CN216656520U - 晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置，包括操作台，所述操作台前端右侧位置固定连接有控制面板，所述操作台顶部前后两端位置均固定连接有固定滑柱，两个所述滑块顶部右侧位置均固定连接有限位柱，两个所述限位柱外壁位置上均滑动连接有升降杆。本实用新型中，将原料放置在操作台上，然后通过控制面板启动伸缩油缸，使得伸缩油缸向右伸出，从而带动夹板向右运动，推动原料向右运动，直至原料抵上抵料块，夹板上安装有缓冲垫，具有一定的缓冲作用，可以更好的对原料进行固定，切割原料时，可以避免原料发生偏移，极大地提高了装置的稳定作用，使得切割操作更加便利，值得大力推广。

Description

晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其涉及晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。

中国专利文献202120043547.5公开了一种钛合金管定距切割装置，包括工作台，所述工作台一侧的顶部固定连接有固定板，所述固定板相互远离的两侧贯穿开设有贯穿孔，所述工作台远离固定板的一端固定连接有卡尺盒，所述卡尺盒的内壁活动连接有测量尺，所述卡尺盒远离固定板一侧的顶部贯穿开设有贯穿口，所述测量尺与贯穿口贯穿活动连接，所述测量尺贯穿过贯穿口的一端侧壁固定连接有挂钩，所述工作台远离卡尺盒一侧的顶部贯穿开设有贯穿槽。该专利所提出的装置在实际应用过程中，无法很好的对物品进行固定，在切割物品时，物品会发生偏移，从而影响切割效率，同时该专利所提出的装置，无法在任意位置对物品进行切割，装置的实用性较低。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置，包括操作台，所述操作台前端右侧位置固定连接有控制面板，所述操作台顶部前后两端位置均固定连接有固定滑柱，两个所述固定滑柱前后两端位置上均滑动连接有滑块，两个所述滑块顶部右侧位置均固定连接有限位柱，两个所述限位柱远离操作台一端上设置有均匀分布的凹槽，所述凹槽上滑动连接有限位栓，两个所述限位柱外壁位置上均滑动连接有升降杆，所述升降杆顶部中心位置贯穿并设置有滑槽，所述滑槽上滑动连接有运动柱，所述运动柱底部位置固定连接有切割机，所述操作台顶部左侧中间位置固定连接有固定块，所述固定块顶部中间位置固定连接有伸缩油缸，所述伸缩油缸右侧位置固定连接有夹板。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述操作台底部四角位置均固定连接有支撑腿。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述操作台顶部右侧位置固定连接有抵料块。

作为上述技术方案的进一步描述：

两个所述限位栓顶部位置与升降杆之间接触。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述夹板右侧中心位置固定连接有缓冲垫。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述夹板位于两个固定滑柱之间。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述控制面板分别与切割机和伸缩油缸之间电性连接。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型中，首先两个固定滑柱上均滑动有滑块，推动滑块可以对切割机左右移动，将限位栓拔出，重新选取合适高度，然后插入凹槽内，使得升降杆上下移动，进而对切割机进行上下移动，在升降杆上设置有滑槽，运动柱可以在滑槽内前后滑动，进而带动切割机前后移动，极大地提高了装置的精确定位能力，使得切割机能够在原料任意部位上进行切割，提高了切割机的机动能力，提高了切割效率。

2、本实用新型中，将原料放置在操作台上，然后通过控制面板启动伸缩油缸，使得伸缩油缸向右伸出，从而带动夹板向右运动，推动原料向右运动，直至原料抵上抵料块，夹板上安装有缓冲垫，具有一定的缓冲作用，可以更好的对原料进行固定，切割原料时，可以避免原料发生偏移，极大地提高了装置的稳定作用，使得切割操作更加便利，值得大力推广。

附图说明

图1为本实用新型提出的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置的立体图；

图2为本实用新型提出的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置的限位柱结构图；

图3为本实用新型提出的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置的升降杆结构图。

图例说明：

1、抵料块；2、控制面板；3、滑块；4、支撑腿；5、操作台；6、固定滑柱；7、固定块；8、伸缩油缸；9、缓冲垫；10、夹板；11、升降杆；12、切割机；13、限位柱；14、限位栓；15、凹槽；16、滑槽；17、运动柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置，包括操作台5，操作台5前端右侧位置固定连接有控制面板2，操作台5顶部前后两端位置均固定连接有固定滑柱6，两个固定滑柱6前后两端位置上均滑动连接有滑块3，两个滑块3顶部右侧位置均固定连接有限位柱13，两个限位柱13远离操作台5一端上设置有均匀分布的凹槽15，凹槽15上滑动连接有限位栓14，两个限位柱13外壁位置上均滑动连接有升降杆11，升降杆11顶部中心位置贯穿并设置有滑槽16，滑槽16上滑动连接有运动柱17，运动柱17底部位置固定连接有切割机12，操作台5顶部左侧中间位置固定连接有固定块7，固定块7顶部中间位置固定连接有伸缩油缸8，伸缩油缸8右侧位置固定连接有夹板10，将原料放置在操作台5上，然后通过控制面板2启动伸缩油缸8，使得伸缩油缸8向右伸出，从而带动夹板10向右运动，推动原料向右运动，直至原料抵上抵料块1，夹板10上安装有缓冲垫9，具有一定的缓冲作用，可以更好的对原料进行固定，切割原料时，可以避免原料发生偏移，极大地提高了装置的稳定作用，使得切割操作更加便利。

操作台5底部四角位置均固定连接有支撑腿4，操作台5顶部右侧位置固定连接有抵料块1，两个限位栓14顶部位置与升降杆11之间接触，夹板10右侧中心位置固定连接有缓冲垫9，夹板10位于两个固定滑柱6之间，控制面板2分别与切割机12和伸缩油缸8之间电性连接，两个固定滑柱6上均滑动有滑块3，推动滑块3可以对切割机12左右移动，将限位栓14拔出，重新选取合适高度，然后插入凹槽15内，使得升降杆11上下移动，进而对切割机12进行上下移动，在升降杆11上设置有滑槽16，运动柱17可以在滑槽16内前后滑动，进而带动切割机12前后移动，极大地提高了装置的精确定位能力，使得切割机12能够在原料任意部位上进行切割，提高了切割机12的机动能力，提高了切割效率。

工作原理：首先将原料放置在操作台5上，然后通过控制面板2启动伸缩油缸8，使得伸缩油缸8向右伸出，从而带动夹板10向右运动，推动原料向右运动，直至原料抵上抵料块1，夹板10上安装有缓冲垫9，具有一定的缓冲作用，可以更好的对原料进行固定，切割原料时，可以避免原料发生偏移，极大地提高了装置的稳定作用，使得切割操作更加便利，两个固定滑柱6上均滑动有滑块3，推动滑块3可以对切割机12左右移动，将限位栓14拔出，重新选取合适高度，然后插入凹槽15内，使得升降杆11上下移动，进而对切割机12进行上下移动，在升降杆11上设置有滑槽16，运动柱17可以在滑槽16内前后滑动，进而带动切割机12前后移动，极大地提高了装置的精确定位能力，使得切割机12能够在原料任意部位上进行切割，提高了切割机12的机动能力，提高了切割效率。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置，包括操作台(5)，其特征在于：所述操作台(5)前端右侧位置固定连接有控制面板(2)，所述操作台(5)顶部前后两端位置均固定连接有固定滑柱(6)，两个所述固定滑柱(6)前后两端位置上均滑动连接有滑块(3)，两个所述滑块(3)顶部右侧位置均固定连接有限位柱(13)，两个所述限位柱(13)远离操作台(5)一端上设置有均匀分布的凹槽(15)，所述凹槽(15)上滑动连接有限位栓(14)，两个所述限位柱(13)外壁位置上均滑动连接有升降杆(11)，所述升降杆(11)顶部中心位置贯穿并设置有滑槽(16)，所述滑槽(16)上滑动连接有运动柱(17)，所述运动柱(17)底部位置固定连接有切割机(12)，所述操作台(5)顶部左侧中间位置固定连接有固定块(7)，所述固定块(7)顶部中间位置固定连接有伸缩油缸(8)，所述伸缩油缸(8)右侧位置固定连接有夹板(10)。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置，其特征在于：所述操作台(5)底部四角位置均固定连接有支撑腿(4)。

3.根据权利要求1所述的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置，其特征在于：所述操作台(5)顶部右侧位置固定连接有抵料块(1)。

4.根据权利要求1所述的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置，其特征在于：两个所述限位栓(14)顶部位置与升降杆(11)之间接触。

5.根据权利要求1所述的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置，其特征在于：所述夹板(10)右侧中心位置固定连接有缓冲垫(9)。

6.根据权利要求1所述的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置，其特征在于：所述夹板(10)位于两个固定滑柱(6)之间。

7.根据权利要求1所述的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的原料切割装置，其特征在于：所述控制面板(2)分别与切割机(12)和伸缩油缸(8)之间电性连接。

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