CN221086559U - 一种晶圆清洗槽的晃动机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆清洗槽的晃动机构，包括箱体，所述箱体底部固定安装有多组支腿，所述支腿位于箱体底部四角处，所述箱体外部放置有配电控制箱，所述配电控制箱上基面设有控制面板，所述箱体底部固定安装有驱动组件，所述驱动组件固定安装于箱体内部底面，所述驱动组件的输出端传动连接有清洗槽，所述清洗槽两端分别安装有多组限位杆，所述箱体与限位杆连接处开设有限位槽，所述限位杆远离清洗槽的一端连接于限位槽内部，从而该装置能够充分的对晶圆进行清洗。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆领域，特别是涉及一种晶圆清洗槽的晃动机构。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅,晶圆在加工的时候需要进行切片，才能够成为晶圆片，而在切割生产的时候通过半导体晶圆加工用硅圆片切割设备对晶圆进行切割。
公开号为CN115132644A的发明专利公开了一种槽式晶圆清洗装置，属于晶圆清洁装置技术领域，包括清洗槽、托盘固定架、第一升降器和晶圆展开机构，所述托盘固定架连接在所述清洗槽内，所述托盘固定架上设置有多个浮动卡接机构，所述第一升降器连接在所述清洗槽的底部，所述晶圆展开机构连接在所述第一升降器上，且所述晶圆展开机构延伸至所述托盘固定架内；本发明通过将载有晶圆的托盘浸入到清洗槽内，托盘放入到托盘固定架上，浮动卡接机构在清洗槽内的液体浮力作用下卡住托盘，第一升降器抬升，晶圆展开机构插入到托盘内将托盘内的晶圆转移到晶圆展开机构上，晶圆展开机构将层叠的晶圆展开，调节晶圆之间的间隙，从而便于晶圆的充分清洁，虽然该装置能够调节晶圆之间的间隙，从而对晶圆进行的充分清洁，但是该装置在清洗时因为水的冲击力过小，从而就有污渍就有一定的几率，仍然附着在晶圆上，从而需要一款能够通过晃动对晶圆清洗的装置。
实用新型内容
为了克服上述现有技术的结构缺陷，本实用新型提供一种晶圆清洗槽的晃动机构。
为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆清洗槽的晃动机构，包括箱体，所述箱体底部固定安装有多组支腿，所述支腿位于箱体底部四角处，所述箱体外部放置有配电控制箱，所述配电控制箱上基面设有控制面板，所述箱体底部固定安装有驱动组件，所述驱动组件固定安装于箱体内部底面，所述驱动组件的输出端传动连接有清洗槽，所述清洗槽两端分别安装有多组限位杆，所述箱体与限位杆连接处开设有限位槽，所述限位杆远离清洗槽的一端连接于限位槽内部。
优选的，所述驱动组件主要包括有电机，所述电机输出端传动连接有第一传动杆，所述第一传动杆远离电机一端固定安装有转盘，所述转盘远离第一传动杆一面固定安装有凸杆，所述凸杆位于转盘边缘处。
优选的，所述凸杆外部周面套接有第二传动杆，所述凸杆另一端螺纹连接有限位螺帽，所述第二传动杆另一端固定安装有连接板，所述连接板的另一面固定连接有清洗槽底部中心点。
优选的，所述清洗槽底部一端开设有出水口，所述出水口中固定安装有电动闸门，所述电动闸门底部固定贯通连接出水管，所述出水管的一端贯通有箱体。
优选的，所述清洗槽内部周面固定安装有多组夹持组件，所述夹持组件等距与清洗槽内壁相连接，所述夹持组件包括有电推杆和吸盘，所述电推杆固定端固定与清洗槽内壁相连接，所述电推杆另一端固定安装有吸盘。
优选的，所述清洗槽内部放置有放置仓，所述放置仓位于多组夹持组件之间，所述放置仓内部等距开设有多组安装槽。
与现有技术相比，本实用新型能达到的有益效果是：从而该装置在使用时，电机会带动第一传动杆进行转动，从而使得第一传动杆带动转盘进行转动，同时因为转盘上的凸杆固定连接了第二传动杆，从而就能够带动第二传动杆进行运动，因为第二传动杆上的连接板连接了清洗槽，从而就能够带动清洗槽进行晃动，因为放置仓在清洗槽内部通过夹持组件进行固定的，所以清洗槽内部的放置仓也会进行同步晃动，从而就能够使得内部液体增加一定冲击力，从而能够更好的对晶圆进行清洗。
附图说明
图1为本实用新型前视结构示意图。
图2为本实用新型内部结构示意图。
图3为本实用新型俯视结构示意图。
图4为本实用新型局部结构连接示意图。
图5为本实用新型驱动组件示意图。
图6为本实用新型A处放大示意图。
其中：1、箱体；2、支腿；3、配电控制箱；4、控制面板；5、清洗槽；6、限位杆；7、限位槽；8、电机；9、第一传动杆；10、转盘；11、凸杆；12、第二传动杆；13、限位螺帽；14、连接板；15、电动闸门；16、出水管；17、电推杆；18、吸盘；19、放置仓；20、进水孔；21、安装槽。
实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
实施例
如图1-6所示，本实用新型提供一种晶圆清洗槽的晃动机构，包括箱体1，所述箱体1底部固定安装有多组支腿2，所述支腿2位于箱体1底部四角处，所述箱体1外部放置有配电控制箱3，所述配电控制箱3上基面设有控制面板4，所述箱体1底部固定安装有驱动组件，所述驱动组件固定安装于箱体1内部底面，所述驱动组件的输出端传动连接有清洗槽5，所述清洗槽5两端分别安装有多组限位杆6，所述箱体1与限位杆6连接处开设有限位槽7，所述限位杆6远离清洗槽5的一端连接于限位槽7内部,从而该装置在使用时，电机8会带动第一传动杆9进行转动，从而使得第一传动杆9带动转盘10进行转动，同时因为转盘10上的凸杆11固定连接了第二传动杆12，从而就能够带动第二传动杆12进行运动，因为第二传动杆12上的连接板14连接了清洗槽5，从而就能够带动清洗槽5进行晃动，因为放置仓19在清洗槽5内部通过夹持组件进行固定的，所以清洗槽5内部的放置仓19也会进行同步晃动，从而就能够使得内部液体增加一定冲击力，从而能够更好的对晶圆进行清洗。
本实施例中，具体的，驱动组件主要包括有电机8，所述电机8输出端传动连接有第一传动杆9，所述第一传动杆9远离电机8一端固定安装有转盘10，所述转盘10远离第一传动杆9一面固定安装有凸杆11，所述凸杆11位于转盘10边缘处，电机8会带动第一传动杆9进行转动，从而使得第一传动杆9带动转盘10进行转动。
本实施例中，具体的，凸杆11外部周面套接有第二传动杆12，所述凸杆11另一端螺纹连接有限位螺帽13，所述第二传动杆12另一端固定安装有连接板14，所述连接板14的另一面固定连接有清洗槽5底部中心点，该装置因为转盘10上的凸杆11固定连接了第二传动杆12，从而就能够带动第二传动杆12进行运动，因为第二传动杆12上的连接板14连接了清洗槽5，从而就能够带动清洗槽5进行晃动。
本实施例中，具体的，清洗槽5底部一端开设有出水口，所述出水口中固定安装有电动闸门15，所述电动闸门15底部固定贯通连接出水管16，所述出水管16的一端贯通有箱体1,出水口是用于排水的出口，而电动闸门15能够在闭合的情况下阻止液体流出。
本实施例中，具体的，清洗槽5内部周面固定安装有多组夹持组件，所述夹持组件等距与清洗槽5内壁相连接，所述夹持组件包括有电推杆17和吸盘18，所述电推杆17固定端固定与清洗槽5内壁相连接，所述电推杆17另一端固定安装有吸盘18，夹持组件能对放置仓19进行夹持，从而防止放置仓19脱落。
本实施例中，具体的，清洗槽5内部放置有放置仓19，所述放置仓19周面开设有多组进水孔20，所述放置仓19位于多组夹持组件之间，所述放置仓19内部等距开设有多组安装槽21，进水孔20能够将清洗槽5内部的液体引进到放置仓19内部，而安装槽21是用于放置晶圆的地方。
工作原理：从而该装置在使用时，电机8会带动第一传动杆9进行转动，从而使得第一传动杆9带动转盘10进行转动，同时因为转盘10上的凸杆11固定连接了第二传动杆12，从而就能够带动第二传动杆12进行运动，因为第二传动杆12上的连接板14连接了清洗槽5，从而就能够带动清洗槽5进行晃动，因为放置仓19在清洗槽5内部通过夹持组件进行固定的，所以清洗槽5内部的放置仓19也会进行同步晃动，从而就能够使得内部液体增加一定冲击力，从而能够更好的对晶圆进行清洗。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种晶圆清洗槽的晃动机构，包括箱体（1），所述箱体（1）底部固定安装有多组支腿（2），所述支腿（2）位于箱体（1）底部四角处，所述箱体（1）外部放置有配电控制箱（3），所述配电控制箱（3）上基面设有控制面板（4），其特征在于：所述箱体（1）底部固定安装有驱动组件，所述驱动组件固定安装于箱体（1）内部底面，所述驱动组件的输出端传动连接有清洗槽（5），所述清洗槽（5）两端分别安装有多组限位杆（6），所述箱体（1）与限位杆（6）连接处开设有限位槽（7），所述限位杆（6）远离清洗槽（5）的一端连接于限位槽（7）内部。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗槽的晃动机构，其特征在于：所述驱动组件主要包括有电机（8），所述电机（8）输出端传动连接有第一传动杆（9），所述第一传动杆（9）远离电机（8）一端固定安装有转盘（10），所述转盘（10）远离第一传动杆（9）一面固定安装有凸杆（11），所述凸杆（11）位于转盘（10）边缘处。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗槽的晃动机构，其特征在于：所述凸杆（11）外部周面套接有第二传动杆（12），所述凸杆（11）另一端螺纹连接有限位螺帽（13），所述第二传动杆（12）另一端固定安装有连接板（14），所述连接板（14）的另一面固定连接有清洗槽（5）底部中心点。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗槽的晃动机构，其特征在于：所述清洗槽（5）底部一端开设有出水口，所述出水口中固定安装有电动闸门（15），所述电动闸门（15）底部固定贯通连接出水管（16），所述出水管（16）的一端贯通有箱体（1）。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗槽 的晃动机构，其特征在于：所述清洗槽（5）内部周面固定安装有多组夹持组件，所述夹持组件等距与清洗槽（5）内壁相连接，所述夹持组件包括有电推杆（17）和吸盘（18），所述电推杆（17）固定端固定与清洗槽（5）内壁相连接，所述电推杆（17）另一端固定安装有吸盘（18）。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗槽的晃动机构，其特征在于：所述清洗槽（5）内部放置有放置仓（19），所述放置仓（19）周面开设有多组进水孔（20），所述放置仓（19）位于多组夹持组件之间，所述放置仓（19）内部等距开设有多组安装槽（21）。
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