染，降低硅片二次清洗的数量。
实施例2
步骤一、将花篮分为正放硅片的母花篮和反放硅片的公花篮，母花篮与公花篮外形大小一致，母花篮与公花篮竖直摆放时，母花篮的硅片槽与公花篮的硅片槽错位2mm，母花篮内正放50片硅片，公花篮内反放50片硅片。
步骤二、将母花篮与公花篮竖立在推片装置上，并且母花篮与公花篮开口侧相对而放，利用推片装置将公花篮内的硅片推入母花篮内，确认绒面朝外，每个硅片槽内放有2片硅片；
步骤三、将母花篮放平，并在母花篮底部垫设泡沫塑料垫，垫块将100片硅片托起至高出母花篮10cm；
步骤四、作业人员双手戴防尘手套，手掌伸直，双手掌心向内，两只手掌抵在硅片的两侧边上，每次从母花篮内取出20片硅片，插入石英舟内。如图4所示，所述手套的掌心侧，沿中指方向设置橡胶条，橡胶条设有若干槽状间隔，槽状结构的间距与母花篮或石英舟的硅片槽的间距相等。
Claims (10)
1.一种硅片插片方法，其特征在于：
步骤一、将花篮分为正放硅片的母花篮和反放硅片的公花篮，母花篮与公花篮外形大小一致，母花篮与公花篮竖直摆放时，母花篮的硅片槽与公花篮的硅片槽错位，母花篮内正放50片硅片，公花篮内反放50片硅片；
步骤二、将母花篮与公花篮竖立在推片装置上，并且母花篮与公花篮开口侧相对而放，利用推片装置将公花篮内的硅片推入母花篮内，确认绒面朝外，每个硅片槽内放有2片硅片；
步骤三、将母花篮放平，并在母花篮底部垫设垫块，垫块将硅片托起至高出母花篮；
步骤四、作业人员手掌伸直，双手掌心向内，两只手掌抵在硅片的两侧，每次从母花篮内取出20片硅片，插入石英舟内。
2.根据权利要求1所述的硅片插片方法，其特征在于：所述推片装置包括底部平板(21)、中部箱体(22)和两侧的推片机构，中部箱体(22)安装底部平板(21)上，中部箱体(22)内安装中隔板(23)，在中隔板(23)和中部箱体(22)的前端板上安装两根导杆(24)，两根导杆(24)上分别安装滑块(25)，两个滑块通过连板(26)连接在一起，连板(26)上安装两根垂直于连板平面的横杆(28)，所述中部箱体(22)的两侧板上开设有供横杆(28)运动的横杆运动槽(27)，横杆(28)的两端分别固定推片机构。
3.根据权利要求2所述的硅片插片方法，其特征在于：所述花篮包括前壁板(11)、后壁板(12)、底板(14)、两块侧板(13)，两块侧板(13)通过螺丝固定在前壁板(11)和后壁板(12)之间，底部固定底板(14)，两块侧板(13)上开设50个硅片槽(17)，硅片槽(17)的高度不小于20cm，硅片槽(17)的顶部开口较硅片槽主体宽，所述底板(14)的中间设有推片口(16)，前壁板(11)和后壁板(12)上设有提手口(15)。
4.根据权利要求3所述的硅片插片方法，其特征在于：所述推片机构包括与公花篮的推片口(16)配合的推片板(30)、横板(31)、竖板(29)，横板(31)与竖板(29)十字交叉，推片板(30)固定在横板(31)和竖板(29)的前端，竖板(29)的后端与横杆(28)通过螺母固定。
5.根据权利要求4所述的硅片插片方法，其特征在于：中部箱体22由硬质有机玻璃板组装而成，所述推片机构采用硬质有机玻璃板制成。
6.根据权利要求3所述的硅片插片方法，其特征在于：母花篮的硅片槽与公花篮的硅片槽错位距离为2mm，公花篮的单个硅片槽可只容纳一块硅片，母花篮的单个硅片槽可容纳两块硅片。
7.根据权利要求1所述的硅片插片方法，其特征在于：所述垫块是泡沫塑料垫，将母花篮内100片硅片托出10cm。
8.根据权利要求1所述的硅片插片方法，其特征在于：步骤四作业时，双手戴防尘手套。
9.根据权利要求8所述的硅片插片方法，其特征在于：所述手套的掌心侧，沿中指方向设置橡胶条，橡胶条设有若干槽状间隔，槽状结构的间距与母花篮或石英舟的硅片槽的间距相等。
10.根据权利要求2所述的硅片插片方法，其特征在于：推片时，母花篮和公花篮放置在底部平板(21)上，并且都紧靠中部箱体(22)，一手扶住后端的母花篮，一手移动推片机构即可完成推片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201611213865.1A CN106784145B (zh) | 2016-12-23 | 2016-12-23 | 一种硅片插片方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201611213865.1A CN106784145B (zh) | 2016-12-23 | 2016-12-23 | 一种硅片插片方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106784145A true CN106784145A (zh) | 2017-05-31 |
| CN106784145B CN106784145B (zh) | 2018-03-06 |
Family
ID=58920738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201611213865.1A Expired - Fee Related CN106784145B (zh) | 2016-12-23 | 2016-12-23 | 一种硅片插片方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106784145B (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107681019A (zh) * | 2017-09-19 | 2018-02-09 | 中建材浚鑫科技有限公司 | 用于太阳能电池扩散或退火的上料及下料装置 |
| CN107881559A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-04-06 | 中赣新能源股份有限公司 | 一种太阳能电池硅片插片装置 |
| CN109509810A (zh) * | 2018-10-25 | 2019-03-22 | 江苏彩虹永能新能源有限公司 | 一种太阳能电池扩散插片工艺 |
| CN110211909A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-09-06 | 常州时创能源科技有限公司 | 一种可承载硅片的硅片花篮 |
| WO2022052195A1 (zh) * | 2020-09-09 | 2022-03-17 | 湖州奥博石英科技有限公司 | 一种太阳能电池硅片扩散插片工艺 |
| CN116281050A (zh) * | 2023-05-05 | 2023-06-23 | 苏州诚拓智能装备有限公司 | 电池片导片设备和导片方法 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH088332A (ja) * | 1994-06-17 | 1996-01-12 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ウェーハ収納容器におけるウェーハバスケット |
| US5657879A (en) * | 1996-02-05 | 1997-08-19 | Seh America, Inc. | Combination wafer carrier and storage device |
| CN102176422A (zh) * | 2011-03-23 | 2011-09-07 | 北京市塑料研究所 | 大容量方形硅片承载花篮及其制造方法 |
| CN202332921U (zh) * | 2011-11-03 | 2012-07-11 | 浚鑫科技股份有限公司 | 一种片架卡槽 |
| US20120234183A1 (en) * | 2011-03-15 | 2012-09-20 | William Edwards | Combination concentrate mix and fresh brewed beverage dispensing device |
| CN203631513U (zh) * | 2013-11-11 | 2014-06-04 | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 | 一种单晶用制绒花篮 |
| CN104409403A (zh) * | 2014-11-05 | 2015-03-11 | 江阴方艾机器人有限公司 | 光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺 |
| CN104600156A (zh) * | 2015-01-12 | 2015-05-06 | 江阴方艾机器人有限公司 | 光伏扩散工序中的硅片自动装卸机 |
| CN204441255U (zh) * | 2015-02-09 | 2015-07-01 | 张家港市超声电气有限公司 | 硅片工装花篮方向检测机构 |
| CN204885115U (zh) * | 2015-08-20 | 2015-12-16 | 上海嘉氟新材料科技有限公司 | 一种电池硅片花篮 |
-
2016
- 2016-12-23 CN CN201611213865.1A patent/CN106784145B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH088332A (ja) * | 1994-06-17 | 1996-01-12 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ウェーハ収納容器におけるウェーハバスケット |
| US5657879A (en) * | 1996-02-05 | 1997-08-19 | Seh America, Inc. | Combination wafer carrier and storage device |
| US20120234183A1 (en) * | 2011-03-15 | 2012-09-20 | William Edwards | Combination concentrate mix and fresh brewed beverage dispensing device |
| CN102176422A (zh) * | 2011-03-23 | 2011-09-07 | 北京市塑料研究所 | 大容量方形硅片承载花篮及其制造方法 |
| CN202332921U (zh) * | 2011-11-03 | 2012-07-11 | 浚鑫科技股份有限公司 | 一种片架卡槽 |
| CN203631513U (zh) * | 2013-11-11 | 2014-06-04 | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 | 一种单晶用制绒花篮 |
| CN104409403A (zh) * | 2014-11-05 | 2015-03-11 | 江阴方艾机器人有限公司 | 光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺 |
| CN104600156A (zh) * | 2015-01-12 | 2015-05-06 | 江阴方艾机器人有限公司 | 光伏扩散工序中的硅片自动装卸机 |
| CN204441255U (zh) * | 2015-02-09 | 2015-07-01 | 张家港市超声电气有限公司 | 硅片工装花篮方向检测机构 |
| CN204885115U (zh) * | 2015-08-20 | 2015-12-16 | 上海嘉氟新材料科技有限公司 | 一种电池硅片花篮 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107681019A (zh) * | 2017-09-19 | 2018-02-09 | 中建材浚鑫科技有限公司 | 用于太阳能电池扩散或退火的上料及下料装置 |
| CN107881559A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-04-06 | 中赣新能源股份有限公司 | 一种太阳能电池硅片插片装置 |
| CN109509810A (zh) * | 2018-10-25 | 2019-03-22 | 江苏彩虹永能新能源有限公司 | 一种太阳能电池扩散插片工艺 |
| CN110211909A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-09-06 | 常州时创能源科技有限公司 | 一种可承载硅片的硅片花篮 |
| CN110211909B (zh) * | 2019-07-05 | 2023-08-18 | 常州时创能源股份有限公司 | 一种可承载硅片的硅片花篮 |
| WO2022052195A1 (zh) * | 2020-09-09 | 2022-03-17 | 湖州奥博石英科技有限公司 | 一种太阳能电池硅片扩散插片工艺 |
| CN116281050A (zh) * | 2023-05-05 | 2023-06-23 | 苏州诚拓智能装备有限公司 | 电池片导片设备和导片方法 |
| CN116281050B (zh) * | 2023-05-05 | 2023-08-11 | 苏州诚拓智能装备有限公司 | 电池片导片设备和导片方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN106784145B (zh) | 2018-03-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106784145B (zh) | 一种硅片插片方法 | |
| CN202030315U (zh) | 一种片状工件上料机 | |
| CN104409403A (zh) | 光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺 | |
| CN207793422U (zh) | 一种可拆卸成膜框架装置 | |
| CN202917461U (zh) | 晶圆转移装置 | |
| CN110802062A (zh) | 一种计算机硬件生产用的主板除杂装置 | |
| CN206787473U (zh) | 一种建筑模板平整度检测装置 | |
| CN106848368A (zh) | 电芯入铝壳系统 | |
| CN204243018U (zh) | 光伏扩散工序中石英舟装载硅片设备 | |
| CN204243019U (zh) | 光伏扩散工序中石英舟装载用导片机 | |
| CN205901050U (zh) | Fpc连接器的自滑式装管装置 | |
| CN202244733U (zh) | 一种硅片的放置装置 | |
| CN205488077U (zh) | 一种扩散插片装置 | |
| CN106099619B (zh) | Fpc连接器的自滑式装管装置 | |
| CN206241577U (zh) | 一种眼镜镜框加工设备 | |
| CN206505898U (zh) | 硅片承载盒装置 | |
| CN212461918U (zh) | 一种卡扣式锂电池支架 | |
| CN201990249U (zh) | 一种用于多晶清洗自动上料机的上料台放片装置 | |
| CN216323384U (zh) | 一种厚薄分选机 | |
| CN220843610U (zh) | 一种方便取料的周转料盒 | |
| CN209016079U (zh) | 一种适用于量产的硅片合片装置 | |
| CN202585501U (zh) | 一种插片台 | |
| CN210606306U (zh) | 一种提取自动供料训练装置 | |
| CN208471028U (zh) | 玻璃盖板收集盒 | |
| CN208797025U (zh) | 硅片舟自动倒舟装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20180306 Termination date: 20211223 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |