CN109616549B - 一种太阳能电池片的制备方法 - Google Patents
一种太阳能电池片的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109616549B CN109616549B CN201811359782.2A CN201811359782A CN109616549B CN 109616549 B CN109616549 B CN 109616549B CN 201811359782 A CN201811359782 A CN 201811359782A CN 109616549 B CN109616549 B CN 109616549B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon wafer
- fixed
- stirring
- driving
- rack
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 72
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 72
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 72
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims abstract description 6
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 239000007888 film coating Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 97
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 63
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 11
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 6
- XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N phosphoryl trichloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)=O XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methoxyethoxy)benzohydrazide Chemical compound COCCOC1=CC=CC(C(=O)NN)=C1 GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N 0.000 claims description 4
- 229910019213 POCl3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 3
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 2
- 230000007306 turnover Effects 0.000 description 22
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 15
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 15
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 14
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- -1 phosphorus ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- HIVGXUNKSAJJDN-UHFFFAOYSA-N [Si].[P] Chemical compound [Si].[P] HIVGXUNKSAJJDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000010329 laser etching Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Abstract
本发明提供了一种太阳能电池片的制备方法。它解决了现有制备方法的步骤过于复杂，制备繁琐等技术问题。本太阳能电池片的制备方法，包括如下步骤：a、检验：对硅片进行检验；b、制绒：对硅片进行清洗制绒；c、扩散：将硅片放入到石英舟中，将石英舟放入到扩散炉中进行扩散；d、刻蚀：通过湿法刻蚀设备对硅片进行刻蚀；e、去PSG：将硅片进行表面去磷清洗；f、PECVD：将硅片放入到石墨舟中，将石墨舟放入到管式PECVD设备中进行镀膜；g、丝网印刷：通过丝网印刷系统对硅片进行印刷；h、烧结：将硅片放入到烧结设备中进行烧结，得到电池片；i、测试分选：对电池片进行测试；j、包装入库：将电池片进行包装、入库。本发明具有制备简便的优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种太阳能电池片的制备方法。
背景技术
太阳能电池片分为晶硅类和非晶硅类，其中晶硅类电池片又可以分为单晶电池片和多晶电池片。太阳能电池片的生产工艺流程为：硅片检测-表面制绒及酸洗-扩散制结-去磷硅玻璃-等离子刻蚀及酸洗-镀减反射膜-丝网印刷-快速烧结等。
经检索，如中国专利文献公开了一种太阳能电池的制备方法【申请号：201710042576.8；公开号：CN 106784163B】。这种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：一、选用的硅片为N型硅片；二、清洗：去除硅片表面沾污；三、制绒：使硅片表面形成绒面；四、扩散：为硼扩散工艺，在硅片正背两表面和四周生成P型区域；五、区域离子注入：通过靶材控制，在扩散后硅片背面的梳状区域中注入磷离子，使对应区域的硼中和，继续注入磷离子，再次形成N型区域，该N型区域与硅片的N型区域连接，从而使背面分割成梳状的N型区域和梳状的P型区域；背面的梳状N型区域为所述背面第二电极，背面的梳状P型区域为所述背面第一电极，所述N型区域和P型区域的梳齿交叉排列；六、退火：消除注入损伤及先期扩散的激活杂质；七、激光刻蚀：去除硅片四周的PN结，从而将正面与背面的PN结分离，使正面为主电池PN结，背面为次电池或保护二极管PN结；八、PECVD：在硅片双面镀膜，形成减反射膜；九、印刷、烧结：在硅片正面、背面进行丝网印刷，经过烧结形成电池的正面电极、背面第一电极及背面第二电极；所述正面电极通过分设于电池正面两侧边的主栅线引出，所述背面第一电极和所述背面第二电极通过分设于电池背面两侧边的主栅线引出；十、测试、分选：对制备的电池进行测试分选归档包装。
该专利中公开的制备方法虽然可提高发电效率，但是，该制备方法的步骤过于复杂，制备繁琐，因此，设计出一种太阳能电池片的制备方法是很有必要的。
发明内容
本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种太阳能电池片的制备方法，该制备方法具有制备简便的特点。
本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种太阳能电池片的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
a、检验：对硅片进行检验，去除不合格的硅片；
b、制绒：对硅片进行清洗制绒，清除表面损伤层和污染层，并形成金字塔结构的绒面；
c、扩散：将硅片放入到石英舟中，将石英舟放入到扩散炉中进行扩散；
d、刻蚀：通过湿法刻蚀设备对硅片进行刻蚀；
e、去PSG：将硅片进行表面去磷清洗，并用去离子水对硅片进行漂洗；
f、PECVD：将硅片放入到石墨舟中，将石墨舟放入到管式PECVD设备中进行镀膜，形成减反射膜；
g、丝网印刷：通过丝网印刷系统对硅片进行印刷；
h、烧结：将硅片放入到烧结设备中进行烧结，得到电池片；
i、测试分选：对电池片进行测试，按转换效率进行分级；
j、包装入库：将电池片进行包装、入库。
所述步骤c中采用的扩散源为POCl3。
所述步骤f中的减反射膜的厚度为75-80nm。
所述步骤g中的印刷具体过程为：首先进行背电极印刷并烘干，然后进行背电场印刷并烘干，最后进行正电极印刷。
所述步骤g中的丝网印刷系统包括机架，机架上设置输送装置、多个印刷装置、浆料搅拌装置和翻片装置，输送装置包括输送带。
采用以上结构，通过印刷装置将浆料搅拌装置配制好的浆料印刷在硅片上，使其形成背电极、背电场和正电极，在印刷过程中，通过翻片装置对硅片进行翻面。
所述浆料搅拌装置包括搅拌箱，搅拌箱固定在机架上，搅拌箱上部具有进料口，进料口处设置有电磁阀一，搅拌箱下部具有出料口，出料口处设置有电磁阀二，机架上固定有立柱，立柱上设置有升降座，且升降座位于搅拌箱的正上方，升降座和联动杆上端相连，联动杆下端伸入到搅拌箱内和定位架相连，定位架上设置有搅拌机构，升降座还与一能使其上下移动的驱动结构相连；搅拌机构包括呈L形的从动条、呈直角三角形的主动板、安装盘一、安装盘二、弹簧、动力电机一、驱动轮、导块一和导块二，导块一滑动设置在从动条一端上，导块一还与定位架一端相连，导块二滑动设置在从动条另一端上，导块二通过联杆和主动板相连，主动板包括长直边、短直边和斜边，主动板的斜边上还具有齿牙部，动力电机一固定在定位架另一端上，动力电机一的输出轴竖直设置，驱动轮固定在动力电机一的输出轴端部，且驱动轮与齿牙部相啮合，弹簧一端和从动条中部相连，弹簧另一端和定位架另一端相连，安装盘一通过转轴一连接在从动条中部，且安装盘一的侧部能与主动板的长直边相抵靠，安装盘一上固定有转动电机一，转动电机一的输出轴竖直向下，转动电机一的输出轴端部和搅拌轴一相连，搅拌轴一上具有螺旋搅拌片一，安装盘二通过转轴二连接在联杆上，且安装盘二的侧部能与从动条另一端相抵靠，安装盘二上固定有转动电机二，转动电机二的输出轴竖直向下，转动电机二的输出轴端部和搅拌轴二相连，搅拌轴二上具有螺旋搅拌片二，且螺旋搅拌片一与螺旋搅拌片二的旋向相反。
采用以上结构，将各类原料放入到搅拌箱内，控制转动电机一带动搅拌轴一转动，搅拌轴一带动螺旋搅拌片一转动，控制转动电机二带动搅拌轴二转动，搅拌轴二带动螺旋搅拌片二转动，同时，控制动力电机一带动驱动轮转动，驱动轮与齿牙部相啮合，使主动板来回移动，主动板通过联杆使从动条左右移动，随着主动板和从动条的移动，主动板可使安装盘一转动，而从动条可使安装盘二转动；同样，也可以通过驱动结构带动升降座上下移动，升降座通过联动杆带动定位架上下移动，从而螺旋搅拌片一和螺旋搅拌片二可将搅拌箱中的原料快速搅拌均匀，搅拌快速。
所述从动条一端还固定有横向推送板，主动板的短直边上还固定有竖向推送板。
采用以上结构，通过横向推送板可对搅拌箱内的原料左右推送，通过竖向推送板可对搅拌箱内的原料来回推送，推送效果好。
所述驱动结构包括导轨一、滑块一、齿条一、齿轮一和驱动电机一，导轨一竖直固定在立柱上，滑块一设置在导轨一上，齿条一竖直固定在立柱上，且齿条一与导轨一相互平行，驱动电机一固定在滑块一上，驱动电机一的输出轴水平设置，齿轮一固定在驱动电机一的输出轴端部，且齿轮一与齿条一相啮合，升降座固定在滑块一上。
当需要使升降座上下移动时，控制驱动电机一的输出轴转动，驱动电机一的输出轴带动齿轮一转动，齿轮一与齿条一相啮合，使滑块一沿着导轨一上下移动，滑块一带动升降座上下移动，从而可使升降座上下移动。
所述导轨一两端还固定有限位块。
采用以上结构，通过限位块可对滑块一上下移动时进行有效限位。
所述出料口处还连接有输送管，输送管上设置有输送泵。
采用以上结构，通过输送管可将搅拌箱中搅拌好的浆料输送到印刷装置处。
所述搅拌箱侧部还具有观察口，观察口处设置有透明的观察板。
所述安装盘一上还竖直固定有若干辅助杆一，辅助杆一上具有呈倾斜布置的若干辅助片一，且辅助片一的尺寸由上至下依次递减，安装盘二上还竖直固定有若干辅助杆二，辅助杆二上具有呈倾斜布置的若干辅助片二，且辅助片二的尺寸由上至下依次递增。
采用以上结构，由于安装盘一和安装盘二可相对搅拌箱来回转动，螺旋搅拌片一可将原料由下向上输送，螺旋搅拌片二可将原料由上向下输送，配合尺寸由上至下依次递减的辅助片一和尺寸由上至下依次递增的辅助片二，可减少各原料搅拌所需的时间，辅助方便。
所述翻片装置包括安装架、驱动轴和翻转盘，安装架固定在机架上，驱动轴水平设置在安装架中部，且驱动轴位于输送带正上方，驱动轴一端与一能带动其转动的动力结构相连，驱动轴另一端和翻转盘相连，翻转盘上开设有若干定位槽，且定位槽呈均匀布置，安装架两端还分别设置有一个清理结构，清理结构包括支撑杆、限位导条、活动块一、活动块二、调节杆一、调节杆二、气泵和可伸缩的吹气软管，支撑杆固定在安装架两端，限位导条水平固定在支撑杆上，活动块一和活动块二分别设置在限位导条两端，调节杆一的上端和活动块一转动连接，调节杆一的下端和联动板一端转动连接，调节杆二的上端和活动块二转动连接，调节杆二的下端和联动板另一端转动连接，且调节杆二与调节杆一形成倒八字形结构，吹气软管一端和调节杆一相连，吹气软管另一端和调节杆二相连，吹气软管侧部开设在有若干出气孔，且出气孔倾斜朝下，吹气软管中部通过连管和气泵相连通，气泵固定在支撑杆上，联动板还与一能使其上下移动的驱动组件相连。
采用以上结构，通过输送带将硅片逐个输送到翻转盘的定位槽内，通过动力结构带动驱动轴转动，驱动轴带动翻转盘转动，翻转盘将硅片逐步翻转，使其翻转180°，再通过输送带将硅片从翻转盘上逐个输出，通过翻转盘角度的变化，减少了硅片的破损率，提高了产品质量，翻片效果好；由于在安装架两端分别设置有清理结构，可对硅片的正面和反面进行除尘，通过驱动组件带动联动板上下移动，联动板带动调节杆一和调节杆二摆动，从而可调节吹气软管形成的角度，吹气软管将硅片上的粉尘由中间向两侧吹扫，清理可靠。
所述连管上还设置有气流调节阀。
采用以上结构，通过气流调节阀可对连管内的气流大小进行调节。
所述动力结构包括安装板、动力电机二和减速箱，安装板固定在安装架上，减速箱固定在安装板上，减速箱的输入端和动力电机二的输出轴相连，减速箱的输出端通过联轴器和驱动轴一端相连。
当需要使驱动轴逐步转动时，控制动力电机二的输出轴逐步转动，动力电机二通过减速箱带动驱动轴逐步转动，从而可使驱动轴逐步转动。
所述驱动组件包括安装条、导轨二、滑块二、齿轮二、齿条二和驱动电机二，安装条固定在支撑杆上，导轨二竖直固定在安装条上，滑块二设置在导轨二上，齿条二竖直固定在安装条上，驱动电机二固定在滑块二上，驱动电机二的输出轴水平设置，齿轮二固定在驱动电机二的输出轴端部，且齿轮二与齿条二相啮合，联动板和滑块二相连。
当需要使联动板上下移动时，控制驱动电机二的输出轴转动，驱动电机二的输出轴带动齿轮二转动，齿轮二与齿条二相啮合，使滑块二沿着导轨二上下移动，滑块二带动联动板上下移动，从而可使联动板上下移动。
所述翻转盘的数量为两个。
所述定位槽底部具有橡胶防护垫。
采用以上结构，通过橡胶防护垫的缓冲作用，在硅片与翻转盘接触时，可避免硅片损伤。
与现有技术相比，本太阳能电池片的制备方法具有该优点：本发明中通过检验、制绒、扩散、刻蚀、去PSG、PECVD、丝网印刷、烧结、测试分选和包装入库等操作，就可实现太阳能电池片的制备，制备简便。
附图说明
图1是本制备方法的步骤示意图。
图2是丝网印刷系统中浆料搅拌装置的平面结构示意图。
图3是丝网印刷系统中浆料搅拌装置拆去部分的平面结构示意图。
图4是丝网印刷系统中浆料搅拌装置拆去部分的立体结构示意图。
图5是丝网印刷系统中翻片装置的立体结构示意图。
图6是丝网印刷系统中翻片装置拆去部分的平面结构示意图。
图中，1、机架；2、搅拌箱；2a、进料口；2b、出料口；3、输送管；4、输送泵；5、电磁阀二；6、观察板；7、电磁阀一；8、联动杆；9、升降座；10、滑块一；11、导轨一；12、限位块；13、驱动电机一；14、齿轮一；15、齿条一；16、立柱；17、从动条；18、导块二；19、导块一；20、安装盘一；21、动力电机一；22、驱动轮；24、主动板；24a、齿牙部；25、联杆；26、安装盘二；27、竖向推送板；28、螺旋搅拌片二；29、搅拌轴二；30、转动电机二；31、螺旋搅拌片一；32、搅拌轴一；33、转动电机一；34、横向推送板；35、定位架；36、弹簧；37、辅助片二；38、辅助杆二；39、辅助片一；40、辅助杆一；42、安装架；43、输送带；44、支撑杆；45、翻转盘；45a、定位槽；47、动力电机二；48、减速箱；49、安装板；50、联轴器；51、驱动轴；52、气泵；53、滑块二；54、驱动电机二；55、导轨二；56、调节杆二；57、活动块二；58、安装条；59、限位导条；60、活动块一；61、调节杆一；62、齿条二；63、齿轮二；64、吹气软管；65、联动板；66、连管；67、气流调节阀。
具体实施方式
以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。
如图1所示，本太阳能电池片的制备方法，包括如下步骤：
a、检验：对硅片进行检验，去除不合格的硅片，在本实施例中，检测的内容为：硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹；
b、制绒：对硅片进行清洗制绒，清除表面损伤层和污染层，并形成金字塔结构的绒面；
c、扩散：将硅片放入到石英舟中，将石英舟放入到扩散炉中进行扩散；
d、刻蚀：通过湿法刻蚀设备对硅片进行刻蚀；
e、去PSG：将硅片进行表面去磷清洗，并用去离子水对硅片进行漂洗；
f、PECVD：将硅片放入到石墨舟中，将石墨舟放入到管式PECVD设备中进行镀膜，形成减反射膜；
g、丝网印刷：通过丝网印刷系统对硅片进行印刷；
h、烧结：将硅片放入到烧结设备中进行烧结，得到电池片；
i、测试分选：对电池片进行测试，按转换效率进行分级；
j、包装入库：将电池片进行包装、入库。
步骤c中采用的扩散源为POCl3。
步骤f中的减反射膜的厚度为75-80nm；在本实施例中，步骤f中的减反射膜的厚度为78nm。
步骤g中的印刷具体过程为：首先进行背电极印刷并烘干，然后进行背电场印刷并烘干，最后进行正电极印刷。
如图2-图6所示，步骤g中的丝网印刷系统包括机架1，机架1上设置输送装置、多个印刷装置、浆料搅拌装置和翻片装置，输送装置包括输送带43；在本实施例中，印刷装置的数量为三个，印刷装置和输送带43采用的是现有技术，印刷装置可采用如专利号中的201721778032X中现有结构；通过印刷装置将浆料搅拌装置配制好的浆料印刷在硅片上，依次形成背电极、背电场和正电极，在印刷过程中，通过翻片装置对硅片进行翻面。
浆料搅拌装置包括搅拌箱2，搅拌箱2固定在机架1上，搅拌箱2上部具有进料口2a，进料口2a处设置有电磁阀一7，搅拌箱2下部具有出料口2b，出料口2b处设置有电磁阀二5，机架1上固定有立柱16，在本实施例中，机架1上通过焊接的方式固定有立柱16；立柱16上设置有升降座9，且升降座9位于搅拌箱2的正上方，升降座9和联动杆8上端相连，联动杆8下端伸入到搅拌箱2内和定位架35相连，定位架35上设置有搅拌机构，升降座9还与一能使其上下移动的驱动结构相连；搅拌机构包括呈L形的从动条17、呈直角三角形的主动板24、安装盘一20、安装盘二26、弹簧36、动力电机一21、驱动轮22、导块一19和导块二18，导块一19滑动设置在从动条17一端上，导块一19还与定位架35一端相连，在本实施例中，导块一19通过螺栓连接的方式还与定位架35一端相连；导块二18滑动设置在从动条17另一端上，导块二18通过联杆25和主动板24相连，主动板24包括长直边、短直边和斜边，主动板24的斜边上还具有齿牙部24a，动力电机一21固定在定位架35另一端上，在本实施例中，动力电机一21通过螺栓连接的方式固定在定位架35另一端上；动力电机一21的输出轴竖直设置，驱动轮22固定在动力电机一21的输出轴端部，在本实施例中，驱动轮22通过键连接的方式固定在动力电机一21的输出轴端部；且驱动轮22与齿牙部24a相啮合，弹簧36一端和从动条17中部相连，弹簧36另一端和定位架35另一端相连，安装盘一20通过转轴一连接在从动条17中部，且安装盘一20的侧部能与主动板24的长直边相抵靠，安装盘一20上固定有转动电机一33，在本实施例中，安装盘一20上通过螺栓连接的方式固定有转动电机一33；转动电机一33的输出轴竖直向下，转动电机一33的输出轴端部和搅拌轴一32相连，搅拌轴一32上具有螺旋搅拌片一31，安装盘二26通过转轴二连接在联杆25上，且安装盘二26的侧部能与从动条17另一端相抵靠，安装盘二26上固定有转动电机二30，在本实施例中，安装盘二26上通过螺栓连接的方式固定有转动电机二30；转动电机二30的输出轴竖直向下，转动电机二30的输出轴端部和搅拌轴二29相连，搅拌轴二29上具有螺旋搅拌片二28，且螺旋搅拌片一31与螺旋搅拌片二28的旋向相反。
从动条17一端还固定有横向推送板34，主动板24的短直边上还固定有竖向推送板27；采用该结构，通过横向推送板34可对搅拌箱2内的原料左右推送，通过竖向推送板27可对搅拌箱2内的原料来回推送，推送效果好。
驱动结构包括导轨一11、滑块一10、齿条一15、齿轮一14和驱动电机一13，导轨一11竖直固定在立柱16上，滑块一10设置在导轨一11上，齿条一15竖直固定在立柱16上，且齿条一15与导轨一11相互平行，驱动电机一13固定在滑块一10上，在本实施例中，驱动电机一13通过螺栓连接的方式固定在滑块一10上；驱动电机一13的输出轴水平设置，齿轮一14固定在驱动电机一13的输出轴端部，在本实施例中，齿轮一14通过键连接的方式固定在驱动电机一13的输出轴端部；且齿轮一14与齿条一15相啮合，升降座9固定在滑块一10上；在本实施例中，升降座9通过螺栓连接的方式固定在滑块一10上。
导轨一11两端还固定有限位块12；在本实施例中，导轨一11两端通过螺栓连接的方式还固定有限位块12；采用该结构，通过限位块12可对滑块一10上下移动时进行有效限位。
出料口2b处还连接有输送管3，输送管3上设置有输送泵4；采用该结构，通过输送管3可将搅拌箱2中搅拌好的浆料输送到印刷装置处。
搅拌箱2侧部还具有观察口，观察口处设置有透明的观察板6。
安装盘一20上还竖直固定有若干辅助杆一40，在本实施例中，辅助杆一40的数量为三根；辅助杆一40上具有呈倾斜布置的若干辅助片一39，在本实施例中，每根辅助杆一40上具有辅助片一39的数量为三片；且辅助片一39的尺寸由上至下依次递减，安装盘二26上还竖直固定有若干辅助杆二38，在本实施例中，辅助杆二38的数量为三根；辅助杆二38上具有呈倾斜布置的若干辅助片二37，在本实施例中，每根辅助杆二38上具有辅助片二37的数量为三片；且辅助片二37的尺寸由上至下依次递增；采用该结构，由于安装盘一20和安装盘二26可相对搅拌箱2来回转动，螺旋搅拌片一31可将原料由下向上输送，螺旋搅拌片二28可将原料由上向下输送，配合尺寸由上至下依次递减的辅助片一39和尺寸由上至下依次递增的辅助片二37，可减少各原料搅拌所需的时间，辅助方便。
采用该结构，将各类原料放入到搅拌箱2内，控制转动电机一33带动搅拌轴一32转动，搅拌轴一32带动螺旋搅拌片一31转动，控制转动电机二30带动搅拌轴二29转动，搅拌轴二29带动螺旋搅拌片二28转动，同时，控制动力电机一21带动驱动轮22转动，驱动轮22与齿牙部24a相啮合，使主动板24来回移动，主动板24通过联杆25使从动条17左右移动，随着主动板24和从动条17的移动，主动板24可使安装盘一20转动，而从动条17可使安装盘二26转动；同样，也可以控制驱动电机一13带动齿轮一14转动，齿轮一14与齿条一15相啮合，使滑块一10沿着导轨一11上下移动，滑块一10带动升降座9上下移动，升降座9通过联动杆8带动定位架35上下移动，从而螺旋搅拌片一31和螺旋搅拌片二28可将搅拌箱2中的原料快速搅拌均匀。
翻片装置包括安装架42、驱动轴51和翻转盘45，翻转盘45的数量为两个；安装架42固定在机架1上，在本实施例中，安装架42通过螺栓连接的方式固定在机架1上；驱动轴51水平设置在安装架42中部，且驱动轴51位于输送带43正上方，驱动轴51一端与一能带动其转动的动力结构相连，驱动轴51另一端和翻转盘45相连，翻转盘45上开设有若干定位槽45a，在本实施例中，定位槽45a的数量为十个，单次翻转角度为36°；且定位槽45a呈均匀布置，安装架42两端还分别设置有一个清理结构，在本实施例中，清理结构的数量为两个；清理结构包括支撑杆44、限位导条59、活动块一60、活动块二57、调节杆一61、调节杆二56、气泵52和可伸缩的吹气软管64，在本实施例中，吹气软管64采用市场上可以买到的现有产品；支撑杆44固定在安装架42两端，限位导条59水平固定在支撑杆44上，活动块一60和活动块二57分别设置在限位导条59两端，调节杆一61的上端和活动块一60转动连接，调节杆一61的下端和联动板65一端转动连接，调节杆二56的上端和活动块二57转动连接，调节杆二56的下端和联动板65另一端转动连接，且调节杆二56与调节杆一61形成倒八字形结构，吹气软管64一端和调节杆一61相连，吹气软管64另一端和调节杆二56相连，吹气软管64侧部开设在有若干出气孔，在本实施例中，出气孔的数量为二十个；且出气孔倾斜朝下，吹气软管64中部通过连管66和气泵52相连通，气泵52固定在支撑杆44上，联动板65还与一能使其上下移动的驱动组件相连。
连管66上还设置有气流调节阀67；采用该结构，通过气流调节阀67可对连管66内的气流大小进行调节。
动力结构包括安装板49、动力电机二47和减速箱48，在本实施例中，减速箱48的型号为：PLE-060-5-S2-P2，此型号减速箱48可保证单次翻片角度为36°；安装板49固定在安装架42上，在本实施例中，安装板49通过螺栓连接的方式固定在安装架42上；减速箱48固定在安装板49上，减速箱48的输入端和动力电机二47的输出轴相连，减速箱48的输出端通过联轴器50和驱动轴51一端相连。
驱动组件包括安装条58、导轨二55、滑块二53、齿轮二63、齿条二62和驱动电机二54，安装条58固定在支撑杆44上，在本实施例中，安装条58通过螺栓连接的方式固定在支撑杆44上；导轨二55竖直固定在安装条58上，滑块二53设置在导轨二55上，齿条二62竖直固定在安装条58上，驱动电机二54固定在滑块二53上，驱动电机二54的输出轴水平设置，齿轮二63固定在驱动电机二54的输出轴端部，且齿轮二63与齿条二62相啮合，联动板65和滑块二53相连。
定位槽45a底部具有橡胶防护垫；采用该结构，通过橡胶防护垫的缓冲作用，在硅片与翻转盘45接触时，可避免硅片损伤。
采用该结构，通过输送带43将硅片逐个输送到翻转盘45的定位槽45a内，控制动力电机二47通过减速箱48带动驱动轴51逐步转动，驱动轴51带动翻转盘45逐步转动，翻转盘45将硅片逐步翻转，使其翻转180°，通过输送带43将硅片从翻转盘45上逐个输出，通过翻转盘45角度的变化，减少了硅片的破损率，提高了产品质量，翻片效果好；由于在安装架42两端分别设置有清理结构，可对硅片的正面和反面进行除尘，控制驱动电机二54带动齿轮二63转动，齿轮二63与齿条二62相啮合，使滑块二53沿着导轨二55上下移动，滑块二53带动联动板65上下移动，联动板65带动调节杆一61和调节杆二56摆动，从而可调节吹气软管64形成的角度，吹气软管64将硅片上的粉尘由中间向两侧吹扫。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
Claims (5)
1.一种太阳能电池片的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
a、检验：对硅片进行检验，去除不合格的硅片；
b、制绒：对硅片进行清洗制绒，清除表面损伤层和污染层，并形成金字塔结构的绒面；
c、扩散：将硅片放入到石英舟中，将石英舟放入到扩散炉中进行扩散；
d、刻蚀：通过湿法刻蚀设备对硅片进行刻蚀；
e、去PSG：将硅片进行表面去磷清洗，并用去离子水对硅片进行漂洗；
f、PECVD：将硅片放入到石墨舟中，将石墨舟放入到管式PECVD设备中进行镀膜，形成减反射膜；所述步骤f中的减反射膜的厚度为75-80nm；
g、丝网印刷：通过丝网印刷系统对硅片进行印刷；所述步骤g中的印刷具体过程为：首先进行背电极印刷并烘干，然后进行背电场印刷并烘干，最后进行正电极印刷；所述步骤g中的丝网印刷系统包括机架架，机架上设置输送装置、多个印刷装置、浆料搅拌装置和翻片装置，输送装置包括输送带；所述浆料搅拌装置包括搅拌箱，搅拌箱固定在机架上，搅拌箱上部具有进料口，进料口处设置有电磁阀一，搅拌箱下部具有出料口，出料口处设置有电磁阀二，机架上固定有立柱，立柱上设置有升降座，且升降座位于搅拌箱的正上方，升降座和联动杆上端相连，联动杆下端伸入到搅拌箱内和定位架相连，定位架上设置有搅拌机构，升降座还与一能使其上下移动的驱动结构相连；搅拌机构包括呈L形的从动条、呈直角三角形的主动板、安装盘一、安装盘二、弹簧、动力电机一、驱动轮、导块一和导块二，导块一滑动设置在从动条一端上，导块一还与定位架一端相连，导块二滑动设置在从动条另一端上，导块二通过联杆和主动板相连，主动板包括长直边、短直边和斜边，主动板的斜边上还具有齿牙部，动力电机一固定在定位架另一端上，动力电机一的输出轴竖直设置，驱动轮固定在动力电机一的输出轴端部，且驱动轮与齿牙部相啮合，弹簧一端和从动条中部相连，弹簧另一端和定位架另一端相连，安装盘一通过转轴一连接在从动条中部，且安装盘一的侧部能与主动板的长直边相抵靠，安装盘一上固定有转动电机一，转动电机一的输出轴竖直向下，转动电机一的输出轴端部和搅拌轴一相连，搅拌轴一上具有螺旋搅拌片一，安装盘二通过转轴二连接在联杆上，且安装盘二的侧部能与从动条另一端相抵靠，安装盘二上固定有转动电机二，转动电机二的输出轴竖直向下，转动电机二的输出轴端部和搅拌轴二相连，搅拌轴二上具有螺旋搅拌片二，且螺旋搅拌片一与螺旋搅拌片二的旋向相反；
h、烧结：将硅片放入到烧结设备中进行烧结，得到电池片；
i、测试分选：对电池片进行测试，按转换效率进行分级；
j、包装入库：将电池片进行包装、入库。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池片的制备方法，其特征在于，所述步骤c中采用的扩散源为POCl3。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池片的制备方法，其特征在于，所述从动条一端还固定有横向推送板，主动板的短直边上还固定有竖向推送板。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池片的制备方法，其特征在于，所述驱动结构包括导轨一、滑块一、齿条一、齿轮一和驱动电机一，导轨一竖直固定在立柱上，滑块一设置在导轨一上，齿条一竖直固定在立柱上，且齿条一与导轨一相互平行，驱动电机一固定在滑块一上，驱动电机一的输出轴水平设置，齿轮一固定在驱动电机一的输出轴端部，且齿轮一与齿条一相啮合，升降座固定在滑块一上。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池片的制备方法，其特征在于，所述安装盘一上还竖直固定有若干辅助杆一，辅助杆一上具有呈倾斜布置的若干辅助片一，且辅助片一的尺寸由上至下依次递减，安装盘二上还竖直固定有若干辅助杆二，辅助杆二上具有呈倾斜布置的若干辅助片二，且辅助片二的尺寸由上至下依次递增。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811359782.2A CN109616549B (zh) | 2018-11-15 | 2018-11-15 | 一种太阳能电池片的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811359782.2A CN109616549B (zh) | 2018-11-15 | 2018-11-15 | 一种太阳能电池片的制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109616549A CN109616549A (zh) | 2019-04-12 |
| CN109616549B true CN109616549B (zh) | 2020-05-01 |
Family
ID=66004425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811359782.2A Active CN109616549B (zh) | 2018-11-15 | 2018-11-15 | 一种太阳能电池片的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109616549B (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111270222B (zh) * | 2020-02-10 | 2021-01-15 | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 | 一种TOPCon电池双面镀膜设备 |
| CN111489995B (zh) * | 2020-04-25 | 2021-01-05 | 一道新能源科技(衢州)有限公司 | 太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺 |
| CN113451440B (zh) * | 2021-06-10 | 2022-09-06 | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 | 一种黑硅电池片的生产方法 |
| CN116014023A (zh) * | 2022-10-27 | 2023-04-25 | 通威太阳能（安徽）有限公司 | 太阳电池的制备方法及制备系统 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102974242B (zh) * | 2012-11-29 | 2015-01-07 | 成都硅宝科技股份有限公司 | 刮壁式高速分散搅拌机 |
| CN103594558B (zh) * | 2013-11-19 | 2015-10-07 | 金陵科技学院 | 一种高效率太阳能电池的制备方法 |
| CN203990389U (zh) * | 2014-05-14 | 2014-12-10 | 黄山新力油墨科技有限公司 | 一种油墨搅拌机 |
| CN104900761A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-09-09 | 安徽旭能光伏电力有限公司 | 一种晶体硅太阳能电池生产工艺 |
| CN204732429U (zh) * | 2015-07-03 | 2015-10-28 | 陈�光 | 一种晶硅太阳能电池片的生产设备 |
| CN107579136B (zh) * | 2017-09-15 | 2019-03-22 | 浙江德西瑞新能源科技股份有限公司 | 一种太阳能电池片的制作工艺 |
| CN207722716U (zh) * | 2017-12-14 | 2018-08-14 | 罗翠娜 | 一种锂电池正极浆料的搅拌装置 |
| CN108529888A (zh) * | 2018-04-02 | 2018-09-14 | 海宁市丁桥镇永畅知识产权服务部 | 耐高温铝浆用玻璃粉的制备方法 |
-
2018
- 2018-11-15 CN CN201811359782.2A patent/CN109616549B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109616549A (zh) | 2019-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109616549B (zh) | 一种太阳能电池片的制备方法 | |
| US9793421B2 (en) | Systems, methods and apparatus for precision automation of manufacturing solar panels | |
| KR100899348B1 (ko) | 태양전지용 스크린 인쇄 장치 | |
| KR20110020272A (ko) | 차세대 스크린 프린팅 시스템 | |
| KR102351390B1 (ko) | 태양광 모듈 부분 박리장치 | |
| CN102610691A (zh) | 薄膜太阳能电池模组的制备方法及其设备 | |
| CN110465763B (zh) | 一种电池板与汇流条焊接设备 | |
| CN106169521B (zh) | 一种晶体硅太阳能电池加工的去磷硅玻璃加工生产线 | |
| CN109545886B (zh) | 一种半片多晶太阳电池的制备方法 | |
| CN107622967B (zh) | 一种光伏硅晶电池片花篮输出姿态变换机构 | |
| KR101138250B1 (ko) | 솔라 셀 웨이퍼 워킹 빔 장치 | |
| CN106098849A (zh) | 花篮夹持机构、花篮搬运机器人及其搬运方法 | |
| CN207158703U (zh) | 悬臂式硅片碳框载板升降系统 | |
| CN109607186B (zh) | 一种工件移栽智能设备及工件移栽方法 | |
| CN114300399A (zh) | 光伏电池表面钝化膜生产设备 | |
| CN213905317U (zh) | 基于z字型伸缩式微动摇摆晶圆充分干燥装置 | |
| CN110434484A (zh) | 一种太阳能发电系统生产用电池板基片检测与修边系统 | |
| CN109969786A (zh) | 一种托盘清洗机 | |
| CN109360868B (zh) | 一种太阳能电池片的加工生产线 | |
| CN213415219U (zh) | 一种混凝土加气砖生产用刮料装置 | |
| CN210254730U (zh) | 晶硅电池片自动切割系统 | |
| CN202308008U (zh) | 一种生产太阳能电池片的烧结炉网带自动擦洗装置 | |
| CN211062732U (zh) | 一种太阳能电池板排版机 | |
| KR101522538B1 (ko) | 솔라 웨이퍼의 카세트 이송용 로봇 | |
| CN110459645B (zh) | 电池板与汇流条的焊接方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |