CN208366021U - 一种卡塞式硅片烘干炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种卡塞式硅片烘干炉，包括循环传输装置和炉体，所述循环传输装置沿传输方向从炉体中穿过；所述循环传输装置上，沿其传输方向依次固定设有若干托盘，针对每个托盘设有一卡塞结构，该卡塞结构包括一框体，所述框体内相对的两侧壁上均设有若干沿侧壁竖直方向间隔布置的凸棱，相邻两凸棱之间形成一凹槽，每条凹槽的延伸方向垂直于循环传输装置的移送方向，每相对布置的两条凹槽构成一装载单元，以在框体中形成若干用于装载硅片的装载单元；所述炉体包括一烘干加热段，该烘干加热段的内壁上设有一加热空间和一供卡塞结构穿过的第一卡塞容纳空间，所述加热空间和第一卡塞容纳空间连通设置，且加热空间中设有加热装置。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能硅片的加工设备领域，具体涉及一种卡塞式硅片烘干炉，主要用于加工HIT太阳能电池硅片。
背景技术
HIT太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池，所谓HIT(Heterojunction with intrinsic Thinlayer)结构就是在P型氢化非晶硅和n型氢化非晶硅与n型硅衬底之间增加一层非掺杂(本征)氢化非晶硅薄膜。HIT太阳能光伏电池基板以硅基板为主，在硅基板上沉积高能隙的硅纳米薄膜，表层再沉积透明导电膜，背面设有背表面电场。通过优化硅的表面结构，可以降低透明导电氧化层和a-Si层的光学吸收损耗。
HIT太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干，目前的做法是采用烘干炉加热，而现有的烘干炉通常将硅片放置于传输装置中边烘干边传送,但是这种烘干方式存在致命的缺陷就是效率低下。同时，每次对硅片进行烘干加工的时候，设备均要全力打开，导致加工成本高昂，并且造成大量的资源浪费。
鉴于此，提供一种卡塞式硅片烘干炉是本实用新型所要研究的课题。
发明内容
本实用新型目的是提供一种卡塞式硅片烘干炉，以解决现有技术在效率低下的同时造成加工成本高昂、资源大量浪费的问题。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种卡塞式硅片烘干炉，包括循环传输装置和炉体，所述循环传输装置沿传输方向从炉体中穿过；
所述循环传输装置上，沿其传输方向依次固定设有若干托盘，针对每个托盘设有一卡塞结构，该卡塞结构包括一框体，所述框体内相对的两侧壁上均设有若干沿侧壁竖直方向间隔布置的凸棱，相邻两凸棱之间形成一凹槽，每相对布置的两条凹槽构成一装载单元，以在框体中形成若干用于装载硅片的装载单元；
所述炉体包括一烘干加热段，该烘干加热段的内壁上设有一加热空间和一供卡塞结构穿过的第一卡塞容纳空间，所述加热空间和第一卡塞容纳空间连通设置，且加热空间中设有加热装置。
上述技术方案中的有关内容解释如下：
1、上述方案中，所述加热装置包括若干平行设置的加热灯管。
2、上述方案中，所述烘干加热段分为若干加热温区，在每个加热温区中均设有一进风口和一出风口，每个加热温区中设有用于循环送风的离心风机。
3、上述方案中，还包括一冷却段，该冷却段并列设置在烘干加热段的出口端。
4、上述方案中，所述冷却段中具有一容纳卡塞结构穿过的第二卡塞容纳空间。
5、上述方案中，所述冷却段的侧面设有若干冷却模组。
6、上述方案中，所述冷却模组采用冷却风机。
7、上述方案中，所述循环传输装置包括传输链和齿轮传动机构，该齿轮传动机构和传输链啮合设置，从而驱使传输链循环传输。
8、上述方案中，每条凹槽的延伸方向垂直于循环传输装置的移送方向。
本实用新型工作原理是：本实用新型在循环传输装置上，沿其传输方向依次固定设有若干托盘，针对每个托盘设有一卡塞结构，该卡塞结构包括一框体，框体内相对的两侧壁上均设有若干沿侧壁竖直方向间隔布置的凸棱，相邻两凸棱之间形成一凹槽，每条凹槽的延伸方向垂直于循环传输装置的移送方向，每相对布置的两条凹槽构成一装载单元，从而在框体中形成若干用于装载硅片的装载单元。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
本实用新型结构简单、可靠性好、加工效率高，通过在卡塞结构上设置若干装载单元，能够在一个卡塞结构上装载较多硅片，从而大大提高硅片烘干炉的加工效率。
附图说明
附图1为本实施例中卡塞式硅片烘干炉的整体结构示意图；
附图2为本实施例中卡塞式硅片烘干炉的侧剖面示意图；
附图3为本实施例附图1中A处卡塞结构中装载单元的放大示意图。
以上附图中：1、循环传输装置；10、传输链；2、炉体；20、烘干加热段；21、冷却段；22、进风口；23、出风口；3、托盘；4、卡塞结构；40、凹槽；5、加热空间；50、加热灯管；6、第一卡塞容纳空间。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
实施例：一种卡塞式硅片烘干炉
参见附图1-3，包括循环传输装置1和炉体2，所述循环传输装置1沿传输方向从炉体2中穿过，本实施例中，所述循环传输装置1包括传输链10和齿轮传动机构，该齿轮传动机构和传输链10啮合设置，从而驱使传输链10循环传输。其中, 所述齿轮传动机构包括机头传动和机尾传动，通过机头传动和机尾传动带动传输链10循环传输。
所述循环传输装置1上，沿其传输方向依次固定设有若干托盘3，针对每个托盘3设有一卡塞结构4，该卡塞结构4包括一框体，所述框体内相对的两侧壁上均设有若干沿侧壁竖直方向间隔布置的凸棱，相邻两凸棱之间形成一凹槽40，本实施例中，每条凹槽40的延伸方向垂直于循环传输装置1的移送方向，事实上，每条凹槽40的延伸方向也可以平行于循环传输装置1的移送方向，即将框体水平旋转90°布置也是可行的，当然，采用每条凹槽40的延伸方向也可以平行于循环传输装置的移送方向未最佳方案。每相对布置的两条凹槽40构成一装载单元，以在框体中形成若干用于装载硅片的装载单元。
所述炉体2包括一烘干加热段20，该烘干加热段20的内壁上设有一加热空间5和一供卡塞结构4穿过的第一卡塞容纳空间6，所述加热空间5和第一卡塞容纳空间6连通设置，且加热空间5对第一卡塞容纳空间无干涉，且加热空间5中设有加热装置，所述加热装置包括若干平行设置的加热灯管50。所述烘干加热段20分为若干加热温区，在每个加热温区中均设有一进风口22和一出风口23，每个加热温区中设有用于循环送风的离心风机50，该离心风机50用于将外界风沿进风口22进入的空气，经过加热管加热50并吹在待加工的硅片上，对硅片进行烘干加热后，再从出口风送出，从而形成循环热送风系统。
本实施例中，还包括一冷却段21，该冷却段21并列设置在烘干加热段20的出口端，所述冷却段21中具有一容纳卡塞结构4穿过的第二卡塞容纳空间。所述冷却段21的侧面设有若干冷却模组5，所述冷却模组5采用冷却风机。
本实用新型在循环传输装置1上，沿其传输方向依次固定设有若干托盘3，针对每个托盘3设有一卡塞结构4，该卡塞结构4包括一框体，框体内相对的两侧壁上均设有若干沿侧壁竖直方向间隔布置的凸棱，相邻两凸棱之间形成一凹槽40，每条凹槽40的延伸方向垂直于循环传输装置1的移送方向，每相对布置的两条凹槽40构成一装载单元，从而在框体中形成若干用于装载硅片的装载单元。本实用新型结构简单、可靠性好、加工效率高，通过在卡塞结构4上设置若干装载单元，能够在一个卡塞结构4上装载较多硅片，从而大大提高硅片烘干炉的加工效率。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种卡塞式硅片烘干炉，包括循环传输装置和炉体，所述循环传输装置沿传输方向从炉体中穿过；
其特征在于：所述循环传输装置上，沿其传输方向依次固定设有若干托盘，针对每个托盘设有一卡塞结构，该卡塞结构包括一框体，所述框体内相对的两侧壁上均设有若干沿侧壁竖直方向间隔布置的凸棱，相邻两凸棱之间形成一凹槽，每两侧壁上相对布置的两条凹槽构成一装载单元，以在框体中形成若干用于装载硅片的装载单元；
所述炉体包括一烘干加热段，该烘干加热段的内壁上设有一加热空间和一供卡塞结构穿过的第一卡塞容纳空间，所述加热空间和第一卡塞容纳空间连通设置，且加热空间中设有加热装置。
2.根据权利要求1所述的卡塞式硅片烘干炉，其特征在于：所述加热装置包括若干平行设置的加热灯管。
3.根据权利要求2所述的卡塞式硅片烘干炉，其特征在于：所述烘干加热段分为若干加热温区，在每个加热温区中均设有一进风口和一出风口，每个加热温区中设有用于循环送风的离心风机。
4.根据权利要求1所述的卡塞式硅片烘干炉，其特征在于：还包括一冷却段，该冷却段并列设置在烘干加热段的出口端。
5.根据权利要求4所述的卡塞式硅片烘干炉，其特征在于：所述冷却段中具有一容纳卡塞结构穿过的第二卡塞容纳空间。
6.根据权利要求4或5所述的卡塞式硅片烘干炉，其特征在于：所述冷却段的侧面设有若干冷却模组。
7.根据权利要求6所述的卡塞式硅片烘干炉，其特征在于：所述冷却模组采用冷却风机。
8.根据权利要求1所述的卡塞式硅片烘干炉，其特征在于：所述循环传输装置包括传输链和齿轮传动机构，该齿轮传动机构和传输链啮合设置，从而驱使传输链循环传输。
9.根据权利要求1所述的卡塞式硅片烘干炉，其特征在于：每条凹槽的延伸方向垂直于循环传输装置的移送方向。
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| CN201820626118.9U CN208366021U (zh) | 2018-04-28 | 2018-04-28 | 一种卡塞式硅片烘干炉 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109682192A (zh) * | 2019-01-29 | 2019-04-26 | 昆山众劲机械有限公司 | 重载存储立式烤箱和具有其的烘烤流水线 |
| CN112197561A (zh) * | 2020-09-25 | 2021-01-08 | 创富东日(深圳)科技有限公司 | 一种固化装置和烘干设备 |
| CN114294930A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-08 | 江苏英思特半导体科技有限公司 | 一种用于硅料的隧道式烘干装置 |
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