CN202615111U - 一种手动光刻版清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种手动光刻版清洗装置，包括框体，所述框体的内腔中等距离开设有若干个光刻版卡槽，所述框体上夹设有夹持体。本实用新型结构简单，制作方便，增加了一次清洗光刻版的数量，提高工作效率，并且使用灵活，框体和夹持体方便拆开，人员无需近距离擦版，提高了清洗时的安全系数。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造中光刻工艺所使用到的清洗装置，具体涉及一种手动光刻版清洗装置。
背景技术
专利号为2010201681110的实用新型专利，公布了一种光刻版清洗架，参见图1，该清洗架是将光刻版插入卡持部1固定后，沿着图1中虚线所示的箭头方向，与框架2扣合后，将其浸入清洗液中，手柄3露在液面外，用清洗刷头浸入清洗液进行擦拭。其不足之处在于：光刻版一次只能放入一片，而且清洗时人员提住手提，人手离清洗液非常接近，在使用强酸强碱清洗时容易有安全隐患。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种能够实现同时清洗多块光刻版，并且使用安全的手动光刻版清洗装置。
一种手动光刻版清洗装置，包括框体，所述框体的内腔中等距离开设有若干个光刻版卡槽，所述框体上夹设有夹持体。
本实用新型的有益效果体现在：
1、可同时将多块光刻版放入框体内腔中进行清洗，提高了工作效率；
2、使用灵活，夹持体与框体方便拆开，便于框体放入装有清洗液的清洗槽后盖上槽盖，实现抖动、超声、旋转、喷洗等洗版方式；
3、避免人员与溶液槽接触，安全系数高，通过抖动、超声、旋转、喷洗等工艺手段进行清洗，可避免擦版。
附图说明
图1为现有技术中光刻版清洗架的结构示意图。
图2为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
实施例1
参见图1，本实用新型提供的一种手动光刻版清洗装置，包括框体4，所述框体4的内腔中等距离开设有若干个光刻版卡槽5，所述框体4上夹设有夹持体6。
Claims (1)
1.一种手动光刻版清洗装置，包括框体，其特征在于：所述框体的内腔中等距离开设有若干个光刻版卡槽，所述框体上夹设有夹持体。
Priority Applications (1)
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| CN 201220291507 CN202615111U (zh) | 2012-06-20 | 2012-06-20 | 一种手动光刻版清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN 201220291507 CN202615111U (zh) | 2012-06-20 | 2012-06-20 | 一种手动光刻版清洗装置 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN202615111U true CN202615111U (zh) | 2012-12-19 |
Family
ID=47348797
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN202615111U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104934352A (zh) * | 2015-05-07 | 2015-09-23 | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 | 多规格光刻版清洗治具 |
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2012
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Cited By (3)
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| CN104934352B (zh) * | 2015-05-07 | 2018-01-19 | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 | 多规格光刻版清洗治具 |
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20121219 Termination date: 20150620 |
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