CN216928516U - 一种高效晶圆清洗花篮 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效晶圆清洗花篮，属于清洗设备技术领域，包括清洗腔体、支撑底座、花篮调节设备、花篮升降设备和清洗花篮架，所述花篮升降设备设置在清洗腔体的内部，所述支撑底座套设在花篮升降设备上，所述花篮调节设备设置在支撑底座上，所述清洗花篮架设有若干个，若干个所述清洗花篮架均匀的布设在花篮升降设备上，所述支撑底座的一侧设有支撑柱，所述支撑柱中心处设有贯穿孔，本装置适用于对不同直径的晶圆存放清洗，且在清洗过程中能够使得晶圆与晶圆存在间隙，从而便于晶圆的清洗，提高了工作效率。

Description

一种高效晶圆清洗花篮

技术领域

本实用新型涉及清洗设备技术领域，尤其涉及一种高效晶圆清洗花篮。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。在晶圆的加工过程中，通常需要对晶圆进行多次的清洗。晶圆清洗的一般方法是：首先将晶圆放置在清洗花篮内，然后将装有晶圆的清洗花篮投入清洗槽内，清洗槽内装有清洗剂并具有超声波发生装置。

现有技术中的清洗花篮多为单一尺寸，为了提高清洗效果需要重新制作不同尺寸的专用的清洗花篮，大大的增加了工装成本，且现有的清洗花篮一般仅适用于固定尺寸的完整晶圆的清洗，而无法对不同尺寸的晶圆进行清洗处理。

发明内容

本实用新型实施例提供一种高效晶圆清洗花篮，以解决现有技术中清洗花篮尺寸单一，只能对某一种尺寸的晶圆进行清洗处理的技术问题。

本实用新型实施例采用下述技术方案：包括清洗腔体，还包括支撑底座、花篮调节设备、花篮升降设备和清洗花篮架，所述花篮升降设备设置在清洗腔体的内部，所述支撑底座套设在花篮升降设备上，所述花篮调节设备设置在支撑底座上，所述清洗花篮架设有若干个，若干个所述清洗花篮架均匀的布设在花篮升降设备上，所述支撑底座的一侧设有支撑柱，所述支撑柱中心处设有贯穿孔。

进一步的，所述花篮升降设备包括花篮升降架、花篮升降螺杆和花篮升降电机，所述花篮升降架呈水平设置且位于清洗腔体内，所述花篮升降电机设置在花篮升降架的上端，所述花篮升降螺杆的一端连接在花篮升降电机的输出端上且另一端连接在花篮升降架上与花篮升降架为转动连接，所述花篮升降架的两侧均设有限位滑槽，所述支撑底座套设在花篮升降螺杆上且与花篮升降螺杆为螺纹连接，所述支撑底座的两侧均设有限位块，两个所述限位块分别位于对应的限位滑槽内且为滑动配合。

进一步的，所述花篮调节设备包括花篮调节电机、第一齿轮、第二齿轮、花篮调节轨道、花篮调节杆和花篮调节块，所述花篮调节电机设置在支撑底座上，所述第一齿轮设置在花篮调节电机的输出端上，所述第二齿轮的下端设置在支撑柱上且与支撑柱转动连接，所述第二齿轮与第一齿轮啮合，所述花篮调节轨道设有若干个，若干个所述花篮调节轨道均匀的布设在支撑柱的外侧，所述花篮调节杆设有若干个，若干个所述花篮调节杆的一端分别连接在第二齿轮的上端，所述花篮调节块设有若干个，若干个所述花篮调节块的一端均位于对应的花篮调节轨道内且为滑动配合，若干个所述花篮调节块的另一端分别连接在对应的花篮调节杆的另一端上，若干个所述清洗花篮架均对应的设置在花篮调节块的上端，所述第二齿轮中心处设有贯穿孔。

进一步的，若干个所述清洗花篮架上均设有若干个存放槽，若干个所述存放槽为由上而下依次排列设置。

进一步的，若干个所述存放槽与产品接触面均采用柔性材质。

本实用新型实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：

其一，当花篮升降设备运行带动花篮调节设备移动出清洗腔体内时，此时，通过花篮调节电机运行带动第一齿轮转动，第一齿轮转动带动第二齿轮在支撑柱上转动，第二齿轮转动带动花篮调节杆转动，花篮调节杆转动带动花篮贴调节块在花篮调节轨道内运动，从而使得清洗花篮架向外伸展开到最大化，这时，通过工作人员将所需的晶圆依次放置到清洗花篮架内，从而便于工作人员放置产品，同时，实现了适用于对不同直径的晶圆存放，并且将其晶圆夹持，便于晶圆后续清洗作业。

其二，当晶圆依次放置到存放槽内后，晶圆与晶圆之间会存在一定的间隙，这是，便于清洗液流动，能够使得晶圆更加彻底的进行清洗作业，从而提高了清洗效率，存放槽的侧端也会进入清洗液，便于清洗；在晶圆清洗完成后，晶圆上被清洗下来的溶剂会吸附在存放槽内，从而会造成晶圆不易取出，这时，可通过将清洗花篮架展开即可，便于晶圆的取出。

其三，当准备将晶圆放置到清洗花篮架内时，首先通过花篮升降电机运行带动花篮升降电机输出端上的花篮升降螺杆转动，从而带动支撑底座在花篮升降螺杆上向上移动出清洗腔体内，从而带动花篮调节设备脱离清洗腔体内部，此时，在将所需清洗晶圆放置到清洗花篮架内，从而实现便于晶圆放置到清洗花篮架对其进行清洗，同时，避免了工作人员的手部不会接触清洗腔体内部的清洗液。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型的花篮升降设备结构示意图；

图3为本实用新型的花篮调节设备结构示意图；

图4为本实用新型的清洗花篮架结构示意图；

图5为本实用新型的花篮升降设备和花篮调节设备结构示意图。

附图标记

清洗腔体1、支撑底座2、限位块21、支撑柱22、清洗花篮架3、存放槽31、花篮升降设备4、花篮升降架41、限位滑槽42、花篮升降螺杆43、花篮升降电机44、花篮调节设备5、花篮调节电机51、第一齿轮52、第二齿轮53、花篮调节轨道54、花篮调节杆55、花篮调节块56。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

以下结合附图，详细说明本实用新型各实施例提供的技术方案。

本实用新型实施例提供一种高效晶圆清洗花篮，包括清洗腔体1，还包括支撑底座2、花篮调节设备5、花篮升降设备4和清洗花篮架3，所述花篮升降设备4设置在清洗腔体1的内部，所述支撑底座2套设在花篮升降设备4上，所述花篮调节设备5设置在支撑底座2上，所述清洗花篮架3设有若干个，若干个所述清洗花篮架3均匀的布设在花篮升降设备4上，所述支撑底座2的一侧设有支撑柱22，所述支撑柱22中心处设有贯穿孔，本装置适用于对不同直径的晶圆存放清洗，且在清洗过程中能够使得晶圆与晶圆存在间隙，从而便于晶圆的清洗，提高了工作效率。

优选的，所述花篮升降设备4包括花篮升降架41、花篮升降螺杆43和花篮升降电机44，所述花篮升降架41呈水平设置且位于清洗腔体1内，所述花篮升降电机44设置在花篮升降架41的上端，所述花篮升降螺杆43的一端连接在花篮升降电机44的输出端上且另一端连接在花篮升降架41上与花篮升降架41为转动连接，所述花篮升降架41的两侧均设有限位滑槽42，所述支撑底座2套设在花篮升降螺杆43上且与花篮升降螺杆43为螺纹连接，所述支撑底座2的两侧均设有限位块21，两个所述限位块21分别位于对应的限位滑槽42内且为滑动配合，当准备将晶圆放置到清洗花篮架3内时，首先通过花篮升降电机44运行带动花篮升降电机44输出端上的花篮升降螺杆43转动，从而带动支撑底座2在花篮升降螺杆43上向上移动出清洗腔体1内，从而带动花篮调节设备5脱离清洗腔体1内部，此时，在将所需清洗晶圆放置到清洗花篮架3内，从而实现便于晶圆放置到清洗花篮架3对其进行清洗，同时，避免了工作人员的手部不会接触清洗腔体1内部的清洗液。

优选的，所述花篮调节设备5包括花篮调节电机51、第一齿轮52、第二齿轮53、花篮调节轨道54、花篮调节杆55和花篮调节块56，所述花篮调节电机51设置在支撑底座2上，所述第一齿轮52设置在花篮调节电机51的输出端上，所述第二齿轮53的下端设置在支撑柱22上且与支撑柱22转动连接，所述第二齿轮53与第一齿轮52啮合，所述花篮调节轨道54设有若干个，若干个所述花篮调节轨道54均匀的布设在支撑柱22的外侧，所述花篮调节杆55设有若干个，若干个所述花篮调节杆55的一端分别连接在第二齿轮53的上端，所述花篮调节块56设有若干个，若干个所述花篮调节块56的一端均位于对应的花篮调节轨道54内且为滑动配合，若干个所述花篮调节块56的另一端分别连接在对应的花篮调节杆55的另一端上，若干个所述清洗花篮架3均对应的设置在花篮调节块56的上端，所述第二齿轮53中心处设有贯穿孔，在晶圆位于清洗腔体1内准备清洗作业时通过支撑柱22和第二齿轮53均中心处设有贯穿孔，能够便于清洗腔体1内部的清洗液流动，从而提高了清洗效果，当花篮升降设备4运行带动花篮调节设备5移动出清洗腔体1内时，此时，通过花篮调节电机51运行带动第一齿轮52转动，第一齿轮52转动带动第二齿轮53在支撑柱22上转动，第二齿轮53转动带动花篮调节杆55转动，花篮调节杆55转动带动花篮贴调节块在花篮调节轨道54内运动，从而使得清洗花篮架3向外伸展开到最大化，这时，通过工作人员将所需的晶圆依次放置到清洗花篮架3内，从而便于工作人员放置产品，同时，实现了适用于对不同直径的晶圆存放，并且将其晶圆夹持，便于晶圆后续清洗作业。

优选的，若干个所述清洗花篮架3上均设有若干个存放槽31，若干个所述存放槽31为由上而下依次排列设置，当晶圆依次放置到存放槽31内后，晶圆与晶圆之间会存在一定的间隙，这是，便于清洗液流动，能够使得晶圆更加彻底的进行清洗作业，从而提高了清洗效率，存放槽31的侧端也会进入清洗液，便于清洗；在晶圆清洗完成后，晶圆上被清洗下来的溶剂会吸附在存放槽31内，从而会造成晶圆不易取出，这时，可通过将清洗花篮架3展开即可，便于晶圆的取出。

优选的，若干个所述存放槽31与产品接触面均采用柔性材质，在对晶圆进行夹持时，为了避免对其侧端造成损伤，故采用软性材质，既具有一定的摩擦力提高夹持时的稳定性，也不会对其表面造成损伤，从而便于后续晶圆的清洗作业，提高了工作效率。

以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。

Claims (5)

1.一种高效晶圆清洗花篮，包括清洗腔体（1），其特征在于，还包括支撑底座（2）、清洗花篮架（3）、花篮升降设备（4）和花篮调节设备（5），所述花篮升降设备（4）设置在清洗腔体（1）的内部，所述支撑底座（2）套设在花篮升降设备（4）上，所述花篮调节设备（5）设置在支撑底座（2）上，所述清洗花篮架（3）设有若干个，若干个所述清洗花篮架（3）均匀的布设在花篮升降设备（4）上，所述支撑底座（2）的一侧设有支撑柱（22），所述支撑柱（22）中心处设有贯穿孔。

2.根据权利要求1所述的一种高效晶圆清洗花篮，其特征在于，所述花篮升降设备（4）包括花篮升降架（41）、花篮升降螺杆（43）和花篮升降电机（44），所述花篮升降架（41）呈水平设置且位于清洗腔体（1）内，所述花篮升降电机（44）设置在花篮升降架（41）的上端，所述花篮升降螺杆（43）的一端连接在花篮升降电机（44）的输出端上且另一端连接在花篮升降架（41）上与花篮升降架（41）为转动连接，所述花篮升降架（41）的两侧均设有限位滑槽（42），所述支撑底座（2）套设在花篮升降螺杆（43）上且与花篮升降螺杆（43）为螺纹连接，所述支撑底座（2）的两侧均设有限位块（21），两个所述限位块（21）分别位于对应的限位滑槽（42）内且为滑动配合。

3.根据权利要求1所述的一种高效晶圆清洗花篮，其特征在于，所述花篮调节设备（5）包括花篮调节电机（51）、第一齿轮（52）、第二齿轮（53）、花篮调节轨道（54）、花篮调节杆（55）和花篮调节块（56），所述花篮调节电机（51）设置在支撑底座（2）上，所述第一齿轮（52）设置在花篮调节电机（51）的输出端上，所述第二齿轮（53）的下端设置在支撑柱（22）上且与支撑柱（22）转动连接，所述第二齿轮（53）与第一齿轮（52）啮合，所述花篮调节轨道（54）设有若干个，若干个所述花篮调节轨道（54）均匀的布设在支撑柱（22）的外侧，所述花篮调节杆（55）设有若干个，若干个所述花篮调节杆（55）的一端分别连接在第二齿轮（53）的上端，所述花篮调节块（56）设有若干个，若干个所述花篮调节块（56）的一端均位于对应的花篮调节轨道（54）内且为滑动配合，若干个所述花篮调节块（56）的另一端分别连接在对应的花篮调节杆（55）的另一端上，若干个所述清洗花篮架（3）均对应的设置在花篮调节块（56）的上端，所述第二齿轮（53）中心处设有贯穿孔。

4.根据权利要求3所述的一种高效晶圆清洗花篮，其特征在于，若干个所述清洗花篮架（3）上均设有若干个存放槽（31），若干个所述存放槽（31）为由上而下依次排列设置。

5.根据权利要求4所述的一种高效晶圆清洗花篮，其特征在于，若干个所述存放槽（31）与产品接触面均采用柔性材质。

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