CN104409405A - 用平板式pecvd制备hit太阳电池的传片机构及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构及方法。该传片机构由电池片托盘、上、下料机械手、托盘传送轨道、电池片翻面装置、PECVD反应腔等组成。PECVD反应腔的数量为两个，分别用于HIT电池正面、背面薄膜生长；电池片托盘表面开设有凹槽阵列，该托盘传送轨道呈环形结构，数量为2个，布置于两个反应腔周围；上、下料机械手采用龙门式结构，且安装多个真空吸盘；电池片翻面装置位于两个PECVD反应腔中间，由多个电池片传送带和多个旋转翻面叶片构成。本发明能一次性完成批量HIT电池的薄膜生长，实现快速自动上下料、翻转，并实现托盘高效循环利用，适用于平板式PECVD制备HIT太阳能电池整线大生产。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产专用装备，特别是一种用于平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其能在整线大生产中，高效、批量完成HIT电池的薄膜生长工艺。
背景技术
硅片/电池片传送机构用于完成硅片/电池片在各制造工序之间的传送，是光伏自动化生产系统中的重要组成部分。随着太阳能光伏向高效率、低成本方向发展，生产过程中要求尽量减少人工操作带来的污染和碎片损耗，尽可能地消除人为误操作带来的设备故障，同时提高硅片处理的速度和设备利用率，提升生产线效率和产能，并减少用工数量以降低日益增高的人工成本，最终降低太阳能光伏电池的生产成本，提高企业的核心竞争力。现代的太阳能电池生产线越来越注重产能与高效自动化，快速高效、功能完善的硅片/电池片传送机构对于光伏电池的自动化生产具有重要意义。
目前国际光伏市场上的太阳能电池主要有晶体硅（包括单晶硅、多晶硅）、非晶/单晶异质结（HIT）、非晶硅薄膜、碲化镉（CdTe）、GaAs、铜铟硒（CIS）薄膜太阳能电池等。HIT电池由本征非晶硅层、掺杂的非晶硅层、透明导电薄膜及栅电极等组成，与传统的晶硅太阳电池相比，HIT具有双面结构、高效率、薄片化、短波吸收好、低温工艺、高稳定性等许多优点，应用前景广阔，是未来电池发展的重要方向之一。
HIT电池生产的关键工艺是正面i/p层和背面i/n层薄膜的生长，关键设备是PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)设备。PECVD即等离子体增强化学气相淀积，是在低压环境下，利用射频辉光放电将反应气体进行电离，形成具有较强活性的离子化的气体，经过一系列化学反应后在样品表面形成固态薄膜的方法。PECVD设备分为管式和平板式两种，平板式PECVD设备具有气体利用率高、工艺性能优异、易于大面积化、生产效率高、产能大、更容易实现整线自动化等优点，能够适应未来相关产业发展要求。随着相关产业的迅速发展，平板式PECVD设备技术水平不断提升，反应腔及基片尺寸规格越来越大，产能越来越高，目前平板式PECVD设备已由半导体产业最初的单片机发展到现在的采用多反应腔并联结构的大面积生产的商业化机型。 PECVD法具有很好的灵活性和可重复性，沉积温度低，从而扩大了CVD法的应用范围，特别是提供了在不同衬底上制备各种薄膜的可能性，可在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料片上淀积约1μm厚的薄膜。在非晶/微晶硅薄膜太阳能电池中可直接采用大面积的玻璃基板作为衬底材料，易于大面积化，而在HIT太阳电池制造中，目前HIT太阳电池的主流尺寸为156mmX156mm，为了适应未来整线大生产的发展潮流，在大面积化（如基板尺寸2200mm×2600mm）的平板式PECVD设备的反应室需要一次放置多片HIT太阳电池同时完成镀膜工艺以提高生产效率，同时，HIT为双面电池，在正面i/p层薄膜生长完成后需完成电池片翻面再进行背面i/n层薄膜生长，传片系统应具有快速电池片翻片功能，以满足HIT电池片正、反面镀膜要求。快速高效、功能完善的硅片/电池片传送机构对于HIT电池的自动化生产具有重要意义。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，针对现有技术不足，提供一种能够运用平板式PECVD设备高效、批量完成HIT电池薄膜生长的用于平板式PECVD设备制备HIT太阳电池的传片机构。
为解决上述技术问题，本发明公开了一种用于平板式PECVD设备制备HIT太阳电池的传片机构，其通过以下技术方案实现：
一种用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其包括电池片托盘、上料机械手、底部设有输送辊的托盘传送轨道、下料机械手、电池片翻面装置、PECVD反应腔，该电池片托盘设置于托盘传送轨道上，且该电池片托盘有多个，每个电池片托盘表面开设用于放置电池片的凹槽阵列；该PECVD反应腔包括顺序设置的第一PECVD反应腔和第二PECVD反应腔；该托盘传送轨道包括顺序设置的第一托盘传送轨道和第二托盘传送轨道，第一、二托盘传送轨道都呈环形状态设置，该第一PECVD反应腔、第二PECVD反应腔分别设置于第一、二托盘传送轨道的环形传送路径中间，位于第一PECVD反应腔、第二PECVD反应腔前、后侧的第一、二托盘传送轨道上分别设置上料位和下料位；该上料机械手通过平行导轨滑动设置于上料位的电池片托盘上方，该下料机械手通过平行导轨滑动设置于下料位的电池片托盘上方，且该上、下料机械手采用龙门式结构，在龙门式结构的同一直线方向上安装有多个真空吸盘；该电池片翻面装置位于第一PECVD反应腔后侧的下料位与第二PECVD反应腔前侧的上料位之间，该电池片翻面装置由多个平行布置的电池片传送带和同轴旋转设置的多组旋转翻面叶片构成，每组旋转翻面叶片上都设有多个呈辐射状分布的叶片传送缺口，且各组旋转翻面叶片上的叶片传送缺口对应设置为一直线分布状态，每组旋转翻面叶片对应设置一个电池片传送带。
该电池片托盘的凹槽阵列根据PECVD反应腔的规格尺寸确定。
该上、下料机械手上的真空吸盘数量根据电池片托盘上的凹槽阵列的规格确定。
一种上述用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片方法，其包括下列步骤：
一次上料：待上料的硅片放置于位于同一直线布置的硅片盒中，上料机械手的真空吸盘从硅片盒中吸取多片硅片，并一次性将多片硅片放置于第一PECVD反应腔前侧的上料位电池片托盘中，如此循环往复，完成电池片托盘中电池片的上料；
正面i/p层镀膜：第一托盘传送轨道将已完成电池片上料的电池片托盘输送至第一PECVD反应腔中进行正面i/p层镀膜，在电池正面i/p层镀膜工艺完成后，电池片托盘继续输送至第一PECVD反应腔后侧的下料位，下料位的电池片托盘完成下料后，由第一托盘传送轨道将电池片托盘返回至上料位，实现电池片托盘的循环利用；
一次下料：下料机械手的真空吸盘一次性从电池片托盘吸取多片硅片，同时放置于电池片翻面装置的多个电池片传送带上；
翻面：多个电池片传送带不断地同时将多个电池片传送至同轴的多个旋转翻面叶片的叶片传送缺口中，多个旋转翻面叶片同时旋转完成多个硅片的快速翻转；
二次上料：上料机械手的真空吸盘一次性吸取完成翻面的多片硅片硅片放置于第二PECVD反应腔前侧的上料位电池片托盘中，如此循环往复，完成电池片托盘中电池片的上料；
背面i/n层薄膜生长：第二托盘传送轨道将已完成电池片上料的电池片托盘输送至第二PECVD反应腔中进行背面i/n层薄膜生长，在电池背面i/n层薄膜生长工艺完成后，电池片托盘继续输送至第二PECVD反应腔后侧的下料位，下料位的电池片托盘完成下料后，由第二托盘传送轨道将电池片托盘返回至上料位，实现电池片托盘的循环利用；
二次下料：下料机械手一次性将多片硅片从第二PECVD反应腔后侧的下料位电池片托盘上吸取下料至硅片收集装置中。
该下料机械手一次性将多片位于第二PECVD反应腔后侧的下料位电池片托盘上的硅片收集于位于同一直线布置的多个硅片盒中。或者该下料机械手一次性将多片硅片下料至传送带上，再由传送带收料至硅片花篮盒中。
本发明通过带有凹槽阵列的电池片托盘，一次性完成批量HIT电池的薄膜生长工艺，由多吸盘的上、下料机械手完成HIT太阳电池的快速自动上、下料，由多叶片的电池片翻面装置实现多个硅片的快速翻转，并通过托盘传送轨道完成托盘的输送和返回以实现托盘的高效循环利用。
传统的非晶/微晶硅薄膜太阳能电池中采用大面积的玻璃基板作为衬底材料，直接将玻璃基板放置于反应腔中完成镀膜工艺，而目前HIT太阳电池的主流尺寸为156mmX156mm，为了实现在大面积化（如基板尺寸2200mm×2600mm）的平板式PECVD设备的反应室一次完成多片HIT太阳电池的镀膜工艺，以提高生产效率适应HIT电池的整线大生产要求，本发明采用的技术方案是将传统的非晶/微晶硅薄膜太阳能电池生产中的玻璃基板改为电池片托盘，电池片托盘表面开设有凹槽阵列，用于放置156mmX156mm晶体硅电池阵列，一次性完成批量HIT电池的薄膜生长工艺。
本发明通过上、下料机械手完成HIT太阳电池片在电池片托盘上的上料和下料，龙门式结构的上、下料机械手位于电池片托盘的上方，上、下料机械手同一直线方向上安装有多个上、下料真空吸盘，上、下料机械手的直线运动配合真空吸盘的动作可同时完成多片HIT电池在电池片托盘上的上料和下料，提升了电池片上、下料的速度。
本发明通过托盘传送轨道实现托盘的输送和返回，即在上位料完成托盘上料后由托盘传送轨道将托盘输送至PECVD反应腔中，并在PECVD镀膜工艺完成后，由托盘传送轨道将托盘继续输送至下料位。托盘传送轨道呈环形结构，托盘下料位完成托盘下料后，由托盘传送轨道将托盘返回至上料位，实现了托盘的循环利用。托盘的数量为多个，在PECVD镀膜工艺过程中，处于上料位和下料位的托盘可同时完成硅片上料和下料功能，硅片上、下料过程不占用PECVD工艺时间，硅片传送效率高。
本发明电池翻面装置的多个平行布置的电池片传送带将多个电池片同时传送至同轴的多个旋转翻面叶片的叶片传送缺口中，随后同轴的多个旋转翻面叶片旋转，完成多个硅片的同时翻面，实现了硅片快速翻转。
本发明的积极效果是：
（1）带有凹槽阵列的电池片托盘设计，一次性完成批量HIT电池的薄膜生长工艺
本发明公开的一种用于平板式PECVD制备HIT太阳能电池的传片机构，设计了带有凹槽阵列的电池片托盘，用于放置晶体硅电池阵列，可在平板式PECVD设备大面积反应室中一次批量完成多片HIT太阳电池的镀膜工艺，适应HIT电池的PECVD整线大生产。
（2）多吸盘上、下料机械手快速自动上下料
本发明公开的一种用于平板式PECVD制备HIT太阳能电池的传片机构，上、下料机械手采用龙门式结构，在机械手同一直线方向上安装有多个上、下料真空吸盘，通过多吸盘机械手完成HIT太阳电池的批量自动上、下料，提升了生产效率。
（3）多叶片的电池翻面装置一次实现多个硅片的快速翻面
本发明公开的一种用于平板式PECVD制备HIT太阳能电池的传片机构，在第一、二PECVD反应腔中间设有电池片翻面装置，电池片翻面装置由同轴的多个旋转翻面叶片构成，通过多叶片旋转翻面叶片实现多个硅片的翻转, 提升了生产效率。
（4）通过托盘传送轨道完成电池片托盘的输送和返回以实现电池片托盘的高效循环利用。
本发明公开的一种用于平板式PECVD制备HIT太阳能电池的传片机构，通过托盘传送轨道完成电池片托盘的输送和返回，实现了电池片托盘的高效循环利用，且电池片托盘的数量为多个，在PECVD镀膜工艺过程中，处于上料位和下料位的电池片托盘可同时完成硅片上料和下料功能，硅片上、下料过程不占用PECVD工艺时间，生产效率高。
附图说明
图1为本发明一种用于平板式PECVD设备制备HIT太阳能电池的传片机构的总体布局图。
图2为本发明一种用于平板式PECVD制备HIT太阳能电池的传片机构的电池片托盘图。
图3为图2的局部剖视图。
图4为本发明一种用于平板式PECVD制备HIT太阳能电池的传片机构的上、下料机构与电池片托盘的配合示意图。
图5为图4上、下料机械手的结构示意图。
图6为本发明一种用于平板式PECVD制备HIT太阳能电池的传片机构的电池片翻面装置立体结构示意图。
图7为图6的电池片翻面装置平面结构示意图。
图8为本发明一种用于平板式PECVD制备HIT太阳能电池的传片机构工作流程图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式做以下描述。
如图1所示，本发明一种用于平板式PECVD设备制备HIT太阳能电池的传片机构由多个电池片托盘1、上料机械手2、托盘传送轨道3、下料机械手4、电池片翻面装置5、第一PECVD反应腔6、第二PECVD反应腔7等组成。
如图2、图3所示，该电池片托盘1的表面开设有凹槽阵列11，用于放置晶体硅电池片12阵列，一次性完成批量HIT电池的薄膜生长工艺。在具体实施时，电池片托盘1的凹槽阵列11根据PECVD设备反应室规格尺寸确定，以PECVD反应室规格1200mmX1200mm、HIT电池规格156X156mm为例，可设计规格为1100mmX1100mm的电池片托盘1，并在电池片托盘1上开设6X6凹槽阵列，可以容纳36片HIT电池片。
如图4、图5所示，该上、下料机械手2、4通过平行导轨21滑动设置于电池片托盘1的上方，且该上、下料机械手2、4都采用龙门式结构，在龙门式结构的同一直线方向上安装有多个真空吸盘22。通过上、下料机械手2、4在平行导轨21上的直线运动配合真空吸盘22的动作可同时完成多片HIT电池在电池片托盘1上的上料和下料，提升了电池片上、下料的速度。该上、下料机械手2、4上的真空吸盘22的数量根据电池片托盘1上的凹槽阵列11的规格确定，以6X6电池片托盘阵列为例，可在上、下料机械手2、4上设置6个真空吸盘，一次实现6片电池片的批量吸取，上、下料机械手经过6次操作即可将36片HIT电池片上料至6X6电池片托盘1中或将电池片托盘1中的36片电池片下料至硅片盒中。
如图1所示，该托盘传送轨道3呈环形结构，该第一PECVD反应腔6、第二PECVD反应腔7分别设置于一托盘传送轨道3的中间，该托盘传送轨道3位于第一PECVD反应腔6、第二PECVD反应腔7的两侧分别设置上料位31和下料位32。该托盘传送轨道3实现电池片托盘1的输送和返回，即在上料位31完成电池片托盘1上料后由托盘传送轨道3将电池片托盘1输送至第一或第二PECVD反应腔6、7中，并在PECVD镀膜工艺完成后，由托盘传送轨道3将电池片托盘1继续输送至下料位32。下料位32完成电池片托盘1的下料后，由托盘传送轨道3将托盘返回至上料位31，实现了电池片托盘的1循环利用。在PECVD镀膜工艺过程中，处于上料位31和下料位32的托盘可同时完成硅片上料和下料功能，硅片上、下料过程不占用PECVD工艺时间，硅片传送效率高。
如图6、图7所示，该电池片翻面装置5由多个平行布置的电池片传送带51和同轴设置的多个旋转翻面叶片52构成。每个旋转翻面叶片52上都设有多个呈辐射状分布的叶片传送缺口521。该电池片翻面装置5位于第一、二PECVD反应腔6、7之间。多个平行布置的电池片传送带51将多个电池片12同时传送至同轴的多个旋转翻面叶片52位于同一直线上的一叶片传送缺口521中，随后同轴的多个旋转翻面叶片52旋转到下一叶片传送缺口521到达接片位置，如此一步一步，直至位于旋转翻面叶片52上的电池片12旋转180度后，完成多个电池片（硅片）的同时翻面，实现了硅片快速翻转。
第一、二PECVD反应腔6、7为现有结构，在此不作过多介绍。
本发明通过带有凹槽阵列11的电池片托盘1，一次性完成批量HIT电池的薄膜生长工艺，由多吸盘的上、下料机械手2、4完成HIT太阳电池的快速自动上下料，由多叶片的电池片翻面装置5实现多个硅片的同时快速翻转，并通过托盘传送轨道3完成托盘的输送和返回以实现托盘的高效循环利用。
如图8所示，本发明用于平板式PECVD制备HIT太阳能电池的传片机构，其工作过程分为一次上料、正面i/p层薄膜生长、一次下料、翻面、二次上料、背面i/n层薄膜生长、二次下料6个步骤，同样以6X6阵列的电池片托盘为例，详述具体实施方案如下：
一次上料过程中，对于6X6阵列的电池片托盘1而言，待上料的硅片可放置于位于同一直线布置的6个硅片盒A中，上料时，龙门式气动的上料机械手2的6个真空吸盘22从对应的硅片盒中吸取硅片，通过直线平行导轨21一次性将6片硅片吸取放置于电池片托盘1中，如此循环往复，完成6X6电池片托盘1中36片电池片的上料。此外，待上料的硅片还可以采用花篮盒流片方式，硅片放置于花篮盒，通过花篮盒出料机构将硅片从花篮盒逐片取出至传送带上，以每输出6片电池片为一节拍，然后龙门式气动的上料机械手2的6个真空吸盘将传送带上的6片电池片吸取并放置于电池片托盘1中，如此循环往复，完成6X6电池片托盘1中36片电池片的上料。
正面i/p层镀膜时，首先，底部设有输送辊的托盘传送轨道3将已完成电池片上料的电池片托盘1输送至第一PECVD反应腔6中进行正面i/p层镀膜，在电池正面镀膜工艺完成后，电池片托盘1继续输送至下料位32。托盘传送轨道3呈环形结构，下料位32完成托盘下料后，由托盘传送轨道3将托盘返回至上料位31，实现了托盘的循环利用。具体实施时，可在环形托盘传送轨道3上设置3个电池片托盘1，在生产过程中分别处于上料位31、第一PECVD反应腔或第二PECVD反应腔6、7和下料位32，在PECVD镀膜工艺过程中，处于上料位31和下料位32的托盘可同时完成硅片上料和下料功能，硅片上、下料过程不占用PECVD工艺时间。
一次下料过程中，龙门式气动的下料机械手4的6个真空吸盘一次性从电池片托盘1吸取6片硅片，放置于电池片翻面装置5中的6个平行布置的电池片传送带51上。
电池片翻面过程中，6个平行布置的电池片传送带51同时将6个电池片传送至同轴的6个旋转翻面叶片52的叶片传送缺口521中，同轴的6个旋转翻面叶片52旋转同时完成6个硅片的快速翻转。
二次上料、背面i/n层薄膜生长过程中的硅片传送过程与一次上料、背面i/n层薄膜生长过程中类似。二次下料过程中，龙门式气动的下料机械手4一次性将6片硅片从电池片托盘1吸取下料至硅片收集装置（图中未示）中，具体实施时，下料机械手4可一次性将6片硅片收集于位于同一直线布置的6个硅片盒中，也可以一次性将6片硅片下料至传送带上，再由传送带收料至硅片花篮盒中，完成平板式PECVD制备HIT太阳能电池的传片流程。
上面对本发明的实施方式做了说明，但是本发明并不限于上述实施方式，本领域的普通技术人员在了解上述方案的内容后还可以在不脱离本发明宗旨的前提下做出种种变化。
Claims (9)
1.一种用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其包括电池片托盘（1）、上料机械手（2）、底部设有输送辊的托盘传送轨道（3）、下料机械手（4）、电池片翻面装置（5）、PECVD反应腔，其特征在于，
该电池片托盘设置于托盘传送轨道上，且该电池片托盘有多个，每个电池片托盘表面开设用于放置电池片（12）的凹槽阵列（11）；
该PECVD反应腔包括顺序设置的第一PECVD反应腔（6）和第二PECVD反应腔（7）；
该托盘传送轨道（3）包括顺序设置的第一托盘传送轨道（31）和第二托盘传送轨道（32），第一、二托盘传送轨道都呈环形状态设置，该第一PECVD反应腔、第二PECVD反应腔分别设置于第一、二托盘传送轨道的环形传送路径中间，位于第一PECVD反应腔、第二PECVD反应腔前、后侧的第一、二托盘传送轨道上分别设置上料位（31）和下料位（32）；
该上料机械手通过平行导轨滑动设置于上料位的电池片托盘上方，该下料机械手通过平行导轨滑动设置于下料位的电池片托盘上方，且该上、下料机械手采用龙门式结构，在龙门式结构的同一直线方向上安装有多个真空吸盘（22）；
该电池片翻面装置位于第一PECVD反应腔后侧的下料位与第二PECVD反应腔前侧的上料位之间，该电池片翻面装置由多个平行布置的电池片传送带（51）和同轴旋转设置的多组旋转翻面叶片（52）构成，每组旋转翻面叶片上都设有多个呈辐射状分布的叶片传送缺口（521），且各组旋转翻面叶片上的叶片传送缺口对应设置为一直线分布状态，每组旋转翻面叶片对应设置一个电池片传送带。
2.根据权利要求1所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其特征在于，该电池片托盘的凹槽阵列根据PECVD反应腔的规格尺寸确定。
3.根据权利要求1所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其特征在于，该上、下料机械手上的真空吸盘数量根据电池片托盘上的凹槽阵列的规格确定。
4.根据权利要求1所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其特征在于，该PECVD反应腔前、后侧的上料位和下料位上的电池片托盘同时进行上料和下料。
5.根据权利要求1所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其特征在于，第一、二托盘传送轨道上分别设置该电池片托盘3个。
6.一种权利要求1所述用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片方法，其特征在于包括下列步骤：
一次上料：待上料的硅片放置于位于同一直线布置的硅片盒中，上料机械手的真空吸盘从硅片盒中吸取多片硅片，并一次性将多片硅片放置于第一PECVD反应腔前侧的上料位电池片托盘中，如此循环往复，完成电池片托盘中电池片的上料；
正面i/p层镀膜：第一托盘传送轨道将已完成电池片上料的电池片托盘输送至第一PECVD反应腔中进行正面i/p层镀膜，在电池正面i/p层镀膜工艺完成后，电池片托盘继续输送至第一PECVD反应腔后侧的下料位，下料位的电池片托盘完成下料后，由第一托盘传送轨道将电池片托盘返回至上料位，实现电池片托盘的循环利用；
一次下料：下料机械手的真空吸盘一次性从电池片托盘吸取多片硅片，同时放置于电池片翻面装置的多个电池片传送带上；
翻面：多个电池片传送带不断地同时将多个电池片传送至同轴的多个旋转翻面叶片的叶片传送缺口中，多个旋转翻面叶片同时旋转完成多个硅片的快速翻转；
二次上料：上料机械手的真空吸盘一次性吸取完成翻面的多片硅片硅片放置于第二PECVD反应腔前侧的上料位电池片托盘中，如此循环往复，完成电池片托盘中电池片的上料；
背面i/n层薄膜生长：第二托盘传送轨道将已完成电池片上料的电池片托盘输送至第二PECVD反应腔中进行背面i/n层薄膜生长，在电池背面i/n层薄膜生长工艺完成后，电池片托盘继续输送至第二PECVD反应腔后侧的下料位，下料位的电池片托盘完成下料后，由第二托盘传送轨道将电池片托盘返回至上料位，实现电池片托盘的循环利用；
二次下料：下料机械手一次性将多片硅片从第二PECVD反应腔后侧的下料位电池片托盘上吸取下料至硅片收集装置中。
7.根据权利要求6所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片方法，其特征在于，处于上料位和下料位的电池片托盘同时进行硅片上料和下料。
8. 根据权利要求6所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片方法，其特征在于，下料机械手一次性将多片位于第二PECVD反应腔后侧的下料位电池片托盘上的硅片收集于位于同一直线布置的多个硅片盒中。
9. 根据权利要求6所述的用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片方法，其特征在于，下料机械手一次性将多片硅片下料至传送带上，再由传送带收料至硅片花篮盒中。
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