CN208400814U - 一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，包括限位装置与清理装置，所述限位装置包括限位工作台，所述限位工作台表面设有一体式结构的限位槽，所述限位槽表面通过粘贴方式设有升降板，所述升降板底部相对于限位槽内部设有弹簧b，所述限位槽两侧顶部设有一体式结构的活动槽，所述活动槽内部设有连接块；通过在限位工作台表面设有限位槽、升降板与夹块，便于使用者将限位工作台表面的物体进行固定，避免因工作人员不慎将晶圆碰落，对晶圆造成一定程度的损伤，通过在晶圆检选机底部设有连接板、连接杆与清洁刮板，利用清洁刮板对晶圆检选机底部表面的清理效果，便于使用者清理晶圆检选机底部灰尘，避免因灰尘过多导致散热效率降低。
Description
技术领域
本实用新型属于分选机技术领域，具体涉及一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机。
背景技术
分选机主要是由上料台、检测系统和分选系统3个部分组成。其中测量系统为整台设备的核心部分，它又包含了厚度模组、线痕模组、隐形裂纹模组、脏污模组、边缘模组和尺寸、翘曲模组。当晶圆从上料台入片经过测量系统时，会被这6个模组分别检测、对比，是否达到设定的要求，然后根据所测量的数值分选到对应的仓盒里面，较终将晶圆分选出不同的等级，且分选机可适用于八英寸晶圆与十二英寸晶圆。
然而现有的带有防尘机构的独立式晶圆检选机在使用的过程中仍存在一些不足之处，现有的带有防尘机构的独立式晶圆检选机在使用时：
1.现有的带有防尘机构的独立式晶圆检选机在使用的过程中，工作台表面没有对需要处理的物体限位的装置，使用者在工作的过程中，可能会因不慎碰撞，使得晶圆散落，且因为晶圆本身规格较小，不便于再寻找，造成一定程度的损失，且耽误了工作进度。
2.现有的带有防尘机构的独立式晶圆检选机在使用的过程中，由于晶圆检选机底部没有便于清理的装置，使得晶圆检选机底部会积累一定程度的灰尘，灰尘会妨碍散热且造成腐蚀，影响晶圆检选机的使用，甚至缩短了晶圆检选机的使用寿命。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，以解决上述背景技术中提出现有的带有防尘机构的独立式晶圆检选机在使用的过程中，工作台表面没有对需要处理的物体限位的装置，使用者在工作的过程中，可能会因不慎碰撞，使得晶圆散落，且因为晶圆本身规格较小，不便于再寻找，造成一定程度的损失，且耽误了工作进度，现有的带有防尘机构的独立式晶圆检选机在使用的过程中，由于晶圆检选机底部没有便于清理的装置，使得晶圆检选机底部会积累一定程度的灰尘，灰尘会妨碍散热且造成腐蚀，影响晶圆检选机的使用，甚至缩短了晶圆检选机的使用寿命的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，包括限位装置与清理装置，所述限位装置包括限位工作台，所述限位工作台表面设有一体式结构的限位槽，所述限位槽表面通过粘贴方式设有升降板，所述升降板底部相对于限位槽内部设有弹簧b，所述限位槽两侧顶部设有一体式结构的活动槽，所述活动槽内部设有连接块，所述限位槽内部两侧设有夹块，所述夹块一端相对于限位槽内部通过粘贴方式设有弹簧a，且所述连接块底部与夹块相接，所述限位工作台一侧设有显示屏，所述显示屏底部设有急停按钮，所述急停按钮底部设有按键。
优选的，所述清理装置包括连接板，所述连接板顶部设有卡块，所述卡块顶部通过粘贴方式设有磁块，所述连接板表面设有一体式结构的滑槽，所述连接板之间通过滑动卡合方式设有连接杆，且所述连接杆贯穿滑槽，所述连接杆两侧设有清洁刮板，所述连接板两侧设有支座。
优选的，所述升降板的横截面与限位槽的横截面大小、形状相同，且所述夹块可在弹簧a收缩的状态下完全没入限位槽内部。
优选的，所述连接板共两个，处于所述晶圆检选机底部两侧且位置相互对应，且所述晶圆检选机底部设有与磁块相适配的固定槽。
优选的，所述磁块与晶圆检选机底部固定槽相接的状态下，所述清洁刮板顶部与晶圆检选机底部相接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.通过在限位工作台表面设有限位槽、升降板与夹块，便于使用者将限位工作台表面的物体进行固定，避免因工作人员不慎将晶圆碰落，对晶圆造成一定程度的损伤；
2.通过在晶圆检选机底部设有连接板、连接杆与清洁刮板，利用清洁刮板对晶圆检选机底部表面的清理效果，便于使用者清理晶圆检选机底部灰尘，避免因灰尘过多导致散热效率降低，从而影响晶圆检选机的使用，有效的延长了晶圆检选机的使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型限位工作台的结构示意图；
图3为本实用新型限位工作台的平面图；
图4为本实用新型清理刮板的结构示意图；
图中：1、显示屏；2、急停按钮；3、按键；4、连接板；5、限位工作台；6、升降板；7、支座；8、滑槽；9、连接块；10、活动槽；11、夹块；12、限位槽；13、弹簧a；14、弹簧b；15、连接杆；16、清洁刮板；17、磁块；18、卡块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，包括限位装置与清理装置，限位装置包括限位工作台5，限位工作台5表面设有一体式结构的限位槽12，限位槽12表面通过粘贴方式设有升降板6，升降板6底部相对于限位槽12内部设有弹簧b14，限位槽12两侧顶部设有一体式结构的活动槽10，活动槽10内部设有连接块9，限位槽12内部两侧设有夹块11，夹块11一端相对于限位槽12内部通过粘贴方式设有弹簧a13，且连接块9底部与夹块11相接，限位工作台5一侧设有显示屏1，显示屏1底部设有急停按钮2，急停按钮2底部设有按键3。
为了便于清理晶圆检选机底部灰尘，本实施例中，优选的，清理装置包括连接板4，连接板4顶部设有卡块18，卡块18顶部通过粘贴方式设有磁块17，连接板4表面设有一体式结构的滑槽8，连接板4之间通过滑动卡合方式设有连接杆15，且连接杆15贯穿滑槽8，连接杆15两侧设有清洁刮板16，连接板4两侧设有支座7。
为了便于对需要处理的物体进行限位，本实施例中，优选的，升降板6的横截面与限位槽12的横截面大小、形状相同，且夹块11可在弹簧a13收缩的状态下完全没入限位槽12内部。
为了连接板4固定在晶圆检选机底部，本实施例中，优选的，连接板4共两个，处于晶圆检选机底部两侧且位置相互对应，且晶圆检选机底部设有与磁块17相适配的固定槽。
为了便于清理晶圆检选机底部表面，本实施例中，优选的，磁块17与晶圆检选机底部固定槽相接的状态下，清洁刮板16顶部与晶圆检选机底部相接。
本实用新型的工作原理及使用流程：通过在限位工作台5表面设有限位槽12，利用弹簧b14的伸缩性，使得升降板6表面放置物体时，弹簧b14受力收缩并带动升降板6表面物体陷入限位槽12内部，并且限位槽12内部两侧夹块11受弹簧a13弹力作用，对升降板6表面物体进行挤压固定，通过在晶圆检选机底部设有连接板4，并且在连接板4之间设有连接杆15与清洁刮板16，当清洁刮板16在滑槽8内运动时，清洁刮板16对晶圆检选机底部表面灰尘擦除。
将需要处理的物体安放在限位工作台5表面，升降板6下降，并且夹块11受力弹出对升降板6表面物体进行挤压固定，并通过按键3对晶圆检选机进行操作，当晶圆检选机使用一段时间需要清理时，可将连接板4拿到晶圆检选机底部，并使得磁块17与晶圆检选机底部固定槽吸附卡合，然后通过推动连接杆15使得清洁刮板16运动，并对晶圆检选机底部表面进行清理。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，包括限位装置与清理装置，其特征在于：所述限位装置包括限位工作台（5），所述限位工作台（5）表面设有一体式结构的限位槽（12），所述限位槽（12）表面通过粘贴方式设有升降板（6），所述升降板（6）底部相对于限位槽（12）内部设有弹簧b（14），所述限位槽（12）两侧顶部设有一体式结构的活动槽（10），所述活动槽（10）内部设有连接块（9），所述限位槽（12）内部两侧设有夹块（11），所述夹块（11）一端相对于限位槽（12）内部通过粘贴方式设有弹簧a（13），且所述连接块（9）底部与夹块（11）相接，所述限位工作台（5）一侧设有显示屏（1），所述显示屏（1）底部设有急停按钮（2），所述急停按钮（2）底部设有按键（3）。
2.根据权利要求1所述的一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，其特征在于：所述清理装置包括连接板（4），所述连接板（4）顶部设有卡块（18），所述卡块（18）顶部通过粘贴方式设有磁块（17），所述连接板（4）表面设有一体式结构的滑槽（8），所述连接板（4）之间通过滑动卡合方式设有连接杆（15），且所述连接杆（15）贯穿滑槽（8），所述连接杆（15）两侧设有清洁刮板（16），所述连接板（4）两侧设有支座（7）。
3.根据权利要求1所述的一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，其特征在于：所述升降板（6）的横截面与限位槽（12）的横截面大小、形状相同，且所述夹块（11）可在弹簧a（13）收缩的状态下完全没入限位槽（12）内部。
4.根据权利要求2所述的一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，其特征在于：所述连接板（4）共两个，处于所述晶圆检选机底部两侧且位置相互对应，且所述晶圆检选机底部设有与磁块（17）相适配的固定槽。
5.根据权利要求2所述的一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，其特征在于：所述磁块（17）与晶圆检选机底部固定槽相接的状态下，所述清洁刮板（16）顶部与晶圆检选机底部相接。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN115831831A (zh) * | 2023-02-23 | 2023-03-21 | 苏州智程半导体科技股份有限公司 | 一种紧凑型槽式机 |
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2018
- 2018-06-22 CN CN201820968071.4U patent/CN208400814U/zh not_active Expired - Fee Related
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