CN112992745A - 一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，包括支撑机构，还包括设置在所述支撑机构上的用于对晶圆进行限位支撑的限位机构，所述限位机构上设置有用于对放置晶圆进行固定的固定机构。本发明通过调整机构的双螺旋丝杠转动，使前后两侧的滑块在滑轨内相对移动，调整第一限位板、第二限位板的间距，使第一限位板、第二限位板的下限位座对晶圆下侧进行初步支撑，然后通过固定机构的夹板在弹簧的作用力下对两侧进行夹紧固定，再转动第三限位板上连接的螺杆，推动第三限位板向下移动，对晶圆上部进行支撑限位，便于适应不同尺寸晶圆的支撑固定，提高了对晶圆固定的便利性，避免多规格花篮的储备。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆清洗技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮。
背景技术
在晶圆的加工过程中，通常需要对晶圆进行多次的清洗。晶圆清洗的一般方法是：首先将晶圆放置在清洗花篮内，然后将装有晶圆的清洗花篮投入清洗槽内，清洗槽内装有清洗剂并具有超声波发生装置。目前传统的清洗花篮只能对单一尺寸晶圆进行限位固定，因此造成对不同规格的晶圆清洗需要不同的花篮，增加了工装的成本，给生产带来了困扰。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮。
本发明通过以下技术方案来实现上述目的：
一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，包括支撑机构，还包括设置在所述支撑机构上的用于对晶圆进行限位支撑的限位机构，所述限位机构上设置有用于对放置晶圆进行固定的固定机构，所述限位机构两端设置有用于对所述限位机构进行限位调整的调整机构，所述调整机构与所述限位机构连接，所述限位机构与所述固定机构连接，所述调整机构与所述支撑机构连接；
所述支撑机构包括设置在两侧的立板，所述立板下端设置有底板，所述立板上设置有工艺孔，所述立板上端设置有提手；
所述限位机构包括第一限位板、第二限位板、第三限位板，所述第一限位板、所述第二限位板内侧面上设置有下限位座，所述第三限位板下端设置有上限位座，所述下限位座、所述上限位座呈等边三角状分布，所述下限位座、所述上限位座相对面上均设置有隔板，且所述隔板间隔相同设置；
所述调整机构包括滑轨，所述滑轨前后对称设置，所述滑轨内侧设置有滑块，所述滑轨前后端均设置有盖板，所述滑块分别固定在所述第一限位板、所述第二限位板两端，所述滑块上穿设有双螺旋丝杠，所述双螺旋丝杠前后两端穿过所述盖板，且所述双螺旋丝杠前后端上均设置有销轴，所述第三限位板两侧连接有螺杆，所述螺杆下端设置有连接头，所述螺杆上设置有支撑座，所述支撑座与所述立板焊接；
所述固定机构包括支撑轴，所述支撑轴两端设置有侧板，所述支撑轴上间隔设置有夹板，且两相邻所述夹板间与所述隔板相对应处设置有限位环，所述支撑轴上位于所述限位环相邻位置设置有弹簧。
进一步设置：所述提手横截面为扁平状，所述提手与所述立板螺栓连接，且为所述立板上端中心位置。
如此设置，便于所述提手安装固定在所述立板上，对整体进行提起。
进一步设置：所述提手呈工字型，所述提手与所述立板焊接，所述提手材料为圆柱形。
如此设置，提高所述提手与所述立板的连接牢固性，便于对整体提起操作。
进一步设置：所述第一限位板、所述第二限位板处于同一水平面上，所述下限位座位于所述隔板间为圆弧支撑面。
如此设置，使所述第一限位板、所述第二限位板上的下限位座对晶圆进行对称支撑，提高对晶圆支撑的稳定性。
进一步设置：所述第三限位板两端设置有凹槽，所述连接头内嵌在该凹槽内，且与所述第三限位板转动连接。
如此设置，便于所述螺杆通过所述连接头对所述第三限位板进行上下调整。
进一步设置：所述滑轨焊接在所述立板侧壁上，所述盖板与所述滑轨焊接，所述双螺旋丝杠与所述盖板转动连接。
如此设置，提高所述滑轨与所述立板的连接牢固性，提高对所述滑块的支撑性能。
进一步设置：所述双螺旋丝杠与所述滑块螺纹连接，所述滑块与所述第一限位板、所述第二限位板焊接。
如此设置，使所述双螺旋丝杠的转动带动所述滑块相对移动，便于对所述第一限位板、所述第二限位板间距进行调整。
进一步设置：所述螺杆与所述连接头焊接，所述螺杆与所述支撑座螺纹连接，所述螺杆上端设置有旋钮。
如此设置，便于通过所述螺杆的转动对所述第三限位板进行上下调整。
进一步设置：所述夹板与所述支撑轴间隙连接，所述支撑轴与所述侧板焊接。
如此设置，便于所述夹板在所述支撑轴上进行活动，通过所述弹簧作用力对晶圆进行固定。
进一步设置：所述调整机构分别设置在所述立板内壁上，且相互对称。
如此设置，提高对所述限位机构的调整稳定性。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
通过调整机构的双螺旋丝杠转动，使前后两侧的滑块在滑轨内相对移动，调整第一限位板、第二限位板的间距，使第一限位板、第二限位板的下限位座对晶圆下侧进行初步支撑，然后通过固定机构的夹板在弹簧的作用力下对两侧进行夹紧固定，再转动第三限位板上连接的螺杆，推动第三限位板向下移动，对晶圆上部进行支撑限位，便于适应不同尺寸晶圆的支撑固定，提高了对晶圆固定的便利性，避免多规格花篮的储备。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明所述一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮的实施例1的结构示意图；
图2是本发明所述一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮的实施例1的主视结构示意图；
图3是本发明所述一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮的实施例1的俯视结构示意图；
图4是图2的A-A剖视结构示意图；
图5是本发明所述一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮的调整机构的局部放大结构示意图；
图6是本发明所述一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮的部分剖视结构示意图；
图7是本发明所述一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮的固定机构的局部结构示意图；
图8是本发明所述一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮的实施例2的结构示意图。
附图标记说明如下：
1、支撑机构；11、立板；12、底板；2、限位机构；21、第一限位板；22、第二限位板；23、第三限位板；24、下限位座；25、上限位座；26、隔板；3、调整机构；31、滑轨；32、盖板；33、滑块；34、双螺旋丝杠；35、销轴；36、支撑座；37、螺杆；38、连接头；4、固定机构；41、支撑轴；42、侧板；43、夹板；44、弹簧；45、限位环；5、提手。
具体实施方式
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图对本发明作进一步说明：
实施例1
如图1-图7所示，一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，包括支撑机构1，还包括设置在支撑机构1上的用于对晶圆进行限位支撑的限位机构2，限位机构2上设置有用于对放置晶圆进行固定的固定机构4，限位机构2两端设置有用于对限位机构2进行限位调整的调整机构3，调整机构3与限位机构2连接，限位机构2与固定机构4连接，调整机构3与支撑机构1连接；
支撑机构1包括设置在两侧的立板11，对整体进行支撑，立板11下端设置有底板12，使整体放置稳定，立板11上设置有工艺孔，立板11上端设置有提手5；
限位机构2包括第一限位板21、第二限位板22、第三限位板23，第一限位板21、第二限位板22内侧面上设置有下限位座24，第三限位板23下端设置有上限位座25，对晶圆进行间隔限位，下限位座24、上限位座25呈等边三角状分布，对晶圆进行三点支撑固定，下限位座24、上限位座25相对面上均设置有隔板26，且隔板26间隔相同设置；
调整机构3包括滑轨31，滑轨31前后对称设置，滑轨31内侧设置有滑块33，支撑第一限位板21、第二限位板22的移动，滑轨31前后端均设置有盖板32，滑块33分别固定在第一限位板21、第二限位板22两端，滑块33上穿设有双螺旋丝杠34，双螺旋丝杠34前后两端穿过盖板32，且双螺旋丝杠34前后端上均设置有销轴35，便于对双螺旋丝杠34进行转动，第三限位板23两侧连接有螺杆37，螺杆37下端设置有连接头38，螺杆37上设置有支撑座36，支撑座36与立板11焊接；
固定机构4包括支撑轴41，支撑轴41两端设置有侧板42，支撑轴41上间隔设置有夹板43，对限位晶圆进行夹紧固定，且两相邻夹板43间与隔板26相对应处设置有限位环45，支撑轴41上位于限位环45相邻位置设置有弹簧44。
优选的：提手5横截面为扁平状，提手5与立板11螺栓连接，且为立板11上端中心位置，便于提手5安装固定在立板11上，对整体进行提起；第一限位板21、第二限位板22处于同一水平面上，下限位座24位于隔板26间为圆弧支撑面，使第一限位板21、第二限位板22上的下限位座24对晶圆进行对称支撑，提高对晶圆支撑的稳定性；第三限位板23两端设置有凹槽，连接头38内嵌在该凹槽内，且与第三限位板23转动连接，便于螺杆37通过连接头38对第三限位板23进行上下调整；滑轨31焊接在立板11侧壁上，盖板32与滑轨31焊接，双螺旋丝杠34与盖板32转动连接，提高滑轨31与立板11的连接牢固性，提高对滑块33的支撑性能；双螺旋丝杠34与滑块33螺纹连接，滑块33与第一限位板21、第二限位板22焊接，使双螺旋丝杠34的转动带动滑块33相对移动，便于对第一限位板21、第二限位板22间距进行调整；螺杆37与连接头38焊接，螺杆37与支撑座36螺纹连接，螺杆37上端设置有旋钮，便于通过螺杆37的转动对第三限位板23进行上下调整；夹板43与支撑轴41间隙连接，支撑轴41与侧板42焊接，便于夹板43在支撑轴41上进行活动，通过弹簧44作用力对晶圆进行固定；调整机构3分别设置在立板11内壁上，且相互对称，提高对限位机构2的调整稳定性。
实施例2
如图5-图8所示，一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，包括支撑机构1，还包括设置在支撑机构1上的用于对晶圆进行限位支撑的限位机构2，限位机构2上设置有用于对放置晶圆进行固定的固定机构4，限位机构2两端设置有用于对限位机构2进行限位调整的调整机构3，调整机构3与限位机构2连接，限位机构2与固定机构4连接，调整机构3与支撑机构1连接；
支撑机构1包括设置在两侧的立板11，对整体进行支撑，立板11下端设置有底板12，使整体放置稳定，立板11上设置有工艺孔，立板11上端设置有提手5；
限位机构2包括第一限位板21、第二限位板22、第三限位板23，第一限位板21、第二限位板22内侧面上设置有下限位座24，第三限位板23下端设置有上限位座25，对晶圆进行间隔限位，下限位座24、上限位座25呈等边三角状分布，对晶圆进行三点支撑固定，下限位座24、上限位座25相对面上均设置有隔板26，且隔板26间隔相同设置；
调整机构3包括滑轨31，滑轨31前后对称设置，滑轨31内侧设置有滑块33，支撑第一限位板21、第二限位板22的移动，滑轨31前后端均设置有盖板32，滑块33分别固定在第一限位板21、第二限位板22两端，滑块33上穿设有双螺旋丝杠34，双螺旋丝杠34前后两端穿过盖板32，且双螺旋丝杠34前后端上均设置有销轴35，便于对双螺旋丝杠34进行转动，第三限位板23两侧连接有螺杆37，螺杆37下端设置有连接头38，螺杆37上设置有支撑座36，支撑座36与立板11焊接；
固定机构4包括支撑轴41，支撑轴41两端设置有侧板42，支撑轴41上间隔设置有夹板43，对限位晶圆进行夹紧固定，且两相邻夹板43间与隔板26相对应处设置有限位环45，支撑轴41上位于限位环45相邻位置设置有弹簧44。
优选的：提手5呈工字型，提手5与立板11焊接，提手5材料为圆柱形，提高提手5与立板11的连接牢固性，便于对整体提起操作；第一限位板21、第二限位板22处于同一水平面上，下限位座24位于隔板26间为圆弧支撑面，使第一限位板21、第二限位板22上的下限位座24对晶圆进行对称支撑，提高对晶圆支撑的稳定性；第三限位板23两端设置有凹槽，连接头38内嵌在该凹槽内，且与第三限位板23转动连接，便于螺杆37通过连接头38对第三限位板23进行上下调整；滑轨31焊接在立板11侧壁上，盖板32与滑轨31焊接，双螺旋丝杠34与盖板32转动连接，提高滑轨31与立板11的连接牢固性，提高对滑块33的支撑性能；双螺旋丝杠34与滑块33螺纹连接，滑块33与第一限位板21、第二限位板22焊接，使双螺旋丝杠34的转动带动滑块33相对移动，便于对第一限位板21、第二限位板22间距进行调整；螺杆37与连接头38焊接，螺杆37与支撑座36螺纹连接，螺杆37上端设置有旋钮，便于通过螺杆37的转动对第三限位板23进行上下调整；夹板43与支撑轴41间隙连接，支撑轴41与侧板42焊接，便于夹板43在支撑轴41上进行活动，通过弹簧44作用力对晶圆进行固定；调整机构3分别设置在立板11内壁上，且相互对称，提高对限位机构2的调整稳定性。
本发明工作原理及使用流程：根据晶圆大小通过调整机构3的双螺旋丝杠34转动，使前后两侧的滑块33在滑轨31内相对移动，调整第一限位板21、第二限位板22的间距，将晶圆放置在第一限位板21、第二限位板22的下限位座24间，通过固定机构4的夹板43在弹簧44的作用力下对两侧进行夹紧，然后转动第三限位板23上连接的螺杆37，推动第三限位板23向下移动，对晶圆上部进行支撑限位，然后将整体放入清洗设备内进行清洗。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。
Claims (10)
1.一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，包括支撑机构(1)，其特征在于：还包括设置在所述支撑机构(1)上的用于对晶圆进行限位支撑的限位机构(2)，所述限位机构(2)上设置有用于对放置晶圆进行固定的固定机构(4)，所述限位机构(2)两端设置有用于对所述限位机构(2)进行限位调整的调整机构(3)，所述调整机构(3)与所述限位机构(2)连接，所述限位机构(2)与所述固定机构(4)连接，所述调整机构(3)与所述支撑机构(1)连接；
所述支撑机构(1)包括设置在两侧的立板(11)，所述立板(11)下端设置有底板(12)，所述立板(11)上设置有工艺孔，所述立板(11)上端设置有提手(5)；
所述限位机构(2)包括第一限位板(21)、第二限位板(22)、第三限位板(23)，所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)内侧面上设置有下限位座(24)，所述第三限位板(23)下端设置有上限位座(25)，所述下限位座(24)、所述上限位座(25)呈等边三角状分布，所述下限位座(24)、所述上限位座(25)相对面上均设置有隔板(26)，且所述隔板(26)间隔相同设置；
所述调整机构(3)包括滑轨(31)，所述滑轨(31)前后对称设置，所述滑轨(31)内侧设置有滑块(33)，所述滑轨(31)前后端均设置有盖板(32)，所述滑块(33)分别固定在所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)两端，所述滑块(33)上穿设有双螺旋丝杠(34)，所述双螺旋丝杠(34)前后两端穿过所述盖板(32)，且所述双螺旋丝杠(34)前后端上均设置有销轴(35)，所述第三限位板(23)两侧连接有螺杆(37)，所述螺杆(37)下端设置有连接头(38)，所述螺杆(37)上设置有支撑座(36)，所述支撑座(36)与所述立板(11)焊接；
所述固定机构(4)包括支撑轴(41)，所述支撑轴(41)两端设置有侧板(42)，所述支撑轴(41)上间隔设置有夹板(43)，且两相邻所述夹板(43)间与所述隔板(26)相对应处设置有限位环(45)，所述支撑轴(41)上位于所述限位环(45)相邻位置设置有弹簧(44)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述提手(5)横截面为扁平状，所述提手(5)与所述立板(11)螺栓连接，且为所述立板(11)上端中心位置。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述提手(5)呈工字型，所述提手(5)与所述立板(11)焊接，所述提手(5)材料为圆柱形。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)处于同一水平面上，所述下限位座(24)位于所述隔板(26)间为圆弧支撑面。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述第三限位板(23)两端设置有凹槽，所述连接头(38)内嵌在该凹槽内，且与所述第三限位板(23)转动连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述滑轨(31)焊接在所述立板(11)侧壁上，所述盖板(32)与所述滑轨(31)焊接，所述双螺旋丝杠(34)与所述盖板(32)转动连接。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述双螺旋丝杠(34)与所述滑块(33)螺纹连接，所述滑块(33)与所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)焊接。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述螺杆(37)与所述连接头(38)焊接，所述螺杆(37)与所述支撑座(36)螺纹连接，所述螺杆(37)上端设置有旋钮。
9.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述夹板(43)与所述支撑轴(41)间隙连接，所述支撑轴(41)与所述侧板(42)焊接。
10.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述调整机构(3)分别设置在所述立板(11)内壁上，且相互对称。
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