CN204303754U - 半导体晶片清洗槽 - Google Patents
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Abstract
一种半导体晶片清洗槽，包括清洗槽本体，其特殊之处是：所述清洗槽本体侧面下部固设有支撑块，在清洗槽本体内部位于支撑块上设有镂空隔板，所述镂空隔板上设有晶片花篮，所述清洗槽本体内部位于镂空隔板下面设有搅拌轴，所述清洗槽本体上对应支撑块位置设置定位块。该半导体晶片清洗槽结构简单、成本低、使用方便，将晶片花篮放在镂空隔板上，利用搅拌轴上的搅拌杆使液体流动，整个清洗过程中晶片花篮静止，防止清洗过程晶片损坏，从而提高晶片的成品率，避免晶片二次污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体晶片清洗槽。
背景技术
现有的半导体晶片清洗槽在清洗时，晶片花篮静止会造成晶片表面反应不均匀，且清洗掉的沾污物质会重新附着到晶片表面，产生二次沾污的问题。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单、使用方便、成本低，防止清洗过程晶片损坏，提高成品率，避免二次污染的半导体晶片清洗槽。
本实用新型的技术解决方案是：
半导体晶片清洗槽，包括清洗槽本体，其特殊之处是：所述清洗槽本体侧面下部固设有支撑块，在清洗槽本体内部位于支撑块上设有镂空隔板，所述镂空隔板上设有晶片花篮，所述清洗槽本体内部位于镂空隔板下面设有搅拌轴，所述清洗槽本体上对应支撑块位置设置定位块。
该半导体晶片清洗槽结构简单、成本低、使用方便，将晶片花篮放在镂空隔板上，利用搅拌轴上的搅拌杆使液体流动，整个清洗过程中晶片花篮静止，防止清洗过程晶片损坏，从而提高晶片的成品率，避免晶片二次污染。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中：1-洗槽本体，101-销孔，2-支撑块，3-镂空隔板，4-晶片花篮，5-搅拌轴，6-定位块，7－搅拌杆。
具体实施方式
如图所示，一种半导体晶片清洗槽，包括清洗槽本体1，所述清洗槽本体1侧面下部固设有支撑块2，在清洗槽本体1内部位于支撑块2上设有镂空隔板3，所述镂空隔板3上设有晶片花篮4，所述清洗槽本体1侧壁位于镂空隔板3下面设有销孔101，在销孔101内放置搅拌轴5，所述搅拌轴5两侧设有由镂空隔板3穿出的搅拌杆7，所述清洗槽本体1上对应支撑块2位置设置定位块6，将镂空隔板3卡住。
操作时，将晶片放入晶片花篮中，用手摇摆，搅拌杆7晃动后开始搅拌，通过清洗液流动清洗晶片。
Claims (1)
1.半导体晶片清洗槽，包括清洗槽本体，其特征是：所述清洗槽本体侧面下部固设有支撑块，在清洗槽本体内部位于支撑块上设有镂空隔板，所述镂空隔板上设有晶片花篮，所述清洗槽本体内部位于镂空隔板下面设有搅拌轴，所述清洗槽本体上对应支撑块位置设置定位块。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201420861353.6U CN204303754U (zh) | 2014-12-31 | 2014-12-31 | 半导体晶片清洗槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201420861353.6U CN204303754U (zh) | 2014-12-31 | 2014-12-31 | 半导体晶片清洗槽 |
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Family Applications (1)
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2014
- 2014-12-31 CN CN201420861353.6U patent/CN204303754U/zh not_active Expired - Fee Related
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