CN220439565U - 一种晶圆双面自动清洗装置 - Google Patents
一种晶圆双面自动清洗装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220439565U CN220439565U CN202321984936.3U CN202321984936U CN220439565U CN 220439565 U CN220439565 U CN 220439565U CN 202321984936 U CN202321984936 U CN 202321984936U CN 220439565 U CN220439565 U CN 220439565U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate
- wafer
- double
- moving plate
- sided
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 claims description 22
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims description 18
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 13
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 44
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 235000013358 Solanum torvum Nutrition 0.000 description 1
- 240000002072 Solanum torvum Species 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种晶圆双面自动清洗装置，包括支架和清洗槽，所述清洗槽安装于支架上，所述清洗槽内可移动设置有移动板，所述支架上安装有液压缸，所述液压缸的输出端贯穿清洗槽的底壁连接于移动板，所述移动板上设置有夹固承托机构，所述移动板上设置有双面清刷机构。本实用新型属于晶圆清洗技术领域，具体是指一种方便夹持固定住晶圆并带动其浸入清洗槽内，对晶圆的上下两面同时清洗，提高清洗的工作效率的晶圆双面自动清洗装置。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆清洗技术领域，具体是指一种晶圆双面自动清洗装置。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆。晶圆在生产中经过打磨后表面需要进行清洗处理，以保证晶圆表面的洁净度，以往在对晶圆清洗时需要逐一的对其两面进行清洗，并且此过程靠手动进行，因此，不仅增加了劳动力，并且工作的效率也得不到提高，进而无法满足使用的需求。为此，提出一种晶圆双面自动清洗装置。
实用新型内容
为了解决上述难题，本实用新型提供了一种方便夹持固定住晶圆并带动其浸入清洗槽内，对晶圆的上下两面同时清洗，提高清洗的工作效率的晶圆双面自动清洗装置。
为了实现上述功能，本实用新型采取的技术方案如下：一种晶圆双面自动清洗装置，包括支架和清洗槽，所述清洗槽安装于支架上，所述清洗槽内可移动设置有移动板，所述支架上安装有液压缸，所述液压缸的输出端贯穿清洗槽的底壁连接于移动板，所述移动板上设置有夹固承托机构，所述移动板上设置有双面清刷机构；所述双面清刷机构包括驱动电机、双向丝杠、上刷板和下刷板，所述移动板内部设置空腔，所述驱动电机安装于移动板的空腔内，所述双向丝杠的一端连接于驱动电机的输出端，所述双向丝杠的另一端可转动设于移动板的空腔内壁上，所述双向丝杠上螺纹套设有丝杠副一和丝杠副二，所述丝杠副一和丝杠副二的顶端移动贯穿移动板且连接有支板，所述上刷板和下刷板设于支板外壁上。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述夹固承托机构包括电动伸缩杆和夹板，所述移动板上设置有侧板和隔板，所述侧板位于移动板的两侧边上，所述隔板位于移动板的中间位置处，所述电动伸缩杆设于侧板与隔板上，所述夹板设于电动伸缩杆的输出端。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述上刷板位于下刷板的上方。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述隔板的两侧壁上均设置电动伸缩杆。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述夹板为圆弧形结构设置。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述驱动电机为伺服电机。
本实用新型采取上述结构取得有益效果如下：本实用新型提供的一种晶圆双面自动清洗装置，通过夹固承托机构与双面清刷机构的设置，将晶圆放在两组夹板之间，电动伸缩杆控制夹板向晶圆的方向伸长，从而两组夹板夹持固定住晶圆，晶圆的侧端置于上刷板与下刷板之间，然后上刷板与下刷板在双向丝杠的传动作用下对晶圆的上下面进行往复刷洗清洁，提高清洗的工作效率。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种晶圆双面自动清洗装置的整体结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种晶圆双面自动清洗装置的移动板的俯视结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种晶圆双面自动清洗装置的支板的侧视结构示意图。
其中，1、支架，2、清洗槽，3、移动板，4、液压缸，5、驱动电机，6、双向丝杠，7、上刷板，8、下刷板，9、丝杠副一，10、丝杠副二，11、支板，12、电动伸缩杆，13、夹板，14、侧板，15、隔板。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。以下结合附图，对本实用新型做进一步详细说明。
如图1-3所示，本实用新型提供的一种晶圆双面自动清洗装置，包括支架1和清洗槽2，清洗槽2安装于支架1上，清洗槽2内可移动设置有移动板3，支架1上安装有液压缸4，液压缸4的输出端贯穿清洗槽2的底壁连接于移动板3，液压缸4能够控制移动板3在清洗槽2内升降，移动板3上设置有夹固承托机构，能够夹持固定晶圆，移动板3上设置有双面清刷机构，能够对夹持的晶圆的上下两面进行刷洗清洁；双面清刷机构包括驱动电机5、双向丝杠6、上刷板7和下刷板8，移动板3内部设置空腔，驱动电机5为伺服电机，驱动电机5安装于移动板3的空腔内，双向丝杠6的一端连接于驱动电机5的输出端，双向丝杠6的另一端可转动设于移动板3的空腔内壁上，双向丝杠6上螺纹套设有丝杠副一9和丝杠副二10，丝杠副一9和丝杠副二10的顶端移动贯穿移动板3且连接有支板11，上刷板7和下刷板8设于支板11外壁上，上刷板7位于下刷板8的上方，在安放晶圆时，将晶圆的侧端置于上刷板7与下刷板8之间，然后驱动电机5驱动双向丝杠6转动，丝杠副一9和丝杠副二10将双向丝杠6的回旋运动转换为直线往复运动且运动方向相反，丝杠副一9和丝杠副二10带动支板11上的上刷板7与下刷板8对晶圆的上下面进行往复刷洗清洁。
夹固承托机构包括电动伸缩杆12和夹板13，移动板3上设置有侧板14和隔板15，侧板14位于移动板3的两侧边上，隔板15位于移动板3的中间位置处，电动伸缩杆12设于侧板14与隔板15上，且隔板15的两侧壁上均设置电动伸缩杆12，夹板13设于电动伸缩杆12的输出端，夹板13为圆弧形结构设置，将晶圆放在两组夹板13之间，电动伸缩杆12控制夹板13向晶圆的方向伸长，从而两组夹板13夹持固定住晶圆。
具体使用时，清洗槽2内输送清洗液，液压缸4运行将移动板3升出清洗槽2顶端，将晶圆放在两组夹板13之间，电动伸缩杆12控制夹板13向晶圆的方向伸长，从而两组夹板13夹持固定住晶圆，晶圆的侧端置于上刷板7与下刷板8之间，然后液压缸4控制移动板3下降，使得晶圆浸入到清洗槽2的清洗液内，启动驱动电机5，驱动电机5驱动双向丝杠6转动，丝杠副一9和丝杠副二10将双向丝杠6的回旋运动转换为直线往复运动且运动方向相反，丝杠副一9和丝杠副二10带动支板11上的上刷板7与下刷板8对晶圆的上下面进行往复刷洗清洁。
以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种晶圆双面自动清洗装置，包括支架(1)和清洗槽(2)，其特征在于：所述清洗槽(2)安装于支架(1)上，所述清洗槽(2)内可移动设置有移动板(3)，所述支架(1)上安装有液压缸(4)，所述液压缸(4)的输出端贯穿清洗槽(2)的底壁连接于移动板(3)，所述移动板(3)上设置有夹固承托机构，所述移动板(3)上设置有双面清刷机构；所述双面清刷机构包括驱动电机(5)、双向丝杠(6)、上刷板(7)和下刷板(8)，所述移动板(3)内部设置空腔，所述驱动电机(5)安装于移动板(3)的空腔内，所述双向丝杠(6)的一端连接于驱动电机(5)的输出端，所述双向丝杠(6)的另一端可转动设于移动板(3)的空腔内壁上，所述双向丝杠(6)上螺纹套设有丝杠副一(9)和丝杠副二(10)，所述丝杠副一(9)和丝杠副二(10)的顶端移动贯穿移动板(3)且连接有支板(11)，所述上刷板(7)和下刷板(8)设于支板(11)外壁上。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆双面自动清洗装置，其特征在于：所述夹固承托机构包括电动伸缩杆(12)和夹板(13)，所述移动板(3)上设置有侧板(14)和隔板(15)，所述侧板(14)位于移动板(3)的两侧边上，所述隔板(15)位于移动板(3)的中间位置处，所述电动伸缩杆(12)设于侧板(14)与隔板(15)上，所述夹板(13)设于电动伸缩杆(12)的输出端。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆双面自动清洗装置，其特征在于：所述上刷板(7)位于下刷板(8)的上方。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆双面自动清洗装置，其特征在于：所述隔板(15)的两侧壁上均设置电动伸缩杆(12)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆双面自动清洗装置，其特征在于：所述夹板(13)为圆弧形结构设置。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆双面自动清洗装置，其特征在于：所述驱动电机(5)为伺服电机。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321984936.3U CN220439565U (zh) | 2023-07-27 | 2023-07-27 | 一种晶圆双面自动清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321984936.3U CN220439565U (zh) | 2023-07-27 | 2023-07-27 | 一种晶圆双面自动清洗装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220439565U true CN220439565U (zh) | 2024-02-02 |
Family
ID=89687864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202321984936.3U Active CN220439565U (zh) | 2023-07-27 | 2023-07-27 | 一种晶圆双面自动清洗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220439565U (zh) |
-
2023
- 2023-07-27 CN CN202321984936.3U patent/CN220439565U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101740324B (zh) | 硅片清洗机及硅片清洗方法 | |
| CN210995606U (zh) | 一种超声波单晶硅片清洗槽 | |
| CN111889437A (zh) | 一种晶圆清洗机 | |
| CN220439565U (zh) | 一种晶圆双面自动清洗装置 | |
| CN208853421U (zh) | 一种玻璃加工用的清洗装置 | |
| CN216757350U (zh) | 一种偏光太阳镜片加工用自动擦拭装置 | |
| CN112296011B (zh) | 一种视窗玻璃擦片机 | |
| CN114833117A (zh) | 一种晶圆片清洗机 | |
| CN211488939U (zh) | 一种污水处理用清洗装置 | |
| CN111604301B (zh) | 应用于废旧pcb电路板的摆动式清洗构件 | |
| CN219836852U (zh) | 一种晶棒底部擦拭装置 | |
| CN112958495A (zh) | 医疗器械清洗消毒烘干装置 | |
| CN210816624U (zh) | 一种石英晶片的圆边清洗装置 | |
| CN219435827U (zh) | 一种硅晶片平洗装置 | |
| CN212442195U (zh) | 一种太阳能电子片酸洗机 | |
| CN116230588B (zh) | 一种半导体硅晶片连续输送式清洗机 | |
| CN221086559U (zh) | 一种晶圆清洗槽的晃动机构 | |
| CN218053185U (zh) | 一种pc混凝土模具清洗装置 | |
| CN220172087U (zh) | 方便取料的硅片清洗机 | |
| CN217616461U (zh) | 一种多层高阶hdi板自动除钯清洗装置 | |
| CN212310356U (zh) | 一种特种玻璃生产用清洗机 | |
| CN219683390U (zh) | 一种动物医学实验用解刨板清洗消毒装置 | |
| CN220862290U (zh) | 一种玻璃加工用双面清洗装置 | |
| CN216099754U (zh) | 一种单晶硅棒切割后的水洗脱胶装置 | |
| CN220532440U (zh) | 一种升降式超声波清洗装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |