CN111489995B - 太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺 - Google Patents
太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111489995B CN111489995B CN202010335571.6A CN202010335571A CN111489995B CN 111489995 B CN111489995 B CN 111489995B CN 202010335571 A CN202010335571 A CN 202010335571A CN 111489995 B CN111489995 B CN 111489995B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon wafer
- turnover
- air
- boosting
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 233
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 233
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 233
- 230000007306 turnover Effects 0.000 title claims abstract description 120
- 238000007639 printing Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title claims description 192
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 20
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 42
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 25
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 18
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 18
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 13
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 13
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 9
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 9
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 9
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 8
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 8
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 6
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 6
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 5
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000007888 film coating Substances 0.000 claims description 3
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims description 3
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 3
- 239000011435 rock Substances 0.000 claims description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 125
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 24
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 5
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000013082 photovoltaic technology Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67718—Changing orientation of the substrate, e.g. from a horizontal position to a vertical position
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1804—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic System
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Abstract
本发明涉及一种太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺，采用本发明的翻转机构不仅不会对硅片造成磨损，在翻面的过程中，还可以对硅片进行预热，保证上一工序对硅片的印刷效果，从而保证硅片的生产效率以及生产质量。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产技术领域，特别涉及一种太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺。
背景技术
近年来，光伏技术发展迅速、应用范围广，市场对高功率组件的需求量也日益增加。
太阳能电池片（也称太阳能电池硅片）作为各种设备的用电源，对其的材质以及制作工艺要求极高，其中，二次印刷技术作为太阳能电池片生产过程的重要工艺，其对太阳能电池片“翻面”要求极为苛刻，在“翻面”的过程中既要确保稳定性，还要避免对太阳能电池片产生磨损，现有的运输装置在运输甚至是翻转（即：对太阳能电池片进行翻面）太阳能电池片时无法同时满足这些要求，现有的翻转装置能够做的，只是将用于夹持太阳能电池片的“间隙”做到与太阳能电池硅片足够匹配来保证，但是，这种做法却不长久，在前期会对硅片造成比较严重的磨损，在设备使用一段时间后，其“间隙”会逐渐的增大，同时也无法确保对太阳能电池片的正常“翻面”（即：在对硅片翻面时无法固定硅片），容易影响对太阳能电池片的生产质量。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺，旨在解决上述背景技术中出现的问题。
本发明的技术方案是这样实现的：一种太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置，其特征在于：包括具有若干个供硅片放置的翻板槽的翻转机构、设于所述翻转机构两侧且用于单向运输硅片并与翻转机构进行硅片传递交互的第一输送带和第二输送带以及用于吸附硅片并将硅片紧固在翻板槽内的吸气机构。
优选为：所述翻转机构包括翻转电机、通过所述翻转电机驱动的转轴以及与所述转轴固定连接的转盘；其中，所述转盘上开设有若干个所述翻板槽，所述翻板槽包括顶面、底面以及连接顶面和底面的弧形面；所述转轴内部以及转盘内部分别设有若干条一一对应且相互连通的第一吸气腔和第二吸气腔，所述第一吸气腔一端自所述转轴的一端贯穿；所述翻板槽的底面上设有若干个与所述第二吸气腔连通的吸孔。
优选为：所述吸气机构包括抽气装置以及与所述抽气装置输入端连通的抽气主管；所述抽气主管的输入端形成一个第一节点，并由该第一节点分别串联若干根与所述第一吸气腔一一对应且连通的抽气分管；所述抽气主管或/和各抽气分管上设有一与外界连通的抽气外管。
优选为：所述转轴内部以及转盘内部分别还设有若干条一一对应且相互连通的第一喷气腔和第二喷气腔，所述第一喷气腔的一端贯穿所述转轴的一端，所述翻板槽的顶面设有若干个所述第二喷气腔连通的喷孔；还包括用于向各喷孔输送气体的供气机构；所述供气机构包括供气装置以及与所述供气装置输出端连通的供气主管；所述供气主管的输出端形成一个第二节点，并由该第二节点分别串联若干根与各第一喷气腔一一对应且连通的供气分管。
优选为：还包括用于接收抽气装置输出端排出的气体且用于向供气装置提供气体的储气箱以及用于向储气箱供热的加热器。
优选为：所述第一输送带和第二输送带均通过输送电机驱动；其中，还包括用于同时控制输送电机和翻转电机的同步控制系统；所述同步控制系统包括分别用于控制翻转电机和输送电机的第一控制器和第二控制器以及用于控制第一控制器的控制单元，且所述第一控制器和第二控制器之间的通信接口，配置成在联接模式下运行第一控制器和第二控制器；在联接模式下，所述控制单元向第一控制器发送电信号，所述第一控制器基于该电信号控制翻转电机驱动转轴转动，并同时由第一控制器向第二控制器发送电信号，所述第二控制器基于第一控制器发送的电信号控制输送电机驱动第一输送带和第二输送带运行。
优选为：所述翻板槽的弧形面和底面分别设有助推孔和定位孔，所述转轴内部和转盘内部分别设有若干条一一对应且连通的助推分腔，各对应的助推分腔相互连通且形成向助推孔或定位孔输送气体的助推主腔；还包括助推机构，所述助推机构包括助推供气装置、具有一个输入端和若干个输出端且用于切换气流方向的控制阀、连接于所述控制阀输入端与供气装置输出端之间的助推主管以及连接于控制阀各输出端与各助推主腔输入端之间助推分管。
此外，本发明还提供一种太阳能电池硅片的生产工艺，其使用上述的翻转运输装置，其特征在于，包括如下步骤：
S1检验：准备硅片，并对硅片进行检验，去除不合格的硅片；
S2制绒：对硅片进行清洗制绒，清除表面损伤层和污染层，并形成金字塔结构的绒面；
S3扩散：将硅片放入石英舟中，将石英舟放入到扩散炉中进行扩散；
S4去背面PSG：对硅片的背面进行去磷清洗；
S5蚀刻：通过湿法蚀刻设备对硅片进行蚀刻；
S6去正面PSG：对硅片的正面进行去磷清洗，并用离子水对硅片进行漂洗；
S7PECVD镀膜：将硅片放入至石墨舟中，将石墨舟放入管式PECVD设备中进行镀膜，形成减反射膜；
S8丝网正面印刷：通过丝网印刷机对镀膜后的硅片正面进行印刷，印刷完成后，通过第一输送带输送至翻板槽内；
S9硅片翻面：当硅片进入翻板槽内，抽气装置启动，并利用抽气主管和抽气分管将第一吸气腔和第二吸气腔内的气体吸走，使得吸孔内形成负压，从而将硅片吸附在翻板槽的底面，当翻转电机驱动转盘旋转时，硅片从第一输送带一侧移动至第二输送带一侧完成翻面，并在硅片与第二输送带接触时，抽气装置停止，吸孔内的负压消失，硅片通过第二输送带的传输离开翻板槽；
S10丝网反面印刷：第二输送带将硅片运输至丝网印刷机处，并利用丝网印刷机对硅片反面进行印刷；
S11烧结：将印刷后的硅片放入至烧结设备中进行烧结，得到多晶太阳能电池片；
S12划片：通过激光划片机对多晶太阳能电池片背面进行切割，形成切槽，切槽深度为80-120μm；
S13裂片：通过电池片裂片机对多晶太阳能电池片沿切槽处进行裂片，形成半片多晶太阳能电池片；
S14钝化：通过钝化装置对多晶太阳能电池片新生成切割面进行钝化，形成钝化膜；
S15测试分选：对半片多晶太阳能电池片进行测试，按电流和功率的大小进行分类、包装。
优选为：在S9步骤中，供气装置启动，将储气箱内的热气通过供气主管和供气分管送入第一喷气腔和第二喷气腔内，并通过翻板槽顶面设置的喷孔喷至硅片的表面，利用喷出的热气对硅片进行预热，提高硅片的印刷效果。
优选为：在S9步骤中，硅片通过助推模式将硅片从翻板槽内送至第二输送带上；其中，所述助推模式为：当硅片从靠近第一输送带一侧移动至靠近第二输送带一侧时，抽气装置停止，此时，吸孔内失去负压，硅片掉落至翻板槽的顶面上，助推供气装置启动，调节控制阀，使得气体通过助推主腔先从定位孔处喷出，将硅片压在翻板槽的顶面上，避免其晃动，当硅片快与第二输送带接触时再次调节控制阀，使得气体通过助推主腔从助推孔处喷出，助推孔喷出的气体给予硅片向第二输送带方向移动的推力，使得硅片快速的移动至第二输送带上。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：
其一，本发明的翻板槽的槽宽（即：翻板槽顶面到底面的距离）设置太阳能电池硅片（以下简称硅片）的厚度要大，因此，当硅片从第一输送带进入翻板槽内时，不会与翻板槽之间产生较大的摩擦，从而来避免硅片磨损，保证硅片的生产质量；
其二，由于本发明的翻板槽的槽宽大于硅片的厚度，因此，在对硅片进行翻面的过程中，存在硅片晃动的可能性，基于此，本发明在翻板槽的底面上预留了吸孔，利用抽气装置对第一吸气腔和第二吸气腔进行抽气，使得吸孔内形成“负压”，从而将硅片吸附（或固定）在翻板槽内，避免其晃动，保证运输硅片的稳定性，从而保证硅片的输送效率和生产效率；
其三，基于第二点，本发明为了进一步保证硅片翻面的稳定性，即：为了避免硅片在翻板槽内晃动，本发明还设置了供气机构，即：采用供气装置将气体从翻板槽的顶面喷出，从而进一步的将硅片固定在翻板槽的底面，进一步保证硅片翻面的稳定性；
其四，基于第三点，供气装置向喷孔输送的气体为热气，即：储气箱内的气体可以通过加热器进行加热，其目的是对硅片的表面进行预热，保证硅片的印刷效果，从而保证硅片的质量；不仅如此，抽气装置排出的气体可以排入储气箱内，并且在抽气主管上预留了抽气外管，抽气外管可以与外界连通，其目的是，在抽气装置停止运行时，空气可以从抽气外管进入至第一吸气腔和第二吸气腔内消除吸孔内的“负压”，便于硅片传输，在抽气装置运行时，气体可以不断的通过抽气外管进入至储气箱内，保证储气箱内气体的含量，进而保证供气装置有气体输送至各喷孔处，保证抽气装置和供气装置正常的“气循环”；
其五，本发明为了提高第一输送带、第二输送带以及翻转机构运行的同步性，在翻转电机和输送电机之间设置了联接模式，即：第二控制器基于第一控制器发送的信号而控制输送电机启动，而第一控制器用于控制翻转电机，从而保证输送电机和翻转电机的同时启动和同时停止，进而保证第一输送带、第二输送带和转轴运行的同步性，从而避免转盘上的翻板槽与第一输送带或第二输送带出现“异常错位”，进而保证对硅片的正常运输，同时也避免损坏硅片；
其六，由于本发明的翻板槽的槽宽要大于硅片的厚度，而在硅片移动至靠近第二输送带一侧时，吸孔内的“负压”消失，硅片落在了翻板槽的顶面，此时，为了避免硅片晃动，助推供气装置启动，其先控制气体从定位孔喷出，将硅片紧紧的“压”在了翻板槽顶面，避免其晃动，当硅片与第二输送带接触时或者接触前一瞬间，定位孔停止喷气，助推孔喷出气体，并将硅片推动至第二输送带上，从而完成输送，其不仅能够保证硅片的正常输送，还能够避免硅片在“传递”时出现晃动，保证输送效率，降低硅片的磨损。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明具体实施例1的结构示意图；
图2为图1中的A向示意图；
图3为图2中的A-A剖视图；
图4为本发明具体实施例1中翻板槽底面的表面局部示意图；
图5为本发明具体实施例1中吸气机构的吸气原理图；
图6为本发明具体实施例2中吸气机构的吸气原理图；
图7为本发明具体实施例2中配气模块与转轴的配合示意图；
图8为图7中的B-B剖视图；
图9为本发明具体实施例3中转盘的截面示意图；
图10为本发明具体实施例3中翻板槽顶面的表面局部示意图；
图11为本发明具体实施例3中供气机构的供气原理图；
图12为本发明具体实施例4中第二配气模块与转轴的配合示意图；
图13为图12中的C-C剖视图；
图14为本发明具体实施例5中联接模式的原理框图；
图15为本发明具体实施例6中转盘的截面示意图；
图16为本发明具体实施例6中靠近第二输送带的翻板槽内部结构示意图；
图17为本发明具体实施例6中助推机构的供气原理图；
图18为本发明具体实施例7的生产工艺图；
图19为本发明具体实施例8的结构示意图；
图20为本发明具体实施例8中的联接模式的原理框图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1
如图1-图5所示，本发明公开了一种太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置，在本发明具体实施例中，包括具有若干个供硅片10放置的翻板槽20的翻转机构2、设于所述翻转机构2两侧且用于单向运输硅片10并与翻转机构2进行硅片10传递交互的第一输送带11和第二输送带12以及用于吸附硅片10并将硅片10紧固在翻板槽20内的吸气机构3。
在本发明具体实施例中，所述翻转机构2包括翻转电机21、通过所述翻转电机21驱动的转轴22以及与所述转轴22固定连接的转盘23；其中，所述转盘23上开设有若干个所述翻板槽20，所述翻板槽20包括顶面20a、底面20b以及连接顶面20a和底面20b的弧形面20c；所述转轴22内部以及转盘23内部分别设有若干条一一对应且相互连通的第一吸气腔221和第二吸气腔232，所述第一吸气腔221一端自所述转轴22的一端贯穿；所述翻板槽20的底面20b上设有若干个与所述第二吸气腔232连通的吸孔200b。
在本发明具体实施例中，所述吸气机构3包括抽气装置30以及与所述抽气装置30输入端连通的抽气主管31；所述抽气主管31的输入端形成一个第一节点31a，并由该第一节点31a分别串联若干根与所述第一吸气腔221一一对应且连通的抽气分管32；所述抽气主管31上设有一与外界连通的抽气外管33。
在本发明具体实施例中，所述抽气装置30可以是抽气泵
本实施例的原理是：
参考图1-图2，右侧为第一输送带，左侧为第二输送带，第一输送带上的硅片经过中部设置的翻板机构（对硅片进行翻面后）将硅片送至第二输送带上；
参考图3-图5，本实施例的翻面原理是：
硅片经由第一输送带的运输而插入翻板槽内，此时吸气机构工作，即：抽气泵工作，对抽气主管进行抽气，由于抽气主管与各抽气分管连通，抽气分管与第一吸气腔连通，第一吸气腔与第二吸气腔连通，而翻板槽底面设置的吸孔与第二吸气腔连通，因此，当抽气泵开始抽气时，第一吸气腔以及第二吸气腔内的气体被抽离，吸孔内部形成“负压”，从而将硅片固定在翻板槽内，从而保证硅片翻面以及运输的稳定性；
而本实施例采用一个抽气泵就能够同时对各第一吸气腔和第二吸气腔内进行吸气工作，可以节省能源；
抽气外管可以在抽气泵停止工作时，向第一吸气腔和第二吸气腔内补入空气，进而消除“负压”，使得硅片能够顺利的进入第二输送带上。
实施例2，同实施例1的不同之处在于
如图6-图8所示，在本发明具体实施例中，各抽气分管32可以通过第一配气模块34与第一吸气腔221的输出端连通。
在本发明具体实施例中，所述第一配气模块34可以包括与所述转轴22一端中心转动连接的连接轴340以及与连接轴340固定连接且形状为“扇形”的密封罩341，所述密封罩341靠近转轴22的一端设有凹腔344，且密封罩341与转轴22的接触面上设有密封圈342。
在本发明具体实施例中，所述密封罩341远离转轴22的一侧设有与各抽气分管32连通的接口343。
通过采用上述技术方案：
本实施例的原理是：
参考图7，本实施例设置的密封罩为“扇形”的，且其内部设置的凹腔只覆盖了转轴一端的“上半区域”，当转轴转动时，由于连接轴与转轴转动连接，因此密封罩会持续位于转轴的上班部分（可参考图7），转轴内部的第一吸气腔的输入端会间隔从凹腔经过，当翻板槽内存在硅片时，硅片经过转轴的转轴在转轴的上半部分活动，而密封罩正好笼罩转轴上半部分的第一吸气腔，因此，当对密封罩内的凹腔进行吸气时，位于转轴上半部分的硅片会紧紧的“吸附”在翻板槽的底面，当第一吸气腔离开凹腔时，第一吸气腔失去抽气泵对其的“抽气”，硅片松脱，并被第二传输带带离翻板槽；其优势在于：使得抽气泵有选择的对需要吸气的第一吸气腔进行“抽气”工序（即：被密封罩笼罩的第一吸气腔为需要吸气的；而未被密封罩笼罩的第一吸气腔则无需吸气，由于其对应的翻板槽内并没有硅片）。
实施例3，同实施例1的不同之处在于
如图9-图11所示，在本发明具体实施例中，所述转轴22内部以及转盘23内部分别还设有若干条一一对应且相互连通的第一喷气腔41和第二喷气腔42，所述第一喷气腔41的一端贯穿所述转轴22的一端，所述翻板槽20的顶面设2a有若干个与所述第二喷气腔42连通的喷孔43；还包括用于向各喷孔43输送气体的供气机构4；所述供气机构4包括供气装置44以及与所述供气装置44输出端连通的供气主管45；所述供气主管45的输出端形成一个第二节点45a，并由该第二节点45a分别串联若干根与各第一喷气腔41一一对应且连通的供气分管46。
在本发明具体实施例中，所述供气装置44可以是供气泵。
在本发明具体实施例中，还包括用于接收抽气装置30输出端排出的气体且用于向供气装置44提供气体的储气箱47以及用于向储气箱47供热的加热器48。
在本发明具体实施例中，所述加热器48可以是电加热器并且可以固定储气箱47的表面。
本实施例的原理是：
采用供气装置将气体从翻板槽的顶面喷出，从而进一步的将硅片固定在翻板槽的底面，从喷孔排出的气体直接吹在了翻板槽的硅片上，并进一步将硅片固定在翻板槽内（其供气原理可以参考实施例1的抽气原理，其气流流向与抽气原理的相反）；
本实施例的优势在于：
供气装置向喷孔输送的气体为热气，即：储气箱内的气体可以通过加热器进行加热，其目的是对硅片的表面进行预热，保证硅片的印刷效果（由于硅片经过翻面前需要进行印刷，在印刷后需要进行加热来保证硅片的印刷效果，而喷孔排出的热气直接吹向硅片，可以对硅片进行预热，从而保证硅片的印刷效果），从而保证硅片的质量；不仅如此，抽气装置排出的气体可以排入储气箱内，在抽气装置运行时，气体可以不断的通过抽气外管进入至储气箱内，保证储气箱内气体的含量，进而保证供气装置有气体输送至各喷孔处，保证抽气装置和供气装置正常的“气循环”。
实施例4，同实施例3的不同之处在于
如图12-图13所示，在本发明具体实施例中，各抽气分管32和供气分管46均可以第二配气模块49分别与第一吸气腔221的输出端以及第一喷气腔41的输入端连通。
在本发明具体实施例中，所述第二配气模块49可以包括与所述转轴22一端中心转动连接的第二连接轴490以及与第二连接轴490固定连接且形状为“扇形”的第二密封罩491，所述第二密封罩491靠近转轴22的一端设有两个间隔设置的第二凹腔492，且第二密封罩491与转轴22的接触面上设有第二密封圈493。
在本发明具体实施例中，所述密封罩491远离转轴22的一侧设有与各抽气分管32连通的第一接口4911以及与供气分管46连接的第二接口4912，所述第一接口4911与位于上方的第二凹腔492连通，所述第二接口4912与位于下方的第二凹腔492连通。
通过采用上述技术方案：参考图12，本实施例设置的密封罩为“扇形”的，且其内部设置的第二凹腔只覆盖了转轴一端的“上半区域”，当转轴转动时，由于第二连接轴与转轴转动连接，因此第二密封罩会持续位于转轴的上班部分（可参考图12），转轴内部的第一吸气腔的输入端会间隔从第二凹腔经过，当翻板槽内存在硅片时，硅片经过转轴的转轴在转轴的上半部分活动，而第二密封罩正好笼罩转轴上半部分的第一吸气腔，因此，当对第二密封罩内的第二凹腔进行吸气时，位于转轴上半部分的硅片会紧紧的“吸附”在翻板槽的底面，当第一吸气腔离开凹腔时，第一吸气腔失去抽气泵对其的“抽气”，硅片松脱，并被第二传输带带离翻板槽；其优势在于：使得抽气泵有选择的对需要吸气的第一吸气腔进行“抽气”工序（即：被第二密封罩笼罩的第一吸气腔为需要吸气的；而未被第二密封罩笼罩的第一吸气腔则无需吸气，由于其对应的翻板槽内并没有硅片）；
同理可得，当供气泵通过第二接口对第二凹腔内进行供气时，气体可以通过第二凹腔进入第一喷气腔，并通过第二喷气腔从各喷孔喷出，其也是为了实现有选择的对不同的第一喷气腔进行供气或者断气，保证气体的使用率，降低能耗。
实施例5，同上述实施例的不同之处在于
如图14所示，在本发明具体实施例中，所述第一输送带11和第二输送带12均通过输送电机50驱动；其中，还包括用于同时控制输送电机50和翻转电机21的同步控制系统；所述同步控制系统包括分别用于控制翻转电机21和输送电机50的第一控制器51和第二控制器52以及用于控制第一控制器51的控制单元53，且所述第一控制器51和第二控制器52之间的通信接口配置成在联接模式下运行第一控制器51和第二控制器52；在联接模式下，所述控制单元53向第一控制器51发送电信号，所述第一控制器51基于该电信号控制翻转电机21驱动转轴22转动，并同时由第一控制器51向第二控制器52发送电信号，所述第二控制器52基于第一控制器51发送的电信号控制输送电机50驱动第一输送带11和第二输送带12运行。
通过采用上述技术方案：可以提高第一输送带、第二输送带以及翻转机构运行的同步性，在翻转电机和输送电机之间设置了联接模式，即：第二控制器基于第一控制器发送的信号而控制输送电机启动，而第一控制器用于控制翻转电机，从而保证输送电机和翻转电机的同时启动和同时停止，进而保证第一输送带、第二输送带和转轴运行的同步性，从而避免转盘上的翻板槽与第一输送带或第二输送带出现“异常错位”，进而保证对硅片的正常运输，同时也避免损坏硅片。
实施例6，同实施例3的不同之处在于
如图15-图17所示，在本发明具体实施例中，所述翻板槽20的弧形面20c和底面20b分别设有助推孔60和定位孔61，所述转轴22内部和转盘23内部分别设有若干条一一对应且连通的助推分腔62，各对应的助推分腔62相互连通且形成向助推孔60或定位孔61输送气体的助推主腔620；还包括助推机构6，所述助推机构6包括助推供气装置64、具有一个输入端和若干个输出端且用于切换气流方向的控制阀65、连接于所述控制阀65输入端与助推供气装置64输出端之间的助推主管66以及连接于控制阀65各输出端与各助推主腔620输入端之间助推分管67。
在本发明具体实施例中，所述助推供气装置64可以是气泵。
通过采用上述技术方案，本实施例以一组为例，即：一个助推孔、一个定位孔、两条分别与助推孔和定位孔的助推主腔、一个助推供气装置、一个控制阀（具有一个输入端和两个输出端，可以是三通阀）；
本实施例的原理是：
参考图16，当硅片从靠近第一输送带的一侧移动至靠近第二输送带一侧时，抽气装置停止工作，由于翻板槽的槽宽大于硅片厚度，翻板槽底面设置的吸孔失去了对硅片的“吸力”，硅片掉落在翻板槽的顶面，此时，为了避免硅片滑动，助推供气装置工作，并调整控制阀，使得助推主管、助推分管、助推主腔以及定位孔形成“第一供气通道”，此时，定位孔排气，并推动硅片，将硅片固定在翻板槽的顶面，避免硅片晃动；
当转轴转动，硅片与第二输送带接触或将要与第二输送带接触时，再次调整控制阀，使得助推主管、助推分管、助推主腔以及助推孔形成“第二供气通道”，此时定位孔不出气，硅片失去了定位孔处的气体对其的固定性，可以被第二输送带“带走”，不仅如此，此时助推孔出气，并推动硅片向翻板槽外移动（即：向第二输送带方向移动），可以将硅片推至第二输送带上；
综上所述，本实施例不仅能够保证硅片的正常输送，还能够避免硅片在“传递”时出现晃动，保证输送效率，降低硅片的磨损，从而保证硅片的生产质量以及生产效率。
实施例7
如图18所示，一种太阳能电池硅片的生产工艺，其使用上述的翻转运输装置，在本发明具体实施例中，包括如下步骤：
S1检验：准备硅片，并对硅片进行检验，去除不合格的硅片；
S2制绒：对硅片进行清洗制绒，清除表面损伤层和污染层，并形成金字塔结构的绒面；
S3扩散：将硅片放入石英舟中，将石英舟放入到扩散炉中进行扩散；
S4去背面PSG：对硅片的背面进行去磷清洗；
S5蚀刻：通过湿法蚀刻设备对硅片进行蚀刻；
S6去正面PSG：对硅片的正面进行去磷清洗，并用离子水对硅片进行漂洗；
S7PECVD镀膜：将硅片放入至石墨舟中，将石墨舟放入管式PECVD设备中进行镀膜，形成减反射膜；
S8丝网正面印刷：通过丝网印刷机对镀膜后的硅片正面进行印刷，印刷完成后，通过第一输送带输送至翻板槽内；
S9硅片翻面：当硅片进入翻板槽内，抽气装置启动，并利用抽气主管和抽气分管将第一吸气腔和第二吸气腔内的气体吸走，使得吸孔内形成负压，从而将硅片吸附在翻板槽的底面，当翻转电机驱动转盘旋转时，硅片从第一输送带一侧移动至第二输送带一侧完成翻面，并在硅片与第二输送带接触时，抽气装置停止，吸孔内的负压消失，硅片通过第二输送带的传输离开翻板槽；
S10丝网反面印刷：第二输送带将硅片运输至丝网印刷机处，并利用丝网印刷机对硅片反面进行印刷；
S11烧结：将印刷后的硅片放入至烧结设备中进行烧结，得到多晶太阳能电池片；
S12划片：通过激光划片机对多晶太阳能电池片背面进行切割，形成切槽，切槽深度为80-120μm；
S13裂片：通过电池片裂片机对多晶太阳能电池片沿切槽处进行裂片，形成半片多晶太阳能电池片；
S14钝化：通过钝化装置对多晶太阳能电池片新生成切割面进行钝化，形成钝化膜；
S15测试分选：对半片多晶太阳能电池片进行测试，按电流和功率的大小进行分类、包装。
在本发明具体实施例中，在S9步骤中，供气装置启动，将储气箱内的热气通过供气主管和供气分管送入第一喷气腔和第二喷气腔内，并通过翻板槽顶面设置的喷孔喷至硅片的表面，利用喷出的热气对硅片进行预热，提高硅片的印刷效果。
在本发明具体实施例中，在S9步骤中，硅片通过助推模式将硅片从翻板槽内送至第二输送带上；其中，所述助推模式为：当硅片从靠近第一输送带一侧移动至靠近第二输送带一侧时，抽气装置停止，此时，吸孔内失去负压，硅片掉落至翻板槽的顶面上，助推供气装置启动，调节控制阀，使得气体通过助推主腔先从定位孔处喷出，将硅片压在翻板槽的顶面上，避免其晃动，当硅片快与第二输送带接触时再次调节控制阀，使得气体通过助推主腔从助推孔处喷出，助推孔喷出的气体给予硅片向第二输送带方向移动的推力，使得硅片快速的移动至第二输送带上。
通过采用上述技术方案：在对硅片翻面的过程中，避免对硅片造成损伤，并在硅片翻面的过程中，利用喷孔喷出的热气对硅片进行预热，保证其前一道工序的印刷效果，保证硅片的生产质量；
不仅如此，在翻转机构与第二输送带进行硅片交互时（硅片交互，即：转移硅片，硅片从翻板槽内到第二输送带上或第一输送带上的硅片到翻板槽内），保证交互效率，进而保证硅片的生产效率。
实施例8，同实施例6的不同之处在于
如图19-图20所示，在本发明具体实施例中，所述转轴22的一端通过第三连接轴80连接有安装板81，所述抽气装置30、供气装置44以及助推供气装置64均可以安装在安装板81上，且所述抽气装置30、供气装置44以及助推供气装置64的数量可以分别与第一吸气腔221、第一喷气腔41以及助推分腔62相同且一一对应，且对过的抽气装置30和第一吸气腔221之间均设有抽气管30a，对应的供气装置44与第一喷气腔41之间均设有供气管44a，各对应的助推供气装置64与助推分腔62之间均设有配气部分，所述配气部分包括两条分别与各助推分腔62连通的配气分管64a、具有一个输入端以及两个输出端的配气三通阀64b以及与配气三通阀64b输入端连通的配气主管64c，所述配气主管64c连接配气三通阀64b与助推供气装置之间。
在本发明具体实施例中，各翻板槽20均配套一个抽气装置30、供气装置44以及助推供气装置64。
在本发明具体实施例中，所述储气箱48固定在安装板81的另一侧，加热器固定在储气箱48上，所述抽气装置30的排出的气体进入储气箱48内，所述供气装置44的气源为储气箱48。
在本发明具体实施例中，各抽气装置30与各供气装置44一一对应，且通过控制模块控制，所述控制模块包括分别用于控制抽气装置30和供气装置44的第三控制器93和第四控制器94以及用于控制第三控制器93的中控单元90。
在本发明具体实施例中，所述第三控制器93和第四控制器94之间的通信接口配置成在联接模式下运行第三控制器93和第四控制器94；在联接模式下，所述中控单元90向第三控制器93发送电信号，所述第三控制器93基于该电信号控制抽气装置30运行，并同时由第三控制器93向第四控制器94发送电信号，所述第四控制器94基于第三控制器93发送的电信号控制供气装置44运行。
在本发明具体实施例中，所述抽气管30a上设有与外界连通的进气口。
通过采用上述技术方案：
本实施例的原理是：
参考图19，当转轴由翻转电机驱动转动时，安装板由于通过第三连接轴与转轴的一端固定连接，安装板也会随之转动，在转轴转动的过程中，转盘也转动，当转盘上的翻板槽内存在硅片时，与该翻板槽对应抽气装置运行，并且将硅片“吸附”在翻板槽的底面，与此同时，与该抽气装置对应的供气装置运行，并将储气箱内的气体送至该翻板槽内，并对硅片进行加热，当硅片移动至靠近第二输送带一侧时，抽气装置停止，随之供气装置也停止，此时助推供气装置运行，并且通过调整配气三通阀使得气体先从定位孔处喷出，再由助推孔喷出，从而完成对硅片的辅助推动；
上述为一个硅片的翻面过程，本实施例的优势在于：各抽气装置、供气装置以及助推供气装置一一对应，使得对各翻板槽内的硅片控制也一一对应且相互独立，当其中某个部件损坏时，只能破坏一个翻板槽内硅片的翻面稳定性，并不能破坏其余翻板槽的翻面稳定性，其能够进一步的保证硅片的生产质量以及生产效率；
不仅如此，各抽气装置和各供气装置一一对应，且两者的控制器（即：第三控制器和第四控制器）形成的联接模式可以用保证对应的抽气装置和供气装置同时运行和同时停止，其可以保证储气箱内的“气含量”，从而保证对硅片的预热。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置，其特征在于：包括具有若干个供硅片（10）放置的翻板槽（20）的翻转机构（2）、设于所述翻转机构（2）两侧且用于单向运输硅片（10）并与翻转机构（2）进行硅片（10）传递交互的第一输送带（11）和第二输送带（12）以及用于吸附硅片（10）并将硅片（10）紧固在翻板槽（20）内的吸气机构（3）；所述翻转机构（2）包括翻转电机（21）、通过所述翻转电机（21）驱动的转轴（22）以及与所述转轴（22）固定连接的转盘（23）；其中，所述转盘（23）上开设有若干个所述翻板槽（20），所述翻板槽（20）包括顶面（20a）、底面（20b）以及连接顶面（20a）和底面（20b）的弧形面（20c）；所述转轴（22）内部以及转盘（23）内部分别设有若干条一一对应且相互连通的第一吸气腔（221）和第二吸气腔（232），所述第一吸气腔（221）一端自所述转轴（22）的一端贯穿；所述翻板槽（20）的底面（20b）上设有若干个与所述第二吸气腔（232）连通的吸孔（200b）。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置，其特征在于：所述吸气机构（3）包括抽气装置（30）以及与所述抽气装置（30）输入端连通的抽气主管（31）；所述抽气主管（31）的输入端形成一个第一节点（31a），并由该第一节点（31a）分别串联若干根与所述第一吸气腔（221）一一对应且连通的抽气分管（32）；所述抽气主管（31）上设有一与外界连通的抽气外管（33）。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置，其特征在于：所述转轴（22）内部以及转盘（23）内部分别还设有若干条一一对应且相互连通的第一喷气腔（41）和第二喷气腔（42），所述第一喷气腔（41）的一端贯穿所述转轴（22）的一端，所述翻板槽（20）的顶面设（2a）有若干个与所述第二喷气腔（42）连通的喷孔（43）；还包括用于向各喷孔（43）输送气体的供气机构（4）；所述供气机构（4）包括供气装置（44）以及与所述供气装置（44）输出端连通的供气主管（45）；所述供气主管（45）的输出端形成一个第二节点（45a），并由该第二节点（45a）分别串联若干根与各第一喷气腔（41）一一对应且连通的供气分管（46）。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置，其特征在于：还包括用于接收抽气装置（30）输出端排出的气体且用于向供气装置（44）提供气体的储气箱（47）以及用于向储气箱（47）供热的加热器（48）。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置，其特征在于：所述第一输送带（11）和第二输送带（12）均通过输送电机（50）驱动；其中，还包括用于同时控制输送电机（50）和翻转电机（21）的同步控制系统；所述同步控制系统包括分别用于控制翻转电机（21）和输送电机（50）的第一控制器（51）和第二控制器（52）以及用于控制第一控制器（51）的控制单元（53），且所述第一控制器（51）和第二控制器（52）之间的通信接口配置成在联接模式下运行第一控制器（51）和第二控制器（52）；在联接模式下，所述控制单元（53）向第一控制器（51）发送电信号，所述第一控制器（51）基于该电信号控制翻转电机（21）驱动转轴（22）转动，并同时由第一控制器（51）向第二控制器（52）发送电信号，所述第二控制器（52）基于第一控制器（51）发送的电信号控制输送电机（50）驱动第一输送带（11）和第二输送带（12）运行。
6.根据权利要求1-4任意一项所述的太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置，其特征在于：所述翻板槽（20）的弧形面（20c）和底面（20b）分别设有助推孔（60）和定位孔（61），所述转轴（22）内部和转盘（23）内部分别设有若干条一一对应且连通的助推分腔（62），各对应的助推分腔（62）相互连通且形成向助推孔（60）或定位孔（61）输送气体的助推主腔（620）；还包括助推机构（6），所述助推机构（6）包括助推供气装置（64）、具有一个输入端和若干个输出端且用于切换气流方向的控制阀（65）、连接于所述控制阀（65）输入端与助推供气装置（64）输出端之间的助推主管（66）以及连接于控制阀（65）各输出端与各助推主腔（620）输入端之间助推分管（67）。
7.一种太阳能电池硅片的生产工艺，其使用如权利要求1所述的翻转运输装置，其特征在于，包括如下步骤：
S1检验：准备硅片，并对硅片进行检验，去除不合格的硅片；
S2制绒：对硅片进行清洗制绒，清除表面损伤层和污染层，并形成金字塔结构的绒面；
S3扩散：将硅片放入石英舟中，将石英舟放入到扩散炉中进行扩散；
S4去背面PSG：对硅片的背面进行去磷清洗；
S5蚀刻：通过湿法蚀刻设备对硅片进行蚀刻；
S6去正面PSG：对硅片的正面进行去磷清洗，并用离子水对硅片进行漂洗；
S7PECVD镀膜：将硅片放入至石墨舟中，将石墨舟放入管式PECVD设备中进行镀膜，形成减反射膜；
S8丝网正面印刷：通过丝网印刷机对镀膜后的硅片正面进行印刷，印刷完成后，通过第一输送带输送至翻板槽内；
S9硅片翻面：当硅片进入翻板槽内，抽气装置启动，并利用抽气主管和抽气分管将第一吸气腔和第二吸气腔内的气体吸走，使得吸孔内形成负压，从而将硅片吸附在翻板槽的底面，当翻转电机驱动转盘旋转时，硅片从第一输送带一侧移动至第二输送带一侧完成翻面，并在硅片与第二输送带接触时，抽气装置停止，吸孔内的负压消失，硅片通过第二输送带的传输离开翻板槽；
S10丝网反面印刷：第二输送带将硅片运输至丝网印刷机处，并利用丝网印刷机对硅片反面进行印刷；
S11烧结：将印刷后的硅片放入至烧结设备中进行烧结，得到多晶太阳能电池片；
S12划片：通过激光划片机对多晶太阳能电池片背面进行切割，形成切槽，切槽深度为80-120μm；
S13裂片：通过电池片裂片机对多晶太阳能电池片沿切槽处进行裂片，形成半片多晶太阳能电池片；
S14钝化：通过钝化装置对多晶太阳能电池片新生成切割面进行钝化，形成钝化膜；
S15测试分选：对半片多晶太阳能电池片进行测试，按电流和功率的大小进行分类、包装。
8.根据权利要求7所述的一种太阳能电池硅片的生产工艺，其特征在于：在S9步骤中，供气装置启动，将储气箱内的热气通过供气主管和供气分管送入第一喷气腔和第二喷气腔内，并通过翻板槽顶面设置的喷孔喷至硅片的表面，利用喷出的热气对硅片进行预热，提高硅片的印刷效果。
9.根据权利要求7或8所述的一种太阳能电池硅片的生产工艺，其特征在于：在S9步骤中，硅片通过助推模式将硅片从翻板槽内送至第二输送带上；其中，所述助推模式为：当硅片从靠近第一输送带一侧移动至靠近第二输送带一侧时，抽气装置停止，此时，吸孔内失去负压，硅片掉落至翻板槽的顶面上，助推供气装置启动，调节控制阀，使得气体通过助推主腔先从定位孔处喷出，将硅片压在翻板槽的顶面上，避免其晃动，当硅片快与第二输送带接触时再次调节控制阀，使得气体通过助推主腔从助推孔处喷出，助推孔喷出的气体给予硅片向第二输送带方向移动的推力，使得硅片快速的移动至第二输送带上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010335571.6A CN111489995B (zh) | 2020-04-25 | 2020-04-25 | 太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010335571.6A CN111489995B (zh) | 2020-04-25 | 2020-04-25 | 太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111489995A CN111489995A (zh) | 2020-08-04 |
| CN111489995B true CN111489995B (zh) | 2021-01-05 |
Family
ID=71813045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010335571.6A Active CN111489995B (zh) | 2020-04-25 | 2020-04-25 | 太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111489995B (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112909128A (zh) * | 2021-02-07 | 2021-06-04 | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙) | 异质结太阳能电池片的制造方法及异质结太阳能电池片 |
| CN114161819A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-03-11 | 江苏华恒新能源有限公司 | 一种双面perc电池背场批量印刷装置 |
| CN116373443B (zh) * | 2023-04-06 | 2023-12-08 | 江苏龙恒新能源有限公司 | 一种太阳能电池硅片印刷设备 |
| CN116914032B (zh) * | 2023-09-11 | 2023-11-24 | 苏州莱德新能源科技有限公司 | 一种用于微晶异质结太阳电池光注入设备及其方法 |
Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0555348A (ja) * | 1991-08-23 | 1993-03-05 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体ウエーハ処理用車輪付きボート |
| CN202640953U (zh) * | 2012-06-21 | 2013-01-02 | 华中科技大学 | 一种光伏太阳能硅片翻转设备 |
| CN203938157U (zh) * | 2014-04-30 | 2014-11-12 | 江苏爱多光伏科技有限公司 | 一种光伏电池片翻转机构 |
| CN105034555A (zh) * | 2015-08-20 | 2015-11-11 | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 | 一种太阳能电池片印刷机翻片器 |
| CN204894746U (zh) * | 2015-08-20 | 2015-12-23 | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 | 一种太阳能电池片印刷机翻片器 |
| CN105692150A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-06-22 | 无锡赛晶太阳能有限公司 | 一种新型硅片翻转器 |
| CN205381695U (zh) * | 2016-03-18 | 2016-07-13 | 浙江绿远光伏科技有限公司 | 一种硅片翻片装置 |
| CN106910784A (zh) * | 2017-03-03 | 2017-06-30 | 广东爱康太阳能科技有限公司 | 一种旋转式双面晶硅太阳能电池印刷系统 |
| CN206628476U (zh) * | 2017-03-03 | 2017-11-10 | 广东爱康太阳能科技有限公司 | 一种旋转式双面晶硅太阳能电池印刷系统 |
| CN107452656A (zh) * | 2017-08-07 | 2017-12-08 | 罗博特科智能科技股份有限公司 | 一种硅片快速翻转机构 |
| CN207549695U (zh) * | 2017-10-27 | 2018-06-29 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 | 电池片翻面装置 |
| CN109449252A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-03-08 | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 | 半片多晶太阳能电池片的制作工艺 |
| CN109616549A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-04-12 | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 | 一种太阳能电池片的制备方法 |
-
2020
- 2020-04-25 CN CN202010335571.6A patent/CN111489995B/zh active Active
Patent Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0555348A (ja) * | 1991-08-23 | 1993-03-05 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体ウエーハ処理用車輪付きボート |
| CN202640953U (zh) * | 2012-06-21 | 2013-01-02 | 华中科技大学 | 一种光伏太阳能硅片翻转设备 |
| CN203938157U (zh) * | 2014-04-30 | 2014-11-12 | 江苏爱多光伏科技有限公司 | 一种光伏电池片翻转机构 |
| CN105034555A (zh) * | 2015-08-20 | 2015-11-11 | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 | 一种太阳能电池片印刷机翻片器 |
| CN204894746U (zh) * | 2015-08-20 | 2015-12-23 | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 | 一种太阳能电池片印刷机翻片器 |
| CN105692150A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-06-22 | 无锡赛晶太阳能有限公司 | 一种新型硅片翻转器 |
| CN205381695U (zh) * | 2016-03-18 | 2016-07-13 | 浙江绿远光伏科技有限公司 | 一种硅片翻片装置 |
| CN106910784A (zh) * | 2017-03-03 | 2017-06-30 | 广东爱康太阳能科技有限公司 | 一种旋转式双面晶硅太阳能电池印刷系统 |
| CN206628476U (zh) * | 2017-03-03 | 2017-11-10 | 广东爱康太阳能科技有限公司 | 一种旋转式双面晶硅太阳能电池印刷系统 |
| CN107452656A (zh) * | 2017-08-07 | 2017-12-08 | 罗博特科智能科技股份有限公司 | 一种硅片快速翻转机构 |
| CN207549695U (zh) * | 2017-10-27 | 2018-06-29 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 | 电池片翻面装置 |
| CN109449252A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-03-08 | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 | 半片多晶太阳能电池片的制作工艺 |
| CN109616549A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-04-12 | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 | 一种太阳能电池片的制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN111489995A (zh) | 2020-08-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111489995B (zh) | 太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺 | |
| KR20080100057A (ko) | 결정질 실리콘 태양전지의 제조방법과 그 제조장치 및시스템 | |
| TW201225329A (en) | Dopant applicator system and method of applying vaporized doping compositions to PV solar wafers | |
| CN114824309B (zh) | 燃料电池气体扩散层连续制备用设备及其制备方法 | |
| CN111540809A (zh) | 一种太阳能电池硅片烘干固化集成设备 | |
| CN104947086A (zh) | 一种用于生产太阳能电池片的镀膜系统及镀膜方法 | |
| CN112159973A (zh) | 一种制备Topcon电池钝化膜层的装置及其工艺流程 | |
| CN101640233B (zh) | 用磁控溅射法生产CdS/CdTe太阳能电池的装置 | |
| CN102820377A (zh) | 太阳能电池片的生产工艺 | |
| CN111847436A (zh) | 一种导热导电石墨烯薄膜的制备方法 | |
| CN208366021U (zh) | 一种卡塞式硅片烘干炉 | |
| CN207062372U (zh) | 自动平板式pecvd氧化铝与氮化硅叠层薄膜制备系统 | |
| CN204959035U (zh) | 一种用于生产太阳能电池片的镀膜系统 | |
| CN109873054A (zh) | 黑硅太阳能电池生产线 | |
| CN114351122B (zh) | 一种用于异质结cvd设备的载板传输提升系统 | |
| CN214736083U (zh) | 一种优化沉积腔的线式pecvd设备 | |
| CN105244410A (zh) | 一种抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备 | |
| CN108550656A (zh) | 一种电注入均衡退火装置 | |
| CN213733997U (zh) | 一种太阳能电池硅片干燥用烘干设备 | |
| CN211170884U (zh) | 一种双向进出管式pecvd设备 | |
| CN210349859U (zh) | 一种太阳能电池hit或hjt工艺固化、氢钝化一体机 | |
| CN114121732A (zh) | 一种高效电池生产工艺及设备 | |
| CN112467042A (zh) | 一种钙钛矿太阳能电池组件智能自动化生产系统 | |
| KR100907447B1 (ko) | 태양전지 웨이퍼 스플리터의 이송장치 | |
| CN108091722A (zh) | 一种自动上下料及自动翻片系统及其工作方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20201216 Address after: Room 604, building 3, Donggang Third Road, Quzhou City, Zhejiang Province Applicant after: A New Energy Technology (Quzhou) Co.,Ltd. Address before: 318000 205, building 1, 155 xitaihe Road, Jiaojiang District, Taizhou City, Zhejiang Province Applicant before: TAIZHOU ZHUORUI TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20220829 Address after: No. 108, Yaojia Road, Hailing District, Taizhou City, Jiangsu Province, 225300 Patentee after: Yidao new energy technology (Taizhou) Co.,Ltd. Address before: Room 604, building 3, Donggang Third Road, Quzhou City, Zhejiang Province Patentee before: A New Energy Technology (Quzhou) Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20230302 Address after: No. 43, bailing South Road, Donggang District, green industry cluster district, Quzhou City, Zhejiang Province Patentee after: A New Energy Technology (Quzhou) Co.,Ltd. Address before: No. 108, Yaojia Road, Hailing District, Taizhou City, Jiangsu Province, 225300 Patentee before: Yidao new energy technology (Taizhou) Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No. 43 Bailing South Road, Quzhou City, Zhejiang Province 324022 Patentee after: Yidao New Energy Technology Co.,Ltd. Address before: No. 43, bailing South Road, Donggang District, green industry cluster district, Quzhou City, Zhejiang Province Patentee before: A New Energy Technology (Quzhou) Co.,Ltd. |
|
| CP03 | Change of name, title or address |