CN115831831B - 一种紧凑型槽式机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种紧凑型槽式机，包括工作槽，所述工作槽的数量为若干个且若干个工作槽呈等间距分布，所述工作槽的表面共同设置有外壳结构，相邻的两个所述工作槽之间设置有呈中心对称设置的升降部，所述升降部的一侧设置有夹抱板。本发明通过包覆式的结构设计，并且将会弥散污染物的驱动结构置于相邻的两个工作槽之间的底部，且电动导轨的输出端位于远离工作槽的一侧，实现对污染物的控制，该紧凑型槽式机具备控制污染且转运效率高的优点，在实际运作过程中，采用了双导轨双机械臂的结构设计，实现了相邻两个工作槽之间的相互转运，避免交叉污染的同时，提高了转运效率，具备的广阔的应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种紧凑型槽式机。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
槽式机为一种应用于晶圆蚀刻加工的槽式蚀刻清洗装置，其为晶圆加工过程中常见的装置之一，现有的槽式机在进行工作的过程中，其驱动部件多为开放式结构设计，即绝大部分的槽式机在进行工作的过程中，其驱动部会弥散出微量的污染物，这些污染物在经年累月之下，会对晶圆加工的品质造成一定的影响，且现有的槽式机在工作的过程中，多采用单轨单机械臂的结构设置，即将堆叠整齐的晶圆按照顺序从左至右或者从右至左，依次在蚀刻液中进行转移，这种结构设计，较为容易污染蚀刻液，即机械臂容易沾染上一种蚀刻液进入下一种蚀刻液或者清洗液中，造成药液混合性污染，并且转运效率低下，为解决上述问题，一种紧凑型槽式机，亟待开发。
发明内容
本发明的目的在于提供一种紧凑型槽式机，具备控制污染且转运效率高的优点，解决了背景技术中所提到的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种紧凑型槽式机，包括工作槽，所述工作槽的数量为若干个且若干个工作槽呈等间距分布，所述工作槽的表面共同设置有外壳结构，相邻的两个所述工作槽之间设置有呈中心对称设置的升降部，所述升降部的一侧设置有夹抱板，所述夹抱板远离工作槽的一侧固定连接有电动导轨，所述电动导轨的输出端位于远离工作槽的一侧，所述电动导轨的输出端固定连接有传动架，所述传动架的表面设置有夹持部。
所述升降部包含有与工作槽固定连接的防护罩，所述防护罩的一侧开设有容纳腔，所述容纳腔内腔的底部固定连接有升降气缸，所述升降气缸的输出端固定连接有传动板，所述传动板的表面通过螺栓固定连接有传动座，所述传动座的一侧通过螺栓与夹抱板固定连接。
所述夹抱板的形状呈“U”形设置，所述夹抱板内腔的两侧分别与两个所述工作槽接触，所述夹抱板的两侧均固定连接有伸缩导向杆。
所述外壳结构包含有包覆于工作槽表面的外壳体，所述外壳体的顶部开设有与夹持部相适配的顶活动槽，所述外壳体的顶部固定连接有与升降部相适配的顶延伸部。
优选的，所述夹持部包含有与传动架固定连接的夹持支架，所述夹持支架远离工作槽的一侧固定连接有夹抱气缸，所述夹抱气缸的输出端固定连接有连接板，所述连接板的一侧固定连接有夹杆，两个所述夹杆相对的一侧设置有夹持凸部。
优选的，所述夹杆和夹持凸部的表面共同开设有若干呈等间距分布的减重孔，所述减重孔的形状包含且不限于圆形，方形和菱形。
优选的，所述容纳腔内腔的两侧均开设有限位槽，所述限位槽的内腔滑动连接有限位块，所述限位块的一侧与传动板固定连接。
优选的，所述传动板的表面与容纳腔的内部贴合。
优选的，所述传动座的底部固定连接有三角加强筋，三角加强筋的一侧与传动板固定连接。
优选的，两个所述夹持支架之间固定连接有联动板，所述联动板的底部与传动架固定连接。
优选的，所述传动架的两侧均固定连接有阻隔板，所述阻隔板的一侧与电动导轨接触。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
本发明通过包覆式的结构设计，并且将会弥散污染物的驱动结构置于相邻的两个工作槽之间的底部，且电动导轨的输出端位于远离工作槽的一侧，实现对污染物的控制，该紧凑型槽式机具备控制污染且转运效率高的优点，在实际运作过程中，采用了双导轨双机械臂的结构设计，实现了相邻两个工作槽之间的相互转运，避免交叉污染的同时，提高了转运效率，具备的广阔的应用前景，解决了现有槽式机的驱动部会弥散出微量的污染物，这些污染物在经年累月之下，会对晶圆加工的品质造成一定的影响，且现有的槽式机在工作的过程中，多采用单轨单机械臂的结构设置，即将堆叠整齐的晶圆按照顺序从左至右或者从右至左，依次在蚀刻液中进行转移，这种结构设计，较为容易污染蚀刻液，即机械臂容易沾染上一种蚀刻液进入下一种蚀刻液或者清洗液中，造成药液混合性污染的问题。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明外壳结构内部结构立体示意图；
图3为本发明升降部结构立体示意图。
图中：1、工作槽；2、外壳结构；21、外壳体；22、顶活动槽；23、顶延伸部；3、升降部；31、防护罩；32、容纳腔；33、升降气缸；34、传动板；35、传动座；36、限位槽；37、限位块；4、夹抱板；5、电动导轨；6、传动架；7、夹持部；71、夹持支架；72、夹抱气缸；73、连接板；74、夹杆；75、夹持凸部；76、减重孔；8、联动板；9、阻隔板。
实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种紧凑型槽式机，包括工作槽1，工作槽1的数量为若干个且若干个工作槽1呈等间距分布，工作槽1的表面共同设置有外壳结构2，相邻的两个工作槽1之间设置有呈中心对称设置的升降部3，升降部3的一侧设置有夹抱板4，夹抱板4远离工作槽1的一侧固定连接有电动导轨5，电动导轨5的输出端位于远离工作槽1的一侧，电动导轨5的输出端固定连接有传动架6，传动架6的表面设置有夹持部7，夹持部7包含有与传动架6固定连接的夹持支架71，夹持支架71远离工作槽1的一侧固定连接有夹抱气缸72，夹抱气缸72的输出端固定连接有连接板73，连接板73的一侧固定连接有夹杆74，两个夹杆74相对的一侧设置有夹持凸部75，通过将夹抱气缸72置于远离工作槽1的一侧，避免夹抱气缸72弥散出的污染物污染药液，夹杆74和夹持凸部75的表面共同开设有若干呈等间距分布的减重孔76，减重孔76的形状包含且不限于圆形，方形和菱形，通过减重孔76的设置，起到了对夹杆74和夹持凸部75的重量进行削减，减轻夹抱气缸72的工作负担。
升降部3包含有与工作槽1固定连接的防护罩31，防护罩31的一侧开设有容纳腔32，容纳腔32内腔的底部固定连接有升降气缸33，升降气缸33的输出端固定连接有传动板34，传动板34的表面通过螺栓固定连接有传动座35，传动座35的一侧通过螺栓与夹抱板4固定连接。
夹抱板4的形状呈“U”形设置，夹抱板4内腔的两侧分别与两个工作槽1接触，夹抱板4的两侧均固定连接有伸缩导向杆，伸缩导向杆的顶部为中空管状结构，内腔活动连接有长杆，长杆的底部与地面接触，起到了导向的作用。
外壳结构2包含有包覆于工作槽1表面的外壳体21，外壳体21的顶部开设有与夹持部7相适配的顶活动槽22，外壳体21的顶部固定连接有与升降部3相适配的顶延伸部23。
本发明中，容纳腔32内腔的两侧均开设有限位槽36，限位槽36的内腔滑动连接有限位块37，限位块37的一侧与传动板34固定连接，通过限位槽36和限位块37的配合使用，起到了对传动板34进行导向的作用，提高了传动板34升降时的稳定性。
本发明中，传动板34的表面与容纳腔32的内部贴合。
本发明中，传动座35的底部固定连接有三角加强筋，三角加强筋的一侧与传动板34固定连接，通过三角加强筋的结构设置，实现了对传动座35进行支撑，提高了传动座35的抗形变能力和支撑的稳定性。
本发明中，两个夹持支架71之间固定连接有联动板8，联动板8的底部与传动架6固定连接，联动板8能够起到对夹持支架71进行加固的作用，提高了夹持支架71安装的稳定性。
本发明中，传动架6的两侧均固定连接有阻隔板9，阻隔板9的一侧与电动导轨5接触。
本发明中，外壳结构2包含有包覆于工作槽1表面的外壳体21，外壳体21的顶部开设有与夹持部7相适配的顶活动槽22，外壳体21的顶部固定连接有与升降部3相适配的顶延伸部23。
工作原理：本发明使用时，使用者通过开启升降气缸33，升降气缸33的输出轴带动传动板34升降，传动板34通过传动座35带动夹抱板4进行升降，夹抱板4带动电动导轨5进行升降，电动导轨5带动传动架6和夹持部7进行升降，即可实现夹持部7的高度调节，到达指定高度后，电动导轨5的输出端带动传动架6和夹持部7进行左右位移，即可实现夹持部7的水平位移，通过包覆式的结构设计，将会弥散污染物的驱动结构置于相邻的两个工作槽1之间的底部，且电动导轨5的输出端位于远离工作槽1的一侧，实现对污染物的控制，在实际运作过程中，采用了双导轨双机械臂的结构设计，实现了相邻两个工作槽1之间的相互转运，避免交叉污染的同时，提高了转运效率。
综上所述：该紧凑型槽式机，通过包覆式的结构设计，并且将会弥散污染物的驱动结构置于相邻的两个工作槽1之间的底部，且电动导轨5的输出端位于远离工作槽1的一侧，实现对污染物的控制，该紧凑型槽式机具备控制污染且转运效率高的优点，在实际运作过程中，采用了双导轨双机械臂的结构设计，实现了相邻两个工作槽1之间的相互转运，避免交叉污染的同时，提高了转运效率，具备的广阔的应用前景，解决了现有槽式机的驱动部会弥散出微量的污染物，这些污染物在经年累月之下，会对晶圆加工的品质造成一定的影响，且现有的槽式机在工作的过程中，多采用单轨单机械臂的结构设置，即将堆叠整齐的晶圆按照顺序从左至右或者从右至左，依次在蚀刻液中进行转移，这种结构设计，较为容易污染蚀刻液，即机械臂容易沾染上一种蚀刻液进入下一种蚀刻液或者清洗液中，造成药液混合性污染的问题。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种紧凑型槽式机，包括工作槽（1），其特征在于：所述工作槽（1）的数量为若干个且若干个工作槽（1）呈等间距分布，所述工作槽（1）的表面共同设置有外壳结构（2），相邻的两个所述工作槽（1）之间设置有呈中心对称设置的升降部（3），所述升降部（3）的一侧设置有夹抱板（4），所述夹抱板（4）远离工作槽（1）的一侧固定连接有电动导轨（5），所述电动导轨（5）的输出端位于远离工作槽（1）的一侧，所述电动导轨（5）的输出端固定连接有传动架（6），所述传动架（6）的表面设置有夹持部（7）；
所述升降部（3）包含有与工作槽（1）固定连接的防护罩（31），所述防护罩（31）的一侧开设有容纳腔（32），所述容纳腔（32）内腔的底部固定连接有升降气缸（33），所述升降气缸（33）的输出端固定连接有传动板（34），所述传动板（34）的表面通过螺栓固定连接有传动座（35），所述传动座（35）的一侧通过螺栓与夹抱板（4）固定连接；
所述夹抱板（4）的形状呈“U”形设置，所述夹抱板（4）内腔的两侧分别与两个所述工作槽（1）接触，所述夹抱板（4）的两侧均固定连接有伸缩导向杆；
所述外壳结构（2）包含有包覆于工作槽（1）表面的外壳体（21），所述外壳体（21）的顶部开设有与夹持部（7）相适配的顶活动槽（22），所述外壳体（21）的顶部固定连接有与升降部（3）相适配的顶延伸部（23）。
2.根据权利要求1所述的一种紧凑型槽式机，其特征在于：所述夹持部（7）包含有与传动架（6）固定连接的夹持支架（71），所述夹持支架（71）远离工作槽（1）的一侧固定连接有夹抱气缸（72），所述夹抱气缸（72）的输出端固定连接有连接板（73），所述连接板（73）的一侧固定连接有夹杆（74），两个所述夹杆（74）相对的一侧设置有夹持凸部（75）。
3.根据权利要求2所述的一种紧凑型槽式机，其特征在于：所述夹杆（74）和夹持凸部（75）的表面共同开设有若干呈等间距分布的减重孔（76），所述减重孔（76）的形状包含且不限于圆形，方形和菱形。
4.根据权利要求1所述的一种紧凑型槽式机，其特征在于：所述容纳腔（32）内腔的两侧均开设有限位槽（36），所述限位槽（36）的内腔滑动连接有限位块（37），所述限位块（37）的一侧与传动板（34）固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种紧凑型槽式机，其特征在于：所述传动板（34）的表面与容纳腔（32）的内部贴合。
6.根据权利要求1所述的一种紧凑型槽式机，其特征在于：所述传动座（35）的底部固定连接有三角加强筋，三角加强筋的一侧与传动板（34）固定连接。
7.根据权利要求2所述的一种紧凑型槽式机，其特征在于：两个所述夹持支架（71）之间固定连接有联动板（8），所述联动板（8）的底部与传动架（6）固定连接。
8.根据权利要求2所述的一种紧凑型槽式机，其特征在于：所述传动架（6）的两侧均固定连接有阻隔板（9），所述阻隔板（9）的一侧与电动导轨（5）接触。
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Address after: 215000, No. 889 Zhonghua Road, Bacheng Town, Kunshan City, Suzhou City, Jiangsu Province Patentee after: Suzhou Zhicheng Semiconductor Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: Room 3, 299 Yuyang Road, Yushan Town, Kunshan City, Suzhou City, Jiangsu Province Patentee before: Suzhou Zhicheng Semiconductor Technology Co.,Ltd. Country or region before: China |