CN211980591U - 异质结太阳能电池镀膜载板及pecvd设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种异质结太阳能电池镀膜载板及PECVD设备，所涉及的异质结太阳能电池镀膜载板包括本体，所述本体上设置有至少一个凹槽，所述凹槽在所述本体厚度方向上依次形成有至少两个卡口，在垂直于所述本体厚度方向的平面上，靠近所述凹槽底部的卡口投影范围位于远离所述凹槽底部的卡口投影范围内；基于本实用新型所提供异质结太阳能电池镀膜载板的结构，在具体应用于异质结太阳能电池的硅片镀膜时，一块镀膜载板可以兼容多种不同尺寸的硅片，可有效避免现有技术中因改变硅片尺寸而所带来镀膜载板成本增加的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏制造领域，尤其涉及一种异质结太阳能电池镀膜载板及PECVD设备。
背景技术
异质结太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。一种常见的异质结太阳能电池制造方法为：利用PECVD在表面织构化后的N型晶体硅的正面沉积很薄的I型本征非晶硅薄膜和P型非晶硅薄膜，然后在晶体硅的背面沉积薄的I型本征非晶硅薄膜和N型非晶硅薄膜；利用溅射技术在电池的两面沉积透明氧化物导电薄膜，然后在透明氧化物导电薄膜上制作金属电极。异质结太阳能电池结合了晶体硅电池和硅基薄膜电池的优点，具有制造流程短、工艺温度低、转换效率高和发电量多等优点。
异质结太阳能电池中I型、P型、N型非晶硅薄膜均利用PECVD设备进行沉积，其具体过程为：将硅片放置在镀膜载板上，接着镀膜载板被传送至PECVD成膜腔室内进行成膜，在成膜工艺完成后镀膜载板被传出PECVD设备，然后由外部机械手将硅片抓取至指定传送带上。参考图1、图2、图3所示，镀膜载板100＇的表面通常设置有若干凹槽10＇，每一凹槽用于装载一块构成异质结太阳能电池的硅片200＇。然现有技术所涉及的镀膜载板100＇存在以下问题：镀膜载板100＇受限于凹槽10＇设置方式，只能适应固定尺寸的硅片200＇，若硅片200＇尺寸变更，原有镀膜载板100＇将不能适用尺寸变更后的硅片，而镀膜载板100＇的制造成本通常较昂贵，更换镀膜载板100＇会带来制造成本上的上升。
有鉴于此，有必要提供一种改进的技术方案以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术存在的技术问题之一，为实现上述实用新型目的，本实用新型提供了一种异质结太阳能电池镀膜载板，其具体设计方式如下。
一种异质结太阳能电池镀膜载板，包括本体，所述本体上设置有至少一个凹槽，所述凹槽在所述本体厚度方向上依次形成有至少两个卡口，在垂直于所述本体厚度方向的平面上，靠近所述凹槽底部的卡口投影范围位于远离所述凹槽底部的卡口投影范围内。
进一步，同一所述凹槽内的若干所述卡口呈同心设置。
进一步，所述凹槽还形成有自所述卡口角部位置处向外侧延伸且与所述卡口连通的避让孔。
进一步，对应于每一所述凹槽，所述本体还具有至少一个与其底部连通的排气孔。
进一步，每一所述凹槽连通有至少3个所述排气孔，所述至少3个排气孔绕相应所述凹槽的轴心线呈环形均匀分布。
进一步，所述卡口用于装载构成所述异质结太阳能电池的硅片，所述卡口的边长与相应所述硅片边长的差值范围为0-2mm。
进一步，所述本体的材质为石墨或碳纤维。
进一步，所述本体上设置若干呈均匀分布的所述凹槽。
本实用新型还提供了一种PECVD设备，该PECVD设备具有以上所述的异质结太阳能电池镀膜载板。
本实用新型的有益效果是：基于本实用新型所提供异质结太阳能电池镀膜载板的结构，在具体应用于异质结太阳能电池的硅片镀膜时，一块镀膜载板可以兼容多种不同尺寸的硅片，可有效避免因改变硅片尺寸而所带来镀膜载板成本增加的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1所示为现有技术镀膜载板100＇的平面示意图；
图2所示为图1中A-A＇位置处的截面示意图；
图3所示为图2中a部的放大示意图；
图4所示为本实用新型镀膜载板的平面示意图；
图5所示为图4中b部的放大示意图；
图6所示为图5中B-B＇位置处的截面示意图；
图7所示为本实用新型镀膜载板的凹槽内装载有第一尺寸硅片的示意图；
图8所示为本实用新型镀膜载板的凹槽内装载有第二尺寸硅片的示意图；
图9所示为本实用新型镀膜载板的凹槽内装载有第三尺寸硅片的示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参考图4所示，本实用新型所涉及的异质结太阳能电池镀膜载板包括本体100，本体100上设置有至少一个凹槽10。结合图5、图6所示，凹槽10在本体100厚度方向上依次形成有至少两个卡口，在垂直于本体100厚度方向的平面上，靠近凹槽10底部的卡口投影范围位于远离凹槽10底部的卡口投影范围内。
具体于本实施例中，自底部指向顶部的方向上，凹槽10依次具有三个卡口，即第一卡口101、第二卡口102以及第三卡口103，在垂直于本体100厚度方向的平面L上，第一卡口101的投影范围位于第二卡口102的投影范围内，第二卡口102的投影范围位于第三卡口103的投影范围内。
本实用新型还提供了一种PECVD设备，该PECVD设备具有以上的异质结太阳能电池镀膜载板。
基于本实施例中所提供异质结太阳能电池镀膜载板的结构，在具体应用于PECVD设备进行异质结太阳能电池的硅片200镀膜时，结合图7、图8、图9所示，第一卡口101适应于第一尺寸硅片21的装载，第二卡口102适应于第二尺寸硅片22的装载，第三卡口103适应于第三尺寸硅片23的装载。即一块镀膜载板可以兼容多种不同尺寸的硅片200，如此可有效避免现有技术中因改变硅片尺寸而所带来镀膜载板成本增加的问题。
可以理解，在本发明另一些实施例中，凹槽10在本体100厚度方向上依次设置的卡口数量不局限于本实施例中所涉及的3个，具体数量可根据需求进行调整。
本实用新型中，所涉及的硅片200通常大致呈规则的正方形，卡口通常具有与硅片200具有一致的形状。作为优选，同一凹槽10内的若干卡口呈同心设置。参考图5所示，第一卡口101、第二卡口102与第三卡口103为同心设置，如此在在采用外部机械手抓取硅片200时，无需额外调节机械手位置，即机械手保持相同位置就能够适应不同尺寸硅片200在镀膜载板上的上料与下料动作，如此可有效提高PECVD设备在进行不同尺寸硅片镀膜时的切换效率。
作为本实用新型的一优选实施方式，凹槽10还形成有自卡口角部位置处向外侧延伸且与卡口连通的避让孔104。参考图5所示，第一卡口101、第二卡口102与第三卡口103各自的四个角部位置处均连通有避让孔104。硅片200的角部位置处比较脆弱，本实施例中基于避让孔104的设置，在将硅片200装载至卡口内或将硅片200从卡口内取出时，可以有效降低硅片200的角部与卡口角部之间的触碰概率，进而可有效降低硅片200镀膜工序中的碎片率。
为便于硅片200的装载，本实用新型中，参考图5、图6所示，对应于每一凹槽10，本体100还具有至少一个与其底部连通的排气孔11。
作为优选，每一凹槽10连通有至少3个排气孔11，且所述至少3个排气孔11绕相应凹槽10的轴心线呈环形均匀分布。参考图5中所示，该实施例中每一凹槽10连通有3个排气孔11，3个排气孔11绕相应凹槽10的轴心线呈环形均匀分布。如此，在将硅片200装载至相应卡口内时，凹槽10内的空气能够均匀的从底部不同位置排出，从而使得硅片200装载过程更为平稳。
凹槽10的卡口用于装载构成异质结太阳能电池的硅片200，为确保硅片200能够装载进入卡口，通常卡口的边长稍大于相应硅片的边长，在具体实施过程中，卡口的边长与相应硅片边长的差值范围为0-2mm。
在具体实施过程中，构成异质结太阳能电池片的硅片200尺寸典型值包括156.75mm±0.25mm、166mm±0.25mm、180mm±0.25mm、210mm±0.25mm等。为确保硅片200能够无障碍装载至镀膜载板相应的卡口内，通常将硅片200的边长上限作为卡口边长的设置参考。对应于以上典型值尺寸的硅片200，凹槽内卡口的边长设置值范围依次为157mm-159mm、166.25mm-168.25mm、180.25mm-182.25mm、210.25mm-212.25mm。
作为本实用新型的优选实施方式，镀膜载板本体100的材质为石墨或碳纤维。
为实现硅片200的批量化镀膜，本体100上设置由若干凹槽10，作为优选，若干凹槽10呈均匀分布。参考图4中所示，若干凹槽10呈矩形阵列形态分布，如此可方便实现外部机械手对镀膜载板的上下硅片动作。
应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种异质结太阳能电池镀膜载板，包括本体，其特征在于，所述本体上设置有至少一个凹槽，所述凹槽在所述本体厚度方向上依次形成有至少两个卡口，在垂直于所述本体厚度方向的平面上，靠近所述凹槽底部的卡口投影范围位于远离所述凹槽底部的卡口投影范围内。
2.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池镀膜载板，其特征在于，同一所述凹槽内的若干所述卡口呈同心设置。
3.根据权利要求1或2所述的异质结太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述凹槽还形成有自所述卡口角部位置处向外侧延伸且与所述卡口连通的避让孔。
4.根据权利要求1或2所述的异质结太阳能电池镀膜载板，其特征在于，对应于每一所述凹槽，所述本体还具有至少一个与其底部连通的排气孔。
5.根据权利要求4所述的异质结太阳能电池镀膜载板，其特征在于，每一所述凹槽连通有至少3个所述排气孔，所述至少3个排气孔绕相应所述凹槽的轴心线呈环形均匀分布。
6.根据权利要求1或2所述的异质结太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述卡口用于装载构成所述异质结太阳能电池的硅片，所述卡口的边长与相应所述硅片边长的差值范围为0-2mm。
7.根据权利要求1或2所述的异质结太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述本体的材质为石墨或碳纤维。
8.根据权利要求1或2所述的异质结太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述本体上设置若干呈均匀分布的所述凹槽。
9.一种PECVD设备，其特征在于，具有权利要求1-8任意一项所述的异质结太阳能电池镀膜载板。
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| CN202020940545.1U CN211980591U (zh) | 2020-05-28 | 2020-05-28 | 异质结太阳能电池镀膜载板及pecvd设备 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN114318275A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-04-12 | 西安隆基乐叶光伏科技有限公司 | 一种载具及成膜方法 |
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2020
- 2020-05-28 CN CN202020940545.1U patent/CN211980591U/zh active Active
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