CN220873532U - 一种晶圆花篮上下摆动机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆花篮上下摆动机构，包括晶圆花篮本体，所述晶圆花篮本体底部的两侧均固定连接有密封箱，所述密封箱内部的顶部设置有工字板，所述工字板顶部两侧的前侧与后侧均固定连接有敲击块，所述敲击块与密封箱的内壁活动连接，所述工字板底部的前侧与后侧均活动连接有凸轮。本实用新型通过设置敲击块，使凸轮旋转后能够通过工字板带动敲击块向上移动对密封箱进行敲击，从而通过密封箱与晶圆花篮本体进行振动，解决了在使用的过程中并未设置振动结构，使得该装置夹持花篮放置清洗机内部进行清洗时花篮是固定一处的，使花篮在清洗时不能够进行振动辅助晶圆的清洗，从而存在着一定局限性的问题。

Description

一种晶圆花篮上下摆动机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆花篮上下摆动机构。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主,晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，晶圆在加工完成时需要进行清洗。

例如申请号CN202222197943.0本实用新型属于领域，提供了一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，连接于伸缩机构上、用于夹取花篮，包括：对称设置、且可实现张闭的两个夹持机构，以及连接在伸缩机构上、用于带动夹持机构张闭的动力机构；动力机构包括：用于连接夹持机构的两个传动杆，连接在传动杆上的转动块，与转动块连接、用于带动转动块转动的位移机构；其中，转动块两侧对称开设有倾斜的滑槽，位移机构两侧分别连接有滚轮，滚轮放置在滑槽内。本实用新型的用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，用于解决机械手动力控制稳定的技术问题。

基于上述专利的检索，以及结合现有技术中的设备发现，上述设备在应用时虽然可以解决通过两个气缸带动两个夹持头移动并对物品进行夹持，气缸的动力控制较为困难，动力不稳，使机械手夹持不稳、且易造成花篮的损的问题，但是在使用的过程中并未设置振动结构，使得该装置夹持花篮放置清洗机内部进行清洗时花篮是固定一处的，使花篮在清洗时不能够进行振动辅助晶圆的清洗，从而存在着一定的局限性。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供一种晶圆花篮上下摆动机构，具备了辅助振动的优点，解决了在使用的过程中并未设置振动结构，使得该装置夹持花篮放置清洗机内部进行清洗时花篮是固定一处的，使花篮在清洗时不能够进行振动辅助晶圆的清洗，从而存在着一定局限性的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆花篮上下摆动机构，包括晶圆花篮本体，所述晶圆花篮本体底部的两侧均固定连接有密封箱，所述密封箱内部的顶部设置有工字板，所述工字板顶部两侧的前侧与后侧均固定连接有敲击块，所述敲击块与密封箱的内壁活动连接，所述工字板底部的前侧与后侧均活动连接有凸轮，所述密封箱内壁的后侧固定连接有传动组件，所述工字板的两侧均固定连接有复位组件。

作为本实用新型优选的，所述传动组件包括传动马达，所述传动马达的输出端固定连接有传动杆，所述凸轮固定连接在传动杆的表面。

作为本实用新型优选的，所述复位组件包括固定板，所述固定板的底部固定连接有拉簧，所述拉簧的底部与密封箱内壁的底部固定连接。

作为本实用新型优选的，所述传动杆的前端固定连接有限位柱，所述密封箱内壁底部的前侧固定连接有支撑板，所述限位柱贯穿至支撑板的内部与支撑板活动连接。

作为本实用新型优选的，所述密封箱内壁顶部的四角均固定连接有限位杆，所述限位杆的底部贯穿至工字板的底部与工字板活动连接。

作为本实用新型优选的，所述限位杆的底部固定连接有定位盘，所述定位盘与工字板活动连接。

作为本实用新型优选的，所述晶圆花篮本体的两侧均固定连接有限位板，所述限位板的底部固定连接有橡胶板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置敲击块，使凸轮旋转后能够通过工字板带动敲击块向上移动对密封箱进行敲击，从而通过密封箱与晶圆花篮本体进行振动，解决了在使用的过程中并未设置振动结构，使得该装置夹持花篮放置清洗机内部进行清洗时花篮是固定一处的，使花篮在清洗时不能够进行振动辅助晶圆的清洗，从而存在着一定局限性的问题，具备了辅助振动的优点。

2、本实用新型通过设置传动组件，使传动马达启动后能够带动传动杆进行旋转，使传动杆旋转后能够带动凸轮进行旋转，使凸轮旋转后能够带动工字板移动，再通过设置复位组件，使工字板向上移动后能够通过固定板带动拉簧向上移动拉伸，当凸轮凸出端向下时拉簧会通过拉力带动固定板工字板向下移动，从而使工字板进行复位，同时能够使工字板与凸轮贴合。

3、本实用新型通过设置限位柱和支撑板，使支撑板内部的限位柱能够对传动杆的前端进行支撑，使传动杆在旋转时更加稳定不会倾斜晃动，再通过设置限位杆，使限位杆的使用能够在工字板上下移动时对工字板进行限位，从而使工字板在上下移动时更加稳定不会倾斜。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型密封箱立体剖面结构示意图；

图3为本实用新型工字板立体爆炸示意图。

图中：1、晶圆花篮本体；2、密封箱；3、工字板；4、敲击块；5、凸轮；6、传动组件；61、传动马达；62、传动杆；7、复位组件；71、固定板；72、拉簧；8、限位柱；9、支撑板；10、限位杆；11、定位盘；12、限位板；13、橡胶板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图3所示，本实用新型提供的一种晶圆花篮上下摆动机构，包括晶圆花篮本体1，晶圆花篮本体1底部的两侧均固定连接有密封箱2，密封箱2内部的顶部设置有工字板3，工字板3顶部两侧的前侧与后侧均固定连接有敲击块4，敲击块4与密封箱2的内壁活动连接，工字板3底部的前侧与后侧均活动连接有凸轮5，密封箱2内壁的后侧固定连接有传动组件6，工字板3的两侧均固定连接有复位组件7。

参考图3，传动组件6包括传动马达61，传动马达61的输出端固定连接有传动杆62，凸轮5固定连接在传动杆62的表面。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置传动组件6，使传动马达61启动后能够带动传动杆62进行旋转，使传动杆62旋转后能够带动凸轮5进行旋转，使凸轮5旋转后能够带动工字板3移动。

参考图3，复位组件7包括固定板71，固定板71的底部固定连接有拉簧72，拉簧72的底部与密封箱2内壁的底部固定连接。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置复位组件7，使工字板3向上移动后能够通过固定板71带动拉簧72向上移动拉伸，当凸轮5凸出端向下时拉簧72会通过拉力带动固定板71工字板3向下移动，从而使工字板3进行复位，同时能够使工字板3与凸轮5贴合。

参考图3，传动杆62的前端固定连接有限位柱8，密封箱2内壁底部的前侧固定连接有支撑板9，限位柱8贯穿至支撑板9的内部与支撑板9活动连接。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置限位柱8和支撑板9，使支撑板9内部的限位柱8能够对传动杆62的前端进行支撑，使传动杆62在旋转时更加稳定不会倾斜晃动。

参考图3，密封箱2内壁顶部的四角均固定连接有限位杆10，限位杆10的底部贯穿至工字板3的底部与工字板3活动连接。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置限位杆10，使限位杆10的使用能够在工字板3上下移动时对工字板3进行限位，从而使工字板3在上下移动时更加稳定不会倾斜。

参考图3，限位杆10的底部固定连接有定位盘11，定位盘11与工字板3活动连接。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置定位盘11，使定位盘11的使用能够对限位杆10上的工字板3不会与限位杆10分离，从而保证工字板3不会与限位杆10脱离。

参考图1，晶圆花篮本体1的两侧均固定连接有限位板12，限位板12的底部固定连接有橡胶板13。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置限位板12和橡胶板13，使限位板12的使用能够方便夹持装置对晶圆花篮本体1进行夹持，同时橡胶板13能够辅助的对夹持装置进行辅助限位。

本实用新型的工作原理及使用流程：在晶圆花篮本体1清洗时启动密封箱2内部的传动马达61，使传动马达61启动后能够带动传动杆62进行旋转，使传动杆62旋转后能够带动凸轮5进行旋转，使凸轮5旋转后凸出部位向上，使凸轮5能够带动被固定板71底部拉簧72向下拉动的工字板3向上移动，从而使工字板3向上移动后能够带动敲击块4向上移动，从而使敲击块4对密封箱2进行敲击，从而使密封箱2进行上下振动，达到了辅助振动的效果。

综上所述：该一种晶圆花篮上下摆动机构，通过设置敲击块4，使凸轮5旋转后能够通过工字板3带动敲击块4向上移动对密封箱2进行敲击，从而通过密封箱2与晶圆花篮本体1进行振动，解决了在使用的过程中并未设置振动结构，使得该装置夹持花篮放置清洗机内部进行清洗时花篮是固定一处的，使花篮在清洗时不能够进行振动辅助晶圆的清洗，从而存在着一定局限性的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶圆花篮上下摆动机构，包括晶圆花篮本体(1)，其特征在于：所述晶圆花篮本体(1)底部的两侧均固定连接有密封箱(2)，所述密封箱(2)内部的顶部设置有工字板(3)，所述工字板(3)顶部两侧的前侧与后侧均固定连接有敲击块(4)，所述敲击块(4)与密封箱(2)的内壁活动连接，所述工字板(3)底部的前侧与后侧均活动连接有凸轮(5)，所述密封箱(2)内壁的后侧固定连接有传动组件(6)，所述工字板(3)的两侧均固定连接有复位组件(7)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆花篮上下摆动机构，其特征在于：所述传动组件(6)包括传动马达(61)，所述传动马达(61)的输出端固定连接有传动杆(62)，所述凸轮(5)固定连接在传动杆(62)的表面。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆花篮上下摆动机构，其特征在于：所述复位组件(7)包括固定板(71)，所述固定板(71)的底部固定连接有拉簧(72)，所述拉簧(72)的底部与密封箱(2)内壁的底部固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆花篮上下摆动机构，其特征在于：所述传动杆(62)的前端固定连接有限位柱(8)，所述密封箱(2)内壁底部的前侧固定连接有支撑板(9)，所述限位柱(8)贯穿至支撑板(9)的内部与支撑板(9)活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆花篮上下摆动机构，其特征在于：所述密封箱(2)内壁顶部的四角均固定连接有限位杆(10)，所述限位杆(10)的底部贯穿至工字板(3)的底部与工字板(3)活动连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆花篮上下摆动机构，其特征在于：所述限位杆(10)的底部固定连接有定位盘(11)，所述定位盘(11)与工字板(3)活动连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆花篮上下摆动机构，其特征在于：所述晶圆花篮本体(1)的两侧均固定连接有限位板(12)，所述限位板(12)的底部固定连接有橡胶板(13)。