JPH0555348A - 半導体ウエーハ処理用車輪付きボート - Google Patents
半導体ウエーハ処理用車輪付きボートInfo
- Publication number
- JPH0555348A JPH0555348A JP23742291A JP23742291A JPH0555348A JP H0555348 A JPH0555348 A JP H0555348A JP 23742291 A JP23742291 A JP 23742291A JP 23742291 A JP23742291 A JP 23742291A JP H0555348 A JPH0555348 A JP H0555348A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- bearing
- axle
- wheels
- semiconductor wafer
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 炉芯管内等における直進性を向上する。
【構成】 ボート本体１の両端部に設けた軸受溝３に、
車輪６の車軸５を回転自在に係合してなる半導体ウェー
ハ処理用車輪付きボートにおいて、軸受溝３をその上部
が逆Ｖ字状をなすように設けることにより、車軸を軸受
溝内の上部において前後の２箇所で線接触させてガタを
なくする。
車輪６の車軸５を回転自在に係合してなる半導体ウェー
ハ処理用車輪付きボートにおいて、軸受溝３をその上部
が逆Ｖ字状をなすように設けることにより、車軸を軸受
溝内の上部において前後の２箇所で線接触させてガタを
なくする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハ処理用
車輪付きボートに係り、特に複数の半導体ウェーハに拡
散処理等を施す際にそれらを直接又は間接に載置して炉
芯管等に出し入れする半導体ウェーハ処理用車輪付きボ
ートに関する。
車輪付きボートに係り、特に複数の半導体ウェーハに拡
散処理等を施す際にそれらを直接又は間接に載置して炉
芯管等に出し入れする半導体ウェーハ処理用車輪付きボ
ートに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の半導体ウェーハ処理用車
輪付きボートとしては、例えば特開昭６２−２５９４３
３号公報記載のものが知られている。
輪付きボートとしては、例えば特開昭６２−２５９４３
３号公報記載のものが知られている。
【０００３】この半導体ウェーハ処理用車輪付きボート
は、図４に示すように、複数の半導体ウェーハ（図示せ
ず）を直接又は間接に載置する横断面円弧状のボート本
体２１と、ボート本体２１の両端部（図においては一端
部のみ示す）に設けられ、底壁にＨ形の開口部２２を有
する箱形の軸受ハウジング部２３と、上記開口部２２か
ら軸受ハウジング部２３内に収容され、軸受ハウジング
部２３の両側壁に設けた円弧状若しくは長円形状の軸受
溝２４に回転自在に係合される車軸２５の両端部に車輪
２６を一体に設けてなる車輪ユニット２７と、前記軸受
ハウジング部２３の底壁に凸部２８を介して着脱可能に
設けた車輪ユニット押さえ板２９とから構成されてい
る。
は、図４に示すように、複数の半導体ウェーハ（図示せ
ず）を直接又は間接に載置する横断面円弧状のボート本
体２１と、ボート本体２１の両端部（図においては一端
部のみ示す）に設けられ、底壁にＨ形の開口部２２を有
する箱形の軸受ハウジング部２３と、上記開口部２２か
ら軸受ハウジング部２３内に収容され、軸受ハウジング
部２３の両側壁に設けた円弧状若しくは長円形状の軸受
溝２４に回転自在に係合される車軸２５の両端部に車輪
２６を一体に設けてなる車輪ユニット２７と、前記軸受
ハウジング部２３の底壁に凸部２８を介して着脱可能に
設けた車輪ユニット押さえ板２９とから構成されてい
る。
【０００４】図中３０は車輪ユニット押さえ板２９を出
し入れするため、軸受ハウジング部２３の前壁（図４に
おいては左壁）に設けた矩形の開口部である。
し入れするため、軸受ハウジング部２３の前壁（図４に
おいては左壁）に設けた矩形の開口部である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の半導体ウェーハ処理用車輪付きボートにおいては、
車輪ユニット２７の車軸２５を回転自在とするため、軸
受溝２４の曲率が車軸２５の曲率より僅かに大きく設け
られ、車軸２５に前後のガタがあるので、炉芯管内等に
おける車輪付きボートの走行時の直進性が低下し、大き
な蛇行によって車輪付きボートが傾斜し、載置した半導
体ウェーハが落下するおそれがある。
来の半導体ウェーハ処理用車輪付きボートにおいては、
車輪ユニット２７の車軸２５を回転自在とするため、軸
受溝２４の曲率が車軸２５の曲率より僅かに大きく設け
られ、車軸２５に前後のガタがあるので、炉芯管内等に
おける車輪付きボートの走行時の直進性が低下し、大き
な蛇行によって車輪付きボートが傾斜し、載置した半導
体ウェーハが落下するおそれがある。
【０００６】そこで、本発明は、炉芯管内等における直
進性を向上し得る半導体ウェーハ処理用車輪付きボート
の提供を目的とする。
進性を向上し得る半導体ウェーハ処理用車輪付きボート
の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の半導体ウェーハ処理用車輪付きボートは、
ボート本体の両端部に設けた軸受溝又は軸受穴に、車輪
の車軸を回転自在に係合してなる半導体ウェーハ処理用
車輪付きボートにおいて、前記軸受溝又は軸受穴をその
上部が逆Ｖ字状をなすように設けたものである。
め、本発明の半導体ウェーハ処理用車輪付きボートは、
ボート本体の両端部に設けた軸受溝又は軸受穴に、車輪
の車軸を回転自在に係合してなる半導体ウェーハ処理用
車輪付きボートにおいて、前記軸受溝又は軸受穴をその
上部が逆Ｖ字状をなすように設けたものである。
【０００８】
【作用】上記手段においては、車軸が軸受溝又は軸受穴
内の上部において前後の２箇所で線接触する。
内の上部において前後の２箇所で線接触する。
【０００９】軸受溝又は軸受穴の逆Ｖ字状をなす上部の
角度は、前後等分に割り振られた約４５〜９０°の角度
であることが好ましい。
角度は、前後等分に割り振られた約４５〜９０°の角度
であることが好ましい。
【００１０】逆Ｖ字状をなす上部の角度が４５°未満で
あると、軸受ハウジング部に割れが入ったり、車軸の回
転が円滑にならない一方、９０°を超えると、車軸と軸
受溝又は軸受穴との間にガタを生じ、直進性が低下す
る。
あると、軸受ハウジング部に割れが入ったり、車軸の回
転が円滑にならない一方、９０°を超えると、車軸と軸
受溝又は軸受穴との間にガタを生じ、直進性が低下す
る。
【００１１】逆Ｖ字状の頂部は、車軸径の１／１０〜１
／２のアールとすることが好ましい。
／２のアールとすることが好ましい。
【００１２】車軸径の１／１０未満のアールとすると、
軸受ハウジング部にクラックが入り易くなる一方、１／
２を超えるアールとすると、車軸が２箇所以外でも軸受
溝又は軸受穴と接触し、車軸の回転が円滑とならない。
軸受ハウジング部にクラックが入り易くなる一方、１／
２を超えるアールとすると、車軸が２箇所以外でも軸受
溝又は軸受穴と接触し、車軸の回転が円滑とならない。
【００１３】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１４】図１は本発明の一実施例の半導体ウェーハ
処理用車輪付きボートの要部の斜視図である。
処理用車輪付きボートの要部の斜視図である。
【００１５】図１において１は複数の半導体ウェーハを
直接又は間接に載置する比較的長い（例えば７００mm）
ボート本体で、このボート本体１は、例えば石英ガラ
ス、シリコン、あるいはＳｉＣ質又はＳｉ−ＳｉＣ質の
材料等により横断面皿状に設けられている。ボート本体
１の両端部（図１においては一端部のみ示す。）には、
ボート本体１と同一の材料からなり、ボート本体１の長
手方向（図１においては左右方向）へ貫通した箱形の軸
受ハウジング部２が一体に設けられている。
直接又は間接に載置する比較的長い（例えば７００mm）
ボート本体で、このボート本体１は、例えば石英ガラ
ス、シリコン、あるいはＳｉＣ質又はＳｉ−ＳｉＣ質の
材料等により横断面皿状に設けられている。ボート本体
１の両端部（図１においては一端部のみ示す。）には、
ボート本体１と同一の材料からなり、ボート本体１の長
手方向（図１においては左右方向）へ貫通した箱形の軸
受ハウジング部２が一体に設けられている。
【００１６】軸受ハウジング部２は、後述する車輪ユニ
ットを支承するためのものであり、その左右両側壁の下
部には、約４５〜９０°の角度をなす逆Ｖ字状の軸受溝
３が左右対称位置において下方へ開口して設けられてい
る。両軸受溝３は、図２に示すように、垂直面を境にし
て前後（図２においては左右）等分に割り振られてお
り、又、頂部が後述する車軸の直径の１／１０〜１／２
のアールをなすように形成されている。そして、軸受ハ
ウジング部２の底壁には、両軸受溝３の間を軸受溝３の
下端部と同一幅で切り欠いた開口部４が設けられてい
る。
ットを支承するためのものであり、その左右両側壁の下
部には、約４５〜９０°の角度をなす逆Ｖ字状の軸受溝
３が左右対称位置において下方へ開口して設けられてい
る。両軸受溝３は、図２に示すように、垂直面を境にし
て前後（図２においては左右）等分に割り振られてお
り、又、頂部が後述する車軸の直径の１／１０〜１／２
のアールをなすように形成されている。そして、軸受ハ
ウジング部２の底壁には、両軸受溝３の間を軸受溝３の
下端部と同一幅で切り欠いた開口部４が設けられてい
る。
【００１７】軸受ハウジング部２の両軸受溝３には、ボ
ート本体１と同一の材料からなり、この軸受ハウジング
部２の幅より適宜に長い長さを有する車軸５の両端部に
車輪６を一体に設けてなる車輪ユニット７が、車軸５を
回転自在に係合して支承されている。そして、車軸５を
両軸受溝３に係合した車輪ユニット７は、軸受ハウジン
グ部２の前方（図１においては左方）の開口部から取り
外し可能に挿入される車輪ユニット押さえ板８によって
軸受ハウジング部２からの脱落を防止されている。車輪
ユニット押さえ板８には、その水平方向の移動を防止す
るため、軸受ハウジング部２の底壁の開口部４と係合す
る凸部９が設けられている。
ート本体１と同一の材料からなり、この軸受ハウジング
部２の幅より適宜に長い長さを有する車軸５の両端部に
車輪６を一体に設けてなる車輪ユニット７が、車軸５を
回転自在に係合して支承されている。そして、車軸５を
両軸受溝３に係合した車輪ユニット７は、軸受ハウジン
グ部２の前方（図１においては左方）の開口部から取り
外し可能に挿入される車輪ユニット押さえ板８によって
軸受ハウジング部２からの脱落を防止されている。車輪
ユニット押さえ板８には、その水平方向の移動を防止す
るため、軸受ハウジング部２の底壁の開口部４と係合す
る凸部９が設けられている。
【００１８】図１において１０は車輪６のボスで、車輪
６の軸受ハウジング部２との接触面積を低減すべく内側
に突設されている。
６の軸受ハウジング部２との接触面積を低減すべく内側
に突設されている。
【００１９】なお、車輪６の外周部は、炉芯管内等との
接触を良好にするため、断面円弧状に設けることが好ま
しい。
接触を良好にするため、断面円弧状に設けることが好ま
しい。
【００２０】上記構成の半導体ウェーハ処理用車輪付き
ボートは、車輪ユニット７の車軸５を軸受ハウジング部
２の軸受溝３に係合した後、車輪ユニット押さえ板８を
前方の開口部から軸受ハウジング部２内に挿入し、かつ
その凸部９を開口部４に係合することによって走行部分
の組み立てが完了するものであり、上記手順と逆に車輪
ユニット押さえ板８を軸受ハウジング部２から引き抜
き、かつ車輪ユニット７を取り外すことにより走行部分
の分解が行われる。
ボートは、車輪ユニット７の車軸５を軸受ハウジング部
２の軸受溝３に係合した後、車輪ユニット押さえ板８を
前方の開口部から軸受ハウジング部２内に挿入し、かつ
その凸部９を開口部４に係合することによって走行部分
の組み立てが完了するものであり、上記手順と逆に車輪
ユニット押さえ板８を軸受ハウジング部２から引き抜
き、かつ車輪ユニット７を取り外すことにより走行部分
の分解が行われる。
【００２１】ここで、車輪ユニット７の車軸５の直径を
一定にし、軸受ハウジング部２の軸受溝３の逆Ｖ字状を
なす角度を４０°，４５°，６０°，９０°，９５°と
変え、車輪付きボートを炉芯管内で２ｍ走行させたとこ
ろ、４０°のものは、車軸５の回転が困難となると共
に、軸受ハウジング部２に亀裂が入る不具合が生じ、
又、４５〜９０°のものは、車軸５の回転が円滑になる
と共に、走行初期の炉芯管の中心とのなす中心角を０°
とした場合、走行終期の炉芯管の中心となす中心角が、
いずれも図３において直線Ａで示すようになり、更に９
５°のものは、走行終期の炉芯管の中心となす中心角
が、図３において直線Ｂで示すようになる一方、従来の
車輪付きボートの走行終期の炉芯管の中心となす中心角
は、直線Ｃに示すようになった。
一定にし、軸受ハウジング部２の軸受溝３の逆Ｖ字状を
なす角度を４０°，４５°，６０°，９０°，９５°と
変え、車輪付きボートを炉芯管内で２ｍ走行させたとこ
ろ、４０°のものは、車軸５の回転が困難となると共
に、軸受ハウジング部２に亀裂が入る不具合が生じ、
又、４５〜９０°のものは、車軸５の回転が円滑になる
と共に、走行初期の炉芯管の中心とのなす中心角を０°
とした場合、走行終期の炉芯管の中心となす中心角が、
いずれも図３において直線Ａで示すようになり、更に９
５°のものは、走行終期の炉芯管の中心となす中心角
が、図３において直線Ｂで示すようになる一方、従来の
車輪付きボートの走行終期の炉芯管の中心となす中心角
は、直線Ｃに示すようになった。
【００２２】したがって、軸受溝の角度を４５〜９０°
とすることにより、炉芯管内等における車輪付きボート
の直進性を大幅に向上し得ることがわかる。
とすることにより、炉芯管内等における車輪付きボート
の直進性を大幅に向上し得ることがわかる。
【００２３】なお、上述した実施例においては、車輪ユ
ニットを一体型のものとし、軸受ハウジング部に下方に
開口した軸受溝を設ける場合について説明したが、これ
に限定されるものではなく、例えば車輪ユニットを車軸
と車輪とが分解可能な組立型のものとする場合には、軸
受ハウジング部の両側壁に軸受穴を設け、かつこの軸受
穴の上部を逆Ｖ字状とした四角形、五角形その他の形状
とし、車軸が前後の２箇所で軸受穴と線接触するように
してもよく、同様の作用効果が得られる。
ニットを一体型のものとし、軸受ハウジング部に下方に
開口した軸受溝を設ける場合について説明したが、これ
に限定されるものではなく、例えば車輪ユニットを車軸
と車輪とが分解可能な組立型のものとする場合には、軸
受ハウジング部の両側壁に軸受穴を設け、かつこの軸受
穴の上部を逆Ｖ字状とした四角形、五角形その他の形状
とし、車軸が前後の２箇所で軸受穴と線接触するように
してもよく、同様の作用効果が得られる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明の半導体ウェ
ーハ処理用車輪付きボートによれば、車軸が軸受溝又は
軸受穴内の上部において前後の２箇所で線接触するの
で、従来のように車軸が軸受溝内で前後にガタつくよう
なことはなく、炉芯管内等における直進性を大幅に向上
することができ、ひいては車輪付きボートが傾き、載置
した半導体ウェーハが落下することはない。
ーハ処理用車輪付きボートによれば、車軸が軸受溝又は
軸受穴内の上部において前後の２箇所で線接触するの
で、従来のように車軸が軸受溝内で前後にガタつくよう
なことはなく、炉芯管内等における直進性を大幅に向上
することができ、ひいては車輪付きボートが傾き、載置
した半導体ウェーハが落下することはない。
【図１】本発明の一実施例の半導体ウェーハ処理用車輪
付きボートの要部の分解斜視図である。
付きボートの要部の分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施例の半導体ウェーハ処理用車輪
付きボートの要部の側面図である。
付きボートの要部の側面図である。
【図３】図１の車輪付きボートの直進性を示す説明図で
ある。
ある。
【図４】従来の半導体ウェーハ処理用車輪付きボートの
要部の分解斜視図である。
要部の分解斜視図である。
１ ボート本体 ２ 軸受ハウジング部 ３ 軸受溝 ４ 開口部 ５ 車軸 ６ 車輪 ７ 車輪ユニット ８ 車輪ユニット押さえ板
Claims (1)
- 【請求項１】 ボート本体の両端部に設けた軸受溝又は
軸受穴に、車輪の車軸を回転自在に係合してなる半導体
ウェーハ処理用車輪付きボートにおいて、前記軸受溝又
は軸受穴をその上部が逆Ｖ字状をなすように設けたこと
を特徴とする半導体ウェーハ処理用車輪付きボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23742291A JPH0555348A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 半導体ウエーハ処理用車輪付きボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23742291A JPH0555348A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 半導体ウエーハ処理用車輪付きボート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555348A true JPH0555348A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=17015126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23742291A Pending JPH0555348A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 半導体ウエーハ処理用車輪付きボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0555348A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111489995A (zh) * | 2020-04-25 | 2020-08-04 | 台州卓睿科技有限公司 | 太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺 |
-
1991
- 1991-08-23 JP JP23742291A patent/JPH0555348A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111489995A (zh) * | 2020-04-25 | 2020-08-04 | 台州卓睿科技有限公司 | 太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺 |
| CN111489995B (zh) * | 2020-04-25 | 2021-01-05 | 一道新能源科技(衢州)有限公司 | 太阳能电池硅片二次印刷用翻转运输装置及其生产工艺 |
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