TW201415574A - 高架移行車系統及高架移行車系統之控制方法 - Google Patents

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Abstract

本發明使物品於在區域台車之軌道之一對軌條之間升降時不會與軌條接觸。分別具有吊車之高架移行車及區域台車係於裝載埠之正上部移行。區域台車之軌道包含高架移行車之軌道之正下方之一對軌條，且藉由高架移行車之吊車而使物品沿上下通過一對軌條之間。感測器至少設置於區域台車之軌道之下部、且偏離未橫向搖晃時之物品升降路徑之位置，該感測器檢測朝向與區域台車之軌道之長度方向於水平面內成直角之方向橫向搖晃的物品，當感測器檢測到橫向搖晃之物品時，則使高架移行車及區域台車之吊車之升降停止。

Description

高架移行車系統及高架移行車系統之控制方法
本發明係關於一種高架移行車系統，尤其係關於一種於裝載埠之上部，上下重疊地配置高架移行車之軌道與區域台車之軌道之系統。
發明者曾提出將高架移行車之軌道、區域台車之軌道及緩衝區上下重疊地配置於裝載埠之正上部(專利文獻1JP2012-111635A)。而且，區域台車之軌道包含一對軌條，並於軌條之間藉由高架移行車之吊車而升降物品。如此一來，可將對裝載埠搬出搬入之物品儲存於緩衝區，且高架移行車與區域台車均可向裝載埠存取。然而，該系統中，於在軌條之間升降時，物品可能接觸於軌條。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]JP2012-111635A
本發明之課題在於使物品於在區域台車之軌道之一對軌條之間升降時不與軌條接觸。
本發明之高架移行車系統係包含：高架移行車，其具有使物品升降之吊車；上述高架移行車之軌道；裝載埠，其設置於處理裝置之前面；區域台車之軌道，其係由一對軌條所構成，該等一對軌條於上述裝載埠之正上部且高架移行車之軌道之正下方，與高架移行車之軌道平行地配置；區域台車，其具備使物品升降之吊車，且沿上述區域台車之軌道移行；及感測器，其檢測朝向與區域台車之軌道之長度方向於水平面內成直角之方向橫向搖晃之物品；上述區域台車之軌道係藉由高架移行車之吊車使物品上下自如地通過上述一對軌條之間，高架移行車及區域台車均可藉由吊車將物品自如地搬出搬入裝載埠，上述感測器至少設置於上述區域台車軌道之下部、且偏離未橫向搖晃時之物品升降路徑之位置，上述高架移行車及上述區域台車係分別以當上述感測器檢測到橫向搖晃之物品時，則使吊車之升降停止之方式所構成。
本發明之高架移行車系統之控制方法中，該高架移行車系統係包含：高架移行車，其具有使物品升降之吊車；上述高架移行車之軌道；裝載埠，其設置於處理裝置之前面； 區域台車之軌道，其係由一對軌條所構成，該等一對軌條於上述裝載埠之正上部且高架移行車之軌道之正下方，與高架移行車之軌道平行地配置；及區域台車，其具備使物品升降之吊車，且沿上述區域台車之軌道移行；上述區域台車之軌道係藉由高架移行車之吊車而使物品上下自如地通過上述一對軌條之間，高架移行車及區域台車均可藉由吊車將物品自如地搬出搬入裝載埠；上述高架移行車系統之控制方法，為了高架移行車系統係執行如下步驟：將感測器至少設置於上述區域台車之軌道之下部、且偏離未橫向搖晃時之物品升降路徑之位置之步驟，該感測器檢測朝向與區域台車之軌道之長度方向於水平面內成直角之方向橫向搖晃的物品；及若上述感測器檢測到橫向搖晃之物品，則對上述高架移行車及上述區域台車，停止吊車之升降之步驟。
吊車係將數條皮帶等吊掛材安裝於升降台，藉由吊掛材之捲取及陸續送出而使升降台升降，並藉由升降台之夾頭等夾持物品。使物品上升時，若吊掛材間捲取量不一致，則容易引起物品振動。再者，下降時，若一面藉由吊掛材之捲取用馬達施加制動，一面藉由來自物品之重力陸續送出吊掛材，則可較上升之情況減少振動。而且，由於物品通過一對軌條之間隙，故而有若橫向搖晃則會與軌條接觸之虞。因此，於在區域台車之軌道之下部檢測橫向搖晃並存在橫向搖晃之情況下使吊車停止。於是，可於接觸軌條之前使物品之上升停止。由於感測器係設置於偏離未橫向搖晃時之物品升降路徑之位置，故而 與物品接觸而損傷之可能性較小。又，感測器之信號可用於高架移行車及區域台車之雙方。再者，高架移行車及區域台車不會對相同之裝載埠同時移載物品。
較佳為上述感測器具備有：投光元件，其沿著光軸投射光，該光軸係與區域台車之軌道平行、且偏離未橫向搖晃時之物品升降路徑；及受光元件，其檢測因橫向搖晃之物品而遮擋光軸之情況。如此一來，可根據物品是否遮擋光軸而簡單且確實地檢測物品之橫向搖晃，可更確實地防止物品與軌條之接觸。又，投光元件及受光元件可配置於不干涉物品之位置。
更佳為，上述感測器在區域台車之軌道之下部及上部，分別設置於偏離未橫向搖晃時之物品升降路徑之位置。如此一來，可於使物品自裝載埠向高架移行車或區域台車上升時，防止物品橫向搖晃而與軌條接觸，亦可於使物品自高架移行車下降至裝載埠時，防止物品橫向搖晃而與軌條接觸。
尤佳為，於上述高架移行車之軌道及區域台車之軌道上分別設置有通信終端，且設置有開關，該開關係以上述感測器未檢測出橫向搖晃之物品為條件，使高架移行車或區域台車與上述通信終端中之任一者之通信成立。高架移行車及區域台車係一面與上述通信終端進行通信，一面進行將物品對裝載埠之搬出搬入。而且，若上述感測器檢測出橫向搖晃之物品時，則高架移行車及區域台車、與上述通信終端之通信被阻斷，其結果，上述高架移行車及上述區域台車使吊車之升降停止。
如此一來，則當感測器檢測到橫向搖晃之物品時，高架移行車及區域台車與通信終端之通信不成立，故而可使高架移行車及 區域台車自動地停止吊車。進而，較之向高架移行車及區域台車發送移載停止要求信號等，而以通信之成立為條件進行移載，且於異常時阻斷通信，從而可更確實地使移載停止。進而，可不經由控制器而確實地使移載停止。
2‧‧‧高架移行車系統
4‧‧‧高架移行車
6‧‧‧高架移行車之軌道
8‧‧‧區域台車
10‧‧‧區域台車之軌道
10a、10b‧‧‧軌條
12‧‧‧緩衝區
13‧‧‧處理裝置
14‧‧‧物品
16、17‧‧‧裝載埠
18‧‧‧通路
20‧‧‧橫移裝置
21‧‧‧轉動裝置
22、27‧‧‧吊車
24、26‧‧‧升降台
25‧‧‧皮帶
28、30、32‧‧‧支柱
34‧‧‧區域台車控制器
36、38‧‧‧下方監視感測器
37‧‧‧雷射光束
40‧‧‧投受光感測器
41‧‧‧反射鏡
42、44‧‧‧地面側終端
43‧‧‧接近感測器
43'‧‧‧桿
46‧‧‧開關
48‧‧‧處理裝置側控制器
50、60‧‧‧通信部
51‧‧‧機上控制器
52‧‧‧地圖
53、61‧‧‧移行控制部
54、62‧‧‧移載控制部
56、64‧‧‧通信終端
L1~L3‧‧‧監視線
圖1係實施例之高架移行車系統之主要部分側視圖。
圖2係實施例之高架移行車系統之主要部分前視圖。
圖3係實施例之高架移行車系統之主要部分放大俯視圖，且去除高架移行車之軌道而表示。
圖4係實施例中之自地面側終端至地面側控制器之方塊圖。
圖5係實施例中之高架移行車之方塊圖。
圖6係實施例中之區域台車之方塊圖。
圖7係表示與裝載埠及緩衝區之移載協定之圖。
以下表示用以實施本發明之最佳實施例。本發明之範圍應基於申請專利範圍之記載，並參考說明書之記載及該領域中眾所周知之技術，根據該發明所屬技術領域中具有通常知識者之理解而確定。
[實施例]
圖1~圖7表示實施例之高架移行車系統2。4係高架移行車，且沿高架移行車之軌道6移行，8係區域台車，且沿區域台車之軌道10移行。區域台車之軌道10僅設置於裝載埠16、17之周圍，且以高架移行車之軌道6、區域台車之軌道10、裝載埠16、17之順序上下重疊地進行配置。又，如圖2、圖3所示，區域台車之軌道10包含 通路18側之軌條10b與處理裝置13側之軌條10a之左右一對軌條。軌條10a、10b間之間隙較物品14於圖2中之左右寬度更寬，故而物品14及下述升降台24、26可上下通過軌條10a、10b間之間隙。再者，亦可於處理裝置13設置1個或3個以上之裝載埠。
12係緩衝區，設置於區域台車之軌道10之正下方、且除裝載埠16、17之正上部以外之位置，並載置前開式晶圓盒(FOUP，Front Opening Unified Pod)等物品14。亦可於除此以外之位置設置緩衝區，但除軌道10之正下方之緩衝區12以外，與實施例無直接關係。又，18係作業者等之通路，以裝載埠16、17為基準，水平面內之一邊為處理裝置13側，另一邊為通路18側。進而，裝載埠16、17之通路側為下方監視感測器36之監視區域。
高架移行車4包含橫移裝置20、轉動裝置21及吊車22，橫移裝置20係使轉動裝置21及吊車22向與軌道6於水平面內成直角之方向橫移，並可向設置於軌道6之左右且未圖示之緩衝區存取。轉動裝置21使吊車22回旋而改變物品14之朝向。吊車22使升降台24升降而於與裝載埠16、17及緩衝區12等之間移載物品14。再者，亦可不設置橫移裝置20及轉動裝置21。25係皮帶且支撐升降台24，例如包含前後左右4條皮帶，亦可使用金屬線、繩索等其他吊掛材代替皮帶25。吊車22係藉由馬達捲取皮帶以及一面施加制動一面陸續送出皮帶，藉此使升降台24升降。
區域台車8包含用以於軌條10a、10b上移行之車輪及移行馬達等，藉由吊車27使升降台26升降，並於緩衝區12與裝載埠16、17間移載物品14。吊車27之構成與高架移行車4之吊車22相同。於高架移行車系統2中，高架移行車4與區域台車8均可對緩衝區12 及裝載埠16、17移載物品14。然而，亦可以如下方式運用高架移行車系統2：高架移行車4進行物品14向緩衝區12之搬入及物品14自裝載埠16、17之搬出，區域台車8將物品自緩衝區12搬入至裝載埠16、17等。
軌道6、10係藉由支柱28、30例如自高架側垂吊，緩衝區12係藉由鉛垂向下之支柱32自軌道10垂吊。而且，緩衝區12係沿軌道6、10之長度方向(高架移行車4及區域台車8之移行方向)例如設置於裝載埠16、17之上流側及下流側兩處，亦可僅設置於該等之一處。又，於裝載埠16、17之正上部無水平之框架等緩衝區12之構件，緩衝區12不會妨礙對裝載埠搬出搬入物品14。
對每一裝載埠16、17於其正上部設置下方監視感測器36而監視裝載埠16、17之通路側之障礙物。障礙物例如為使手臂、安全帽等向裝載埠16、17接近之作業者，且下方監視感測器36係例如扇狀地投射光束37，而檢測來自障礙物之反射光之雷射光束感測器。圖1~圖3中表示光束37之形狀，除物品14向裝載埠16、17之升降路徑及裝載埠16、17以外，監視較裝載埠16、17更靠近通路18之區域。高架移行車4為了檢測裝載埠16、17之障礙物，包含相同之下方監視感測器38，但誤檢測到區域台車8之軌道10之可能性較高。因此，對於裝載埠16、17，將高架移行車4之下方監視感測器38之信號設為無效。再者，實施例係對每一裝載埠16、17設置下方監視感測器36，但亦可以1個下方監視感測器監視鄰接之裝載埠16、17。
除自裝載埠16、17觀察而監視通路18側之障礙物以外，檢測升降台24、26所支撐之物品14之橫向搖晃。即，由於物品14通過軌條10a、10b之間隙，故而若向與區域台車之軌道10之長度 方向於水平面內成直角之方向橫向搖晃，則可能與軌條10a、10b接觸。尤其於使物品14上升時，若4條皮帶25之捲取不同步，則引起橫向搖晃之可能性較高。又，於使物品14自裝載埠16、17上升時，橫向搖晃之可能性較高，使其自緩衝區12上升時，橫向搖晃之可能性較低。因此，例如藉由物品14是否遮擋軌道10之上下且為俯視時與軌條10a之內側端部相同或略微內側之位置之監視線(光軸)，而檢測橫向搖晃。
為了檢測橫向搖晃，將包含發光元件及受光元件之投受光感測器40及反射鏡41配置於監視線之兩端。來自發光元件之光軸平行於軌條之長度方向，且自不橫向搖晃之物品之升降路徑偏離。於向高架移行車4上升之情況及向區域台車8上升之情況下，均上升至有物品14之至少上部與軌條10a、10b接觸之虞之高度。因此，於使物品向區域台車8上升之情況下，亦必需檢測物品14之橫向搖晃。因此，至少於裝載埠16、17之上部且為區域台車之軌道10之下部設置監視線(光軸)L1，較佳為於區域台車之軌道10之上部亦設置監視線(光軸)L2。除此以外，亦可於緩衝區12之上部且為區域台車之軌道10之下部追加監視線(光軸)L3。
圖3表示各感測器36、40之配置，藉由軌條10b側之下方監視感測器36以光束37監視裝載埠16、17之通路側之區域。又，以投受光感測器40及反射鏡41監視與軌條10a之內側之端部於俯視時相同或稍內側(軌條10b側)之監視線L2。進而，以與監視線L2上下重疊之方式設置監視線L1，並以安裝於支柱32等之投受光感測器40及反射鏡41進行監視。再者，亦可使用發光元件與受光元件之組合代替投受光感測器40及反射鏡41。進而，亦可將投受光感測器40及反射鏡41設置於軌條10b側。又，亦可使用接近感測器43等代替投受 光感測器40及反射鏡41，該接近感測器43等係監視與地面之間之靜電容量，並根據靜電容量之變化檢測到物品14接近。例如亦可於軌條10a安裝朝向上下方向之桿43'，並於該桿43'安裝接近感測器43。
如圖1所示，於軌道6之各移載位置設置地面側終端42而與高架移行車4之通信終端通信，並於軌道10之各移載位置設置地面側終端44而與區域台車8之通信終端通信。再者，於圖2、圖3中省略終端42、44。圖4表示移載時之通信及監視。高架移行車4包含通信終端56，區域台車8包含通信終端64。元件符號34係以區域台車控制器管理區域台車及物品向緩衝區之搬出搬入，元件符號48係以處理裝置側控制器管理物品向裝載埠之搬出搬入。開關46係針對緩衝區及裝載埠之每一對而設置來連接控制器34、48與通信終端42、44，並僅使通信終端42、44之一者可與高架移行車4或區域台車8通信。又，下方監視感測器36及上下之投受光感測器40之信號係輸入至開關46，若該等感測器中之任一者檢測到障礙物，則開關46禁止通信終端42、44與高架移行車4及區域台車8之通信。
高架移行車4與區域台車8係於在與緩衝區或裝載埠之間移載物品時，向終端42、44發送移載要求信號。若針對此而接收到移載確認信號(允許移載之意思之信號)，則可開始移載。又，於至移載結束為止之期間維持通信，若於此期間中斷通信，則會中止升降台之升降，並等待恢復通信。而且，至移載結束後，高架移行車4與區域台車8係於與終端42、44之間交換信號。再者，亦可藉由下方監視感測器36與上下之投受光感測器40之信號將障礙物檢測信號發送至高架移行車4或區域台車8，以代替阻斷通信，但信號之種類增加，故而控制變複雜。
圖5表示高架移行車4之控制系統，通信部50與未圖示之高架移行車控制器通信而接收搬送指令，機上控制器51進行對高架移行車4之整體性控制，地圖(map)52記憶軌道6之配置資料，該資料包含移載位置、及是否需要於移載時利用下方監視感測器38進行監視等。而且，對於設置有下方監視感測器36之裝載埠16、17，地圖52之資料中係設為無需下方監視，從而關閉下方監視感測器38或忽略其信號。通信終端56係與地面側終端42通信，沿移載之協定交換信號，並於移載中維持通信。移行控制部53控制高架移行車4之移行，移載控制部54控制吊車22等。
圖6表示區域台車8之控制系統，通信部60與區域台車控制器34通信而接收指令。通信終端64與地面側終端44通信，沿移載之協定交換信號，並於移載中維持通信。移行控制部61控制區域台車8之移行，移載控制部62控制吊車27。
圖7表示移載之協定。高架移行車4及區域台車8係於移載至緩衝區12及裝載埠16、17之前，確立與地面側終端42、44之通信(步驟1)。以下，地面側終端42、44係設為相對於相同緩衝區12或相同裝載埠16、17之終端。開關46僅可相對於地面側終端42、44之一者通信，故而高架移行車4及區域台車8不會同時對相同緩衝區12或相同裝載埠16、17開始移載。又，於默認值中，地面側終端42可通信，地面側終端44無法通信，且對於區域台車8移行之範圍，以區域台車控制器34可與地面側終端44通信之方式切換開關46之狀態。而且，自通信開始至移載結束，地面側終端42、44之可否通信之狀態不可變更。如此一來，則區域台車8無法進入高架移行車4開始通信之位置之下方。又，於區域台車8開始通信之位置之上方，高架 移行車4無法要求通信。
高架移行車4及區域台車8係於移載開始前於與地面側端末42、44之間交換移載要求信號及移載確認信號，繼而使升降台下降而開始移載。例如若於移載開始時，安裝於區域台車之軌道10之下方監視感測器36開始監視(步驟2)，並檢測到欲向裝載埠16、17存取之作業者等障礙物，則開關46禁止與地面側終端42、44之通信。若通信被阻斷，則高架移行車4及區域台車8停止升降台之升降，並等待下方監視感測器36未檢測到障礙物。又，根據地圖之資料，關閉高架移行車4之下方監視感測器38，或使高架移行車4忽略下方監視感測器38之信號。
於物品14通過區域台車之軌道10之上部時及通過下部時，藉由投受光感測器40監視物品之橫向搖晃(步驟3、4)，若投受光感測器檢測到橫向搖晃之物品，則使吊車停止，並等待橫向搖晃結束。該監視係為了防止物品干涉區域台車之軌道10而進行，於升降台下降時亦可省略軌道10之下部之監視。再者，對於緩衝區12，由於在剛開始上升後通過軌道10等，故而亦可省略軌道10之下部之監視。
若對裝載埠16、17或緩衝區12交接物品(步驟5)，則使升降台上升。繼續進行利用下方監視感測器36進行之監視，於物品通過區域台車之軌道10之下部時及通過上部時，藉由投受光感測器40監視物品之橫向搖晃(步驟3、4)。又，於升降台上升時亦可省略軌道10之上部之監視。
若升降台回到原位，則結束利用下方監視感測器進行之監視(步驟6)，高架移行車4及區域台車8係於與地面側終端42、44之間交換移載已結束之意思之信號，並結束通信(步驟7)。再者，利用 下方監視感測器進行之監視亦可於例如物品上升至軌道10附近時等結束。
實施例中可獲得以下效果。
1)於裝載埠16、17之正上部無緩衝區12之框架等，故而物品14之移載較容易。
2)由於藉由安裝於軌條10b之下方監視感測器36檢測正下方之障礙物，故而可確實地檢測裝載埠16、17之通路側之障礙物。
3)由於不使用高架移行車4之下方監視感測器38，故而不會將區域台車之軌道10等誤檢測為障礙物。
4)由於在物品14通過區域台車之軌道10之前，藉由投受光感測器40檢測物品14之橫向搖晃，故而可防止物品14與區域台車之軌道10接觸。
5)可將下方監視感測器36及投受光感測器40用於高架移行車4及區域台車8之雙方。
6)即便下方監視感測器36檢測到障礙物，及投受光感測器40檢測到橫向搖晃，任一情形時均可藉由禁止地面側終端42、44之通信而停止升降台之升降。
7)藉由下方監視感測器36或投受光感測器40之信號，可不經由控制器34、48而藉由開關46禁止通信，因此可更確實地使移載停止。
2‧‧‧高架移行車系統
4‧‧‧高架移行車
6‧‧‧高架移行車之軌道
8‧‧‧區域台車
10‧‧‧區域台車之軌道
12‧‧‧緩衝區
13‧‧‧處理裝置
14‧‧‧物品
16、17‧‧‧裝載埠
18‧‧‧通路
20‧‧‧橫移裝置
21‧‧‧轉動裝置
22‧‧‧吊車
24‧‧‧升降台
25‧‧‧皮帶
28、30、32‧‧‧支柱
34‧‧‧區域台車控制器
36、38‧‧‧下方監視感測器
37‧‧‧雷射光束
40‧‧‧投受光感測器
41‧‧‧反射鏡
42、44‧‧‧地面側終端
L1~L3‧‧‧監視線

Claims (5)

  1. 一種高架移行車系統，其包含：高架移行車，其具有使物品升降之吊車；上述高架移行車之軌道；裝載埠，其設置於處理裝置之前面；區域台車之軌道，其係由一對軌條所構成，該等一對軌條於上述裝載埠之正上部且高架移行車之軌道之正下方，與高架移行車之軌道平行地配置；區域台車，其具備使物品升降之吊車，且沿上述區域台車之軌道移行；及感測器，其檢測朝向與區域台車之軌道之長度方向於水平面內成直角之方向橫向搖晃的物品；上述區域台車之軌道係藉由高架移行車之吊車使物品上下自如地通過上述一對軌條之間，高架移行車及區域台車均可藉由吊車將物品自如地搬出搬入裝載埠，上述感測器至少設置於上述區域台車軌道之下部、且偏離未橫向搖晃時之物品升降路徑之位置，上述高架移行車及上述區域台車係分別以當上述感測器檢測到橫向搖晃之物品時，則使吊車之升降停止之方式所構成。
  2. 如申請專利範圍第1項之高架移行車系統，其中，上述感測器具備有：投光元件，其沿著光軸投射光，該光軸係與區域台車之軌道平行、且偏離未橫向搖晃時之物品升降路徑；及 受光元件，其檢測因橫向搖晃之物品而遮擋上述光軸之情況。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之高架移行車系統，其中，上述感測器除設置於區域台車之軌道之下部以外，還設置於區域台車之軌道之上部、且偏離未橫向搖晃時之物品升降路徑之位置。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之高架移行車系統，其中，於上述高架移行車之軌道及區域台車之軌道分別設置有通信終端，且設置有開關，該開關係以上述感測器未檢測出橫向搖晃之物品為條件，使高架移行車或區域台車、與上述通信終端中之任一者之通信成立，高架移行車及區域台車係構成為一面與上述通信終端進行通信，一面進行將物品對裝載埠之搬出搬入，若上述感測器檢測出橫向搖晃之物品時，則高架移行車及區域台車、與上述通信終端之通信被阻斷，其結果，上述高架移行車及上述區域台車使吊車之升降停止。
  5. 一種高架移行車系統之控制方法，該高架移行車系統係包含：高架移行車，其具有使物品升降之吊車；上述高架移行車之軌道；裝載埠，其設置於處理裝置之前面；區域台車之軌道，其係由一對軌條所構成，該等一對軌條於上述裝載埠之正上部且高架移行車之軌道之正下方，與高架移行車之軌道平行地配置；及區域台車，其具備使物品升降之吊車，且沿上述區域台車之軌道移行； 上述區域台車之軌道係藉由高架移行車之吊車使物品上下自如地通過上述一對軌條之間，高架移行車及區域台車均可藉由吊車將物品自如地搬出搬入裝載埠；上述高架移行車系統之控制方法，為了高架移行車系統係執行如下步驟：將感測器至少設置於上述區域台車之軌道之下部、且偏離未橫向搖晃時之物品升降路徑之位置之步驟，該感測器檢測朝向與區域台車之軌道之長度方向於水平面內成直角之方向橫向搖晃的物品；及若上述感測器檢測到橫向搖晃之物品，則對上述高架移行車及上述區域台車，停止吊車之升降之步驟。
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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2620391B1 (de) * 2012-01-30 2014-06-18 CareFusion Germany 326 GmbH Verfahren zum Auslagern von Arzneimittelpackungen
TWI520258B (zh) * 2013-09-27 2016-02-01 華亞科技股份有限公司 起吊裝置及自動化搬運系統
CN104029996A (zh) * 2014-05-15 2014-09-10 安徽珩业车轮有限公司 一种汽车车轮辅板裁剪用送料架
WO2015194264A1 (ja) * 2014-06-19 2015-12-23 村田機械株式会社 キャリアの一時保管装置及び一時保管方法
JP6048686B2 (ja) * 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
EP3336018B1 (en) * 2015-08-14 2021-12-15 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system
JP6471702B2 (ja) * 2016-01-12 2019-02-20 株式会社ダイフク 物品搬送装置
FR3048227B1 (fr) * 2016-02-25 2019-06-28 Airbus Operations Plancher unitaire et pointe avant d’aeronef comportant un tel plancher et procede d’integration d’une telle pointe avant
EP3460834B1 (en) * 2016-05-20 2020-08-05 Murata Machinery, Ltd. Transport vehicle and transport method
CN111032535B (zh) * 2017-08-16 2022-02-25 村田机械株式会社 高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法
CN107720063A (zh) * 2017-08-22 2018-02-23 舒城县东方红食品有限公司 一种蔬菜干自动化夹取摆放驱蝇放置架
US10622236B2 (en) 2017-08-30 2020-04-14 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Apparatus and method for handling wafer carrier doors
JP7040637B2 (ja) * 2018-10-29 2022-03-23 村田機械株式会社 天井走行車、天井走行車システム、及び障害物の検出方法
KR102659882B1 (ko) * 2019-08-28 2024-04-24 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송차 및 천장 반송차 시스템
CN113371614B (zh) * 2020-03-10 2023-01-31 长鑫存储技术有限公司 自动化天车防撞系统及方法
US20230202806A1 (en) 2020-06-08 2023-06-29 Murata Machinery, Ltd. Overhead transport vehicle, and method of controlling raising/lowering of gripping unit
US11676841B2 (en) * 2021-04-16 2023-06-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Overhead hoist transport device and method of using the same
CN114906571B (zh) * 2022-05-25 2024-03-19 广汽本田汽车有限公司 一种发动机输送监控方法以及输送线
WO2024034175A1 (ja) * 2022-08-09 2024-02-15 村田機械株式会社 天井搬送車

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0561106U (ja) * 1992-01-27 1993-08-10 村田機械株式会社 荷姿検出システム
JP2570302Y2 (ja) * 1992-11-05 1998-05-06 四国計測工業株式会社 クレーンロープ振れ角検出装置
JP3086645B2 (ja) * 1995-12-13 2000-09-11 富士変速機株式会社 昇降体の駆動制御装置
JP4702693B2 (ja) * 2004-02-12 2011-06-15 ムラテックオートメーション株式会社 搬送台車及び搬送装置
JP5380747B2 (ja) * 2009-09-16 2014-01-08 株式会社日立製作所 吊荷下方の監視システム及び監視方法
JP5457322B2 (ja) * 2010-09-30 2014-04-02 富士フイルム株式会社 点検方法
JP5229363B2 (ja) 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法

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